JP2015126067A - 半導体ウェーハの洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アンモニア水、過酸化水素水、及び純水の混合液から成る洗浄液によって半導体ウェーハを洗浄する半導体ウェーハの洗浄方法であって、前記半導体ウェーハは前記洗浄液で2回以上洗浄し、1回目の洗浄に対して、2回目以降の洗浄による半導体ウェーハ表面のエッチング速度を5倍以上とすることを特徴とする半導体ウェーハの洗浄方法。
【選択図】 図1
Description
しかし、半導体ウェーハの表面に保護膜として酸化膜を形成する場合には、一般的にオゾン水が使用されるため、オゾン水処理槽、オゾン水発生装置やオゾン水分解装置等の装置が必要となり大幅なコストアップを招いてしまうという問題があった。
このようにすれば、SC1洗浄において、洗浄後の表面粗さの悪化を確実に抑制することができ、特に表面に酸化膜が形成していない半導体ウェーハの洗浄を行う場合であっても、洗浄後の表面粗さの悪化をより確実に抑制することができる。
このように、アンモニア水、過酸化水素水、及び純水の容積混合比が1:1:5以下の濃度とすれば、アンモニア水、過酸化水素水の使用量が多くなり過ぎず、コスト高になることが無い。また、容積混合比が1:1:100以上の濃度の場合、洗浄力が不足することがなく、確実に半導体ウェーハを洗浄することができる。さらに、このとき洗浄液の温度を60℃以下とすれば、洗浄後の表面粗さの悪化をより確実に抑制することができる。
本発明の洗浄方法であれば、酸化処理をされていない表面に酸化膜を形成していないシリコンウェーハであっても、SC1洗浄による表面粗さの悪化を抑制できる。そのため、従来必要であったシリコンウェーハの表面を酸化するための処理が不要となり、酸化装置の導入コスト、ランニングコストが不要となり、半導体ウェーハの製造コストを大幅に削減することが可能となる。
このようにすれば、濾過により洗浄液中のパーティクルを取り除くことができ、より清浄度の高い洗浄を行うことができる。また、洗浄液の温度と濃度を制御することで、エッチング速度を容易に制御することができる。
このように、研磨により表面が活性化されているとともに、表面に保護膜として酸化膜がない半導体ウェーハであっても、本発明の洗浄方法であれば、表面粗さの悪化を抑制できる。
上記したように、SC1洗浄においては、洗浄後の半導体ウェーハの表面粗さが悪化し、特に半導体ウェーハに酸化膜等の保護膜が無い場合、洗浄後の半導体ウェーハの表面粗さが著しく悪化してしまうという問題があった。また、表面粗さの悪化を抑制するために、酸化膜を形成するには、酸化膜形成装置の導入が必要であり、導入コストやランニングコストがかかるため、半導体ウェーハの洗浄コストが大幅に増加してしまっていた。
このような研磨工程直後の、酸化膜等の保護膜を形成していない、表面が活性化している半導体ウェーハを、SC1洗浄する場合であっても、本発明の洗浄方法では、保護膜を形成した場合と同程度に表面粗さの悪化を抑制することができる。
続いて、1回目のSC1洗浄を実施する。この際に使用する洗浄液はアンモニア水、過酸化水素水、及び純水の混合液から成るSC1洗浄液を使用する。洗浄については、例えば、このSC1洗浄液を満たした洗浄槽に洗浄対象の半導体ウェーハを浸漬することで半導体ウェーハを洗浄することができる。この時の、SC1洗浄液の設定温度は、40℃から60℃までの範囲内の値として洗浄を実施することが好ましい。1回目の洗浄では、エッチング速度を低くした方が、表面粗さを抑制し易いからである。
このようにすれば、エッチング速度が速くなり過ぎず、SC1洗浄において、表面酸化膜が形成していない半導体ウェーハの洗浄を行う場合であっても、洗浄後の表面粗さの悪化をより確実に抑制することができる。
このように、酸化膜を形成していないシリコンウェーハであっても、本発明の洗浄方法であれば、酸化膜を形成した場合と同程度に表面粗さの悪化を抑制することができる。
次に、SC2洗浄を実施し、その後、純水により半導体ウェーハをリンスする。最後に、半導体ウェーハを乾燥させて洗浄工程を完了する。
図1に示すような洗浄工程で、直径が300mmの両面を鏡面研磨で仕上げた酸化膜を形成していないシリコン単結晶ウェーハを洗浄した。
1回目のSC1洗浄の洗浄条件は、SC1洗浄液の濃度を容積混合比で、アンモニア水:過酸化過水疎水:純水=0.1:1:10とした。また、SC1洗浄液の温度は50℃に設定し、循環濾過装置を使用してヒーターによる温調を行った。このようにして、エッチング速度を0.05nm/minとした。そして、洗浄時間は240秒とした。従って、1回目のSC1洗浄における、エッチング量は0.20nmであった。
実施例1と同様の洗浄工程で、酸化膜の無いシリコン単結晶ウェーハを洗浄した。
ただし、1回目のSC1洗浄の洗浄条件は、SC1洗浄液の濃度を容積混合比で、アンモニア水:過酸化過水疎水:純水=1:1:10とした。また、SC1洗浄液の温度は40℃に設定し、循環濾過装置を使用してヒーターによる温調を行った。このようにして、エッチング速度を0.06nm/minとした。そして、洗浄時間は240秒とした。従って、1回目のSC1洗浄における、エッチング量は0.24nmであった。
これ以外の、洗浄工程、洗浄条件は、実施例1と同様とし、実施例1と同様な方法で、Hazeの値を測定した。
実施例1と同様の洗浄工程で、酸化膜の無いシリコン単結晶ウェーハを洗浄した。
ただし、1回目のSC1洗浄の洗浄条件は、SC1洗浄液の濃度を容積混合比で、アンモニア水:過酸化過水疎水:純水=0.1:2:10とした。また、SC1洗浄液の温度は50℃に設定し、循環濾過装置を使用してヒーターによる温調を行った。このようにして、エッチング速度を0.03nm/minとした。そして、洗浄時間は240秒とした。従って、1回目のSC1洗浄における、エッチング量は0.12nmであった。
これ以外の、洗浄工程、洗浄条件は、実施例1と同様とし、実施例1と同様な方法で、Hazeの値を測定した。
実施例1と同様の洗浄工程で、酸化膜の無いシリコン単結晶ウェーハを洗浄した。
ただし、1回目のSC1洗浄の洗浄条件は、SC1洗浄液の濃度を容積混合比で、アンモニア水:過酸化過水疎水:純水=1:1:10とした。また、SC1洗浄液の温度は60℃に設定し、循環濾過装置を使用してヒーターによる温調を行った。このようにして、エッチング速度を0.30nm/minとした。そして、洗浄時間は40秒とした。従って、1回目のSC1洗浄における、エッチング量は0.20nmであった。
これ以外の、洗浄工程、洗浄条件は、実施例1と同様とし、実施例1と同様な方法で、Hazeの値を測定した。
実施例1と同様の洗浄工程で、酸化膜の無いシリコン単結晶ウェーハを洗浄した。
ただし、1回目のSC1洗浄の洗浄条件は、SC1洗浄液の濃度を容積混合比で、アンモニア水:過酸化過水疎水:純水=1:1:10とした。また、SC1洗浄液の温度は55℃に設定し、循環濾過装置を使用してヒーターによる温調を行った。この時の、エッチング速度は、0.20nm/minとなった。そして、洗浄時間は72秒とした。従って、1回目のSC1洗浄における、エッチング量は0.24nmであった。
これ以外の、洗浄工程、洗浄条件は、実施例1と同様とし、実施例1と同様な方法で、Hazeの値を測定した。
実施例1と同様の洗浄工程で、酸化膜の無いシリコン単結晶ウェーハを洗浄した。
ただし、1回目のSC1洗浄の洗浄条件は、SC1洗浄液の濃度を容積混合比で、アンモニア水:過酸化過水疎水:純水=1:1:10とした。また、SC1洗浄液の温度は50℃に設定し、循環濾過装置を使用してヒーターによる温調を行った。この時の、エッチング速度は、0.15nm/minとなった。そして、洗浄時間は168秒とした。従って、1回目のSC1洗浄における、エッチング量は0.42nmであった。
これ以外の、洗浄工程、洗浄条件は、実施例1と同様とし、実施例1と同様な方法で、Hazeの値を測定した。
以上の結果から、本発明の洗浄方法であれば、洗浄後の表面粗さを抑制でき、特に酸化膜を形成していないシリコン単結晶ウェーハを洗浄した場合においても、酸化膜を形成したシリコン単結晶ウェーハを洗浄した場合と同等のHaze値となり、酸化膜の形成をしなくても洗浄後の表面粗さの悪化を抑えられていることが確認された。
Claims (6)
- アンモニア水、過酸化水素水、及び純水の混合液から成る洗浄液によって半導体ウェーハを洗浄する半導体ウェーハの洗浄方法であって、
前記半導体ウェーハは前記洗浄液で2回以上洗浄し、1回目の洗浄に対して、2回目以降の洗浄による半導体ウェーハ表面のエッチング速度を5倍以上とすることを特徴とする半導体ウェーハの洗浄方法。 - 前記2回目以降の洗浄による半導体ウェーハ表面のエッチング速度を1nm/min以下とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの洗浄方法。
- 前記洗浄液の、アンモニア水、過酸化水素水、及び純水の濃度を容積混合比で1:1:5から1:1:100までの範囲内とし、かつ、前記洗浄液の温度を60℃以下とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体ウェーハの洗浄方法。
- 前記半導体ウェーハを、表面に酸化膜を形成していないシリコンウェーハとすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体ウェーハの洗浄方法。
- 前記洗浄液を循環させて濾過と恒温加熱を行う循環濾過装置を使用して、前記洗浄液の循環濾過及び温調を行い、同時に前記洗浄液中のアンモニア及び過酸化水素の各濃度を一定に制御しつつ洗浄することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体ウェーハの洗浄方法。
- 前記洗浄は、前記半導体ウェーハの研磨後に実施することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体ウェーハの洗浄方法。
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