JP2023035388A - シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 - Google Patents
シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023035388A JP2023035388A JP2021142210A JP2021142210A JP2023035388A JP 2023035388 A JP2023035388 A JP 2023035388A JP 2021142210 A JP2021142210 A JP 2021142210A JP 2021142210 A JP2021142210 A JP 2021142210A JP 2023035388 A JP2023035388 A JP 2023035388A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- silicon wafer
- wafer
- etching
- oxide film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 145
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 94
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 94
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 94
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 115
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 42
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 22
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 16
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 16
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 14
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 151
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 22
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 16
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 6
- 238000000391 spectroscopic ellipsometry Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02024—Mirror polishing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/02227—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process
- H01L21/0223—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate
- H01L21/02233—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer
- H01L21/02236—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer group IV semiconductor
- H01L21/02238—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a process other than a deposition process formation by oxidation, e.g. oxidation of the substrate of the semiconductor substrate or a semiconductor layer group IV semiconductor silicon in uncombined form, i.e. pure silicon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】シリコンウェーハを粗化する洗浄方法であって、前記シリコンウェーハとして、自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハを用意する工程と、該用意したシリコンウェーハを水酸化アンモニウムと過酸化水素水とを含む水溶液で洗浄することで前記シリコンウェーハの表裏面又は裏面を粗化する洗浄工程を含み、前記洗浄工程で用いる水溶液として、SiO2に対するSiのエッチング選択比が95以上、1100以下であるものを用いるシリコンウェーハの洗浄方法。
【選択図】図1
Description
このSC1洗浄とは、アンモニア水と過酸化水素水を任意の割合で混合し、アルカリ性の洗浄液によるシリコンウェーハ表面のエッチングによって付着パーティクルをリフトオフさせ、さらにシリコンウェーハとパーティクルの静電気的な反発を利用して、シリコンウェーハへの再付着を抑えながらパーティクルを除去する洗浄方法である。また、SC2洗浄とは、塩酸と過酸化水素水を任意の割合で混合した洗浄液で、シリコンウェーハ表面の金属不純物を溶解除去する洗浄方法である。また、DHF洗浄とは、希フッ酸によってシリコンウェーハ表面のケミカル酸化膜を除去する洗浄方法である。さらに、強い酸化力を有するオゾン水洗浄も使用される場合があり、シリコンウェーハ表面に付着している有機物の除去やDHF洗浄後のシリコンウェーハ表面のケミカル酸化膜形成を行っている。シリコンウェーハの洗浄は、目的に応じてこれらの洗浄を組み合わせて行われている。
この中でSC1洗浄はエッチングを伴う洗浄であるため、SC1洗浄後はウェーハの面粗さが増加することが一般的に知られている。
特許文献2にはSC1洗浄において、水酸化アンモニウムから電離されたOH-の濃度が高いとSiの直接エッチングが優先的に起こり、ウェーハ表面粗さが増加することが記載されている。
また、特許文献3~6にも、シリコンウェーハなどの半導体基板の洗浄に関する技術が開示されている。
前記シリコンウェーハとして、自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハを用意する工程と、
該用意したシリコンウェーハを水酸化アンモニウムと過酸化水素水とを含む水溶液で洗浄することで前記シリコンウェーハの表裏面又は裏面を粗化する洗浄工程を含み、
前記洗浄工程で用いる水溶液として、SiO2に対するSiのエッチング選択比が95以上、1100以下であるものを用いることを特徴とするシリコンウェーハの洗浄方法を提供する。
前記Siのエッチング量の算出用ウェーハとして、自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハ、エピタキシャルウェーハ、又はSOIウェーハのいずれかを用い、
前記SiO2のエッチング量の算出用ウェーハとして、膜厚が3nm以上のシリコン酸化膜付ウェーハを用いることができる。
また、本発明の粗化は、上記のように過酸化水素の酸化作用で形成された自然酸化膜をエッチングすることで生じる。上記エッチング選択比の範囲の水溶液を用いつつ、洗浄後の面状態がベア面ではなく自然酸化膜が存在する場合は、洗浄中において、酸化作用が十分で、またSiのエッチングのみが優勢に進行したわけでもなく、そのため、粗化度合いを一層十分なものとすることができる。
求められた関係に基づき、前記SiO2に対するSiのエッチング選択比、洗浄時間を選定して、前記洗浄工程を行うことができる。
また、本発明のシリコンウェーハの製造方法であれば、片方の面は良好な面状態で、該片方の面とは反対側の面のみが選択的に粗化されたウェーハを作製することができる。
本発明者らは上記課題を達成するために、水酸化アンモニウム、過酸化水素水、水からなる洗浄液を用いた酸化及びエッチング挙動について鋭意検討した。その結果、特に自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハに対し、SiO2に対するSiのエッチング選択比が高い洗浄液で洗浄すると、過酸化水素水の酸化作用で形成された酸化膜が水酸化アンモニウムによりエッチングされ、Siが局所的に露出した箇所で急激にエッチングが進行し、粗化されること、及びこの粗化挙動について前記選択比を95以上、1100以下の範囲に制御することで調整できることを見出し、本発明を完成させた。
図1は本発明のシリコンウェーハの洗浄方法の一例を示すフローチャートである。
(工程S1:シリコンウェーハの用意工程)
図1のS1のように、表裏面(又は裏面)を粗化したいシリコンウェーハを用意する。ウェーハの導電型や直径に制限はないが、ウェーハの面状態は自然酸化膜がないベア面が露出している必要がある。例えばDSP後ウェーハのような研磨後のウェーハは、自然酸化膜が存在しないベア面が露出しており、そのまま後述するS2の洗浄を行うことができる。自然酸化膜が存在する場合は、例えばHF洗浄などで自然酸化膜を剥離することで、ベア面を露出させることができる。尚、HF洗浄条件に制限はなく、自然酸化膜が剥離できれば、薬液濃度、洗浄時間、洗浄温度などに制限はない。
次にS2のようにベア面が露出したシリコンウェーハを、SiO2に対するSiのエッチング選択比(Si/SiO2エッチング選択比)が95以上、1100以下である、水酸化アンモニウムと過酸化水素水とを含む水溶液で洗浄する。
図2には、ベア面が露出したDSP後ウェーハをSC1組成(液組成NH4OH:H2O2:H2O)、洗浄温度及び洗浄時間を変えて洗浄し(水準1から水準12と表記)、パーティクルカウンターにて粗さ指標であるHaze値を取得し、予め洗浄前に取得しておいたHaze値との差分(以下、Haze増加量と定義する)を示した。この値が高いほど面があれていることを示す。併せて、粗化処理なしのRefと水準5,9のSEM(走査型電子顕微鏡:Scanning Electronic Microscopy)の表面観察結果も示した。
一方、水準3,4,11では0.8~0.9ppm程度増加しているが、その増加量、即ち粗化度合いが小さく、粗化されているとは言えない。さらにLLS(局所光散乱欠陥:Localized Light Scatter)数も非常に多く、欠陥品質が大きく悪化していた。洗浄後の面状態が撥水面であることから、洗浄中にベア面が露出し、Siのエッチングが顕著に進行し、エッチピットが形成されたためと考えられる。残りの水準では面状態は親水面であったが、Haze増加量も僅かであった。
この理由について詳しく述べる。SC1洗浄では過酸化水素は酸化剤として機能しSiは酸化されSiO2(自然酸化膜。以下、単に酸化膜とも言う。)が形成される。水酸化アンモニウムは電離反応によりOH-を放出し、このOH-によりウェーハ表面のSiO2がエッチングされる。一般的な薬液組成(例えばNH4OH:H2O2:H2O=1:1:10)では洗浄中は常にウェーハには酸化膜が存在しており、ベア面(Si)が露出することなく、形成される酸化膜厚さは洗浄時間に依存せず常に約1nm程度である。これは酸化速度とエッチング速度のバランスに起因することが知られている。つまり、H2O2が所定濃度以上である薬液ではH2O2によるSiの酸化速度の方がOH-によるSiO2のエッチング速度よりも速いために、Siが露出することなく常にウェーハには酸化膜が存在していると解釈できる。言い換えれば、H2O2が所定濃度未満になるとOH-によるエッチング速度の方がH2O2によるSiの酸化速度よりも速くなるため、酸化が追い付かず、OH-によるSiのエッチング反応が進行する。このような場合は洗浄後にSiが露出しているため、撥水面となる。
逆に、この選択比が95未満では、酸化速度が十分に速くなり、エッチング作用が働いても、Siが露出されることがないため、粗化現象は進行しないと考えられる。
また、水準5の1:0.4:1000や水準12の1:0.02:10で粗化されていることから、薬液組成に制限はなく、前述の選択比を指標とすればよい。
Siのエッチング量は、自然酸化膜が存在しない、すなわち自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハ、エピタキシャルウェーハ、又はSOI(Silicon on Insulator)ウェーハのいずれかを用意し、該用意したウェーハを任意の液組成の水溶液(Si/SiO2エッチング選択比を算出しようとする水溶液)で洗浄した後、洗浄前後のウェーハ厚み差、エピ層厚み差、又はSOIウェーハのSi層厚み差を測定し、これをエッチング量とすることができる。
例えば自然酸化膜の除去にはHF洗浄等が挙げられる。尚、HF洗浄条件に制限はなく、自然酸化膜が剥離できれば、薬液濃度、洗浄時間、洗浄温度などに制限はない。ウェーハに自然酸化膜が存在していると、自然酸化膜がエッチングされるまでSiのエッチングが進行せず、Siのエッチング量を精度良く評価できない。また、自然酸化膜が存在することで粗化現象が進行し、ウェーハ表面が粗化されることで、測定値に影響を与える可能性があるため、Siのエッチング量の算出用ウェーハは、自然酸化膜が存在しないウェーハである必要がある。
エッチング量が数十nmから数百nmの場合はエピ厚みが数μmのエピタキシャルウェーハもしくはSi/SiO2/Si構造の表面側のSi層厚みが数十nmから数百nmであるSOIウェーハを用いればよく、適宜必要なエッチング量に合わせて選定すればよい。膜厚測定に関しては、例えば、エピタキシャルウェーハの場合はエピ層とサブ層で抵抗率が異なることを利用し、拡がり抵抗測定で洗浄後のエピ厚さを測定することで、膜厚差を算出することができる。SOIウェーハの膜厚測定では、例えば、分光エリプソメトリーを用いることができ、例えばエッチング量が数nmの場合にSi層が100nm以下のSOIウェーハを用いれば、精度よく評価することができる。尚、エピタキシャルウェーハ、SOIウェーハともにエピ層、Si層厚さが評価できれば特に評価方法は限定されない。
一般的に自然酸化膜が存在するシリコンウェーハに対し、酸化膜のエッチングとシリコンの酸化反応が競合するSC1洗浄を行うと、シリコン酸化膜がエッチングされ薄くなると、酸化種がシリコン酸化膜を拡散しやすくなりシリコンの酸化反応が進行するため、洗浄時間に依らず自然酸化膜厚さは一定の値となる。この場合、洗浄前後の膜厚差を算出してもシリコンの酸化反応により形成されたシリコン酸化膜が存在することでSiO2のエッチング量を正確に求めることはできない。さらに通常の自然酸化膜厚さは約1nmであり、この1nmの変化を精度良く測定することも困難である。
尚、SiとSiO2のエッチング挙動は洗浄温度に依存し変化することから、組成、洗浄温度別にSi/SiO2選択比を求めておくことで、様々な条件で確実に粗化を進行させることができる。
例えば、図3には、液組成NH4OH:H2O2:H2O=1:0.4:1000、洗浄温度80℃(エッチング選択比1098)とし、洗浄時間を30,60,180,360secで洗浄した際のHaze増加量を示した。洗浄時間が長いほど、Haze増加量が増加し、正の相関が見られ洗浄時間を調整することで粗化度合いを調整することもできる。
液組成もしくは洗浄温度によりエッチング選択比を調整し粗化度合いを制御しても良く、洗浄時間を調整し粗化度合いを制御しても良く、適宜必要に応じて使い分ければよい。
例えば、本発明のシリコンウェーハの洗浄方法をバッチ式の洗浄機で行ってシリコンウェーハの表裏面共に粗化し、その後CMP加工のような片面研磨を片方の面(すなわち表面)に対して行うことで、該片方の面とは反対側の面(すなわち裏面)のみが選択的に粗化されたウェーハを製造することができる。
このようなウェーハであれば、ウェット環境下でもチャック不良を引き起こさず、安定した製造が可能となる。
これらに限定されるものではない。
(実施例1~8)
DSP加工後のベア面のシリコンウェーハを用意し、KLA社製パーティクルカウンター SP3にてHaze評価を行った。
次に、バッチ式洗浄機にて下記表1に示したように液組成、洗浄温度、洗浄時間を8つの水準に振った水溶液での洗浄条件にて洗浄を行った(実施例1~8)。水溶液を用意する際の薬液は28質量%のアンモニア水(NH4OH)、30質量%の過酸化水素水(H2O2)を用いた。
尚、Siのエッチング量の算出は、実施例1~8のうち、取り代の少ない実施例5以外は全てHF洗浄後の自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハで行い、平坦度測定機でウェーハ洗浄前後のウェーハ厚みからSiのエッチング量を求めた。実施例5はSi層が80nmのSOIウェーハを用い、J.A.Woollam社製 分光エリプソメトリー M-2000Vで洗浄前後のSi層厚みからSiエッチング量を求めた。SiO2のエッチング量の算出は熱酸化で形成した5nm酸化膜付ウェーハで行い、分光エリプソメトリーで洗浄前後の酸化膜厚さからSiO2のエッチング量を求めた。
また、実施例1,2,3,4は同じ液組成、洗浄温度で洗浄時間が異なる水準であり、SiとSiO2のエッチング量は洗浄時間に依存し変化するが、エッチング選択比は同等であることから、実施例3の水準でエッチング量を評価し、求めたエッチング選択比を実施例1,2,4の水準に適用した。
表1に示すように、実施例1~8におけるエッチング選択比は、本発明におけるエッチング選択比の範囲内(95以上、1100以下)であった。
また実施例3の水準で得られた洗浄後のウェーハの片方の面(表面)に対し、取り代500nmのCMP加工を行った。CMP加工後の各ウェーハのKLA社製パーティクルカウンター SP5/19nmUpにてLLS数を評価したところ、12pcsと良好であった。
その後、水中保管したウェーハの裏面側をチャックし研磨機のステージにウェーハをアンチャックさせる搬送するテストを繰り返し200回行ったところ、200回とも不良なく搬送することができた。
さらには他の実施例1-2、4-8の洗浄後のウェーハについても実施例3と同様のチャックテストを行ったところ、同様に、200回とも不良なく搬送することができた。
DSP加工後のベア面のシリコンウェーハを用意し、SP3にてHaze評価を行った。
次に、バッチ式洗浄機にて下記表2に示したように液組成、洗浄温度、洗浄時間を12の水準に振った水溶液での洗浄条件にて洗浄を行った(比較例1~12)。水溶液を用意する際の薬液は28質量%のアンモニア水(NH4OH)、30質量%の過酸化水素水(H2O2)を用いた。
表2に示すように、比較例1~12におけるエッチング選択比は、本発明におけるエッチング選択比の範囲外であった。
また比較例3の水準で得られた洗浄後のウェーハの片方の面(表面)に対し、取り代500nmのCMP加工を行った後、CMP加工機にて実施例3と同様のチャックテストを200回行った。200回中4回でウェーハがチャックから脱離しない不良が発生した。
さらには他の比較例1-2、4-12の洗浄後のウェーハについても実施例3と同様のチャックテストを行ったところ、200回中数回でウェーハがチャックから脱離しない不良が発生した。
Claims (6)
- シリコンウェーハを粗化する洗浄方法であって、
前記シリコンウェーハとして、自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハを用意する工程と、
該用意したシリコンウェーハを水酸化アンモニウムと過酸化水素水とを含む水溶液で洗浄することで前記シリコンウェーハの表裏面又は裏面を粗化する洗浄工程を含み、
前記洗浄工程で用いる水溶液として、SiO2に対するSiのエッチング選択比が95以上、1100以下であるものを用いることを特徴とするシリコンウェーハの洗浄方法。 - 前記洗浄工程で用いる前記水溶液の前記SiO2に対するSiのエッチング選択比を、(Siのエッチング量/SiO2のエッチング量)から求め、
前記Siのエッチング量の算出用ウェーハとして、自然酸化膜がないベア面が露出したシリコンウェーハ、エピタキシャルウェーハ、又はSOIウェーハのいずれかを用い、
前記SiO2のエッチング量の算出用ウェーハとして、膜厚が3nm以上のシリコン酸化膜付ウェーハを用いることを特徴とする請求項1に記載のシリコンウェーハの洗浄方法。 - 前記洗浄工程後のシリコンウェーハ表面に、前記洗浄工程中に形成された自然酸化膜を残すことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシリコンウェーハの洗浄方法。
- 予め、前記SiO2に対するSiのエッチング選択比及び洗浄時間と、表面粗さとの関係を求め、
求められた関係に基づき、前記SiO2に対するSiのエッチング選択比、洗浄時間を選定して、前記洗浄工程を行うことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のシリコンウェーハの洗浄方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のシリコンウェーハの洗浄方法により洗浄され、表裏面が粗化されたシリコンウェーハの片方の面に対し、CMP加工を行い、前記片方の面とは反対側の面のみが選択的に粗化されているシリコンウェーハを得ることを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のシリコンウェーハの洗浄方法により、枚葉方式で裏面のみが洗浄されて粗化されているシリコンウェーハを得ることを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021142210A JP7279753B2 (ja) | 2021-09-01 | 2021-09-01 | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 |
KR1020247006492A KR20240047383A (ko) | 2021-09-01 | 2022-07-19 | 실리콘 웨이퍼의 세정방법 및 제조방법 |
CN202280058117.8A CN117941033A (zh) | 2021-09-01 | 2022-07-19 | 硅晶圆的清洗方法及制造方法 |
PCT/JP2022/027965 WO2023032488A1 (ja) | 2021-09-01 | 2022-07-19 | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 |
TW111127471A TW202312264A (zh) | 2021-09-01 | 2022-07-22 | 矽晶圓的清洗方法及製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021142210A JP7279753B2 (ja) | 2021-09-01 | 2021-09-01 | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023035388A true JP2023035388A (ja) | 2023-03-13 |
JP7279753B2 JP7279753B2 (ja) | 2023-05-23 |
Family
ID=85412144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021142210A Active JP7279753B2 (ja) | 2021-09-01 | 2021-09-01 | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7279753B2 (ja) |
KR (1) | KR20240047383A (ja) |
CN (1) | CN117941033A (ja) |
TW (1) | TW202312264A (ja) |
WO (1) | WO2023032488A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07142435A (ja) * | 1993-11-15 | 1995-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シリコン基板の洗浄方法 |
JP2012054451A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 貼り合わせ基板の製造方法および半導体基板洗浄液 |
JP2015126067A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウェーハの洗浄方法 |
US20150357180A1 (en) * | 2014-06-10 | 2015-12-10 | Sunedison Semiconductor Limited (Uen201334164H) | Methods for cleaning semiconductor substrates |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0766195A (ja) | 1993-06-29 | 1995-03-10 | Sumitomo Sitix Corp | シリコンウェーハの表面酸化膜形成方法 |
JPH07240394A (ja) | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Sumitomo Sitix Corp | 半導体ウェーハの表面洗浄方法 |
US5800626A (en) | 1997-02-18 | 1998-09-01 | International Business Machines Corporation | Control of gas content in process liquids for improved megasonic cleaning of semiconductor wafers and microelectronics substrates |
JP3039483B2 (ja) | 1997-10-16 | 2000-05-08 | 日本電気株式会社 | 半導体基板の処理薬液及び半導体基板の薬液処理方法 |
WO2010118206A2 (en) | 2009-04-08 | 2010-10-14 | Sunsonix | Process and apparatus for removal of contaminating material from substrates |
JP5671793B2 (ja) | 2009-10-08 | 2015-02-18 | 株式会社Sumco | 仕上研磨を施したシリコンウェーハの洗浄方法 |
JP7142435B2 (ja) | 2017-12-29 | 2022-09-27 | Airev株式会社 | 要約装置、要約方法、及び要約プログラム |
-
2021
- 2021-09-01 JP JP2021142210A patent/JP7279753B2/ja active Active
-
2022
- 2022-07-19 CN CN202280058117.8A patent/CN117941033A/zh active Pending
- 2022-07-19 KR KR1020247006492A patent/KR20240047383A/ko unknown
- 2022-07-19 WO PCT/JP2022/027965 patent/WO2023032488A1/ja active Application Filing
- 2022-07-22 TW TW111127471A patent/TW202312264A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07142435A (ja) * | 1993-11-15 | 1995-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シリコン基板の洗浄方法 |
JP2012054451A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 貼り合わせ基板の製造方法および半導体基板洗浄液 |
JP2015126067A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウェーハの洗浄方法 |
US20150357180A1 (en) * | 2014-06-10 | 2015-12-10 | Sunedison Semiconductor Limited (Uen201334164H) | Methods for cleaning semiconductor substrates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2023032488A1 (ja) | 2023-03-09 |
TW202312264A (zh) | 2023-03-16 |
KR20240047383A (ko) | 2024-04-12 |
CN117941033A (zh) | 2024-04-26 |
JP7279753B2 (ja) | 2023-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI757441B (zh) | 洗淨液組成物 | |
KR19980070026A (ko) | 전자 표시 장치 및 기판용 세정 및 식각 조성물 | |
KR20100015375A (ko) | 스트레인드 실리콘의 클리닝된 표면들을 준비하기 위한 개선된 공정 | |
JP2005175106A (ja) | シリコンウェーハの加工方法 | |
WO2018216203A1 (ja) | GaAs基板およびその製造方法 | |
US6600557B1 (en) | Method for the detection of processing-induced defects in a silicon wafer | |
JP4817887B2 (ja) | 半導体基板の洗浄方法 | |
JP2019047108A (ja) | シリコンウェーハの評価方法及びシリコンウェーハの製造方法 | |
JP6610443B2 (ja) | 半導体シリコンウェーハの表面欠陥検査方法 | |
JP7279753B2 (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 | |
CN116918041A (zh) | 硅晶圆的清洗方法、硅晶圆的制造方法及硅晶圆 | |
JP6529715B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法 | |
US20120065116A1 (en) | Cleaning liquid and cleaning method | |
WO2022190830A1 (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法、シリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハ | |
KR20110036990A (ko) | 균일 산화막 형성 방법 및 세정 방법 | |
KR20100049856A (ko) | 기판 세정 방법 | |
US20020175143A1 (en) | Processes for polishing wafers | |
WO2023032497A1 (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法、並びに洗浄液中の過酸化水素濃度評価方法および過酸化水素濃度管理方法 | |
JP2022138089A (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法、シリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハ | |
JPH11233485A (ja) | 半導体ウエーハの加工方法および半導体ウエーハ | |
JP2007150196A (ja) | 半導体ウエーハの洗浄方法および製造方法 | |
JP7484808B2 (ja) | 半導体単結晶基板の結晶欠陥評価方法 | |
JP2004343013A (ja) | シリコン材料のエッチング方法 | |
CN115232680A (zh) | 一种用于半导体晶圆清洗过程中的清洗液组合物 | |
JP2023112235A (ja) | 膜厚測定装置用の標準サンプル群、その製造方法及び標準サンプル群を用いた膜厚測定装置の管理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230314 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230314 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230424 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7279753 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |