JP2007150196A - 半導体ウエーハの洗浄方法および製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも、薄板状にスライスされたウエーハをラッピングおよび/または平面研削により平坦化し、該平坦化されたウエーハをアルカリエッチングした後に、該アルカリエッチングされたウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄することを特徴とする半導体ウエーハの洗浄方法。
【選択図】図1
Description
上述したように、エッチング後に平面研削のような機械的作用の大きい加工工程を入れた場合、汚染物がウエーハ内部へ拡散したり、またデバイスプロセスの低温化によるゲッタリング能力不足の問題により、従来より、より汚染レベルを低くすることが必要となってきた。特にウエーハを研磨した後のみならず、それより以前の段階で金属汚染を容易に除去することが望まれる。そこで、本発明者らは、エッチング後の半導体ウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄すれば汚染物、特にCu等の重金属を効果的に除去できることを見出し、本発明を完成させた。
従ってコストも低く抑えられる。しかも、本発明の洗浄液は、従来、シリコンウエーハのエッチングに多用されていた酸エッチング液である、HF+HNO3+酢酸等と異なり、シリコンに対してほとんどエッチング作用がないので、面粗れが生じたり、厚さが減じて平坦度が悪化するようなこともない。
まず、チョクラルスキー法等により引上げたシリコン単結晶インゴットをスライスして薄円板状のウェーハに加工する(スライス工程、図1(a))。
また、本発明の洗浄方法はこのようにアルカリエッチングの後に実施するため、装置的にはアルカリエッチング装置と一体化させて組み込むことが効率的である。このようにすることで、アルカリエッチングに続いて連続的に洗浄することができる。なお、アルカリ槽に塩酸等の強酸を使用することは発熱の問題等で危険であるが、本洗浄液である弱酸のクエン酸及び過酸化水素水を用いる本発明の製造方法および洗浄方法は安全である。
本発明では、アルカリエッチング後にウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄することで、汚染物、特に金属汚染物質を効果的に除去することができる。このように、重金属汚染を除去した後に研磨するので、金属不純物をウエーハ中に拡散させてしまうようなこともなく、清浄で高品質のウエーハを容易に得ることができる。
(実施例1)
まず、チョクラルスキー法により引上げたシリコン単結晶インゴットをスライスして薄円板状のウェーハ(直径300mm、P型、方位<100>)に加工した(スライス工程、図1(a))。
その後、ウエーハを研磨する研磨工程を行った(図1(e))。
比較例として、アルカリエッチング後のウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄しなかった以外は、実施例1と同条件でスライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程・リンス・乾燥・研磨工程を行った。
実施例1と同条件で、スライス工程および平坦化工程を行った。その後、アルカリエッチング工程においては、エッチャントの使用初期で処理を行ったウエーハと、多くのシリコンウエーハを処理したエッチャントの使用末期で処理を行ったウエーハを得た(洗浄枚数約500枚:アルカリエッチング工程、図1(c))。エッチャントとして濃度52%のNaOH水溶液を用い、液温は80℃とした。
比較例として、エッチャントの使用初期および使用末期でアルカリエッチングしたウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄しなかった以外は、実施例2と同条件でスライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程・リンス・乾燥を行った。
また、比較例として、エッチャントの使用初期および使用末期でアルカリエッチングしたウエーハを濃度0.20%(容量%)のクエン酸で洗浄した以外は、実施例2と同条件でスライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程・リンス・乾燥を行った。
実施例1と同条件で、スライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程を行った。
次に、バッチ式の洗浄機を用い、アルカリエッチング後のウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄した。洗浄液として、クエン酸、過酸化水素、純水の混合溶液を用いた。濃度はクエン酸0.20%(容量%)、過酸化水素(H2O2)0.21%(容量%)となるように調整した。調整後、薬液温度を30℃に調整し180秒の洗浄を行った。洗浄後、純水リンス中ですすぎ、スピン乾燥により回転させ乾燥した。
比較例として、アルカリエッチング後のウエーハをSC−1洗浄した以外は、実施例3と同条件でスライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程・リンス・乾燥を行った。なお、SC−1洗浄液の濃度は、アンモニア3%(容量%)、過酸化水素水3%(容量%)となるように調整した。
実施例1と同条件で、スライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程を行った。
次に、バッチ式の洗浄機を用い、アルカリエッチング後のウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄した。洗浄液として、クエン酸、過酸化水素、純水の混合溶液を用いた。濃度およびpHは下記のように調整した。
(2) クエン酸 0.01%:過水0.01%・・・・・pH3.5
(3) クエン酸 0.01%:過水0.3%・・・・・・pH3.5
(4) クエン酸 0.04%:過水0.3%・・・・・・pH3.3
(5) クエン酸 0.07%:過水0.3%・・・・・・pH3.1
(6) クエン酸 0.07%:過水0.5%・・・・・・pH3.2
比較例として、アルカリエッチング後のウエーハを濃度0.20%(容量%)のクエン酸で洗浄した以外は、実施例4と同条件でスライス工程・平坦化工程・アルカリエッチング工程・リンス・乾燥を行った。
Claims (10)
- 少なくとも、薄板状にスライスされたウエーハをラッピングおよび/または平面研削により平坦化し、該平坦化されたウエーハをアルカリエッチングした後に、該アルカリエッチングされたウエーハをクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄することを特徴とする半導体ウエーハの洗浄方法。
- 前記洗浄を半導体ウエーハを前記酸性溶液中に浸漬させて行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエーハの洗浄方法。
- 前記クエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液が、クエン酸濃度0.005%以上0.5%以下、過酸化水素の濃度が0.01%以上1.0%以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体ウエーハの洗浄方法。
- 前記酸性溶液のpHを3より大きく4以下とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の半導体ウエーハの洗浄方法。
- 前記洗浄を、前記酸性溶液の液温を20℃以上60℃以下、洗浄時間を60秒以上として行うことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体ウエーハの洗浄方法。
- 少なくとも、薄板状にスライスされたウエーハをラッピングおよび/または平面研削により平坦化し、該平坦化されたウエーハをアルカリエッチングした後に研磨する半導体ウエーハの製造方法において、該アルカリエッチングされたウエーハを研磨する前にクエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液で洗浄することを特徴とする半導体ウエーハの製造方法。
- 前記洗浄を半導体ウエーハを前記酸性溶液中に浸漬させて行うことを特徴とする請求項6に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- 前記クエン酸・過酸化水素水を含む酸性溶液が、クエン酸濃度0.005%以上0.5%以下、過酸化水素の濃度が0.01%以上1.0%以下であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- 前記酸性溶液のpHを3より大きく4以下とすることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか一項に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- 前記洗浄を、前記酸性溶液の液温を20℃以上60℃以下、洗浄時間を60秒以上として行うことを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか一項に記載の半導体ウエーハの製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103021832A (zh) * | 2012-12-03 | 2013-04-03 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种通过碱腐蚀改善硅片腐蚀表面外观的加工工艺 |
JP2015086483A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | ユニ・チャーム株式会社 | 使用済み衛生用品からリサイクルパルプを製造する方法 |
KR20160028998A (ko) | 2013-07-09 | 2016-03-14 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 인듐, 갈륨, 아연, 및 산소로 이루어진 산화물(igzo)의 표면으로부터 구리를 포함하는 부착물을 세정·제거하는 액체 조성물, 및 그 액체 조성물을 이용한 igzo표면의 세정방법, 그리고 그 세정방법에 의해 세정되는 기판 |
CN114678259A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-06-28 | 杭州乾晶半导体有限公司 | 一种抛光后的碳化硅晶片的清洗方法以及相应的清洗剂 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07263403A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンウエーハの保管方法 |
JPH1092777A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法 |
JP2001064679A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-03-13 | Jsr Corp | 半導体部品用洗浄剤および半導体部品の洗浄方法 |
WO2002075798A1 (fr) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. | Eau et procede de stockage d'une tranche de silicium |
JP2005203507A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Siltronic Japan Corp | 半導体ウェーハの加工方法および半導体ウェーハ処理装置 |
WO2005098920A2 (de) * | 2004-03-30 | 2005-10-20 | Basf Aktiengesellschaft | Wässrige lösung zur entfernung von post-etch residue |
JP2006210857A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-10 | Lee Kigen | 不純物除去用洗浄液組成物及びこれを用いた不純物除去方法 |
-
2005
- 2005-11-30 JP JP2005346041A patent/JP4857738B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07263403A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコンウエーハの保管方法 |
JPH1092777A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-10 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法 |
JP2001064679A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-03-13 | Jsr Corp | 半導体部品用洗浄剤および半導体部品の洗浄方法 |
WO2002075798A1 (fr) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Shin-Etsu Handotai Co.,Ltd. | Eau et procede de stockage d'une tranche de silicium |
JP2005203507A (ja) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Siltronic Japan Corp | 半導体ウェーハの加工方法および半導体ウェーハ処理装置 |
WO2005098920A2 (de) * | 2004-03-30 | 2005-10-20 | Basf Aktiengesellschaft | Wässrige lösung zur entfernung von post-etch residue |
JP2007531992A (ja) * | 2004-03-30 | 2007-11-08 | ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト | エッチング残渣を除去するための水溶液 |
JP2006210857A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-10 | Lee Kigen | 不純物除去用洗浄液組成物及びこれを用いた不純物除去方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103021832A (zh) * | 2012-12-03 | 2013-04-03 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种通过碱腐蚀改善硅片腐蚀表面外观的加工工艺 |
KR20160028998A (ko) | 2013-07-09 | 2016-03-14 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 인듐, 갈륨, 아연, 및 산소로 이루어진 산화물(igzo)의 표면으로부터 구리를 포함하는 부착물을 세정·제거하는 액체 조성물, 및 그 액체 조성물을 이용한 igzo표면의 세정방법, 그리고 그 세정방법에 의해 세정되는 기판 |
JP2015086483A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | ユニ・チャーム株式会社 | 使用済み衛生用品からリサイクルパルプを製造する方法 |
US10280560B2 (en) | 2013-10-30 | 2019-05-07 | Unicharm Corporation | Process for manufacturing recycled pulp from used sanitary goods |
US10895039B2 (en) | 2013-10-30 | 2021-01-19 | Unicharm Corporation | Process for manufacturing recycled pulp from used sanitary goods |
CN114678259A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-06-28 | 杭州乾晶半导体有限公司 | 一种抛光后的碳化硅晶片的清洗方法以及相应的清洗剂 |
CN114678259B (zh) * | 2022-05-30 | 2023-11-17 | 杭州乾晶半导体有限公司 | 一种抛光后的碳化硅晶片的清洗方法以及相应的清洗剂 |
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