JP2005175106A - シリコンウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のシリコンウェーハの加工方法は、複数のエッチング槽に酸エッチング液とアルカリエッチング液をそれぞれ貯え、ラッピング工程11に続いて洗浄工程12を経た加工変質層を有するウェーハを酸エッチング液とアルカリエッチング液とに順次浸漬するエッチング工程13と、エッチングされたウェーハの片面を鏡面研磨する表面鏡面研磨工程18と、表面鏡面研磨されたウェーハを洗浄する洗浄工程19とを含み、エッチング工程が酸エッチングの後にアルカリエッチングが行われる工程であって、酸エッチング液がフッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液100重量%にリン酸30重量%以上を含有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
ブロック切断、外径研削、スライシング、ラッピング等の機械加工プロセスを経たシリコンウェーハは表面にダメージ層即ち加工変質層を有している。加工変質層はデバイス製造プロセスにおいてスリップ転位等の結晶欠陥を誘発したり、ウェーハの機械的強度を低下させ、また電気的特性に悪影響を及ぼすので完全に除去しなければならない。
しかし、酸エッチングを行うことにより、ラッピングで得られた平坦度が損なわれ、エッチング表面にmmオーダーのうねりやピールと呼ばれる凹凸が発生する。また、アルカリエッチングを行うことにより、局所的な深さが数μmで、大きさが数〜数十μm程度のピット(以下、これをファセットという。)が発生する等の問題点があった。
上記特許文献1に示される方法により、ラッピング後の平坦度を維持しつつ加工変質層を除去し、平面粗さを改善し、特に局所的なファセットをより浅く、滑らかな凹凸形状を持ち、パーティクルや汚染の発生しにくいエッチング表面を有するウェーハを作製することが可能となる。
一方、デバイスプロセスの搬送系でのウェーハ有無の検知はウェーハ裏面により行われているため、表面を鏡面研磨したウェーハ裏面が鏡面状であると、検知困難や誤検知するなどの問題が生じていた。
本発明の別の目的は、表面を鏡面研磨したウェーハにおいて、良好な平坦度を得、かつ裏面粗さが小さくなるシリコンウェーハの加工方法を提供することにある。
請求項1に係る発明では、フッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液にリン酸を含有した酸エッチング液によりエッチングを施すと、ラッピング後の平坦度を維持するとともに、表面粗さを低減することができる。
請求項3に係る発明では、上記工程11〜工程19を経ることにより、表面を鏡面研磨したウェーハにおいて、良好な平坦度を得、かつ裏面粗さが小さくなるシリコンウェーハを得ることができる。
請求項4に係る発明では、裏面軽研磨工程をウェーハ裏面に施すことで裏面の粗さが低減される。
また、加工変質層を有するシリコンウェーハを酸エッチング液とアルカリエッチング液とに順次浸漬するエッチング工程と、エッチングされたウェーハの片面を鏡面研磨する表面鏡面研磨工程と、表面鏡面研磨されたウェーハを洗浄する洗浄工程とを含み、エッチング工程が酸エッチングの後にアルカリエッチングが行われ、酸エッチング液がフッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液100重量%にリン酸30重量%以上を含有する本発明のシリコンウェーハの加工方法を施すことにより、表面を鏡面研磨したウェーハにおいて、良好な平坦度を得、かつ裏面粗さが小さくなるシリコンウェーハを得られる。
先ず、育成されたシリコン単結晶インゴットは、先端部及び終端部を切断してブロック状とし、インゴットの直径を均一にするためにインゴットの外径を研削してブロック体とする。特定の結晶方位を示すために、このブロック体にオリエンテーションフラットやオリエンテーションノッチを施す。このプロセスの後、ブロック体は棒軸方向に対して所定角度をもってスライスされる。
スライスされたウェーハは、ウェーハの周辺部の欠けやチップを防止するためにウェーハ周辺に面取り加工する。この面取りを施すことにより、例えば面取りされていないシリコンウェーハ表面上にエピタキシャル成長するときに周辺部に異常成長が起こり環状に盛り上がるクラウン現象を抑制することができる。図1に示すように、スライスで生じたウェーハ表面の凹凸層を機械研磨(ラッピング)してウェーハ表面の平坦度とウェーハの平行度を高める(工程11)。ラッピング工程11を施したウェーハは洗浄工程12で洗浄されて次工程へと送られる。
本発明のエッチング工程13では、複数のエッチング槽に酸エッチング液とアルカリエッチング液をそれぞれ貯え、シリコンウェーハを酸エッチング液とアルカリエッチング液とに順次浸漬する。またエッチング工程13は酸エッチング13aの後にアルカリエッチング13bが行われる。この順にそれぞれエッチングされたウェーハの表面は、形状の大きいファセットが少なくかつ深いピットの発生も抑制される。またエッチング工程13における酸エッチングを、シリコンウェーハへ酸エッチング液を滴下し、ウェーハをスピンさせることにより滴下した酸エッチング液をウェーハ表面全体に拡げてエッチングするスピンコート法により行ってもよい。
アルカリエッチング13bに用いられるアルカリエッチング液は水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムが含まれ、更に、水酸化リチウムを含んでもよい。
エッチング工程13を終えたウェーハは洗浄工程16で表面に付着した薬液が洗い流されて次工程へと送られる。
裏面軽研磨工程17及び次に続く表面鏡面研磨工程18では片面研磨方法が用いられる。これらの工程17,18で使用される研磨装置は片面研磨装置を用いてもよいし、両面研磨装置を用いて片面研磨を行ってもよい。裏面軽研磨工程17によるウェーハ裏面の研磨代は1μm以下とする。好ましくは0.3μm以下である。1μmを越えると、光沢度がデバイスメーカーの所望する数値とならず表裏面の区別がつきにくくなる。この裏面軽研磨17によりウェーハ裏面の形状は、裏面の粗さが所定の範囲に抑えられる。
表面鏡面研磨を終えたウェーハは洗浄され(工程19)、デバイス製造プロセスへと送られる。本発明の工程11〜工程19を経ることにより、表面を鏡面研磨したウェーハにおいて、良好な平坦度を得、かつ裏面粗さが小さくなるシリコンウェーハを得ることができる。
<実施例1>
先ず、シリコン単結晶インゴットをスライスし、面取り、ラッピングに続いて洗浄を経た加工変質層を有するシリコンウェーハを用意した。フッ酸、硝酸、リン酸及び水を体積比(HF:HNO3:H3PO4:H2O)が1:8:6:5となるように混合して酸エッチング液を調製した。調製した酸エッチング液をエッチング槽に貯え、液温を80℃に維持した。48重量%の水酸化カリウムを含むアルカリエッチング液を調製し、このアルカリエッチング液をエッチング槽に貯え、液温を80℃に維持した。
次いで、酸エッチング槽内の酸エッチング液を撹拌しながら上記ウェーハを浸漬してウェーハの取り代を表面と裏面を合わせた合計で20μmとなるように酸エッチングを行った。酸エッチングを終えたウェーハを超純水に浸漬してリンスを行った。
次に、アルカリエッチング槽内のエッチング液を撹拌しながら上記ウェーハを浸漬してウェーハの取り代を表面と裏面を合わせた合計で5μmとなるようにアルカリエッチングを行った。アルカリエッチングを終えたウェーハを超純水に浸漬してリンスを施してウェーハを得た。
酸エッチングにおけるウェーハの取り代を表面と裏面を合わせた合計で12μmとし、アルカリエッチングにおけるウェーハの取り代を表面と裏面を合わせた合計で11μmとした以外は実施例1と同様にしてエッチングを行った。
フッ酸、硝酸、酢酸及び水を体積比(HF:HNO3:CH3COOH:H2O)が1:8:6:5となるように混合して酸エッチング液を調製し、酸エッチングにおけるウェーハの取り代を表面と裏面を合わせた合計で12μmとし、アルカリエッチングにおけるウェーハの取り代を表面と裏面を合わせた合計で12μmとした以外は実施例1と同様にしてエッチングを行った。
実施例1,2及び比較例1で得られたウェーハ表面の所定位置を表面粗さ測定装置を用いて走査し、表面粗さ測定を行った。表面粗さの測定結果を図2〜図4に、各表面粗さ測定結果における平均ラフネスRa(average roughness)、平方根平均ラフネスRms(root-mean-square roughness)及びラフネスの最大値Rp-v(peak-to-valley)を表1にそれぞれ示す。なお、図2〜図4におけるLmsは平均表面レベル(mean surface level)を示す。
12 洗浄工程
13 エッチング工程
13a 酸エッチング
13b アルカリエッチング
17 裏面軽研磨工程
18 表面鏡面研磨工程
19 洗浄工程
Claims (6)
- ラッピング工程に続いて洗浄工程を経た加工変質層を有するシリコンウェーハをフッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液にリン酸が含有する酸エッチング液に浸漬させて前記ウェーハをエッチングするシリコンウェーハの加工方法。
- フッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液を100重量%としたとき、前記酸水溶液はリン酸を30〜40重量%含有する請求項1記載の加工方法。
- 複数のエッチング槽に酸エッチング液とアルカリエッチング液をそれぞれ貯え、ラッピング工程(11)に続いて洗浄工程(12)を経た加工変質層を有するシリコンウェーハを酸エッチング液とアルカリエッチング液とに順次浸漬するエッチング工程(13)と、
前記エッチングされたウェーハの片面を鏡面研磨する表面鏡面研磨工程(18)と、
前記表面鏡面研磨されたウェーハを洗浄する洗浄工程(19)と
を含むシリコンウェーハの加工方法において、
前記エッチング工程(13)が酸エッチングの後にアルカリエッチングが行われる工程であって、
前記酸エッチング液がフッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液100重量%にリン酸30重量%以上を含有することを特徴とするシリコンウェーハの加工方法。 - エッチング工程(13)と、表面鏡面研磨工程(18)との間に前記エッチング工程(13)で形成されたウェーハ裏面の凹凸の一部を研磨する裏面軽研磨工程(17)を更に含む請求項3記載の加工方法。
- フッ酸及び硝酸を主成分とする酸水溶液を100重量%としたとき、前記酸水溶液はリン酸を30〜40重量%含有する請求項3記載の加工方法。
- エッチング工程(13)における酸エッチングを、シリコンウェーハへ酸エッチング液を滴下し、前記ウェーハをスピンさせることにより前記滴下した酸エッチング液をウェーハ表面全体に拡げてエッチングするスピンコート法により行う請求項3記載の加工方法。
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