CN101303752A - 图表描绘装置和方法、成品率分析方法和提高支援系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种图表描绘装置和方法、成品率分析方法和提高支援系统，把m×n个单元排成矩阵状进行显示用的矩阵显示区、以及显示图表图像用的图表显示区设定在同一显示画面上。在第1数据群所属的m个变量与第2数据群所属的n个变量之间，算出m×n个统计量，且在矩阵显示区作为n行m列的矩阵元进行排列并显示。编制与矩阵元指定部指定的某矩阵元对应的表示第1数据群所属的变量与第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像，并显示在显示画面上的图表显示区。

Description

图表描绘装置和方法、成品率分析方法和提高支援系统

技术领域

本发明涉及图表描绘装置和方法。详细而言，本发明涉及显示某变量与另一变量之间的相关关系的图表描绘装置和方法。

本发明又涉及一面执行这种方法并描绘图表、一面进行成品率分析的成品率分析方法和成品率提高支援系统。

本发明又涉及执行这些方法用的计算机可读取程序。

本发明又涉及记录这些方法的计算机可读取记录媒体。

背景技术

半导体制造领域等中，将收集产品加工时的加工形状(线条宽度、氧化膜厚度等)或处理经历时间等多种大量数据并提取产品不合格因素作为一个主要目的，进行工序数据分析。

例如日本国特开2005-12095号公报中，为了分析不合格因素，揭示：从链接制造工序的每批制造的成品率与工序数据的相关分析、产品性能与工序数据的相关分析等提取相关系数大的工序数据的方法；从成品率低的批量的处理信息与处理的装置、制造工序、操作者链接并将成品率低的批量的偏差状况作为明显误差提取的方法等。使用这些方法，判别作为不合格因素的特定的一个制造工序或制造装置。

通常对收集的全部工序数据进行这种工序数据分析。然而，成为产品不合格因素的对象很多，它们相互牵连复杂。即使假设数据群中包含的特定的2个变量间存在相关关系，成为对象的变量的值也受其它变量的值影响并产生变化，乍一看就作为无相关关系的情况多。因此，提取潜在的相关关系，有困难。

因此，为了帮助上述那样分析不合格因素的人的判断，一般实施在显示画面对数据间的相关关系作图表描绘。以往，所实施的方法在某数据群所属的多个变量与另一数据群所属的多个变量之间，将一切变量之间的关系在全部画面无限描绘图表，或者想显示特定的2个变量间的相关关系时，使用键盘或鼠标器等输入装置分别指定各个变量，以描绘图像。

可是，有的情况下，有几百个工序的制造工序的工序数据间的相关关系的特征非仅一个，从而在多个数据之间形成折衷关系。用描绘在画面的端与端之间的图表效率良好地比较折衷关系是非常难的，存在需要许多分析时间和劳力的问题。

因此，本发明的课题在于，提供一种能在某数据群所属的多个变量与另一数据群所属的多个变量之间有效指定任意2个变量，且能使这2个变量间的相关关系显示得一目了然地容易看清的图表描绘装置和方法。

本发明的课题又在于，提供一种一面执行该方法并作图表描绘、一面进行成品率分析的成品率分析方法和成品率提高支援系统。

本发明的课题又在于，提供一种执行这些方法用的计算机可读取的程序。

本发明的课题又在于，提供一种记录这些方法的计算机可读取的记录媒体。

发明内容

为了解决上述课题，本发明的图表描绘装置，配备：

将m、n分别取为大于等于2的自然数时把m×n个单元排成矩阵状进行显示用的矩阵显示区和显示图表图像用的图表显示区设定在同一显示画面上的显示区设定部；

在第1数据群所属的m个变量与第2数据群所属的n个变量之间，算出m×n个统计量，且在所述矩阵显示区作为n行m列的矩阵元进行排列并显示的统计量显示处理部；

指定在所述显示画面上的所述矩阵显示区内显示的矩阵元中的某一个用的矩阵元指定部；以及

图表显示处理部，该图表显示处理部编制与所述矩阵元指定部指定的某矩阵元对应的、表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像并显示在所述显示画面上的所述图表显示区。

“第1数据群”、“第2数据群”是指例如表示对某对象物的性能的数据群、表示不合格因素的数据群，能这样采用不同类型的数据群。

本发明的图像显示装置中，显示区设定部在同一显示画面上设定把m×n个单元排成矩阵状进行显示用的矩阵显示区和显示图表图像用的图表显示区。统计量显示处理部在第1数据群所属的m个变量与第2数据群所属的n个变量之间算出m×n个统计量且在所述矩阵显示区作为n行m列的矩阵元进行排列并显示。矩阵元指定部指定在所述显示画面上的所述矩阵显示区内显示的矩阵元中的某一个。而且，图表显示处理部编制与所述矩阵元指定部指定的某矩阵元对应的表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像，并显示在所述显示画面上的所述图表显示区。

这样工作的情况下，用户(指操作此装置的人员，包括作业人员)仅通过所属的矩阵元指定部指定所属的显示画面上的所属的矩阵显示区内显示的矩阵元中的某一个，就能与该矩阵元对应地同时指定所述第1数据群所属的变量和所述第2数据群所属的变量。然后，能利用图表显示处理部使该指定的2个变量间的关系显示得容易看清。因而，用户能从多种大量的数据有效提取希望的2个变量间的关系，在一画面上显示得一目了然地容易看清。结果，能方便地完成基于上述2群变量间的关系(例如相关关系)的顺序标注，容易分析多变量间的折衷关系。

再者，统计表显示处理部也可将m×n个统计量不以n行m列的方式，而作为m行n列的矩阵元，排列并显示在所述矩阵显示区。

一实施方式的图表描绘装置，其中，所述统计量是所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的相关系数。

此一实施方式的图表描绘装置中，由统计量显示处理部将所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的相关系数作为n行m列的矩阵元排列并显示在所述矩阵显示区。因而，用户能方便地从显示的相关系数中选择例如相关系数大的单元。

一实施方式的图表描绘装置，其中，配备以用公共标识符赋予相互对应的方式存储所述第1数据群所属的m个变量和所述第2数据群所属的n个变量的链接数据表，

所述统计量显示处理部参照所述链接数据表的存储内容算出所述m×n个统计量。

此一实施方式的图表描绘装置中，用户使各种数据群存储在链接数据表，从而能使从这些各种数据群中指定的2群的变量间的关系在所述显示画面的所述图表显示区显示得容易看清。

一实施方式的图表描绘装置，其中，所述显示区设定部将所述矩阵显示区和所述图表显示区作为编入一个框的模板加以设定。

此一实施方式的图表描绘装置中，编入所述模板的所述矩阵显示区和所述图表显示区分别常占所述显示画面上的一定位置。因而用户容易识别画面的显示内容。

一实施方式的图表描绘装置，其中，所述矩阵元指定部在所述显示画面上指定某一个所述矩阵元。

在所述画面上“指定”是指例如通过用鼠标器使光标移动到某矩阵元上并点击该矩阵元进行指定的状况。

此一实施方式的图表描绘装置中，能用1次操作(例如1次点击)同时有效指定所述第1数据群所属的变量和所述第2数据群所属的变量。

一实施方式的图表描绘装置，其中，所述显示区设定部设定将所述第1数据群所属的m个变量的名称与所述矩阵显示区的各列对应地排在行方向进行显示的第1变量名显示区、以及将所述第2数据群所属的n个变量的名称与所述矩阵显示区的各行对应地排在列方向进行显示的第2变量名显示区，并且

配备使所述m个变量的名称、所述n个变量的名称分别显示在所述第1、第2变量名显示区的变量名显示处理部。

此一实施方式的图表描绘装置中，用户通过观看所述第1、第2变量名显示区显示的变量的名称，能方便地识别所述矩阵显示区显示哪个数据群所属的变量与哪个数据群所属的变量之间的统计量。

一实施方式的图表描绘装置，其中，配备：

指定所述m个变量的名称或所述n个变量的名称中的某一个的变量名指定部；以及

排列顺序处理部，该排列顺序处理部在所述变量名指定部指定m个变量的名称的一个时，对指定该名称的变量以行为单位重排所述矩阵显示区显示的统计量，使排在列方向的n个统计量形成绝对值的顺序，并且在所述变量名指定部指定n个变量的名称的一个时，对指定该名称的变量以列为单位重排所述矩阵显示区显示的统计量，使排在行方向的m个统计量形成绝对值的顺序。

这里，重排的“顺序”包括递升顺序和递降顺序。

此一实施方式的图表描绘装置中，用户通过所属的变量名指定部指定所述m个变量的名称的一个，从而所述排列顺序处理部能对指定该名称的变量按2绝对值的顺序重排在列方上排列的n个统计量。而且，用户通过所属的变量名指定部指定所述n个变量的名称的一个，从而所述排列顺序处理部能对指定该名称的变量按2绝对值的顺序重排在行方上排列的m个统计量。结果，作业人员能一目了然地方便掌握所述2群的变量间关系(例如相关关系)的顺序标注。

一实施方式的图表描绘装置，其中，将所述图表图像以表示所述第1数据群所属的变量的第1坐标轴和表示所述第2数据群所属的变量的第2坐标轴为基准显示在所述图表显示区，

由所述矩阵元指定部将指定从所述某矩阵元改变到另一矩阵元时，所述图表显示处理部判断所述某矩阵元与所述另一矩阵元之间行或列是否一致，一面在所述某矩阵元与所述另一矩阵元之间行一致时，维持所述第2坐标轴的标度，在所述某矩阵元与所述另一矩阵元之间列一致时，维持所述第1坐标轴的标度、一面编制与所述另一矩阵元对应的表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像。

此一实施方式的图表描绘装置中，由所述矩阵元指定部将指定从所述某矩阵元改变到另一矩阵元时，所述图表显示处理部判断所述某矩阵元与所述另一矩阵元之间行或列是否一致，在所述某矩阵元与所述另一矩阵元之间行一致时，一面维持所述第2坐标轴的标度、一面编制与所述另一矩阵元对应的表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像。反之，所属的图表显示处理部在所述某矩阵元与所述另一矩阵元之间列一致时，一面维持所述第1坐标轴的标度、一面编制与所述另一矩阵元对应的表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像。因而，用户在仅改变所述第1数据群所属的变量的指定和所述第2数据群所属的变量的指定中的一方时，能方便地识别该改变带来的所述图表图像的变化趋势。

一实施方式的图表描绘装置，其中，配备对所述链接数据表定期分配所述第1数据群所属的m个变量和所述第2数据群所属的n个变量并更新所属的链接数据表的存储内容的服务器，

所述统计量显示处理部与更新所述链接数据表存储内容同步地算出所述m×n个统计量，显示在所述矩阵显示区。

此一实施方式的图表描绘装置中，所述统计量显示处理部与更新所述链接数据表存储内容同步地算出所述m×n个统计量，显示在所述矩阵显示区。即，自动完成需要的运算。因而，用户能实时得到需要的消息。

本发明的图表描绘方法，包含以下步骤：

将m、n分别取为大于等于2的自然数时把m×n个单元排成矩阵状进行显示用的矩阵显示区和显示图表图像用的图表显示区设定在同一显示画面上的步骤；

在第1数据群所属的m个变量与第2数据群所属的n个变量之间，算出m×n个统计量，且在所述矩阵显示区作为n行m列的矩阵元进行排列并显示的步骤；

指定在所述显示画面上的所述矩阵显示区内显示的矩阵元中的某一个的步骤；以及

编制与所述矩阵元指定部指定的某矩阵元对应的、表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像，并显示在所述显示画面上的所述图表显示区的步骤。

根据本发明的图表描绘方法，仅指定所属的显示画面上的所属的矩阵显示区内显示的矩阵元中的某一个，就能与该矩阵元对应地同时指定所述第1数据群所属的变量和所述第2数据群所属的变量。然后，能使该指定的2个变量间的关系显示得容易看清。因而，用户能从多种大量的数据有效提取希望的2个变量间的关系，在一画面上显示得一目了然地容易看清。结果，能方便地完成基于上述2群变量间的关系(例如相关关系)的顺序标注，容易分析多变量间的折衷关系。

本发明的成品率分析方法，执行上述图表描绘方法，分析制造某产品的制造工序中发生异常的原因，其中

所述第1数据群是表示对所述产品的性能的数据群，所述第2数据群是表示对所述产品的不合格因素的数据群，

一面执行所述图表描绘方法，将表示所述性能的数据群所属的变量与表示所述不合格因素的数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像显示在所述显示画面的所述图表显示区、一面提取对所述产品的不合格因素。

本发明的成品率分析方法一面执行所述图表描绘方法，将表示所述性能的数据群所属的变量与表示所述不合格因素的数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像显示在所述显示画面的所述图表显示区、一面提取对所述产品的不合格因素。因而，用户不怎么花费分析时间和劳力就能简便且精度良好地提取不合格因素。

一实施方式的成品率分析方法，其中，所述图表图像是关于表示依赖于所述不合格因素的数据群所属的变量的所述性能的数据群所属的变量的箱线图。

此一实施方式的成品率分析方法中，利用关于表示依赖于所述不合格因素的数据群所属的变量的所述性能的数据群所属的变量的箱线图，作业人员能在一画面上一目了然地掌握所述性能由于哪个不合格因素而降低。所以，不花费许多分析时间和劳力就能简便且精度良好地提取不合格因素。

本发明的成品率提高支援系统，配备上述图表描绘装置，消除制造某产品的制造工序中的异常发生源，其中

所述第1数据群是表示对所述产品的性能的数据群，所述第2数据群是表示对所述产品的不合格因素的数据群，

一面利用所述图表描绘装置将表示所述性能的数据群所属的变量与表示所述不合格因素的数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像显示在所述显示画面的所述图表显示区、一面提取对所述产品的不合格因素，并且

配备将提取的不合格因素以反馈到所述制造工序的方式输出的不合格因素反馈部。

本发明的成品率提高支援系统，利用所述图表描绘装置，一面将表示所述性能的数据群所属的变量与表示所述不合格因素的数据群所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像显示在所述显示画面的所述图表显示区、一面提取对所述产品的不合格因素。因而，能不花费许多分析时间而简便且精度良好地提取不合格因素。不合格因素反馈部将提取的不合格因素以反馈到所述制造工序的方式输出。其结果，能实现所述制造工序的稳定化，可支援成品率的提高。

本发明的程序，用于使上述图表描绘方法或成品率分析方法得以在计算机执行。

根据本发明的程序，能使上述图表描绘方法或成品率分析方法得以在计算机执行。

本发明的计算机可读取记录媒体，用于使上述程序得以在计算机执行。

根据本发明的计算机可读取记录媒体，通过使计算机读取记录媒体的记录内容，能使上述图表描绘方法或成品率分析方法得以在计算机执行。

附图说明

从下面的详细说明和附图会充分理解本发明。附图仅用于说明，并非限制本发明。附图中，

图1是示出一本发明实施方式的图表描绘装置的概略组件组成的图，

图2是示例上述图表描绘装置存储成为图表描绘对象的数据的链接数据表的内容的图，

图3是示例图表描绘模板各区中显示的显示内容的图，

图4是示例图表描绘模板的初始状态的图，

图5A是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中在行方向改变矩阵元的指定的图，

图5B是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中在行方向改变矩阵元的指定的图，

图5C是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中在行方向改变矩阵元的指定的图，

图6A是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中在列方向改变矩阵元的指定的图，

图6B是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中在列方向改变矩阵元的指定的图，

图6C是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中在列方向改变矩阵元的指定的图，

图7A是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中改变矩阵元排列顺序的指定的图，

图7B是说明使用上述图表描绘装置的分析操作中改变矩阵元排列顺序的指定的图，

图8A是示例将上述图表描绘装置用于成品率分析时在图表描绘模板的各区显示的显示内容的图，

图8B是以放大方式示出图8A的图表描绘模板的图表显示区的图，

图9是示例将上述图表描绘装置用于成品率分析时的链接数据表的内容的图，

图10是示出包含上述图表描绘装置的成品率提高支援系统的总体组成的图，

图11是示出上述图表描绘装置的图表描绘方法的流程图，

图12是详细示出图11中的步骤S4的处理流程的图。

具体实施方式

下面，利用图示的实施方式较详细地说明本发明。

实施方式1

图2是示例后文阐述的一实施方式的图表描绘装置存储成为图表描绘对象的数据的链接数据表2的内容。此例中，每一批产品Lt1、Lt2、……、LtL以相互对应(链接)方式存储作为第1数据群2a所属的M个变量的“性能”Q1、Q2、……、QM和作为第2数据群2b所属的N个变量的“因素”F1、F2、……、FN。

半导体制造领域的例子中，“性能”Q1、Q2、……、QM表示的数据是例如晶圆测试或电特性测试等得到的器件性能，“因素”F1、F2、……、FN表示的数据是氧化膜厚度、线条宽度、检查的工序数据等。

利用作为公共标识符2c的L个“产品ID”Lt1、Lt2、……、LtL确定各批产品。即，此链接数据表2中，每行利用L个标识符(批号)Lt1、Lt2、……、LtL对作为M个变量的“性能”Q1、Q2、……、QM和作为N个变量的“因素”F1、F2、……、FN赋予关联关系。

再者，作业人员能使各种数据群预先存储在链接数据表2中。

图1示出一本发明实施方式的图表描绘装置1的概略组件组成。此图表描绘装置配备图2所示的链接数据表2、进行使用后文阐述的图表描绘模板的显示的图表描绘模板部3、作业人员从图2所示链接数据表2中存放的多变量指定分析对象用的变数选择操作部1f、以及作业人员在后文阐述的显示画面上指定2个变量用的分析操作部1g。图表描绘模板部3包含编辑变数选择操作部1f选择的成为分析对象的M个变量和N个变量的数据编辑功能部1a、算出M×N个统计量(例如相关系数)的统计量计算功能部1b、将算出的M×N个统计量作为N行M列的矩阵元进行配置的数据配置功能部1c、在显示画面上描绘由分析操作部1g指定的3个变量间的关系的图表输出功能部1d、以及进行多变量之间的关系的分析的因素分析功能部1e。

利用按规定的程序进行工作的CPU(中央运算处理装置)构成图表描绘模板部3的各部。由硬盘驱动器等外部存储装置构成链接数据表2。由鼠标器或键盘等输入装置构成变数选择操作部1f。而且，由例如用笔触摸显示画面的某处进行输入的公知触摸板式LCD(液晶显示装置)构成分析操作部1g。当然，分析操作部1g也可以是用鼠标器使显示画面上的光标移动并利用点击指定显示画面中的某处的输入方式。

图4表示上述图表描绘模板部3作为显示区设定部起作用而设定在显示画面上的图表描绘模板4的初始状态。本例中，此模板4在右下配置矩阵状排列并显示上述M×N个统计量用的矩阵显示区4c，在右上配置第1变量名显示区4a、在左下配置第2变量名显示区4b，在左上配置图表显示区4d。将这些区4a～4d编入在同一显示画面显示的一个矩形框中。

图3示例图表描绘模板4的各区4a～4d显示的显示内容。

矩阵显示区4c中，上述数据配置功能部1c和统计量计算功能部1b作为统计量显示处理部起作用，将M×N个统计量(本例中为“性能”Q1、Q2、……、QM这第1数据群2a所属的M个变量与“因素”F 1、F2、……、FN这第2数据群2b所属的N个变量之间的M×N个相关系数)作为N行M列的矩阵元排列并加以显示。这样，使作业人员能方便地从显示的相关系数选择例如相关系数大的单元。

第1变量名显示区4a中，上述图表描绘模板部3作为变量名显示处理部起作用，与矩阵显示区4c的各列对应地在行方向排列并显示第1数据群4a所属的M个变量的名称(本例中为“性能Q1”、“性能Q2”、……、“性能QM”)。同样，与矩阵显示区4c的各行对应地在列方向排列并显示第2数据群4b所属的N个变量的名称(本例中为“因素F1”、“因素F2”、……、“因素FN”)。这样，使作业人员通过看第1、第2变量名显示区4a、4b显示的变量的名称，能方便地识别在矩阵显示区4c显示属于哪个数据群的变量与属于哪个数据群的变量之间的统计量。

又，图表显示区4d中，上述图表输出功能部1d作为图表显示处理部起作用，显示表示第1数据群2a所属的变量与第2数据群所属的变量2b之间的2个变量间的关系的图表图像。本例中，作业人员将分析操作部1g用作矩阵元指定部，按照指定显示画面上的矩阵显示区4c内显示的矩阵元中第8行第4列的矩阵元3b(即相关系数“0.55”)，显示表示该列(第4列)所对应的性能Q4与该行(第8行)所对应的因素F8之间的相关系数的分布图3c。

再者，本例中，将作为表示第1数据群2a所属的变量“性能Q4”的第1坐标轴的纵轴(Y轴)和作为表示第2数据群2b所属的变量“因素F8”的第2坐标轴的横轴(X轴)作为基准，显示分布图3c。而且，分布图3c中的各点3d分别表示某批产品的数据。再者，也可改换纵轴和横轴地进行显示。

这样，此图表描绘装置1中，与作业人员利用分析操作部1g指定矩阵显示区4c内的矩阵元的分析操作联动地将该矩阵元所对应的图表图像(指定的2个变量间的关系)显示在图表显示区4d。利用由上述分析操作部1g指定显示在矩阵显示区4c的某一矩阵元的输入方式，能用1次操作(例如1此点击)同时有效指定第1数据群2a所属的变量和第2数据群2b所属的变量。

接着，根据图11和图12的流程图说明此图表描绘装置1的图表描绘方法。作为其前提，由作业人员如图2所示例那样预先编辑链接数据表2的内容。

如图11所示，启动图表描绘装置1的动作，则首先在步骤S1将图表描绘模板4的初始状态(参考图4)显示在显示画面。

接着，在图11中的步骤S2根据链接数据表2的内容显示行方向、列方向的变量名和矩阵元。此例中，如图5A所示，在第1变量名显示区4a显示“性能Q1”、“性能Q2”、……、“性能Q10”，作为第1数据群2a所属的M(＝10)个变量的名称。同样，在第2变量名显示区4b显示“因素F1”、“因素F2”、……、“因素F10”，作为第2数据群2b所属的N(＝10)个变量的名称。还在矩阵显示区4c排列并显示“性能Q1”、“性能Q2”、……、“性能Q10”这10个第1数据群2a所属的变量与“因素F1”、“因素F2”、……、“因素F10”这10个第2数据群2b所属的变量之间的M×N＝10×10个相关系数，作为10行10列的矩阵元。

接着，图11的步骤S3中，图表描绘模板部3判断是否存在作业人员的使用分析操作部1g的矩阵元指定。这里，如果存在矩阵元指定(S3中为“是”)，进至步骤S4，运算指定的矩阵元中关注的图表，将该图表图像显示在图表显示区4d，如图5A中所示。本例中，按照指定显示画面上的矩阵显示区4c内显示的矩阵元中第6行第4列的矩阵元(即相关系数“-0.44”)，显示表示该列(第4列)所对应的性能Q4与该行(第6行)所对应的因素F8之间的相关系数的分布图5a。

这样动作的情况下，作业人员仅通过分析操作部1g指定显示画面上的矩阵显示区4c内显示的矩阵元中的某一个，就能与该矩阵元对应地同时指定第1数据群2a所属的变量和第2数据群2b所属的变量。而且，能使其指定的2个变量间的关系显示得容易看清。所以，作业人员能从多种大量数据有效提取希望的2个变量间的关系，可一目了然地显示在一个画面上。结果，能方便地完成基于上述2群变量间的关系(例如相关关系)的顺序标注，容易分析多变量间的折衷关系。

接着，图11的步骤S5中，图表描绘模板部3判断是否存在作业人员的将分析操作部1g用作变量名指定部的变量名指定。具体而言，判断是否指定如图7A所示例那样在第1变量名显示区4a显示的变量名7a(本例中为“性能Q8”)或是否指定如图7B所示例那样在第2变量名显示区4b显示的变量名7b(本例中为“因素F1”)。这里，如果未指定变量名(图5中未“否”)，立即返回步骤S3。反之，指定变量名(图5中为“是”)，则图表描绘模板部3作为排列顺序处理部起作用，对指定的变量名按统计量绝对值的顺序重排矩阵元。具体而言，指定图7A所示例那样在第1变量名显示区4a显示的变量名7a时，对指定该名称的变量“性能Q8”以行为单位重排矩阵显示区4c中显示的统计量，使排在列方向的N个统计量形成绝对值的顺序(本例中为递降顺序)。或者，指定图7B所示例那样在第2变量名显示区4b显示的变量名7b时，对指定该名称的变量“因素F1”以列为单位重排矩阵显示区4c中显示的统计量，使排在行方向的M个统计量形成绝对值的顺序(本例中为递降顺序)。其结果，作业人员能一目了然地容易掌握2群变量间的关系(本例中为基于相关系数的顺序标注)。

再者，重排的顺序能通过作业人员操作分析操作部1g切换递升顺序或递降顺序。作业人员可根据第1数据群2a所属的变量和第2数据群2b所属的变量的性质选择递升顺序或递降顺序。而且，作业人员能通过操作分析操作部1g使重排的顺序复原。

从图11的步骤S5或步骤S6经步骤S3，循环又转到步骤S4时，也就是显示画面上的矩阵显示区4c内显示的矩阵元中已指定某一矩阵元时，在步骤S4具体进行图12的流程图所示流程的处理。

首先，在图12的步骤S11中，图表描绘模板部3判断已在显示的图表图像所对应的矩阵元(关注矩阵元)与当前指定的矩阵元是否相同。如果两者相同(S11中为“是”)，不必更改正在显示的图表图像，所以立即返回主程序(图11)。反之，已在显示的图表图像所对应的矩阵元(关注矩阵元)与当前指定的矩阵元不同(步骤S11中为“否”)，则在步骤S12判断两者的行是否相同。这里，如果两者的行相同(步骤S12中为“是”)，维持有关横轴的标度，仅改变有关纵轴的标度，并运算图表(S13)，将得到的图表图像显示在图表显示区4d(S17)。接着，若两者的行不同(步骤S12中为“否”)，则在步骤S14判断两者的列是否相同。这里，如果两者的列相同(步骤S14中为“是”)，维持有关纵轴的标度，仅改变有关横轴的标度，并运算图表(S15)，将得到的图表图像显示在图表显示区4d(S17)。若两者的行和列都不同(S12中为“否”，S14中为“否”)，则在步骤S16改变有关纵轴的变量和有关横轴的变量两者，并运算图表(S17)，将得到的图表图像显示在图表显示区4d(S17)。

这样进行处理时，下面的分析操作容易且迅速。

例如，设作业人员对图5A中的关注矩阵元(第6行第4列)当前指定第6行第5列的矩阵元，如图5B所示。此指定中，两者的行是同一第6行，列则从第4列改变到第5列，所以图表描绘模板部3维持有关横轴的标度5g，仅将有关纵轴的变量从性能Q4改变到性能Q5，并运算图表，进行显示。接着，设作业人员对图5B中的关注矩阵元(第6行第5列)当前指定第6行第7列的矩阵元，如图5C所示。然后，循环又转到步骤S4时，此指定中，两者的行是同一第6行，列则从第5列改变到第7列，所以图表描绘模板部3又维持有关横轴的标度5g，仅将有关纵轴的变量从性能Q5改变到性能Q7，并运算图表，进行显示。

又，设作业人员对图6A中的关注矩阵元(第2行第5列)当前指定第5行第5列的矩阵元，如图6B所示。此指定中，两者的列是同一第5列，行则从第2行改变到第5行，所以图表描绘模板部3维持有关纵轴的标度6g，仅将有关横轴的变量从性能因素F2改变到因素F5，并运算图表，进行显示。接着，设作业人员对图6B中的关注矩阵元(第5行第5列)当前指定第7行第5列的矩阵元，如图6C所示。然后，循环又转到步骤S4时，此指定中，两者的列是同一第5行，行则从第5行改变到第7行，所以图表描绘模板部3又维持有关横轴的标度6g，仅将有关纵轴的变量从因素F5改变到因素F7，并运算图表，进行显示。

一个接一个地进行这种仅列的改变或仅行的改变，则作业人员能方便地在同一显示画面上识别该改变带来的图表显示区4d上的图表图像的变化趋势。因而，能方便且高准确度地进行产品不合格因素等的提取。

上述图表描绘方法中，执行图11中的步骤S2的处理时，图表显示区4d不显示图表图像，但不限于此。例如也可用默认方式指定矩阵显示区4c内的特定矩阵元(例如大致中央的矩阵元)，并显示表示对应于该矩阵元所对应的列、行的性能与因素之间的相关关系的分布图。

再者，也可作为计算机执行用的程序构建上述图表描绘方法。

又，可将这种程序记录在CD-ROM等计算机可读取的记录媒体进行散布。通过将所述程序装到通用计算机，能利用通用计算机执行所述图表描绘方法。

实施方式2

半导体产品领域中，各批产品在多个制造工序依次受到处理，从而成为产品。各制造工序中，为了提高生产率，多数分别并行使用可实施其制造工序的多个制造装置。因此，产品批量的成品率降低时，重要的是迅速分析哪一制造装置(或作业人员)存在不合格因素。

图9是示例图表描绘装置1存储成为图表描绘对象的数据的链接数据表8的内容。此例中，每一批产品Lt1、Lt2、……、LtL以相互对应(链接)方式存储作为第1数据群8a所属的M个变量的“性能”Q1、Q2、……、QM和作为第2数据群8b所属的O个变量的“工序名”P1、P2、……、PO。

半导体制造领域的例子中，“性能”Q1、Q2、……、QM表示的数据是例如晶圆测试或电特性测试等得到的器件性能，“工序名”P1、P2、……、PO表示的数据是例如该“工序名”表示的制造工序中使用的制造装置的设备号或作业人员名称等。由管理产品批量的服务器(包含处理履历信息数据库)提供此“工序名”表示的数据。

利用作为公共标识符2c的L个“产品ID”Lt1、Lt2、……、LtL，确定各批产品。即，此链接数据表2中，每行利用L个标识符(批号)Lt1、Lt2、……、LtL，对作为M个变量的“性能”Q1、Q2、……、QM和作为O个变量的“工序名”P1、P2、……、PO赋予关联关系。

本实施方式中，说明通过由图表描绘装置1根据图9的链接数据表8进行图表描绘而有助于迅速分析哪一制造装置存在不合格因素的成品率分析方法。

使用图9的链接数据表时，图表描绘模板9的矩阵显示区9c、第1变量名显示区9a、第2变量名显示区9b、图表显示区9d，显示图8A示例的显示内容。再者，取M＝10、O＝10。

矩阵显示区9c中，上述数据配置功能部1c和统计量计算功能部1b作为统计量显示处理部起作用，将10×10个统计量(本例中为“性能”Q1、Q2、……、Q10这第1数据群2a所属的10个变量与“工序名”P1、P2、……、P10这第2数据群2b所属的10个变量之间的10×10个统计量)作为10行10列的矩阵元排列并加以显示。本例中，显示的统计量是每一实施“工序名”表示的制造工序的制造装置求出的“性能”分布比(由统计量计算功能部1b利用重迭代分析算出)。这样，使作业人员能方便地从显示的分布比中选择例如分布比大的单元。

第1变量名显示区9a中，上述图表描绘模板部3作为变量名显示处理部起作用，与矩阵显示区9c的各列对应地在行方向排列并显示第1数据群4a所属的10个变量的名称(本例中为“性能Q1”、“性能Q2”、……、“性能QM”)。同样，与矩阵显示区9c的各行对应地在列方向排列并显示第2数据群4b所属的10个变量的名称(本例中为“工序名P1”、“工序名P2”、……、“工序名P3”)。这样，使作业人员通过看第1、第2变量名显示区9a、9b显示的变量的名称，能方便地识别在矩阵显示区9c显示属于哪个数据群的变量与属于哪个数据群的变量之间的统计量。

又，图表显示区9d中，上述图表输出功能部1d作为图表显示处理部起作用，显示表示第1数据群2a所属的变量与第2数据群所属的变量2b之间的2个变量间的关系的图表图像。本例中，作业人员将分析操作部1g用作矩阵元指定部，按照指定显示画面上的矩阵显示区9c内显示的矩阵元中第3行第4列的矩阵元8e(即分布比“18.74”)，将每一实施该列的“工序名”P3表示的制造工序的各制造装置CS_02、CS_03、CS_04求出的性能Q4作为箱线图加以显示。

详细而言，如图8B所示，图表显示区9d中包含表示与指定的矩阵元8e对应的工序名(本例中为“工序名P3”)的区域91、表示该矩阵元8e的分布比(F值，本例中为“18.74”)的区域92、表示实施该“工序名”P3所示制造工序的各制造装置CS_02、CS_03、CS_04的设备号的区域93、用箱线图显示每一制造装置CS_02、CS_03、CS_04的“性能”Q4的区域94。如所周知，由最大值、第3四分位值、中央值、第1四分位值、最小值表现箱线图。

如图8A所示例那样图表描绘模板9的矩阵显示区9c、第1变量名显示区9a、第2变量名显示区9b、图表显示区9d分别显示上述显示内容后，与对实施方式1用图11和图12的流程图说明的相同，也执行分析操作。

这样动作的情况下，作业人员仅通过分析操作部1g指定显示画面上的矩阵显示区9c内显示的矩阵元中的某一个，就能与该矩阵元对应地同时指定第1数据群8a所属的变量和第2数据群8b所属的变量。而且，能使其指定的2个变量间的关系显示得容易看清。具体而言，能按照指定显示画面上的矩阵显示区9c内显示的矩阵元，使每一实施该列的“工序名”表示的制造工序的制造装置求出的“性能”作为箱线图显示。所以，作业人员能从多种大量数据有效提取依赖于各制造装置的产品批量的“性能”，进而能有效提取成品率。结果，作业人员能在一个画面上一目了然地掌握什么不合格因素(制造装置)使上述性能降低。

又，在矩阵显示区9c指定矩阵元时，一个接一个地进行仅列的改变或仅行的改变，则作业人员能方便地在同一显示画面上识别该改变带来的图表显示区9d上的图表图像的变化趋势。因而，能方便且高准确度地进行产品不合格因素等的提取。

其结果，用户能不怎么花费分析时间和劳力而简便且高精度地提取不合格因素。

再者，也可作为计算机执行用的程序构建上述成品率分析方法。

又，可将这种程序记录在CD-ROM等计算机可读取的记录媒体进行散布。通过将所述程序装到通用计算机，能利用通用计算机执行所述成品率分析方法。

实施方式3

图10示出包含图1所示图表描绘装置1的适合管理半导体产品领域等的制造工序的成品率提高支援系统的总体组成。

此成品率提高支援系统配置成可通过数据通信路径10d，使作为管理制造工序的服务器的制造工序管理装置10b、作为测量并管理产品批量的半导体性能(成品率)的服务器的测试工序管理装置10c、包含已阐述的图表描绘装置1的成品率因素分析装置10a相互通信。

而且，制造工序管理装置10b包含存放作为有关制造工序的处理履历数据或工序数据的数据库10e。测试工序管理装置10c包含存放测量的半导体性能的数据库10f。

本例中，成品率因素分析装置10a形成的状态为：由记录执行已阐述的图表描绘方法用的程序的计算机可读取媒体和读出并执行该记录媒体的通用计算机构成图表描绘装置1。

从测试工序管理装置10c和制造工序管理装置10b分别通过数据通信路径10d定期对成品率因素分析装置10a分配作为表示性能的变量的半导体性能数据群I1和作为表示制造工序不合格因素的变量的工序数据群I2。成品率因素分析装置10a使这些数据群I1、I2读入图表描绘装置1的链接数据表(参考图2)。

成品率因素分析装置10a一面利用图表描绘装置1使表示半导体性能数据群I1所属的变量和工序数据群I2所属的变量之间的2个变量间的关系的图表图像显示在显示画面上的图表显示区、一面提取对产品的不合格因素。然后，成品率因素分析装置10a作为不合格因素反馈部起作用，通过数据通信路径10d，将表示提取的不合格因素的信息I3反馈到制造工序管理装置10b。因而，能消除上述制造工序中的异常发生源。其结果，能实现所述制造工序的稳定化，可支援成品率的提高。

至此，说明了本发明，但显然可作各种变换。不应将这种变换作为脱离本发明的精神和范围，本领域业务人员自明的一切变换都包含在后续的权利要求书的范围内。

Claims (17)

1、一种图表描绘装置，其特征在于，配备：

m、n分别取为大于等于2的自然数时，将用于把m×n个单元排成矩阵状进行显示的矩阵显示区、以及用于显示图表图像的图表显示区设定在同一显示画面上的显示区设定部；

在第1数据群所属的m个变量与第2数据群所属的n个变量之间，算出m×n个统计量，且在所述矩阵显示区作为n行m列的矩阵元进行排列并显示的统计量显示处理部；

用于在所述显示画面上的所述矩阵显示区内显示的矩阵元中指定任何一个矩阵元的矩阵元指定部；以及

图表显示处理部，该图表显示处理部编制与由所述矩阵元指定部指定的一个矩阵元对应的、表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量这2个变量间的关系的图表图像，并显示在所述显示画面上的所述图表显示区。

2、如权利要求1中所述的图表描绘装置，其特征在于，

所述统计量是所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量之间的相关系数。

3、如权利要求1中所述的图表描绘装置，其特征在于，

配备以用公共标识符来相互对应的方式存储所述第1数据群所属的m个变量和所述第2数据群所属的n个变量的链接数据表，

所述统计量显示处理部参照所述链接数据表的存储内容，算出所述m×n个统计量。

4、如权利要求1中所述的图表描绘装置，其特征在于，

所述显示区设定部将所述矩阵显示区和所述图表显示区编入一个框，并将此作为模板加以设定。

5、如权利要求1中所述的图表描绘装置，其特征在于，

所述矩阵元指定部在所述显示画面上指定任何一个所述矩阵元。

6、如权利要求1中所述的图表描绘装置，其特征在于，

所述显示区设定部设定第1变量名显示区和第2变量名显示区，所述第1变量名显示区将所述第1数据群所属的m个变量的名称与所述矩阵显示区的各列对应地排在行方向进行显示，所述第2变量名显示区将所述第2数据群所属的n个变量的名称与所述矩阵显示区的各行对应地排在列方向进行显示，并且

配备使所述m个变量的名称、所述n个变量的名称分别显示在所述第1、第2变量名显示区的变量名显示处理部。

7、如权利要求6中所述的图表描绘装置，其特征在于，配备：

指定所述m个变量的名称或所述n个变量的名称中的任何一个变量的名称的变量名指定部；以及

排列顺序处理部，该排列顺序处理部在所述变量名指定部指定所述m个变量的名称中的一个变量的名称时，对该名称被指定的变量以行为单位重排所述矩阵显示区显示的统计量，使排在列方向的n个统计量按照绝对值的顺序排列，并且在所述变量名指定部指定所述n个变量的名称的一个变量的名称时，对该名称被指定的变量以列为单位重排所述矩阵显示区显示的统计量，使排在行方向的m个统计量按照绝对值的顺序排列。

8、如权利要求1中所述的图表描绘装置，其特征在于，

将所述图表图像以第1坐标轴和第2坐标轴为基准显示在所述图表显示区，所述第1坐标轴表示所述第1数据群所属的变量，所述第2坐标轴表示所述第2数据群所属的变量，

由所述矩阵元指定部从指定所述一个矩阵元改变到指定另一个矩阵元时，所述图表显示处理部判断所述一个矩阵元与所述另一个矩阵元之间行或列是否一致，在所述一个矩阵元与所述另一个矩阵元之间行一致时，维持所述第2坐标轴的标度，在所述一个矩阵元与所述另一个矩阵元之间列一致时，维持所述第1坐标轴的标度，同时编制与所述另一个矩阵元对应的、表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量这2个变量间的关系的图表图像。

9、如权利要求3中所述的图表描绘装置，其特征在于，

配备更新所述链接数据表的存储内容的服务器，该服务器通过对所述链接数据表定期分配所述第1数据群所属的m个变量和所述第2数据群所属的n个变量来进行更新，

所述统计量显示处理部同步于所述链接数据表的存储内容的更新，算出所述m×n个统计量，显示在所述矩阵显示区。

10、一种图表描绘方法，其特征在于，包含以下步骤：

m、n分别取为大于等于2的自然数时，将用于把m×n个单元排成矩阵状进行显示的矩阵显示区、以及用于显示图表图像的图表显示区设定在同一显示画面上的步骤；

在第1数据群所属的m个变量与第2数据群所属的n个变量之间，算出m×n个统计量，且在所述矩阵显示区作为n行m列的矩阵元进行排列并显示的步骤；

在所述显示画面上的所述矩阵显示区内显示的矩阵元中指定任何一个矩阵元的步骤；以及

编制与所述矩阵元指定部指定的一个矩阵元对应的、表示所述第1数据群所属的变量与所述第2数据群所属的变量这2个变量间的关系的图表图像，并显示在所述显示画面上的所述图表显示区的步骤。

11、一种成品率分析方法，其特征在于，

执行权利要求10记载的图表描绘方法，分析制造某产品的制造工序中发生异常的原因，其中

所述第1数据群是表示关于所述产品的性能的数据群，所述第2数据群是表示关于所述产品的不合格因素的数据群，

一面执行所述图表描绘方法，将表示所述性能的数据群所属的变量与表示所述不合格因素的数据群所属的变量这2个变量间的关系的图表图像显示在所述显示画面的所述图表显示区、一面推断出关于所述产品的不合格因素。

12、如权利要求11中所述的成品率分析方法，其特征在于，

所述图表图像是关于表示所述性能的数据群所属的变量的箱线图，所述表示所述性能的数据群所属的变量依赖于所述表示不合格因素的数据群所属的变量。

13、一种成品率提高支援系统，其特征在于，

配备权利要求1记载的图表描绘装置，消除在制造一种产品的制造工序中发生异常的原因，其中

所述第1数据群是表示关于所述产品的性能的数据群，所述第2数据群是表示关于所述产品的不合格因素的数据群，

一面利用所述图表描绘装置将表示所述性能的数据群所属的变量与表示所述不合格因素的数据群所属的变量这2个变量间的关系的图表图像显示在所述显示画面的所述图表显示区、一面推断出关于所述产品的不合格因素，并且

配备不合格因素反馈部，该不合格因素反馈部将推断出的不合格因素以反馈到所述制造工序的方式进行输出。

14、一种程序，其特征在于，

用于使权利要求10记载的图表描绘方法得以在计算机执行。

15、一种程序，其特征在于，

用于使权利要求11记载的成品率分析方法得以在计算机执行。

16、一种计算机可读取记录媒体，其特征在于，

用于使权利要求14记载的程序得以在计算机执行。

17、一种计算机可读取记录媒体，其特征在于，

用于使权利要求15记载的程序得以在计算机执行。

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