JP2018120533A - データ処理システム、データ処理方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
<1−1.データ処理システムの概略構成>
図1は、一実施形態に係るデータ処理システム100として機能する情報処理システム1の一例を概略的に示すブロック図である。データ処理システム100は、例えば、複数の基板処理についての各種動作の状態に係る時系列のデータを取得して、該時系例のデータを評価することで動作の状況を認識し、評価結果および認識結果に基づく情報を出力することができる。基板処理の対象物は、半導体基板であってもよいし、ガラス基板等の半導体基板以外の基板であってもよい。
図2は、処理部5aで実現されるデータ処理システム100の機能的な構成の一例を概略的に示すブロック図である。図2には、処理部5aでプログラムP1の実行によって実現されるデータ処理に係る各種機能が例示されている。
絞り込み部51は、入力部2からの信号に応答して、記憶部4の動作データ群4aに格納されている複数の時系列データのうち、評価の対象となる時系例データを絞り込むことができる。ここでは、例えば、ユーザーは、入力部2を介して、評価の対象となる、期間、レシピ、ユニットおよび工程等を絞り込むための条件(絞り込み条件ともいう)を入力することができる。
取得部52は、記憶部4から時系列データを取得することができる。取得部52では、例えば、絞り込み部51で指定された絞り込み条件に対応する時系列データが記憶部4から取得される。このとき、取得部52は、例えば、記憶部4から2つ以上の動作をそれぞれ含む、同一種類の複数の一連の基板処理のそれぞれについて、該2つ以上の動作の動作状態に係る時系列データを取得することができる。同一種類の一連の基板処理には、例えば、同一のレシピに従って実行される一連の基板処理が含まれる。このため、取得部52では、同一のレシピに従って実行された一連の基板処理のそれぞれについて、該一連の基板処理を構成する複数の動作の動作状態に係る時系列データが取得される。一連の基板処理には、例えば、2つ以上の動作のうちの2つの動作が並行して行われる期間(重複期間ともいう)が存在している場合がある。具体的には、取得部52によって、例えば、記憶部4から、一連の基板処理を構成する4つの動作の動作状態に係る、図3(a)から図3(d)で示される4つの時系列データ、および図4(a)から図4(d)で示される4つの時系列データが取得され得る。
正規化部53は、取得部52で取得された複数の時系列データを対象として正規化を行うことができる。ここでは、例えば、同一種類の動作ごとに正規化が行われる。具体的には、例えば、図3(a)および図4(a)等で示される処理液1を供給する動作について正規化が行われる。また、例えば、図3(b)および図4(b)等で示される処理液2を供給する動作について正規化が行われる。また、例えば、図3(c)および図4(c)等で示される処理液3を供給する動作について正規化が行われる。また、例えば、図3(d)および図4(d)等で示される処理液4を供給する動作について正規化が行われる。
DQ2=(D21,D22,・・・,D2n)
・・・
DQm=(Dm1,Dm2,・・・,Dmn)
ここで、nは各時系列データに含まれるデータの個数を示し、Dij(iは1以上で且つm以下の整数、jは1以上で且つn以下の整数)は、時系列データDQiに含まれるj番目のデータを示す。
調整部54は、正規化部53における正規化が行われた時系列データを、評価に適したデータの形式となるように調整する。ここでは、例えば、図8(a)から図8(d)で示される4つの時系列データが統合されて、図10の太い実線で描かれた曲線で示されるように、1つの時間軸上で表される1つの一連の基板処理に係る時系列データが生成される。また、例えば、図9(a)から図9(d)で示される4つの時系列データが統合されて、図11の太い破線で描かれた曲線で示されるように、1つの時間軸上で表される1つの一連の基板処理に係る時系列データが生成される。具体的には、例えば、一連の基板処理を構成する4つの時系列データについて、時刻の順に沿って同一時刻の数値が順に並べられたCSVファイルが生成されるような形態が考えられる。
算出部55は、取得部52によって取得された複数の一連の基板処理のそれぞれに係る時系列データを対象として、評価の対象の項目(評価対象項目ともいう)についての評価値を算出することができる。ここでは、取得部52で取得された後に正規化部53における正規化および調整部54における調整が適宜行われた時系列データが用いられて、評価値が算出される。評価対象項目には、1種類の動作のみについての項目と、2種類以上の動作についての項目と、が含まれる。具体的には、評価対象項目には、例えば、同一種類の動作におけるデータのばらつきの度合い、各動作における目標値に対するオーバーシュートの度合い、および一連の基板処理に係る時系列データにおける2つの動作が並行して行われる期間(重複期間)の変化等が含まれる。
例えば、図12の領域Ar1で示されるように、同一種類の動作についての複数の時系列データの間でばらつきが生じる場合がある。このばらつき度合いを評価することで、動作に異常が生じたか否か認識することが可能となる。
ここでは、例えば、複数の時系列データのうちの任意の第1の時系列データと第2の時系列データとの間におけるユークリッド距離を用いて、ばらつき度合いに係る評価値を算出することができる。ここで、例えば、第1の時系列データAと第2の時系列データBとの間におけるユークリッド距離D(A,B)が、次の式(2)によって算出される。
ばらつき度合いに係る評価値は、例えば、動的時間伸縮法(DTW)を用いて算出してもよい。この動的時間伸縮法では、複数の時系列データのうちの任意の第1の時系列データと第2の時系列データとの間において、同一時刻における数値の比較だけでなく、時刻のずれも含めて、全ての数値の組合せについての比較が行われる。例えば、第1の時系列データAと第2の時系列データBとの間における数値の全ての組合せについて、ユークリッド距離が算出される。
図13で示されるように、1つの動作に係る時系列データでは、数値が、目標値Vtに向けて上昇する際に、目標値Vtを超過する現象(オーバーシュートともいう)を示した後に、概ね目標値Vtに落ち着く場合がある。図14は、図13の領域Ar2の拡大図である。目標値Vtは、基板処理の動作の実行時に、動作の動作状態を示す数値が目標とする数値である。この目標値Vtは、基板処理が開始される前に予め設定される。ここで、オーバーシュートの度合いを評価することで、動作に異常が生じたか否か認識することが可能となる。
図15の領域Ar3で示されるように、一連の基板処理に係る時系列データでは、2つの動作が並行して行われる重複期間が発生する場合がある。この場合、例えば、重複期間の変化の度合いを評価することで、動作に異常が生じたか否か認識することができる。
立ち上がり時間Tr(図16参照)は、例えば、以下の方法で検出される。
立ち下がり時間Td(図18参照)は、例えば、以下の方法で検出される。
第1の動作と第2動作との重複時間Ts(図19参照)は、例えば、以下の方法で検出される。
認識部56は、算出部55によって算出された評価値と予め設定された特定条件とが合致している状態(合致状態ともいう)を認識することができる。ここで、特定条件としては、例えば、評価値が、閾値Stを超えている条件が採用される。閾値Stは、プログラムP1によって予め規定されていてもよいし、ユーザーによって入力部2を介して予め入力されてもよいし、情報処理システム1のホストコンピュータとしての外部装置から入力部2を介した信号によって予め入力されてもよい。このとき、特定条件は、例えば、記憶部4に条件データ41として記憶されてもよい。
生成部57は、認識部56による認識結果に応じた出力を行うためのデータを生成することができる。例えば、生成部57によれば、認識部56によって認識された合致状態に応じた出力を行うためのデータ(出力用データともいう)が生成される。このとき、生成部57では、例えば、記憶部4に記憶された認識結果4dに基づいて、出力用データが生成され得る。
出力制御部58は、生成部57で生成された出力用データを出力部3において出力させることができる。例えば、出力制御部58は、出力部3に、認識部56によって認識された合致状態に応じた出力を行われることができる。つまり、例えば、認識部56における合致状態の認識結果に応じた出力が行われる。これにより、ユーザーは、複数の時系列データから異常な時系列データを容易に認識することができる。
指定部59は、入力部2においてユーザーの動作に応じて入力される信号に応じて、特定の表示要素を指定することができる。図21の例では、特定の表示要素としてのアイコンE41〜E43の何れか1つを、マウスポインタPr1によって、押下する等して指定することができる。
図23および図24は、データ処理システム100の動作フローの一例を示す流れ図である。本動作フローは、例えば、ユーザーによる入力部2を介した信号の入力に応じて開始される。例えば、図23のステップSp1〜Sp9において、評価の対象となる時系列データを絞り込むための条件が指定される。その後、例えば、図24のステップSp11〜Sp23において、時系列データの取得、評価、合致状態の認識および認識結果等の表示が行われる。ここで、図23および図24の動作フローの一例は、説明の複雑化を回避するために、画面の遷移に係る処理が簡略化された一例である。
以上のように、一実施形態に係るデータ処理システム100では、例えば、2つの一連の基板処理についての時系列データの間における2つの動作の重複期間のズレに係る評価値と予め設定された特定条件とが合致している合致状態が認識される。これにより、例えば、ユーザーは、合致状態に係る認識結果に応じた情報を得ることで、複数の時系列データから異常な時系列データを容易に認識することができる。
なお、本発明は上述の一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
2 入力部
3 出力部
4 記憶部
41 条件データ
4a 動作データ群
4b 正規化後データ群
4c 評価用データ群
4d 認識結果
4e 出力用データ群
5 制御部
5a 処理部
5b メモリ
6 ドライブ
51 絞り込み部
52 取得部
53 正規化部
54 調整部
55 算出部
56 認識部
57 生成部
58 出力制御部
59 指定部
100,100A データ処理システム
200,201A〜203A 基板処理装置
Bx1 ボックス
E41〜E43 アイコン
Ev5 認識結果表示部分
G1 第1絞り込み画面
G2 第2絞り込み画面
G3 第3絞り込み画面
G4 認識結果表示画面
G5 拡大表示画面
Gh4,Gh5 グラフ
P1 プログラム
RM1 記憶媒体
Ts 重複時間
Claims (17)
- 2つ以上の動作を含み且つ該2つ以上の動作のうちの2つの動作が並行して行われる重複期間が存在している同一種類の複数の一連の基板処理のそれぞれについての、前記2つ以上の動作の動作状態に係る時系列データを取得する取得部と、
前記取得部によって取得される少なくとも2つの前記一連の基板処理についての時系列データの間における前記重複期間のズレに係る評価値を算出する算出部と、
前記評価値と予め設定された特定条件とが合致している合致状態を認識する認識部と、を備えている、データ処理システム。 - 請求項1に記載のデータ処理システムであって、
前記合致状態に応じた出力を行う出力部、を備えている、データ処理システム。 - 請求項2に記載のデータ処理システムであって、
前記出力部が、前記少なくとも2つの一連の基板処理についての時系列データについて数値の時間変化を示すグラフを可視的に出力するとともに、ユーザーが認識可能な態様で前記合致状態に応じた出力を行う、データ処理システム。 - 請求項3に記載のデータ処理システムであって、
前記出力部が、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記合致状態に応じた可視的な出力を行う、データ処理システム。 - 請求項4に記載のデータ処理システムであって、
前記出力部が、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記グラフの前記重複期間に係る部分との関連性をユーザーが認識可能な態様で、前記合致状態に応じた特定の表示要素を可視的に出力する、データ処理システム。 - 請求項5に記載のデータ処理システムであって、
前記出力部が、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記グラフの前記重複期間に係る部分に近接している領域に前記特定の表示要素を可視的に出力する、データ処理システム。 - 請求項5または請求項6に記載のデータ処理システムであって、
ユーザーの動作に応じた信号を入力する入力部と、
前記入力部によって入力される信号に応じて、前記特定の表示要素を指定する指定部と、を備え、
前記出力部が、前記指定部による前記特定の表示要素の指定に応答して、前記グラフの前記重複期間に係る部分を、前記グラフの前記重複期間とは離れた期間に係る部分とは異なる態様で、可視的に出力する、データ処理システム。 - 請求項4から請求項7の何れか1つの請求項に記載のデータ処理システムであって、
前記出力部が、前記グラフとともに、前記認識部によって前記特定条件との前記合致状態が認識された前記評価値を、可視的に出力する、データ処理システム。 - データ処理システムにおけるデータ処理方法であって、
2つ以上の動作を含み且つ該2つ以上の動作のうちの2つの動作が並行して行われる重複期間が存在している同一種類の複数の一連の基板処理のそれぞれについての、前記2つ以上の動作の動作状態に係る時系列データを取得する第1工程と、
前記第1工程において取得された少なくとも2つの前記一連の基板処理についての時系列データの間における前記重複期間のズレに係る評価値を算出する第2工程と、
前記評価値と予め設定された特定条件とが合致している合致状態を認識する第3工程と、を有している、データ処理方法。 - 請求項9に記載のデータ処理方法であって、
前記合致状態に応じた出力を行う第4工程、を有している、データ処理方法。 - 請求項10に記載のデータ処理方法であって、
前記第4工程において、前記少なくとも2つの一連の基板処理についての時系列データについて数値の時間変化を示すグラフを可視的に出力するとともに、ユーザーが認識可能な態様で前記合致状態に応じた出力を行う、データ処理方法。 - 請求項11に記載のデータ処理方法であって、
前記第4工程において、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記合致状態に応じた可視的な出力を行う、データ処理方法。 - 請求項12に記載のデータ処理方法であって、
前記第4工程において、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記グラフの前記重複期間に係る部分との関連性をユーザーが認識可能な態様で、前記合致状態に応じた特定の表示要素を可視的に出力する、データ処理方法。 - 請求項13に記載のデータ処理方法であって、
前記第4工程において、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記グラフの前記重複期間に係る部分に近接している領域に前記特定の表示要素を可視的に出力する、データ処理方法。 - 請求項13または請求項14に記載のデータ処理方法であって、
ユーザーの動作に応じた信号が入力される第5工程と、
前記第5工程で入力された信号に応じて、前記特定の表示要素を指定する第6工程と、を有し、
前記第6工程における前記特定の表示要素の指定に応答して、前記グラフの前記重複期間に係る部分を、前記グラフの前記重複期間とは離れた期間に係る部分とは異なる態様で、可視的に出力する、データ処理方法。 - 請求項12から請求項15の何れか1つの請求項に記載のデータ処理方法であって、
前記第4工程において、前記グラフを可視的に出力するとともに、前記第3工程で前記特定条件との前記合致状態が認識された前記評価値を、可視的に出力する、データ処理方法。 - 情報処理システムに含まれる処理部によって実行されることで、該情報処理システムを、請求項1から請求項8の何れか1つの請求項に記載のデータ処理システムとして機能させる、プログラム。
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