JP2020047846A - データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択ステップと、
前記単位処理データ選択ステップで選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する第1の評価値算出ステップと、
前記第1の評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する第1の評価値分布作成ステップと
を含むことを特徴とする。
前記複数の単位処理データの中から評価値を算出する際の基準となる基準データを選択する基準データ選択ステップを更に含み、
前記第1の評価値算出ステップでは、前記被選択単位処理データに含まれる各時系列データを前記基準データ選択ステップで選択された基準データと比較することによって評価値の算出が行われることを特徴とする。
前記基準データ選択ステップは、
前記被選択単位処理データの1つを仮基準データに定める仮基準データ設定ステップと、
前記仮基準データと前記被選択単位処理データのうちの前記仮基準データ以外の単位処理データのそれぞれとを比較することによって得られる評価値の平均値または合計値を比較値として求める比較値算出ステップと
を含み、
前記基準データ選択ステップでは、
前記被選択単位処理データの全てが1回ずつ仮基準データに定められるまで前記仮基準データ設定ステップと前記比較値算出ステップとが繰り返され、
前記比較値算出ステップで求められる比較値が最も小さくなったときに仮基準データに定められている単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする。
前記基準データ選択ステップでは、時系列データの種類ごとに、前記比較値算出ステップで求められる比較値が最も小さくなったときに仮基準データに定められている単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする。
前記基準データ選択ステップは、
時系列データの種類ごとに、前記被選択単位処理データの各時点における中央値のデータからなる中央値データを作成する中央値データ作成ステップと、
前記被選択単位処理データのそれぞれを前記中央値データと比較することによって、前記被選択単位処理データのそれぞれについての評価値に相当する得点を時系列データの種類ごとに求める得点算出ステップと
を含み、
前記基準データ選択ステップでは、時系列データの種類ごとに求められた得点の合計値が最も良い被選択単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする。
前記基準データ選択ステップは、
時系列データの種類ごとに、前記被選択単位処理データの各時点における中央値のデータからなる中央値データを作成する中央値データ作成ステップと、
前記被選択単位処理データのそれぞれを前記中央値データと比較することによって、前記被選択単位処理データのそれぞれについての評価値に相当する得点を時系列データの種類ごとに求める得点算出ステップと
を含み、
前記基準データ選択ステップでは、時系列データの種類ごと、前記得点算出ステップで求められた得点が最も良い被選択単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする。
前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記基準データ選択ステップでの基準データの選択は、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかを指定することによって抽出された単位処理データの中から行われることを特徴とする。
前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記単位処理データ選択ステップでの単位処理データの選択は、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかを指定することによって抽出された単位処理データの中から行われることを特徴とする。
前記第1の評価値算出ステップでは、前記被選択単位処理データに含まれる各時系列データを予め定められている基準データと比較することによって評価値の算出が行われることを特徴とする。
前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記単位処理データ選択ステップは、
各時系列データについての評価値に基づいて処理ユニット毎に評価値のばらつきを算出するばらつき算出ステップと、
前記ばらつき算出ステップで算出されたばらつきのうち最も小さいばらつきが得られた処理ユニットを指定する処理ユニット指定ステップと、
前記処理ユニット指定ステップで指定された処理ユニットに対応する単位処理データを前記2以上の単位処理データとして抽出する単位処理データ抽出ステップと
を含むことを特徴とする。
前記第1の評価値分布作成ステップでは、前記第1の評価値算出ステップで算出された評価値の標準化が行われ、標準化後の評価値に基づいて前記評価値分布が作成されることを特徴とする。
前記評価値分布を更新する評価値分布更新ステップを更に含むことを特徴とする。
前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記評価値分布更新ステップは、
各時系列データについての評価値に基づいて処理ユニット毎に評価値のばらつきを算出するばらつき算出ステップと、
前記ばらつき算出ステップで算出されたばらつきのうち最も小さいばらつきが得られた処理ユニットを指定する処理ユニット指定ステップと、
前記処理ユニット指定ステップで指定された処理ユニットに対応する単位処理データを前記複数の単位処理データから抽出する単位処理データ抽出ステップと、
前記単位処理データ抽出ステップで抽出された単位処理データである被抽出単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する第2の評価値算出ステップと、
前記第2の評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、更新後の評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する第2の評価値分布作成ステップと
を含むことを特徴とする。
前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記評価値分布更新ステップは、
各時系列データについての評価値に基づいて処理ユニット毎に評価値の平均値およびばらつきを算出する統計値算出ステップと、
前記統計値算出ステップで算出された平均値およびばらつきを考慮して処理ユニットを指定する処理ユニット指定ステップと、
前記処理ユニット指定ステップで指定された処理ユニットに対応する単位処理データを前記複数の単位処理データから抽出する単位処理データ抽出ステップと、
前記単位処理データ抽出ステップで抽出された単位処理データである被抽出単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する第2の評価値算出ステップと、
前記第2の評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、更新後の評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する第2の評価値分布作成ステップと
を含むことを特徴とする。
前記複数の単位処理データは、基板処理装置でレシピが実行されることによって得られるデータであって、
レシピの実行によって新たに得られた単位処理データに含まれる時系列データの異常度を判定するために当該新たに得られた単位処理データに含まれる時系列データの評価値を算出する第3の評価値算出ステップを更に含み、
前記第3の評価値算出ステップが実行される都度、前記評価値分布更新ステップが実行されることを特徴とする。
前記複数の単位処理データは、基板処理装置でレシピが実行されることによって得られるデータであって、
レシピの内容に変更があったときに、前記評価値分布更新ステップが実行されることを特徴とする。
前記複数種類の時系列データは、複数のパラメータについての時系列データであって、
前記第1の評価値分布作成ステップでは、パラメータごとに評価値分布が作成され、
前記評価値分布更新ステップでは、内容に変更のあるパラメータに対応する評価値分布のみが更新されることを特徴とする。
前記評価値分布更新ステップでは、レシピの内容の変更に伴って追加されたパラメータに対応する評価値分布がすでに蓄積されている評価値のデータに基づいて作成されることを特徴とする。
前記評価値分布更新ステップでは、外部から指定されたパラメータに対応する評価値分布が再作成されることを特徴とする。
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択部と、
前記単位処理データ選択部によって選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する評価値算出部と、
前記評価値算出部によって算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する評価値分布作成部と
を備えることを特徴とする。
前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記評価値分布作成部で作成される評価値分布は、前記複数の処理ユニットのいずれか用の評価値分布として用いられ、
或る処理ユニット用の評価値分布を別の処理ユニット用の評価値分布として複製することができることを特徴とする。
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択部と、
前記単位処理データ選択部によって選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する評価値算出部と、
前記評価値算出部によって算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する評価値分布作成部と
を備えることを特徴とする。
前記第1の評価値分布作成部で作成される評価値分布は、前記複数の基板処理装置のいずれか用の評価値分布として用いられ、
或る基板処理装置用の評価値分布を別の基板処理装置用の評価値分布として複製することができることを特徴とする。
単位処理で得られる複数種類の時系列データを単位処理データとして複数の単位処理データを処理するデータ処理装置に含まれるコンピュータに、
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択ステップと、
前記単位処理データ選択ステップで選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する評価値算出ステップと、
前記評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する評価値分布作成ステップと
を実行させる。
図1は、本発明の一実施形態に係るデータ処理システム(基板処理装置用のデータ処理システム)の全体構成を示すブロック図である。このデータ処理システムは、データ処理装置100と基板処理装置200とによって構成されている。データ処理装置100と基板処理装置200とは通信回線300によって互いに接続されている。
<2.1 評価値分布>
本実施形態においては、各時系列データについての異常判定を行うために、評価値算出部120で求められた評価値の値ごとの度数を表す評価値分布が用いられる。この評価値分布について、図6を参照しつつ詳しく説明する。
図7は、時系列データを用いた異常検出についての全体の処理手順の概略を示すフローチャートである。なお、この処理の開始前にある程度の数の時系列データが既に蓄積されているものと仮定する。
図10を参照しつつ、本実施形態における評価値分布5の作成(図7のステップS10)の詳細な手順について説明する。まず、ユーザーによって、評価値分布5の作成元となる2以上の単位処理データの選択が行われる(ステップS110)。ステップS110では、データ処理装置100の表示部14に例えば図11に示すような単位処理データ選択画面600が表示される。単位処理データ選択画面600には、開始時点入力ボックス61と終了時点入力ボックス62と処理ユニット指定ボックス63とレシピ指定ボックス64と抽出データ表示領域65と確定ボタン66とが含まれている。開始時点入力ボックス61と終了時点入力ボックス62とは日時の指定が可能なリストボックスであって、処理ユニット指定ボックス63とレシピ指定ボックス64とは複数の項目から1以上の項目の選択が可能なリストボックスである。ユーザーは、開始時点入力ボックス61と終了時点入力ボックス62とで期間を指定し、処理ユニット指定ボックス63で処理ユニットを指定し、レシピ指定ボックス64でレシピを指定する。これにより、指定された条件に該当する単位処理データの一覧が抽出データ表示領域65に表示される。ユーザーは、抽出データ表示領域65に表示された単位処理データの一部または全てを選択した状態で確定ボタン66を押下する。これにより、評価値分布5の作成元となる単位処理データが確定する。なお、必ずしも期間、処理ユニット、およびレシピの全てが指定される必要はなく、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかが指定されれば良い。
次に、評価値分布5の更新について説明する。基板処理装置200でレシピが実行されることによって得られる単位処理データには、複数のパラメータについての時系列データが含まれている。上述したように、本実施形態においては、そのパラメータ毎に評価値分布5が作成される。ところで、基板処理装置200では、レシピの内容に変更が施されることがある。レシピの内容に変更があると、その変更の前後で、レシピの実行によって得られる時系列データの中身が異なるものとなる。このとき、仮にレシピの変更後に得られた時系列データの異常判定をレシピの変更前に作成された評価値分布5を用いて行うと、当該異常判定の結果として正しい結果が得られないおそれがある。そこで、本実施形態においては、レシピの内容に変更があったときに評価値分布5の更新が行われる。なお、レシピの内容に変更があった直後には変更後の内容に基づく時系列データが蓄積されていないため、評価値分布5の更新は変更後の内容に基づく時系列データがある程度蓄積されてから行われることが好ましい。
変更前:パラメータA、パラメータB、パラメータC、パラメータD
変更後:パラメータA、パラメータC、パラメータD、パラメータE
なお、パラメータAおよびパラメータDについては時系列データの中身に変化はなく、パラメータCについては時系列データの中身に変化があると仮定する。
本実施形態によれば、ユーザーによって選択された単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値が算出される。そして、その評価値に対して統計的な標準化が施され、標準化後の評価値の分布を表す評価値分布5が作成される。このようにして評価値分布5が作成されている状況下、レシピの実行によって新しく時系列データが生成されると、当該時系列データに関し、評価値分布5上における評価値(詳しくは、スコアリングによって得られた評価値の標準化後の値)の位置に基づいて異常度が決定される。これに関し、評価値分布5は標準化されたデータに基づいて作成された分布であるので、異常判定の際の閾値を標準偏差に基づいて自動的に決定することができる。すなわち、ユーザーによる煩雑な作業を要することなく、異常判定を行うための閾値を客観的に設定することが可能となる。また、このように閾値の設定を客観的なものとすることによって、安定した精度で時系列データの異常判定を行うことが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出をユーザーによる煩雑な作業を要することなく従来よりも精度良く行うことが可能となる。
以下、上記実施形態の変形例について説明する。
上記実施形態においては、評価値分布5の作成が開始される際に、既に各レシピに関して基準データが定められていた。しかしながら、データ処理システムによっては、上述のような基準データが定められていないケースもある。そこで、第1〜第3の変形例として、基準データが予め定められていないケースにおける評価値分布5の作成方法について説明する。
図15を参照しつつ、本変形例における評価値分布5の作成(図7のステップS10)の詳細な手順について説明する。まず、ユーザーによって、評価値分布5の作成元となる2以上の単位処理データの選択が行われる(ステップS120)。ステップS120では、上記実施形態におけるステップS110(図10参照)と同様にして単位処理データの選択が行われる。すなわち、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかを指定することによって抽出された単位処理データの中から2以上の単位処理データが選択される。
図16を参照しつつ、本変形例における評価値分布5の作成(図7のステップS10)の詳細な手順について説明する。まず、ユーザーによって、評価値分布5の作成元となる2以上の単位処理データの選択が行われる(ステップS130)。ステップS130では、上記実施形態におけるステップS110(図10参照)と同様にして単位処理データの選択が行われる。すなわち、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかを指定することによって抽出された単位処理データの中から2以上の単位処理データが選択される。
上記第1の変形例および上記第2の変形例では、各レシピに関し、或る1つの単位処理データに含まれる時系列データが全てのパラメータについての基準データとして採用されていた。しかしながら、パラメータ毎に、異なる単位処理データに含まれている時系列データが基準データとして採用されても良い。例えば、或るレシピに対応付けられている3つのパラメータ(パラメータA、パラメータB、パラメータC)に着目したとき、図18に示すように、パラメータAについての基準データとして扱われる時系列データとパラメータBについての基準データとして扱われる時系列データとパラメータCについての基準データとして扱われる時系列データとが互いに異なる単位処理データに含まれる時系列データであっても良い。
次に、評価値分布5の更新に関する変形例について説明する。
上記実施形態においては、レシピの内容に変更があったときに評価値分布5が更新されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、スコアリングが実行される都度、評価値分布5が更新されるようにしても良い。
上記実施形態においては、ユーザーが任意に選択した単位処理データに基づいて、評価値分布5の作成・更新が行われていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、評価値分布5の更新が指定された処理ユニット222での処理で得られた単位処理データに基づいて行われるようにしても良い。
上記実施形態においては、データ処理システムは1つの基板処理装置200とそれに対応する1つのデータ処理装置100とによって構成されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されない。例えば、図23に示すようにデータ処理システムが複数の基板処理装置200とそれらに1対1で対応する複数のデータ処理装置100とによって構成されていても良いし、図24に示すようにデータ処理システムが複数の基板処理装置200と1つのデータ処理装置100とによって構成されていても良い。すなわち、データ処理システムに複数の基板処理装置200が含まれていても良い。
上記実施形態においては、全ての処理ユニット222に共通の評価値分布5がパラメータ毎に作成されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、各パラメータについての評価値分布5が処理ユニット222毎に作成されるようにしても良い。すなわち、データ処理装置100で作成される各評価値分布5が複数の処理ユニット222のいずれか用の評価値分布5として用いられるようにしても良い。この場合において、或る処理ユニット222用の評価値分布5を別の処理ユニット222用の評価値分布5として複製することができるようにしても良い。すなわち、任意の処理ユニット222用の評価値分布5をエクスポートすることや評価値分布5を任意の処理ユニット222用のものとしてインポートすることが可能であっても良い。
上記で説明した実施形態や変形例を矛盾を生ずることなく適宜に組み合わせた構成も、本発明の趣旨に反しない限り本発明の範囲に含まれる。
100…データ処理装置
110…単位処理データ選択部
120…評価値算出部
130…評価値分布作成部
140…評価値分布更新部
150…異常度判定部
160…データ記憶部
161…データ処理プログラム
200…基板処理装置
222…処理ユニット
Claims (24)
- 単位処理で得られる複数種類の時系列データを単位処理データとして複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択ステップと、
前記単位処理データ選択ステップで選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する第1の評価値算出ステップと、
前記第1の評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する第1の評価値分布作成ステップと
を含むことを特徴とする、データ処理方法。 - 前記複数の単位処理データの中から評価値を算出する際の基準となる基準データを選択する基準データ選択ステップを更に含み、
前記第1の評価値算出ステップでは、前記被選択単位処理データに含まれる各時系列データを前記基準データ選択ステップで選択された基準データと比較することによって評価値の算出が行われることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。 - 前記基準データ選択ステップは、
前記被選択単位処理データの1つを仮基準データに定める仮基準データ設定ステップと、
前記仮基準データと前記被選択単位処理データのうちの前記仮基準データ以外の単位処理データのそれぞれとを比較することによって得られる評価値の平均値または合計値を比較値として求める比較値算出ステップと
を含み、
前記基準データ選択ステップでは、
前記被選択単位処理データの全てが1回ずつ仮基準データに定められるまで前記仮基準データ設定ステップと前記比較値算出ステップとが繰り返され、
前記比較値算出ステップで求められる比較値が最も小さくなったときに仮基準データに定められている単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。 - 前記基準データ選択ステップでは、時系列データの種類ごとに、前記比較値算出ステップで求められる比較値が最も小さくなったときに仮基準データに定められている単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする、請求項3に記載のデータ処理方法。
- 前記基準データ選択ステップは、
時系列データの種類ごとに、前記被選択単位処理データの各時点における中央値のデータからなる中央値データを作成する中央値データ作成ステップと、
前記被選択単位処理データのそれぞれを前記中央値データと比較することによって、前記被選択単位処理データのそれぞれについての評価値に相当する得点を時系列データの種類ごとに求める得点算出ステップと
を含み、
前記基準データ選択ステップでは、時系列データの種類ごとに求められた得点の合計値が最も良い被選択単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。 - 前記基準データ選択ステップは、
時系列データの種類ごとに、前記被選択単位処理データの各時点における中央値のデータからなる中央値データを作成する中央値データ作成ステップと、
前記被選択単位処理データのそれぞれを前記中央値データと比較することによって、前記被選択単位処理データのそれぞれについての評価値に相当する得点を時系列データの種類ごとに求める得点算出ステップと
を含み、
前記基準データ選択ステップでは、時系列データの種類ごと、前記得点算出ステップで求められた得点が最も良い被選択単位処理データが前記基準データとして選択されることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。 - 前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記基準データ選択ステップでの基準データの選択は、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかを指定することによって抽出された単位処理データの中から行われることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。 - 前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記単位処理データ選択ステップでの単位処理データの選択は、期間、処理ユニット、およびレシピのうちの少なくともいずれかを指定することによって抽出された単位処理データの中から行われることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。 - 前記第1の評価値算出ステップでは、前記被選択単位処理データに含まれる各時系列データを予め定められている基準データと比較することによって評価値の算出が行われることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。
- 前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記単位処理データ選択ステップは、
各時系列データについての評価値に基づいて処理ユニット毎に評価値のばらつきを算出するばらつき算出ステップと、
前記ばらつき算出ステップで算出されたばらつきのうち最も小さいばらつきが得られた処理ユニットを指定する処理ユニット指定ステップと、
前記処理ユニット指定ステップで指定された処理ユニットに対応する単位処理データを前記2以上の単位処理データとして抽出する単位処理データ抽出ステップと
を含むことを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。 - 前記第1の評価値分布作成ステップでは、前記第1の評価値算出ステップで算出された評価値の標準化が行われ、標準化後の評価値に基づいて前記評価値分布が作成されることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値分布を更新する評価値分布更新ステップを更に含むことを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。
- 前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記評価値分布更新ステップは、
各時系列データについての評価値に基づいて処理ユニット毎に評価値のばらつきを算出するばらつき算出ステップと、
前記ばらつき算出ステップで算出されたばらつきのうち最も小さいばらつきが得られた処理ユニットを指定する処理ユニット指定ステップと、
前記処理ユニット指定ステップで指定された処理ユニットに対応する単位処理データを前記複数の単位処理データから抽出する単位処理データ抽出ステップと、
前記単位処理データ抽出ステップで抽出された単位処理データである被抽出単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する第2の評価値算出ステップと、
前記第2の評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、更新後の評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する第2の評価値分布作成ステップと
を含むことを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理方法。 - 前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記評価値分布更新ステップは、
各時系列データについての評価値に基づいて処理ユニット毎に評価値の平均値およびばらつきを算出する統計値算出ステップと、
前記統計値算出ステップで算出された平均値およびばらつきを考慮して処理ユニットを指定する処理ユニット指定ステップと、
前記処理ユニット指定ステップで指定された処理ユニットに対応する単位処理データを前記複数の単位処理データから抽出する単位処理データ抽出ステップと、
前記単位処理データ抽出ステップで抽出された単位処理データである被抽出単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する第2の評価値算出ステップと、
前記第2の評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、更新後の評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する第2の評価値分布作成ステップと
を含むことを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理方法。 - 前記複数の単位処理データは、基板処理装置でレシピが実行されることによって得られるデータであって、
レシピの実行によって新たに得られた単位処理データに含まれる時系列データの異常度を判定するために当該新たに得られた単位処理データに含まれる時系列データの評価値を算出する第3の評価値算出ステップを更に含み、
前記第3の評価値算出ステップが実行される都度、前記評価値分布更新ステップが実行されることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理方法。 - 前記複数の単位処理データは、基板処理装置でレシピが実行されることによって得られるデータであって、
レシピの内容に変更があったときに、前記評価値分布更新ステップが実行されることを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理方法。 - 前記複数種類の時系列データは、複数のパラメータについての時系列データであって、
前記第1の評価値分布作成ステップでは、パラメータごとに評価値分布が作成され、
前記評価値分布更新ステップでは、内容に変更のあるパラメータに対応する評価値分布のみが更新されることを特徴とする、請求項16に記載のデータ処理方法。 - 前記評価値分布更新ステップでは、レシピの内容の変更に伴って追加されたパラメータに対応する評価値分布がすでに蓄積されている評価値のデータに基づいて作成されることを特徴とする、請求項17に記載のデータ処理方法。
- 前記評価値分布更新ステップでは、外部から指定されたパラメータに対応する評価値分布が再作成されることを特徴とする、請求項17に記載のデータ処理方法。
- 単位処理で得られる複数種類の時系列データを単位処理データとして複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択部と、
前記単位処理データ選択部によって選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する評価値算出部と、
前記評価値算出部によって算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する評価値分布作成部と
を備えることを特徴とする、データ処理装置。 - 前記単位処理は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記評価値分布作成部で作成される評価値分布は、前記複数の処理ユニットのいずれか用の評価値分布として用いられ、
或る処理ユニット用の評価値分布を別の処理ユニット用の評価値分布として複製することができることを特徴とする、請求項20に記載のデータ処理装置。 - 基板処理装置で実行される単位処理で得られる複数種類の時系列データを単位処理データとして複数の単位処理データを処理する、複数の基板処理装置を含むデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択部と、
前記単位処理データ選択部によって選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する評価値算出部と、
前記評価値算出部によって算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する評価値分布作成部と
を備えることを特徴とする、データ処理システム。 - 前記第1の評価値分布作成部で作成される評価値分布は、前記複数の基板処理装置のいずれか用の評価値分布として用いられ、
或る基板処理装置用の評価値分布を別の基板処理装置用の評価値分布として複製することができることを特徴とする、請求項22に記載のデータ処理システム。 - 単位処理で得られる複数種類の時系列データを単位処理データとして複数の単位処理データを処理するデータ処理装置に含まれるコンピュータに、
前記複数の単位処理データから2以上の単位処理データを選択する単位処理データ選択ステップと、
前記単位処理データ選択ステップで選択された単位処理データである被選択単位処理データに含まれる各時系列データについての評価値を算出する評価値算出ステップと、
前記評価値算出ステップで算出された各時系列データについての評価値に基づいて、評価値の値ごとの度数を表す評価値分布を時系列データの種類ごとに作成する評価値分布作成ステップと
を実行させるためのデータ処理プログラム。
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