KR20190096276A - 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및 데이터 처리 프로그램 - Google Patents

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

[과제] 이상 발생 전에 상세한 데이터를 취득할 수 있는 데이터 처리 방법을 제공한다.
[해결 수단] 데이터 처리 방법은, 기판 처리 장치(20)에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터(7)를 구하는 샘플링 단계(S103)와, 시계열 데이터(7)와 기준 데이터(8)를 비교하여 시계열 데이터(7)의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계(S105)와, 샘플링 단계에서 이용되는 샘플링 주기를 시계열 데이터(7)마다 제어하는 샘플링 주기 제어 단계를 구비하고 있다. 샘플링 주기 제어 단계는, 초기 상태에서는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며(S101), 시계열 데이터(7)의 평가값이 이상일 때에는, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어한다(S113).

Description

데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및 데이터 처리 프로그램{DATA PROCESSING METHOD, DATA PROCESSING DEVICE, AND DATA PROCESSING PROGRAM}
본 발명은, 디지털 데이터 처리에 관한 것이고, 특히, 기판 처리 장치로 측정된 데이터의 처리 방법, 처리 장치, 및 처리 프로그램에 관한 것이다.
기기나 장치의 이상(異常)을 검출하는 방법으로서, 기기나 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량(예를 들어, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)을 센서 등을 이용하여 측정하고, 측정 결과를 시계열순으로 늘어놓아 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 방법이 알려져 있다. 기기나 장치가 동일한 조건에서 동일한 동작을 행하는 경우, 이상이 없으면, 시계열 데이터는 동일하게 변화한다. 그래서, 동일하게 변화하는 복수의 시계열 데이터를 서로 비교하여 이상인 시계열 데이터를 검출하고, 이것을 분석하여 이상의 발생 개소나 원인을 특정할 수 있다.
반도체 기판(이하, 기판이라고 한다)의 제조 공정에서는, 복수의 기판 처리 장치를 이용하여 일련의 처리가 실행된다. 기판 처리 장치는, 기판에 대해서 일련의 처리 중 특정의 처리를 행하는 복수의 처리 유닛을 포함하고 있다. 각 처리 유닛은, 기판에 대해서 미리 정한 순서(레시피로 불린다)에 따라 처리를 행한다. 이때 각 처리 유닛에 있어서의 측정 결과에 의거하여, 시계열 데이터가 얻어진다. 얻어진 시계열 데이터를 분석함으로써, 이상이 발생한 처리 유닛이나 이상의 원인을 특정할 수 있다.
본원 발명에 관련하여, 일본국 특허공개 2008-42005호 공보에는, 소정의 샘플링 주기로 계측기로부터 측정 데이터를 수집할 때에, 기판 처리 장치의 상태에 따라 샘플링 주기를 바꾸는 데이터 수집 방법이 기재되어 있다. 일본국 특허공개 2017-83985호 공보에는, 복수의 시계열 데이터를 복수의 그룹으로 분류하여, 각 그룹의 이상도와 각 그룹 내에서의 시계열 데이터의 이상도를 구하고, 그룹 또는 시계열 데이터를 이상도에 의거하여 랭킹한 결과를 표시하는 데이터 처리 장치가 기재되어 있다.
그러나, 일본국 특허공개 2008-42005호 공보에 기재된 데이터 수집 방법에는, 샘플링 주기를 바꾸는 타이밍이 적절하지 않기 때문에, 기판 처리 장치에서 이상이 발생하기 전에 상세한 데이터를 취득할 수 없다고 하는 문제가 있다.
그러므로, 본 발명은, 기판 처리 장치에서 이상이 발생하기 전에 상세한 데이터를 취득할 수 있는 데이터 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 국면은, 데이터 처리 방법으로서,
기판 처리 장치에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터를 구하는 샘플링 단계와,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와,
상기 샘플링 단계에서 이용되는 샘플링 주기를 상기 시계열 데이터마다 제어하는 샘플링 주기 제어 단계를 구비하고,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 초기 상태에서는 상기 샘플링 단계에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 상기 시계열 데이터의 평가값이 이상일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 국면은, 본 발명의 제1 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 기판 처리 장치에 있어서 알람이 발생했을 때에는, 상기 알람에 관련지어진 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3 국면은, 본 발명의 제1 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 값이 미리 정한 역치를 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제4 국면은, 본 발명의 제1 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 편차가 미리 정한 허용값을 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제5 국면은, 본 발명의 제1~제4 중 어느 한 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어할 때에, 상기 시계열 데이터에 관련지어진 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제6 국면은, 본 발명의 제5 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 종류를 서로 관련지어 기억하는 요인 관련 테이블을 이용하여, 상기 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제7 국면은, 본 발명의 제1 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 정상 주기와 이상 주기를 기억하는 샘플링 주기 정의 테이블을 이용하여, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제8 국면은, 본 발명의 제7 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 정의 테이블은, 상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 자동 복귀 플래그를 더 기억하고,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어했을 때의 원인이 해소되며, 또한, 상기 샘플링 주기 정의 테이블에 기억된 상기 시계열 데이터에 대응한 자동 복귀 플래그가 유효일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제9 국면은, 본 발명의 제1 국면에 있어서,
상기 샘플링 단계는, 상기 기판 처리 장치에서 얻어진 측정 데이터로부터 상기 샘플링 주기 제어 단계에서 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 상기 시계열 데이터를 구하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제10 국면은, 본 발명의 제1 국면에 있어서,
상기 기준 데이터는 다른 시계열 데이터인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제11 국면은, 데이터 처리 장치로서,
기판 처리 장치에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터를 구하는 샘플링부와,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산부와,
상기 샘플링부에서 이용되는 샘플링 주기를 상기 시계열 데이터마다 제어하는 샘플링 주기 제어부를 구비하고,
상기 샘플링 주기 제어부는, 초기 상태에서는 상기 샘플링부에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 상기 시계열 데이터의 평가값이 이상일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제12 국면은, 본 발명의 제11 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 기판 처리 장치에 있어서 알람이 발생했을 때에는, 상기 알람에 관련지어진 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제13 국면은, 본 발명의 제11 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터의 값이 미리 정한 역치를 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제14 국면은, 본 발명의 제11 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터의 편차가 미리 정한 허용값을 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제15 국면은, 본 발명의 제11~제14 중 어느 한 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어할 때에, 상기 시계열 데이터에 관련지어진 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제16 국면은, 본 발명의 제15 국면에 있어서,
상기 시계열 데이터의 종류를 서로 관련지어 기억하는 요인 관련 테이블을 더 구비하고,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 요인 관련 테이블을 이용하여, 상기 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제17 국면은, 본 발명의 제11 국면에 있어서,
상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 정상 주기와 이상 주기를 기억하는 샘플링 주기 정의 테이블을 더 구비하고,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 샘플링 주기 정의 테이블을 이용하여, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제18 국면은, 본 발명의 제17 국면에 있어서,
상기 샘플링 주기 정의 테이블은, 상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 자동 복귀 플래그를 더 기억하고,
상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어했을 때의 원인이 해소되며, 또한, 상기 샘플링 주기 정의 테이블에 기억된 상기 시계열 데이터에 대응한 자동 복귀 플래그가 유효일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제19 국면은, 본 발명의 제11 국면에 있어서,
상기 샘플링부는, 상기 기판 처리 장치로 측정된 측정 데이터로부터 상기 샘플링 주기 제어부에서 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 상기 시계열 데이터를 구하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제20 국면은, 데이터 처리 프로그램으로서,
기판 처리 장치에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터를 구하는 샘플링 단계와,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와,
상기 샘플링 단계에서 이용되는 샘플링 주기를 상기 시계열 데이터마다 제어하는 샘플링 주기 제어 단계를,
컴퓨터에 CPU가 메모리를 이용하여 실행시키고,
상기 샘플링 주기 제어 단계는, 초기 상태에서는 상기 샘플링 단계에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 상기 시계열 데이터의 평가값이 이상일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1, 제11 또는 제20 국면에 의하면, 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교하여 얻어지는 평가값이 이상일 때에, 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 함으로써, 시계열 데이터마다 샘플링 주기를 적절한 타이밍에 바꾸어, 기판 처리 장치에서 이상이 발생하기 전에 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
상기 제2 또는 제12 국면에 의하면, 기판 처리 장치에 있어서 알람이 발생했을 때에, 발생한 알람에 관련지어진 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 하여 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
상기 제3 또는 제13 국면에 의하면, 기판 처리 장치의 고장의 전조로서 시계열 데이터의 값이 역치를 초과했을 때에, 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 하여 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
상기 제4 또는 제14 국면에 의하면, 시계열 데이터의 편차가 허용값을 초과했을 때에, 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 하여 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
상기 제5 또는 제15 국면에 의하면, 어느 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 할 때에, 관련하는 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 함으로써, 서로 관련하는 복수의 시계열 데이터에 대해 상세한 데이터를 함께 취득할 수 있다.
상기 제6 또는 제16 국면에 의하면, 요인 관련 테이블을 이용함으로써, 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 용이하게 제어할 수 있다.
상기 제7 또는 제17 국면에 의하면, 샘플링 주기 정의 테이블을 이용함으로써, 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 용이하게 제어할 수 있다.
상기 제8 또는 제18 국면에 의하면, 자동 복귀 플래그를 기억한 샘플링 주기 정의 테이블을 이용함으로써, 시계열 데이터의 특성에 따라, 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 자동으로 정상 주기로 제어할 수 있다.
상기 제9 또는 제19 국면에 의하면, 기판 처리 장치에서 얻어진 측정 데이터로부터 데이터를 추출함으로써, 희망하는 시계열 데이터를 구할 수 있다.
상기 제10 국면에 의하면, 기준 데이터로서 다른 시계열 데이터를 이용함으로써, 시계열 데이터에 대해 적절한 평가값을 구할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따르는 데이터 처리 장치의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 2는 도 1에 도시한 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 있어서의 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치로서 기능하는 컴퓨터의 구성예를 도시한 블럭도이다.
도 5a는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 샘플링 주기 정의 테이블을 도시한 도면이다.
도 5b는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 다른 샘플링 주기 정의 테이블을 도시한 도면이다.
도 5c는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 다른 샘플링 주기 정의 테이블을 도시한 도면이다.
도 5d는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 다른 샘플링 주기 정의 테이블을 도시한 도면이다.
도 6은 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 요인 관련 테이블을 도시한 도면이다.
도 7은 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 동작을 나타낸 플로차트이다.
도 8은 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 의한 스코어 에러에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다.
도 9a는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 있어서 정상 주기를 이용하여 구한 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다.
도 9b는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 있어서 이상 주기를 이용하여 구한 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다.
도 10은 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 의한 알람에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다.
도 11은 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 의한 시계열 데이터의 값에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다.
도 12는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에 의한 시계열 데이터의 편차에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다.
도 13a는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 실장 형태의 제1 예를 도시한 도면이다.
도 13b는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 실장 형태의 제2 예를 도시한 도면이다.
도 13c는 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 실장 형태의 제3 예를 도시한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 따르는 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및 데이터 처리 프로그램에 대해 설명한다. 본 실시 형태에 따르는 데이터 처리 방법은, 전형적으로는 컴퓨터를 이용하여 실행된다. 본 실시 형태에 따르는 데이터 처리 프로그램은, 컴퓨터를 이용하여 데이터 처리 방법을 실시하기 위한 프로그램이다. 본 실시 형태에 따르는 데이터 처리 장치는, 전형적으로는 컴퓨터를 이용하여 구성된다. 데이터 처리 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 데이터 처리 장치로서 기능한다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따르는 데이터 처리 장치의 구성을 도시한 블럭도이다. 도 1에 도시한 데이터 처리 장치(10)는, 샘플링부(11), 데이터 기억부(12), 스코어 계산부(13), 결과 표시부(14), 지시 입력부(15), 복수의 샘플링 주기 정의 테이블(16), 요인 관련 테이블(17), 및 샘플링 주기 제어부(18)를 구비하고 있다. 데이터 처리 장치(10)는, 기판 처리 장치(20)에 접속하여 이용된다.
기판 처리 장치(20)는 복수의 처리 유닛(25)을 포함하고, 각 처리 유닛(25)에서는 처리 유닛(25)의 동작 상태를 나타내는 복수의 물리량(예를 들어, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)이 측정된다. 기판 처리 장치(20)는, 각 처리 유닛(25)에서 얻어진 측정 데이터를 데이터 처리 장치(10)에 대해서 출력한다.
샘플링부(11)는, 기판 처리 장치(20)에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터(7)를 구한다. 보다 상세하게는, 샘플링부(11)는, 기판 처리 장치(20)에서 얻어진 측정 데이터로부터 어느 시간 간격(이하, 샘플링 주기라고 한다)으로 데이터를 추출함으로써, 시계열 데이터(7)를 구한다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링부(11)에서 이용되는 샘플링 주기를 시계열 데이터(7)마다 제어한다. 데이터 기억부(12)는, 샘플링부(11)에서 구한 시계열 데이터(7)와, 시계열 데이터(7)의 기대값 데이터인 기준 데이터(8)를 기억한다. 기준 데이터(8)에는, 예를 들어, 다수의 시계열 데이터 중에서 기대값 데이터로서 최적이라고 판단된 다른 시계열 데이터가 사용된다.
스코어 계산부(13)는, 데이터 기억부(12)에 기억된 시계열 데이터(7)에 대해 평가값(이하, 스코어라고 한다)을 구한다. 스코어 계산부(13)는, 데이터 기억부(12)로부터 시계열 데이터(7)와 대응하는 기준 데이터(8)를 읽어내고, 양자를 비교함으로써 스코어를 구한다. 스코어 계산부(13)는, 시계열 데이터(7)의 평가값을 구하는 평가값 계산부로서 기능한다. 결과 표시부(14)는, 시계열 데이터(7)의 스코어에 의거하는 화면을 표시한다.
기판 처리 장치(20)는, 데이터 처리 장치(10)에 대해서, 기판 처리 장치(20)에서 알람이 발생했는지 여부를 나타내는 알람 신호를 출력한다. 지시 입력부(15)에는, 이용자(기판 처리 장치(20)의 오퍼레이터)로부터의 지시가 입력된다. 샘플링 주기 정의 테이블(16)은, 시계열 데이터의 종류에 대응지어, 적어도 정상 주기와 이상 주기를 기억한다. 요인 관련 테이블(17)은, 처리 유닛(25)마다, 시계열 데이터의 종류를 서로 관련지어 기억한다. 샘플링 주기 정의 테이블(16)과 요인 관련 테이블(17)의 상세는 후술한다.
샘플링 주기 제어부(18)에는, 데이터 기억부(12)에 기억된 시계열 데이터(7), 스코어 계산부(13)에서 구한 스코어, 기판 처리 장치(20)로부터 출력된 알람 신호, 및 지시 입력부(15)를 이용하여 입력된 이용자로부터의 지시가 입력된다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 이러한 입력에 의거하여, 샘플링 주기 정의 테이블(16)과 요인 관련 테이블(17)을 이용하여, 샘플링부(11)에서 이용되는 샘플링 주기를 시계열 데이터(7)마다 제어한다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 초기 상태에서는 샘플링부(11)에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 시계열 데이터(7)의 스코어가 이상일 때에는, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어한다.
도 2는, 기판 처리 장치(20)의 개략 구성을 도시한 도면이다. 기판 처리 장치(20)는, 인덱서부(21)와 처리부(22)를 구비하고 있다. 인덱서부(21)는, 복수의 카세트 유지부(23)와 인덱서 로봇(24)을 포함하고 있다. 처리부(22)는, 복수의 처리 유닛(25)과 기판 반송 로봇(26)을 포함하고 있다. 카세트 유지부(23)에는, 복수의 기판을 수용하는 카세트(도시 생략)가 올려놓여진다. 인덱서 로봇(24)은, 카세트로부터 기판을 취출하는 동작과, 카세트에 기판을 넣는 동작을 행한다. 처리 유닛(25)은, 기판에 대해서 처리를 행하기 위한 공간(이하, 챔버라고 한다)을 갖는다. 챔버는, 처리 유닛(25)과 1대 1로 대응한다. 챔버의 내부에서는, 예를 들어, 처리액을 이용하여 기판을 세정하는 등의 처리가 행해진다. 기판 반송 로봇(26)은, 처리 유닛(25)에 기판을 반입하는 동작과, 처리 유닛(25)으로부터 기판을 반출하는 동작을 행한다. 처리 유닛(25)의 개수는, 예를 들어 24개이다. 이 경우, 예를 들어, 4개의 처리 유닛(25)을 적층한 타워 구조체가, 기판 반송 로봇(26)의 주위의 6개소에 설치된다.
인덱서 로봇(24)은, 카세트 유지부(23)에 올려놓여진 카세트로부터 처리 대상의 기판을 취출하고, 취출한 기판을 기판 수도(受渡)부(27)를 통해 기판 반송 로봇(26)에 건네준다. 기판 반송 로봇(26)은, 인덱서 로봇(24)으로부터 수취한 기판을 대상의 처리 유닛(25)에 반입한다. 기판에 대한 처리가 종료하면, 기판 반송 로봇(26)은, 대상의 처리 유닛(25)으로부터 기판을 취출하고, 취출한 기판을 기판 수도부(27)를 통해 인덱서 로봇(24)에 건네준다. 인덱서 로봇(24)은, 기판 반송 로봇(26)으로부터 수취한 기판을 대상의 카세트에 넣는다. 인덱서부(21)와 처리부(22)의 제어는, 기판 처리 장치(20)의 제어부(도시 생략)에 의해서 행해진다.
이하, 처리 유닛(25)이 1장의 기판에 대해서 행하는 처리를 「단위 처리」라고 한다. 단위 처리의 실행 중에, 처리 유닛(25)에서는, 센서 등을 이용하여 복수의 물리량이 측정된다. 샘플링부(11)는, 처리 유닛(25)으로 측정된 측정 데이터에 의거하여, 시계열 데이터(7)를 구한다. 기판 처리 장치(20)가 1회의 단위 처리를 행하면, 복수의 시계열 데이터(7)가 얻어진다. 시계열 데이터(7)를 그래프화하여 나타내면, 예를 들어 도 3에 실선으로 나타낸 바와 같이 된다. 대응하는 기준 데이터(8)를 그래프화하여 나타내면, 예를 들어 도 3에 파선으로 나타낸 바와 같이 된다. 도 3에 도시한 예에서는, 시계열 데이터(7)는, 기준 데이터(8)에 비해 상승시에 늦어지고 있다.
도 4는, 데이터 처리 장치(10)로서 기능하는 컴퓨터의 구성예를 도시한 블럭도이다. 도 4에 도시한 컴퓨터(30)는, CPU(31), 메인 메모리(32), 기억부(33), 입력부(34), 표시부(35), 통신부(36), 및 기록 매체 판독부(37)를 구비하고 있다. 메인 메모리(32)에는, 예를 들어, DRAM이 사용된다. 기억부(33)에는, 예를 들어, 하드 디스크가 사용된다. 입력부(34)에는, 예를 들어, 키보드(38)나 마우스(39)가 포함된다. 표시부(35)에는, 예를 들어, 액정 디스플레이가 사용된다. 통신부(36)는, 유선 통신 또는 무선 통신의 인터페이스 회로이다. 기판 처리 장치(20)와의 사이의 통신은, 통신부(36)를 이용하여 행해진다. 기록 매체 판독부(37)는, 프로그램 등을 기록한 기록 매체(40)의 인터페이스 회로이다. 기록 매체(40)에는, 예를 들어, CD-ROM 등의 비일과성의 기록 매체가 사용된다. 또한, 이상으로 말한 컴퓨터(30)의 구성은 일례에 지나지 않으며, 임의의 컴퓨터를 이용하여 데이터 처리 장치(10)를 구성할 수 있다.
이하, 컴퓨터(30)가 데이터 처리 장치(10)로서 기능하는 경우에 대해 설명한다. 이 경우, 기억부(33)는, 데이터 처리 프로그램(41)과 기준 데이터(8)를 기억한다. 데이터 처리 프로그램(41)과 기준 데이터(8)는, 예를 들어, 서버나 다른 컴퓨터로부터 통신부(36)를 이용하여 수신한 것 이여도 되고, 기록 매체(40)로부터 기록 매체 판독부(37)를 이용하여 읽어낸 것 이여도 된다. 데이터 처리 프로그램(41)을 실행할 때에는, 데이터 처리 프로그램(41)과 기준 데이터(8)는 메인 메모리(32)에 복사 전송된다. CPU(31)는, 메인 메모리(32)를 작업용 메모리로서 이용하여, 메인 메모리(32)에 기억된 데이터 처리 프로그램(41)을 실행함으로써, 기판 처리 장치(20)로부터 출력된 측정 데이터에 의거하여 시계열 데이터(7)를 구하는 처리, 시계열 데이터(7)의 스코어를 구하는 처리, 스코어에 의거하여 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 제어하는 처리 등을 행한다. 이때 컴퓨터(30)는, 데이터 처리 장치(10)로서 기능한다.
데이터 처리 장치(10)는, 도 5a~도 5d에 도시한 4개의 샘플링 주기 정의 테이블(16a~16d)과, 도 6에 도시한 요인 관련 테이블(17)을 구비하고 있다. 데이터 처리 장치(10)와 기판 처리 장치(20)가 동작을 개시하기 전에, 샘플링 주기 정의 테이블(16a~16d)과 요인 관련 테이블(17)에는, 도면에 기재한 데이터가 미리 기억되어 있다.
도 7은, 데이터 처리 장치(10)의 동작을 나타낸 플로차트이다. 데이터 처리 장치(10)는, CPU(31)가 메인 메모리(32)를 이용하여 데이터 처리 프로그램(41)을 실행함으로써, 도 7에 도시한 처리를 행한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 샘플링 주기 제어부(18)는, 우선, 샘플링부(11)에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S101). 단계 S101에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 모든 시계열 데이터(7)에 대해서, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 샘플링 주기 정의 테이블(16a~16d)에 기억된 정상 주기로 설정한다.
데이터 처리 장치(10)가 단계 S101을 실행한 후, 기판 처리 장치(20)는 기판에 대한 처리를 개시한다. 기판 처리 장치(20)가 1회의 단위 처리를 행하면, 복수의 측정 데이터가 얻어진다. 복수의 측정 데이터는, 기판 처리 장치(20)로부터 데이터 처리 장치(10)에 대해서 출력된다. 데이터 처리 장치(10)는, 기판 처리 장치(20)로부터 복수의 측정 데이터가 출력될 때마다, 단계 S102~S110을 실행한다.
샘플링부(11)에는, 단위 처리를 행했을 때에 얻어진 복수의 측정 데이터가 입력된다(단계 S102). 다음으로, 샘플링부(11)는, 단계 S102에서 입력된 복수의 측정 데이터에 의거하여, 복수의 시계열 데이터(7)를 구한다(단계 S103). 단계 S103에 있어서, 샘플링부(11)는, 기판 처리 장치(20)로부터 출력된 복수의 측정 데이터로부터 시계열 데이터(7)마다 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 시계열 데이터(7)를 구한다.
다음으로, 데이터 기억부(12)는, 단계 S103에서 구한 복수의 시계열 데이터(7)를 기억한다(단계 S104). 다음으로, 스코어 계산부(13)는, 데이터 기억부(12)에 기억된 복수의 시계열 데이터(7)의 스코어를 구한다(단계 S105). 단계 S105에 있어서, 스코어 계산부(13)는, 각 시계열 데이터(7)와 대응하는 기준 데이터(8)를 비교함으로써 스코어를 구한다. 다음으로, 결과 표시부(14)는, 단계 S105에서 구한 스코어에 의거하는 화면을 표시한다(단계 S106). 결과 표시부(14)가 표시하는 화면은, 시계열 데이터(7)의 스코어에 의거하는 한 임의여도 된다.
다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 스코어 에러에 의거하는 샘플링 주기 제어를 행한다(단계 S110). 도 8은, 스코어 에러에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다. 단계 S110에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 스코어의 상태가 변화한 시계열 데이터(7)(스코어가 정상으로부터 이상으로, 또는, 그 반대로 변화한 시계열 데이터)에 대해서, 도 8에 도시한 처리를 행한다. 이하, 단계 S110에서 처리되는 시계열 데이터를 SQ1이라고 한다.
도 5a에 도시한 샘플링 주기 정의 테이블(16a)은, 시계열 데이터의 종류에 대응지어, 정상 주기, 이상 주기, 및 자동 복귀 플래그를 기억하고 있다. 정상 주기는, 정상시의 샘플링 주기를 msec(밀리초) 단위로 나타낸다. 이상 주기는, 이상시의 샘플링 주기를 msec 단위로 나타낸다. 이상 주기는, 정상 주기보다 짧다. 이상 주기는, 예를 들어, 정상 주기의 1/3 이하로 설정된다. 자동 복귀 플래그는, TRUE 또는 FALSE의 값을 취한다. 값 TRUE는 자동 복귀가 유효인 것을 나타내고, 값 FALSE는 자동 복귀가 무효인 것을 나타낸다.
도 8에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 우선, 시계열 데이터(SQ1)의 스코어가 이상인지 여부(스코어 에러가 발생했는지 여부)를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S112로 진행하고, No의 경우에는 단계 S115로 진행한다(단계 S111).
단계 S111에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기가 정상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S113으로 진행한다(단계 S112). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S113). 단계 S113에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16a)로부터 시계열 데이터(SQ1)의 종류에 대응한 이상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 이상 주기로 설정한다.
다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S114). 도 6에 도시한 요인 관련 테이블(17)은, 처리 유닛(25)마다, 시계열 데이터(7)의 종류를 서로 관련지어 기억하고 있다. 시계열 데이터(SQ1)에 대응한 처리 유닛(25)이 PU이며, 요인 관련 테이블(17)의 처리 유닛(PU)의 란에 시계열 데이터(SQ1)의 종류가 기억되어 있는 경우에는, 샘플링 주기 제어부(18)는, 단계 S114에 있어서, 당해 란에 기억된 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다.
단계 S111에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S116으로 진행한다(단계 S115). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 자동 복귀를 행하는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S118로 진행하고, No의 경우에는 단계 S117로 진행한다(단계 S116). 단계 S116에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16a)로부터 시계열 데이터(SQ1)의 종류에 대응한 자동 복귀 플래그를 읽어내고, 자동 복귀 플래그가 TRUE인 경우에는 단계 S118로 진행하고, 그 이외의 경우에는 단계 S117로 진행한다.
단계 S116에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 입력되었는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S118로 진행한다(단계 S117). 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기로 제어된 경우, 이용자는, 스코어 에러의 상태를 확인하거나, 스코어 에러의 상태를 회복하기 위한 조작을 행한 후, 지시 입력부(15)를 이용하여 복귀 지시를 입력한다. 이용자가 입력한 복귀 지시는, 샘플링 주기 제어부(18)의 내부에 유지된다. 단계 S117에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 이미 입력되어 있는 경우에는 단계 S118로 진행한다.
단계 S116 또는 S117에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S118). 단계 S118에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16a)로부터 시계열 데이터(SQ1)의 종류에 대응한 정상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ1)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 정상 주기로 설정한다.
다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S119). 시계열 데이터(SQ1)에 대응한 처리 유닛(25)이 PU이며, 요인 관련 테이블(17)의 처리 유닛(PU)의 란에 시계열 데이터(SQ1)의 종류가 기억되어 있는 경우에는, 샘플링 주기 제어부(18)는, 단계 S119에 있어서, 당해 란에 기억된 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 단계 S114 또는 S119를 행한 후, 혹은, 단계 S112, S115 또는 S117에서 No라고 판단한 후에, 단계 S110을 종료한다.
예를 들어, 어느 시계열 데이터를 구할 때의 정상 주기가 300msec, 이상 주기가 100msec라고 한다. 도 9a는, 정상 주기를 이용하여 구한 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다. 이용자는, 도 9a에 도시한 그래프를 봐도, 시계열 데이터의 작은 변화를 인식할 수 없다. 데이터 처리 장치(10)에서는, 시계열 데이터의 스코어가 이상인 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기(100msec)로 제어한다. 도 9b는, 이상 주기를 이용하여 구한 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다. 이용자는, 도 9b에 도시한 그래프를 보았을 때에, 시계열 데이터의 작은 변화를 용이하게 인식할 수 있다.
샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 샘플링 주기 제어에 추가하여, 도 10~도 12에 도시한 샘플링 주기 제어를 행한다. 도 10~도 12에 도시한 샘플링 주기 제어는, 도 7에 도시한 처리를 행하고 있는 동안에 소정의 조건이 성립했을 때에 행해진다.
도 10은, 알람에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다. 상기 서술한 바와 같이, 데이터 처리 장치(10)에는, 기판 처리 장치(20)에서 알람이 발생했는지 여부를 나타내는 알람 신호가 입력된다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 발생 상황이 변화한 알람(「있음」으로부터 「없음」으로, 또는, 그 반대로 변화한 알람)에 대해서, 도 10에 도시한 처리를 행한다. 이하, 단계 S120에서 처리되는 알람을 AL, 알람(AL)에 관련지어진 시계열 데이터를 SQ2라고 한다.
도 5b에 도시한 샘플링 주기 정의 테이블(16b)은, 알람의 종류에 대응지어, 시계열 데이터의 종류, 정상 주기, 이상 주기, 및 자동 복귀 플래그를 기억하고 있다. 샘플링 주기 정의 테이블(16b)은, 시계열 데이터의 종류에 대응지어, 알람의 종류, 정상 주기, 이상 주기, 및 자동 복귀 플래그를 기억하고 있다고도 말할 수 있다.
도 10에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 우선, 알람(AL)이 발생했는지 여부(알람이 발생했는지 해소되었는지)를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S122로 진행하고, No의 경우에는 단계 S125로 진행한다(단계 S121).
단계 S121에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 알람(AL)에 대응지어진 시계열 데이터(SQ2)를 구할 때의 샘플링 주기가 정상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S123으로 진행한다(단계 S122). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ2)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S123). 단계 S123에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16b)로부터 알람(AL) 및 시계열 데이터(SQ2)의 종류에 대응한 이상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ2)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 이상 주기로 설정한다. 다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 단계 S114와 마찬가지로, 요인 관련 테이블(17)을 참조하여, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S124).
단계 S121에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ2)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S126으로 진행한다(단계 S125). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 자동 복귀를 행하는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S128로 진행하고, No의 경우에는 단계 S127로 진행한다(단계 S126). 단계 S126에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16b)로부터 알람(AL) 및 시계열 데이터(SQ2)의 종류에 대응한 자동 복귀 플래그를 읽어내고, 자동 복귀 플래그가 TRUE인 경우에는 단계 S128로 진행하고, 그 이외의 경우에는 단계 S127로 진행한다.
단계 S126에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 입력되었는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S128로 진행한다(단계 S127). 알람(AL)이 발생한 경우, 이용자는, 알람(AL)의 원인을 조사하거나, 알람(AL)을 해제하기 위한 조작을 행한 후, 지시 입력부(15)를 이용하여 복귀 지시를 입력한다. 단계 S127에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 이미 입력되어 있는 경우에는 단계 S128로 진행한다.
단계 S126 또는 S127에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ2)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S128). 단계 S128에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16b)로부터 알람(AL) 및 시계열 데이터(SQ2)의 종류에 대응한 정상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ2)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 정상 주기로 설정한다. 다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 단계 S119와 마찬가지로, 요인 관련 테이블(17)을 참조하여, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S129). 샘플링 주기 제어부(18)는, 단계 S124 또는 S129를 행한 후, 혹은, 단계 S122, S125 또는 S127에서 No라고 판단한 후에, 단계 S120을 종료한다.
도 11은, 시계열 데이터의 값에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다. 도 5c에 도시한 샘플링 주기 정의 테이블(16c)은, 부품의 종류에 대응지어, 시계열 데이터의 종류, 상한값, 상한 비율, 하한값, 하한 비율, 정상 주기, 이상 주기, 및 자동 복귀 플래그를 기억하고 있다. 샘플링 주기 정의 테이블(16c)은, 시계열 데이터의 종류에 대응지어, 부품의 종류, 상한값, 상한 비율, 하한값, 하한 비율, 정상 주기, 이상 주기, 및 자동 복귀 플래그를 기억하고 있다고 말할 수 있다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 값과 역치의 대소 관계가 변화한 시계열 데이터(7)(값이 「역치를 초과하지 않았다」로부터 「역치를 초과하고 있다」로, 또는, 그 반대로 변화한 시계열 데이터)에 대해서, 도 11에 도시한 처리를 행한다. 이하, 단계 S130에서 처리되는 시계열 데이터를 SQ3이라고 한다.
상한값은, 시계열 데이터의 상한값을 나타낸다. 상한 비율은, 시계열 데이터의 상한값에 대한 시계열 데이터의 상측 역치의 비율을 백분율로 나타낸다. 하한값은, 시계열 데이터의 하한값을 나타낸다. 하한 비율은, 시계열 데이터의 하한값에 대한, 시계열 데이터의 하측 역치와 시계열 데이터의 하한값의 차의 비율을 백분율로 나타낸다. 예를 들어, 도 5c에 도시한 샘플링 주기 정의 테이블(16c)의 부품 「온도 센서」의 란에는, 상한값 60℃, 상한 비율 90%, 하한값 15℃, 및 하한 비율 20%가 기억되어 있다. 이 경우, 시계열 데이터의 상측 역치는 60×90/100=54℃이며, 하측 역치는 15×(100＋20)/100=18℃이다.
도 11에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 우선, 시계열 데이터(SQ3)의 값이 역치를 초과했는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S132로 진행하고, No의 경우에는 단계 S135로 진행한다(단계 S131). 단계 S131에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16c)로부터 시계열 데이터(SQ3)의 종류에 대응한 상한값, 상한 비율, 하한값, 및 하한 비율을 읽어내고, 시계열 데이터(SQ3)의 값이 (상한값×상한 비율)을 초과하고 있는 경우, 또는, 시계열 데이터(SQ3)의 값이 ｛하한값×(1＋하한 비율)｝ 미만인 경우에는 단계 S132로 진행하고, 그 이외의 경우에는 단계 S135로 진행한다.
단계 S131에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기가 정상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S133으로 진행한다(단계 S132). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S133). 단계 S133에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16c)로부터 시계열 데이터(SQ3)의 종류에 대응한 이상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 이상 주기로 설정한다. 다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 단계 S114와 마찬가지로, 요인 관련 테이블(17)을 참조하여, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S134).
단계 S131에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S136으로 진행한다(단계 S135). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 자동 복귀를 행하는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S138로 진행하고, No의 경우에는 단계 S137로 진행한다(단계 S136). 단계 S136에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16c)로부터 시계열 데이터(SQ3)의 종류에 대응한 자동 복귀 플래그를 읽어내고, 자동 복귀 플래그가 TRUE인 경우에는 단계 S138로 진행하고, 그 이외의 경우에는 단계 S137로 진행한다.
단계 S136에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 입력되었는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S138로 진행한다(단계 S137). 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기로 제어된 경우, 이용자는, 시계열 데이터(SQ3)에 대응하는 부품을 교환하거나, 조정한 후, 지시 입력부(15)를 이용하여 복귀 지시를 입력한다. 단계 S137에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 이미 입력되어 있는 경우에는 단계 S138로 진행한다.
단계 S136 또는 S137에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S138). 단계 S138에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16c)로부터 시계열 데이터(SQ3)의 종류에 대응한 정상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ3)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 정상 주기로 설정한다. 다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 단계 S119와 마찬가지로, 요인 관련 테이블(17)을 참조하여, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S139). 샘플링 주기 제어부(18)는, 단계 S134 또는 S139를 행한 후, 혹은, 단계 S132, S135 또는 S137에서 No라고 판단한 후에, 단계 S130을 종료한다.
도 5c에 도시한 샘플링 주기 정의 테이블(16c)의 부품 「PLC 배터리」의 란에는, 하한값 300mV, 하한 비율 50%, 정상 주기 5000msec, 및 이상 주기 500msec가 기억되어 있다. 또한, PLC는, 프로그래머블 컨트롤러(Programmable Controller)의 약어이다. 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기는, 단계 S101에 있어서, 5000msec로 제어된다. 시계열 데이터의 하측 역치는, 300×(100＋50)/100=450이다. 따라서, PLC 배터리값이 450mV 미만이 되면, 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기는 500msec로 설정된다.
도 12는, 시계열 데이터의 편차에 의거하는 샘플링 주기 제어의 상세를 나타낸 플로차트이다. 도 5d에 도시한 샘플링 주기 정의 테이블(16d)은, 시계열 데이터의 종류에 대응하여, 표준 편차, 정상 주기, 이상 주기, 및 자동 복귀 플래그를 기억하고 있다. 표준 편차는, 시계열 데이터의 편차의 허용값을 나타낸다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 편차와 허용값의 대소 관계가 변화한 시계열 데이터(7)(편차가 「허용값을 초과하지 않았다」로부터 「허용값을 초과하고 있다」로, 또는, 그 반대로 변화한 시계열 데이터)에 대해서, 도 12에 도시한 처리를 행한다. 이하, 단계 S140에서 처리되는 시계열 데이터를 SQ4라고 한다.
도 12에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 우선, 시계열 데이터(SQ4)의 편차가 허용값을 초과했는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S142로 진행하고, No의 경우에는 단계 S145로 진행한다(단계 S141). 단계 S141에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16d)로부터 시계열 데이터(SQ4)의 종류에 대응한 표준 편차를 읽어내고, 시계열 데이터(SQ4)의 편차가 표준 편차를 초과하고 있는 경우에는 단계 S142로 진행하고, 그 이외의 경우에는 단계 S145로 진행한다.
단계 S141에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기가 정상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S143으로 진행한다(단계 S142). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S143). 단계 S143에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16d)로부터 시계열 데이터(SQ4)의 종류에 대응한 이상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 이상 주기로 설정한다. 다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 단계 S114와 마찬가지로, 요인 관련 테이블(17)을 참조하여, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(단계 S144).
단계 S141에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기인지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S146으로 진행한다(단계 S145). 이 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 자동 복귀를 행하는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S148로 진행하고, No의 경우에는 단계 S147로 진행한다(단계 S146). 단계 S146에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16d)로부터 시계열 데이터(SQ4)의 종류에 대응한 자동 복귀 플래그를 읽어내고, 자동 복귀 플래그가 TRUE인 경우에는 단계 S148로 진행하고, 그 이외의 경우에는 단계 S147로 진행한다.
단계 S146에서 No의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 입력되었는지 여부를 판단하여, Yes의 경우에는 단계 S148로 진행한다(단계 S147). 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기가 이상 주기로 제어된 경우, 이용자는, 시계열 데이터(7)의 편차를 허용값 이내로 하기 위한 조작을 행한 후, 지시 입력부(15)를 이용하여 복귀 지시를 입력한다. 단계 S147에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 복귀 지시가 이미 입력되어 있는 경우에는 단계 S148로 진행한다.
단계 S146 또는 S147에서 Yes의 경우, 샘플링 주기 제어부(18)는, 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S148). 단계 S148에 있어서, 샘플링 주기 제어부(18)는, 샘플링 주기 정의 테이블(16d)로부터 시계열 데이터(SQ4)의 종류에 대응한 정상 주기를 읽어내고, 다음 회 이후에 시계열 데이터(SQ4)를 구할 때의 샘플링 주기를 읽어낸 정상 주기로 설정한다. 다음으로, 샘플링 주기 제어부(18)는, 도 8에 도시한 단계 S119와 마찬가지로, 요인 관련 테이블(17)을 참조하여, 필요에 따라서 다른 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(단계 S149). 샘플링 주기 제어부(18)는, 단계 S144 또는 S149를 행한 후, 혹은, 단계 S142, S145 또는 단계 S147에서 No라고 판단한 후에, 단계 S140을 종료한다.
이상으로 도시한 플로차트에 있어서, 샘플링부(11)가 행하는 단계 S102 및 S103은, 샘플링 단계에 해당한다. 스코어 계산부(13)가 행하는 단계 S105는, 평가값 계산 단계에 해당한다. 샘플링 주기 제어부(18)가 행하는 단계 S101, S110, S120, S130 및 S140은, 샘플링 주기 제어 단계에 해당한다.
도 13a~도 13c는, 각각, 데이터 처리 장치(10)의 실장 형태의 제1~제3 예를 도시한 도면이다. 제1~제3 예에서는, 기판 처리 장치(20)의 외부에 컴퓨터(30)가 설치되고, 컴퓨터(30)가 CPU(31)를 이용하여 데이터 처리 프로그램(41)을 실행함으로써, 데이터 처리 장치(10)의 전부 또는 일부가 실현된다.
도 13a에 도시한 제1 예는, 도 1에 기재한 것과 동일하다. 제1 예에서는, 기판 처리 장치(20)의 외부에 설치된 컴퓨터(30)가, 데이터 처리 장치(10)로서 기능한다. 기판 처리 장치(20)에서는, 아날로그 신호의 샘플링(아날로그 신호의 표본화와 양자화)이 고정의 샘플링 주기로 행해진다. 샘플링부(11)에서 이용되는 샘플링 주기에 상관없이, 기판 처리 장치(20)로부터 컴퓨터(30)에는 동일한 양의 측정 데이터가 출력된다. 컴퓨터(30)에 의해서 실현되는 샘플링부(11)는, 기판 처리 장치(20)로부터 출력된 측정 데이터로부터 샘플링 주기 제어부(18)에서 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 시계열 데이터(7)를 구한다.
도 13b에 도시한 제2 예에서는, 데이터 처리 장치(10) 중 샘플링부(11)는 기판 처리 장치(20)에 포함되고, 다른 부분은 컴퓨터(30)에 의해서 실현된다. 기판 처리 장치(20)에서는, 아날로그 신호의 샘플링이 고정의 샘플링 주기로 행해진다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 기판 처리 장치(20)에 포함되는 샘플링부(11)에 대해서, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 나타내는 제어 신호(CS1)를 출력한다. 샘플링부(11)는, 기판 처리 장치(20)로 측정된 측정 데이터로부터 제어 신호(CS1)가 나타내는 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 시계열 데이터(7)를 구한다. 샘플링부(11)에서 구한 시계열 데이터(7)는, 컴퓨터(30)에 대해서 출력된다. 기판 처리 장치(20)로부터 컴퓨터(30)에는, 샘플링부(11)에서 이용되는 샘플링 주기에 따른 양의 시계열 데이터(7)가 출력된다.
도 13c에 도시한 제3 예에서는, 데이터 처리 장치(10) 중 샘플링부(11)는 기판 처리 장치(20)에 포함되고, 다른 부분은 컴퓨터(30)에 의해서 실현된다. 샘플링 주기 제어부(18)는, 기판 처리 장치(20)에 포함되는 샘플링부(11)에 대해서, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 나타내는 제어 신호(CS1)를 출력한다. 샘플링부(11)는, 기판 처리 장치(20)의 내부에서 아날로그 신호의 샘플링(아날로그 신호의 표본화와 양자화)을 제어 신호(CS1)가 나타내는 샘플링 주기로 행함으로써, 시계열 데이터(7)를 구한다. 샘플링부(11)에서 구한 시계열 데이터(7)는, 컴퓨터(30)에 대해서 출력된다. 기판 처리 장치(20)로부터 컴퓨터(30)에는, 샘플링부(11)에서 이용되는 샘플링 주기에 따른 양의 시계열 데이터(7)가 출력된다.
제1~제3 예 중 어느 예에서도, 샘플링부(11)는 기판 처리 장치(20)에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여, 시계열 데이터(7)를 구한다. 데이터 처리 장치(10)는, 제1~제3 예 중 어느 형태로 실장되어 있어도 된다.
본 실시 형태에 따르는 데이터 처리 방법은, 기판 처리 장치(20)에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터(7)를 구하는 샘플링 단계(S102, S103)와, 시계열 데이터(7)와 기준 데이터(8)를 비교함으로써, 시계열 데이터(7)의 평가값(스코어)을 구하는 평가값 계산 단계(S105)와, 샘플링 단계에서 이용되는 샘플링 주기를 시계열 데이터(7)마다 제어하는 샘플링 주기 제어 단계(S101, S110, S120, S130, S140)를 구비하고 있다. 샘플링 주기 제어 단계는, 초기 상태에서는 샘플링 단계에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며(S101), 시계열 데이터(7)의 평가값이 이상일 때에는, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어한다(S113). 이와 같이 시계열 데이터(7)와 기준 데이터(8)를 비교하여 얻어지는 평가값이 이상일 때에, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 함으로써, 시계열 데이터(7)마다 샘플링 주기를 적절한 타이밍에 바꾸어, 기판 처리 장치(20)에서 이상이 발생하기 전에 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
샘플링 주기 제어 단계는, 기판 처리 장치(20)에 있어서 알람이 발생했을 때에는, 알람에 관련지어진 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(S123). 따라서, 기판 처리 장치(20)에 있어서 알람이 발생했을 때에, 발생한 알람에 관련지어진 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 하여 상세한 데이터를 취득할 수 있다. 샘플링 주기 제어 단계는, 시계열 데이터(7)의 값이 미리 정한 역치를 초과했을 때나, 시계열 데이터(7)의 편차가 미리 정한 허용값을 초과했을 때에도, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(S133, S143). 따라서, 기판 처리 장치(20)의 고장의 전조로서 시계열 데이터(7)의 값이 역치를 초과했을 때나, 시계열 데이터(7)의 편차가 허용값을 초과했을 때에, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 짧게 하여 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
샘플링 주기 제어 단계는, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어할 때에, 시계열 데이터(7)에 관련지어진 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다(S114, S124, S134, S144). 따라서, 서로 관련하는 복수의 시계열 데이터(7)에 대해 상세한 데이터를 함께 취득할 수 있다. 샘플링 주기 제어 단계는, 시계열 데이터(7)의 종류를 서로 관련지어 기억하는 요인 관련 테이블(17)을 이용하여, 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어한다. 따라서, 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 용이하게 제어할 수 있다.
샘플링 주기 제어 단계는, 시계열 데이터(7)의 종류에 대응지어 정상 주기와 이상 주기를 기억하는 샘플링 주기 정의 테이블(16)을 이용하여, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 제어한다. 따라서, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 용이하게 제어할 수 있다. 샘플링 주기 정의 테이블(16)은, 시계열 데이터(7)의 종류에 대응지어 자동 복귀 플래그를 기억하고, 샘플링 주기 제어 단계는, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 이상 주기로 제어했을 때의 원인이 해소되며, 또한, 샘플링 주기 정의 테이블(16)에 기억된 시계열 데이터(7)에 대응한 자동 복귀 플래그가 유효일 때에는, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 정상 주기로 제어한다(S118, S128, S138, S148). 따라서, 시계열 데이터(7)의 특성에 따라, 시계열 데이터(7)를 구할 때의 샘플링 주기를 자동으로 정상 주기로 제어할 수 있다.
샘플링 단계는, 기판 처리 장치(20)로 측정된 측정 데이터로부터, 샘플링 주기 제어 단계에서 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 시계열 데이터(7)를 구해도 된다. 또, 기준 데이터(8)로서 다른 시계열 데이터를 이용함으로써, 시계열 데이터(7)에 대해 적절한 평가값을 구할 수 있다.
본 실시 형태에 따르는 데이터 처리 장치(10) 및 데이터 처리 프로그램(41)은, 상기의 데이터 처리 방법과 동일한 특징을 갖고, 동일한 효과를 발휘한다. 본 실시 형태에 따르는 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치(10), 및 데이터 처리 프로그램(41)에 의하면, 시계열 데이터마다 샘플링 주기를 적절한 타이밍에 바꾸어, 기판 처리 장치(20)에서 이상이 발생하기 전에 상세한 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 이상으로 서술한 데이터 처리 방법에서는, 샘플링 주기 제어 단계에 있어서, 단계 S101 및 S110에 추가하여, 단계 S120, S130 및 S140을 행하는 것으로 했다. 그러나, 샘플링 주기 제어 단계에 있어서, 단계 S120, S130 및 S140을 반드시 모두 행할 필요는 없다. 변형예에 따른 데이터 처리 방법에서는, 샘플링 주기 제어 단계에 있어서, 단계 S120, S130 및 S140을 전혀 행하지 않아도 되고, 혹은, 단계 S120, S130 및 S140 중에서 임의로 선택한 것만을 행해도 된다. 변형예에 따르는 데이터 처리 장치 및 데이터 처리 프로그램에 대해서도, 이것과 동일하다.
7: 시계열 데이터 8: 기준 데이터
10: 데이터 처리 장치 11: 샘플링부
12: 데이터 기억부 13: 스코어 계산부
14: 결과 표시부 15: 지시 입력부
16: 샘플링 주기 정의 테이블 17: 요인 관련 테이블
18: 샘플링 주기 제어부 20: 기판 처리 장치
25: 처리 유닛 30: 컴퓨터
31: CPU 32: 메인 메모리
40: 기록 매체 41: 데이터 처리 프로그램

Claims (20)

  1. 기판 처리 장치에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터를 구하는 샘플링 단계와,
    상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와,
    상기 샘플링 단계에서 이용되는 샘플링 주기를 상기 시계열 데이터마다 제어하는 샘플링 주기 제어 단계를 구비하고,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 초기 상태에서는 상기 샘플링 단계에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 상기 시계열 데이터의 평가값이 이상(異常)일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 기판 처리 장치에 있어서 알람이 발생했을 때에는, 상기 알람에 관련지어진 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 값이 미리 정한 역치를 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 편차가 미리 정한 허용값을 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어할 때에, 상기 시계열 데이터에 관련지어진 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 종류를 서로 관련지어 기억하는 요인 관련 테이블을 이용하여, 상기 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 정상 주기와 이상 주기를 기억하는 샘플링 주기 정의 테이블을 이용하여, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 샘플링 주기 정의 테이블은, 상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 자동 복귀 플래그를 더 기억하고,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어했을 때의 원인이 해소되며, 또한, 상기 샘플링 주기 정의 테이블에 기억된 상기 시계열 데이터에 대응한 자동 복귀 플래그가 유효일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 샘플링 단계는, 상기 기판 처리 장치에서 얻어진 측정 데이터로부터 상기 샘플링 주기 제어 단계에서 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 상기 시계열 데이터를 구하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 기준 데이터는 다른 시계열 데이터인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  11. 기판 처리 장치에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터를 구하는 샘플링부와,
    상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산부와,
    상기 샘플링부에서 이용되는 샘플링 주기를 상기 시계열 데이터마다 제어하는 샘플링 주기 제어부를 구비하고,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 초기 상태에서는 상기 샘플링부에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 상기 시계열 데이터의 평가값이 이상일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 기판 처리 장치에 있어서 알람이 발생했을 때에는, 상기 알람에 관련지어진 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터의 값이 미리 정한 역치를 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터의 편차가 미리 정한 허용값을 초과했을 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  15. 청구항 11 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어할 때에, 상기 시계열 데이터에 관련지어진 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 시계열 데이터의 종류를 서로 관련지어 기억하는 요인 관련 테이블을 더 구비하고,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 요인 관련 테이블을 이용하여, 상기 다른 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  17. 청구항 11에 있어서,
    상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 정상 주기와 이상 주기를 기억하는 샘플링 주기 정의 테이블을 더 구비하고,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 샘플링 주기 정의 테이블을 이용하여, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 샘플링 주기 정의 테이블은, 상기 시계열 데이터의 종류에 대응지어 자동 복귀 플래그를 더 기억하고,
    상기 샘플링 주기 제어부는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 이상 주기로 제어했을 때의 원인이 해소되며, 또한, 상기 샘플링 주기 정의 테이블에 기억된 상기 시계열 데이터에 대응한 자동 복귀 플래그가 유효일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  19. 청구항 11에 있어서,
    상기 샘플링부는, 상기 기판 처리 장치로 측정된 측정 데이터로부터 상기 샘플링 주기 제어부에서 제어된 샘플링 주기로 데이터를 추출함으로써, 상기 시계열 데이터를 구하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  20. 기판 처리 장치에 있어서의 물리량의 측정 결과에 의거하여 시계열 데이터를 구하는 샘플링 단계와,
    상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와,
    상기 샘플링 단계에서 이용되는 샘플링 주기를 상기 시계열 데이터마다 제어하는 샘플링 주기 제어 단계를,
    컴퓨터에 CPU가 메모리를 이용하여 실행시키고,
    상기 샘플링 주기 제어 단계는, 초기 상태에서는 상기 샘플링 단계에서 이용되는 모든 샘플링 주기를 정상 주기로 제어하며, 상기 시계열 데이터의 평가값이 이상일 때에는, 상기 시계열 데이터를 구할 때의 샘플링 주기를 상기 정상 주기보다 짧은 이상 주기로 제어하는 것을 특징으로 하는 기록 매체에 기록되는 데이터 처리 프로그램.
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