CN110134077A - 数据处理方法、数据处理装置及记录介质 - Google Patents

数据处理方法、数据处理装置及记录介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够在异常发生前获取详细的数据的数据处理方法。数据处理方法包括：采样步骤(S103)，基于基板处理装置(20)的物理量的测定结果来求取时序数据7；评价值计算步骤(S105)，将时序数据(7)与基准数据(8)进行来求取时序数据(7)的评价值；以及采样周期控制步骤，对每个时序数据(7)控制在采样步骤中利用的采样周期。在采样周期控制步骤中，在初始状态下将所有采样周期控制为正常周期(S101)，在时序数据(7)的评价值为异常时，将求取时序数据(7)时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期(S113)。

Description

数据处理方法、数据处理装置及记录介质
技术领域
本发明涉及数字数据处理，尤其涉及由基板处理装置测定的数据的处理方法、处理装置以及记录介质。
背景技术
作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并对将测定结果按时序顺序排列得到的时序数据进行分析的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且分析该异常的时序数据来确定异常的发生位置或原因。
半导体基板(以下称为基板)的制造工序中，利用多个基板处理装置执行一系列处理。基板处理装置包括用于对基板进行一系列处理中的特定处理的多个处理单元。各处理单元根据预先设定的流程(称为规程)对基板进行处理。此时基于各处理单元的测定结果，得到时序数据。通过对得到的时序数据进行分析，能够确定发生异常的处理单元或异常的原因。
关于本发明，日本特开2008-42005号公报中记载了一种数据收集方法，在按照规定的采样周期从测量器收集测定数据时，根据基板处理装置的状态切换采样周期。日本特开2017-83985号公报中记载了一种数据处理装置，将多个时序数据分为多个组，求取各组的异常度及各组内的时序数据的异常度，并且显示基于异常度将组或时序数据进行排序的结果。
发明内容
然而，日本特开2008-42005号公报所记载的数据收集方法中，存在由于切换采样周期的时机不恰当，而不能在基板处理装置中发生异常前获取详细的数据的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种能够在基板处理装置中发生异常前获取详细的数据的数据处理方法。
本发明的第1实施方式是一种数据处理方法，其特征在于，
所述数据处理方法包括：
采样步骤，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
采样周期控制步骤，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；
在所述采样周期控制步骤中，在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
本发明的第2实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在所述基板处理装置中发生了警报时，将求取与所述警报建立关联关系的时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第3实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的值超过了预先设定的阈值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第4实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的偏差超过了预先设定的容许值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第5实施方式根据本发明的第1～第4中任一实施方式，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时，将求取与所述时序数据建立关联关系的其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第6实施方式根据本发明的第5实施方式，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，利用将所述时序数据的种类相互建立关联关系并存储的要因关联表，将求取所述其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第7实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，利用将正常周期及异常周期与所述时序数据的种类建立对应关系并存储的采样周期定义表，控制求取所述时序数据时的采样周期。
本发明的第8实施方式根据本发明的第7实施方式，其特征在于，
所述采样周期定义表还将自动恢复标志与所述时序数据的种类建立对应关系并存储，
在所述采样周期控制步骤中，在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时的原因消除、并且存储在所述采样周期定义表中的与所述时序数据对应的自动恢复标志有效时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述正常周期。
本发明的第9实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述采样步骤中，通过从由所述基板处理装置得到的测定数据中按照在所述采样周期控制步骤中控制的采样周期提取数据，来求取所述时序数据。
本发明的第10实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
所述基准数据是其他时序数据。
本发明的第11实施方式是一种数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置具有：
采样部，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，
评价值计算部，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
采样周期控制部，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；
所述采样周期控制部在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
本发明的第12实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述采样周期控制部在所述基板处理装置中发生了警报时，将求取与所述警报建立关联关系的时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第13实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述采样周期控制部在所述时序数据的值超过了预先设定的阈值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第14实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述采样周期控制部在所述时序数据的偏差超过了预先设定的容许值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第15实施方式根据本发明的第11～第14中任一实施方式，其特征在于，
所述采样周期控制部在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时，将求取与所述时序数据建立关联关系的其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第16实施方式根据本发明的第15实施方式，其特征在于，
所述数据处理装置还具有将所述时序数据的种类相互建立关联关系并存储的要因关联表，
所述采样周期控制部利用所述要因关联表，将求取所述其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
本发明的第17实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述数据处理装置还具有将正常周期及异常周期与所述时序数据的种类建立对应关系并存储的采样周期定义表，
所述采样周期控制部利用所述采样周期定义表，控制求取所述时序数据时的采样周期。
本发明的第18实施方式根据本发明的第17实施方式，其特征在于，
所述采样周期定义表还将自动恢复标志与所述时序数据的种类建立对应关系并存储，
所述采样周期控制部在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时的原因消除、并且存储在所述采样周期定义表中的与所述时序数据对应的自动恢复标志有效时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述正常周期。
本发明的第19实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述采样部通过从由所述基板处理装置测定的测定数据中按照由所述采样周期控制部控制的采样周期提取数据，来求取所述时序数据。
本发明的第20实施方式是一种计算机可读取的记录介质，其上存储有数据处理程序，其特征在于，
所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
采样步骤，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
采样周期控制步骤，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；
在所述采样周期控制步骤中，在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
根据上述第1、第11或第20实施方式，能够在将时序数据与基准数据进行比较而得到的评价值为异常时，缩短求取时序数据时的采样周期，由此对每个时序数据在适当的时机切换采样周期，在基板处理装置中发生异常前获取详细的数据。
根据上述第2或第12实施方式，在基板处理装置中发生了警报时，能够将求取与发生的警报建立关联的时序数据时的采样周期缩短来获取详细的数据。
根据上述第3或第13实施方式，能够在出现基板处理装置的故障的预兆即时序数据的值超过了阈值时，缩短求取时序数据时的采样周期来获取详细的数据。
根据上述第4或第14实施方式，能够在时序数据的偏差超过了容许值时，缩短求取时序数据时的采样周期来获取详细的数据。
根据上述第5或第15实施方式，能够在缩短求取某一时序数据时的采样周期时，缩短求取关联的其他时序数据时的采样周期，由此对相互关联的多个时序数据一起获取详细的数据。
根据上述第6或第16实施方式，能够利用要因关联表来容易地控制求取其他时序数据时的采样周期。
根据上述第7或第17实施方式，能够利用采样周期定义表来容易地控制求取时序数据时的采样周期。
根据上述第8或第18实施方式，能够利用存储有自动恢复标志的采样周期定义表，来根据时序数据的特性，将求取时序数据时的采样周期自动地控制为正常周期。
根据上述第9或第19实施方式，能够从由基板处理装置得到的测定数据中提取数据来求取期望的时序数据。
根据上述第10实施方式，能够利用其他时序数据作为基准数据，对时序数据求取恰当的评价值。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的数据处理装置的结构的框图。
图2是示出图1所示的基板处理装置的概略结构的图。
图3是以曲线图的形式示出图1所示的数据处理装置的时序数据的图。
图4是示出作为图1所示的数据处理装置发挥功能的计算机的结构例的框图。
图5A是示出图1所示的数据处理装置的采样周期定义表的图。
图5B是示出图1所示的数据处理装置的其他采样周期定义表的图。
图5C是示出图1所示的数据处理装置的其他采样周期定义表的图。
图5D是示出图1所示的数据处理装置的其他采样周期定义表的图。
图6是示出图1所示的数据处理装置的要因关联表的图。
图7是示出图1所示的数据处理装置的动作的流程图。
图8是示出由图1所示的数据处理装置进行的基于评分错误的采样周期控制的详细内容的流程图。
图9A是以曲线图的形式示出图1所示的数据处理装置中利用正常周期求出的时序数据的图。
图9B是以曲线图的形式示出图1所示的数据处理装置中利用异常周期求出的时序数据的图。
图10是示出由图1所示的数据处理装置进行的基于警报的采样周期控制的详细内容的流程图。
图11是示出由图1所示的数据处理装置进行的基于时序数据的值的采样周期控制的详细内容的流程图。
图12是示出由图1所示的数据处理装置进行的基于时序数据的偏差的采样周期控制的详细内容的流程图。
图13A是示出图1所示的数据处理装置的安装方式的第一例的图。
图13B是示出图1所示的数据处理装置的安装方式的第二例的图。
图13C是示出图1所示的数据处理装置的安装方式的第三例的图。
其中，附图标记说明如下：
7 时序数据
8 基准数据
10 数据处理装置
11 采样部
12 数据存储部
13 评分计算部
14 结果显示部
15 指示输入部
16 采样周期定义表
17 要因关联表
18 采样周期控制部
20 基板处理装置
25 处理单元
30 计算机
31 CPU
32 主存储器
40 记录介质
41 数据处理程序
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式的数据处理方法、数据处理装置以及数据处理程序。本实施方式的数据处理方法典型地利用计算机来执行。本实施方式的数据处理程序是用于利用计算机实施数据处理方法的程序。本实施方式的数据处理装置典型地由计算机构成。执行数据处理程序的计算机作为数据处理装置发挥功能。
图1是示出本发明的实施方式的数据处理装置的结构的框图。图1所示的数据处理装置10具有采样部11、数据存储部12、评分计算部13、结果显示部14、指示输入部15、多个采样周期定义表16、要因关联表17以及采样周期控制部18。数据处理装置10通过与基板处理装置20连接而被使用。
基板处理装置20具有多个处理单元25，通过各处理单元25测定用于表示处理单元25的动作状态的多个物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)。基板处理装置20向数据处理装置10输出由各处理单元25得到的测定数据。
采样部11基于基板处理装置20的物理量的测定结果来求取时序数据7。更详细而言，采样部11从由基板处理装置20得到的测定数据中按照一定的时间间隔(以下称为采样周期)提取数据，由此求取时序数据7。采样周期控制部18对每个时序数据7控制采样部11所使用的采样周期。数据存储部12存储由采样部11求出的时序数据7、以及时序数据7的期望值数据即基准数据8。例如，使用大量时序数据中被判断为作为期望值数据最佳的其他时序数据作为基准数据8。
评分计算部13对于存储在数据存储部12中的时序数据7求取评价值(以下称为“评分”)。评分计算部13从数据存储部12读取时序数据7及对应的基准数据8，并通过将两者进行比较来求取评分。评分计算部13作为求取时序数据7的评价值的评价值计算部发挥功能。结果显示部14显示基于时序数据7的评分的画面。
基板处理装置20向数据处理装置10输出用于表示基板处理装置20中是否发生了警报的警报信号。向指示输入部15输入来自使用者(基板处理装置20的操作者)的指示。采样周期定义表16至少将正常周期和异常周期与时序数据的种类建立对应关系并存储。要因关联表17对每个处理单元25将时序数据的种类相互建立关联关系并存储。采样周期定义表16与要因关联表17的详细内容将在后文进行叙述
向采样周期控制部18输入在数据存储部12中存储的时序数据7、由评分计算部13求出的评分、从基板处理装置20输出的警报信号、以及利用指示输入部15输入的来自使用者的指示。采样周期控制部18基于这些输入，利用采样周期定义表16与要因关联表17，对每个时序数据9控制采样部11所使用的采样周期。采样周期控制部18在初始状态下将采样部11所使用的所有采样周期控制为正常周期，在时序数据7的评分异常时，将求取时序数据7时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期。
图2是示出基板处理装置20的概略结构的图。基板处理装置20具有索引部21和处理部22。索引部21包括多个盒体保持部23和索引机械手24。处理部22包括多个处理单元25和基板搬送机械手26。盒体保持部23上放置用于收纳多个基板的盒体(未图示)。索引机械手24进行从盒体取出基板的动作、以及将基板装入盒体的动作。处理单元25具有用于对基板进行处理的空间(以下称为腔室)。腔室与处理单元25一一对应。在腔室内部例如进行利用处理液清洗基板等的处理。基板搬送机械手26进行向处理单元25搬入基板的动作、以及从处理单元25搬出基板的动作。处理单元25的个数例如是24个。该情况下，例如，层叠有4个处理单元25的塔结构体设置在基板搬送机械手26的周围的6个位置。
索引机械手24从放置于盒体保持部23的盒体取出作为处理对象的基板，并且将取出的基板经由基板传递部27传递给基板搬送机械手26。基板搬送机械手26将从索引机械手24接收的基板搬入作为对象的处理单元25。当对于基板进行的处理结束时，基板搬送机械手26从作为对象的处理单元25取出基板，并且将取出的基板经由基板传递部27传递给索引机械手24。索引机械手24将从基板搬送机械手26接收的基板装入作为对象的盒体。索引部21与处理部22的控制由基板处理装置20的控制部(未图示)来进行。
以下，将处理单元25对一张基板进行的处理称为“单位处理”。在执行单位处理时，处理单元25利用传感器等测定多个物理量。采样部11基于由处理单元25测定的测定数据来求取时序数据7。当基板处理装置20进行一次单位处理时，得到多个时序数据7。以曲线图的形式示出时序数据7，例如
图3中实线所示。以图标的形式示出对应的基准数据8，例如图3中虚线所示。图3所示的例子中，时序数据7与基准数据8相比在上升时延迟。
图4是示出作为数据处理装置10发挥功能的计算机的结构例的框图。图4所示的计算机30具有CPU31、主存储器32、存储部33、输入部34、显示部35、通信部36以及记录介质读取部37。例如，使用DRAM(Dynamic Random Access Memory：动态随机存储器)作为主存储器32。例如，使用硬盘作为存储部33。输入部34例如包括键盘38、鼠标39。例如，使用液晶显示器作为显示部35。通信部36是有线通信或无线通信的接口电路。与基板处理装置20之间的通信通过通信部36来进行。记录介质读取部37是记录有程序等的记录介质40的接口电路。例如，使用CD-ROM(Compact Disc Read-Only Memory：光盘只读存储器)等非暂时性记录介质作为记录介质40。需要说明的是，上述的计算机30的结构仅为一例，可以使用任意的计算机来构成数据处理装置10。
下面，说明计算机30作为数据处理装置10发挥功能的情况。该情况下，存储部33存储数据处理程序41与基准数据8。数据处理程序41与基准数据8例如可以是利用通信部36从服务器或其他计算机接收的程序，也可以是利用记录介质读取部37从记录介质40读出的程序。在执行数据处理程序41时，数据处理程序41与基准数据8被复制传输到主存储器32。CPU31通过利用主存储器32作为工作用存储器，来执行在主存储器32中存储的数据处理程序41，从而进行基于从基板处理装置20输出的测定数据来求取时序数据7的处理、求取时序数据7的评分的处理、对基于评分来求取时序数据7时的采样周期进行控制的处理等。此时计算机30作为数据处理装置10发挥功能。
数据处理装置10具有图5A～图5D所示的4个采样周期定义表16a～16d和图6所示的要因关联表17。在数据处理装置10与基板处理装置20开始进行动作前，采样周期定义表16a～16d与要因关联表17中预先存储有附图所示的数据。
图7是示出数据处理装置10的动作的流程图。数据处理装置10通过使CPU31利用主存储器32执行数据处理程序41，来进行图7所示的处理。
如图7所示，采样周期控制部18首先将采样部11所使用的所有采样周期控制为正常周期(步骤S101)。步骤S101中，采样周期控制部18对所有时序数据7将求取时序数据7时的采样周期设定为存储在采样周期定义表16a～16d中的正常周期。
在数据处理装置10执行完步骤S101后，基板处理装置20开始对基板进行处理。当基板处理装置20进行一次单位处理时，得到多个测定数据。从基板处理装置20向数据处理装置10输出多个测定数据。每当从基板处理装置20输出多个测定数据时，数据处理装置10执行步骤S102～S110。
向采样部11输入在进行单位处理时得到的多个测定数据(步骤S102)。接着，采样部11基于在步骤S102中输入的多个测定数据，求取多个时序数据7(步骤S103)。在步骤S103中，采样部11通过在从基板处理装置20输出的多个测定数据中对每个时序数据7按照控制的采样周期提取数据，来求取时序数据7。
接着，数据存储部12存储在步骤S103中求出的多个时序数据7(步骤S104)。接着，评分计算部13求取在数据存储部12中存储的多个时序数据7的评分(步骤S105)。步骤S105中，评分计算部13通过将各时序数据7与对应的基准数据8进行比较来求取评分。接着，结果显示部14显示基于在步骤S105中求出的评分的画面(步骤S106)。结果显示部14显示的画面可以是任意的，只要基于时序数据7的评分即可。
接着，采样周期控制部18进行基于评分错误的采样周期控制(步骤S110)。图8是示出基于评分错误的采样周期控制的详细内容的流程图。在步骤S110中，采样周期控制部18对于评分的状态发生了变化的时序数据7(评分从正常变为异常、或从异常变为正常的时序数据)进行图8所示的处理。以下，将在步骤S110中处理的时序数据称为SQ1。
图5A所示的采样周期定义表16a将正常周期、异常周期及自动恢复标志与时序数据的种类建立对应关系并存储。正常周期以msec(毫秒)单位表示正常时的采样周期。异常周期以msec单位表示异常时的采样周期。异常周期比正常周期短。异常周期例如设定为正常周期的1/3以下。自动恢复标志取TRUE值或FALSE值。值TRUE表示自动恢复有效，值FALSE表示自动恢复无效。
图8中，采样周期控制部18首先判断时序数据SQ1的评分是否异常(是否发生了评分错误)，在判断为“是”的情况下进行步骤S112，在判断为“否”的情况下进行步骤S115(步骤S111)。
在步骤S111中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ1时的采样周期是否是正常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S113(步骤S112)。该情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ1时的采样周期控制为异常周期(步骤S113)。步骤S113中，采样周期控制部18从采样周期定义表16a中读取与时序数据SQ1的种类对应的异常周期，将下一次以后求取时序数据SQ1时的采样周期设定为读出的异常周期。
接着，采样周期控制部18根据需要将其他采样周期控制为异常周期(步骤S114)。图6所示的要因关联表17对每个处理单元25将时序数据7的种类相互建立关联关系并存储。在与时序数据SQ1对应的处理单元25为PU，并且在要因关联表17的处理单元PU的栏中存储有时序数据SQ1的种类的情况下，采样周期控制部18在步骤S114中将求取该栏中存储的其他时序数据时的采样周期控制为异常周期。
在步骤S111中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ1时的采样周期是否为异常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S116(步骤S115)。该情况下，采样周期控制部18判断是否进行自动恢复，在判断为“是”的情况下进行步骤S118，在判断为“否”的情况下进行步骤S117(步骤S116)。在步骤S116中，采样周期控制部18从采样周期定义表16a中读取与时序数据SQ1的种类对应的自动恢复标志，在自动恢复标志为TRUE的情况下进行步骤S118，除此以外的情况下进行步骤S117。
在步骤S116中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断是否输入了恢复指示，在判断为“是”的情况下进行步骤S118(步骤S117)。在将求取时序数据SQ1时的采样周期控制为异常周期的情况下，使用者在确认了评分错误的状态、或进行了用于恢复评分错误的状态的操作后，利用指示输入部15输入恢复指示。使用者输入的恢复指示被保持在采样周期控制部18的内部。在步骤S117中，采样周期控制部18在已经输入了恢复指示的情况下进行步骤S118。
在步骤S116或S117中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ1时的采样周期控制为正常周期(步骤S118)。在步骤S118中，采样周期控制部18从采样周期定义表16a中读取与时序数据SQ1的种类对应的正常周期，将下一次以后求取时序数据SQ1时的采样周期设定为读出的正常周期。
接着，采样周期控制部18根据需要将其他采样周期控制为正常周期(步骤S119)。在与时序数据SQ1对应的处理单元25为PU、并且在要因关联表17的处理单元PU的栏中存储有时序数据SQ1的种类的情况下，采样周期控制部18在步骤S119中将求取在该栏中存储的其他时序数据时的采样周期控制为正常周期。采样周期控制部18在进行了步骤S114或S119后，或者在步骤S112、S115或S117中判断为“否”之后，结束步骤S110。
例如，假设求取某一时序数据时的正常周期为300msec，异常周期为100msec。图9A是以曲线图形式示出利用正常周期将求出的时序数据的图。使用者即使看到图9A所示的图，也不能识别时序数据的微小变化。在数据处理装置10中，在时序数据的评分异常的情况下，采样周期控制部18将求取时序数据时的采样周期控制为异常周期(100msec)。图9B是以曲线图形式示出利用异常周期将求出的时序数据的图。使用者在看到图9B所示的图时，能够容易地识别时序数据的微小变化。
除了图8所示的采样周期控制以外，采样周期控制部18还进行图10～图12所示的采样周期控制。图10～图12所示的采样周期控制是在进行图7所示的处理的期间当规定条件成立时进行的。
图10是示出基于警报的采样周期控制的详细内容的流程图。如上所述，向数据处理装置10输入表示基板处理装置20中是否发生了警报的警报信号。采样周期控制部18对发生状况产生了变化的警报(从“有”变为“无”、或从“无”变为“有”的警报)进行图10所示的处理。以下，将在步骤S120中处理的警报称为AL，将与警报AL建立关联关系的时序数据称为SQ2。
图5B所示的采样周期定义表16b将时序数据的种类、正常周期、异常周期及自动恢复标志与警报的种类建立对应关系并存储。也可以认为采样周期定义表16b将警报的种类、正常周期、异常周期及自动恢复标志与时序数据的种类建立对应关系并存储。
图10中，采样周期控制部18首先判断警报AL是否发生(警报是发生了还是消除了)，在判断为“是”的情况下进行步骤S122，在判断为“否”的情况下进行步骤S125(步骤S121)。
在步骤S121中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18判断求取与警报AL建立对应关系的时序数据SQ2时的采样周期是否为正常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S123(步骤S122)。该情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ2时的采样周期控制为异常周期(步骤S123)。步骤S123中，采样周期控制部18从采样周期定义表16b中读取与警报AL及时序数据SQ2的种类对应的异常周期，将下一次以后求取时序数据SQ2时的采样周期设定为读出的异常周期。接着，采样周期控制部18与图8所示的步骤S114同样地，参照要因关联表17，根据需要将其他采样周期控制为异常周期(步骤S124)。
在步骤S121中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ2时的采样周期是否为异常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S126(步骤S125)。该情况下，采样周期控制部18判断是否进行自动恢复，在判断为“是”的情况下进行步骤S128，在判断为“否”的情况下进行步骤S127(步骤S126)。在步骤S126中，采样周期控制部18从采样周期定义表16b中读取与警报AL及时序数据SQ2的种类对应的自动恢复标志，在自动恢复标志为TRUE的情况下进行步骤S128，除此以外的情况下进行步骤S127。
在步骤S126中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断是否输入了恢复指示，在判断为“是”的情况下进行步骤S128(步骤S127)。在发生了警报AL的情况下，使用者在调查了警报AL的原因、或进行了用于解除警报AL的操作后，利用指示输入部15输入恢复指示。在步骤S127中，采样周期控制部18在已经输入了恢复指示的情况下进行步骤S128。
在步骤S126或S127中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ2时的采样周期控制为正常周期(步骤S128)。在步骤S128中，采样周期控制部18从采样周期定义表16b中读取与警报AL及时序数据SQ2的种类对应的正常周期，将下一次以后求取时序数据SQ2时的采样周期设定为读出的正常周期。接着，采样周期控制部18与图8所示的步骤S119同样地，参照要因关联表17，根据需要将其他采样周期控制为正常周期(步骤S129)。采样周期控制部18在进行了步骤S124或S129后，或者在步骤S122、S125或S127中判断为“否”之后，结束步骤S120。
图11是示出基于时序数据的值的采样周期控制的详细内容的流程图。图5C所示的采样周期定义表16c将时序数据的种类、上限值、上限比率、下限值、下限比率、正常周期、异常周期及自动恢复标志与部件的种类建立对应关系并存储。也可以认为采样周期定义表16c将部件的种类、上限值、上限比率、下限值、下限比率、正常周期、异常周期及自动恢复标志与时序数据的种类建立对应关系并存储。采样周期控制部18对值与阈值的大小关系发生了变化的时序数据7(值从“未超过阈值”变为“超过阈值”、或从“超过阈值”变为“未超过阈值”的时序数据)进行图11所示的处理。以下，将在步骤S130中处理的时序数据称为SQ3。
上限值表示时序数据的上限值。上限比率将时序数据的上侧阈值相对于时序数据的上限值的比例用百分率来表示。下限值表示时序数据的下限值。下限比率将时序数据的下侧阈值与时序数据的下限值的差相对于时序数据的下限值的比率用百分率来表示。例如，图5C所示的采样周期定义表16c的部件“温度传感器”的一栏中存储有上限值60℃、上限比率90％、下限值15℃以及下限比率20％。该情况下，时序数据的上侧阈值为60×90/100＝54℃，下侧阈值为15×(100+20)/100＝18℃。
图11中，采样周期控制部18首先判断时序数据SQ3的值是否超过了阈值，在判断为“是”的情况下进行步骤S132，在判断为“否”的情况下进行步骤S135(步骤S131)。在步骤S131中，采样周期控制部18从采样周期定义表16c中读取与时序数据SQ3的种类对应的上限值、上限比率、下限值以及下限比率，在时序数据SQ3的值超过了(上限值×上限比率)的情况下、或者在时序数据SQ3的值小于{下限值×(1+下限比率)}的情况下进行步骤S132，除此以外的情况下进行步骤S135。
在步骤S131中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ3时的采样周期是否为正常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S133(步骤S132)。该情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ3时的采样周期控制为异常周期(步骤S133)。在步骤S133中，采样周期控制部18从采样周期定义表16c中读取与时序数据SQ3的种类对应的异常周期，将下一次以后求取时序数据SQ3时的采样周期设定为读出的异常周期。接着，采样周期控制部18与图8所示的步骤S114同样地，参照要因关联表17，根据需要将其他采样周期控制为异常周期(步骤S134)。
在步骤S131中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ3时的采样周期是否为异常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S136(步骤S135)。该情况下，采样周期控制部18判断是否进行自动恢复，在判断为“是”的情况下进行步骤S138，在判断为“否”的情况下进行步骤S137(步骤S136)。在步骤S136中，采样周期控制部18从采样周期定义表16c中读取与时序数据SQ3的种类对应的自动恢复标志，在自动恢复标志为TRUE的情况下进行步骤S138，除此以外的情况下进行步骤S137。
在步骤S136中判断为“否”的情况下采样周期控制部18判断是否输入了恢复指示，在判断为“是”的情况下进行步骤S138(步骤S137)。在将求取时序数据SQ3时的采样周期控制为异常周期的情况下，使用者在更换或调整与时序数据SQ3对应的部件后，利用指示输入部15输入恢复指示。在步骤S137中，采样周期控制部18在已经输入了恢复指示的情况下进行步骤S138。
在步骤S136或S137中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ3时的采样周期控制为正常周期(步骤S138)。在步骤S138中，采样周期控制部18从采样周期定义表16c中读取与时序数据SQ3的种类对应的正常周期，将下一次以后求取时序数据SQ3时的采样周期设定为读出的正常周期。接着，采样周期控制部18与图8所示的步骤S119同样地，参照要因关联表17，根据需要将其他采样周期控制为正常周期(步骤S139)。在进行了步骤S134或S139之后，或者在步骤S132、S135或步骤S137中判断为“否”之后，采样周期控制部18结束步骤S130。
图5C所示的采样周期定义表16c的部件“PLC电池”的一栏中存储有下限值300mV、下限比率50％、正常周期5000msec以及异常周期500msec。需要说明的是，PLC是可编程控制器(Programmable Controller：可编程控制器)的缩略语。在步骤S101中，求取时序数据时的采样周期被控制为5000msec。时序数据的下侧阈值为300×(100+50)/100＝450。因此，当PLC电池值小于450mV时，将求取时序数据时的采样周期设定为500msec。
图12是示出基于时序数据的偏差的采样周期控制的详细内容的流程图。图5D所示的采样周期定义表16d将标准偏差、正常周期、异常周期及自动恢复标志与时序数据的种类建立对应关系并存储。标准偏差表示时序数据的偏差的容许值。采样周期控制部18对于偏差与容许值的大小关系发生了变化的时序数据7(偏差从“未超过容许值”变为“超过容许值”、或偏差从“超过容许值”变为“未超过容许值”的时序数据)进行图12所示的处理。以下，将在步骤S140中处理的时序数据称为SQ4。
图12中，采样周期控制部18首先判断时序数据SQ4的偏差是否超过了容许值，在判断为“是”的情况下进行步骤S142，在判断为“否”的情况下进行步骤S145(步骤S141)。步骤S141中，采样周期控制部18从采样周期定义表16d中读取与时序数据SQ4的种类对应的标准偏差，在时序数据SQ4的偏差超过了标准偏差的情况下进行步骤S142，除此以外的情况下进行步骤S145。
在步骤S141中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ4时的采样周期是否为正常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S143(步骤S142)。该情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ4时的采样周期控制为异常周期(步骤S143)。步骤S143中，采样周期控制部18从采样周期定义表16d中读取与时序数据SQ4的种类对应的异常周期，将下一次以后求取时序数据SQ4时的采样周期设定为读出的异常周期。接着，采样周期控制部18与图8所示的步骤S114同样地，参照要因关联表17，根据需要将其他采样周期控制为异常周期(步骤S144)。
在步骤S141中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断求取时序数据SQ4时的采样周期是否为异常周期，在判断为“是”的情况下进行步骤S146(步骤S145)。该情况下，采样周期控制部18判断是否进行自动恢复，在判断为“是”的情况下进行步骤S148，在判断为“否”的情况下进行步骤S147(步骤S146)。在步骤S146中，采样周期控制部18从采样周期定义表16d中读取与时序数据SQ4的种类对应的自动恢复标志，在自动恢复标志为TRUE的情况下进行步骤S148，除此以外的情况下进行步骤S147。
在步骤S146中判断为“否”的情况下，采样周期控制部18判断是否输入了恢复指示，在判断为“是”的情况下进行步骤S148(步骤S147)。在将求取时序数据SQ4时的采样周期控制为异常周期的情况下，使用者在进行了用于使时序数据7的偏差在容许值以内的操作之后，利用指示输入部15输入恢复指示。步骤S147中，采样周期控制部18在已经输入了恢复指示的情况下进行步骤S148。
在步骤S146或S147中判断为“是”的情况下，采样周期控制部18将求取时序数据SQ4时的采样周期控制为正常周期(步骤S148)。在步骤S148中，采样周期控制部18从采样周期定义表16d中读取与时序数据SQ4的种类对应的正常周期，将下一次以后求取时序数据SQ4时的采样周期设定为读出的正常周期。接着，采样周期控制部18与图8所示的步骤S119同样地，参照要因关联表17，根据需要将其他采样周期控制为正常周期(步骤S149)。采样周期控制部18在进行了步骤S144或S149后、或者在步骤S142、S145或步骤S147中判断为“否”之后，结束步骤S140。
以上所示的流程图中，采样部11进行的步骤S102及S103相当于采样步骤。评分计算部13进行的步骤S105相当于评价值计算步骤。采样周期控制部18进行的步骤S101、S110、S120、S130及S140相当于采样周期控制步骤。
图13A～图13C是分别示出数据处理装置10的安装方式的第一～第三例的图。第一～第三例中，通过在基板处理装置20的外部设置计算机30，并且计算机30利用CPU31执行数据处理程序41，从而实现数据处理装置10的全部或一部分。
图13A所示的第一例与图1所示的方式相同。在第一例中，设置在基板处理装置20外部的计算机30作为数据处理装置10发挥功能。基板处理装置20中，按照固定的采样周期进行模拟信号的采样(模拟信号的抽样与量化)。无论采样部11所使用的采样周期如何，均从基板处理装置20向计算机30输出相同量的测定数据。由计算机30实现的采样部11通过在从基板处理装置20输出的测定数据中按照由采样周期控制部18控制的采样周期提取数据，由此求取时序数据7。
在图13B所示的第二例中，数据处理装置10中的采样部11包括在基板处理装置20中，其他部分由计算机30实现。基板处理装置20中，按照固定的采样周期进行模拟信号的采样。采样周期控制部18对基板处理装置20所具有的采样部11输出表示求取时序数据7时的采样周期的控制信号CS1。采样部11通过从由基板处理装置20测定的测定数据中按照控制信号CS1所示的采样周期提取数据，来求取时序数据7。对计算机30输出由采样部11求出的时序数据7。从基板处理装置20向计算机30输出与采样部11所使用的采样周期对应的量的时序数据7。
在图13C所示的第三例中，数据处理装置10中的采样部11被包括在基板处理装置20中，其他部分由计算机30实现。采样周期控制部18对基板处理装置20所具有的采样部11输出表示求取时序数据7时的采样周期的控制信号CS1。采样部11通过在基板处理装置20的内部按照控制信号CS1所示的采样周期进行模拟信号的采样(模拟信号的抽样与量化)，来求取时序数据7。向计算机30输出由采样部11求出的时序数据7。从基板处理装置20向计算机30输出与采样部11所使用的采样周期对应的量的时序数据7。
在第一～第三例中的任一例中，采样部11均基于基板处理装置20的物理量的测定结果来求取时序数据7。数据处理装置10可以按照第一～第三例中的任一例的方式进行安装。
本实施方式的数据处理方法包括：采样步骤(S102、S103)，基于基板处理装置20的物理量的测定结果来求取时序数据7的；评价值计算步骤(S105)，通过将时序数据7与基准数据8进行比较来求取时序数据7的评价值(评分)；以及采样周期控制步骤(S101、S110、S120、S130、S140)，对每个时序数据7控制采样步骤中利用的采样周期。在采样周期控制步骤中，在初始状态下将在采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期(S101)，在时序数据7的评价值为异常时，将求取时序数据7时的采样周期控制为比正常周期短的异常周期(S113)。像这样在将时序数据7与基准数据8进行比较而得到的评价值为异常时，通过缩短求取时序数据7时的采样周期，能够对每个时序数据7在适当的时机切换采样周期，在基板处理装置20中发生异常前获取详细的数据。
在采样周期控制步骤中，在基板处理装置20中发生了警报时，将求取与警报建立关联关系的时序数据7时的采样周期控制为异常周期(S123)。因此，能够在基板处理装置20中发生了警报时，将求取与发生的警报建立关联关系的时序数据7时的采样周期缩短来获取详细的数据。在采样周期控制步骤中，在时序数据7的值超过了预先设定的阈值时、或时序数据7的偏差超过了预先设定的容许值时，也将求取时序数据7时的采样周期控制为异常周期(S133、S143)。因此，能够在出现基板处理装置20的故障的预兆即时序数据7的值超过了阈值时、或时序数据7的偏差超过了容许值时，缩短求取时序数据7时的采样周期来获取详细的数据。
在采样周期控制步骤中，在将求取时序数据7时的采样周期控制为异常周期时，将求取与时序数据7建立关联关系的其他时序数据时的采样周期控制为异常周期(S114、S124、S134、S144)。因此，能够对相互关联的多个时序数据7一起获取详细的数据。在采样周期控制步骤中，利用将时序数据7的种类相互建立关联关系并存储的要因关联表17，将求取其他时序数据时的采样周期控制为异常周期。因此，能够容易地控制求取其他时序数据时的采样周期。
在采样周期控制步骤中，利用将正常周期和异常周期与时序数据7的种类建立对应关系并存储的采样周期定义表16，控制求取时序数据7时的采样周期。因此，能够容易地控制求取时序数据7时的采样周期。采样周期定义表16将自动恢复标志与时序数据7的种类建立对应关系并存储，在采样周期控制步骤中，在将求取时序数据7时的采样周期控制为异常周期时的原因消除、并且与存储在采样周期定义表16中的时序数据7对应的自动恢复标志有效时，将求取时序数据7时的采样周期控制为正常周期(S118、S128、S138、S148)。因此，能够根据时序数据7的特性，将求取时序数据7时的采样周期自动地控制为正常周期。
在采样步骤中，可以通过从由基板处理装置20测定的测定数据中，按照在采样周期控制步骤中控制的采样周期提取数据，由此来求取时序数据7。此外，通过利用其他时序数据作为基准数据8，能够对时序数据7求取恰当的评价值。
本实施方式的数据处理装置10及数据处理程序41具有与上述的数据处理方法同样的特征，起到同样的效果。根据本实施方式的数据处理方法、数据处理装置10以及数据处理程序41，能够对每个时序数据在适当的时机切换采样周期，在基板处理装置20中发生异常前获取详细的数据。
另外，上述的数据处理方法中，在采样周期控制步骤中，除了步骤S101及S110以外，还进行步骤S120、S130及S140。但是，在采样周期控制步骤中，并不一定要进行全部的步骤S120、S130及S140。在变形例的数据处理方法中，在采样周期控制步骤中，可以不必进行全部的步骤S120、S130及S140，或者可以仅进行从步骤S120、S130及S140中任意选择出的步骤。变形例的数据处理装置及数据处理程序也是同样。

Claims (20)

1.一种数据处理方法，其特征在于，
所述数据处理方法包括：
采样步骤，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
采样周期控制步骤，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；
在所述采样周期控制步骤中，在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在所述基板处理装置中发生了警报时，将求取与所述警报建立关联关系的时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
3.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的值超过了预先设定的阈值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
4.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在所述时序数据的偏差超过了预先设定的容许值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时，将求取与所述时序数据建立关联关系的其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
6.根据权利要求5所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，利用将所述时序数据的种类相互建立关联关系并存储的要因关联表，将求取所述其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
7.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样周期控制步骤中，利用将正常周期及异常周期与所述时序数据的种类建立对应关系并存储的采样周期定义表，控制求取所述时序数据时的采样周期。
8.根据权利要求7所述的数据处理方法，其特征在于，
所述采样周期定义表还将自动恢复标志与所述时序数据的种类建立对应关系并存储，
在所述采样周期控制步骤中，在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时的原因消除、并且存储在所述采样周期定义表中的与所述时序数据对应的自动恢复标志有效时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述正常周期。
9.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述采样步骤中，通过从由所述基板处理装置得到的测定数据中按照在所述采样周期控制步骤中控制的采样周期提取数据，来求取所述时序数据。
10.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基准数据是其他时序数据。
11.一种数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置具有：
采样部，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，
评价值计算部，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
采样周期控制部，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；
所述采样周期控制部在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
12.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述采样周期控制部在所述基板处理装置中发生了警报时，将求取与所述警报建立关联关系的时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
13.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述采样周期控制部在所述时序数据的值超过了预先设定的阈值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
14.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述采样周期控制部在所述时序数据的偏差超过了预先设定的容许值时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
15.根据权利要求11～14中任一项所述的数据处理装置，其特征在于，
所述采样周期控制部在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时，将求取与所述时序数据建立关联关系的其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
16.根据权利要求15所述的数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置还具有将所述时序数据的种类相互建立关联关系并存储的要因关联表，
所述采样周期控制部利用所述要因关联表，将求取所述其他时序数据时的采样周期控制为所述异常周期。
17.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置还具有将正常周期及异常周期与所述时序数据的种类建立对应关系并存储的采样周期定义表，
所述采样周期控制部利用所述采样周期定义表，控制求取所述时序数据时的采样周期。
18.根据权利要求17所述的数据处理装置，其特征在于，
所述采样周期定义表还将自动恢复标志与所述时序数据的种类建立对应关系并存储，
所述采样周期控制部在将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述异常周期时的原因消除、并且存储在所述采样周期定义表中的与所述时序数据对应的自动恢复标志有效时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为所述正常周期。
19.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述采样部通过从由所述基板处理装置测定的测定数据中按照由所述采样周期控制部控制的采样周期提取数据，来求取所述时序数据。
20.一种计算机可读取的记录介质，其上存储有数据处理程序，其特征在于，
所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
采样步骤，基于基板处理装置的物理量的测定结果来求取时序数据，
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
采样周期控制步骤，对每个所述时序数据控制在所述采样步骤中利用的采样周期；
在所述采样周期控制步骤中，在初始状态下将在所述采样步骤中利用的所有采样周期控制为正常周期，在所述时序数据的评价值为异常时，将求取所述时序数据时的采样周期控制为比所述正常周期短的异常周期。
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