JP4128339B2 - 試料処理装置用プロセスモニタ及び試料の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料処理装置用プロセスモニタ及び試料処理装置の制御方法に係り、特に、半導体デバイスの微細加工に好適な真空処理装置用プロセスモニタ及び及びそれを利用した半導体デバイスの製造装置の制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
年々、半導体デバイスの寸法は微細化しており、加工の寸法精度に対する要求も厳しくなっている。一方、熱やプラズマを用いて半導体ウエハを物理化学的に加工する半導体製造装置では、装置内部の化学反応により生成される反応生成物などが装置の内壁に付着して残留し、時間と共にウエハの処理状態を変化させてしまうことがしばしばある。このためウエハの処理を何枚も重ねるにつれて、半導体デバイスの加工形状が徐々に変わり性能が劣化してしまうという問題がある。この問題に対応するために、通常はチャンバ内壁の付着物をプラズマによってクリーニングしたり、チャンバ壁の温度を上げて付着物が付き難くするなどの対策が行われている。しかし、大抵の場合、これらの対策は完全ではなく、結局半導体デバイスの加工形状は徐々に変化してしまう。このため、加工形状が問題となるほど変わる前に製造装置の部品の交換や洗浄が行われる。また、堆積膜以外にも様々な装置状態の変動がウエハの加工形状の変動に関与する。したがって、半導体製造装置内部の処理状態の変化を検出し、検出結果をプラズマ処理装置の入力にフィードバックして処理状態を一定に保つなどの工夫が考案されてきた。
【0003】
このようなプラズマ処理の変動を監視する方法は、例えば特開平10−125660号公報に開示されている。この開示例では、プラズマ処理特性と装置の電気信号の関係式を用いて装置性能を予測したりプラズマの状態を診断する方法が示されている。その方法としては3つの電気信号と装置のプラズマ処理特性との関係を表す近似式を重回帰分析により求める方法が開示されている。またもう一つの例が特開平11−87323号公報に開示されている。この開示例では、既存の複数の検出器を取り付けた一般的な検出システムをプラズマ処理装置に当てはめ、その検出信号の相関信号から装置の状態を監視する方法が示されている。その相関信号を生成する方法としては、6つの電気信号の比による計算式が開示されている。またもう一つの開示例が米国特許第5658423号にある。この開示例では、光や質量分析器の数多くの信号を取り込んで相関信号を生成し装置の状態を監視する方法が示されている。この相関信号を生成する方法としては主成分分析を用いる方法が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平10−125660号公報記載の方法では、多数ある処理条件を軸とする多次元空間のマップ上で、3つの電気信号と処理特性の関係を表す近似式を重回帰分析を用いて導く。このように処理特性を広大なマップ上で測定するにはきわめて多くのウエハが必要となり、実際の運用は困難である。さらに、測定時に考慮されなかった処理条件が変動したときには、求められた近似式は使えない。また、実用上最も問題となるチャンバ内部の堆積膜のような観測困難な内部条件の影響を近似式に採り入れるには、さらに膨大な数の処理特性の取得実験が必要となる。さらに、特開平11−87323号公報記載の方法は、よく知られた複数の検出手段からの複数の検出信号の相関をとった信号を診断に用いると言った一般的な方法であるが、開示された相関をとる方法もいくつかの信号の比をとるという従来の手法であり、多くの変動原因に応じて多様な状態を取るプラズマ処理装置の状態を正確に監視するシステムの具体的実現手段を見出すことは困難である。
【0005】
これとは異なり、米国特許第5658423号では装置からモニタした多量のデータを主成分分析して装置状態の変動を捉えることにより多様なプラズマの状態を監視する方法を提供している。しかしこの開示例から、様々なデバイス構造を持つウエハを様々な条件で処理する実際のプラズマ処理装置での有効な実施方法を見出すにはさらに工夫が必要である。特に、これらの公知例では、一枚のウエハの処理でも通常はいくつかの処理条件の組み合わせで行われ、各処理ステップが加工精度に与える影響が異なることが考慮されていない。例え処理の条件が一定であったとしても処理時間の前半と後半では加工形状に与える影響は異なる。今後の半導体デバイスの性能は極めて微小な加工形状の変化にも敏感で、このような微小な加工形状の変動をモニタして制御するには、処理の時間シーケンスを意識した具体的な処理のモニタ方法が不可欠である。
【0006】
本発明の目的は、試料処理装置の多様な処理状態に対応可能で、運用が容易なプロセスモニタ及び試料処理装置の制御方法および試料の製造方法を提供することにある。
【0007】
本発明の他の目的は、試料処理装置の処理状態をモニタし、正確にかつ容易に処理状態の変化を監視し、処理条件の制御を行うことができるプロセスモニタ及び試料処理装置の制御方法および試料の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、センサを介して処理装置における試料の処理状態に関係する複数のモニタデータを取得するモニタデータ取得部と、該複数のモニタデータの中から前記試料の任意の処理区分に属するモニタデータを選択するデータ選択手段と、前記データ選択手段により選択された処理区分に属するモニタデータを監視信号として生成する監視信号生成部と、前記処理装置において処理された複数の試料に関して得られた前記監視信号を、時系列的に表示部に表示する表示設定コントローラとを備えたことにある。
【0009】
本発明の他の特徴は、センサを介して処理装置における試料の処理状態に関係する複数のモニタデータを取得するモニタデータ取得部と、該複数のモニタデータの中から前記試料の任意の処理区分に属するモニタデータを選択するデータ選択手段と、前記データ選択手段により選択された処理区分に属するモニタデータを監視信号として生成する監視信号生成部と、前記処理装置において処理された複数の試料に関して得られた前記監視信号を、時系列的に表示部に表示する表示設定コントローラと、前記処理装置の使用状況によって表示を切り替える表示切替手段とを備えたプロセスモニタにある。
【0010】
本発明の他の特徴は、センサを介して処理装置における試料の処理状態に関係する複数のモニタデータを取得するモニタデータ取得部と、該複数のモニタデータの中から該モニタデータを加工してモニタした数より少ない数の監視信号を抽出する監視信号生成部と、前記処理装置において処理された複数の試料に関して得られた前記監視信号を、時系列的に表示部に表示する表示設定コントローラとを有することにある。
【0011】
本発明によれば、処理条件や試料の累積処理枚数などによって複雑多様な状態を持つ試料処理装置の処理状態をモニタし、その多様な処理シーケンスの中から装置の監視を行う装置監視信号を取得する手段を提供することにより、運用が容易なプロセスモニタおよびその表示方法および試料処理装置の制御方法および半導体デバイスの製造方法を提供することができる。
【0012】
また、本発明によれば、さらに、プラズマ装置からセンサによりモニタデータを取得し、試料の処理性能に関わる最も重要な試料処理区分のデータから装置監視信号を生成することにより、正確にかつ容易に処理状態の変化を監視し、処理条件の制御を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を、図面に従って説明する。
図1に本発明の第1の実施例を示す。図1は、センサと表示装置を備えた本発明の第1の実施例になる試料処理装置の構成を示す図である。1は、半導体製造装置やLCD製造装置などの試料処理装置である。試料処理装置1は、ここでは、試料として半導体デバイス製造のためのシリコンウエハが処理される半導体製造用の装置として説明する。試料処理装置1は、真空容器と、その内部にプラズマ生成部を形成するための放電部と、真空容器内において被処理物である試料、例えば、ウエハを配置するための電極が設置された処理部とから成る。試料処理装置1の真空容器内にはガス供給装置から処理ガスが供給され、真空容器内は排気装置によって所定の圧力に減圧排気される。電極には、高周波電源が接続されている。
【0014】
上記のように構成された試料処理装置1では、ウエハ(試料)が搬入され電極上に配置される。そして、ガス供給装置によって真空容器内に処理ガスを供給し、該処理ガスを電界の作用によって、プラズマ化する。試料は処理ガスとプラズマにより処理、例えばプラズマエッチングされる。なお、プラズマ化されたガスは後に、排気装置によって排気される。試料処理装置1内における試料の処理は、コントローラ3によって制御されている。
【0015】
試料処理装置1には、試料処理装置内の多様な処理状態に関する情報をモニタデータとして検出し、取得するための複数のセンサ2が設置されている。センサ2は試料処理装置内の試料の処理状態や試料の処理環境(以下単に試料の処理状態)をモニタしており、一定あるいは任意の時間間隔でモニタデータを取得する。具体的には、処理装置に供給される処理ガスに関する情報、処理装置内部の圧力、処理装置内部に生成されるプラズマの状態、試料の処理加工に関する情報、などが含まれる。
【0016】
センサ2は光スペクトル分光器やモノクロメータのような光検出手段であってもよいし、電圧検出器や電流検出器やインピーダンスモニタなどの電気信号検出器であってもよいし、装置内部の圧力検出器であってもよいし、処理ガスの流量検出器や装置の稼動部分の位置検出器や温度検出器であってもよいし、質量分析器などの処理装置内部のガス組成検出器であってもよい。
【0017】
ただし、処理装置内部の複雑な処理状態を把握するために、できるだけ多種かつ多数のモニタデータを取得することが望ましい。つまり、プラズマ発光を波長分解したスペクトルデータや電気信号を周波数分解したスペクトルデータなどはモニタデータとして最適である。
【0018】
センサ2で取得されたモニタデータはデータ選択手段4に送られる。センサ2は、例えば1秒に1回処理装置からの発光のスペクトルを取得して選択手段4に送る。
【0019】
データ選択手段4は送られたモニタデータから装置の監視に用いる部分を選択する。最も単純には、データ選択手段4は全てのモニタデータを選択しても良い。データ選択手段4により選択されたモニタデータは装置監視信号生成部5に送られる。装置監視信号生成部5は受け取ったモニタデータから監視タイプに応じた装置監視信号を生成し、出力データバッファ6に送る。監視タイプとは、試料の加工形状を監視する場合、処理装置内部の堆積膜の状態を監視する場合、処理装置の各部の部品の消耗度合いを監視する場合、試料毎の処理状態の変化を複数の試料を比較して監視する場合、試料のロット毎の処理状態の変化を複数のロットを比較して監視する場合など試料の処理に関して監視する対象のことである。
【0020】
出力データバッファ6は必要な数だけの複数の装置監視信号を保持し、表示部7に複数の装置監視信号を送る。また、表示部7は送られた装置監視信号を表示画面に表示するとともに表示設定コントローラ8を備える。表示設定コントローラ8は、データ選択手段4での選択方法や、装置監視信号生成部5の監視タイプや、出力データバッファ6の出力数を設定する機能を持つ。出力データバッファ6は表示部7に組み込まれていてもよいし、表示設定コントローラ8は必ずしも表示部7に付属している必要はなく、独立して存在していてもよい。
【0021】
図2に、図1の試料処理装置1における表示部7の表示画面の一例を示す。表示部7の表示画面は、表示部7や表示設定コントローラ8に対する入出力部としての機能を備えており、このウィンドウ22の表示は表示設定コントローラ8により制御される。
【0022】
図2において、表示部7のウィンドウ22はウエハ毎の処理状態の変動を表示している。ウィンドウ22は、例えば、横軸に処理の終了したウエハを時系列に並べ、縦軸には各ウエハの装置監視信号をとったグラフを表示する。ウィンドウ22には装置に起こったイベントの表記21が追加されていても良い。このイベントは、現在処理中の処理装置で起こったイベントや、表示されているウエハが過去に処理された半導体製造装置で起こったイベントをLANなどにより取得して表示してもよい。
【0023】
ボタン24は、現在ウィンドウ22に表示している装置監視信号の監視タイプを表示するとともに、監視タイプの設定ウィンドウを開くコマンドボタンの役割を果たしていてもよい。同様に、ボタン25は、ウィンドウ22に表示されるウエハ数を表示すると共に表示試料数設定ウィンドウを開くコマンドボタンでもある。また、ボタン26はウィンドウ22に表示するデバイスタイプすなわち試料の種類を表示するとともに、デバイスタイプ設定ウィンドウを開くコマンドボタンでもある。また、ボタン27はウィンドウ22に表示する装置監視信号を生成するための試料処理区分を表示するとともに、該試料処理区分を選択するウィンドウを開くコマンドボタンでもある。
【0024】
図3に、図2の表示を実施するため表示設定コントローラ8の処理系の一構成例を示し、図4にそのデータ処理の流れの一実施例を示す。
半導体製造装置において、試料の処理は複数の処理条件の組み合わせにより行われることが多い。ここでは、試料処理中の各処理条件に当たる部分を試料処理区分と呼ぶことにする。試料処理区分は、処理条件の区切りにかかわらず、もっと細かく分けてもよいし、もっと大きく例えば処理の前半と後半のように分けてもよい。例えば、監視タイプが試料の加工形状であるときに、最終的な試料の加工形状は全ての試料処理区分に均等に影響されるわけではなく、重点的に監視すべき試料処理区分がある。このため、センサ2で取得されたモニタデータはデータ選択手段4に送られる(図4、S400〜S402)。
【0025】
この実施例の場合、データ選択手段4は試料処理区分選択部9のみで構成されており、試料処理区分選択ボタン10によって、どの試料処理区分のモニタデータを出力するか選べる。選択されたモニタデータは装置監視信号生成部5に送られる(S404)。監視タイプ設定ボタン11により選択された種類の装置監視信号が装置監視信号生成部5により生成され(S406)、出力データバッファ6に送られる(S408)。通常は、選ばれた各試料処理区分の間に多数のモニタデータが取得され、その結果として装置監視信号の時間変化のデータが多数生成される。処理状態の時間変化を監視する場合には装置監視信号の時間変化がそのまま出力データバッファ6に送られ、試料毎の処理状態変化を監視する場合には、試料毎に装置監視信号を平均化するなどの処理をしてから出力データバッファ6に送られる。出力データバッファ6は表示試料数設定ボタン12で指定された数の試料に対応する装置監視信号を表示デバイス選択部13に送る(S410)。表示デバイス選択ボタン14で指定された種類の試料の装置監視信号のみが表示部7に送られ、表示される(S412)。
【0026】
図5、図6に表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。図5は監視タイプ選択ウィンドウの一例を示しており、図6は表示設定コントローラ8の動作フロー例を示す。
ボタン24が押されると監視タイプ選択ウィンドウが表示される(S602〜S606)。そして、監視タイプがメニュー28により選択できる(S608〜S612)。メニュー28の選択の項目は、例えば、「総合レベル1」はおおまかな装置の処理状態を表示する監視タイプで、「総合レベル2」はさらに細かな処理状態の変動を監視する処理状態の監視タイプ、「総合レベル3」はさらに細かい変動を監視する監視タイプなどとなっている。その他にも、加工寸法精度や加工スピードに関連した「処理性能」の項目があってもよいし、装置内部の部品の消耗度合いを示す「部品消耗」の項目があっても良い。なお、チェックボックス28は複数種類選択できるようになっていても良く、複数種類選ばれた場合は、ウィンドウ22に複数種類の装置監視信号が表示される。
【0027】
図7、図8に表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。図7は表示試料数設定ウィンドウを示し、図8に表示設定コントローラ8の動作フローの例を示す。
図7の表示試料数設定ウィンドウは、表示試料数設定ボタン25を押すことにより表示される(S802〜S806)。ウィンドウ22のような試料毎の表示の場合には表示試料数を入力部29で設定し、後述のウィンドウ23のようなロット毎の表示の場合には表示ロット数が入力部29により設定される(S808〜S814)。
【0028】
図9、図10に表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。図9はデバイス選択ウィンドウの一例を示し、図10に表示設定コントローラ8の動作フローの例を示す。
デバイス選択ウィンドウはボタン26を押すと表示され(S1002〜S1006)、試料のデバイス種類がチェックボックス31により複数個選択できる(S1008〜S1012)。チェックボックス31に対応するデバイスラベル32はデバイスの種類がリストアップしてある。例えば、デバイス名が「T12345F」という場合で、該デバイス名中の「T」と「F」がそれぞれデバイス構造上の意味を持つ場合、表示デバイス名を「T12345F」ひとつでなく、「T」で始まるデバイス全て、もしくは「F」で終わるデバイス名全て、といった選び方ができることが望ましい。デバイスラベル32では、直前に処理が終わった試料と同じデバイス全てといった選び方ができるようにもなっている。同じデバイスで複数種類のレシピすなわち処理条件の組み合わせがあるときには、それぞれ別のデバイスとして認識してデバイス選択できるようにしてもよいし、別のレシピ選択ウィンドウを用意してもよい。表示するデバイス種類を選び終わったら、終了ボタン30を押すと選択したデバイス種類が確定し、デバイス種類選択ウィンドウが終了する(S1014)。
【0029】
図11に表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。図は試料処理区分選択ウィンドウの一例を示しており、装置監視信号を生成するために用いられる試料処理区分がチェックボックス33により複数個選択できる。表示設定コントローラ8の動作は図10と同様である。複数の試料処理区分から一つの装置監視信号を生成して表示してもよいし、複数の装置監視信号を生成して表示しても良い。チェックボックス33に対応する試料処理区分ラベル34は試料処理区分名が表示される。装置監視信号を生成するのに必要な試料処理区分は監視タイプによってことなるので、試料処理区分名ラベル34はプルダウンメニュー28で選ばれた監視タイプに応じて変化することが望ましい。
【0030】
図12に表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。この例では、あらかじめ定義された試料処理区分ではなく、任意の処理区分を選択できるようになっている。ステップ開始点35とステップ終了点35´を時間軸36上で指定することにより、試料処理区分として任意の時間範囲を抽出することができる。
【0031】
図13に本発明の表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。この例の全体的な動作シーケンスは図3と同じである。ただ、試料処理区分自動選択部15が追加されている点でことなる。この例では、ユーザが表示する試料処理区分を選択しなくても監視タイプ設定ボタン11によって設定された監視タイプに最適な試料処理区分を試料処理区分自動選択部15が判断して試料処理区分選択手段9の動作を設定する。ここで選択する処理ステップは一つの監視タイプに対していくつかの処理ステップを選択してもよい。
【0032】
図14に本発明の表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。この実施例では、センサ2で取得されたデータはモニタデータ保存手段16に蓄積される。次に、表示試料数設定ボタン12で選択された数だけデータロード部17がデータをモニタデータ保存手段16から取り出してデバイス選択部13に送る。デバイス選択部はデバイス選択ボタン14で指定された種類の試料のモニタデータのみを試料処理区分選択部に送る。すると試料処理区分選択ボタン15で指定されたモニタデータのみが装置監視信号生成部5に送られ、監視タイプ設定ボタン11に対応する装置監視信号が表示部7に表示される。
【0033】
図15に本発明の表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。図14では過去の処理のモニタデータが保存されているが、図15の例では、過去の試料の処理の装置監視信号のみを装置監視信号データベース20に保存しておき、過去の試料の装置監視信号はここから取得する。この方法では、モニタデータが非常に多く、保存容量が膨大になる場合などに情報が圧縮された装置監視信号のみを保存しておくことにより保存のための容量が少なくて済むと言う利点がある。
【0034】
図16、図17に本発明の表示部7のウィンドウ及び表示設定コントローラ8の他の例を示す。この例のウィンドウ23はロット毎の処理状態の変動を表示している。ウエハ毎の表示かロット毎の表示かを選択するには、例えば図5の監視タイプ選択ウィンドウで試料毎表示選択ボタン28´やロット毎表示選択ボタン28´´により選択できるようになっている。ウィンドウ23は例えば、横軸に処理済みのロットを時系列に並べ、縦軸に各ロットの装置監視信号がプロットされたグラフである。半導体デバイスの製造では試料はロットという数個の試料のまとまりごとに処理される。
【0035】
8インチのウエハの場合は25枚のウエハのまとまりが1ロットであることが多い。しかし、1ロットに含まれる試料の数は場合により異なる。装置内壁のクリーニングなどは1つ1つの試料の間にも行われることがあるが、ロットとロットの間に特別なクリーニング処理などが入ることがある。また、ロットとロットの間の空き時間には処理チャンバの各所の温度が変わることなどがある。このため、安定に試料を処理している状況においても装置監視信号は一定の値となるのではなく、ロットごとに或る変動パターンを繰り返すことが多い。この変動パターンは試料のデバイス種類によって異なる。このような場合には、信号がある一定のレンジに入っていることだけをチェックする従来の監視方法では不充分である。
【0036】
本発明では、データベースから取得された該当デバイスの処理中に得られる標準的な装置監視信号の変動パターンとモニタされる装置監視信号の変動パターンが比較され、その比較データがロット毎の装置監視信号として表示され、処理の異常があったロットが容易に見出せる。また、各ロットの表示部をマウスなどで選択すると、該ロットの中の各資料の装置監視信号がウィンドウ22に表示されるようになっているとなお良い。この場合、ウィンドウ23で異常と思われるロットが見つかったときに、このロットの表示部を選択すると該異常ロットに属する試料の処理状態がウィンドウ22に表示され、異常のあったロットのうちでどの試料の処理が異常であったか容易に見出せる。ウィンドウ23の表示もウィンドウ22と同様な機能を持ったボタン群24´、25´、26´、27´によって表示を制御できる。
【0037】
図17に、図16の表示を実施するための表示設定コントローラ8のデータ処理系の構成を示す。センサ2で取得されたモニタデータはデータ選択手段4と装置監視信号生成部5により装置監視信号に変換され処理状態比較判定部19に送られる。同時に、データベース18から取り出されたモニタデータの標準データからも同様に装置監視信号が生成され、標準装置監視信号として処理状態比較判定部19に送られる。
【0038】
これらの二つの信号を比較したグラフの一例を図18に示す。処理状態比較判定部19はロット内の装置監視信号53の標準装置監視信号52からの偏差を計算して図19のようなロット毎の比較データを生成する。データを処理状態比較判定部19が生成して表示部7に表示する。装置監視信号が選択された試料処理区分の間の平均データ等であるときには前記の二つの信号の比較データは差をとるだけで得られる。また装置監視信号が試料処理区分の間の時間変動情報を保持しているときには、二つの信号の時間変動パターンのグラフのずれの部分の面積を比較データとすることもできる。また、標準データは半導体製造装置メーカーがデータベースにあらかじめ設定しておいてもよいし、過去の試料の処理の結果で処理結果が正常であったときのモニタデータを採用するなどしてもよい。さらに、比較結果の閾値を設け、比較データが閾値を越えると処理が異常であったと判断して警告を表示することもできる。
【0039】
また、前記の標準的な装置監視信号の変動パターンのデータベースを用いると試料処理区分のうちどの区分で処理が異常になっているかの検知もできる。複数の試料処理区分ごとに装置監視信号の変化の標準からのずれが大きい順に試料処理区分を並べ、この序列を表示することにより一つの試料の処理中のどの試料処理区分で異常が起こっているかを示すことができる。
【0040】
図20は本発明の試料処理装置1の他の実施例を示す。この試料処理装置1の動作は図17の実施例とほぼ同じであるが、過去の試料の処理のモニタデータを保存する代わりに装置監視信号データベース20に過去の装置監視信号を保存しておく点が異なる。これによりデータベースの容量を削減できる。
【0041】
図21に、本発明の試料処理装置1における表示部7の表示画面の他の一例を示す。ウィンドウ22はウエハ毎の処理状態の変動を表示している。ウィンドウ22は、例えば、横軸に処理の終了したウエハを時系列に並べてあり、縦軸には各ウエハの装置監視信号がプロットされる。ウィンドウ22には装置に起こったイベントの表記21が追加されていても良い。このイベントは、現在処理中の処理装置だけでなく、表示されているウエハが過去に処理された半導体製造装置で起こったイベントをLANなどにより取得して表示してもよい。ボタン24は、現在ウィンドウ22に表示している装置監視信号の監視タイプを表示するとともに、監視タイプの設定ウィンドウを開くコマンドボタンの役割を果たしていてもよい。同様に、ボタン25は、ウィンドウ22に表示されるウエハ数を表示すると共に表示試料数設定ウィンドウを開くコマンドボタンでもある。また、ボタン26はウィンドウ22に表示するデバイスタイプすなわち試料の種類を表示するとともに、デバイスタイプ設定ウィンドウを開くコマンドボタンでもある。また、ボタン27はウィンドウ22に表示する装置監視信号を生成するための試料処理区分を表示するとともに、該試料処理区分を選択するウィンドウを開くコマンドボタンでもある。
【0042】
図21の実施例において、ウィンドウ23はロット毎の処理状態の変動を表示している。ウィンドウ23は例えば、横軸に処理済みのロットを時系列に並べ、縦軸に各ロットの装置監視信号がプロットされたグラフである。半導体デバイスの製造では試料はロットという数個の試料のまとまりごとに処理される。
【0043】
8インチのウエハの場合は25枚のウエハのまとまりが1ロットであることが多い。しかし、1ロットに含まれる試料の数は場合により異なる。装置内壁のクリーニングなどは試料1つ1つの間にも行われることがあるが、ロットとロットの間に特別なクリーニングなどが入ることがある。また、ロットとロットの間の空き時間によりチャンバの温度が変わることなどがある。このため、試料の処理を監視した装置監視信号は、安定に試料を処理している時でも一定の値となるのではなく、ロット毎に一定のパターンを繰り返すことが多い。このような場合には、モニタ信号がある一定のレンジに入っていることだけをチェックする従来の監視方法では不充分である。
【0044】
本実施例では、装置監視信号がデータベースから取得された該当デバイスの処理中に得られる標準的な装置監視信号の変動パターンと比較され、その比較データがロット毎の装置監視信号として表示され、処理の異常があったロットが容易に見出せる。また、各ロットの表示部をマウスなどで選択すると、該ロットの中の各資料の装置監視信号がウィンドウ22に表示されるようになっているとなお良い。この場合、ウィンドウ23で異常と思われるロットが見つかったときに、このロットの表示部を選択すると該異常ロットの各試料の処理状態がウィンドウ22に表示され、異常のあったロットのうちでどの試料の処理が異常であったか容易に見出せる。ウィンドウ23の表示もウィンドウ22と同様な機能を持ったボタン群24´、25´、26´、27´によって表示を制御できる。
【0045】
また、前記の標準的な装置監視信号の変動パターンのデータベースを用いると試料処理区分のうちどの区分で処理が異常になっているかの検知もできる。複数の試料処理区分ごとに装置監視信号の変化の標準からのずれが大きい順に試料処理区分を並べ、この序列を表示することにより一つの試料の処理中のどの試料処理区分で異常が起こっているかを示すことができる。
【0046】
図22に、本発明の試料処理装置1における表示部7の表示画面の他の実施例を示す。図は監視タイプ選択ウィンドウの一例を示しており、監視タイプがメニュー28により選択できる。選択の項目は、例えば、「総合レベル1」はおおまかな装置の処理状態を表示する監視タイプで、「総合レベル2」はさらに細かな処理状態の変動を監視する処理状態の監視タイプ、「総合レベル3」はさらに細かい変動を監視する監視タイプなどとなっている。その他にも、加工寸法精度や加工スピードに関連した「処理性能」などの項目があってもよいし、装置内部の部品の消耗度合いを示す「部品消耗」といった項目があっても良い。なお、チェックボックス28は複数種類選択できるようになっていても良く、複数種類選ばれた場合は、ウィンドウ22やウィンドウ23に複数種類の装置監視信号が表示される。さらに、試料毎表示選択ボタン28´やロット毎表示選択ボタン28´´を備えていてもよい。
【0047】
図23に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の実施例を示す。図は表示試料数設定ウィンドウの一例を示しており、ウィンドウ22のような試料毎の表示の場合には表示試料数29が選べ、ウィンドウ23のようなロット毎の表示の場合には表示ロット数30が選べる。
【0048】
図24に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の例を示す。図はデバイス選択ウィンドウの一例を示しており、表示する試料のデバイス種類がチェックボックス31により複数個選択できる。チェックボックス31に対応するデバイスラベル32はデバイスの種類がリストアップしてある。例えば、デバイス名が「T12345F」という場合で、該デバイス名中の「T」と「F」がそれぞれデバイス構造上の意味を持つ場合、表示デバイス名を「T12345F」ひとつでなく、「T」で始まるデバイス全て、もしくは「F」で終わるデバイス名全て、といった選び方ができることが望ましい。デバイスラベル32では、直前に処理が終わった試料と同じデバイス全てといった選び方ができるようにもなっている。同じデバイスで複数種類のレシピすなわち処理条件の組み合わせがあるときには、それぞれ別のデバイスとして認識してデバイス選択できるようにしてもよいし、別のレシピ選択ウィンドウを用意してもよい。
【0049】
図25に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の実施例を示す。図は試料処理区分選択ウィンドウの一例を示しており、装置監視信号を生成するために用いられる試料処理区分がチェックボックス33により複数個選択できる。複数の試料処理区分から一つの装置監視信号を生成して表示してもよいし、複数の装置監視信号を生成して表示しても良い。チェックボックス33に対応する試料処理区分ラベル34は試料処理区分名が表示される。装置監視信号を生成するのに必要な試料処理区分は監視タイプによってことなるので、試料処理区分名ラベル34はプルダウンメニュー28で選ばれた監視タイプに応じて変化することが望ましい。
【0050】
図26に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の実施例を示す。図は試料処理区分選択ウィンドウのもう一つの例を示しており、ステップ開始点35とステップ終了点35´を時間軸36上で指定することにより、試料処理区分として任意の時間範囲を抽出する手段を示している。
【0051】
図27に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の実施例を示す。図は装置の使用状況によって表示する装置監視信号や表示方法を自動的に選択するシステムである。たとえば、「プロセスレシピ開発」ボタン37を押すとプロセスレシピを開発するときに必要な、例えば加工形状予測値などの装置監視信号が自動的に選ばれて表示される。また、「装置洗浄後」ボタン38を押すと、装置の洗浄後に必要な、例えば残留ガスを示す装置監視信号などが自動的に表示される。また、「安定稼動期」ボタン39を押すと、装置の安定稼動期に監視すべき部品消耗度や加工形状を示す装置監視信号が複数個表示される。また、「故障対応」ボタンを押せば、装置の部品のかみ合わせなどを反映する装置監視信号がインピーダンスモニタなどから生成されて表示される。また、各ボタンごとに適切な装置のイベント表記部41がウィンドウ42に表示される。
【0052】
図28に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の実施例を示す。これまでの実施例で、例えばプラズマなどを使った半導体製造装置では、装置の処理状態を正確に把握するためにできるだけ多くの種類と数のセンサを用いた方がよい。しかし、多数のセンサを用いて装置を監視すると、大量のモニタデータが時々刻々と生成されて、これから装置監視信号を生成するのは困難である。
【0053】
このため、この実施例では、センサ2から取得した多種多様なモニタデータを信号フィルタ43により少数の有効信号49に変換し、この少数の有効信号をモデル式45に入れることにより装置監視信号44を得る、という手法が有効である。モデル式は多数用意されているのが普通で、選択された監視タイプによって対応するモデル式が選択される。モデル式に代入する有効信号49を生成する信号フィルタ43も監視タイプによって異なってもよく、信号フィルタデータベース46から信号フィルタ選択手段47によって取得されて用いられる。信号フィルタデータベース46に蓄積される信号フィルタは事前に保存されていても良いし、また、正常に処理が完了したときのモニタデータを主成分分析により分析して得た固有ベクトルを信号フィルタとして信号フィルタデータベースに保存しておいてもよい。主成分分析は多数の信号から有効信号を重要な順に取り出すことができる一般的な統計分析方法である。
【0054】
ある装置監視信号44を生成するためのモデル式45に用いる有効信号49を得るために特別な処理設定の組み合わせを処理して主成分分析し、その時の装置状態に最適な信号フィルタを再生成してもよい。モデル式45は、監視したい装置性能、例えば加工形状のずれの値、などと有効信号49との間で重回帰分析などの線形モデル化をしても得られるし、処理の物理モデルからモデル式45の関数形を予想し、その係数をフィッティングするなどしても得られる。図28のシステムにより、試料の加工形状など、試料の処理後に計測が必要な物理量の予測値を計測することなく試料の処理の直後に表示することができ、早期の異常検知ができる。
【0055】
図29に、本発明の試料処理装置1における表示部7の他の実施例を示す。これまでに述べた装置状態の監視および表示方法は、装置の制御にも使える。この実施例は、装置監視信号生成部5で得られた装置監視信号を処理性能予測部50に渡し、該処理性能予測部50で予測された処理性能を処理パラメータ修正量計算部51に渡し、該処理性能の予測値の標準値からのずれを解消するための処理パラメータの補正量を計算して半導体製造装置のコントローラ3に渡し、次の試料の処理条件を制御するシステムである。
【0056】
既に述べたように、半導体製造装置の試料の処理はロット単位で繰り返すので、該補正量を記憶しておき、次のロットの同じ位置の試料の処理条件を補正してもよい。次のロットのデバイスの種類が異なるときには、デバイス間の補正量変換テーブルが必要になる場合もある。
【0057】
以上述べた各実施例の表示部は、処理装置に付属していてもよいし、ネットワークを経由してオフィスやリモート監視会社などにある端末に表示されるようにも実装できる。特に、装置監視データはモニタデータよりも非常にサイズが小さいことが多いので、ネットワークに対する負荷も少なく、リモート診断などに用いるのに最適である。
【0058】
また、これらの実施例は、主に半導体デバイスに関して説明したが、同様な監視機能をLCDデバイス等の他の試料の製造装置や製造方法にも適用できる。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば、処理条件や試料の累積処理枚数などによって複雑多様な状態を持つ試料処理装置の処理状態をモニタし、その多様な処理シーケンスの中から装置の監視を行う装置監視信号を取得する手段を提供することにより、運用が容易なプロセスモニタおよびその表示方法および試料処理装置の制御方法および半導体デバイスの製造方法を提供することができる。
【0060】
また、本発明によれば、さらに、プラズマ装置からセンサによりモニタデータを取得し、試料の処理性能に関わる最も重要な試料処理区分のデータから装置監視信号を生成することにより、正確にかつ容易に処理状態の変化を監視し、処理条件の制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例になる試料処理装置の全体構成を示す図である。
【図2】図1の試料処理装置1における表示部7の表示画面の一例を示す図である。
【図3】図2の表示を実施するため表示設定コントローラの処理系の一構成例を示す図である。
【図4】図3のデータ処理の流れの一実施例を示す図である。
【図5】図1の試料処理装置における監視タイプ選択ウィンドウの一例を示す図である。
【図6】図5の表示設定コントローラ8の動作フローの例を示す図である。
【図7】図1の試料処理装置における表示試料数設定ウィンドウの他の例を示す図である。
【図8】図7の表示設定コントローラ8の動作フローの例を示す図である。
【図9】図1の試料処理装置における表示試料数設定ウィンドウの他の例を示す図である。
【図10】図9の表示設定コントローラの動作フローの例を示す図である。
【図11】本発明の表示部のウィンドウ及び表示設定コントローラの他の例を示す図である。
【図12】本発明の表示部のウィンドウ及び表示設定コントローラの他の例を示す図である。
【図13】本発明の表示部のウィンドウ及び表示設定コントローラの他の例を示す図である。
【図14】本発明の表示部のウィンドウ及び表示設定コントローラの他の例を示す図である。
【図15】本発明の表示部のウィンドウ及び表示設定コントローラの他の例を示す図である。
【図16】本発明の表示部のウィンドウ及び表示設定コントローラの他の例を示す図である。
【図17】図16の表示を実施するための表示設定コントローラのデータ処理系の構成を示す図である。
【図18】図17の二つの信号を比較したグラフの一例を示す図である。
【図19】図16の実施例によるロット毎の比較データ一例を示す図である。
【図20】本発明の試料処理装置の他の実施例を示す図である。
【図21】本発明の試料処理装置における表示部の表示画面の他の一例を示す図である。
【図22】本発明の試料処理装置における表示部の表示画面の他の実施例を示す図である。
【図23】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【図24】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【図25】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【図26】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【図27】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【図28】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【図29】本発明の試料処理装置における表示部の他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
1…半導体製造装置、2…センサ、3…コントローラ、4…データ選択手段、5…装置監視信号生成部、6…出力データバッファ、7…表示部、8…表示設定コントローラ、9…試料処理区分選択部、10…試料処理区分選択ボタン、11…監視タイプ設定ボタン、12…表示試料数設定ボタン、13…デバイス選択部、14…デバイス選択ボタン、15…試料処理区分自動選択部、16…モニタデータ保存手段、17…データロード部、18…過去の信号および標準データのデータベース、19…処理状態比較判定部、20…装置監視信号データベース、21…イベント表記部、22…ウィンドウ、23…ウィンドウ、24…ボタン、24´…ボタン、25…ボタン、25´…ボタン、26…ボタン、26´…ボタン、27…ボタン、27´…ボタン、28…監視タイプメニュー、28´…試料毎表示選択ボタン、28´´…ロット毎選択ボタン、29…入力部、30…終了ボタン、31…チェックボックス、32…デバイスラベル、33…チェックボックス、34…試料処理区分ラベル、35…ステップ開始点、35´…ステップ終了点、36…時間軸、37…ボタン、38…ボタン、39…ボタン、40…ボタン、41…イベント表記部、42…ウィンドウ、43…信号フィルタ、44…装置監視信号、45…モデル式、46…信号フィルタデータベース、47…信号フィルタ選択部、48…信号フィルタ生成部、49…有効信号、50…処理性能予測部、51…処理パラメータ修正量計算部、52…標準装置監視信号、53…装置監視信号。
Claims (14)
- 少なくとも光及び電気信号を検出する複数種類のセンサを介してプラズマ処理装置における1つの試料のプラズマの処理状態に関係する複数種類のモニタデータを時系列的に取得するモニタデータ取得部と、
該複数種類のモニタデータの時系列データの限定された一部の時間範囲を選択するデータ選択手段と、
前記データ選択手段により選択された前記1つの試料の前記時間範囲に関する前記複数種類のモニタデータを統計処理して前記選択されたモニタデータよりも少ない数の監視信号として生成する監視信号生成部と、
前記プラズマ処理装置において処理された複数の前記試料に関して得られた前記監視信号を、時系列的に表示部に表示する表示設定コントローラとを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。 - 請求項1において、前記監視信号に関する標準データを蓄積するデータベースと、該標準データと前記監視信号とを比較する比較手段を有し、前記複数の試料に関する該比較結果を時系列的に前記表示部に表示することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項2において、前記標準データは、同じプラズマ処理装置において同種のレシピかつ同種の試料の過去のプラズマ処理で得られた監視信号あるいはこれを加工したデータであることを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項2において、前記比較結果により試料のプラズマ処理状態の確認やプラズマ処理装置の異常検出を行う異常検出手段を有することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項1〜4のいずれかにおいて、前記プラズマ処理装置に過去に起こったイベントを記録し蓄積するデータベースを有し、該イベントを前記時系列的表示に追記して表示することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項1〜5のいずれかにおいて、前記試料が過去に経由した他のプラズマ処理装置のイベントを取得するイベント取得手段を有し、該イベントを前記時系列的表示に追記することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項1〜6のいずれかにおいて、表示する試料の数または種類の少なくとも1つを選択する手段を有することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項1〜7のいずれかにおいて、前記のプロセスモニタで、過去にプラズマ処理した試料の監視信号の中から直前に処理した試料と同種の試料のプラズマ処理の監視信号を選択して表示することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項1〜8のいずれかにおいて、複数タイプの監視信号を生成する手段と、表示する監視信号のタイプを選択する手段を有することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項1〜9のいずれかにおいて、前記監視信号の標準データからのずれの度合いに応じて試料処理区分間での序列を付ける序列生成部と、該序列により試料の処理の異常が起こっている試料処理区分を異常区分として判定し表示する異常区分判定部とを有することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項3において、前記データを加工する手段として主成分分析を用いることを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 請求項11において、前記少ない数の監視信号から、モデル式を用いて試料の処理性能を予測した結果を表示することを特徴とするプラズマ処理装置に用いるプロセスモニタ。
- 少なくとも光及び電気信号を検出する複数種類のセンサによりプラズマを用いた試料処理装置から1つの試料のプラズマの処理状態に関する複数種類のモニタデータを時系列的に取得し、該モニタデータの時系列データの限定された一部の時間範囲を選択し、前記選択された複数種類のモニタデータを統計処理して前記選択されたモニタデータよりも少ない数の監視信号を作成し、該監視信号を用いて前記試料のプラズマ処理制御を行い、該試料の製造を行うことを特徴とするプラズマを用いた試料の製造方法。
- 少なくとも光及び電気信号を検出する複数種類のセンサを介してプラズマを用いた処理装置における1つの試料のプラズマの処理状態に関係する複数種類のモニタデータを時系列的に取得し、
該複数種類のモニタデータの時系列データの限定された一部の時間範囲を選択し統計処理して前記選択されたモニタデータより少ない数の監視信号を生成し、
前記生成された監視信号を用いて前記試料のプラズマ処理制御を行い、該試料の製造を行うことを特徴とするプラズマを用いた試料の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150083328A1 (en) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Analysis method and semiconductor etching apparatus |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6616759B2 (en) * | 2001-09-06 | 2003-09-09 | Hitachi, Ltd. | Method of monitoring and/or controlling a semiconductor manufacturing apparatus and a system therefor |
US6718220B2 (en) * | 2001-11-29 | 2004-04-06 | Windbond Electronics Corporation | Method and system of monitoring apparatuses of manufacturing IC |
US6901306B2 (en) * | 2002-02-27 | 2005-05-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and its diagnosis apparatus and operating system |
JP4165638B2 (ja) * | 2002-09-02 | 2008-10-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プロセスの監視方法及びプラズマ処理装置 |
TWI264043B (en) * | 2002-10-01 | 2006-10-11 | Tokyo Electron Ltd | Method and system for analyzing data from a plasma process |
JP2004240628A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Yokogawa Electric Corp | 生産プロセスの評価方法及び評価装置 |
JP2004265180A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Hitachi Ltd | 監視機器装置 |
US20080235055A1 (en) * | 2003-07-17 | 2008-09-25 | Scott Mattingly | Laboratory instrumentation information management and control network |
JP4490124B2 (ja) * | 2004-01-23 | 2010-06-23 | セイコーエプソン株式会社 | 搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体 |
WO2006018741A2 (en) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Pdf Solutions Sa | A method for improving efficiency of a manufacturing process such as a semiconductor fab process |
DE602005017310D1 (de) * | 2004-12-28 | 2009-12-03 | Tokyo Electron Ltd | Halbleiter-herstellungsvorrichtung, abnormitätsdetektion in einer solchen halbleiter-herstellungsvorrichtung, verfahren zum spezifizieren der abnormitätsursache oder zur vorhersage von abnormität und aufzeichnungsmedium, worauf ein computerprogramm zist |
US20060178767A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for inspection control |
US8515567B2 (en) * | 2005-12-21 | 2013-08-20 | Globalfoundries Inc. | Enhanced state estimation based upon information credibility |
JP4979307B2 (ja) * | 2006-08-25 | 2012-07-18 | シスメックス株式会社 | 血液試料測定装置 |
JP2007258731A (ja) * | 2007-04-23 | 2007-10-04 | Canon System Solutions Inc | プロセスと品質との関係についてのモデル作成装置及びモデル作成方法 |
US8343305B2 (en) | 2007-09-04 | 2013-01-01 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for diagnosing status of parts in real time in plasma processing equipment |
CN101622688A (zh) * | 2007-09-11 | 2010-01-06 | 东京毅力科创株式会社 | 信息处理装置、信息处理方法以及程序 |
JP5271525B2 (ja) * | 2007-10-04 | 2013-08-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置の検査方法及び記憶媒体 |
US8849585B2 (en) * | 2008-06-26 | 2014-09-30 | Lam Research Corporation | Methods for automatically characterizing a plasma |
KR20110050618A (ko) * | 2008-07-07 | 2011-05-16 | 램 리써치 코포레이션 | 플라즈마 프로세싱 챔버에서 디척킹을 검출하기 위한 용량성-커플링된 정전식 (cce) 프로브 장치 및 그 방법 |
JP5661622B2 (ja) * | 2008-07-07 | 2015-01-28 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | プラズマ処理チャンバで用いるための真空ギャップを備えたプラズマ対向プローブ装置 |
KR101606736B1 (ko) * | 2008-07-07 | 2016-03-28 | 램 리써치 코포레이션 | 플라즈마 프로세싱 챔버에서 플라즈마 불안정성을 검출하기 위한 패시브 용량성-결합된 정전식 (cce) 프로브 장치 |
CN102714167B (zh) | 2008-07-07 | 2015-04-22 | 朗姆研究公司 | 用于检测等离子处理室内的原位电弧放电事件的被动电容耦合静电(cce)探针装置 |
US8164349B2 (en) * | 2008-07-07 | 2012-04-24 | Lam Research Corporation | Capacitively-coupled electrostatic (CCE) probe arrangement for detecting strike step in a plasma processing chamber and methods thereof |
US8164353B2 (en) * | 2008-07-07 | 2012-04-24 | Lam Research Corporation | RF-biased capacitively-coupled electrostatic (RFB-CCE) probe arrangement for characterizing a film in a plasma processing chamber |
JP5383265B2 (ja) | 2009-03-17 | 2014-01-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | エッチング装置、分析装置、エッチング処理方法、およびエッチング処理プログラム |
US8538572B2 (en) * | 2009-06-30 | 2013-09-17 | Lam Research Corporation | Methods for constructing an optimal endpoint algorithm |
US8473089B2 (en) * | 2009-06-30 | 2013-06-25 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for predictive preventive maintenance of processing chambers |
US8271121B2 (en) * | 2009-06-30 | 2012-09-18 | Lam Research Corporation | Methods and arrangements for in-situ process monitoring and control for plasma processing tools |
US8618807B2 (en) * | 2009-06-30 | 2013-12-31 | Lam Research Corporation | Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof |
US8650002B2 (en) * | 2009-06-30 | 2014-02-11 | Lam Research Corporation | Determining plasma processing system readiness without generating plasma |
US8295966B2 (en) * | 2009-06-30 | 2012-10-23 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus to predict etch rate uniformity for qualification of a plasma chamber |
US8983631B2 (en) * | 2009-06-30 | 2015-03-17 | Lam Research Corporation | Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof |
JP5538955B2 (ja) * | 2010-03-01 | 2014-07-02 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体製造における装置異常の予兆検知方法およびシステム |
JP5973731B2 (ja) | 2012-01-13 | 2016-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びヒータの温度制御方法 |
EP2685744B1 (en) | 2012-07-12 | 2018-05-23 | ABB Research Ltd. | Method and sensor node network interface system for wireless control of an industrial process |
US10228825B1 (en) * | 2013-10-16 | 2019-03-12 | Ca, Inc. | Display and analysis of information related to monitored elements of a computer system |
JP6220319B2 (ja) | 2014-07-17 | 2017-10-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | データ解析方法及びプラズマエッチング方法並びにプラズマ処理装置 |
JP7074489B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2022-05-24 | 株式会社Screenホールディングス | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム |
KR102240993B1 (ko) * | 2018-03-20 | 2021-04-15 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 표시 장치, 표시 시스템, 및 표시 화면 생성 방법 |
JP6973956B2 (ja) * | 2019-07-04 | 2021-12-01 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
JP2021173915A (ja) | 2020-04-28 | 2021-11-01 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
JP7453853B2 (ja) * | 2020-05-27 | 2024-03-21 | 株式会社日立製作所 | 処理条件決定システムおよび処理条件探索方法 |
JP7429623B2 (ja) * | 2020-08-31 | 2024-02-08 | 株式会社日立製作所 | 製造条件設定自動化装置及び方法 |
JP2022119371A (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-17 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、及び物品の製造方法 |
CN113627660B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-11-10 | 深圳市中金岭南有色金属股份有限公司凡口铅锌矿 | 一种陶瓷过滤机的生产率的预测方法和装置 |
CN113934967B (zh) * | 2021-10-18 | 2022-09-09 | 英飞智信(苏州)科技有限公司 | 煤炭样品的智能化存储查样反馈监管系统 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5014217A (en) * | 1989-02-09 | 1991-05-07 | S C Technology, Inc. | Apparatus and method for automatically identifying chemical species within a plasma reactor environment |
JPH05258705A (ja) | 1992-03-11 | 1993-10-08 | Nikon Corp | 顕微鏡像表示装置 |
US5347460A (en) * | 1992-08-25 | 1994-09-13 | International Business Machines Corporation | Method and system employing optical emission spectroscopy for monitoring and controlling semiconductor fabrication |
JPH0756961A (ja) | 1993-08-16 | 1995-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | プロセスモニタ装置 |
JPH07201946A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Hitachi Ltd | 半導体装置等の製造方法及びその装置並びに検査方法及びその装置 |
US5658423A (en) * | 1995-11-27 | 1997-08-19 | International Business Machines Corporation | Monitoring and controlling plasma processes via optical emission using principal component analysis |
GB9616853D0 (en) * | 1996-08-10 | 1996-09-25 | Vorgem Limited | An improved thickness monitor |
JP3630931B2 (ja) * | 1996-08-29 | 2005-03-23 | 富士通株式会社 | プラズマ処理装置、プロセスモニタ方法及び半導体装置の製造方法 |
JPH10223499A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-21 | Hitachi Ltd | 物品の製造方法、物品の製造システムおよび複数の加工処理装置の運用方法 |
US6275730B1 (en) * | 1997-03-14 | 2001-08-14 | Uab Research Foundation | Method and apparatus for treating cardiac arrythmia |
US5910011A (en) | 1997-05-12 | 1999-06-08 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for monitoring processes using multiple parameters of a semiconductor wafer processing system |
KR19990001946A (ko) * | 1997-06-18 | 1999-01-15 | 윤종용 | 반도체 공정관리 시스템 및 공정관리 방법 |
JPH1156828A (ja) * | 1997-08-27 | 1999-03-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 異常陰影候補検出方法および装置 |
US6021215A (en) * | 1997-10-10 | 2000-02-01 | Lucent Technologies, Inc. | Dynamic data visualization |
US6153115A (en) * | 1997-10-23 | 2000-11-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Monitor of plasma processes with multivariate statistical analysis of plasma emission spectra |
US6240372B1 (en) * | 1997-11-14 | 2001-05-29 | Arch Development Corporation | System for surveillance of spectral signals |
US6275740B1 (en) * | 1998-04-23 | 2001-08-14 | Sandia Corporation | Method and apparatus for monitoring plasma processing operations |
US6192826B1 (en) * | 1998-04-23 | 2001-02-27 | Sandia Corporation | Method and apparatus for monitoring plasma processing operations |
JP3926478B2 (ja) * | 1998-06-01 | 2007-06-06 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体製造方法 |
JP2002520836A (ja) * | 1998-07-11 | 2002-07-09 | ボーゲム リミティッド | 改良されたプロセスモニタ方法 |
JP3349455B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2002-11-25 | 宮崎沖電気株式会社 | 半導体製造装置のための管理方法および管理システム |
KR20000025328A (ko) * | 1998-10-10 | 2000-05-06 | 윤종용 | 반도체 장치 제조설비의 공정 모니터장치 |
JP2000200783A (ja) | 1999-01-06 | 2000-07-18 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置および方法 |
KR100279941B1 (ko) * | 1999-01-29 | 2001-01-15 | 정문술 | 반도체 제조공정 관리장치 및 방법 |
US6442445B1 (en) * | 1999-03-19 | 2002-08-27 | International Business Machines Corporation, | User configurable multivariate time series reduction tool control method |
US6455437B1 (en) | 1999-04-07 | 2002-09-24 | Applied Materials Inc. | Method and apparatus for monitoring the process state of a semiconductor device fabrication process |
US6524449B1 (en) * | 1999-12-03 | 2003-02-25 | James A. Folta | Method and system for producing sputtered thin films with sub-angstrom thickness uniformity or custom thickness gradients |
JP3634734B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2005-03-30 | 株式会社日立製作所 | プラズマ処理装置および処理方法 |
-
2001
- 2001-03-05 JP JP2001060995A patent/JP4128339B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-30 KR KR10-2001-0053014A patent/KR100446925B1/ko active IP Right Grant
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- 2001-09-05 US US09/945,691 patent/US6879867B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-11-15 US US10/987,121 patent/US7058467B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2006
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- 2006-12-27 US US11/645,680 patent/US7376479B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150083328A1 (en) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Analysis method and semiconductor etching apparatus |
US10262842B2 (en) * | 2013-09-20 | 2019-04-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Analysis method and semiconductor etching apparatus |
US11410836B2 (en) | 2013-09-20 | 2022-08-09 | Hitachi High-Tech Corporation | Analysis method and semiconductor etching apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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