JP5383265B2 - エッチング装置、分析装置、エッチング処理方法、およびエッチング処理プログラム - Google Patents
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Description
1.指定した分割数に、データ集合をランダムに分割し、初期クラスターとする。
2.各クラスターに含まれるデータの重心位置を計算する。
3.全データについて、2.で計算した各クラスターの重心位置に最も近いクラスターにデータを割り当てる。
4.前回の反復とクラスターに含まれるデータが変わらないならばクラスター化終了。そうでなければ2.に戻り、再度処理を繰り返す。
Claims (13)
- プラズマエッチング処理を行うためのチャンバと、プラズマを生成するための電極と、ガス供給・排気系と、前記プラズマの発光をモニタするための分光器と、前記分光器でモニタした信号を処理し、その処理結果を端末に表示させる計算機システムを備えたエッチング装置であって、
前記計算機システムは、
過去に実施した1回以上のエッチング処理中のプラズマ発光データにおける、複数のエッチング処理時間軸に沿った発光強度波形を取得する発光強度波形取得手段と、
前記発光強度波形取得手段で取得された複数の前記発光強度波形において変化の有無を判定する波形変化有無判定手段と、
前記波形変化有無判定手段で変化が有ると判定された前記発光強度波形間の相関行列を算出する波形相関行列算出手段と、
前記波形相関行列算出手段で算出された相関行列の各列、または各行を、前記発光強度波形に対応したベクトルとし、前記ベクトルの値に基づき前記発光強度波形間の類似性を評価して、前記発光強度波形をグループに分類する波形分類手段と、
前記波形分類手段で分類された前記グループより代表的な発光強度波形を選定し、選定した前記代表的な発光強度波形をエッチング性能またはウェハでのエッチング処理結果に影響のある発光強度波形として特定し、その発光強度波形が得られた波長をモニタすべき発光波長として決定して前記端末に表示させる代表波形選定手段とを備えたことを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、
前記発光強度波形取得手段で取得する発光強度波形は、任意に指定した複数の波長における発光強度波形であることを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、
前記発光強度波形取得手段で取得する発光強度波形は、発光スペクトル上でピークとなっている波長における波形であることを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、
前記発光強度波形取得手段で取得する発光強度波形は、複数のエッチング処理での同一の波長での発光強度波形であることを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、
前記波形分類手段は、クラスター分析、k−means法、または自己組織化マップを使用して、前記ベクトルの値に基づき前記発光強度波形間の類似性を評価することを特徴とするエッチング装置。 - 請求項1記載のエッチング装置において、
前記波形変化有無判定手段は、前記発光強度波形の強度に関し、歪度、尖度、および前記強度のばらつきに対する強度変化範囲の値を求め、求めた前記歪度、前記尖度、前記強度のばらつきに対する強度変化範囲の値に基づいて、エッチング処理中に強度に変化があったかを判定することを特徴とするエッチング装置。 - 請求項6記載のエッチング装置において、
前記ばらつきとは、前記発光強度波形の連続した強度の差の二乗平均の平方であり、
前記強度変化範囲とは、前記発光強度波形の強度の最大値と最小値の差であり、
前記ばらつきに対する強度変化範囲の値とは、前記強度変化範囲を前記ばらつきで除し、2の平方根を掛けた値であることを特徴とするエッチング装置。 - 請求項6記載のエッチング装置において、
前記波形変化有無判定手段は、
前記歪度が−1.0から1.0の値であり、
前記尖度が−1.0から1.0の値であり、
前記ばらつきに対する強度変化範囲の値が4から8のときに、
前記発光強度波形は白色雑音的であって、強度に変化が無いと判定することを特徴とするエッチング装置。 - プラズマの発光をモニタするための分光器と、前記分光器でモニタした信号を処理し、その処理結果を端末に表示させる計算機システムを備えた分析装置であって、
前記計算機システムは、
過去に実施した1回以上のエッチング処理中のプラズマ発光データにおける、複数のエッチング処理時間軸に沿った発光強度波形を取得する発光強度波形取得手段と、
前記発光強度波形取得手段で取得された複数の前記発光強度波形において変化の有無を判定する波形変化有無判定手段と、
前記波形変化有無判定手段で変化が有ると判定された前記発光強度波形間の相関行列を算出する波形相関行列算出手段と、
前記波形相関行列算出手段で算出された相関行列の各列、または各行を、前記発光強度波形に対応したベクトルとし、前記ベクトルの値に基づき前記発光強度波形間の類似性を評価して、前記発光強度波形をグループに分類する波形分類手段と、
前記波形分類手段で分類された前記グループより代表的な発光強度波形を選定し、選定した前記代表的な発光強度波形をエッチング性能またはウェハでのエッチング処理結果に影響のある発光強度波形として特定し、その発光強度波形が得られた波長をモニタすべき発光波長として決定して前記端末に表示させる代表波形選定手段とを備えたことを特徴とする分析装置。 - エッチング装置または前記エッチング装置の分析装置を制御する計算機システムにより、
過去に実施した1回以上のエッチング処理中のプラズマ発光データにおける、複数のエッチング処理時間軸に沿った発光強度波形を取得し、
取得した複数の前記発光強度波形において変化の有無を判定し、
変化が有ると判定された前記発光強度波形間の相関行列を算出し、
前記相関行列の各列、または各行を、前記発光強度波形に対応したベクトルとし、前記ベクトルの値に基づき前記発光強度波形間の類似性を評価して、前記発光強度波形をグループに分類し、
前記波形分類手段で分類された前記グループより代表的な発光強度波形を選定し、選定した前記代表的な発光強度波形の波長における発光強度とエッチング処理結果との関係を対応付けて、以降のエッチング処理実施時において、エッチング処理中の発光強度データから、前記代表的な発光強度波形の波長における発光強度をモニタすることを特徴とするエッチング処理方法。 - エッチング装置または前記エッチング装置の分析装置を制御する計算機システムにより、
過去に実施した複数のエッチング処理について、エッチング処理結果と、エッチング処理中のプラズマ発光データにおける同一波長でのエッチング処理時間軸に沿った発光強度波形を取得し、
ある1つのエッチング処理での前記発光強度波形と、残り全てのエッチング処理での前記発光強度波形との相関係数を求め、
前記発光強度波形の相関係数とエッチング処理結果との関係を対応付けて、エッチング処理実施時に前記発光強度波形の相関係数の値に基づきウェハでのエッチング処理をモニタすることを特徴とするエッチング処理方法。 - 請求項11記載のエッチング処理方法において、
前記計算機システムにより、前記相関係数の値に基づく前記ウェハでの前記エッチング処理のモニタでは、前記発光強度波形の前記相関係数とエッチング処理結果との関係を代数式によりモデル化し、前記エッチング処理により得られた前記発光強度波形の相関係数を用いてエッチング処理結果を推定することを特徴とするエッチング処理方法。 - エッチング処理を行うために計算機システムを、
過去に実施した1回以上のエッチング処理中のプラズマ発光データにおける、複数のエッチング処理時間軸に沿った発光強度波形を取得する発光強度波形取得手段と、
前記発光強度波形取得手段で取得された複数の前記発光強度波形において変化の有無を判定する波形変化有無判定手段と、
前記波形変化有無判定手段で変化が有ると判定された前記発光強度波形間の相関行列を算出する波形相関行列算出手段と、
前記波形相関行列算出手段で算出された相関行列の各列、または各行を、前記発光強度波形に対応したベクトルとし、前記ベクトルの値に基づき前記発光強度波形間の類似性を評価して、前記発光強度波形をグループに分類する波形分類手段と、
前記波形分類手段で分類された前記グループより代表的な発光強度波形を選定し、選定した前記代表的な発光強度波形をエッチング性能またはウェハでのエッチング処理結果に影響のある発光強度波形として特定し、その発光強度波形が得られた波長をモニタすべき発光波長として決定して前記端末に表示させる代表波形選定手段として機能させることを特徴とするエッチング処理プログラム。
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