JPH0784613A - 製造装置の保守管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造装置の正確な保守管理を行うことができ
る保守管理方法を提供すること。 【構成】 ステップ１ａにて製造装置の装置状態を把握
して管理データを作成し、ステップ１ｃにて予め設定し
た範囲を越えるデータが管理データ内に記録された場合
には、ステップ１ｈにてホストコンピュータから稼働停
止を指示して保守を行う。また、予め設定した保守時期
に至る前にステップ１ｄにて管理データの傾向分析を行
い偏りがある場合にはステップ１ｉにて保守期間を短縮
したり、また保守時期に至った際にステップ１ｋにて管
理データの傾向分析を行い偏りがない場合にはステップ
１ｑにて次回までの保守期間を延長する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ホストコンピュータに
より製造装置の処理実績や装置状態を管理して保守を行
う製造装置の保守管理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置等の製品を製造する際に用い
る種々の製造装置はホストコンピュータにより統括管理
されており、このホストコンピュータに備えられたデー
タベース内に各製造装置による処理条件や稼働状態、処
理実績等のデータが蓄積されている。各製造装置により
処理を施す場合には、製造装置側に備えられた端末器か
ら通信回線を介してホストコンピュータに処理条件等の
データの問い合わせを行い、このデータを転送してもら
うことにより製造装置における所定の処理を行ってい
る。

【０００３】製造装置の担当者は、その製造装置の稼働
状態や処理実績等のデータを端末器から入力して通信回
線を介してホストコンピュータへ転送している。これと
ともに、担当者は製造装置の装置状態や処理時間、処理
した数量等を記録簿などに記録しておき、これに基づい
て製造装置の保守管理を行っている。例えば、処理した
数量が所定の値を越えた場合には一旦製造装置の稼働を
停止して調整や清掃等の保守を行い、その後に稼働を再
開するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな製造装置の保守管理方法では、担当者が記録を忘れ
たり、担当者により管理基準にばらつきが生じたりして
正確な保守管理を行うのが困難である。しかも、複数の
製造装置から構成される製造ラインの場合には全ての製
造装置の一元的な保守管理を行うのは困難である。この
ため、既に保守時期に到達してしまった製造装置を用い
て製品を製造して不良品を出してしまう恐れがある。ま
た、反対に保守の必要がない状態であっても保守時期に
到達したということで製造装置の稼働を停止し保守を行
うことにより、製品の生産性低下を招いている。よっ
て、本発明は製造装置の正確な保守管理を行うことがで
きる保守管理方法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された製造装置の保守管理方法で
ある。すなわち、装置管理者が担当する製造装置の処理
実績や装置状態をホストコンピュータにより管理し、そ
の処理実績や装置状態に基づいて製造装置の保守を行う
製造装置の保守管理方法であって、一定期間毎に製造装
置の処理実績や装置状態に基づくデータを記録した管理
データを作成してホストコンピュータに記録しておき、
予め設定した範囲を越えるデータが管理データ内に記録
された場合には、ホストコンピュータから製造装置及び
装置管理者に対してその稼働の停止を指示し、その後製
造装置の保守を行うようにしたものである。

【０００６】また、予め設定した製造装置の保守時期に
至る前に作成した管理データの傾向を分析し、その傾向
に偏りがある場合には製造装置の保守を行うとともに、
その保守時期までの期間を短縮するようにしたり、ま
た、製造装置の保守時期に至った際に管理データの傾向
を分析し、その傾向に偏りがない場合には予め設定され
た次回の保守時期までの期間を延長するようにして製造
装置の保守管理を行う方法でもある。

【０００７】

【作用】ホストコンピュータに蓄積された処理実績や装
置状態のデータに基づいて、一定期間毎に製造装置の管
理データを作成して稼働中の製造装置の状態を逐次把握
するようにする。この管理データに対して予め管理範囲
を設定したおき、この管理範囲を越えたデータが記録さ
れた場合にはその時点で保守が必要であると判断し、製
造装置の稼働の停止をホストコンピュータから指示す
る。この指示により製造装置の保守を行うことで、保守
時期を越えることなく製造装置の保守管理を行うことが
できる。

【０００８】また、製造装置の保守時期に至る前の状態
で作成した管理データの傾向を分析し、その傾向に偏り
がある場合には保守時期に到達する前であっても保守を
行うようにして常に正常な状態で製造装置を稼働できる
ようにする。さらに、製造装置の保守時期に至った際に
も管理データの傾向を分析し、その傾向に偏りがない場
合には予め設定しておいた次回の保守時期までの期間を
延長して不要な保守を行わないようにする。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の製造装置の保守管理方法の実
施例を図に基づいて説明する。図１は本発明の製造装置
の保守管理方法を説明するフローチャート、図２は管理
システムの構成図である。すなわち、この保守管理方法
は図２に示すような管理システムを用いて行うものであ
る。先ず、本発明の製造装置の保守管理方法を行うため
の管理システムについて説明する。この管理システム
は、ホストコンピュータ１と、一般的な通信プロトコル
を使用する通信回線２を介してホストコンピュータ１に
接続される管理用端末３０と、ホストコンピュータ１に
接続される数台の作業者用端末３１〜３３と、これらの
作業者用端末３１〜３３にそれぞれ接続される製造装置
４１〜４３とから構成されるものである。

【００１０】ホストコンピュータ１にはデータベース１
０が備えられており、例えば管理用端末３０から入力さ
れる装置名、装置メーカ、購入日、処理能力、装置担当
者、各種の処理条件等の基礎情報がこのデータベース１
０内に登録されている。また、基礎情報の中には製造装
置４１〜４３の保守時期や保守内容等の保守データも含
まれている。

【００１１】製造装置４１〜４３にて処理を行うには、
作業者用端末３１〜３３または管理用端末３０を用いて
ホストコンピュータ１へ処理条件等のデータの問い合わ
せを行い、データベース１０内に登録されている各種の
情報を読み出して製造装置４１〜４３へ伝達する。この
情報に基づいて製造装置４１〜４３における処理を行
う。作業指示や処理の内容などは作業者用端末３１〜３
３のディスプレイに表示され、処理実績や装置状態など
のデータが逐次作業者用端末３１〜３３から通信回線２
を介してホストコンピュータ１側へ送られる。送られて
きたデータはデータベース１０内に蓄積され、後の保守
管理におけるデータとして使用されることになる。

【００１２】次に、このような管理システムにより製造
装置４１〜４３の保守管理を行う方法を説明する。先
ず、図１のステップ１ａに示すように、各製造装置４１
〜４３の装置状態の把握を行う。

【００１３】装置状態は、各製造装置４１〜４３の稼働
状況や処理の数量、また処理の結果、測定データ等から
成り、例えば製造装置４２のようにオンライン化されて
いる場合にはその製造装置４２から自動的に作業者用端
末３２へ送られてホストコンピュータ１側へ転送され
る。また、オンライン化されていない製造装置４１、４
３の場合には作業者によって作業者用端末３１、３３か
らホストコンピュータ１側へ送られる。

【００１４】例えば、半導体の製造装置である薄膜形成
装置の場合には、処理により形成した膜の膜厚データを
ホストコンピュータ１側へ送ることになる。このデータ
に基づいて図３に示すような管理データ１１を作成し、
データベース１０内に記録しておく。

【００１５】この管理データ１１の場合には、時間（Ｔ
ｉｍｅ）を横軸として処理による膜厚の形成誤差、すな
わち基準膜厚から成る中心線（ＣＬ）に対する誤差が記
録される。そして、例えばＣＬから＋１００Åを上限線
（ＵＣＬ）、またＣＬから−１００Åを下限線（ＬＣ
Ｌ）とし、その間を管理範囲として設定する。なお、他
の製造装置の場合にはその製造装置に応じた管理データ
１１、例えばエッチング装置であればエッチングした線
幅などから成る管理データ１１を作成し、その管理デー
タ１１での管理範囲を設定しておく。

【００１６】次に、ステップ１ｂとして製造装置４１〜
４３が保守時期に至ったかどうかの判断を行う。保守時
期に至らない場合には「Ｎｏ」となりステップ１ｃへ進
む。ステップ１ｃでは先に記録した管理データ１１に基
づき、予め設定した管理範囲を越えるデータが記録され
たかどうかを判断する。

【００１７】ステップ１ｃの判断で管理範囲を越えたデ
ータが記録されている場合には、製造装置４１〜４３に
対して何らかの処置が必要である判断しステップ１ｆへ
進む。ステップ１ｆでは、何らかの処置が必要である旨
を作業者用端末３１〜３３のディスプレイに表示するだ
けでよいかどうかの判断を行い、「Ｙｅｓ」の場合には
ステップ１ｊのディスプレイ表示（アラーム表示など）
を行い、ステップ１ｉへ進む。

【００１８】また、「Ｎｏ」の場合にはステップ１ｇの
ディスプレイ表示を行った後、ステップ１ｈにて処置が
必要となる製造装置４１〜４３の稼働禁止をホストコン
ピュータ１から指示する。この指示により製造装置４１
〜４３の稼働を停止し保守などの処置を行う。つまり、
その製造装置４１〜４３が保守時期に到達する前であっ
ても、管理データ１１内に管理範囲を越えるデータが記
録された場合には保守を行うことになる。

【００１９】製造装置４１〜４３に対する処置が終了し
た後、次のステップ１ｉに進み、保守期間の短縮を行
う。すなわち、前のステップ１ｈにて処置を施した時点
から、予め設定しておいた保守時期までの期間を短縮し
て次回の保守時期を予定より早めるように再設定する。

【００２０】つまり、設定した保守時期が来る前に管理
データ１１内に管理範囲を越えるデータが記録された場
合には、製造装置４１〜４３に保守の必要性が生じたこ
とになり、保守時期を早めて不良品を製造しないように
する。なお、ステップ１ｆの判断で「Ｙｅｓ」となりス
テップ１ｊのディスプレイ表示を行った後も、先に述べ
たようなステップ１ｉの保守期間の短縮を行うようにし
て不良品の製造を未然に防ぐようにする。

【００２１】次に、保守時期が来る前であって管理デー
タ１１内に管理範囲を越えるデータがなかった場合につ
いて説明する。この場合には、ステップ１ｃの判断で
「Ｎｏ」となりステップ１ｄにて管理データの傾向分析
を行う。管理データの傾向分析は、過去数個（例えば５
〜７個程度）のデータから成る管理データ１１に基づい
てそのデータの傾向を得て正常か異常かの判断を可能と
するものである。

【００２２】図４は、管理データの傾向が異常であると
判断できる場合の例を説明する図である。すなわち、図
４（ａ）は管理データ１１内のデータが徐々に上昇又は
下降している場合であり（図では上昇のみを示す）、近
く管理範囲（ＵＣＬからＬＣＬまでの範囲）を越える可
能性が十分にあると判断できる。

【００２３】また、図４（ｂ）は管理データ１１内のデ
ータがＵＣＬ又はＬＣＬの一方に寄っている場合であ
り、基準となるＣＬから離れたデータが連続して異常傾
向があると判断できる。さらに、図４（ｃ）は管理デー
タ１１内のデータが周期的に変動する場合であり、製造
装置４１〜４３に何らかの異常が発生している可能性が
あるものと判断できる。また、図４（ｄ）は管理データ
１１内の連続する３つのデータのうち、２つのデータが
ＣＬからＵＣＬ、ＬＣＬまでの各距離の２／３を越えて
いる場合であり、ばらつきが大きいため製造装置４１〜
４３に何らかの異常が発生している可能性があるものと
判断できる。

【００２４】このように管理データ１１の傾向を分析
し、次のステップ１ｅによりその傾向が異常傾向である
かどうかを判断する。管理データ１１に先に述べたよう
な異常傾向がある場合には、ステップ１ｆに進み、一
方、異常傾向が無いと判断した場合には「Ｎｏ」となり
異常無しとしてステップ１ａに戻る。ステップ１ｆで
は、作業者用端末３１〜３１のディスプレイに表示する
だけでよいかどうかの判断を行い、これより後のステッ
プ１ｇ〜１ｈ、またはステップ１ｊは先に述べたと同様
な処理を行う。

【００２５】そして、ステップ１ｉにて保守期間の短縮
を行う。図５（ａ）は保守期間の短縮を説明する図であ
り、期間を短縮して再設定する一例を示したものであ
る。すなわち、前回保守時期から次回保守時期までの間
に管理データ１１の傾向分析を行い、その時点（現在）
で異常傾向が有った場合には保守指示発行を行う。そ
して、前回保守時期から現在までの隔たり計算を行
い、計算された期間を次回保守時期、さらに次々回保
守時期として保守予定の再設定を行う。このようにし
て、予め設定されていた次回保守時期を短縮するように
する。

【００２６】次に、予定していた保守時期に達した場合
における処理について説明する。すなわち、製造装置４
１〜４３が保守時期に到達した場合には、ステップ１ｂ
の判断で「Ｙｅｓ」となり、ステップ１ｋへ進む。ステ
ップ１ｋではステップ１ｄで説明したと同様な管理デー
タ１１の傾向分析を行い、ステップ１ｍにてその管理デ
ータ１１に異常傾向があるかどうかの判断を行う。

【００２７】このステップ１ｍで管理データ１１に異常
傾向が有ると判断した場合には「Ｙｅｓ」となりステッ
プ１ｎにて製造装置４１〜４３の保守を行う。つまり、
この製造装置４１〜４３では保守時期が来た段階で既に
異常傾向がみられることになり、ステップ１ｆ以降の処
理に進んでステップ１ｉによる保守期間の短縮を行う。
ここでの保守期間短縮は、すでに保守時期が来ている段
階で行うことになるため、設定されている次回の保守時
期までの期間を必要に応じて短縮するようにする。

【００２８】また、ステップ１ｍで管理データ１１に異
常傾向が無いと判断した場合には「Ｎｏ」となり、ステ
ップ１ｐのディスプレイ表示にて製造装置４１〜４３に
異常が無い旨を作業者用端末３１〜３３のディスプレイ
に表示する。そして、次のステップ１ｑにて次回の保守
時期までの期間を延長する。つまり、製造装置４１〜４
３が予め設定した保守時期に到達した場合であっも異常
傾向がみられないということは、設定した保守時期がま
だ早いものと判断でき、次回の保守時期までの期間を延
長するような再設定を行う。

【００２９】図５（ｂ）は保守期間の延長を説明する図
であり、期間を延長して再設定する一例を示したもので
ある。すなわち、今回保守時期予定に到達した段階で管
理データ１１の傾向分析を行い異常傾向無しとなった
場合には保守指示未発行とする。そして、所定の期間だ
け延長期間追加を行い、次回保守時期の予定再設定
を行う。このようにして、次回保守時期までの期間を延
長し、不必要に保守を行うことで製造装置４１〜４３の
稼働を停止することを防いでいる。

【００３０】また、ステップ１ｑにて保守期間が延長さ
れた場合であって、次の保守時期までの間に先に述べた
ような保守管理を行う。すなわち、次の保守時期までの
間、逐次管理データ１１を作成してその管理データ１１
内に管理範囲を越えるデータが記録されたかどうかの判
断（ステップ１ｃ）、または、その管理データ１１の傾
向分析を行い（ステップ１ｄ）、異常傾向がみられるか
どうかの判断（ステップ１ｅ）を定期的に行い、異常が
あると判断された場合には次の保守時期までの期間を短
縮する処理（ステップ１ｉ）を行うようにする。

【００３１】なお、上記説明した保守管理方法は、ホス
トコンピュータ１または管理用端末３０内の処理により
行うようにする。例えば、ホストコンピュータ１を中心
として通信回線２を介して管理用端末３０や作業者用端
末３１〜３３を設置する中央集中型の管理システムの場
合には、ホストコンピュータ１内の処理によりこのよう
な保守管理を行う。また、ホストコンピュータ１をデー
タサーバとし、管理用端末３０や作業者用端末３１〜３
３をクライアントとした分散処理型の管理システムの場
合には、管理用端末３０内の処理によりこのような保守
管理を行う。つまり、複数の製造装置４１〜４３を統括
管理できる、いわゆる上位のコンピュータにより保守管
理を行えばよく、これにより複数の製造装置４１〜４３
の全ての保守管理を一元的に行うことができるようにな
る。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造装置
の保守管理方法によれば次のような効果がある。すなわ
ち、製造装置の装置状態をホストコンピュータ側で逐次
把握して管理データを作成し、この管理データに基づい
て保守時期を得ているため、製造装置の保守時期を忘れ
ることがなく正確に行うことができるとともに、製造ラ
インの全ての製造装置の一元的な保守管理を容易に行う
ことができる。また、この管理データの傾向を分析する
ことで積極的に保守時期までの期間を延長したり短縮し
たりすることができるため、不要な保守を行うことがな
く、しかも保守時期を逃してしまうこともない。これに
より、無駄な稼働停止がなくなり生産性の向上を図れる
とともに、良品を確実に生産することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造装置の保守管理方法を説明するフ
ローチャートである。

【図２】管理システムの構成図である。

【図３】管理データを説明する図である。

【図４】管理データの異常傾向を説明する図で、（ａ）
は上昇又は下降、（ｂ）は一方寄り、（ｃ）は周期、
（ｄ）は２／３以上の状態である。

【図５】保守期間の延長、短縮を説明する図で、（ａ）
は保守期間短縮、（ｂ）は保守期間延長である。

【符号の説明】

１ ホストコンピュータ ２ 通信回線 １０ データベース ３０ 管理用端末 ３１、３２、３３ 作業者用端末 ４１、４２、４３ 製造装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置管理者が担当する製造装置の処理実
   績や装置状態をホストコンピュータにより管理し、該処
   理実績や装置状態に基づいて前記製造装置の保守を行う
   製造装置の保守管理方法であって、 一定期間毎に前記製造装置の処理実績や装置状態に基づ
   くデータを記録した管理データを作成して前記ホストコ
   ンピュータに記録しておき、 予め設定した範囲を越えるデータが前記管理データ内に
   記録された場合には、前記ホストコンピュータから前記
   製造装置及び前記装置管理者に対してその稼働の停止を
   指示し、その後該製造装置の保守を行うことを特徴とす
   る製造装置の保守管理方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の製造装置の保守管理方法
   において、 予め設定した前記製造装置の保守時期に至る前に前記管
   理データの傾向を分析し、該傾向に偏りがある場合には
   該製造装置の保守を行うとともに、前記保守時期までの
   期間を短縮することを特徴とする製造装置の保守管理方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の製造装置の保守管理方法
   において、 前記製造装置の保守時期に至った際に前記管理データの
   傾向を分析し、該傾向に偏りがない場合には予め設定さ
   れた次回の保守時期までの期間を延長することを特徴と
   する製造装置の保守管理方法。