KR100848225B1 - 일괄 관리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일괄 관리 장치는 반도체 디바이스의 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와 상기 각 검사·제조 장치에 개별 또는 군마다 접속되고, 동작 조건의 각 정보에 따라 동작 제어하는 기능을 갖춘 검사·제조 장치용 컴퓨터와 상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속되고, 상기 각 검사·제조 장치에 설정된 동작 조건의 각 정보 또는 상기 각 검사·제조 장치마다 설정된 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보를 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 송수신하여 일괄 관리하는 기능을 갖춘 관리용 컴퓨터와, 이 관리용 컴퓨터에 접속되고, 상기 각 검사·제조 장치의 동작 조건의 각 정보 또는 상기 각 검사·제조 장치마다 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보를 표시하는 모니터 장치와 상기 관리용 컴퓨터에 의하여 일괄 관리된 상기 각 검사·제조 장치의 동작 조건의 각 정보에 근거하여 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 대하여 각 검사·제조 장치의 동작 조건을 일괄 변경하는 기능, 또는 상기 각 검사·제조 장치마다 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보에 근거하여 상기 각 검사·제조 장치의 각 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상을 검지했을 때에 메인트넌스를 재촉하는 경고를 발표하는 기능을 갖춘 관리부를 구비하고 있다.
Figure R1020047003891
검사, 제조장치, 동작조건, 메인트넌스, 관리

Description

일괄 관리 장치{Lump Management Apparatus}
본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이나 유기 EL(전계 발광) 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD), 또는 반도체 웨이퍼 등의 반도체 디바이스의 검사·제조 라인에 배치된 복수의 검사·제조 장치의 동작 조건의 정보나 메인트넌스(보수)정보를 관리하는 일괄 관리 장치에 관한 것이다.
예를 들면 액정 디스플레이의 검사·제조 라인에는 각종 검사 장치 및 제조 장치가 배치되어 있다. 이 중 검사 장치에는 예를 들면 패턴 검사 장치, 선폭 검사 장치, 마크로 검사 장치, 미크로 검사 장치, 결함 리뷰 장치, 반사광 목시(目視) 검사 장치, 투과광 목시 검사 장치, 미크로 결과 리뷰 장치 등이 있다.
또한, 제조 장치에는 예를 들면 스퍼터링 장치, CVD(화학적 기상 증착) 장치, PVD(물리적 기상 증착) 장치, PLD(펄스 레이저 증착) 장치, 베이크 장치, 레지스터 도포 장치, 얼라이너 장치, 화학 에칭 장치, 리페어 장치 등이 있다. 이들 검사·제조 장치에는 각각 동작 조건의 각 정보(이하, 레시피라고 칭한다)가 설정되어 있다.
이들 각 검사·제조 장치에 대해서는 개개의 장치 마다의 메인트넌스 대상, 예를 들면 램프나 모터, 벨트 등의 동작 상태의 메인트넌스 관리가 행하여지고 있 다.
도 16 및 도 17은 종래에 있어서의 각 검사 장치에의 레시피의 설정 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 16에서는 반도체 디바이스 제조 라인에 4대의 동일 종류의 검사 장치(1-1~1-4)가 설치되어 있다. 이 라인에서 레시피를 신규로 설정 또는 변경하는 경우에는 이들 검사 장치(1-1~1-4)에 대해서 같은 레시피(2)를 작성하게 된다.
그런데, 각 검사 장치(1-1~1-4)에 대해서 같은 레시피(2)를 작성하는 경우, 작업자가 검사 장치(1-1~1-4)마다 각각 레시피(2)를 작성하여, 각 검사 장치(1-1~1-4)로 나가서 설정하여야 한다. 이 때문에, 레시피 설정의 작업량은 라인에 배치되어 있는 검사 장치(1-1~1-4)의 대수분만큼 필요하게 된다.
한편, 도 17에서는 검사 장치(1-1~1-4)내의 각 컴퓨터가 근거리 통신망(LAN)을 개재하여 접속되어 있다. 이러한 구성이면, 예를 들면 검사 장치(1-1)에 대한 레시피(2)의 작성을 1번 행하고, 그 후, 이 레시피(2)의 파일을 다른 검사 장치(1-2~1-4)의 각 컴퓨터내에 형성되어 있는 폴더 등에 복사할 수 있다. 이것에 의하여, 각 검사 장치(1-1~1-4)에 있어서 같은 레시피를 설정할 수 있다.
그렇지만, 도 16에 도시한 레시피의 설정에서는 작업자에게 있어서 레시피 작성의 조작 회수가 많아서 번잡하다. 또한, 각 검사 장치(1-1~1-4)는 검사 라인상에서 각처에 설치되어 있기 때문에, 작업자가 그 검사 장치(1-1~1-4)의 설치 장소까지 이동하지 않으면, 레시피(2)를 작성할 수가 없다. 더욱이, 각 검사 장치(1-1~1-4) 사이에서 레시피(2)의 내용에 차이가 생겨도, 작업자는 알기 어렵다.
한편, 도 17에 도시한 레시피의 설정에서는 레시피(2)의 파일을 각 검사 장치(1-2~1-4)에 복사하므로, 도 17에 도시한 레시피의 설정보다, 다소 작업을 간소화할 수 있다.
그렇지만, 레시피(2)의 파일을 복사하는 폴더를 잘못 지정하면, 그 검사 장치(1-2~1-4)에 있어서 레시피(2)가 유효하게 되지 않는다. 또한, 예를 들면 어떤 검사 장치(1-1)의 레시피(2)에 대하여 개서(改書)를 행하고, 그 개서 내용을 다른 검사 장치(1-2~1-4)의 레시피(2)에 반영하는 것을 잊으면, 각 검사 장치(1-1~1-4)의 사이에서 동작에 차이가 나 버린다.
도 18은 종래에 있어서의 각 검사·제조 장치에 대한 메인트넌스 정보의 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 19에 도시한 바와 같이 4대의 검사·제조 장치(3-1~3-4)가 설치되어 있는 경우, 이들 검사·제조 장치(3-1~3-4)마다, 메인트넌스 대상의 각 검사 항목(la~1d, 2a~2d, 3a~3d, 4a~4d)이 관리되고 있다.
각 검사·제조 장치(3-1~3-4)에서는 각각 4개의 램프가 사용되고, 검사 항목 (1a~1d, 2a~2d, 3a~3d, 4a~4d)으로서 각 램프의 수명이 관리된다.
제조 라인에서 사용되는 검사 장치에서는 각 검사·제조 장치(3-1~3-4)마다 설치되어 있는 아워 미터를 작업원(Q)이 정기적으로 확인하여, 램프의 수명을 관리하고 있다. 또한, 아워 미터는 램프의 점등 시간을 카운트로서 해당 램프의 수명을 잰다.
그렇지만, 상기 메인트넌스 관리에서는 작업원(Q)이 각 검사·제조 장치(3-1~3-4)마다의 아워 미터를 확인하기 위해서, 수시로 각 검사·제조 장치(3-1~3-4) 의 설치 장소까지 나가야 한다. 또한, 상기 램프의 확인만으로도 16개 램프의 아워 미터를 보고 수명 관리를 행하여야 하므로 번잡하다.
본 발명의 목적은 각종 검사·제조 장치의 동작 조건이나 메인트넌스의 정보를 일괄하여 집중 관리할 수 있는 일괄 관리 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일괄 관리 장치는 반도체 디바이스의 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와 상기 각 검사·제조 장치에 개별 또는 군마다 접속되고, 동작 조건의 각 정보에 따라 동작 제어하는 기능을 갖춘 검사·제조 장치용 컴퓨터와 상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속되고, 상기 각 검사·제조 장치에 설정된 동작 조건의 각 정보 또는 상기 각 검사·제조 장치마다 설정된 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보를 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 송수신하여 일괄 관리하는 기능을 갖춘 관리용 컴퓨터와, 이 관리용 컴퓨터에 접속되어, 상기 각 검사·제조 장치의 동작 조건의 각 정보 또는 상기 각 검사·제조 장치마다 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보를 표시하는 모니터 장치와 상기 관리용 컴퓨터에 의해 일괄 관리된 상기 각 검사·제조 장치의 동작 조건의 각 정보에 근거하여 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 대하여 각 검사·제조 장치의 동작 조건을 일괄하여 변경하는 기능, 또는 상기 각 검사·제조 장치마다 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보에 근거하여 상기 각 검사·제조 장치의 각 메인트넌스 대상 항목의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상을 검지했을 때에 메인트넌스를 재촉하는 경고를 발하는 기능을 갖춘 관리부를 구비하고 있다.
도 1은 본 발명의 실시예와 관련된 일괄 관리 장치를 적용한 검사·제조 시스템의 전체 구성을 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 실시예와 관련된 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판의 레시피를 도시한 모식도이고,
도 3은 본 발명의 실시예와 관련된 선폭 검사의 레시피를 도시한 모식도이고,
도 4는 본 발명의 실시예와 관련된 패턴 검사의 레시피를 도시한 모식도이고,
도 5는 본 발명의 실시예와 관련된 레시피와 장치 맵과의 표시 출력을 도시한 개략도이고,
도 6은 본 발명의 실시예와 관련된 검사·제조 조건의 표시란 및 장치 맵의 표시예를 도시한 도면이고,
도 7은 본 발명의 실시예와 관련된 복수대의 검사·제조 장치를 설치했을 경우의 구성을 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명의 실시예와 관련된 복수대의 검사·제조 장치를 설치하고, 또한 이들 검사·제조 장치의 컴퓨터에 대하여 컴퓨터를 접속한 구성을 도시한 도면이고,
도 9는 본 발명의 실시예와 관련된 복수의 검사·제조 라인에 적용한 구성을 도시한 도면이고,
도 10은 본 발명의 실시예와 관련된 메인트넌스 일괄 관리 장치를 적용한 검사·제조 시스템의 전체 구성을 도시한 도면이고,
도 11은 본 발명의 실시예와 관련된 메인트넌스 정보와 장치 맵과의 표시 출력을 도시한 개략도이고,
도 12는 본 발명의 실시예와 관련된 메인트넌스 정보 표시란과 장치 맵과의 구체적인 표시예를 도시한 도면이고,
도 13은 본 발명의 실시예와 관련된 메인트넌스 정보의 리드 방법을 도시한 흐름도이고,
도 14는 본 발명의 실시예와 관련된 메인트넌스 정보 판단의 흐름도이고,
도 15는 본 발명의 실시예와 관련된 메인트넌스 정보 판단의 흐름도이고,
도 16은 종래에 있어서의 각 검사 장치에의 레시피의 설정 방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 17은 종래에 있어서의 각 검사 장치에의 레시피의 설정 방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 18은 종래에 있어서의 각 검사·제조 장치에 대한 메인트넌스 정보의 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 제1 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일괄 관리 장치를 적용한 검사·제조 시스템의 전체 구성 을 도시한 도면이다. 이 검사·제조 시스템은 액정 디스플레이나 유기 ED 디스플레이 등의 FPD 기판 또는 반도체 웨이퍼 등의 반도체 디바이스의 검사·제조 라인에 설치된다. 이 검사·제조 라인에는 복수의 검사 장치 또는 제조 장치(10-1~10-4, 이하, 검사·제조 장치라고 칭한다)가 설치되어 있다.
3대의 검사·제조 장치(10-1~10-3)는 1대의 검사·제조 장치용 퍼스널 컴퓨터(11, 이하, PC라고 칭한다)에 접속되어 있다. 이 PC(11)는 3대의 검사·제조 장치(10-1~10-3)를 각각의 레시피(동작 조건)에 따라 동작 제어하는 기능을 가지고 있다. 또한, 1대의 검사·제조 장치(10-4)는 다른 1대의 검사·제조 장치용 퍼스널 컴퓨터(12, 이하, PC라고 칭한다)에 접속되어 있다. 이 PC(12)는 검사·제조 장치(10-4)를 그 레시피에 따라 동작 제어하는 기능을 가지고 있다.
각 검사·제조 장치(10-1~10-4)는 예를 들면 패턴 검사 장치, 선폭 검사 장치, 오토 마크로 검사 장치, 메뉴얼 마크로 검사 장치, 미크로 검사 장치, 결함 리뷰 장치, 반사광 목시 검사 장치, 투과광 목시 검사 장치, 미크로 결과 리뷰 장치 등의 검사 장치이며, 혹은 예를 들면 스퍼터링 장치, CVD(화학적 기상증착) 장치, PVD(물리적 기상증착) 장치, PLD(펄스 레이저 증착) 장치, 베이크 장치, 레지스터 도포 장치, 얼라이너 장치, 화학 에칭 장치, 리페어 장치 등의 제조 장치이다.
또한, 마크로 검사에서는 예를 들면 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판에 대하여 조명빛을 조사하여, 유리 기판상의 더스트·입자의 부착이나 더러움, 흠집, 이지러짐 등의 결함 부분을 검사원의 목시에 의하여, 혹은 촬상하여 모니터 화상에 표시하여 검사한다. 미크로 검사에서는 마크로 검사 장치에서 검출된 결함 부 분을 현미경을 이용하여 확대하여 접안 렌즈로 관찰하거나, 그 현미경의 확대 화상을 모니터에 표시하여 검사한다.
각 PC(11, 12)는 근거리 통신망(13, LAN)을 개재하여 관리용 PC(14, CIM : Computer Integrated Manufacturing)에 접속되어 있다. 이 PC(14)는 LAN(13)을 개재하여 각 PC(11, 12)와의 사이에서 서로 정보를 주고 받는다. PC(14)에는 칼라 액정 디스플레이나 CRT 디스플레이 등의 모니터 장치(16)가 접속되어 있다.
여기서, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)로 설정되어 있는 레시피의 내용의 일례에 대하여 설명한다. 레시피의 하나에, 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판의 레시피가 있다.
도 2는 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판의 레시피를 도시한 모식도이다. 유리 기판의 레시피는 예를 들면 2 모따기이라면, 도 2에 도시한 바와 같이 유리 기판(20)에 있어서의 각 셀(21, 22)의 사이즈 x, y나, 유리 기판(20)의 코너로부터 셀(21)까지의 거리(c) 등이다. 또한, 유리 기판(2)의 레시피에는 2 모따기, 4 모따기, 6 모따기 등의 셀 배열 정보도 있다. 이 유리 기판의 레시피는 유리 기판(20)의 사이즈나 모따기 조건에 따라 다른 값을 나타낸다. 이 셀 배열 정보도, 각 검사의 검사 영역을 결정하는 레시피가 된다. 예를 들면, 마크로 검사에서는 모든 셀을 검사 영역으로서 설정하고, 선폭 검사에서는 임의의 하나의 셀을 검사 영역으로서 설정하는 할 수 있다.
도 3은 선폭 검사의 레시피를 도시한 모식도이다. 선폭 검사의 레시피로서는 예를 들면 도 3에 도시한 바와 같이, 액정 디스플레이의 유리 기판(20)상에 형성된 패턴의 선폭을 검사할 때의 검사 위치 ql~q6이다. 또한, 선폭 검사의 레시피로서는 패턴의 중심 등의 얼라이먼트 정보나, 선폭을 검사하는 현미경 장치의 대물렌즈의 배율, 유리 기판(20)을 조명할 때의 밝기, 선폭의 규격치 등이 있다.
도 4는 패턴 검사의 레시피를 도시한 모식도이다. 패턴 검사의 레시피로서는 예를 들면 액정 디스플레이에 이용되는 유리 기판의 2 모따기, 4 모따기, 6 모따기 등의 셀 배열 정보가 있고, 도 4에 도시한 바와 같이 유리 기판(20)에 있어서의 패턴 검사의 영역(23~26, 각 셀에 대응한다)이다. 또한, 유리 기판(20)을 조명할 때의 밝기, 유리 기판(20)면상에 있어서의 결함 판정 레벨로서 그 결함의 크기, 결함수, 및 불량품으로서 판정하기 위한 문턱값(결함 판정 기준) 등을 가지고 있다.
더욱이 레시피에는 예를 들면 마크로 검사, 미크로 검사, 결함 리뷰, 반사광 목시 검사, 투과광 목시 검사, 미크로 결과 리뷰 등의 검사 장치이라면, 검사 영역인 셀 배열 정보 외에 각종 검사를 행하기 때문에 필요한 동작 조건이 포함되어 있다.
또한, 레시피에는 예를 들면 스퍼터링, CVD(화학적 기상 증착), PVD(물리적 기상 증착), PLD(펄스 레이저 퇴적), 베이크, 레지스터 도포, 얼라이너, 화학 에칭, 리페어 등의 제조 장치이라면, 이들 제조 동작을 행하기 위한 동작 조건이 포함되어 있다.
상기 PC(14)의 관리부(15)는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 각 PC(11, 12)에 대해서 각각 LAN(13)을 개재하여 통신을 행하고, 이들 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 설정되어 있는 모든 레시피를 읽어들여 일괄 집중 관리하는 기능을 가지고 있 다. 이 경우, 관리부(15)는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)로부터 읽어들인 레시피를 PC(14) 내부의 메모리(17)에 전개한다. 레시피는 미리 PC(14) 내부의 메모리(17)에 기억하고, LAN(13)을 개재하여 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 접속되어 있는 검사·제조 장치용 PC(11, 12)로 보낼 수도 있다.
관리부(15)에는 상기와 같이 검사·제조 장치(10-1~10-4)로 설정되어 있는 모든 레시피를 일괄 집중 관리하기 위한 소프트웨어(일괄 집중 관리용 프로그램)가 인스톨 되어 있다. 관리부(15)는 이 일괄 집중 관리용 프로그램을 기동하는 것에 의하여, 다음과 같은 각 기능을 실행한다.
관리부(15)는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)로 설정되어 있는 모든 레시피를 모니터 장치(16)에 표시 출력하거나, 또는 지정한 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 표시 출력하는 기능을 가지고 있다.
관리부(15)는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 설정되어 있는 모든 레시피를 일괄 변경하거나, 또는 지정한 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 일괄 변경하는 기능을 가지고 있다.
관리부(15)는 변경된 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피가 유효하게 되는 시기를 설정 가능하게 하는 기능을 가지고 있다. 이 레시피가 유효하게 되는 시기는 작업원이 임의로 설정할 수 있다. 예를 들면, 연·월·일이 바뀌었을 때부터 유효하게 되는, 다음의 로트부터 유효하게 되는, 즉시 유효하게 되는 등으로 설정할 수 있다.
관리부(15)는 변경된 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피, 이력, 및 그 조작을 행한 작업자의 이력을 기록하는 기능을 가지고 있다. 이 레시피의 이력은 PC(14) 내부의 메모리(17)에 기록된다.
도 5는 레시피와 장치 맵의 표시 출력을 도시한 개략도이다. 관리부(15)는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피, 또는 지정한 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 도 5에 도시한 바와 같이, 모니터 장치(16)에 검사·제조 조건의 표시란(V1)으로서 표시 출력함과 함께, 장치 맵(V2)를 표시 출력하는 기능을 가지고 있다.
도 6은 검사·제조 조건의 표시란 및 장치 맵의 표시예를 도시한 도면이다. 이하, 구체적인 표시예에 대하여 도 6을 참조하여 설명한다. 모니터 장치(16)의 표시 화면(W)에서는 그 상방측에 검사·제조 조건의 표시란(V1)을 표시하고, 그 하방 측에 장치 맵(V2)을 표시한다.
검사·제조 조건의 표시란(V1)에는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피가 표시된다. 여기에서는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 검사 장치에 대하여 표시하고 있다. 이 레시피에서는 각 검사 장치(10-1~10-4)에 대한, 예를 들면 '조명의 밝기', '검사 기능의 유무', '검사 종류의 가부', 및 '조명의 전원' 등 각 정보가 표시되어 있다.
'조명의 밝기'는 램프에 인가하는 전압치[V]로 나타나고 있다. '검사 기능의 유무'에서는 각 검사 장치(10-1~10-4)에 대하여, 예를 들면 패턴 검사 「1」, 선폭 검사 「2」, 마크로 검사 「3」, 미크로 검사 「4」의 기능이 갖춰져 있는지의 가 부가 표시되어 있다. 이 '검사 기능의 유무'에 있어서 「○」는 검사 기능을 갖추고 있는 것을 나타내고, 「×」는 검사 기능을 갖추지 않은 것을 나타낸다. '검사 종류의 가부'에서는 각 검사 장치(10-1~10-4)에 대해서 「1」~「4」의 검사 기능(검사 종류에 상당)을 실시하는지의 가부가 표시되어 있다. 이 검사 종류의 가부에 있어서 「○」는 실시하는 것을 나타내고, 「×」는 실시하지 않는 것을 나타낸다.
'조명의 전원'에서는 검사를 행할 때의 각 검사 장치(10-1~10-4)에 대한 전원의 온(ON), 오프(OFF)가 표시되어 있다. 또한, 이 표시예에서는 모든 검사 장치(10-1~10-4)의 조명의 전원이 온「0N」으로 되어 있다.
이러한 검사·제조 조건의 표시란(V1) 의 하방에는 「변경 내용을 지금 즉시 반영한다.」 「변경 내용은 다음의 로트부터 유효하게 한다.」라고 하는 레시피가 유효하게 되는 시기를 선택하기 위한 표시가 행하여지고 있다.
장치 맵(V2)는 실제의 제조 공장에 설치되어 있는 각 검사 장치(10-1~10-4)나 그 외의 장치(27, 28), PC(14), 이 PC(14)와 각 검사 장치(10-1~10-4)와 그 외의 장치(27, 28)를 접속하기 위한 허브(29, HUB)의 배치를 도면화하고, 비주얼 표시 출력한 것이다.
또한, 이 장치 맵(V2)에는 각 검사 장치(10-1~10-4)가 공장내의 어디에 배치되어 있는지를 한눈에 알 수 있도록, 통로(30)나 출입구(31, 32) 등의 목표 대상도 레이아웃으로서 표시됨과 함께, 검사·제조 라인에 있어서의 각 라인의 배치 방향, 예를 들면 A라인, B라인, C라인의 배치 방향이 화살표 「→」에 의하여 표시되어 있다.
구체적으로는 모니터 화면상에 있어서 통로(30)가 좌우 방향으로 표시되고, 이 통로(30)를 사이에 두고 일측에 검사 장치(10-1, 10-2) 및 그 외의 장치(27, 28)가 배치 표시되고, 타측에 검사 장치(10-3, 10-4) 및 PC(14), 허브(29)가 배치 표시되어 있다. 또한, P1~P5는 각 구역을 나누기 위한 파티션을 나타낸다. 또한, 이 비주얼 표시에서는 표시란(V1)에 표시되어 있는 각 검사 장치(10-1~10-4)(관리 대상)와 그 외의 장치(27, 28)(관리 대상외)를, 또는 검사·제조 라인(장치군)별로 분류 표시하고 있다.
관리부(15)는 기록한 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피를 소트 셀렉트(분류, 선택) 하는 기능을 가지고 있다. 이 소트 셀렉트 기능은 장치명의 순서에 내용을 표시(장치명에 의한 소팅)하거나, 장치의 종류에 따라 표시/비표시(장치 종류에 의한 셀렉션)로 하거나 하는 기능이다.
더욱이 관리부(15)는 소트 셀렉트 기능을 이용하여, 레시피의 개서(改書)를 장치마다, 장치 카테고리마다, 장치가 소속하는 검사·제조 라인(장치군)마다 등으로 일괄하여 행할 수 있는 기능을 가지고 있다.
다음에, 상기와 같이 구성된 검사·제조 시스템의 동작에 대하여 설명한다. 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 각 레시피의 설정이나 변경은 다음과 같이 행하여진다.
PC(14)의 관리부(15)는 일괄 집중 관리용 프로그램을 기동하는 것에 의하여, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 각 PC(11, 12)에 대하여, 각각 LAN(13)을 개재하여 통신을 행하고, 이들 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 설정되어 있는 모든 레시피를 읽어들여 내부의 메모리(17)에 전개하고, 일괄 집중 관리한다.
관리부(15)는 작업원의 조작에 따라, 모든 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피를 모니터 장치(16)에 표시 출력한다. 혹은 관리부(15)는 작업원의 조작에 따라 소트 셀렉트 기능을 이용하여 분류된 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 모니터 장치(16)에 표시 출력한다.
이와 같이 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피를 모니터 장치(16)에 표시 출력하면, 관리부(15)는 작업원의 조작에 따라, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 설정되어 있는 레시피를 일괄 변경하거나, 또는 소트 셀렉트 기능을 이용하는 것으로 분류된 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 변경한다.
또한, 관리부(15)는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피를 도 6에 도시한 바와 같이 검사·제조 조건의 표시란(V1)으로서 모니터 장치(16)에 표시 출력함과 함께, 제조 공장에 설치되어 있는 각 검사 장치(10-1~10-4) 등의 장치 맵(V2) 을 비주얼 표시 출력한다.
각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피의 설정·변경은 작업원이 비주얼 표시된 장치 맵(V2)을 보면서, 검사·제조 조건의 표시란(V1)을 조작하는 것에 의하여 행한다. 예를 들면, 검사·제조 조건의 표시란(V1)에 있어서의 각 검사 장치(10-1~10-4)의 ′검사 종류의 가부', 즉 패턴 검사 「1」, 선폭 검사 「2」, 마크로 검 사 「3」, 미크로 검사 「4」를 실시하는지 아닌지를 기호 「○」 「×」를 조작하는 것으로 설정한다. 이것에 의하여, 레시피의 설정·변경을 할 수 있다.
더욱이 다른 레시피의 설정·변경으로서는 유리 기판(20)에 있어서의 각 셀(21, 22)의 사이즈 x, y나, 유리 기판(20)의 코너로부터 셀(21)까지의 거리(c), 유리 기판 사이즈, 셀 배열 정보 등의 설정·변경이 행하여진다.
선폭 검사의 레시피이라면, 패턴의 선폭을 검사할 때의 검사 위치 ql~q6이나, 패턴의 얼라이먼트 정보, 현미경 장치의 대물렌즈의 배율, 유리 기판(20)을 조명할 때의 밝기, 선폭의 규격치 등의 설정·변경이 행하여진다.
패턴 검사의 레시피이라면, 패턴 검사의 영역(23~26), 셀 배열 정보, 유리 기판(20)을 조명할 때의 밝기, 유리 기판(20) 면에 있어서의 결함 판정 레벨로서의 결함의 크기, 결함수, 및 불량품으로서 판정하는 문턱값 등의 설정·변경이 행하여진다.
이 레시피의 설정·변경에 있어서, 소트 셀렉트 기능을 이용하면, 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 있어서의 원하는 검사의 종류, 예를 들면 패턴 검사 「1」만의 레시피를 설정·변경할 수 있다. 더욱이 소트 셀렉트 기능을 이용하면, 상기와 같이 레시피의 변경(개서(改書))을 장치마다, 장치 카테고리마다, 장치가 소속하는 라인(장치군)마다 등으로 일괄적으로 행할 수 있다.
또한, 관리부(15)는 작업원의 조작을 받아, 변경한 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피가 유효하게 되는 시기를 설정할 수 있다. 예를 들면 도 6에 도시 한 모니터 표시 화면에서는 검사·제조 조건의 표시란(V1)의 하방의 「변경 내용을 지금 즉시 반영한다.」 또는 「변경 내용은 다음의 로트부터 유효하게 한다.」를 작업원이 체크하는 것에 의하여, 레시피가 유효하게 되는 시기를 선택할 수 있다.
이와 같이 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피를 설정·변경하면, 관리부(15)는 일괄 설정·변경한 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피의 이력을 PC(14) 내부의 메모리(17)에 기록한다. 이 때, 조작을 행한 작업자의 이력도 기록한다.
이와 같이 상기 제 1 실시예에 있어서는 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 각 PC(11, 12)에 대하여 LAN(13)을 개재하여 PC(14)를 접속하고, 이 PC(14)의 관리부(15)에 의하여 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 설정되어 있는 모든 레시피를 읽어들여 일괄 집중 관리한다. 이것에 의하여, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4) 및 그 외의 장치(27, 28)의 레시피를 1대의 PC(14)에 있어서 일괄 집중 관리할 수 있다.
이 일괄 집중 관리에서는 모든 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피를 읽어들여 모니터 장치(16)에 표시 출력하거나, 지정·분류된 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 모니터 장치(16)에 표시 출력하거나 할 수 있다.
또한, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 설정되어 있는 모든 레시피를 일괄 변경하거나, 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만을 변경하거나 할 수 있다. 이 레시피의 설정·변경에 있어서, 소트 셀렉트 기능을 이용하면, 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)에 있어서 원하는 검사의 종류, 예를 들면 패턴 검사 「1 」만의 레시피를 설정·변경할 수 있다. 더욱이 레시피의 변경을 장치마다, 장치 카테고리마다, 장치가 소속하는 검사·제조 라인(장치군) 마다 등으로 일괄적으로 행할 수 있다.
이러한 레시피의 설정·변경은 모니터 장치(16)에 표시 출력되어 있는 검사·제조 조건의 표시란(V1)과 비주얼 표시되어 있는 장치 맵(V2)을 작업자가 보면서 행한다.
따라서, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4) 및 그 외의 장치(27, 28)의 상호간의 레시피의 차이를 시각적으로 명확하게 판별할 수 있고, 레시피를 설정·변경하는 장치를 틀리는 일은 없고, 레시피의 입력 미스를 방지할 수 있다. 특히, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4) 및 그 외의 장치(27, 28)를 분류하여 표시하므로, 레시피를 설정·변경하는 장치에 대한 조작 미스나 판단 미스를 방지할 수 있다.
따라서, 장치 맵(V2)의 비주얼 표시에 의하여, 작업자는 효율적으로 각 검사·제조 장치(10-1~10-4) 및 그 외의 장치(27, 28)의 레시피의 설정·변경을 행할 수 있다. 또한, 일괄 변경한 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 모든 레시피, 또는 변경한 원하는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피만에 대하여 유효하게 되는 시기를 설정할 수 있다.
또한, 일괄 설정·변경한 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피의 이력, 및 그 조작을 행한 작업자의 이력을 기록한다. 따라서, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 사이에서 동작에 차이가 생겼을 때에, 레시피의 이력을 보는 것에 의하 여 차이가 생긴 원인을 규명할 수 있다.
또한, 레시피를 설정·변경하는 작업자에게 PC(14)를 조작할 때의 패스워드를 부여하는 것에 의하여, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 레시피의 설정 내용의 프로텍트를 행할 수 있다.
다음에, 본 발명의 일괄 관리 장치를 적용하는데 있어서의 상기 제 1 실시예의 변형예에 대하여 설명한다.
도 7은 복수대의 검사·제조 장치(40-1, 40-2)를 설치했을 경우의 구성을 도시한 도면이다. 검사·제조 장치(40-1, 40-2)에는 각각 컴퓨터(41-1, 41-2)가 갖추어지고, 이들 컴퓨터(41-1, 41-2)가 LAN(42)에 의해 접속되어 서로 통신 가능하게 되어 있다.
컴퓨터(41-1, 41-2)중의 어느 하나의 컴퓨터(41-1 또는 41-2)에는 각 검사·제조 장치(40-1, 40-2)에 설정되어 있는 모든 레시피를 읽어들여 일괄 집중 관리하는 소프트웨어가 인스톨되고 관리부(15)와 같은 기능을 가진다.
이러한 구성에 의하여, 관리부 기능을 가지는 1개의 컴퓨터는 복수의 컴퓨터로부터 각 검사·제조 장치의 레시피를 읽어들여 모니터 표시함과 함께, 모든 레시피를 일괄 집중 관리하고, 그 레시피의 설정·변경 등을 행할 수 있다.
도 8은 복수의 검사·제조 장치(40-1, 40-2)의 컴퓨터(41-1, 41-2)에 대하여 LAN(42)을 개재하여 컴퓨터(43, CIM)를 접속한 구성을 도시한 도면이다.
컴퓨터(43)에는 각 검사·제조 장치(40-1, 40-2)에 설정되어 있는 모든 레시피를 읽어들여 일괄 집중 관리하는 소프트웨어가 인스톨되고 관리부(15)와 같은 기 능을 가진다.
이러한 구성에 의하여, 통합된 관리부 기능을 가지는 컴퓨터(43)는 각 검사·제조 장치(40-1, 40-2)의 컴퓨터(41-1, 41-2)로부터 레시피를 읽어들여 모니터 표시함과 함께, 모든 레시피를 일괄 집중 관리하고, 그 레시피의 설정·변경 등을 행할 수 있다.
이와 같이 통합된 컴퓨터(43)에 의하여 레시피를 일괄 집중 관리하는 방식이라면, 도 7에 나타낸 방식보다 레시피 관리의 효과가 높다. 또한, 이 방식은 도 1에 나타낸 장치의 기본 구성을 이룬다.
도 9는 복수의 검사·제조 라인에 적용한 구성을 도시한 도면이다. 검사·제조 라인 A에는 복수의 검사·제조 장치(44-1, 44-2)가 설치되고, 이들 검사·제조 장치(44-1, 44-2)에는 각각 컴퓨터(45-1. 45-2)가 갖춰져 있다. 검사·제조 라인 B에는 복수의 검사·제조 장치(46-1, 46-2)가 설치되고, 이들 검사·제조 장치(46-1, 46-2)에는 각각 컴퓨터(47-1, 47-2)가 갖춰져 있다.
이들 검사·제조 라인 A, B에 있어서 각 검사·제조 장치(44-1, 44-2, 46-1, 46-2)의 각 컴퓨터(45-1, 45-2, 47-1, 47-2)에는 LAN(48)을 개재하여 컴퓨터(49, CIM)가 접속되어 있다. 이 컴퓨터(49, CIM)에는 각 검사·제조 장치(44-1, 44-2, 46-1, 46-2)에 설정되어 있는 모든 레시피를 읽어들여 일괄 집중 관리하는 소프트웨어가 인스톨되고 관리부(15)와 같은 기능을 가진다.
이러한 구성에 의하여, 통합된 관리부 기능을 가지는 컴퓨터(49)는 복수의 검사·제조 라인 A, B의 각 검사·제조 장치(44-1, 44-2, 46-1, 46-2)의 컴퓨터 (45-1, 45-2, 47-1, 47-2)로부터 레시피를 읽어들여 모니터 표시함과 함께, 모든 레시피를 일괄 집중 관리하고, 그 레시피의 설정·변경 등을 행할 수 있다.
그런데, 검사·제조 라인 A, B와 같이 검사·제조 장치(44-1, 44-2)와 검사·제조 장치(46-1, 46-2)가 각각 똑같이 배치되어 있는 경우, 작업원은 레시피의 설정·변경을 할 때에, 입력하는 장치를 틀려 버릴 염려가 있다.
이것에 대하여 본 발명에서는 컴퓨터(49)의 모니터 장치(16)에 검사·제조 조건의 표시란(V1)과 비주얼 표시의 장치 맵(V2)을 표시 출력한다. 이것에 의하여 작업자는 이들 검사·제조 조건의 표시란(V1)과 장치 맵(V2)을 보면서 레시피의 설정·변경을 행할 수 있으므로, 검사·제조 라인 A의 검사·제조 장치(44-1, 44-2)와 검사·제조 라인 B의 검사·제조 장치(46-1, 46-2)를 시각적으로 명확하게 판별할 수 있고, 레시피를 설정·변경하는 장치를 틀리는 일이 없고, 레시피의 입력 미스를 방지할 수 있다. 또한, 소트 셀렉트 기능을 이용하면, 레시피의 변경을 장치마다, 장치의 카테고리마다, 검사·제조 라인마다 등으로 일괄적으로 행할 수 있다. 더욱이 장치 맵(V2)의 비주얼 표시에 있어서, 각 라인마다 분류 표시하거나 레시피의 설정·변경을 하는 장치에 대하여 점멸 표시나 휘도 등을 바꾸어 표시하고, 시각적으로 명확하게 판별하는 것에 의하여, 더욱이 레시피의 입력 미스를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 제 1 실시예에 한정되는 것은 아니고, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하는 것이 가능하다.
예를 들면, 상기 제 1 실시예에서는 검사·제조 장치(10-1~10-4)의 PC(11, 12)에 대하여 LAN(13)을 개재하여 PC(14)를 접속하고 있지만, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4)와 PC(14)와의 사이의 통신 수단으로서는 LAN(13)에 한정되지 않고, 인터넷을 이용하여도 괜찮다. 따라서, PC(14)는 반드시 검사·제조 장치(10-1~10-4)가 설치된 제조 공장내에 마련할 필요는 없다. 예를 들면, 복수의 제조 공장에 있어서의 각 장치의 각 레시피를 일괄 집중 관리할 수 있도록 다른 지역(일본국내, 외국 등)에 설립한 일괄 관리 센터에, PC(14)를 설치하여도 좋다.
더욱이, 검사·제조 조건의 표시란(V1)과 비주얼 표시되어 있는 장치 맵(V2)을 표시하는 모니터 장치(16)는 칼라 액정 디스플레이나 CRT 디스플레이에 한하지 않고, 발광 다이오드(LED)를 이용한 것이나, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4) 등을 심벌화하여 나타낸 배치도를 기재한 표시반에 램프 등을 이용하여 표시한 것 이라도 좋다.
이하, 본 발명의 제2 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 10은 본 발명의 메인트넌스 일괄 관리 장치를 적용한 검사·제조 시스템의 전체 구성을 도시한 도면이다. 이 검사·제조 시스템은 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이 등의 반도체 디바이스의 검사·제조 라인에 설치된다. 이 검사·제조 라인에는 복수의 검사 장치 또는 제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3, 이하, 검사·제조 장치라고 칭한다)가 설치되어 있다.
또한, 도 10에 있어서의 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 Ml~M3는 각각 메인트넌스 대상의 각 검사 항목을 나타내고 있다. 1군을 형성하는 3대의 검사·제조 장치(50-1~50-3)는 1대의 검사·제조 장치용 퍼스널 컴퓨터(52, 이하, PC라고 칭한다)에 접속되고, 다른 1군을 형성하는 3대의 검사·제조 장치(51-1~51-3)는 1대의 검사·제조 장치용 퍼스널 컴퓨터(53, 이하, PC라고 칭한다)에 접속되어 있다.
각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)는 도 1에 도시한 제1 실시예와 같은 각종 검사 장치, 각종 제조 장치이다.
PC(52, 53)는 각각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)를 각 동작 조건의 정보(레시피라고 칭한다)에 따라, 동작 제어하는 기능을 가지고 있다. PC(52, 53)는 근거리 통신망(13, LAN)을 개재하여 관리용 PC(14, CIM : Computer　Integrated Manufacturing)에 접속되어 있다.
이 PC(14)는 LAN(13)을 개재하여 PC(52, 53)와의 사이에서 서로 정보를 주고 받는다. PC(14)에는 칼라 액정 디스플레이나 CRT 디스플레이 등의 모니터 장치(16)가 접속되어 있다. PC(14)는 LAN(13)을 개재하여 PC(52. 53)와의 사이에서 서로 통신을 행하고, 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 메인트넌스 대상에 있어서 각 항목의 메인트넌스 정보와 각 동작 조건의 정보(레시피)를 읽어들여 일괄 관리하기 위한 소프트웨어(일괄 집중 관리용 프로그램)가 인스톨 되어 있는 관리부(15)를 갖추고 있다. 관리부(15)에 있어서의 레시피의 일괄 관리에 대해서는 도 1에 도시한 제1 실시예와 같다.
여기서, 메인트넌스 대상 항목과 그 정보는 각 검사·제조장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)에 있어서, 예를 들면 이하의 내용으로 되어 있다. 메인트넌스 대상 항목은 예를 들면 램프, 흡착 패드, 모터, 볼 나사, 벨트(타이밍 벨트), 캐터필러내의 케이블, 모니터 등이다.
이 중 램프는 예를 들면 액정 디스플레이나 반도체 웨이퍼 등의 반도체 디바이스의 검사·제조 장치에 이용되는 조명 광원이다. 이 램프의 메인트넌스 정보는 예를 들면 광량치, 색온도, 인가 전압치, 효율(필라멘트 온도), 전력 등이다. 이 중 광량치는 소정의 광량보다 어두워지면 스위치가 온이 되는 광 센서를 배치하고, 이 광 센서에 일정한 전압을 인가했을 때의 출력 상태를 검출하는 것에 의하여 취득한다. 또한, 광량치는 조도계를 배치하고, 이 조도계에 일정한 전압을 인가했을 때의 계측치 정보로부터 취득할 수도 있다.
색온도는 예를 들면 색온도계를 배치하고, 이 색온도계에 일정한 전압을 인가했을 때의 계측치 정보로부터 취득한다. 인가 전압치는 예를 들면 광량계와 전압계를 배치하고, 램프가 규정 광량에 이르기 위한 전압치 정보로부터 취득한다. 효율(필라멘트 온도)은 예를 들면 온도계 등으로부터 그 정보를 취득한다. 전력은 예를 들면 광량계와 전류계와 전압계를 배치하고, 램프가 규정 광량에 달하기 위한 전력치 정보로부터 취득한다.
더욱이, 메인트넌스 대상 항목인 흡착 패드는 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 반도체 디바이스를 반송 로보트의 핸드나 스테이지상에 흡착 보관 유지하기 위한 것이다. 그 메인트넌스 정보는 예를 들면 압력 센서의 검출에 의하여 취득하는 진공압이다. 모터는 반송 로보트나 스테이지, 또는 검사·제조의 대상이 되는 반도체 디바이스를 촬상하기 위한 카메라 등을 이동하기 위한 것이다. 모터의 메인트넌스 정보는 예를 들면 노이즈, 진동, 토크, 전력 등이다.
볼 나사는 모터의 회전운동을 직선 운동으로 전달하기 위한 것이다. 볼 나사의 메인트넌스 정보는 예를 들면 노이즈, 진동 등이다. 벨트는 상기 모터의 구동력을 다른 구동부에 전달하는 것으로, 예를 들면 스테이지상에 유리 기판을 바꿔 싣기 위한 리프트 핀을, 하강 또는 상승시킬 때에 모터의 구동을 전달하기 위한 것이다. 벨트의 메인트넌스 정보는 예를 들면 탄성, 반동량, 진동 등이다.
캐터필러내의 케이블은 스테이지 등의 구동부와 예를 들면 PC(52, 53)의 주변 회로를 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 그 메인트넌스 정보는 예를 들면 탄성, 반동량, 또는 전기적 접촉 불량, 시간 등이다. 모니터는 각 검사·제조 장치( 50-1~50-3, 51-1~51-3)에서의 검사 결과 등을 표시하는 것이다. 그 메인트넌스 정보는 예를 들면 전력이다. 관리부(15)는 일괄 집중 관리용 프로그램을 기동하는 것에 의하여, 다음과 같은 각 기능을 실행한다.
관리부(15)는 작업원(Q)의 조작 지시를 받아, 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 각 메인트넌스 정보를 모니터 장치(16)에 표시 출력하는 기능을 가지고 있다.
도 11은 메인트넌스 정보와 장치 맵과의 표시 출력을 나타내는 개략도이다. 관리부(15)는 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 메인트넌스 정보를 메인트넌스 정보 표시란(V1)으로서 모니터 장치(16)에 표시 출력함과 함께, 각 검사· 제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 배치 레이아웃을 도시한 장치 맵(V2)을 모니터 장치(16)에 비주얼 표시 출력하는 기능을 가지고 있다.
도 12는 메인트넌스 정보 표시란(V1)과 장치 맵(V2)과의 구체적인 표시예를 도시한 도면이다. 메인트넌스 정보 표시란(V1)에는 예를 들면 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)중 검사 동작을 행하는 4대의 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1)를 검사 장치 「1」~「4」로서 표시하고 있다.
이 메인트넌스 정보 표시란(V1)에는 검사 장치 「1」~「4」에 대한 각 메인트넌스 대상 항목, 예를 들면 각 램프(Ml, M2)를 사용했을 경우의 램프의 평균 수명 시간부터 램프의 점등 시간을 끌은 램프 교환까지의 시간(이하, 램프의 사용 가능 시간이라고 칭한다)이 표시되어 있다. 즉, 램프(Ml)를 사용했을 경우의 사용 가능 시간은 검사 장치 「1」에서는 2000h(시간), 검사 장치 「2」에서는 13h, 검사 장치 「3」에서는 602h, 검사 장치 「4」에서는 -5h이다.
각 메인트넌스 대상 항목(Ml, M2)의 설정 내용으로서는 각 항목(Ml, M2)에 대해서, 다음번의 램프 교환까지 1000h 이상이면 「◎」, 500h이상이면 「○」, 10h이상이면 「△」, Oh이상이면 「×」를 표시하는 설정이 있다. 이 항목에 있어서, 검사 장치 「1」~「4」에 대하여 「다이얼로그는 20h이하가 된다고 표시한다.」와 「알람은 5h이하가 되면 울린다.」라고 하는 설정이 있다. 도의 표시예에서는, 「다이얼로그는 20h이하가 된다고 표시한다.」가 작업자(Q)에 의하여 체크되고, 관리부(15)는 램프(Ml, M2)의 사용 가능 시간(T)이 20h이하가 되면, 메인트넌 스를 재촉하는 취지를 모니터 표시함과 함께, 해당 검사 장치에 대하여 메인트넌스를 재촉하는 알림을 행한다.
장치 맵(V2)은 실제의 제조 공장에 설치되어 있는 각 검사 장치 「1」~「4」나 PC(14, 호스트 컴퓨터로서 표시), 이 PC(14)와 각 검사 장치 「1」~「4」를 접속하기 위한 허브(54, HUB)의 배치를 도면화하고, 비주얼 표시 출력한 것이다.
또한, 이 장치 맵(V2)에는 각 검사 장치 「1」~「4」가 공장내의 어디에 배치되고 있는지를 한눈에 알 수 있도록 통로(55, 56)나 비상구(57) 등의 목표 대상도 레이아웃으로서 표시되어 있다. 구체적으로는 모니터 화면상에 있어서 2개의 통로(55, 56)가 좌우 방향으로 표시되고, 통로(55)의 일측에 검사 장치 「1」~「4」가 배치 표시되고, 공장의 왼쪽 하단 모서리에 PC(14)와 허브(54)가 배치 표시되어 있다.
관리부(15)는 작업자(Q)가 비주얼 표시 출력한 각 검사 장치 「1」~「4」중 원하는 장치를 지시하면, 해당 장치의 메인트넌스 정보를 추출하여 표시하는 기능을 가지고 있다. 또한, 장치 맵(V2)의 화면상에 있어서, 작업자가 원하는 장치로서 예를 들면 검사 장치 「1」상에 커서를 이동하여, 마우스를 클릭 조작하여 해당 검사 장치 「1」을 선택하면, 이 검사 장치 「1」의 표시색이 예를 들면 시각적으로 알기 쉬운 적색 계통의 색으로 변화하고, 또한, 선택되지 않었던 다른 검사 장치 「2」~「4」를 예를 들면 회색으로 표시하는 식별 기능을 가지고 있다. 이 식별 기능으로서는 클릭 조작에 의하여 선택된 검사 장치 「1」을 입체 표시하여도 괜찮 다.
관리부(15)는 각 검사 장치 「1」~「4」의 메인트넌스 정보와 메인트넌스 기한 판정용의 설정치를 비교하고, 메인트넌스 정보가 설정치에 접하면, 메인트넌스를 재촉하는 알림을 행하는 기능을 가지고 있다. 또한, 관리부(15)는 각 검사 장치 「1」~「4」중 어느 것의 검사 장치에서 에러 신호가 발생했을 경우, 에러 신호를 받으면 곧 바로 메인트넌스를 재촉하는 알림(경고)을 행하는 기능을 가지고 있다.
메인트넌스를 재촉하는 알림(경고) 방법으로서 관리부(15)는 모니터 장치(16)에 메세지를 표시하거나 모니터 장치(16)에 장치 맵(V2)을 표시하여 메인트넌스 대상의 장치에 메인트넌스를 재촉하기 위한 그림이나 마크를 표시하거나 한다.
더욱이, 메인트넌스를 재촉하는 알림(경보) 방법으로서 관리부(15)는 버저나 스피커를 이용하여 메인트넌스를 재촉하기 위한 음성을 낸다. 또한, 관리부(15)는 작업자가 휴대하고 있는 통신 기능과 표시 기능을 가지는 휴대단말기 등의 외부 장치를 이용하여, 메인트넌스 대상 장치와 메인트넌스 대상 항목 등의 메인트넌스 정보를 통지한다.
또한, 관리부(15)는 전화 회선을 통해서 작업자의 자택 전화기나 휴대전화기, 또는 메인트넌스 관리 부문(회사)의 전화기나 관리용 컴퓨터에 통보를 행하는 기능을 가지고 있다. 이 경우, PC(14)에 작업자의 자택 전화기나 휴대전화기, 또는 메인트넌스 관리 부문의 전화기의 전화번호를 등록하고, 또한, PC(14)를, 모뎀을 개재하여 전화 회선에 접속한다. 메인트넌스를 재촉할 때에는, PC(14)가 작업자의 자택 전화기나 휴대전화기, 또는 메인트넌스 회사의 전화기에 발호한다.
관리부(15)는 검사 장치 「1」~「4」의 각 메인트넌스 정보의 이력을 내부의 메모리(17)에 기록하는 기능을 가지고 있다. 관리부(15)는 메모리(17)에 기록된 예를 들면 검사 장치 「1」~「4」의 각 메인트넌스 정보의 이력에 근거하여, 각 메인트넌스 대상 항목마다에 메인트넌스 기한 판정용의 설정치를 변경하는 기능을 가지고 있다.
예를 들면, 메인트넌스 대상 항목으로서 예를 들면 램프의 경우에 대하여 설명한다. 램프가 끊어졌을 때까지의 램프의 사용시간을 계산하여, 평균 고장 시간(MTBF : Mean Time Before Failure)을 추천 설정치, 혹은 디폴트치로 한다. 그리고, 이들 추천 설정치 혹은 디폴트치를 새로운 메인트넌스 기한 판정용의 설정치로서 변경 설정한다. 또한, 평균 고장 시간(MTBF)에 한정하지 않고, 정규 분포나 와이불 분포를 계산 수법으로서 이용하여도 괜찮다.
또한, 메인트넌스 기한 판정용의 설정치의 설정 방법으로서 이하와 같은 방법도 적용할 수 있다. 우선 처음에, 사용전의 램프에서 검사 대상의 유리 기판 등을 조사하고, 그 반사광의 광량(휘도)을 메모리에 기억한다. 상기 램프의 사용 개시 후, 정기적으로 상기 램프에 의한 유리 기판 등으로부터의 반사광을 검출하고, 그 검출된 광량(휘도)을 상기 메모리에 기억되어 있는 기준의 광량(휘도)과 비교한다. 그리고, 상기 기준의 광량(휘도)에 대한 상기 검출된 광량(휘도)의 비율(%)이 소정치보다 낮은 경우에, 경고를 알리도록 한다.
또한, 오토 마크로 검사에 사용되는 할로겐 램프의 경우, 정격 수명 시간을 L0, 정격전압을 VO로 하고, 사용 개시 후의 수명(사용 가능 시간)을 L, 전압을 V로 하면, 아래 식
L/L0=(V/V0)-10~14
의 관계가 성립된다. 이 식으로부터 사용 개시 후의 할로겐 램프의 사용 가능 시간 L을 산출하여, 소정치 이하가 되었을 경우에, 경고를 하도록 한다.
또한, 할로겐 램프의 경우, 개체마다에 전압과 광량의 관계가 다르다. 즉, 동일한 레시피(설정 전압)로 동일한 웨이퍼 기판에 할로겐 램프로 조명하여 촬상했을 경우에, 램프의 개체차에 의하여 화상의 휘도가 다르다. 또한, 동일한 램프에서도 사용 시간에 따라 램프의 광량이 저하하고, 동일한 촬상 장치로 촬상한 화상의 휘도가 다르다. 이 휘도의 격차, 변화를 해소하기 위해서, 미리, 기준이 되는 베어웨이퍼에 램프로 조명하고, 램프 전압을 바꾸면서 촬상 장치 등으로 휘도를 측정하여 전압과 휘도(광량)와의 관계를 도시한 램프 특성 곡선을 이상적인 곡선으로 하고, 휘도(광량)와 전압의 변환 테이블을 작성하여 PC(14)의 메모리(17)에 기억한다.
그리고, 각 검사 장치 「1」~「4」에 대해서, 램프에서 오토 마크로 검사의 대상이 되는 웨이퍼를 조명하여 얻은 휘도(광량)가 이상적인의 램프 특성 곡선의 설정 전압에 대한 휘도(광량)와 같게 되도록 각 검사 장치 「1」~「4」의 램프 전압을 조정한다. 이 램프의 설정 전압을 상기 제 1 실시예의 레시피로서 이용할 수 있다. 이 변환 테이블에 의하여, 할로겐 램프를 교환한 경우에도, 개체차에 의한 전압과 빈도를 보정하고, 항상 동일한 휘도(광량)를 얻을 수 있다. 또한, 할로겐 램프의 사용에 의한 광량 저하에 따른 휘도 변화에 대하여도, 변환 테이블을 이용하여 램프 전압을 조정하는 것으로 항상 동일한 광량을 얻을 수 있다.
관리부(15)는 미리 등록된 패스워드가 입력되었을 때만, 메인트넌스 정보를 모니터 장치(16)에 표시 출력하도록 관리하는 기능을 가지고 있다. 또한, 관리부(15)는 하드적인 키록을 이용하여, 특정의 작업자(Q)만 모니터장치(16)에의 표시를 할 수 없게 하는 기능을 가지고 있다.
다음에, 상기와 같이 구성된 검사·제조 시스템의 동작에 대하여 설명한다. PC(14)의 관리부(15)는 LAN(13)을 개재하여 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 PC(52, 53)로부터 모든 메인트넌스 정보를 읽어들여, 이들 메인트넌스 정보를 모니터 장치(16)에 표시 출력한다.
이 때, 관리부(15)는 이하와 같은 방법으로 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 메인트넌스 정보를 읽어들인다.
도 13은 메인트넌스 정보의 리드 방법을 도시한 흐름도이다. 관리부(15)는 스텝 S1에서, 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)에 있어서의 메인트넌스 대상 항목, 예를 들면 램프, 흡착 패드, 모터, 볼 나사, 벨트(타이밍벨트), 캐터필러내의 케이블, 모니터 등에서, 메인트넌스가 필요한 개소의 항목을 선택한다.
다음에 관리부(15)는 스텝 S2에서, 메인트넌스가 필요한 개소의 항목에 관하여, LAN(13)을 개재하여 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 PC(52, 53) 로부터 메인트넌스에 필요한 항목의 메인트넌스 정보를 읽어들여, 이들 메인트넌스 정보를 도 12에 도시한 바와 같이 메인트넌스 정보 표시란(V1)과 함께, 장치 맵(V2) 을 모니터 장치(16)에 표시 출력한다.
다음에 관리부(15)는 스텝 S3에서, 검사 장치 「1」~「4」의 각 메인트넌스 정보와 각 메인트넌스 기한 판정용의 설정치를 각각 비교하여, 메인트넌스 정보가 설정치에 달하였는지 아닌지를 판단하고, 설정치에 달하였다고 판단한 경우에는 스텝 S4로 옮겨 메인트넌스를 재촉하는 알림을 행한다.
예를 들면, 도 12에 도시한 메인트넌스 정보 표시란(V1)에는 검사 장치 「1」~「4」에 대한 각 메인트넌스 대상 항목으로서 램프(Ml, M2)의 사용 가능 시간이 표시되어 있다. 또한, 메인트넌스 정보 표시란(V1)에서는, 「다이얼로그는 20h이하가 되도록 표시한다.」의 항목이 작업자(Q)에 의하여 체크되어 있다. 이것에 의하여, 관리부(15)는 예를 들면 램프(Ml)의 사용 가능 시간이 20h이하에 달하였다고 하는 메인트넌스 정보를 얻으면, 메인트넌스를 재촉하는 취지를 모니터 표시하고 경고를 행한다.
한편, 관리부(15)는 검사 장치 「1」~「4」중의 어느 하나의 검사 장치에서 램프(Ml, M2)가 끊어져 에러 신호가 발생했을 경우, 스텝 S1으로부터 S4로 옮기고, 검사 장치 「1」~「4」로부터의 에러 신호를 받으면 즉시 메인트넌스를 재촉하는 경고를 행한다.
도 14는 메인트넌스 정보의 판단의 흐름도이다. 메인트넌스 정보가 설정치에 달하였는지 아닌지의 판단은 도 14에 도시한 흐름도에 따라 행하여진다. 이 판단예에서는 메인트넌스 대상의 항목으로서 램프를 들고 있다.
예를 들면 검사 장치 「1」~「4」에 있어서의 PC(52, 53)는 스텝 S10에서, 해당 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1)의 램프가 점등하고 있는 시간, 혹은 전원이 투입되어 있는 시간을 램프의 점등 시간(T)의 메인트넌스 정보로서 읽어들여 관리부(15)에 통지한다.
다음에 관리부(15)는 스텝 S11에서, 램프의 평균 수명 시간부터 점등 시간을 끌은 사용 가능 시간(T)과 메인트넌스 기한 판정용의 각 설정치 th(◎:1000h, ○:50Oh, △:10h, ×:Oh, 다이얼로그:20h, 알람:5h)를 비교한다. 이 비교 결과, 램프의 사용 가능 시간(T)이 다이얼로그 설정치 th보다 길면, 관리부(15)는 그 램프의 사용을 허가(OK)한다고 판단한다. 즉, 램프의 평균 수명 시간(2000h)부터 점등 시간의 적산치를 끌은 램프 교환까지의 남은 시간이 다이얼로그로 설정한 시간(20h)보다 길면 램프의 사용이 가능하다고 판단한다. 이 경우, 관리부(15)는 예를 들면 도 12에 도시한 메인트넌스 정보 표시란(V1)에 있어서, 램프의 사용 가능 시간이 1000h이상이면 「◎」, 5O0h이상이면 「○」 등으로 충분히 사용에 견딜수 있다는 취지를 표시하고, 램프의 사용 가능 시간(T)이 500~10h이라면 「△」 등으로 수명에 가까워진 것을 주의하라는 취지를 표시한다.
한편, 램프의 사용 가능 시간(T)이 다이얼로그의 설정치 th(20h)이하이면, 관리부(15)는 스텝 S12로 옮기고, 해당 램프가 수명이다고 판단한다. 이 경우, 관 리부(15)는 예를 들면 도 12에 도시한 메인트넌스 정보 표시란(V1)에 있어서, 「×」를 표시한다.
또한, 관리부(15)는 램프가 수명이다고 판단하면, 이 램프에 대한 메인트넌스를 재촉하기 위한 메세지, 그림, 마크를 모니터 장치에 표시하거나 버저 등으로 경고하거나 한다.
도 15는 메인트넌스 대상 항목(M)에 램프를 적용한 메인트넌스 정보의 판단을 구체화한 흐름도이다. 메인트넌스 정보가 설정치에 가까워진 것의 판단은 도 15에 도시한 흐름도에 따라 행하여진다.
검사 장치 「1」~「4」에 있어서의 PC(52, 53)는 스텝 S20, S21에서, 램프가 온(ON)이 된 시각(Tl)과 오프(OFF)가 된 시각(T2)을 검출하여, 램프의 점등 시간(T)'(Σ(T2-Tl))를 카운트하여 구한다.
다음에, PC(14)의 관리부(15)는 LAN(13)을 개재하여 PC(52, 53)와의 사이에서 데이터의 주고 받음을 행하고, 각 검사 장치 「1」~「4」에 대한 램프의 점등 시간(T)'을 읽어들인다. 관리부(15)는 램프의 평균 수명 시간부터 점등 시간(T)'을 감산하여 램프의 사용 가능 시간(T)을 구한다.
다음에 관리부(15)는 스텝 S22에서, 램프의 사용 가능 시간(T)'과 램프의 평균 수명 등에서 구한 메인트넌스 기한 판정용의 각 설정치 th(1), th(2)를 비교한다. 여기서, 설정치 th(l)는 교환 시기가 가깝다는 취지를 알리기 위한 것으로, 예를 들면 램프의 평균 수명, 도 12에 도시한 「○」의 500h에 상당한다. 설정치 th(2)는 더 이상 사용하면 램프가 끊어진다고 하는 취지의 경고를 하기 위한 것으로, 도 12에 도시한 「△」의 10h, 또는 다이얼로그의 20h에 상당한다. 이 설정치 th(2)는 램프가 끊어질 가능성이 높고, 사용을 보증할 수 없게 되는 램프의 나머지 사용 시간이다.
상기 비교의 결과, 램프의 사용 가능 시간(T)이 설정치 th(1) 이상이면(T≥th(1)), 관리부(15)는 램프의 사용을 허가(OK)한다고 판단한다. 이 경우, 관리부(15)는 스텝 S23로 옮기고, 예를 들면 도 12에 도시한 메인트넌스 정보 표시란(V1)에 있어서, 램프의 사용을 허가한다(0K)고 판단한 각 검사 장치 「1」~「4」에 대하여 예를 들면 사용의 안전을 보장하는 청색으로 표시한다. 이것과 함께 관리부(15)는 램프 교환까지 1000h이상이면 「◎」, 500h이상이면 「○」 등을 거듭하여 표시하여도 괜찮다.
또한, 상기 비교의 결과, 램프의 사용 가능 시간(T)가 설정치 th(1)와 th(2)의 사이(th(1)>T≥th(2))이면, 관리부(15)는 램프의 교환 시기가 가깝다고 판단하고, 스텝 S24로 옮기고, 해당 램프를 갖춘 각 검사 장치 「1」~「4」에 대하여 예를 들면 주의를 재촉하는 황색으로 표시한다. 이것과 함께 관리부(15)는 램프 교환까지 10h이상 이면 「△」 등을 거듭하여 표시하여도 괜찮다.
또한, 상기 비교의 결과, 램프의 사용 가능 시간(T)이 설정치 th(2) 미만이면(th(2)>T), 관리부(17)는 램프를 시급히 교환해야 한다고 판단하고, 스텝 S25로 옮겨, 해당 램프를 갖춘 각 검사 장치 「1」~「4」에 대하여 예를 들면 경고를 의 미하는 적색으로 표시한다. 이것과 함께 관리부(15)는 수명이 다 된 램프가 신품의 램프와 교환될 때까지 「×」 등을 거듭하여 표시하고, 한편 버저 등에 의하여 경고를 계속 발한다.
한편, 관리부(15)는 검사 장치 「1」~「4」중의 어느 하나의 램프가 끊어져 에러 신호가 발생했을 경우, LAN(13)을 개재하여 에러 신호(램프 조각 신호)를 수신한다.
관리부(15)는 스텝 S26에 있어서, 에러 신호를 수신하면, 스텝 S25에 강제적으로 옮겨, 램프를 시급하게 교환해야 한다고 판단하고, 해당 램프를 갖춘 각 검사장치 「1」~「4」에 대하여 예를 들면 경고를 의미하는 적색으로 표시한다. 이것과 함께 관리부(15)는 끊어진 램프가 신품의 램프와 교환될 때까지 「×」 등을 거듭하여 표시하고, 한편 버저 등에 의하여 경고를 계속 발함과 함께, 작업자의 휴대단말에 긴급 통보한다.
이와 같이 상기 제 2 실시예에 있어서는 검사·제조 장치 50-1~50-3, 51-1~51-3에 접속된 PC(52, 53)에 대하여 LAN(13)을 개재하여 PC(14)를 접속하고, 이　PC(14)의 관리부(15)에 의하여 각 검사·제조 장치 50-1~50-3. 51-1~51-3의 메인트넌스 대상 항목의 각 메인트넌스 정보를 읽어들여 일괄 집중 관리할 수 있다.
이것에 의하여, 종래와 같이 작업원(Q)이 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)마다의 각 아워 미터를 확인하기 위해서, 수시 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 설치 장소까지 나가는 일 없이, 1개의 PC(14)로 메인트넌스 대상 항목, 예를 들면 램프 수명의 메인트넌스를 집중 관리할 수 있고, 작업원(Q) 이 나가는 회수를 최소한으로 감소시키는 등, 메인트넌스 관리를 간단하게 행할 수 있다.
또한, 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 메인트넌스 정보를 메인트넌스 정보 표시란(V1)으로서 표시 출력함과 함께, 이들 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)의 배치 레이아웃을 도시한 장치 맵(V2)을 비주얼 표시 출력한다.
이것에 의하여, 작업원(Q)이 현재 메인트넌스를 필요로 하는 장치 예를 들면 검사·제조 장치(50-1)에 대한 메인트넌스 대상 항목의 설정·변경을 틀리지 않고 확실하게 행할 수 있다.
특히 장치 맵(V2)에 있어서, 실제의 제조 공장에 설치되어 있는 각 검사 장치 「1」~「4」나 PC(14) 등의 배치를 도면화하여 비주얼 표시 출력하고, 또한 메인트넌스의 필요가 있는 검사 장치를 다른 검사 장치와는 다른 형태, 예를 들면 기호화, 색변화 등의 분류로 표시한다. 이것에 의하여, 작업원(Q)이 현재 메인트넌스를 필요로 하는 장치 예를 들면 검사·제조 장치(10-1)를 틀리지 않고, 메인트넌스 대상 항목의 확인 미스나 메인트넌스 대상 항목의 설정·변경 등의 각종 정보의 입력 미스를 방지할 수 있고, 더욱이 이들 작업의 효율을 향상할 수 있다.
또한, 검사 장치 「1」~「4」의 메인트넌스 정보에 근거하여 메인트넌스 시기나 에러 신호를 감시하고, 메인트넌스가 필요하다고 판단되면, 메인트넌스를 재촉하는 알림(경고)을 행한다. 이것에 의하여, 각 검사 장치 「1」~「4」에 있어서의 메인트넌스 대상 항목을 감시하고, 트러블이 발생하기 전에 확실하게, 또한 재 빠르게 메인트넌스에 대응할 수 있다.
예를 들면, 반도체 디바이스의 제조 라인에 있어서는 검사 장치나 제조 장치의 램프가 끊어지는 등의 트러블에 의하여, 제조 라인을 정지시키게 되는 것은 제조 라인의 가동률이 저하하는 요인이 된다. 이 요인을 미리 막으려면 , 각 메인트넌스 항목에 대하여 트러블이 발생하기 전에 램프를 교환하는 등, 사전에 메인트넌스를 할 필요가 있다. 본 발명에 의하면, 메인트넌스 항목을 일괄 집중하여 감시하고 있으므로, 예를 들면 램프가 끊어지기 전에 사전에 램프를 교환하는 등, 메인트넌스를 확실하게 행할 수 있다.
이 때의 메인트넌스를 재촉하는 알림의 방법으로서 램프의 사용을 허가한다(OK)는 것으로 해당 램프의 검사 장치 「1」~「4」를 예를 들면 청색으로 표시하거나, 램프가 이제 교환 시기라고 하여 해당 램프의 각 검사 장치 「1」~「4」를 예를 들면 황색으로 표시하거나, 더욱이 램프를 시급히 교환해야 한다고 하는 것으로 해당 램프의 각 검사 장치 「1」~「4」를 예를 들면 적색으로 표시하거나 하므로, 램프의 사용 상태를 정확하게 파악할 수 있다.
또한, 검사 장치 「1」~「4」중의 어느 하나의 검사 장치에 램프 끊어짐에 의한 에러 신호가 발생했을 경우에는, 이들 검사 장치 「1」~「4」로부터의 에러 신호를 받으면 즉시 메인트넌스를 재촉하는 경보를 발하는 것으로, 시급하게 램프 교환을 행할 수 있다.
더욱이, 메인트넌스를 재촉하는 알림의 방법으로서는 메세지, 메인트넌스를 재촉하기 위한 그림이나 마크 등의 화상으로 알림, 경보를 행하거나 더욱이 버저 나 스피커 등에 의하여 알림, 경보를 행하거나 작업자가 휴대하고 있는 휴대단말기나 상주하고 있는 메인트넌스 관리 부문의 전화기에 시급히 통보를 행하는 것으로, 작업원(Q)에 대하여 시각, 청각으로 확실하게 메인트넌스를 재촉하는 취지를 전할 수 있다.
또한, 각 검사 장치의 메인트넌스 정보의 이력을 메모리(17)에 기록하는 것으로, 각 검사·제조 장치간에 동작에 차이가 생겼을 때에, 메인트넌스 정보 및 그 작업자(Q)의 이력을 보는 것에 의하여, 차이가 생긴 원인을 규명할 수 있다. 또한, 각 검사 장치의 메인트넌스 정보의 이력에 근거하여 메인트넌스 기한 판정용의 설정치를 변경 설정하는 것으로, 실제로 사용한 결과에 근거하여 메인트넌스 대상 항목에 대하여 적절한 메인트넌스 기한 판정용의 설정치를 얻을 수 있다.
또한, 미리 등록된 버스 워드가 입력되었을 때만, 메인트넌스 정보를 모니터 장치(16)에 표시 출력하도록 관리하므로, 특정의 작업자(Q) 이외에 메인트넌스 정보의 조작을 할 수 없게 할 수 있다. 이와 같이 패스워드 입력에 의하여 작업자(Q)를 한정하면, 메인트넌스 정보 등의 설정 내용을 프로텍트 할 수 있어 메인트넌스 정보 등의 관리가 용이하게 된다.
또한, 메인트넌스를 실시하고 싶다고 하는 정보를 입력하면 자동적으로 초기치(디폴트 값)이 설정되도록 하면 메인트넌스의 작업 항목을 간소화할 수 있다. 또한, 메인트넌스품의 재고 정보를 입력하면, MTTR(Mean Time To Repair)를 작게 할 수 있다.
상기 제 2 실시예에 의하면, 램프의 메인트넌스에 한하지 않고, 각 검사·제 조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)에 있어서 흡착 패드, 모터, 볼 나사, 벨트(타이밍벨트), 캐터필러내의 케이블, 모니터 등에 대해서도, 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)에 나가지 않고 메인트넌스 관리를 간단하게 행할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 제 2 실시예로 한정되는 것이 아니고, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하는 것이 가능하다.
예를 들면, 상기 제 2 실시예에서는 검사·제조 장치(50-1~50-3. 51-1~51-3)의 각 PC(52, 53)에 대하여 LAN(13)을 개재하여 PC(14)를 접속하고 있지만, 이들 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)와 PC(14)와의 사이의 통신 수단으로서는 LAN(13)에 한하지 않고, 인터넷을 이용하여도 괜찮다. 따라서, 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)에 대한 PC(14)는 각 검사·제조 장치(50-1~50-3, 51-1~51-3)가 설치된 제조 공장내에 마련할 필요는 없고, 예를 들면 복수의 제조공장에 있어서 각 장치의 각 메인트넌스 정보를 일괄 집중 관리할 수 있도록, 다른 지역(일본국내, 외국 등)에 설립한 일괄 관리 센터에 PC(14)를 설치하여도 좋다.
더욱이 검사·제조 조건의 표시란(V1)과 비주얼 표시되어 있는 장치 맵(V2) 을 표시하는 모니터 장치(16)는 칼라 액정 디스플레이나 CRT 디스플레이에 한하지 않고, 발광 다이오드(LED)를 이용한 것이나, 각 검사·제조 장치(10-1~10-4) 등을 심벌화하여 나타낸 배치도를 기재한 표시반에 램프 등을 이용하여 표시하도록 하여도 괜찮다.
본 발명은 상기 각 실시예만에 한정되지 않고, 요지를 변경하지 않는 범위에 서 적시 변형하여 실시할 수 있다.
본 발명에 의하면, 각종 장치의 레시피나 메인트넌스 정보를 일괄 관리 하고, 레시피의 설정이나 변경, 또는 메인트넌스의 관리가 틀림없이 간단하게 행할 수 있는 일괄 관리 장치를 제공할 수 있다.

Claims (12)

  1. 반도체 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와,
    상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 대상 항목에 관한 메인트넌스 정보를 취득하기 위한 센서유닛과,
    각각이 상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개에 접속되고, 이 적어도 한 개의 검사·제조 장치에 대응하는 동작 조건에 따라 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치를 동작 제어하는 복수의 검사·제조 장치용 컴퓨터와,
    상기 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속된 관리용 컴퓨터를 구비하고, 이 관리용 컴퓨터는,
    각각의 상기 검사·제조 장치에 대응하는 각 동작조건 정보항목과 상기 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개에 관련하여 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 정보를 송수신하는 송신·수신부와,
    상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 설정되어 있는 상기 동작조건을 일괄 집중 관리하고, 상기 적어도 복수의 검사·제조 장치에 대응하는 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치용 컴퓨터에 관련하여, 적어도 선택된 복수의 상기 검사·제조 장치 각각의 동작조건을 일괄하여 변경하는 변경부와,
    각 검사·제조 장치의 각 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보를 일괄 집중 관리하고, 상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상(異常)을 예측하고, 이상의 발생시에 경고를 통지하는 통지부와,
    모니터 장치의 동일 화면에, (i) 각각의 상기 검사·제조 장치의 각 상기 동작조건 정보항목과 각 상기 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개와, (ii) 상기 검사·제조 장치의 배치 레이아웃도를 표시하는 표시부를 구비하며,
    상기 검사·제조 장치 각각은 복수 유형의 검사기능을 가지고,
    상기 관리 컴퓨터의 변경부는 상기 검사기능의 적어도 한 개를 선택하고, 상기 적어도 복수의 검사·제조 장치의 동작조건을 일괄하여 변경하는 때에 상기 선택된 적어도 한 개의 검사기능만을 변경하는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
  2. 반도체 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와,
    상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 대상 항목에 관한 메인트넌스 정보를 취득하기 위한 센서유닛과,
    각각이 상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개에 접속되고, 이 적어도 한 개의 검사·제조 장치에 대응하는 동작 조건에 따라 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치를 동작 제어하는 복수의 검사·제조 장치용 컴퓨터와,
    상기 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속된 관리용 컴퓨터를 구비하고, 이 관리용 컴퓨터는,
    각각의 상기 검사·제조 장치에 대응하는 각 동작조건 정보항목과 상기 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개에 관련하여 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 정보를 송수신하는 송신·수신부와,
    상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 설정되어 있는 상기 동작조건을 일괄 집중 관리하고, 상기 적어도 복수의 검사·제조 장치에 대응하는 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치용 컴퓨터에 관련하여, 적어도 선택된 복수의 상기 검사·제조 장치 각각의 동작조건을 일괄하여 변경하는 변경부와,
    각 검사·제조 장치의 각 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보를 일괄 집중 관리하고, 상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상(異常)을 예측하고, 이상의 발생시에 경고를 통지하는 통지부와,
    모니터 장치의 동일 화면에, (i) 각각의 상기 검사·제조 장치의 각 상기 동작조건 정보항목과 각 상기 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개와, (ii) 상기 검사·제조 장치의 배치 레이아웃도를 표시하는 표시부를 구비하며,
    상기 관리 컴퓨터의 상기 표시부는, 상기 검사·제조 장치를 관리대상으로서 표시하고 상기 검사·제조 장치와 그 동작조건을 각각의 일람표에 표시하고,
    상기 표시부는, 상기 관리대상의 상기 검사·제조 장치와 관리대상 외의 상기 검사·제조 장치를 다른 형태로 배치 레이아웃도 상에서 표시하는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개가 상기 배치 레이아웃도 상에서 지정되어 있을 때 상기 관리 컴퓨터의 상기 표시부는 지정된 상기 검사·제조 장치를 지정되지 않은 검사·제조 장치와는 다른 형태로 상기 배치 레이아웃도 상에서 표시하는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개가 상기 배치 레이아웃도 상에서 지정되어 있을 때, 상기 관리 컴퓨터의 상기 표시부는 상기 적어도 한 개의 지정된 검사·제조 장치에 대응하는 메인트넌스 정보를 추출하여 표시하고, 상기 지정된 검사·제조 장치를 지정되지 않은 검사·제조 장치와는 다른 형태로 상기 배치 레이아웃도 상에서 표시하는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
  5. 반도체 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와,
    상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 대상 항목에 관한 메인트넌스 정보를 취득하기 위한 센서유닛과,
    각각이 상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개에 접속되고, 이 적어도 한 개의 검사·제조 장치에 대응하는 동작 조건에 따라 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치를 동작 제어하는 복수의 검사·제조 장치용 컴퓨터와,
    상기 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속된 관리용 컴퓨터를 구비하고, 이 관리용 컴퓨터는,
    각각의 상기 검사·제조 장치에 대응하는 각 동작조건 정보항목과 상기 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개에 관련하여 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 정보를 송수신하는 송신·수신부와,
    상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 설정되어 있는 상기 동작조건을 일괄 집중 관리하고, 상기 적어도 복수의 검사·제조 장치에 대응하는 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치용 컴퓨터에 관련하여, 적어도 선택된 복수의 상기 검사·제조 장치 각각의 동작조건을 일괄하여 변경하는 변경부와,
    각 검사·제조 장치의 각 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보를 일괄 집중 관리하고, 상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상(異常)을 예측하고, 이상의 발생시에 경고를 통지하는 통지부와,
    모니터 장치의 동일 화면에, (i) 각각의 상기 검사·제조 장치의 각 상기 동작조건 정보항목과 각 상기 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개와, (ii) 상기 검사·제조 장치의 배치 레이아웃도를 표시하는 표시부와,
    일괄 변경한 상기 동작조건을 유효하게 하는 타이밍을 설정하는 설정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 검사·제조 장치는, 상기 대응하는 동작조건을 변경하기 위하여 장치마다, 장치 카테고리마다, 그리고 검사·제조 라인마다 한 개로 분류되고,
    상기 표시부는, 소트 셀렉트 기능을 이용하여 분류한 상기 검사·제조 장치에 대응하는 동작조건을 표시란에 표시하고,
    상기 변경부는 상기 소트 셀렉트 기능에 의해 분류한 상기 검사·제조 장치마다, 장치 카테고리마다, 그리고 검사·제조 라인마다에 동작조건을 일괄 고쳐 적는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
  7. 반도체 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와,
    상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 대상 항목에 관한 메인트넌스 정보를 취득하기 위한 센서유닛과,
    각각이 상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개에 접속되고, 이 적어도 한 개의 검사·제조 장치에 대응하는 동작 조건에 따라 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치를 동작 제어하는 복수의 검사·제조 장치용 컴퓨터와,
    상기 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속된 관리용 컴퓨터를 구비하고, 이 관리용 컴퓨터는,
    각각의 상기 검사·제조 장치에 대응하는 각 동작조건 정보항목과 상기 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개에 관련하여 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 정보를 송수신하는 송신·수신부와,
    상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 설정되어 있는 상기 동작조건을 일괄 집중 관리하고, 상기 적어도 복수의 검사·제조 장치에 대응하는 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치용 컴퓨터에 관련하여, 적어도 선택된 복수의 상기 검사·제조 장치 각각의 동작조건을 일괄하여 변경하는 변경부와,
    각 검사·제조 장치의 각 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보를 일괄 집중 관리하고, 상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상(異常)을 예측하고, 이상의 발생시에 경고를 통지하는 통지부와,
    모니터 장치의 동일 화면에, (i) 각각의 상기 검사·제조 장치의 각 상기 동작조건 정보항목과 각 상기 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개와, (ii) 상기 검사·제조 장치의 배치 레이아웃도를 표시하는 표시부를 구비하며,
    상기 검사·제조 장치 각각의 상기 메인트넌스 대상항목은 각 상기 검사·제조 장치의 검사 또는 제조에 있어서 사용되는 광원을 구비하며,
    상기 통지부는 (i) 상기 검사·제조 장치 각각의 상기 각 광원의 점등시간을 적산하고 적산결과를 평균수명시간과 비교하며, (ii) 상기 광원이 수명에 가까울 때에 통지를 발하고, (iii) 상기 평균수명에 달한 때와 상기 광원이 사용불능으로 된 때에, 상기 광원을 교환하기까지 경고음을 발생하고, (iv) 작업자의 휴대 단말에 경고를 통지하는 일괄 관리 장치.
  8. 반도체 제조 라인에 배치되는 복수의 검사·제조 장치와,
    상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 대상 항목에 관한 메인트넌스 정보를 취득하기 위한 센서유닛과,
    각각이 상기 검사·제조 장치의 적어도 한 개에 접속되고, 이 적어도 한 개의 검사·제조 장치에 대응하는 동작 조건에 따라 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치를 동작 제어하는 복수의 검사·제조 장치용 컴퓨터와,
    상기 검사·제조 장치용 컴퓨터에 통신회선을 개재하여 접속된 관리용 컴퓨터를 구비하고, 이 관리용 컴퓨터는,
    각각의 상기 검사·제조 장치에 대응하는 각 동작조건 정보항목과 상기 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개에 관련하여 상기 검사·제조 장치용 컴퓨터와의 사이에서 정보를 송수신하는 송신·수신부와,
    상기 각 검사·제조 장치용 컴퓨터에 설정되어 있는 상기 동작조건을 일괄 집중 관리하고, 상기 적어도 복수의 검사·제조 장치에 대응하는 상기 적어도 한 개의 검사·제조 장치용 컴퓨터에 관련하여, 적어도 선택된 복수의 상기 검사·제조 장치 각각의 동작조건을 일괄하여 변경하는 변경부와,
    각 검사·제조 장치의 각 센서유닛으로부터의 메인트넌스 정보를 일괄 집중 관리하고, 상기 검사·제조 장치 각각의 메인트넌스 정보를 감시하여 이상(異常)을 예측하고, 이상의 발생시에 경고를 통지하는 통지부와,
    모니터 장치의 동일 화면에, (i) 각각의 상기 검사·제조 장치의 각 상기 동작조건 정보항목과 각 상기 메인트넌스 정보 내에서 적어도 한 개와, (ii) 상기 검사·제조 장치의 배치 레이아웃도를 표시하는 표시부를 구비하며,
    상기 검사·제조 장치 각각의 상기 메인트넌스 대상항목은 각 상기 검사·제조 장치의 검사 또는 제조에 있어서 사용되는 광원을 구비하고,
    상기 관리용 컴퓨터는 (i) 기준 검사·제조 대상물을 각 상기 광원으로 상기 광원의 전압을 바꿔가면서 조명하고, (ii) 조명 중에 상기 기준 검사·제조 대상물로부터 반사된 광의 휘도를 대응하는 상기 센서유닛으로 계측하여 얻은 전압과 휘도 데이터로부터 이상적인 램프 특성곡선을 작성하고, (iii) 검사·제조해야 할 대상물의 휘도가 상기 이상적인 램프의 특성곡선의 설정전압에 대응하는 휘도와 같게 되도록 상기 광원의 전압을 조정하는 조명부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 일괄 관리 장치.
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