CN107871698A - 太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置，编辑方法包括：在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。由于将工艺编辑终端与生产设备分隔开，而非使用现场的生产设备进行工艺编辑，降低了生产设备周边人员获取关键工艺数据的可能性，并且可以在编辑好关键工艺数据后根据指定的生产设备的硬件信息对关键工艺数据进行加密，由于硬件信息独一无二的特性，使得关键工艺文件不易被破解，大大增加了数据安全性。

Description

太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置
技术领域
本发明涉及太阳能生产设备技术领域，特别涉及一种太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置。
背景技术
太阳能电池片生产设备的关键工艺数据较为复杂，且数据安全至关重要，尤其是核心生产设备，例如等离子体增强化学气相沉积设备(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，PECVD)。
目前太阳能电池片生产设备的工艺数据，主要由具有特定权限的工艺人员在生产设备的软件上现场编写。由于现场人员复杂，很容易造成数据泄露。此外，很容易由于人员疏忽导致输入的工艺数据出错的问题。
现有技术中太阳能电池片生产设备的工艺数据，主要有两种存储方式。一种为软件内部数据的存储方式，另一种为工艺文件的存储方式。第一种方式的关键工艺数据安全性高，无法被非法拷贝，但是也无法将数据移植到其他机台上，导致容易输错工艺数据。第二种方式的数据容易移植，但是很容易被非法拷贝，造成关键工艺数据泄露。
发明内容
本发明提供了一种太阳能电池生产设备的工艺编辑方法及系统，解决现有技术关键工艺数据易泄露的问题。
本发明提供了一种太阳能电池生产设备的工艺编辑方法，包括：
在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；
在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；
根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
优选地，所述关键工艺文件还包括：编辑密码，在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。
优选地，所述指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
优选地，所述工艺编辑方法还包括：
通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给指定生产设备。
相应地，本发明还提供了一种太阳能电池生产设备的工艺获取方法，包括：
分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
在各生产设备上分别设置工艺解码器，每个工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息；
生产设备接收到关键工艺文件后，生产设备的工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致；
如果是，则将解码后的关键工艺数据导入关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
优选地，所述硬件信息包括以下任意一种或多种：计算机硬盘号、MAC地址、PLCCPU号。
优选地，所述生产设备包括：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机；所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备时，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
相应地，本发明还提供了一种太阳能电池生产设备的工艺编辑装置，包括：
硬件信息存储模块，用于存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；
工艺编辑器，用于在工艺编辑器上编辑指定生产设备的关键工艺数据，以及根据硬件信息存储模块上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
优选地，所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；或者
所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
密码设置单元，用于设置编辑密码和/或关键工艺文件加密密码；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；
密码验证单元，用于验证编辑密码；
解码单元，用于在验证编辑密码通过时解码关键工艺文件。
优选地，所述工艺编辑器还用于在指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备时，该工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
优选地，所述工艺编辑装置还包括：
移动存储设备，用于通过移动存储设备将关键工艺文件传送给指定生产设备；和/或
网络，用于连接各生产设备的主机，通过网络通信方式将关键工艺文件传送给指定生产设备。
相应地，本发明还提供了一种太阳能电池生产设备，包括：
控制主机、关键部件PLC站、关键部件、执行装置主PLC和执行装置，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
所述控制主机中设置工艺解码器和执行装置控制软件，该工艺解码器中存储所述控制主机和/或所述执行装置的硬件信息，工艺解码器和执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据；
所述控制主机接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中存储的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
优选地，所述生产设备包括：
等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机，当所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
相应地，本发明还提供了一种太阳能电池生产设备的工艺数据保护方法，包括：
分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
在生产设备的控制主机上设置工艺编辑器、工艺解码器和执行装置控制软件，其中，控制主机中存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息，工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，所述工艺解码器集成在所述工艺编辑器中，所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据；
通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；
当指定生产设备不是当前生产设备时，根据存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件；将所述关键工艺文件传送给指定生产设备的控制主机的工艺编辑器，指定生产设备的控制主机的工艺编辑器接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入指定生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时指定生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据；
当指定生产设备是当前生产设备时，将编辑好的关键工艺数据导入当前生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时当前生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
优选地，所述关键工艺文件还包括：编辑密码，在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。
优选地，所述工艺数据保护方法还包括：
在接收到其他生产设备发送的关键工艺文件、且工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息一致时，将解码的关键工艺数据发送给同一生产设备上的工艺编辑器；
在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行工艺编辑，得到预设生产设备的关键工艺文件；
通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给预设生产设备。
优选地，所述指定生产设备或所述预设生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
相应地，本发明还提供了一种太阳能电池生产设备的工艺数据保护装置，包括：
生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置有PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
控制主机和执行装置，控制主机上设置工艺编辑器、工艺解码器和执行装置控制软件，其中，控制主机中存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息，工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，所述工艺解码器集成在所述工艺编辑器中，所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据；
工艺编辑器用于编辑指定生产设备的关键工艺数据，当指定生产设备不是当前生产设备时，工艺编辑器根据存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件，然后将所述关键工艺文件传送给指定生产设备的控制主机的工艺编辑器，指定生产设备的工艺编辑器接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入指定生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时指定生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据；当指定生产设备是当前生产设备时，工艺编辑器将编辑好的关键工艺数据导入当前生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时当前生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
优选地，所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；或者
所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
密码设置单元，用于设置编辑密码和/或关键工艺文件加密密码；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；
密码验证单元，用于验证编辑密码；
解码单元，用于在验证编辑密码通过时解码关键工艺文件。
优选地，所述工艺编辑器具体用于在接收到其他生产设备发送的关键工艺文件、且工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息一致时，如果编辑密码验证通过，则对关键工艺文件进行工艺编辑，得到预设生产设备的关键工艺文件，然后通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给预设生产设备。
优选地，所述指定生产设备或所述预设生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
优选地，所述生产设备包括：
等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机，当所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
本发明提供的一种太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置，包括：在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。由于将工艺编辑用的终端与生产设备分隔开，例如使用安全度更高的电脑进行离线工艺编辑，而不是使用现场的生产设备的电脑进行工艺编辑，有效降低了生产设备周边人员获取关键工艺数据的可能性，并且可以在编辑好关键工艺数据后对关键工艺数据根据指定的生产设备进行加密：相比于现有的仅通过算法进行加密的方法，本发明考虑到设备的一些硬件信息具有独一无二的特性：计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号等，使得即使加密规则被破解，由于硬件信息独一无二的特性，最终的工艺参数也无法被破解，大大增加了数据安全性。
进一步地，本发明实施例提供的所述关键工艺文件还包括：编辑密码，在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。这样可以通过密码对编辑权限进行保护，进一步加强数据安全性。
进一步地，本发明实施例提供的所述指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。这样可以实现批量工艺编辑，大大提升工艺编辑效率，且可以避免在现场为每个生产设备进行工艺编辑导致数据输错的情形发生。
进一步地，本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺获取方法，分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，这样使得执行装置主PLC也无法获取关键工艺数据，进一步提升了关键数据的安全性。此外，每个工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息。这样使得一台生产设备只能运行与自身相对应的关键工艺文件，避免了用错关键工艺数据的情况发生，同时也可以避免利用其它生产设备解码关键工艺文件导致关键工艺数据泄密的情况发生。
进一步地，本发明实施例提供的所述关键工艺文件还包括：编辑密码，在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。工艺人员编写工艺中途需临时离开时，可将工艺编辑器锁定，设备软件照常运行，这样即可保证关键工艺数据不在编写过程中泄露。
进一步地，本发明实施例提供的工艺数据保护方法，关键工艺文件验证完成后，需移植到其他机台时，可通过工艺编辑器打开关键工艺文件，再批量生成其他设备的关键工艺文件即可。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺编辑方法的一种流程图；
图2为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺获取方法的一种流程图；
图3为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺编辑装置的一种结构示意图；
图4为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的一种结构示意图；
图5为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺数据保护方法的一种流程图；
图6为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺数据保护装置的一种结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的参数或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
本发明提供的一种太阳能电池生产设备的工艺编辑、获取、保护方法及装置，解决现有技术关键工艺数据易泄露的问题。
为了更好的理解本发明的技术方案和技术效果，以下将结合流程示意图对具体的实施例进行详细的描述。如图1所示，为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺编辑方法的第一种流程图，该方法包括以下步骤：
步骤S01，在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息。
在本实施例中，所述生产设备可以包括：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机等。每种生产设备都可以存在一台或多台，但是每台生产设备都具有自己独一无二的硬件信息。
该硬件信息包括但不限于：设备计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号等多种设备硬件特征。
步骤S02，在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据。
在本实施例中，指定生产设备是待获取关键工艺数据的生产设备，所述指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。也就是说可以是生产线上某一台生产设备，也可以是同类型的多台设备，在此不做限定。不同种类的生产设备的关键工艺数据都不相同，例如，所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备PECVD，工艺参数可以包括：腔室压力、腔室温度、工艺气体、电源功率、工艺时长等。其中，关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。需要说明的是，本发明并不是把所有的工艺数据都在工艺编辑器上进行编辑，可以仅把关键工艺数据在工艺编辑器上进行编辑，而常规数据，例如腔室压力、腔室温度、工艺气体、电源功率、前烘温度等非关键工艺数据在现场的生产设备主机上进行编辑。又例如，干法刻蚀设备的关键工艺数据包括：工艺时长、气体流量和射频功率；扩散设备的关键工艺数据为：工艺时长、工艺温度和升温速率；研磨设备的关键工艺数据为：工艺时长、压力、研磨速率等，在此不再一一列举。需要说明的是，不同关键工艺数据的控制部件可能不同，例如：工艺时长、气体流量可以通过气体流量阀来控制，射频功率可以通过射频发生器来控制，工艺温度可以通过温控单元来控制，研磨速率可以通过电机来控制。此外，由于同一类设备的不同设备之间也存在一定的个体差异，例如，本机台的100℃相当于另一个机台的103℃，可以在各机台上设定标定修正值，以使得统一编辑的工艺参数在各机台上都能高精度的运行，得到很好的工艺一致性。
步骤S03，根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
在本实施例中，加密方式可以由本领域技术人员根据实际情况采用任一种加解密方式，例如加密算法，如采用DES、3DES、IDEA、RSA、AES、BLOWFISH等算法都是可行的。更进一步而言，在密钥的产生过程中，还可以改变加密次数，例如以多层加密代替单层加密，以及在多层加密中，各层加密方法不同组合。在此不再一一列举。具体地，工艺编辑器中有生产线上PECVD机台的硬件信息，生成关键工艺数据时，需选择对应的机台再根据其硬件信息进行关键工艺文件生成。此外，工艺编辑器还可以编辑生产设备同型号规格的一批设备的工艺文件，此时秘钥中不包含生产设备的硬件信息，然后再利用生产设备的硬件信息对工艺文件进行加密，例如关键工艺文件加密密码。
优选地，所述关键工艺文件还包括：编辑密码，当生成工艺文件之后，如果想对工艺文件进行编辑，则需要在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。也就是说，生成关键工艺文件时，需设定专有密码，使用工艺编辑器再次打开该关键工艺文件时，密码验证通过才可编辑。关键工艺文件经过多重加密，有效保证信息的安全性。
进一步地，所述工艺编辑方法还包括：通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给指定生产设备。
在一个具体实施例中，以PECVD为例进行说明，工艺编辑器负责新建、打开、编写和生成加密的关键工艺文件；关键工艺文件内容包括文件自身的密码、对应PECVD设备的多种硬件信息(包括设备计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号等多种设备硬件特征)以及关键工艺数据本身。
本发明提供的太阳能电池生产设备的工艺编辑方法，包括：在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。由于将工艺编辑用的终端与生产设备分隔开，例如使用安全度更高的电脑进行离线工艺编辑，而非使用现场的生产设备的电脑进行工艺编辑，有效降低了生产设备周边人员获取关键工艺数据的可能性，并且可以在编辑好关键工艺数据后对关键工艺数据根据指定的生产设备进行加密：相比于现有的仅通过算法进行加密的方法，本发明考虑到设备的一些硬件信息具有独一无二的特性：计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号等，使得即使加密规则被破解，由于硬件信息独一无二的特性，最终的工艺参数也无法被破解，大大增加了数据安全性。
如图2所示，为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺获取方法的一种流程图。
在本实施例中，该工艺获取方法包括：
步骤S21，分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行。其中，关键工艺数据的控制部件简称为关键部件，控制装置的其余部件简称为其余执行装置。
在本实施例中，生产设备可以包括控制主机和执行装置部分，控制主机中包括：工艺解码器、执行装置控制软件，执行装置包括独立出来的关键关键工艺数据的控制部件及其PLC(即关键部件PLC站)、其余执行装置部分和执行装置主PLC。工艺解码器与执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据。也就是说，关键关键工艺数据从工艺解码器中获取后直接传输给关键部件PLC站，不经过执行装置控制软件，因此设备操作人员无法看到关键工艺数据。执行装置控制软件与执行装置主PLC直接通信，非关键关键工艺数据可以是在本地执行装置控制软件中输入，然后通过执行装置主PLC控制其余执行装置部分运行。
步骤S22，在各生产设备上分别设置工艺解码器，每个工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息。
在本实施例中，每台生产设备上有一个工艺解码器，且与该生产设备绑定，例如，每个工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，可以为安装工艺编码器时由安装人员输入的当前生产设备的硬件信息，也可以为安装工艺编码器时自动读取所在生产设备的硬件信息，然后固化在工艺解码器中，该硬件信息包括但不限于：设备计算机硬盘号、MAC地址、PLCCPU号等多种设备硬件特征。此外，也可以是工艺解码器在接收到关键工艺文件后，首先读取所在生产设备的硬件信息以用于关键工艺文件解码。
这样做实质上将工艺编辑器和工艺解码器分别设置在了不同的终端上，使得可以实现离线工艺编辑，且可以将工艺编辑过程放在安全可靠的环境中进行，然后进行加密得到关键工艺文件，生产设备操作人员只能看到加密的关键工艺文件，而看不到关键工艺数据，可以有效防止泄密。
在本实施例中，这样可以避免生产设备用错关键工艺文件的情况发生。
具体地，所述生产设备包括：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机。
步骤S23，生产设备接收到关键工艺文件后，生产设备的工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致。
在本实施例中，工艺解码器的解码过程及验证过程可以同现有技术，例如，工艺解码器的解码过程及验证过程可以包括：首先识别工艺文件，然后进行解密，接着判断工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致。所述硬件信息包括以下任意一种或多种：计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号。
步骤S24，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
具体地，以PECVD为例进行说明：工艺解码器解码关键工艺文件后，负责验证PECVD机台硬件信息与关键工艺文件是否一致，如果一致，则将关键工艺数据导入PECVD设备软件或PECVD设备PLC中。以PECVD设备为例，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
本发明提供的太阳能电池生产设备的工艺获取方法，在生产设备中仅设置工艺解码器，而不设置工艺编辑器，生产设备接收到的关键工艺文件是加密的文件，设备操作者看不到关键工艺数据，大大提升了数据安全性。
如图3所示，为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺编辑装置的一种结构示意图。
在本实施例中，该太阳能电池生产设备的工艺编辑装置包括：
硬件信息存储模块，用于存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息。工艺编辑器，用于在工艺编辑器上编辑指定生产设备的关键工艺数据，以及根据硬件信息存储模块上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
优选地，所述工艺编辑器包括：关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件。或者所述工艺编辑器包括：关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；密码设置单元，用于设置编辑密码和/或关键工艺文件加密密码；关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；密码验证单元，用于验证编辑密码；解码单元，用于在验证编辑密码通过时解码关键工艺文件。
由于生产线中同种型号的设备通常具有多台，其关键工艺数据都一样，为了避免出现人工拷贝过程中出错的情况发生，所述工艺编辑器还用于在指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备时，该工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
进一步地，为了便于传输关键工艺文件，所述工艺编辑装置还包括：移动存储设备，用于通过移动存储设备将关键工艺文件传送给指定生产设备。和/或网络，用于连接各生产设备的主机，通过网络通信方式将关键工艺文件传送给指定生产设备。
如图4所示，为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的一种结构示意图。
在本实施例中，该太阳能电池生产设备包括：
控制主机、关键部件PLC站、关键部件、执行装置主PLC和执行装置，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行。
所述控制主机中设置工艺解码器和执行装置控制软件，该工艺解码器中存储所述控制主机和/或所述执行装置的硬件信息，工艺解码器和执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据。
所述控制主机接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中存储的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。其中，该硬件信息包括但不限于：设备计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号等多种设备硬件特征。
具体地，所述生产设备包括：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机，当所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
在其它实施例中，本发明还提供了一种太阳能电池生产设备的工艺数据保护方法，在本实施例中，可以将工艺编辑器和工艺解码器设置在同一个生产设备中，这样可以实现在线工艺编辑功能。如图5所示，为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺数据保护方法的一种流程图。
在本实施例中，太阳能电池生产设备的工艺数据保护方法，包括：
步骤S51，分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行。
步骤S52，在生产设备的控制主机上设置工艺编辑器、工艺解码器和执行装置控制软件，其中，控制主机中存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息，工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，所述工艺解码器集成在所述工艺编辑器中，所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据。
在本实施例中，硬件信息包括但不限于：设备计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号等多种设备硬件特征。所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间只能传输关键工艺文件。由于具有工艺编辑器，因此可以实现在线编辑关键工艺数据。
步骤S53，通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据。
步骤S54，当指定生产设备不是当前生产设备时，根据存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件；将所述关键工艺文件传送给指定生产设备的控制主机的工艺编辑器，指定生产设备的控制主机的工艺编辑器接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入指定生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时指定生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
在本实施例中，可以通过移动存储器或网络通信方式进行文件传输。
步骤S55，当指定生产设备是当前生产设备时，将编辑好的关键工艺数据导入当前生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时当前生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
优选地，所述关键工艺文件还包括：编辑密码。当生成工艺文件之后，如果想对工艺文件进行编辑，则需要在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。工艺人员编写工艺中途需临时离开时，可将工艺编辑器锁定，设备软件照常运行，这样即可保证关键工艺数据不在编写过程中泄露。
进一步地，所述工艺数据保护方法还包括：
在接收到其他生产设备发送的关键工艺文件、且工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息一致时，将关键工艺文件或解码的关键工艺数据发送给同一生产设备上的工艺编辑器。这样使得生产设备的工艺编辑器可以获取外界传送的关键工艺文件，以便于在本地进行编辑。此外，经过本地编辑后的关键工艺文件还可以传送给其他生产设备，大大提高了工艺编辑和文件传送的灵活度和便利度。
在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行工艺编辑，得到预设生产设备的关键工艺文件。所述预设生产设备可以是当前生产设备，也可以是其他生产设备。
通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给预设生产设备。
具体地，所述指定生产设备或所述预设生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。其中，所述生产设备包括以下任意一种或多种：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机。
如图6所示，为根据本发明实施例提供的太阳能电池生产设备的工艺数据保护装置的一种结构示意图，该太阳能电池生产设备的工艺数据保护装置，包括：
控制主机和执行装置，控制主机上设置工艺编辑器、工艺解码器和执行装置控制软件，其中，控制主机中存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息，工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，所述工艺解码器集成在所述工艺编辑器中，所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据。
生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置有PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行。
工艺编辑器用于编辑指定生产设备的关键工艺数据，当指定生产设备不是当前生产设备时，工艺编辑器根据存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件，然后将所述关键工艺文件传送给指定生产设备的控制主机的工艺编辑器，指定生产设备的工艺编辑器接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入指定生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时指定生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据；当指定生产设备是当前生产设备时，工艺编辑器将编辑好的关键工艺数据导入当前生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时当前生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
具体地，所述工艺编辑器包括：关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件。或者所述工艺编辑器包括：关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；密码设置单元，用于设置编辑密码和/或关键工艺文件加密密码；关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；密码验证单元，用于验证编辑密码；解码单元，用于在验证编辑密码通过时解码关键工艺文件。
其中，所述工艺编辑器具体用于在接收到其他生产设备发送的关键工艺文件、且工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息一致时，如果编辑密码验证通过，则对关键工艺文件进行工艺编辑，得到预设生产设备的关键工艺文件，然后通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给预设生产设备。
例如，所述指定生产设备或所述预设生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。所述生产设备包括以下任意一种或多种：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机，当所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。
类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。
本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的装置中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。
此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
本发明的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(DSP)来实现根据本发明实施例的用于多操作端远程操控单操作对象的系统中的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者系统程序(如计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本发明的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网的网站上下载得到，也可以在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。
应该注意的是，上述实施例是对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或者步骤等。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干系统的单元权利要求中，这些系统中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

Claims (22)

1.一种太阳能电池生产设备的工艺编辑方法，其特征在于，包括：
在工艺编辑终端上存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；
在工艺编辑终端上通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；
根据工艺编辑终端上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
2.根据权利要求1所述的工艺编辑方法，其特征在于，所述关键工艺文件还包括：编辑密码，在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。
3.根据权利要求1所述的工艺编辑方法，其特征在于，所述指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
4.根据权利要求1所述的工艺编辑方法，其特征在于，所述工艺编辑方法还包括：
通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给指定生产设备。
5.一种太阳能电池生产设备的工艺获取方法，其特征在于，包括：
分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
在各生产设备上分别设置工艺解码器，每个工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息；
生产设备接收到关键工艺文件后，生产设备的工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致；
如果是，则将解码后的关键工艺数据导入关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
6.根据权利要求5所述的工艺获取方法，其特征在于，所述硬件信息包括以下任意一种或多种：计算机硬盘号、MAC地址、PLC CPU号。
7.根据权利要求5所述的工艺获取方法，其特征在于，所述生产设备包括：等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机；所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备时，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
8.一种太阳能电池生产设备的工艺编辑装置，其特征在于，包括：
硬件信息存储模块，用于存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息；
工艺编辑器，用于在工艺编辑器上编辑指定生产设备的关键工艺数据，以及根据硬件信息存储模块上存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件。
9.根据权利要求8所述的工艺编辑装置，其特征在于，所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；或者
所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
密码设置单元，用于设置编辑密码和/或关键工艺文件加密密码；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；
密码验证单元，用于验证编辑密码；
解码单元，用于在验证编辑密码通过时解码关键工艺文件。
10.根据权利要求8所述的工艺编辑装置，其特征在于，所述工艺编辑器还用于在指定生产设备为一台或多台同型号的生产设备时，该工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
11.根据权利要求8所述的工艺编辑装置，其特征在于，所述工艺编辑装置还包括：
移动存储设备，用于通过移动存储设备将关键工艺文件传送给指定生产设备；和/或
网络，用于连接各生产设备的主机，通过网络通信方式将关键工艺文件传送给指定生产设备。
12.一种太阳能电池生产设备，其特征在于，包括：
控制主机、关键部件PLC站、关键部件、执行装置主PLC和执行装置，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
所述控制主机中设置工艺解码器和执行装置控制软件，该工艺解码器中有所述控制主机和/或所述执行装置的硬件信息，工艺解码器和执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据；
所述控制主机接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
13.根据权利要求12所述的太阳能电池生产设备，其特征在于，所述生产设备包括：
等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机，当所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
14.一种太阳能电池生产设备的工艺数据保护方法，其特征在于，包括：
分别给生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
在生产设备的控制主机上设置工艺编辑器、工艺解码器和执行装置控制软件，其中，控制主机中存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息，工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，所述工艺解码器集成在所述工艺编辑器中，所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据；
通过工艺编辑器编辑指定生产设备的关键工艺数据；
当指定生产设备不是当前生产设备时，根据存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件；将所述关键工艺文件传送给指定生产设备的控制主机的工艺编辑器，指定生产设备的控制主机的工艺编辑器接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入指定生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时指定生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据；
当指定生产设备是当前生产设备时，将编辑好的关键工艺数据导入当前生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时当前生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
15.根据权利要求14所述的工艺数据保护方法，其特征在于，所述关键工艺文件还包括：编辑密码，在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行关键工艺数据编辑。
16.根据权利要求15所述的工艺数据保护方法，其特征在于，所述工艺数据保护方法还包括：
在接收到其他生产设备发送的关键工艺文件、且工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息一致时，将解码的关键工艺数据发送给同一生产设备上的工艺编辑器；
在编辑密码验证通过时对关键工艺文件进行工艺编辑，得到预设生产设备的关键工艺文件；
通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给预设生产设备。
17.根据权利要求16所述的工艺数据保护方法，其特征在于，所述指定生产设备或所述预设生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
18.一种太阳能电池生产设备的工艺数据保护装置，其特征在于，包括：
控制主机和执行装置，控制主机上设置工艺编辑器、工艺解码器和执行装置控制软件，其中，控制主机中存储太阳能电池生产线上各生产设备的硬件信息，工艺解码器中有唯一生产设备的硬件信息，所述工艺解码器集成在所述工艺编辑器中，所述工艺编辑器和所述执行装置控制软件之间禁止直接传输关键工艺数据；
生产设备的关键工艺数据的控制部件单独设置有PLC，作为关键部件PLC站，使关键工艺数据的控制部件从执行装置中独立出来，关键部件PLC站和执行装置主PLC通信连接，关键部件PLC站用于接收关键工艺数据，并控制对应控制部件运行；
工艺编辑器用于编辑指定生产设备的关键工艺数据，当指定生产设备不是当前生产设备时，工艺编辑器根据存储的指定生产设备的硬件信息及加密方式对关键工艺数据进行加密，得到指定生产设备的关键工艺文件，然后将所述关键工艺文件传送给指定生产设备的控制主机的工艺编辑器，指定生产设备的工艺编辑器接收到关键工艺文件后，通过工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息是否一致，如果是，则将解码后的关键工艺数据导入指定生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时指定生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据；当指定生产设备是当前生产设备时，工艺编辑器将编辑好的关键工艺数据导入当前生产设备的关键部件PLC站，以控制关键工艺数据的控制部件执行解码后的关键工艺数据，同时当前生产设备的执行装置控制软件根据输入的工艺数据控制其余执行装置执行工艺数据。
19.根据权利要求18所述的工艺数据保护装置，其特征在于，所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；或者
所述工艺编辑器包括：
关键工艺数据编辑单元，用于编辑关键工艺参数的数据；
密码设置单元，用于设置编辑密码和/或关键工艺文件加密密码；
关键文件生成单元，用于生成关键工艺文件；
密码验证单元，用于验证编辑密码；
解码单元，用于在验证编辑密码通过时解码关键工艺文件。
20.根据权利要求19所述的工艺数据保护装置，其特征在于，所述工艺编辑器具体用于在接收到其他生产设备发送的关键工艺文件、且工艺解码器验证关键工艺文件中硬件信息与工艺解码器中的硬件信息一致时，如果编辑密码验证通过，则对关键工艺文件进行工艺编辑，得到预设生产设备的关键工艺文件，然后通过移动存储设备或网络通信方式将关键工艺文件传送给预设生产设备。
21.根据权利要求20所述的工艺数据保护装置，其特征在于，所述指定生产设备或所述预设生产设备为一台或多台同型号的生产设备，所述工艺编辑器批量生成一台或多台同型号的生产设备的关键工艺文件。
22.根据权利要求21所述的工艺数据保护装置，其特征在于，所述生产设备包括：
等离子体增强化学气相沉积设备、物理气相沉积设备、干法刻蚀设备、丝网印刷设备、扩散设备、研磨设备、湿法刻蚀设备、层压机或焊接机，当所述生产设备为等离子体增强化学气相沉积设备，所述关键工艺数据包括：工艺时长和气体流量。
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