JP6988499B2 - 検査管理システム、検査管理装置、検査管理方法 - Google Patents

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Description

本発明は、製品の生産ラインにおいて、製品の検査を実施するための技術に関する。
製品の生産ラインでは、ラインの中間工程や最終工程に製品の検査装置を配置し、不良の検出や不良品の仕分けなどが行われている。例えば、部品実装基板の生産ラインにおいては一般的に、プリント配線基板にクリームはんだを印刷する工程（印刷工程）、クリームはんだが印刷された基板に部品を実装する工程（マウント工程）、部品実装後の基板を加熱して部品を基板にはんだ付けするする工程（リフロー工程）が含まれ、各工程後に検査が実施される。
このような検査に当たっては、良・不良判定のための検査基準を設定し、検査装置が参照可能な状態で保持しておく必要があるが、当該検査基準が適切なもので無ければ、実際には良品であるものを検査において不良品としてしまう「見過ぎ」や、実際には不良品であるものを良品としてしまう「見逃し」が発生する。
「見過ぎ」は歩留りの悪化や再検査コストの増大といった検査効率の悪化を招き、一方「見逃し」はリペア作業の発生など後工程における作業効率を悪化させたり、不良品の出荷といった事態を生じる。このため、「見過ぎ」及び「見逃し」はいずれも最小化させることが望ましい。しかしながら、「見逃し」を減少させるために検査基準を厳しくすると「見過ぎ」が増加し、「見過ぎ」を減少させるために検査内容を緩くすると「見逃し」が増加することになるため、適切な検査基準を設定する必要がある。
ところで、上記の部品実装基板の生産ラインの例の場合、リフロー工程の後に実施される検査は、製品としての最終的な良・不良判定を行うための検査（以下、最終検査ともいう）である一方、それ以前の各中間工程で実施される検査（以下、中間検査ともいう）は、工程管理の一環として行われるのが一般的である。即ち、各中間工程の定める品質レベルを満足しない中間品（不良中間品）を発見し、そのような不良中間品が後工程へ流れるのを防ぐことでライン全体の生産効率の改善を図ったり、不良中間品が発見された工程で異常が発生していないかを確認したり、といったことが行われている。
このような目的を達成するためには、ユーザーが求める任意の中間品の品質レベルに合わせて各工程の検査基準（中間品の合否を判定するための閾値等）を設定すれば足りる。このため、中間検査においては、検査基準の明確な決定方法が存在せず、ユーザーの好みに応じて緩く設定されていたり、あるいは逆に厳しく設定されていたりするのが、実情である。
しかしながら、最終検査において不良品と判定される原因を有する中間品を見逃すと後工程での作業効率を悪化させることになり、一方、最終検査で良品と判定されるような中間品を不良中間品と判定しても検査効率が悪化してしまう。このため、中間検査においても、見逃し及び見過ぎを最小化するような検査基準を設定することが望ましい。
なお、中間検査における検査基準の設定を支援する技術として、例えば次のような技術が知られている。特許文献１には、中間検査の検査基準として所定の公差を定めつつ、中間検査の良不良判定の結果と最終検査の良不良判定の結果に矛盾が生じた場合には、前記公差を予め設定した値だけ増減させることにより、検査基準を最適化することが記載されている。
また特許文献２には、中間検査において抽出された特徴量に対する検査基準を何段階かに変更しながら、その検査基準により検査した場合の直行率や過検出率を求めると共に、最終検査における直行率や不良率を求め、さらに、これらの値から再検査コストを求め、再検査コストが最も小さくなるときの検査基準の値を推奨値とすることが記載されている。
特開２００６−２３７２３６号公報 特開２００６−３１７７２６号公報
しかしながら、上記のような方法によって中間検査の検査基準が設定されたとしても、ユーザーにしてみると、なぜそのように検査基準が設定（推奨）されたのか、その検査基準を採用することに問題はないのか、といったことが不明確である。即ち、どのようにして検査基準が設定されるのかということを知ってはいても、本当にその検査基準で良いのかの確信を持つことができないという問題がある。また、検査基準として示された内容（検査項目、値など）から、当該基準の適否を判断することもあり得るが、そのような方法には手間がかかり、何より十分な経験・技能を有しないオペレーターにとってはそもそも、そのような判断は困難である。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、生産ラインの中間工程における検査の最適な検査基準を算出するとともに、ユーザーが当該検査基準の採否を容易に判断することができる技術を提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明に係る検査管理システムは、複数の工程を有しており、前記複数の工程に対応する複数の製造装置及び検査装置を有する製品の生産ラインにおいて、前記複数の工程を経た完成品の検査を行う最終検査及び最終の工程より前の工程で製造された中間品の検査を行う一以上の中間検査を管理する検査管理システムであって、前記製品に対する検査項目ごとの検査基準を含む検査内容データを取得する検査内容データ取得手段と、前記検査内容データ取得手段によって取得した検査内容データに基づいて検査内容を設定する検査内容設定手段と、仮定の検査内容による検査のシミュレーションを行うシミュレーション手段と、前記シミュレーションに基づいて、現行の検査基準よりも適切な検査基準を算出する検査基準算出手段と、少なくとも前記検査基準算出手段により算出された検査基準が現行の検査基準よりも適切であることを示す根拠情報を出力する出力手段と、を備えている。
なお、本明細書において、「検査内容」とは、各製品における検査項目、該検査項目に対する検査基準（例えば、良否判定の閾値）の他、項目毎に検査基準との照合を実施するか否かの処理（以下、検査のＯＮ／ＯＦＦともいう）も含む意味である。また、検査内容データには、現行の検査内容も、新たな検査内容の候補も含まれる。なお、本明細書において、「設定」の語は変更（修正）も含む意味で用いる。また、本明細書において、「製品」の語は、完成品のみならず、いわゆる中間品も含む意味で用いる。
このような構成の検査管理システムによると、シミュレーションに基づく適切な検査基準を算出した上で、当該検査基準がなぜ適切な検査基準とされたのかの根拠情報をユーザーが確認することができ、当該検査基準を採用して検査を実行するか否かを、容易に判断
することができる。なお、ここでいう「現行の検査基準よりも適切」の意味は、当該検査基準を採用することで、従来よりも見過ぎ及び／又は見逃しが減少することをいう。
また、前記検査管理システムは、前記最終検査及び前記中間検査のうち、少なくとも前記最終検査を含む一以上の検査内容が固定されており、前記検査内容設定手段による検査内容の設定は、前記検査内容が固定された検査とは異なる中間検査に対して行われるものであっても良い。
複数の製造工程に対応する複数の検査を行う場合、一の工程における製品の質（出来ばえ）によって、他の工程における検査内容を変える必要が生じる場合がある。例えば、前工程における中間品の品質が優れている場合には、その後の工程において製造された製品の検査内容を緩く設定しても、最終検査において良品との判定がされるが、前工程における中間品の品質が落ちた際に、後工程で同じ検査内容による検査を実施すると、最終検査（又は当該工程の検査）では不良と判定されてしまうような場合である。即ち、一の工程の前後の工程における検査内容が変更されることで、当該一の工程の検査内容が不適切なものとなってしまうおそれがあり、結局はいつになっても適切な検査内容を設定できないという事態が生じうる。
この点、ある工程における検査内容を固定することで、当該工程の後の工程では、当該固定された検査内容に適合した中間品のみが流れてくるため、これを前提として当該工程の適切な検査内容を設定することができる。また、検査内容が固定された工程の前段階の工程についても、その後段階の固定された検査内容をクリアできる中間品を、該後段階に流すことができる検査内容を、適切な検査内容として設定することができる。即ち、上記の様な構成を有する検査管理システムによると、適切な検査内容を設定する際の障害を除去することができる。
また、前記検査基準算出手段は、前記シミュレーションにおいて、前記中間検査における不良過剰検出に関する指標である良品直行率（以下、単に直行率ともいう）が現行の検査基準よりも高くなる検査基準を算出し、前記根拠情報には、前記中間検査毎の前記直行率が含まれていてもよい。
ここで良品直行率とは、最終検査において良品と判定される製品を、ある中間検査において不良と判断する不良過剰検出（以下、虚報ともいう）が、どれだけあるかを判断する指標であり、値が高いほど適正な検査内容が設定されていることになる。なお、直行率は、ある中間検査において正しく良品と判定された製品の数を、最終検査で良品と判定された枚数の数で除した値によって求める。
上記の様な構成を有する検査管理システムによると、直行率が現行の検査基準よりも高くなる検査基準が算出された上で、直行率が上昇することをユーザーが確認することができるので、当該検査基準を採用して検査を実行するか否かを、容易に判断することができる。
また、前記検査基準算出手段は、前記シミュレーションにおいて、前記最終検査で不良と判定される製品が、中間検査の段階でも不良と判定される件数が現行の検査基準よりも多くなる検査基準を算出し、前記根拠情報には、前記最終検査で不良と判定される製品のうち、当該製品がはじめに不良と判定された検査及びその件数の情報が含まれていてもよい。なお、ここで「件数」とは、例えば（同一の）総検査数当たりに不良と判定される件数をいう。
最終検査で不良と判定される製品（以下、実不良ともいう）が、より前の段階の検査で
不良と判定されることで、後工程での作業効率の悪化の原因を早期に除去することができ、生産ライン全体の効率を高くすることができる。即ち、上記の様な構成を有する検査管理システムによると、より早い段階で実不良を検出できる検査基準が算出された上で、当該内容をユーザーが確認することができるので、当該検査基準を採用して検査を実行するか否かを、容易に判断することができる。
また、前記出力手段によって出力される前記根拠情報は、前記シミュレーションによって前記最終検査後に良品と判定される値を有する対象及び不良品と判定される値を有する対象とをヒストグラムで表示するものであって、前記ヒストグラムにおいて、前記良品と判定される値を有する対象と、不良品と判定される値を有する対象とが視覚的に識別可能に表示され、前記ヒストグラムにおいて、前記中間検査における現行の検査基準及び新たな検査基準を示す基準線が、それぞれ表示されるものであってもよい。
ここで、「視覚的に識別可能」とは、例えば色分けされて表示されることを含む。これにより、最終検査後の良品、不良品が中間検査工程でどう判定されるかが識別可能に表示されるので、中間検査で新たに設定される検査基準が、不良を見逃したり見過ぎが発生したりする可能性があるか否か、および変更前の検査基準より改善されているかどうかを容易に確認することができる。
また、前記検査管理システムは、前記検査内容設定手段によって新たな検査内容が設定された場合に、少なくとも当該新たな検査内容の設定がいつ行われたかを含む、設定関連情報を取得する設定関連情報取得手段と、前記設定関連情報取得手段によって取得された前記設定関連情報を、検査内容の設定の履歴と関連づけて保持する記憶手段と、前記記憶手段に保持されている前記設定関連情報を読み出す、設定関連情報参照手段と、をさらに備え、前記出力手段は、前記設定関連情報参照手段によって読み出された前記設定関連情報を出力するものであってもよい。
なお、ここでいう設定関連情報には、上記のように検査内容の設定時刻の情報だけでなく、検査内容の設定に関連する多様な観点の情報が含まれる。例えば、誰が検査内容を設定したか、上述の根拠情報、検査内容の設定が検査に反映されたか否か（反映された場合の時刻、反映時のロット番号等も）、検査内容設定についての承認者の有無（誰が、いつ承認したか）、検査内容を変更した場合に変更の契機となった事象（不良品の発生、虚報の多発など）、変更対象の項目、変更値、検査内容が設定された後の検査結果（実績値）などを含んでいてもよい。
このような構成であると、ユーザーは過去の設定関連情報を参照することができ、これらの情報に基づいて、検査の質の改善を図ることができる。また、不良品の発生等、何か問題が生じた際には、当該問題の原因となった検査内容が設定された際の状況を確認することができ、これを確認した上で適切な対応を取ることが可能になる。
また、前記設定関連情報には、前記検査内容設定手段によって設定された新たな検査内容による検査実績と、当該新たな検査内容が設定される前の検査実績との比較データが含まれていてもよい。このような構成であると、シミュレーション結果でなく、検査実績に基づいて検査内容の適否を検討することが可能になる。
また、前記検査管理システムは、前記検査内容設定手段によって設定された検査内容での検査の実行を前記検査装置にユーザーの指令に基づき指示するとともに、該指示を前記検査装置が受け付けたか否かのフィードバックを取得する、新規設定指示手段をさらに備えており、前記設定関連情報には、前記新規設定指示手段によって指示が行われた事実、及び当該指示がいつ、いかなるユーザーの指令に基づき行われたかの情報と、前記フィー
ドバックされた情報とがの情報が含まれていてもよい。
ユーザーが検査内容の設定を行ったとしても、検査装置において実際にその内容を反映した検査が実行されているのかどうかは、外から見ても知ることができない。その点、このような構成を有する検査管理システムであると、設定した検査内容が反映された検査が実施されているか否かをユーザーが確認することができる。
また、前記検査管理システムは、前記検査内容設定手段によって設定される検査内容を承認する検査内容設定承認手段をさらに備えており、前記設定関連情報には、その検査内容に設定することをいつ及び／又はだれが承認したかの情報が含まれるものであってもよい。
このような構成であると、承認権限を有する者を定めておき、その承認を得ないで検査内容を変更できないようにすることができるため、検査内容が不適切に変更されることを抑止することができる。また、設定関連情報には承認に関する情報が含まれるため、過去の検査内容設定の承認について検証を行うことも可能になる。
なお、ここでいう承認には、個別の承認を得ないで検査内容の設定を行うことを認めることも含み、さらに、特定の項目に対する変更、所定の範囲内の値の変更などのように、所定の条件下で、個別の承認を得ないで検査内容の設定を行うことを認めることも含む。
また、前記検査内容設定手段によって設定することが可能な検査内容には、所定の設定限界値が定められていてもよい。このような構成であると、例えば、予期せぬミス（重大な問題を生じる可能性のある検査内容を誤って設定してしまうなど）や、悪意を持ったユーザーによる加害行為などを防止することができる。
また、上記の課題を解決するため、本発明に係る検査管理装置は、上述の検査管理システムを構成し、前記検査内容データ取得手段と、前記検査内容設定手段と、前記シミュレーション手段と、前記検査基準算出手段と、前記出力手段と、を備えていてもよい。
また、上記の課題を解決するため、本発明に係る検査管理方法は複数の工程を有しており、前記複数の工程に対応する複数の製造装置及び検査装置を有する製品の生産ラインにおいて、前記複数の工程を経た完成品の検査を行う最終検査及び最終の工程より前の工程で製造された中間品の検査を行う一以上の中間検査を管理する方法であって、前記検査装置による検査の状況を確認する第１のステップと、前記第１のステップで確認された検査状況に基づいて、検査内容が適正か否かを判定する第２のステップと、前記第２のステップにおいて、検査内容が適正で無いと判定された場合には適正な検査内容を算出する、第３のステップと、前記第３のステップで算出された適正な検査内容を、当該検査内容が適正であることの根拠情報と共にユーザーに示す、第４のステップと、前記第４のステップで示した検査内容による検査の実行に対するユーザーの承認を受け付ける第５のステップと、前記第５のステップでユーザーの承認を受け付けた場合に、前記検査装置による検査内容を前記新規検査内容に設定する、第６のステップと、前記第６のステップで新規な検査内容が設定された場合に、当該新規な検査内容のデータを、少なくとも当該新規な検査内容の設定がいつ行われたかを含む設定関連情報とともに、履歴情報として保存する、第７のステップと、を備えていてもよい。
なお、本発明は、上記手段の少なくとも一部を含む検査管理システムまたは検査管理装置として特定することができる。また、前記検査管理システムや検査管理装置が行う方法として特定することもできる。上記処理や手段は、技術的な矛盾が生じない限りにおいて、自由に組み合わせて実施することができる。
本発明によれば、生産ラインの中間工程における検査の最適な検査基準を算出するとともに、ユーザーが当該検査基準の採否を容易に判断することができる。
図１は、適用例に係る生産ラインおよび検査管理システムの構成を示す図である。 図２は、適用例に係る管理装置の機能ブロック図である。 図３は、適用例に係る根拠情報の表示例を示す図である。 図４は、不良検出数及び直行率の説明のための図である。 図５は、実施例に係る生産ラインおよび検査管理システムの構成を示す図である。 図６は、実施例に係る管理装置の機能ブロック図である。 図７は、実施例に係る検査内容設定の処理の流れを示すフローチャートである。 図８は、実施例に係る根拠情報の表示例を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態の一例について説明する。
＜適用例＞
図１は本適用例に係る、プリント基板の表面実装ラインにおける検査管理システムの概略図である。図１に示すように、本適用例に係る表面実装ラインには、上流側から順に、はんだ印刷装置Ａ１、はんだ印刷後検査装置Ｂ１、マウンタＡ２、マウント後検査装置Ｂ２、リフロー炉Ａ３、リフロー後検査装置Ｂ３が設けられる。
はんだ印刷装置Ａ１は、プリント基板上の電極部はんだを印刷する装置であり、マウンタＡ２は、基板に実装すべき電子部品をはんだペーストの上に載置するための装置であり、リフロー炉Ａ３は、電子部品を基板上にはんだ接合するための加熱装置である。また、各検査装置Ｂ１〜からＢ３は各工程の出口で基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動で検出する。本適用例に係る検査管理システムは検査装置Ｂ１〜Ｂ３とこれらを管理制御する管理装置Ｃからなる。
上述した製造装置Ａ１〜Ａ３および検査装置Ｂ１〜Ｂ３は、ＬＡＮなどのネットワークを介して管理装置Ｃに接続されている。管理装置Ｃは、ＣＰＵ（プロセッサ）、主記憶装置（メモリ）、補助記憶装置（ハードディスクなど）、入力装置（キーボード、マウス、コントローラ、タッチパネルなど）、出力装置（ディスプレイ、プリンタ、スピーカなど）などを具備する汎用的なコンピュータシステムにより構成される。
図２に、本適用例に係る管理装置Ｃについての概略ブロック図を示す。図２が示すように、管理装置Ｃは、制御部Ｃ１、出力部Ｃ２、入力部Ｃ３、記憶部Ｃ４を有しており、制御部Ｃ１はさらに機能モジュールとして、検査内容データ取得部Ｃ１１、検査内容設定部Ｃ１２、シミュレーション演算部Ｃ１３、検査基準算出部Ｃ１４、を有している。各機能モジュールは、例えば、記憶装置に格納されたプログラムをＣＰＵが読み込み実行することにより実現してもよい。
検査内容データ取得部Ｃ１１は、各工程における検査項目ごとの検査基準を含む検査内容データを取得し、検査内容設定部Ｃ１２は、検査内容データ取得部Ｃ１１が取得した検査内容データに基づいて各検査装置の検査内容を設定する。
シミュレーション演算部Ｃ１３は、仮定の検査内容を設定し、当該内容でのシミュレーション検査を行う。また、検査基準算出部Ｃ１４はシミュレーション検査の結果に基づいて、現行の検査基準よりも適切な検査基準を算出する。例えば、現行の検査基準よりも、見逃し及び／又は見過ぎが減少したシミュレーションに用いられた検査基準を適切な検査基準とする。
出力部Ｃ２は例えば液晶ディスプレイ装置であり、検査基準算出部Ｃ１４によって算出された検査基準が適切であることを示す根拠情報を表示（出力）する。図３に、表示される根拠情報の一例を示す。
図３に示すように、根拠情報の表示は、左右３つ、上下２つに分かれている。まず左右については、左端から順に、はんだ印刷後検査装置Ｂ１による検査（印刷後検査）、マウント後検査装置Ｂ２による検査（マウント後検査）、リフロー後検査装置Ｂ３による検査（リフロー後検査）の情報が表示されている。
そして、上下のうち、上段については、それぞれの検査工程においてはじめて検出した実不良品の件数と、当該件数が全ての実不良品の数に対して占める割合が、検査基準の変更前後でどのようになるかが表示される。これによってユーザーは、印刷後検査、マウント後検査において、検査基準の変更前後で、どれだけ実不良を検出するか、或いは不良を見逃すかを確認することができる。なお、実不良とは、最終検査（ここではリフロー後検査）において、不良と判定される不良をいう。
また、下段には、印刷後検査及びマウント後検査における、検査基準変更前後の直行率がグラフと共に表示される。これによって、ユーザーは印刷後検査、マウント後検査において、検査基準の変更前後でどれだけの見過ぎが発生するのかを確認することができる。
即ち、ユーザーは上記のような情報を参照することで、検査基準算出手段が算出した検査基準を採用すべきか否かを容易に判断することができるようになる。
次に、図４を参照して、不良検出数と直行率の関係について説明する。直行率とは、最終検査において良品と判定される製品を、ある中間検査において不良と判断する虚報がどれだけあるかを判断する指標であり、値が高いほど適正な検査内容が設定されていることになる。なお、直行率は、ある中間検査において正しく良品と判定された製品の数を、最終検査で良品と判定された枚数の数で除した値によって求める。
図中上部の表は、検査基準を変更する前の検査結果を表し、下部の表は検査基準が変更された場合の検査結果を示している。基準の変更前後で、リフロー後の検査で不良と判定される実不良の基板は同一であり、基板Ｎｏ１〜７の７枚の基板が実不良品である。
ここで基準変更前の印刷後検査においては、基板Ｎｏ１〜３の実不良品に加えて、リフロー後検査で良品と判定される基板を７枚不良と判定している。また、実不良品である基板Ｎｏ４〜７の４枚の基板を良品と判定している。この場合、印刷後検査において、正しく検査出来たのは、最終的に実不良と判定される基板を不良と判定した３枚と、最終的に良品と判定される基板を良品と判定した８６枚である。このうち、実不良を不良と判定した３枚が（正確な）不良検出数としてカウントされ、良品を正しく良品と判定した８６枚が直行率の計算に用いられる。即ち、最終検査で良品と判定された基板の枚数が９３枚であるため、８６を９３で除した値に１００をかけて、直行率は約９２．５％と算出する。
同様に、基準変更前のマウント後検査では、正しく不良と判定した枚数は０、正しく良
品と判定した枚数は９１なので、不良検出数が０、直行率は約９７．８％と算出される。
一方、検査基準を変更した後の印刷後検査では正しく不良と判定した枚数は変更前と同じで３枚だが、正しく良品と判定した枚数が９２枚に増えているため、直行率が約９８．９％に向上する。
また、検査基準を変更した後のマウント後検査では、正しく不良と判定した枚数は２枚であるが、その内の１枚は印刷後検査で既に不良として検出されているものであったため、残りの１枚がマウント後検査で初めて不良と（正しく）判定されたものとして、不良検出数としてカウントされる。また、良品を正しく良品と判定した枚数が９３枚であるため、直行率は１００％に向上する。
＜実施例＞
以下に、この発明を実施するための形態の一例を、さらに詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
（システム構成）
図５は、本適用例に係るプリント基板の表面実装ラインにおける製造設備及び検査管理システムの構成例を模式的に示している。表面実装（Surface Mount Technology：ＳＭＴ）とはプリント基板の表面に電子部品をはんだ付けする技術であり、表面実装ラインは、主として、はんだ印刷〜部品のマウント〜リフロー（はんだの溶着）の三つの工程から構成される。
図５に示すように、表面実装ラインでは、製造装置として、上流側から順に、はんだ印刷装置Ｘ１、マウンタＸ２、リフロー炉Ｘ３が設けられる。はんだ印刷装置Ｘ１は、スクリーン印刷によってプリント基板上の電極部（ランドと呼ばれる）にペースト状のはんだを印刷する装置である。マウンタＸ２は、基板に実装すべき電子部品をピックアップし、該当箇所のはんだペーストの上に部品を載置するための装置であり、チップマウンタとも呼ばれる。リフロー炉Ｘ３は、はんだペーストを加熱溶融した後、冷却を行い、電子部品を基板上にはんだ接合するための加熱装置である。基板に実装する電子部品の数や種類が多い場合には、表面実装ラインに複数台のマウンタＸ２が設けられることもある。
また、表面実装ラインには、はんだ印刷〜部品のマウント〜リフローの各工程の出口で基板の状態を検査し、不良あるいは不良のおそれを自動で検出する、検査管理システムが設置されている。本実施例の検査管理システムは、はんだ印刷後検査装置Ｙ１、マウント後検査装置Ｙ２、外観検査装置Ｙ３、Ｘ線検査装置Ｙ４の４種類の検査装置と、管理装置１とを有して構成される。
はんだ印刷後検査装置Ｙ１は、はんだ印刷装置Ｘ１から搬出された基板に対し、はんだペーストの印刷状態を検査するための装置である。はんだ印刷後検査装置Ｙ１では、基板上に印刷されたはんだペーストを２次元ないし３次元的に計測し、その計測結果から各種の検査項目について、予め設定されている検査基準に適合するか否かの判定を行う。検査項目としては、例えば、はんだの体積・面積・高さ・位置ずれ・形状などがある。はんだペーストの２次元計測には、イメージセンサ（カメラ）などを用いることができ、３次元計測には、レーザ変位計や、位相シフト法、空間コード化法、光切断法などを利用することができる。
マウント後検査装置Ｙ２は、マウンタＸ２から搬出された基板に対し、電子部品の配置状態を検査するための装置である。マウント後検査装置Ｙ２では、はんだペーストの上に載置された部品（部品本体、電極など部品の一部でもよい）を２次元ないし３次元的に計
測し、その計測結果から各種の検査項目について、予め設定されている検査基準に適合するか否かの判定を行う。検査項目としては、例えば、部品の位置ずれ、角度（回転）ずれ、欠品（部品が配置されていないこと）、部品違い（異なる部品が配置されていること）、極性違い（部品側と基板側の電極の極性が異なること）、表裏反転（部品が裏向きに配置されていること）、部品高さなどがある。はんだ印刷後検査と同様、電子部品の２次元計測には、イメージセンサ（カメラ）などを用いることができ、３次元計測には、レーザ変位計や、位相シフト法、空間コード化法、光切断法などを利用することができる。
外観検査装置Ｙ３は、リフロー炉Ｘ３から搬出された基板に対し、はんだ付けの品質を検査するための装置である。外観検査装置Ｙ３では、リフロー後のはんだ部分を２次元ないし３次元的に計測し、その計測結果から各種の検査項目について、予め設定されている検査基準に適合するか否かの判定を行う。検査項目としては、部品検査と同じ項目に加え、はんだフィレット形状の良否なども含まれる。はんだの形状計測には、上述したレーザ変位計、位相シフト法、空間コード化法、光切断法などの他、いわゆるカラーハイライト方式（Ｒ、Ｇ、Ｂの照明を異なる入射角ではんだ面に当て、各色の反射光を天頂カメラで撮影することで、はんだの３次元形状を２次元の色相情報として検出する方法）を用いることができる。
Ｘ線検査装置Ｙ４は、Ｘ線像を用いて基板のはんだ付けの状態を検査するための装置である。例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＣＳＰ（Chip Size Package）などのパッケージ部品や多層基板の場合には、はんだ接合部が部品や基板の下に隠れているため、外観検査装置Ｙ３では（つまり外観画像では）はんだの状態を検査することができない。Ｘ線検査装置Ｙ４は、このような外観検査の弱点を補完するための装置である。Ｘ線検査装置Ｙ４の検査項目としては、例えば、部品の位置ずれ、はんだ高さ、はんだ体積、はんだボール径、バックフィレットの長さ、はんだ接合の良否などがある。なお、Ｘ線像としては、Ｘ線透過画像を用いてもよいし、ＣＴ（Computed Tomography）画像を用いてもよい。
なお、以下の説明においては、外観検査装置Ｙ３及びＸ線検査装置Ｙ４Ｙ４をまとめて、リフロー後検査装置ということもある。
また、本実施例に係る各検査装置Ｙ１〜Ｙ４は、それぞれ検査対象品を目視確認するための表示装置を備えていてもよく、当該目視用の表示装置は各検査装置とは別体の端末として設けられていてもよい。
本実施例においては、はんだ印刷装置Ｘ１及びマウンタＸ２によって処理された基板が中間品であり、リフロー炉Ｘ３から搬出された基板が完成品となる。また、はんだ印刷後検査装置Ｙ１及び部品検査装置Ｙ２によって行われる検査が中間検査であり、外観検査装置Ｙ３及びＸ線検査装置Ｙ４による検査が最終検査である。以下では、はんだ印刷後検査装置Ｙ１によって行われる検査を印刷後検査、部品検査装置Ｙ２によって行われる検査をマウント後検査、外観検査装置Ｙ３及びＸ線検査装置Ｙ４によって行われる検査をリフロー後検査、ということもある。
（管理装置）
上述した製造装置Ｘ１〜Ｘ３および検査装置Ｙ１〜Ｙ４は、ネットワーク（ＬＡＮ）を介して管理装置１に接続されている。管理装置１は、製造装置Ｘ１〜Ｘ３および検査装置Ｙ１〜Ｙ４の管理や制御を担うシステムであり、ＣＰＵ（プロセッサ）、主記憶装置（メモリ）、補助記憶装置（ハードディスクなど）、入力装置（キーボード、マウス、コントローラ、タッチパネルなど）、表示装置などを具備する汎用的なコンピュータシステムにより構成される。
なお、管理装置１は、１台のコンピュータにより構成してもよいし、複数のコンピュー
タにより構成してもよい。あるいは、製造装置Ｘ１〜Ｘ３や検査装置Ｙ１〜Ｙ４のいずれかの装置が内蔵するコンピュータに、管理装置１の機能の全部又は一部を実装することも可能である。あるいは、管理装置１の機能の一部をネットワーク上のサーバ（クラウドサーバなど）により実現してもよい。
図６に、本実施例の管理装置１についての機能ブロック図を示す。図６が示すように、管理装置１は、制御部１０、出力部２０、入力部３０、記憶部４０を有しており、制御部１０はさらに機能モジュールとして、検査内容データ取得部１０１、検査内容設定部１０２、シミュレーション演算部１０３、検査基準算出部１０４、検査実績データ取得部１０５、設定関連情報取得部１０６、設定関連情報読出部１０７、承認受付部１０８、新規設定内容送信部１０９、を有している。各機能モジュールは、例えば、主記憶装置などの記憶装置に格納されたプログラムをＣＰＵが読み込み実行することにより実現してもよい。
検査内容データ取得部１０１は、各工程における検査項目ごとの検査基準を含む検査内容データを取得する。後述するように、検査基準算出部１０４によって算出された検査基準の値を取得するのであってもよいし、入力部３０を介してユーザーが入力した値を取得するのであってもよい。
検査内容設定部１０２は、検査内容データ取得部１０１によって取得した検査内容データに基づいて検査装置Ｙ１〜Ｙ４の検査内容を設定する。
シミュレーション演算部１０３は、後述の教師データに基づいて仮定の検査内容を設定し、当該内容でのシミュレーション検査を行う。また、検査基準算出部１０４は当該シミュレーション検査の結果に基づいて、現行の検査基準よりも適切な検査基準を算出する。例えば、現行の検査基準よりも、見逃し及び／又は見過ぎが減少したシミュレーションに用いられた検査基準を適切な検査基準とする。
検査実績データ取得部１０５は、各工程の検査装置から検査実績（結果）の情報を取得する。当該データには、検査項目における良品・不良品ごとの値などが含まれている。なお、当該取得された検査実績の少なくとも一部は、シミュレーション検査のための教師データとして用いられる。教師データとしての検査実績を取得する場合には、例えば、所定数の基板を実際に製造し、中間検査で不良判定されたものについても生産ラインに戻して、最終検査まで実施することで、適切なデータの収集が可能となる。なお、中間検査において不良と判定された基板を生産ラインに戻す場合、リペアを行ったうえで戻した場合には実不良、何も行わずに生産ラインに戻した場合（見過ぎだった場合）には虚報、との情報を登録することで、より適切な教師データを得ることができる。
設定関連情報取得部１０６は、新たな検査内容が設定された場合に、少なくとも当該新たな検査内容の設定がいつ行われたかを含む、設定関連情報を取得する。時刻情報は、例えば管理装置１が内蔵する時計に基づくものであってもよく、設定が行われると自動的に当該時刻の情報が取得されるようにしてもよい。取得された設定関連情報は、設定された新たな検査内容とともに履歴情報として記憶部４０に記憶（保持）される。
また、設定関連情報には、上記のように検査内容の設定時刻の情報だけでなく、検査内容の設定に関連する多様な観点の情報が含まれていてもよい。例えば、誰が検査内容を設定したか、検査内容の設定が検査に反映されたか否か（反映された場合の時刻、反映時のロット番号等も）、検査内容設定についての承認者の有無（誰が、いつ承認したか）、検査内容を変更した場合に変更の契機となった事象（不良品の発生、虚報の多発など）、変更対象の項目、変更値、検査内容が設定された後の検査結果（実績値）、などを含んでいてもよい。また、検査基準算出部１０４が適切な検査基準を算出した際の根拠情報を含ん
でいてもよい。根拠情報については後述する。
これらの情報は、入力部３０を介した入力によって取得されるのであってもよいが、誤った情報が入力されることを防止する意味でも、各機能モジュールと連携して自動的に取得されることが望ましい。
設定関連情報読出部１０７は、記憶部４０に保持されている設定関連情報の履歴データを、ユーザーの求めに応じて読み出し、出力部２０に出力する。これによってユーザーは、各種の設定関連情報を任意に参照可能になり、これらの情報を活用することで検査の質の改善を図ることができる。また、不良品の発生等、生産ライン又は出荷後において何らかの問題が生じた際には、当該問題の原因となった検査内容が設定された際の状況を確認することができ、これを確認した上で適切な対応を取ることが可能になる。
承認受付部１０８は、設定される検査内容に対するユーザーの承認を受け付け、新規設定内容送信部１０９は、承認が得られた検査内容での検査の実行を前記検査装置に指示するとともに、該指示を前記検査装置が受け付けたか否かのフィードバックを取得する。
なお、「承認」は、単に検査内容設定部１０２によって設定された検査内容を担当オペレーターが承認することだけなく、所定の承認権限を有する者による承認も含む。また、複数段階の承認を（例えば、オペレーター、主任、品質管理責任者など）受け付けるようにしてもよい。また、承認を行う承認者用の管理装置１とは別に設けられていても良い。
また、承認には、個別の承認を得ないで検査内容の設定を行うことを認めることも含み、さらに、特定の項目に対する変更、所定の範囲内の値の変更などのように、所定の条件下で、個別の承認を得ないで検査内容の設定を行うことを認めることも含む。
入力部３０は、管理装置１への入力手段であり、典型的にはキーボード、マウス、コントローラ、タッチパネルなどによって構成される。また、出力部２０は、設定関連情報、検査内容データ、検査実績、などの各種情報を出力する手段であり、典型的には液晶ディスプレイなどの表示装置によって構成される。また、出力部２０が表示装置である場合には、出力部２０にはユーザーインターフェース画面が出力されてもよい。
記憶部４０は、設定関連情報の他、教師データ、検査内容データ、などの各種の情報が格納される記憶装置であり、例えばサーバ等の外部記憶装置を含む構成であってもよい。
（検査内容設定処理の流れ）
次に、本実施例に係る検査管理システムによって検査内容が設定される際の処理の流れを説明する。図７は該処理の流れを示すフローチャートである。
図７に示すように、管理装置１は先ず、検査実績データに基づいて、検査装置Ｙ１〜Ｙ４によって行われる検査の状況を確認する処理を行い（ステップＳ１０１）、当該検査状況に基づいて現在適用されている検査内容が適正か否かを判断する（ステップＳ１０２）。適正か否かの判定は、例えば、最終検査での実不良品が所定の値よりも多いか、或いは、中間検査における直行率が所定の値よりも低いか、を判断することによって行わる。実不良が所定の値より多い、又は、直行率が所定の値よりも低い、場合には現行の検査内容は不適切であると判定される。
ステップＳ１０２で、現行の検査内容が適正であると判定された場合には、新たな検査内容の設定は不要であるため一旦本ルーチンを終了する。一方、ステップＳ１０２で現行の検査内容が不適切と判定された場合には、適切な検査基準の算出を行う（ステップＳ１
０３）。そして、算出された検査基準と、当該検査基準が適切であると判定された根拠情報を出力部２０に出力し（ステップＳ１０４）、当該検査基準を用いて検査を実施することについてのユーザーの承認（或いは否認）を受け付けるまで、待機する（ステップＳ１０５）。
ステップＳ１０６では、新たな検査基準を設定することについて、ユーザーが承認したか否認したかの判定を行い、ユーザーが否認した場合には、ステップＳ１０１に戻って処理を繰り返す。一方、ステップＳ１０６で、ユーザーの承認が得られた場合には、新たな検査基準を用いた検査内容を設定し（ステップＳ１０７）、検査装置へ当該検査内容での検査を行うように指示を行う（ステップＳ１０８）。そして、新たな検査内容が設定された旨と当該設定された時刻を含む設定関連情報を、履歴データとして記憶部４０に保存する（ステップＳ１０９）。さらに、検査内容変更前後の検査状況の確認（比較）を行い（ステップＳ１１０）、検査の状況が改善されたか否かの判定を行う（ステップＳ１１１）。なお、ステップＳ１１０の確認の際には、ユーザーが視覚的に理解できる画面を出力部２０に表示してもよい。
ステップＳ１１１で、検査品質が改善された場合には一旦本ルーチンを終了し、改善されていない場合にはステップＳ１０３に戻って処理を繰り返す。以上の処理の流れは周期的（例えば、所定時間経過毎、所定枚数処理毎、など）に繰り返し実行されるようにするとよい。
なお上記ステップＳ１０８で検査装置に指示を送った際に、検査装置が当該指示を受け付けたか（受信、承認したか）、新たな検査内容に従って検査が実施されたかを確認し、当該確認した情報も、ステップＳ１０９で記憶部４０に保存する設定関連情報に含めてもよい。
（検査基準採用の根拠情報）
ところで、ユーザーは、算出された新たな検査基準の値だけを見たとしても、当該検査基準が本当に適切なものであるのか否かを判断することができない。このため、ステップＳ１０４では検査基準算出部１０４が当該検査基準を採用した根拠情報を出力部２０に表示して、ユーザーが当該新たな検査基準を採用するか否かを判断できるようにしている。当該根拠情報が示される画面の一例を図８に示す。
図中の左端の欄は、これまでに検査基準の算出を求められた部品品番の一覧が表示されており、そこから選択された品番の詳細情報が右欄に表示されている。右欄はさらに３つに分かれており、左端から順に、印刷後検査、マウント後検査、リフロー後検査に対する検査基準とそれを用いたシミュレーション結果が表示されている。
図中の右欄の上段は、改善の余地があると判断された検査項目の一覧と、当該検査項目に対応する検査基準の値が表示されており、特に印刷後検査及びマウント後検査では、変更前（Ｆｒｏｍ）と変更後（Ｔｏ）の検査基準が表示されている。
また、図中の右欄の中段には、上段で選択された検査項目について、計測値のヒストグラムが、変更前の検査基準を示すライン、設定される検査基準を示すラインと共に表示される。ヒストグラムは、印刷後検査、およびマウント後検査の検査項目に関しては、例えば計測値の区間ごとに、リフロー後の良品の部品数と不良の部品数が集計され、色分けされて表示される。これにより、リフロー後の良品、不良品がその検査工程でどう判定されるかが識別可能に表示されるので、印刷後及びマウント後の検査で新たに設定される検査基準が、不良を見逃したり見過ぎが発生したりする可能性があるか否か、および変更前の検査基準より改善されているかどうかを確認することができる。
また、図中の右欄の下段の上部には、当該検査工程ではじめて検出した実不良品の件数と、当該件数が全ての実不良品の数に対して占める割合が、検査基準の変更前後でどのような状況であるか表示される。なお、シミュレーションは、例えば次のように行う。新たな検査基準によって不良判定された部品はその工程で排除されるとみなし、次の工程（印刷後検査の次はマウント後検査）は、前の工程で良品判定された部品のみを検査する。これによってユーザーは、印刷後検査、マウント後検査において、検査基準の変更前後で、どれだけ実不良を検出するか、或いは不良を見逃すかを確認することができる。
また、下段の下部には、印刷後検査及びマウント後検査における、検査基準変更前後の直行率がグラフと共に表示される。これによって、ユーザーは印刷後検査、マウント後検査において、検査基準の変更前後でどれだけの見過ぎが発生するのかを確認することができる。
ユーザーは上記の各項目を参照したうえで、示された検査基準を採用するか否かを選択することができ、画面右下のボタンにより、これを決定する。
以上のような本実施例に係る検査管理システムによると、検査内容に問題がある際に、シミュレーションに基づいて適切な検査基準を求め、当該検査基準が適切であることを示す根拠情報をユーザーが確認することができるため、ユーザーは容易に当該検査基準を採用するかどうかを決定することができる。
＜変形例＞
なお、上記の実施例では、いずれの工程の検査であっても検査内容の変更は権限のある者の承認があれば制限なく実施できるものであったが、いずれか一以上の工程の検査に係る検査内容を変更不可能なように定めておくようにしても良い。
複数の製造工程に対応する複数の検査を行う場合、一の工程における製品の質によって、他の工程における検査が影響を受ける場合がある。例えば、マウント後検査装置Ｙ２の検査内容を、上記の実施例の方法により適切な値に設定した後に、はんだ印刷後検査装置Ｙ１の検査内容を同様の手法で適切な値に設定（変更）した場合、せっかく適切な値に設定したマウント後検査装置Ｙ２の検査内容が不適切なものになる可能性がある。
具体的には最初のマウント後検査装置Ｙ２の検査内容の設定は、その時点でのはんだ印刷後検査装置Ｙ１の検査内容で良品と判定されたうえでマウント工程に流れてきた基板に対して、マウントが行われた後の基板を適切に良・不良判定するためのものである。しかし、その後にはんだ印刷後検査装置Ｙ１の検査内容が変更されることによって、良品としてマウント工程に流れてくる基板の質が変わってしまい、これが原因で最初に設定したマウント後検査装置Ｙ２の検査内容が適切なものとはいえなくなる事態が生じ得る。
この点、例えばはんだ印刷後検査装置Ｙ１の検査内容を固定することで、マウント工程には当該固定された検査内容に適合した基板のみが流れてくるため、これを前提として当該工程の適切な検査内容を設定することができる。即ち、上記の様な構成を有する検査管理システムであれば、適切な検査内容を設定する際の障害を除去することができる。
また、工程単位で検査内容の変更を制限するのではなく、検査内容設定部１０２が設定できる検査内容に限界を定めるようにしてもよい。例えば、検査基準を緩くする場合の下限値を定めておく、検査をＯＦＦすることを認めない検査項目を定めておく、などのようにして限界を定めてもよい。また、当該限界の設定は、システムの限界値として、システムの立ち上げ時に定められるのであってもよいし、権限を有するユーザーが設定するので
あってもよい。また、過去の検査実績に基づいて、自動で設定されるようにしてもよい。また、限界を定める単位も自由に定めればよく、検査項目ごとに設定するのであってもよいし、部品品番ごとに限界を設定してもよい。
このような構成であると、例えば、予期せぬミス（重大な問題を生じる可能性のある検査内容を誤って設定してしまうなど）や、悪意を持ったユーザーによる加害行為などを防止することが可能になる。
＜その他＞
上記の実施例の説明は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明は、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば上記実施例では、検査内容変更の処理のフローは、管理装置１によってステップＳ１０１が実行されていたが、処理の開始がユーザーによって行われても良い。その場合には、検査状況が適切に行われているか否かの判定は、出力部２０に出力される検査実績の視覚的な情報に基づいて行うようにすればよい。
本発明の一の態様は、複数の工程を有しており、前記複数の工程に対応する複数の製造装置（Ｘ１；Ｘ２；Ｘ３）及び検査装置（Ｙ１；Ｙ２；Ｙ３；Ｙ４）を有する製品の生産ラインにおいて、前記複数の工程を経た完成品の検査を行う最終検査及び最終の工程より前の工程で製造された中間品の検査を行う一以上の中間検査を管理する検査管理システムであって、前記製品に対する検査項目ごとの検査基準を含む検査内容データを取得する検査内容データ取得手段（１０１）と、前記検査内容データ取得手段によって取得した検査内容データに基づいて検査内容を設定する検査内容設定手段（１０２）と、仮定の検査内容による検査のシミュレーションを行うシミュレーション手段（１０３）と、前記シミュレーションに基づいて、現行の検査基準よりも適切な検査基準を算出する検査基準算出手段（１０４）と、少なくとも前記検査基準算出手段により算出された検査基準が、現行の検査基準よりも適切であることを示す根拠情報を出力する出力手段（２０）と、を備えている、検査管理システムである。
また、本発明の他の一の態様は、複数の工程を有しており、前記複数の工程に対応する複数の製造装置（Ｘ１；Ｘ２；Ｘ３）及び検査装置（Ｙ１；Ｙ２；Ｙ３；Ｙ４）を有する製品の生産ラインにおいて、前記複数の工程を経た完成品の検査を行う最終検査及び最終の工程より前の工程で製造された中間品の検査を行う一以上の中間検査を管理する方法であって、前記検査装置による検査の状況を確認する第１のステップ（Ｓ１０１）と、前記第１のステップで確認された検査状況に基づいて、検査内容が適正か否かを判定する第２のステップ（Ｓ１０２）と、前記第２のステップにおいて、検査内容が適正で無いと判定された場合には適正な検査内容を算出する、第３のステップ（Ｓ１０３）と、前記第３のステップで算出された適正な検査内容を、当該検査内容が適正であることの根拠情報と共にユーザーに示す、第４のステップ（Ｓ１０４）と、前記第４のステップで示した検査内容による検査の実行に対するユーザーの承認を受け付ける第５のステップ（Ｓ１０５）と、前記第５のステップでユーザーの承認を受け付けた場合に、前記検査装置による検査内容を前記新規検査内容に設定する、第６のステップ（Ｓ１０７）と、前記第６のステップで新規な検査内容が設定された場合に、当該新規な検査内容のデータを、少なくとも当該新規な検査内容の設定がいつ行われたかを含む設定関連情報とともに、履歴情報として保存する、第７のステップ（Ｓ１０９）と、を有する検査管理方法である。
Ａ１、Ｘ１・・・はんだ印刷装置
Ａ２、Ｘ２・・・マウンタ
Ａ３、Ｘ３・・・リフロー炉
Ｂ１、Ｙ１・・・はんだ印刷後検査装置
Ｂ２、Ｙ２・・・マウント後検査装置
Ｂ３・・・リフロー後検査装置
Ｙ３・・・外観検査装置
Ｙ４・・・Ｘ線検査装置
Ｃ、１・・・管理装置
Ｃ１、１０・・・制御部
Ｃ２、２０・・・出力部
Ｃ３、３０・・・入力部
Ｃ４、４０・・・記憶部

Claims (7)

  1. 複数の工程を有しており、前記複数の工程に対応する複数の製造装置及び検査装置を有する製品の生産ラインにおいて、前記複数の工程を経た完成品の検査を行う最終検査及び最終の工程より前の工程で製造された中間品の検査を行う一以上の中間検査を管理する検査管理システムであって、
    前記製品に対する検査項目ごとの検査基準を含む検査内容データを取得する検査内容データ取得手段と、
    前記検査内容データ取得手段によって取得した検査内容データに基づいて検査内容を設定する検査内容設定手段と、
    仮定の検査内容による検査のシミュレーションを行うシミュレーション手段と、
    前記シミュレーションに基づいて、現行の検査基準よりも適切な検査基準を算出する検査基準算出手段と、
    少なくとも前記検査基準算出手段により算出された検査基準が、現行の検査基準よりも適切であることを示す根拠情報を出力する出力手段と、を備えており、
    前記検査基準算出手段は、前記シミュレーションにおいて、前記最終検査で不良と判定される製品が前記中間検査の段階でも不良と判定される件数が、現行の検査基準よりも多くなる検査基準を算出し、
    前記根拠情報には、前記シミュレーションにおいて、前記最終検査で不良と判定された製品のうち、当該製品がはじめに不良と判定された検査及びその件数の情報が含まれる、
    ことを特徴とする検査管理システム。
  2. 前記最終検査及び前記中間検査のうち、少なくとも前記最終検査を含む一以上の検査内容が固定されており、前記検査内容設定手段による検査内容の設定は、前記検査内容が固定された検査とは異なる中間検査に対して行われる、
    ことを特徴とする請求項１に記載の検査管理システム。
  3. 前記検査基準算出手段は、前記シミュレーションにおいて、前記中間検査における不良過剰検出に関する指標である良品直行率が現行の検査基準よりも高くなる検査基準を算出し、
    前記根拠情報には、前記中間検査毎の前記直行率が含まれる、
    ことを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査管理システム。
  4. 前記出力手段によって出力される前記根拠情報は、前記シミュレーションによって前記最終検査後に良品と判定される値を有する対象及び不良品と判定される値を有する対象とをヒストグラムで表示するものであって、
    前記ヒストグラムにおいて、前記良品と判定される値を有する対象と、不良品と判定される値を有する対象とが視覚的に識別可能に表示され、
    前記中間検査における現行の検査基準及び新たな検査基準を示す基準線が、それぞれ前記ヒストグラムに重ねて表示される
    ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の検査管理システム。
  5. 前記検査内容設定手段によって設定することが可能な検査内容には、所定の設定限界値が定められている
    ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の検査管理システム。
  6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の検査管理システムを構成し、前記検査内容データ取得手段と、前記検査内容設定手段と、前記シミュレーション手段と、前記検査基準算出手段と、前記出力手段と、を備える検査管理装置。
  7. 複数の工程を有しており、前記複数の工程に対応する複数の製造装置及び検査装置を有する製品の生産ラインにおいて、前記複数の工程を経た完成品の検査を行う最終検査及び最終の工程より前の工程で製造された中間品の検査を行う一以上の中間検査を管理する方法であって、
    前記検査装置による検査の状況を確認する第１のステップと、
    前記第１のステップで確認された検査状況に基づいて、検査内容が適正か否かを判定する第２のステップと、
    前記第２のステップにおいて、検査内容が適正で無いと判定された場合には前記検査内容における検査項目ごとの適正な検査基準を算出する、第３のステップと、
    前記第３のステップで算出された適正な検査基準を、当該検査基準が適正であることの根拠情報と共にユーザーに示す、第４のステップと、
    前記第４のステップで示した検査基準による検査の実行に対するユーザーの承認を受け付ける第５のステップと、
    前記第５のステップでユーザーの承認を受け付けた場合に、前記検査装置による検査内容を前記適正な検査基準による新規な検査内容に設定する、第６のステップと、を有しており、
    前記第３のステップでは、仮定の検査内容による検査のシミュレーションを実施し、前記最終検査で不良と判定される製品が前記中間検査の段階でも不良と判定される件数が現行の検査内容における検査基準よりも多くなる検査基準を算出し、
    前記第４のステップで示す根拠情報には、前記シミュレーションにおいて、前記最終検査で不良と判定された製品のうち、当該製品がはじめに不良と判定された検査及びその件数の情報が含まれる、
    ことを特徴とする検査管理方法。
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