JP2005085784A - 半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の処理ユニット1−1〜1−4,2を有する半導体製造装置10を構成する処理ユニットのメンテナンス時における操作端末3−1〜3−3の排他管理方法であって、メンテナンスを行う処理ユニットに対して操作を行うことができる占有者と、使用する操作端末を該当する処理ユニットで1つのみ登録可能である、管理表を持たせた。
【選択図】 図1
Description
しかしながらこれらの解決方法では、複数のオペレータが各々異なる処理ユニットを並行してメンテナンスするような場合には、操作端末が1つに限定されてしまい、操作端末の取り合いになる等の問題が残っていた。
ここで、処理ユニット(PU4)1−4の操作を行う操作端末については、人Smithが既に搬送処理ユニット(TU)2の占有権を獲得しているところの操作端末(T103)3−3と同じ操作端末とする。
Claims (3)
- 複数の処理ユニットを有する半導体製造装置を構成する処理ユニットのメンテナンス時における操作端末の排他管理方法であって、
メンテナンスを行う処理ユニットに対して操作を行うことができる占有者と、使用する操作端末を該当する処理ユニットで1つのみ登録可能である、管理表を持つことを特徴とする
半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法。 - 処理ユニットに対する占有を、操作端末単位で行うのではなく、操作する人(占有者)単位で登録することを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法。
- 操作端末の変更時に、新たな操作端末を登録することによって、それまで登録されていた操作端末が自動的に削除されることを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置のメンテナンス操作時における操作端末の排他管理方法。
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