KR101085558B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 - Google Patents

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요시히코 나카가와
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가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
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Abstract

본 발명은, 다른 표시부에 다른 표시를 시키거나, 다른 조작 화면으로부터 다른 조작을 시킬 수 있는 기판 처리 시스템을 제공한다.
기판 처리 시스템(1)은, 주표시 장치(18)로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 그 유저가 속하는 그룹이 설정되는 유저 그룹 파라미터 및 그 그룹의 권한을 정하는 권한 파라미터를 참조하여, 유저에 대응한 주조작 화면(18a)을 주표시 장치(18)에 표시하고, 외부 조작 장치(30)로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 외부 표시 장치(32)에, 그 유저가 소속하는 그룹의 권한 파라미터를 설정하기 위한 외부 파라미터 설정 화면(32b)을 표시시키거나, 그 유저가 속하는 그룹에 대응한 외부 조작 화면(32a)을 표시시킨다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}
본 발명은, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판을 처리하는 기판 처리 시스템 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치의 관리 장치에 회선을 개재하여 원격 조작 장치로부터 액세스(access) 가능하도록 한 반도체 제조 장치의 리모트(remote) 조작 시스템으로서, 상기 원격 조작 장치는, 상기 관리 장치에 표시되는 화면과 동일한 화면을 표시하며, 상기 반도체 제조 장치에 대하여 상기 관리 장치의 조작과 동일한 조작을 수행하는 것을 가능하게 하는 기술이 알려져 있다(특허 문헌 1).
<특허 문헌 1> 일본국 공개 특허 2002－27567호 공보
그러나, 종래의 기술에 있어서는, 표시부마다 다른 표시를 시키거나, 다른 조작을 시킬 수 없다는 문제점이 있었다.
본 발명은, 표시부마다 다른 표시를 시키거나, 다른 조작을 시킬 수 있고, 로그인했을 때의 정보로부터 유저(user)마다로 화면에 표시하는 기능을 달리하여, 조작에 제한을 부여할 수 있는 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단; 상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저가 소속하는 그룹을 설정하는 그룹 파라미터와, 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응하여 미리 설정된 여러 가지의 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터와, 상기 유저가 조작하는 기능을 제한하는 기능 제한 파라미터를 기억하는 기억 수단; 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부; 및 상기 기판 처리 기구로부터 이간(離間)한 위치에 배치되고, 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부;를 포함하고, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 상기 기억 수단에 기억된 그룹 파라미터를 대조하여, 상기 제1 표시부에, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응한 조작 화면을 표시시키고, 상기 제2 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 기억수단에 미리 설정된 상기 기능 제한 파라미터와 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응한 상기 권한 파라미터를 비교하여 일치한 조작 권한에 맞는 조작 화면을 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템을 제공한다.
또한 본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 기구; 적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단; 상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구에 고정되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부; 상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부; 및 상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저에 대응하여 미리 설정된 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터를 적어도 기억하는 기억 수단;을 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.
삭제
또한 본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 기구; 적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단; 상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구에 고정되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부; 상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부; 및 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저에 대응하여 미리 설정된 여러 가지의 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터를 적어도 기억하는 기억 수단;을 포함하고, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저에 대응한 조작 화면을 표시시켜서, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부에 다른 표시를 시키는 것이 가능하고, 상기 제1 표시부로부터의 지시와 상기 제2 표시부로부터의 지시에 대해서, 다른 제어를 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치를 제공한다.
또한 본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 기구; 적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단; 상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구에 고정되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부; 상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부; 및 상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저에 대응하여 미리 설정된 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터를 적어도 기억하는 기억 수단;을 포함하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부 또는 상기 제2 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저에 대응하여 조작 화면을 표시시키는 기판 처리 장치의 표시 방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 기판 처리 장치의 주조작부나 기판 처리 장치 근방에 접속된 외부 조작부와, 기판 처리 장치로부터 이간한 위치에 배치된 외부 조작부에서 각각 다른 표시나, 다른 조작이 가능하게 된다. 이에 따라, 유저가 원하는 여러 가지의 운용이 가능하기 때문에, 조작성이 향상한다. 또한, 조작 상, 생산에 지장을 초래하는 조작[프로세스 레시피(recipe) 등의 레시피 편집이나 알람 등의 설정 등]을 외부 조작부로부터 실행할 수 없도록 제어할 수 있기 때문에 안전성이 향상한다. 한편, 생산에 지장을 초래하지 않는 조작은 고객의 오피스에 있는 외부 조작부로부터도 조작할 수 있기 때문에 편리성이 향상한다. 이에 따라, 유저가 청정복(淸淨服)으로 갈아입고 클린 룸(clean room) 내의 기판 처리 장치의 조작부를 조작하는 수고를 덜 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치를 포함하는 기판 처리 시스템의 개략 구성을 나타내는 도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 사시도.
도 3은 도 2에 나타내는 기판 처리 장치의 좌측면 측의 단면을 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 제어 수단을 중심으로 한 구성의 일례를 나타내는 블록도.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 프로세스 제어부 구성의 일례를 나타내는 블록도.
도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 반송 제어부 구성의 일례를 나타내는 블록도.
도 7은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 주조작 장치 구성의 일례를 나타내는 블록도.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 부조작 장치 구성의 일례를 나타내는 블록도.
도 9는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 외부 조작 장치 구성의 일례를 나타내는 블록도.
도 10은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 주표시 장치의 조작 표시 화면으로서 표시되는 유저 설정 화면을 예시하는 도.
도 11은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치 주표시 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 권한 설정 화면을 예시하는 도.
도 12는 도 11에 나타내는 권한 설정 화면에 있어서의 소정 레시피의 권한의 설정을 설명하는 도.
도 13은 도 11에 나타내는 선택 화면을 개재한 권한 설정 화면에 있어서의 소정 커맨드의 권한의 설정을 설명하는 도.
도 14는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 주표시 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 로그인 화면을 예시하는 도.
도 15는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 주표시 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 편집 메뉴 화면을 예시하는 도.
도 16은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 주표시 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 레시피 편집 화면을 예시하는 도.
도 17은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 외부 표시 장치에 표시되는 기능 제한 설정 화면을 예시하는 도.
도 18은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치에 의한 제어 처리로서, 특히 외부 조작 장치로부터 조작이 이루어질 때의 제어 처리를 나타내는 플로우 차트.
도 19는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치에 있어서의 권한 파라미터의 값과 기능 제한 파라미터의 값과의 논리곱을 나타내는 도.
도 20은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 각 조작 장치에서 가능한 조작을 나타내는 도.
다음에 본 발명을 실시하기 위한 최량의 실시 형태를 도면을 토대로 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(1)의 구성을 나타내는 도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 시스템(1)은, 기판 처리 장치(10)와, 제2 조작 장치로서 사용되는 외부 조작 장치(30)를 갖고, 이들이, 예를 들면, 스위칭 허브(switching hub, 42)를 갖는 LAN 등의 통신 네트워크(40)에 의해 서로 접속되어 있다.
기판 처리 장치(10)는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치로서 사용되고, 예를 들면, 반도체 장치(IC)의 제조 방법을 실시하는 반도체 제조 장치로서 구성되어 있다. 이하의 설명에서는, 기판 처리 장치로서 기판에 산화, 확산 처리나 CVD 처리 등을 수행하는 종형(縱型) 장치에 적용한 경우에 대하여 설명한다.
　기판 처리 장치(10)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 2개 등, 기판 처리 시스템(1)에 복수 개를 설치해도 되며, 기판 처리 시스템(1)에 1개의 기판 처리 장치(10)를 설치해도 된다.
기판을 처리하는 기판 처리 기구(unit)로서 사용되는 기판 처리 장치(10)는, 각각이, 기판 처리 장치 본체(111)를 포함하고, 기판 처리 장치 본체(111) 내에, 기판을 처리하는 처리부로서 사용되는 처리로(202)(도 1에 있어서 도시하지 않음, 도 2 참조)와, 주컨트롤러(14)와, 스위칭 허브(15)가 설치되어 있다. 또한, 기판 처리 장치 본체(111)의 외벽에는, 예를 들면 기판 처리 장치(10)의 배면측(도 1에 있어서의 좌측)에, 제1 조작 장치로서 사용되는 주조작 장치(16)가 장착되어 있다. 또한, 기판 처리 장치(10)에는, 스위칭 허브(15)를 개재하여 주컨트롤러(14)에 접속되도록 하고, 제3 조작 장치로서 사용되는 부조작 장치(50)가 장착되어 있다.
주조작 장치(16)는, 기판 처리 장치(10)[또는 처리로(202) 및 기판 처리 장치 본체(111)] 근방에 배치되어 있다. 주조작 장치(16)는, 이 실시 형태와 같이 기판 처리 장치 본체(111)에 장착하도록 하고, 기판 처리 장치(10)와 일체로 하여 고정한다.
여기에서, 주조작 장치(16)가, 기판 처리 장치(10)[또는 처리로(202) 및 기판 처리 장치 본체(111)] 근방에 배치되고 있다는 것은, 기판 처리 장치(10)의 상태를 조작자가 확인할 수 있는 위치에 주조작 장치(16)가 배치되어 있는 것을 말한다. 예를 들면, 기판 처리 장치 본체(111)가 설치되어 있는 클린 룸 내에 설치된다.
주조작 장치(16)는 제1 표시부로서 사용되는 주표시 장치(18)를 갖는다.
주표시 장치(18)는, 예를 들면, 액정 표시 패널로 이루어진다. 또한, 주표시 장치(18)에는, 적어도 기판 처리 장치(10)를 조작하기 위한 제1 조작 화면으로서 사용되는 주조작 화면(18a)이 표시된다. 또한, 주표시 장치(18)에는, 기판 처리 장치(10)에 관한 각종 파라미터를 설정하기 위한 파라미터 설정 화면으로서 사용되는 주파라미터 설정 화면(18b)이 표시된다.
여기에서, 기판 처리 장치(10)에 관한 각종 파라미터는, 다종다양(多種多樣)하다. 예를 들면, 본원 발명에 있어서, 기판 처리 장치(10)를 조작하는 유저(조작자)가 소속하는 그룹을 설정하는 그룹 파라미터나, 유저가 소속하는 그룹에 대응하여 미리 설정되는 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터나, 유저가 조작하는 기능을 제한하는 기능 제한 파라미터 등이 적어도 포함된다. 다른 파라미터로서는, 유저마다에 유저 정보(유저 ID, 패스워드)를 리스트(list)화한 파라미터(유저 파라미터)가 포함된다.
주조작 화면(18a), 주파라미터 설정 화면(18b)의 상세에 대해서는 후술한다.
부(副)조작 장치(50)는 제3 표시부로서 사용되는 부(副)표시 장치(52)를 갖는다.
부표시 장치(52)는 예를 들면, 액정 표시 패널로 이루어진다. 부표시 장치(52)에는, 적어도 기판 처리 장치(10)를 조작하기 위한 제3 조작 화면으로서 사용되는 부조작 화면(52a)이 표시된다. 또한, 부표시 장치(52)에는, 기판 처리 장치(10)에 관한 각종 파라미터를 설정하기 위한 파라미터 설정 화면으로서 사용되는 부파라미터 설정 화면(52b)이 표시된다.
부조작 장치(50)는 예를 들면, WBT(Windows　Based　Terminal)로 이루어진다. 여기에서, WBT란, 마이크로소프트웨어사의 OS인 WTS(Windows　Terminal　Server)가 동작하고 있는 서버에 네트워크 경유 등으로 접속하여 처리를 수행하는 전용 단말기로서, 입출력을 위한 최저한의 처리를 수행할 수 있도록 구성되어 있는 것이다.
또한, 부조작 장치(50)는 기판 처리 장치(10)[또는 처리로(202) 및 기판 처리 장치 본체(111)] 근방에 배치되어 있다. 부조작 장치(50)는 기판 처리 장치 본체(111)에 고정된다. 여기에서, 부조작 장치(50)가, 기판 처리 장치(10)[또는 처리로(202) 및 기판 처리 장치 본체(111)] 근방에 배치되어 있다는 것은, 기판 처리 장치(10)의 상태를 조작자가 확인할 수 있는 위치에 부조작 장치(50)가 배치되어 있음을 말한다. 주조작 장치(16)의 경우와 마찬가지로, 예를 들면, 기판 처리 장치 본체(111)가 설치되어 있는 클린 룸 내에 설치된다. 다만, 주조작 장치(16)와 동일한 측에 배치될 필요는 없으며, 기판 처리 장치 본체(111) 근방으로서, 주조작 장치(16)로부터 눈이 미치지 않는 위치에 배치된다. 주조작 장치(16)는 기판 처리 장치 본체(111)의 전면(前面)에 설치되고, 부조작 장치(50)는 기판 처리 장치 본체(111)의 후측에 배치된다.
외부 조작 장치(30)는, 제2 표시부로서 사용되는 외부 표시 장치(32)를 갖는다.
외부 표시 장치(32)는 예를 들면, 액정 표시 패널로 이루어진다. 또한, 외부 표시 장치(32)에는, 적어도 처리부(202)를 조작하기 위한 제2 조작 화면으로서 사용되는 외부 조작 화면(32a)이 표시된다. 또한, 외부 표시 장치(32)에도, 기판 처리 장치(10)에 관한 각종 파라미터를 설정하기 위한 파라미터 설정 화면으로서 사용되는 외부 파라미터 설정 화면(32b)을 표시하도록 해도 된다.
또한, 외부 조작 장치(30)는, 부조작 장치(50)와 마찬가지로, WBT로 이루어지고, 상술한 바와 같이 통신 네트워크(40)를 개재하여 주컨트롤러(14)에 접속 가능하다. 이 때문에, 외부 조작 장치(30)는 기판 처리 장치(10)로부터 이간한 위치에 배치하는 것이 가능하다. 예를 들면, 기판 처리 장치(10)가 클린 룸 내에 설치되어 있는 경우라 하더라도, 외부 조작 장치(30)는 클린 룸 외부의 사무소 등에 배치하는 것이 가능하다.
주컨트롤러(14)는, 적어도 처리로(202)를 제어하는 제어 수단으로서 사용된다. 주컨트롤러(14)에 의해, 기판 처리 시스템(1)의 제어가 이루어진다. 또한, 주컨트롤러(14)는, 적어도 기판 처리 장치(10)를 조작하는 유저(조작자)가 소속하는 그룹을 설정하는 그룹 파라미터와, 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응하여 설정되는 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터와, 유저가 조작하는 기능을 제한하는 제한 파라미터 등의 각종 파라미터나 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 프로세스 레시피 등의 각종 레시피를 기억하는 기억 수단을 갖는다.
주컨트롤러(14)는, 주조작 장치(16)와, 예를 들면, 비디오 케이블(20)을 사용하여 접속되어 있다. 한편, 주컨트롤러(14)와 주조작 장치(16)를 비디오 케이블(20)을 사용해서 접속하는 대신에, 통신 네트워크(40)를 개재하여 주컨트롤러(14)와 주조작 장치(16)를 접속해도 된다.
또한, 주컨트롤러(14)에는, 예를 들면, 상술한 WTS가 인스톨(install)되어 있다.
WTS는 마이크로소프트웨어사의 OS인 Windows NT　Server에, 멀티유저(multiuser) 기능을 부가한 것이다. WTS는 1대의 서버에 대하여, 복수의 단말을, 네트워크를 통하여 동시에 접속할 수 있고, 이들 복수의 단말로부터 처리를 수행할 수 있다. 이 때, 모든 어플리케이션 소프트웨어의 처리는, 서버 상에서 실행되고, 단말 측에는 화면의 전송이 이루어진다.
주컨트롤러(14)는, 주표시 장치(18), 외부 표시 장치(32) 및 부조작 장치(50)에, 각각 다른 표시를 시킬 수 있다. 즉, 주컨트롤러(14)는, 주조작 화면(18a), 외부 조작 화면(32a), 부조작 화면(52a)을, 각각 다른 표시로 할 수 있다.
또한, 주컨트롤러(14)는, 주표시 장치(18), 외부 표시 장치(32) 및 부조작 장치(50), 각각에 대하여 다른 제어를 수행할 수 있다. 즉, 주컨트롤러(14)는, 주조작 화면(18a), 외부 조작 화면(32a), 부조작 화면(52a)으로부터의 조작에 대하여 각각 다른 지시를 할 수 있다.
보다 구체적으로는, 주컨트롤러(14)에는, 주조작 장치(16), 부조작 장치(50) 및 외부 조작 장치(30)로부터 로그인하여, 주컨트롤러(14)에서 복수의 동일한 프로그램을 기동(起動)시킬 수 있다. 결과적으로 주표시 장치(18), 부표시 장치(52) 및 외부 표시 장치(32)에, 각각 다른 조작 화면이 표시되고, 주표시 장치(18), 부표시 장치(52) 및 외부 표시 장치(32)로부터, 각각 다른 지시를 하는 것이 가능하게 된다.
도 2에는, 기판 처리 장치(10)가 사시도를 이용하여 나타나 있다. 또한, 도 3에는, 기판 처리 장치(10)가 측면 투시도를 이용하여 나타나 있다.
기판 처리 장치(10)는 기판으로서 사용되는 실리콘 등으로 이루어지는 웨이퍼(200)를 처리한다.
도 2 및 도 3에 나타나 있는 바와 같이, 기판 처리 장치(10)에서는, 웨이퍼(200)를 수납한 웨이퍼 캐리어(carrier)로서 사용되는 후프(FOUP, 기판 수용기. 이하 ‘포드’라고 함)(110)가 사용되고 있다. 또한, 기판 처리 장치(10)는 기판 처리 장치 본체(111)를 구비하고 있다.
기판 처리 장치 본체(111)의 정면벽(111a)의 정면 전방부(前方部)에는 메인터넌스(maintenance) 가능하도록 설치된 개구부로서 사용되는 정면 메인터넌스구(103)가 개설(開設)되고, 정면 메인터넌스구(103)를 개폐하는 정면 메인터넌스도어(104)가 각각 설치되어 있다. 한편, 도시하지 않지만, 상측의 정면 메인터넌스도어(104) 근방에 부조작 장치(50)가 설치된다. 주조작부(16)는 배면측의 메인터넌스도어 근방에 배치된다.
기판 처리 장치 본체(111)의 정면벽(111a)에는 포드 반입 반출구(기판 수용기 반입 반출구)(112)가 기판 처리 장치 본체(111)의 내외를 연통(連通)하도록 개설되어 있고, 포드 반입 반출구(112)는 프런트 셔터(기판 수용기 반입 반출구 개폐 기구)(113)에 의해 개폐되도록 되어 있다.
포드 반입 반출구(112) 정면 전방 측에는 로드 포트(load port)[기판 수용기 수도대(受渡臺)(114)]가 설치되어 있고, 로드 포트(114)는 포드(110)가 재치(載置)되어 위치결정하도록 구성되어 있다. 포드(110)는 로드 포트(114) 상에 공정 내 반송 장치(도시하지 않음)에 의해 반입되고, 로드 포트(114) 상으로부터 반출되도록 되어 있다.
기판 처리 장치 본체(111) 내의 전후(前後) 방향의 대략 중앙부에 있어서의 상부에는, 회전식 포드 선반(기판 수용기 재치 선반)(105)이 설치되어 있고, 회전식 포드 선반(105)은 복수 개의 포드(110)를 보관하도록 구성되어 있다. 즉, 회전식 포드 선반(105)은 수직으로 입설(立設)되어 수평면 내에서 간헐적으로 회전되는 지주(116)와, 지주(116)에 상중하단(上中下段)의 각 위치에 있어서 방사 형상으로 지지된 복수 매의 선반용 판(기판 수용기 재치대)(117)을 구비하고 있으며, 복수 매의 선반용 판(117)은 포드(110)를 복수 개씩 각각 재치한 상태에서 보지(保持)하도록 구성되어 있다.
기판 처리 장치 본체(111) 내에 있어서의 로드 포트(114)와 회전식 포드 선반(105)의 사이에는, 포드 반송 장치(기판 수용기 반송 장치)(118)가 설치되어 있고, 포드 반송 장치(118)는 포드(110)를 보지한 상태에서 승강 가능한 포드 엘리베이터(기판 수용기 승강 기구)(118a)와 반송 기구로서의 포드 반송 기구(기판 수용기 반송 기구)(118b)로서 구성되어 있으며, 포드 반송 장치(118)는 포드 엘리베이터(118a)와 포드 반송 기구(118b)의 연속 동작에 의해, 로드 포트(114), 회전식 포드 선반(105), 포드 오프너[기판 수용기 개체(蓋體) 개폐 기구](121)의 사이에서, 포드(110)를 반송하도록 구성되어 있다.
기판 처리 장치 본체(111) 내의 전후 방향의 대략 중앙부에 있어서의 하부에는, 서브 광체(筐體)(119)가 후단에 걸쳐 구축되어 있다. 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에는 웨이퍼(200)를 서브 광체(119) 내에 대하여 반입 반출하기 위한 웨이퍼 반입 반출구(기판 반입 반출구)(120)가 한 쌍, 수직 방향으로 상하 2단으로 정렬되어 개설되어 있고, 상하단의 웨이퍼 반입 반출구(120, 120)에는 한 쌍의 포드 오프너(121, 121)가 각각 설치되어 있다. 포드 오프너(121)는 포드(110)를 재치하는 재치대(122, 122)와, 포드(110)의 캡[개체(蓋體)]을 착탈하는 캡 착탈 기구(개체 착탈 기구)(123, 123)를 구비하고 있다. 포드 오프너(121)는 재치대(122)에 재치된 포드(110)의 캡을 캡 착탈 기구(123)에 의해 착탈함으로써, 포드(110)의 웨이퍼 출입구를 개폐하도록 구성되어 있다.
서브 광체(119)는 포드 반송 장치(118)나 회전식 포드 선반(105)의 설치 공간으로부터 유체적(流體的)으로 격절(隔絶)된 이재실(移載室, 124)을 구성하고 있다. 이재실(124)의 전측(前側) 영역에는 웨이퍼 이재 기구(기판 이재 기구)(125)가 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 기구(125)는, 웨이퍼(200)를 수평 방향으로 회전 내지 직동(直動) 가능한 웨이퍼 이재 장치(기판 이재 장치)(125a) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)를 승강시키기 위한 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(기판 이재 장치 승강 기구)(125b)로 구성되어 있다. 도 2에 모식적으로 나타나 있는 바와 같이 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)는 내압 기판 처리 장치 본체(111) 우측 단부와 서브 광체(119)의 이재실(124) 전방 영역 우단부의 사이에 설치되어 있다. 이들, 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)의 연속 동작에 의해, 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(tweezer, 기판 보지체)(125c)를 웨이퍼(200)의 재치부로 하여, 보트(기판 보지구)(217)에 대하여 웨이퍼(200)를 장전(charging) 및 탈장(discharging)하도록 구성되어 있다.
이재실(124)의 후측(後側) 영역에는, 보트(217)를 수용하여 대기시키는 대기부(126)가 구성되어 있다. 대기부(126)의 상방에는, 처리로(202)가 설치되어 있다. 처리로(202)의 하단부는, 노구 셔터(노구 개폐 기구)(147)에 의해 개폐되도록 구성되어 있다.
도 2에 모식적으로 나타나 있는 바와 같이, 내압 기판 처리 장치 본체(111) 우측 단부와 서브 광체(119)의 대기부(126) 우단부의 사이에는 보트(217)를 승강시키기 위한 보트 엘리베이터(기판 보지구 승강 기구)(115)가 설치되어 있다. 보트 엘리베이터(115)의 승강대에 연결된 연결구로서의 암(arm, 128)에는 개체로서의 씰 캡(seal cap, 219)이 수평으로 설치되어 있고, 씰 캡(219)은 보트(217)를 수직으로 지지하여, 처리로(202)의 하단부를 폐색 가능하도록 구성되어 있다.
보트(217)는 복수 개의 보지 부재(部材)를 구비하고 있고, 복수 매(예를 들면, 50~125 매 정도)의 웨이퍼(200)를 그 중심을 가지런히 맞추어 수직 방향으로 정렬시킨 상태에서, 각각 수평으로 보지하도록 구성되어 있다.
또한, 도 2에 모식적으로 나타나 있는 바와 같이 이재실(124)의 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 측 및 보트 엘리베이터(115) 측과 반대 측인 좌측 단부에는, 청정화된 분위기 또는 불활성 가스인 클린 에어(133)를 공급하도록 공급 팬 및 방진(防塵) 필터로 구성된 클린 유닛(134)이 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 장치(125a)와 클린 유닛(134)의 사이에는, 도시는 하지 않으나, 웨이퍼의 원주 방향의 위치를 정합시키는 기판 정합 장치로서의 노치 맞춤 장치(notch aligner)가 설치되어 있다.
클린 유닛(134)으로부터 취출(吹出)된 클린 에어(133)는, 노치 맞춤 장치 및 웨이퍼 이재 장치(125a), 대기부(126)에 있는 보트(217)에 유통된 후에, 도시하지 않은 덕트(duct)에 의해 흡입되어, 기판 처리 장치 본체(111)의 외부로 배기(排氣)가 이루어지거나, 또는 클린 유닛(134)의 흡입 측인 1차 측(공급 측)까지 순환되고, 다시 클린 유닛(134)에 의해 이재실(124) 내에 취출되도록 구성되어 있다.
다음에, 본 발명의 기판 처리 장치(10)의 동작에 대하여 설명한다.
도 2 및 도 3에 나타나 있는 바와 같이, 포드(110)가 로드 포트(114)에 공급되면, 포드 반입 반출구(112)가 프런트 셔터(113)에 의해 개방되고, 로드 포트(114) 위의 포드(110)는 포드 반송 장치(118)에 의해 기판 처리 장치 본체(111)의 내부로 포드 반입 반출구(112)로부터 반입된다.
반입된 포드(110)는 회전식 포드 선반(105)의 지정된 선반용 판(117)으로 포드 반송 장치(118)에 의해 자동적으로 반송되어 수도(受渡)되고, 일시적으로 보관된 후, 선반용 판(117)으로부터 한쪽의 포드 오프너(121)로 반송되어 수도되고, 일시적으로 보관된 후, 선반용 판(117)으로부터 한쪽의 포드 오프너(121)에 반송되어 재치대(122)에 이재되거나, 또는 직접 포드 오프너(121)에 반송되어 재치대(122)로 이재된다. 이 때, 포드 오프너(121)의 웨이퍼 반입 반출구(120)는 캡 착탈 기구(123)에 의해 닫혀져 있고, 이재실(124)에는 클린 에어(133)가 유통되고, 충만되어 있다. 예를 들면, 이재실(124)에는 클린 에어(133)로서 질소 가스가 충만함으로써, 산소 농도가 20ppm 이하로 되어, 기판 처리 장치 본체(111)의 내부(대기 분위기)의 산소 농도보다 훨씬 낮게 설정되어 있다.
재치대(122)에 재치된 포드(110)는 그 개구측 단면(端面)이 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에 있어서의 웨이퍼 반입 반출구(120)의 개구 연변부(緣邊部)에 꽉 눌러짐과 함께, 그 캡이 캡 착탈 기구(123)에 의해 떼어내어져, 웨이퍼 출입구가 개방된다.
포드(110)가 포드 오프너(121)에 의해 개방되면, 웨이퍼(200)는 포드(110)로부터 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(125c)에 의해 웨이퍼 출입구를 통하여 픽업(pick up)되고, 도시하지 않은 노치 맞춤 장치(135)에서 웨이퍼를 정합(整合)한 후, 이재실(124)의 후방에 있는 대기부(126)로 반입되고, 보트(217)에 장전(charging)된다. 보트(217)에 웨이퍼(200)를 수도한 웨이퍼 이재 장치(125a)는 포드(110)로 되돌아가고, 다음의 웨이퍼를 보트(217)에 장전한다.
이 한쪽(상단 또는 하단)의 포드 오프너(121)에 있어서의 웨이퍼 이재 기구(125)에 의해 웨이퍼를 보트(217)에 장전하는 작업 중에, 다른 쪽(하단 또는 상단)의 포드 오프너(121)에는 회전식 포드 선반(105)으로부터 다른 포드(110)가 포드 반송 장치(118)에 의해 반송되어 이재되고, 포드 오프너(121)에 의한 포드(110)의 개방 작업이 동시 진행된다.
미리 지정된 매수의 웨이퍼(200)가 보트(217)에 장전되면, 노구 셔터(147)에 의해 닫혀져 있던 처리로(202)의 하단부가, 노구 셔터(147)에 의해 개방된다. 이어서, 웨이퍼(200) 군(群)을 보지한 보트(217)는 씰 캡(219)이 보트 엘리베이터(115)에 의해 상승됨으로써, 처리로(202) 내에 반입(loading)되어 간다.
로딩 후에는, 처리로(202)에서 웨이퍼(200)에 임의의 처리가 실시된다.
처리 후에는, 도시하지 않은 노치 맞춤 장치(135)에서의 웨이퍼의 정합 공정을 제외하고, 이미 상술한 순서와 반대로, 웨이퍼(200) 및 포드(110)는 광체의 외부로 불출(拂出)된다.
다음에, 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 주(主)컨트롤러(14)를 중심으로 한 하드웨어 구성에 대하여 설명한다.
도 4에는, 기판 처리 시스템(1)의 주컨트롤러(14)를 중심으로 한 하드웨어의 개략 구성이 나타나 있다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(10)의 기판 처리 장치 본체(111) 내에, 상술한 주컨트롤러(14), 스위칭 허브(15)와 함께, 반송 제어부(230)와, 프로세스 제어부(232)가 설치되어 있다. 반송 제어부(230)와 프로세스 제어부(232)는, 기판 처리 장치 본체(111) 내에 설치하는 대신에, 기판 처리 장치 본체(111) 외부에 설치해도 된다.
반송 제어부(230)는, 예를 들면 CPU 등으로 이루어지는 반송계(系) 컨트롤러(234)를 가지며, 프로세스 제어부(232)는, 예를 들면 CPU 등으로 이루어지는 프로세스계(系) 컨트롤러(236)를 갖는다. 반송계 컨트롤러(234)와 프로세스계 컨트롤러(236)는, 스위칭 허브(15)를 개재하여, 주컨트롤러(14)에 각각 접속되어 있다. 한편, 반송 제어부(230) 및 프로세스 제어부(232)의 상세에 대해서는 후술한다.
또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 주조작 장치(16) 내에는, 주표시 장치(18, 도 1 참조)의 표시를 제어하기 위한 것 등에 사용되는 주표시 제어부(240)가 설치되어 있다. 주표시 제어부(240)는, 예를 들면, 비디오 케이블(20)을 사용하여, 주컨트롤러(14)에 접속되어 있다. 한편, 주표시 제어부(240)의 상세에 대해서는 후술한다.
또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 부(副)조작 장치(50) 내에는, 부표시 장치(52, 도 1 참조)의 표시를 제어하기 위한 것 등에 사용되는 부표시 제어부(242)가 설치되어 있다. 부표시 제어부(242)는 스위칭 허브(15)를 개재하여 주컨트롤러(14)에 접속되어 있다. 한편, 부표시 제어부(242)의 상세에 대해서는 후술한다.
또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 외부 조작 장치(30) 내에는, 외부 표시 장치(32)의 표시를 제어하기 위한 것 등에 사용되는 외부 표시 제어부(244)가 설치되어 있다. 외부 표시 제어부(244)는 스위칭 허브(42)를 갖는 통신 네트워크(40)를 개재하여, 주컨트롤러(14)에 접속되어 있다. 한편, 외부 표시 제어부(244)의 상세에 대해서는 후술한다.
도 5에는 프로세스 제어부(232)의 상세가 기재되어 있다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 프로세스 제어부(232)는, 상술한 프로세스계 컨트롤러(236)를 가짐과 함께, ROM(read-only memory, 250), RAM(random-access memory, 251), 온도 제어부(252), 가스 제어부(253), 압력 제어부(254) 및 온도 제어부(252) 등의 I/O 제어를 수행하는 I/O 제어부(255)를 갖는다.
프로세스계 컨트롤러(236)는, 예를 들면, 주조작 장치(16)의 주조작 화면(18a) 등으로 작성 또는 편집되고, RAM(251) 등에 기억되어 있는 레시피에 근거하여, 기판을 처리하기 위한 제어 데이터(제어 지시)를 온도 제어부(252), 가스 제어부(253) 및 압력 제어부(254)에 대해서 출력한다.
ROM(250) 또는 RAM(251)에는, 시퀀스 프로그램, 복수의 레시피 또는 주조작 장치(16) 등으로부터 입력되는 입력 데이터(입력 지시), 레시피의 커맨드(command) 및 레시피 실행 시의 이력(履歷) 데이터 등이 격납된다. 한편, 프로세스 제어부(232)에는, 하드 디스크 드라이브(HDD) 등에 의해 실현되는 기억 장치(도시하지 않음)가 포함되어도 되고, 이 경우, 이 기억 장치에는, RAM(251)에 격납되는 데이터와 동일한 데이터가 격납된다. 이와 같이, ROM(250) 또는 RAM(251)은 기판을 처리하는 순서가 기재되어 있는 여러 가지의 레시피를 기억하는 기억 수단으로서 사용된다.
입력 지시는 주조작 장치(16)의 주표시 장치(18)에 표시되는 주조작 화면(18a)으로, 부조작 장치(50)의 부표시 장치(52)에 표시되는 부조작 화면(52a)으로, 또는 외부 조작 장치(30)의 외부 표시 장치(32)에 표시되는 외부 조작 화면(32a)으로 이루어진다. 또한, 입력 지시는 레시피를 실행시키는 지시 이외에, 각 유저의 조작 권한을 설정하는 지시 등을 그 일례로서 들 수 있는데, 이에 국한되지 않는다.
온도 제어부(252)는 상술한 처리로(202)의 외주부에 설치된 히터(338)의 출력을 제어함으로써 처리로(202) 내의 온도를 제어한다. 가스 제어부(253)는, 처리로(202)의 가스 배관(340)에 설치된 MFC(mass flow controller, 342)로부터의 출력치에 근거하여 처리로(202) 내에 공급하는 반응 가스의 공급량 등을 제어한다. 압력 제어부(254)는 처리로(202)의 배기 배관(344)에 설치된 압력 센서(346)의 출력치에 근거하여 밸브(348)를 개폐함으로써 처리로(202) 내의 압력을 제어한다.
이와 같이, 온도 제어부(252) 등의 서브 컨트롤러는, 프로세스계 컨트롤러(236)로부터의 제어 지시에 근거하여 기판 처리 장치(10)의 각 부[히터(338), MFC(342) 및 밸브(348) 등]의 제어를 수행한다.
도 6에는 반송 제어부(230)의 상세가 기재되어 있다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 반송 제어부(230)는 상술한 반송계 컨트롤러(234)를 가짐과 함께, ROM(260), RAM(261), 모터 드라이버(262), 모터 드라이버(263), 모터 드라이버(262) 등의 I/O 제어를 수행하는 I/O 제어부(264)를 갖는다.
반송계 컨트롤러(234)는, 예를 들면, 주조작 장치(16)의 주조작 화면(18a) 등으로 작성 또는 편집되고, RAM(261) 등에 기억되어 있는 레시피에 근거하여, 기판을 반송하기 위한 제어 데이터(제어 지시)를, 모터 드라이버(262), 모터 드라이버(263)에 대해서 출력한다.
모터 드라이버(262), 모터 드라이버(263)는, 기판을 반송하기 위한 구동원으로 사용되는 모터(350), 모터(352)에 의해, 기판 처리 시스템(1) 내에 있어서의 웨이퍼(200)의 반송을 제어한다.
도 7에는, 주조작 장치(16)의 상세가 나타나 있다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 주조작 장치(16)는 상술한 주표시 장치(18), 주표시 제어부(240), 주표시 장치(18)에 표시되는 주조작 화면(18a)으로부터의 유저(작업자)의 입력 데이터(입력 지시)를 접수하는 입력부(160) 및 입력부(160)에 접수된 입력 데이터가 주표시 제어부(240)에 의해 주컨트롤러(14)에 송신될 때까지 기억하는 일시 기억부(166)를 갖는다.
주표시 제어부(240)는 입력부(160)로부터의 입력 데이터(입력 지시)를 접수하고, 이 입력 데이터를 주표시 장치(18) 또는 주컨트롤러(14)에 송신한다.
또한, 주표시 제어부(240)는 ROM(250) 또는 RAM(251) 등에 격납된 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 프로세스계 컨트롤러(236)에 의해 실행시키는 지시(제어 지시)를 접수하도록 되어 있다. 또한, 주표시 장치(18)는, 주표시 제어부(240)로부터 지시된 임의의 레시피를 주조작 화면(18a)으로서 표시하도록 되어 있음과 함께, 유저(작업자)의 조작 권한 등의 파라미터의 설정을 수행하기 위한 주파라미터 설정 화면(18b)으로서 표시하도록 되어 있다.
도 8에는, 부조작 장치(50)의 상세가 나타나 있다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 부조작 장치(50)는, 상술한 부표시 장치(52), 부표시 제어부(242), 부표시 장치(52)에 표시되는 부조작 화면(52a)으로부터의 유저(작업자)의 입력 데이터(입력 지시)를 접수하는 입력부(280), 입력부(280)에 접수된 입력 데이터가 주표시 제어부(240)에 의해 주컨트롤러(14)에 송신될 때까지 기억하는 일시 기억부(284)를 갖는다.
부표시 제어부(242)는 입력부(180)로부터의 입력 데이터(입력 지시)를 접수하고, 이 입력 데이터를 부표시 장치(52) 또는 주컨트롤러(14)에 송신한다.
또한, 부표시 제어부(242)는 ROM(250) 또는 RAM(251) 등에 격납된 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 프로세스계 컨트롤러(236)에 의해 실행시키는 지시(제어 지시)를 접수하도록 되어 있다. 또한, 부표시 장치(52)는 부표시 제어부(242)로부터의 지시에 의해 지시된 임의의 레시피를 부조작 화면(52a)에 표시하도록 되어 있음과 함께, 유저(작업자)의 조작 권한 등의 파라미터의 설정을 수행하기 위한 부(副)파라미터 설정 화면(52b) 등의 여러 가지 화면을 표시하도록 되어 있다.
도 9에는, 외부 조작 장치(30)의 상세가 나타나 있다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 외부 조작 장치(30)는, 상술한 외부 표시 장치(32), 외부 표시 제어부(244), 외부 표시 장치(32)에 표시되는 외부 조작 화면(32a)으로부터 유저의 입력 데이터를 접수하는 입력부(288), 입력부(288)에 접수된 입력 데이터가 외부 표시 제어부(244)에 의해 주컨트롤러(14)에 송신될 때까지 기억하는 일시 기억부(292)를 갖는다.
외부 표시 제어부(244)는, 입력부(288)로부터의 입력 데이터(입력 지시)를 접수하고, 이 입력 데이터를 외부 표시 장치(32) 또는 주컨트롤러(14)에 송신한다.
또한, 외부 표시 제어부(244)는 ROM(250) 또는 RAM(251)에 격납된 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 프로세스계 컨트롤러(236)에 의해 실행시키는 지시(제어 지시)를 접수하도록 되어 있다. 또한, 외부 표시 장치(32)는, 외부 표시 제어부(244)로부터의 지시에 의해 지시된 임의의 레시피를 외부 조작 화면(32a)에 표시하도록 되어 있다. 또한 외부 표시 장치(32)는, 후술하는 바와 같이, 유저(작업자)의 조작 권한을 설정하기 위한 권한 설정 화면이나 레시피를 편집하기 위한 편집 화면 등을 외부 조작 화면(32a)에 표시시킨다.
이상과 같이 구성된 기판 처리 시스템(1)에 있어서는, 주조작 장치(16)의 주표시 장치(18)에 표시되는 주조작 화면(18a), 주파라미터 설정 화면(18b) 등의 여러 가지 화면으로부터, 입력부(160)를 개재하여, 레시피를 설정하기 위한 데이터나 이 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한 등의 데이터(입력 데이터)가 입력되면, 이 입력 데이터(입력 지시)는, 주표시 장치(18)에 표시됨과 함께, 일시 기억부(166)에 격납되고, 아울러 주표시 제어부(240)에 의해 주컨트롤러(14)에 송신된다.
또한, 마찬가지로, 부조작 장치(50)의 부표시 장치(52)에 표시되는 부조작 화면(52a), 부파라미터 설정 화면(52b) 등의 여러 가지 화면으로부터, 입력부(280)를 개재하여, 레시피를 설정하기 위한 데이터나 이 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한 등의 데이터(입력 데이터)가 입력되면, 이 입력 데이터(입력 지시)는, 부표시 장치(52)에 표시됨과 함께, 일시 기억부(284)에 격납되고, 아울러 부표시 제어부(242)에 의해 주컨트롤러(14)에 송신된다.
또한, 마찬가지로, 외부 조작 장치(30)의 외부 표시 장치(32)에 표시되는 외부 조작 화면(32a), 외부 파라미터 설정 화면(32b) 등의 여러 가지 화면으로부터, 입력부(288)를 개재하여, 레시피를 설정하기 위한 데이터나 상기 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한 등의 데이터(입력 데이터)가 입력되면, 이 입력 데이터(입력 지시)는, 외부 표시 장치(32)에 표시됨과 함께, 일시 기억부(292)에 격납되고, 아울러 외부 표시 제어부(244)에 의해 주컨트롤러(14)에 송신된다.
또한, 주컨트롤러(14)로부터 프로세스계 컨트롤러(236)에 데이터가 송신되고, 프로세스계 컨트롤러(236)는 이 입력 데이터를 RAM(251)에 격납하며, 예를 들면 ROM(250)에 격납된 레시피나 이 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한 등의 설정 입력을 확정시킨다.
프로세스계 컨트롤러(236)는 시퀀스 프로그램을 기동하고, 이 시퀀스 프로그램에 따라서, 예를 들면 RAM(251)에 격납된 레시피의 커맨드를 불러 들여 실행함으로써, 스텝이 차례차례로 실행되고, I/O 제어부(255)를 개재하여 온도 제어부(252), 가스 제어부(253) 및 압력 제어부(254)에 대하여 기판을 처리하기 위한 제어 지시가 송신된다. 온도 제어부(252) 등의 각 컨트롤러는, 프로세스계 컨트롤러(236)로부터의 제어 지시에 따라서 기판 처리 장치(10) 내의 각 부[히터(338), MFC(342) 및 밸브(348) 등]의 제어를 수행한다.
또한, 주컨트롤러(14)로부터는 반송계 컨트롤러(234)에도 데이터가 송신되고, 반송계 컨트롤러(234)는 시퀀스 프로그램을 기동하고, 이 시퀀스 프로그램에 따라서 스텝이 차례차례로 실행되고, I/O 제어부(264)를 개재하여 모터 드라이버(262), 모터 드라이버(263)에 대하여 제어 지시가 송신된다. 모터 드라이버(262, 263)는 반송계 컨트롤러(234)로부터의 지시에 따라서 모터(350), 모터(352)의 제어를 수행한다.
본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 시스템(1)에 있어서는, 예를 들면, 소정의 파일이나 커맨드마다로, 유저(작업자)의 조작 권한이 설정된다. 또한, 소정의 파일이나 커맨드마다로, 복수의 유저를 등록한 그룹의 조작 권한이 설정된다. 예를 들면, 프로세스 레시피에 대하여 소정 그룹의 조작 권한이 편집 가능하게 설정된 경우, 그 그룹에 등록된 각 유저는, 프로세스 레시피인 파일의 참조, 편집을 수행할 수 있다. 조작 권한은, 예를 들면, 관리자(마스터 유저라고도 함)에 의해 설정되고, 유저의 조작 실행 시에는, 유저명 및 해당 유저에 대응하는 패스워드가 확인된다.
이들 각 유저의 조작 권한은, 기판 처리 장치의 가동(稼動) 상태에 대응하여 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 오프라인 시에 있어서는, 예를 들면 라인 담당자 등에 의한 레시피 편집을 허가하고, 온라인 시에 있어서는, (호스트 컴퓨터 등으로부터의 지시에 의해 기판 처리 장치가 가동하기 때문에) 라인 담당자 등에 의한 레시피 편집을 금지한다. 또한, 온라인 시이며 트러블 발생 시에 있어서는, 메인터넌스 엔지니어 등에 의한 레시피의 편집을 허가하는 것이 바람직하다.
다음에, 기판 처리 장치(10)에 격납되어 있는 각 레시피에 대한 유저(작업자) 조작 권한의 설정 방법을 도 10 내지 13에 따라 설명한다.
도 10은 기판 처리 장치(10)의 주조작 장치(16)가 갖는 주표시 장치(18)에, 주파라미터 설정 화면(18b)이 표시되고, 예를 들면 관리자에 의해 조작되는 유저 설정 화면(300)을 예시하는 도이다. 이 유저 설정 화면(300)에는, 유저명, 각 유저가 속하는 그룹명 및 각 유저에 대응하는 패스워드가 표시되고, 각 항목을 편집(갱신, 수정, 입력 등)할 수 있다.
도 10에 예시하는 바와 같이, 유저 설정 화면(300)에는, 테이블 선택 표시부(302)와, 유저 설정 테이블(304)이 포함된다. 테이블 선택 표시부(302)는, 복수의 선택부(306)를 갖고, 어느 하나의 선택부(306)를 선택하면(누르면) 이 선택부(306)에 대응하는 소정 수의 유저 설정 테이블(304)이 표시되도록 되어 있다.
유저 설정 테이블(304)에는, 그룹명이라고 칭해지는 유저의 속성(屬性)을 편집하기 위한 그룹명 설정부(308), 유저명을 편집하기 위한 유저명 설정부(310) 및 각 유저명에 대응하는 패스워드를 입력하기 위한 패스워드 설정부(312)가 포함된다.
그룹명에는, 각 유저가 속하는 그룹의 명칭, 예를 들면 프로덕트(Product), 엔지니어(Engineer), 메인터넌스(Maintenance), 리커버리(Recovery) 등이 입력 또는 선택된다. 예를 들면,「프로덕트」에는 라인 담당자인 유저가 포함되고,「엔지니어」에는 프로세스 엔지니어인 유저가 포함되며, 「메인터넌스」에는 메인터넌스 엔지니어인 유저가 포함된다. 한편, 그룹명의 수는 예를 들면 10개 그룹으로 고정되어 있다. 또한, 그룹명의 수를 한정하지 않고, 그룹명의 명칭도 필요에 따라 임의로 설정되도록 해도 된다. 예를 들면, 그룹명으로서, 온라인 엔지니어나 보수(保守) 담당자 등의 명칭을 부여해도 된다.
유저명은 유저의 명칭을 나타내고, 패스워드는, 예를 들면 영어 숫자로 이루어지는 캐릭터 열(列)이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, 관리자는 유저명 입력부(310)에「유저 1(USER 1)」을 입력하며, 그룹명 입력부(308)에「프로덕트(Product)」를 입력하고, 패스워드 입력부(312)에「1」을 입력한다. 한편, 화면 표시는, 패스워드는 「*」 등으로 표시시키는 것은 말할 나위도 없다.
도 11은 기판 처리 장치(10)의 주조작 장치(16)가 갖는 주표시 장치(18)에, 주파라미터 설정 화면(18b)이 표시되고, 예를 들면 관리자에 의해 조작되는 권한 설정 화면(400)을 예시하는 도이다. 이 권한 설정 화면(400)에 있어서는, 각 레시피에 대한 유저(그룹)의 조작 권한이 설정된다.
도 11에 예시하는 바와 같이, 권한 설정 화면(400)에는, 대상(對象)의 그룹명을 선택하는 그룹 선택부(402)와, 소정의 커맨드나 복수의 레시피 등을 표시하는 일람 표시부(404)와, 이들 복수의 레시피 각각 대한 당해 그룹의 조작 권한을 입력하는 권한 입력부(406)가 포함된다. 그룹 선택부(402)에는, 상술한 유저 설정 테이블(304)에 있어서 설정된 복수의 그룹명이 표시되고, 대상의 그룹명을 선택할 수 있도록 되어 있다.
일람 표시부(404)에는, 기판 처리 장치(10)에 파일로서 격납되어 있는 복수의 레시피 등이 일람 표시되도록 되어 있다. 한편, 레시피에 국한하지 않고, 기판을 처리하기 위한 조건 등이 설정된 파일을 표시하도록 해도 된다. 일람 표시부(404)에는, 예를 들면, 프로세스 레시피, 서브 레시피 및 알람 레시피 등이 표시된다. 한편, 일람 표시부(404)는, 표시 전환 버튼(408)을 갖고, 파일의 일람을 하나의 화면에 표시할 수 없는 경우에는, 필요에 따라 전환 표시 또는 스크롤(scroll) 표시시킬 수 있도록 되어 있다.
권한 설정부(406)에는, 온라인 권한 설정부(410)와, 오프라인 권한 설정부(412)가 포함된다. 온라인 권한 설정부(410)에는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인[온라인 리모트：외부 조작 장치(30) 등으로부터의 지시에 의해 기판 처리 장치(10)가 가동하는 상태]인 경우의 각 레시피에 대한 그룹(유저)의 조작 권한이 입력(선택)되도록 되어 있다. 오프라인 권한 설정부(412)에는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 오프라인[비(非)온라인 리모트]인 경우의 각 레시피에 대한 그룹(유저)의 조작 권한이 입력(선택)되도록 되어 있다.
그룹(유저)의 조작 권한은, 각 레시피에 대하여 설정되고, 예를 들면 「금지(Inhibit)」,「참조가(參照可)(Read Only)」,「편집가(編集可)(Edit)」 및 「실행가(實行可)(Exec)」 중 어느 하나이다.
여기에서, 금지(Inhibit)란 레시피 등의 파일을 편집 및 참조를 금지하는 권한이며, 참조가(ReadOnly)란 레시피 등의 파일의 편집을 금지하고 참조를 허가하는 권한이며, 편집가(Edit)란 레시피 등의 파일을 편집 및 참조를 허가하는 권한이고, 실행가(Exec)란 레시피 등의 실행(start)을 허가하는 권한이다.
또한, 권한 설정 화면(400)에는 복수의 버튼으로 이루어지는 버튼군(群)(414)이 포함된다. 이 버튼군(414)에는, 예를 들면 편집 버튼(416), 커맨드 버튼(418) 등이 배치되어 있다. 한편, 도 11은 편집 버튼(416)이 눌러져 있을 때의 도면이다. 커맨드 버튼(418)이 눌러지면, 도시하지 않지만 일람 표시부(404)에 권한이 설정 가능한 복수의 커맨드가 표시된다. 그리고, 권한 설정 화면(400) 상에서 커맨드 버튼에 대해서도 설정할 수 있도록 되어 있다.
도 12는 권한 설정 화면(400)에 있어서, 편집 버튼(416)을 선택하고, 나아가 예를 들면 소정의 레시피에 대응하는 온라인 권한 입력부(410) 또는 오프라인 권한 입력부(412)를 선택하여, 선택 화면(420)을 새롭게 표시한 도이다. 선택 화면(420)은, 예를 들면 「금지(Inhibit)」, 「참조가(ReadOnly)」, 「편집가(Edit)」 및 캔슬(cancle) 중 어느 하나를 선택할 수 있도록 구성되어 있다.
예를 들면, 관리자는, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 편집 버튼(416)을 선택하여, 그룹명 선택부(402)에서 「Default」를 선택하고, 프로세스 레시피에 대응하는 오프라인 권한 입력부(412)를 선택하고, 선택 화면(420)에 있어서 「참조가(ReadOnly)」를 선택한다. 이에 따라, 「Default」의 그룹에 속하는 유저에 대하여, 오프라인 시에 있어서의 기판 처리 장치(10) 측에서의 프로세스 레시피의 참조를 허가하는 설정을 수행할 수 있다.
또한, 예를 들면, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 그룹명 선택부(402)에서 「엔지니어(Engineer)」 또는 「메인터넌스(Maintenance)」를 선택하고, 선택 화면(420)을 사용하여 소정의 레시피에 대응하는 온라인 권한 설정부(410)에 대하여 「편집가(Edit)」를 선택하면, 「엔지니어」또는 「메인터넌스」의 그룹에 속하는 유저에 대하여, 온라인 시에 있어서의 기판 처리 장치(10) 측에서의 소정 레시피의 참조 및 편집을 허가하는 설정을 수행할 수 있다.
또한, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 유저는, 예를 들면, 그룹명 선택부(402)에서 「프로덕트(Product)」를 선택하고, 선택 화면(420)을 개재하여 소정의 레시피에 대응하는 온라인 권한 설정부(410)에 「참조가(ReadOnly)」 또는 「금지(Inhibit)」를 선택한다. 이에 따라, 「프로덕트」의 그룹에 속하는 유저에 대하여, 온라인 시에 있어서의 기판 처리 장치(10) 측에서의 소정의 레시피의 편집을 금지하는 설정을 수행할 수 있다.
도 13은 권한 설정 화면(400)에 있어서, 커맨드 버튼(418)을 선택하고, 아울러 표시된 소정의 커맨드에 대응하는 온라인 권한 설정부(410) 또는 오프라인 권한 설정부(412)를 선택하여, 선택 화면(420)을 표시한 도이다. 선택 화면(420)에 있어서, 예를 들면 「금지(Inhibit)」, 「실행가(Exec)」 및 캔슬 중 어느 하나를 선택할 수 있도록 되어 있다. 여기에서, 「프로덕트」 그룹에 속하는 유저에 대하여, 소정의 커맨드 중 반송 커맨드를 「금지(Inhibit)」함으로써, 반송 커맨드 버튼을 표시시키지 않도록(또는 조작할 수 없도록) 할 수 있다. 예를 들면, 온라인 시에 있어서의 후프(110)의 투입 등을 유저에게 실시시키지 않도록 할 수 있다.
예를 들면, 관리자는, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 그룹명 선택부(402)에서 「Default」를 선택하고, 커맨드 버튼(418)을 선택하여, 파일 메인터넌스의 커맨드에 대응하는 오프라인 권한 설정부(412)를 선택하고, 선택 화면(420)에 있어서 「실행가(Exec)」를 선택한다. 이에 따라, 「Default」의 그룹에 속하는 유저에 대하여, 오프라인 시에 있어서의 기판 처리 장치(10) 측에서의 파일 메인터넌스의 실행을 허가하는 설정을 수행할 수 있다. 이 경우, 파일 메인터넌스를 실행하기 위한 커맨드 버튼이 화면에 표시된다.
한편, 여기에서 파일 메인터넌스란, 기판 처리 장치(10)에서 취급하는 파일의 메인터넌스 작업을 수행하기 위한 기능이다. 파일 메인터넌스에는, 하드 디스크 내부와 USB 플래시 메모리 등의 외부 기억 미디어와의 사이의 파일 복사나 시스템에 설정되어 있는 파일의 백업(backup) 등이 포함된다.
이상과 같이, 권한 설정 화면(400)은, ROM(250) 또는 RAM(251)에 기억된 소정의 파일이나 커맨드에 대한 유저(작업자)의 조작 권한을 설정하는 주파라미터 설정 화면(18b)의 하나로서 사용되고 있다.
도 14는 기판 처리 장치(10)의 주조작 장치(16)가 갖는 주표시 장치(18)에 주조작 화면(18a)으로서 표시되고, 예를 들면 유저(작업자)에 의해 조작되는 메인 화면(500)을 예시하는 도이다.
도 14에 나타내는 바와 같이, 메인 화면(500)에는, 로그인 버튼(502), 편집 버튼(504) 및 레시피나 기판을 처리하기 위한 여러 조건(예를 들면 온도 조건, 압력 조건 등)을 표시하는 조건 표시부(506a~506g)가 포함된다.
로그인 화면(600)은 로그인 버튼(502)을 선택함으로써(누름으로써) 메인 화면(500) 상에 표시된다. 로그인 화면(600)에는, 유저명을 입력하기 위한 유저명 입력부(602)와, 이 유저명에 대응하는 패스워드를 입력하기 위한 패스워드 입력부(604)와, 로그인을 실행하기 위한 로그인 버튼(606)과, 로그인을 캔슬하기 위한 캔슬 버튼(608)이 포함된다. 유저는 로그인 화면(600)에 있어서, 유저명 입력부(602)에 유저명을 입력하고, 패스워드 입력부(604)에 패스워드를 입력하여, 로그인 버튼(606)을 누름으로써 로그인을 수행한다.
로그인 후에 메인 화면(500)의 편집 버튼(504)을 선택하면, 후술하는 편집 메뉴 화면(700)이 표시된다.
도 15는 기판 처리 장치(10)의 주조작 장치(16)가 갖는 주표시 장치(18)에, 주조작 화면(18a)으로서 표시되고, 예를 들면 유저(작업자)에 의해 조작되는 편집 메뉴 화면(700)을 예시하는 도이다.
편집 메뉴 화면(700)에는, 예를 들면 레시피 선택부(702), 온도 설정 선택부(704) 및 압력 설정 선택부(706) 등이 포함된다. 레시피 선택부(702)에는, 예를 들면 프로세스 레시피 선택 버튼(710), 서브 레시피 선택부(712) 및 알람(alarm) 레시피 선택부(714) 등이 표시되어 있다. 프로세스 레시피 선택 버튼(710), 서브 레시피 선택부(712) 및 알람 레시피 선택부(714) 등은, 상술한 권한 설정 화면(400)의 권한 입력부(406)에 있어서, 「참조가(ReadOnly)」, 「편집가(Edit)」 및 「실행가(Exec)」가 선택되어 있는 경우에 표시되도록 되어 있다. 즉, ROM(250) 또는 RAM(251)에 기억되어 있는 복수의 레시피 중, 권한 입력부(406)에 있어서 「금지(Inhibit)」가 선택되어 있는 레시피는 편집 메뉴 화면(700) 상에 표시되지 않도록 되어 있다.
상술한 편집 메뉴 화면(700)에 있어서 프로세스 레시피 선택 버튼(710)을 누르면(선택하면) 도시하지 않은 레시피 편집 메뉴 화면이 표시된다.
레시피 편집 메뉴 화면에는, 예를 들면 프로세스 레시피 버튼, 베어리어블(variable) 파라미터 버튼 및 레시피 데이터 범위 체크 파라미터 버튼 등이 표시된다.
상술한 레시피 편집 메뉴 화면에 있어서 프로세스 레시피 버튼을 선택하면 도시하지 않은 프로세스 레시피 일람 화면이 표시된다.
프로세스 레시피 일람 표시 화면은, 프로세스 레시피에 관한 복수 레시피의 일람을 표시하고, 각각의 레시피에 대한 파일명(레시피명), 편집 일시, 편집자 및 코멘트 등 속성을 표시한다. 이 프로세스 레시피 일람 표시 화면에는, 예를 들면, 편집자 ABC에 의해 편집된 파일 AAA, 편집자 EFG에 의해 편집된 파일 BBB 등이 표시되어 있다. 이 프로세스 레시피 일람 표시 화면에 표시된 파일명을 선택하면 이 파일에 대응한 레시피 편집 화면(900, 도 16을 사용하여 후술함)이 표시되도록 되어 있다.
도 16은 기판 처리 장치(10)의 주조작 장치(16)가 갖는 주표시 장치(18)에, 주조작 화면(18a)이 표시되고, 예를 들면 유저(작업자)에 의해 조작되는 레시피 편집 화면(900)을 예시하는 도이다. 이 레시피 편집 화면(900)은, 상술한 프로세스 레시피 일람 표시 화면에 표시된 소정의 파일명(레시피명)을 선택하면 표시된다. 이 레시피 편집 화면(900)에 있어서는, 소정의 레시피의 상세 내용이 표시되고, 또한, 소정의 레시피의 편집(갱신) 등의 지시가 입력되도록 되어 있다. 본 도면에 있어서는, 상술한 프로세스 레시피 일람 표시 화면(850)에 있어서 레시피명 AAA가 선택된 상태를 나타내고 있다.
도 16에 나타내는 바와 같이, 레시피 편집 화면(900)에는, 레시피명 표시부(902), 저장 버튼(904) 및 레시피나 기판을 처리하기 위한 여러 조건을 편집하는 복수 입력부, 예를 들면, 반응 가스 등의 유량을 설정하는 유량 조건 입력부(906), 노내(爐內) 온도 등을 설정하는 온도 조건 입력부(908), 노내 압력 등을 설정하는 압력 조건 입력부(910), 레시피의 각 스텝을 설정하는 스텝 입력부(912) 등이 포함된다. 유저는 레시피 편집 화면(900)에 있어서, 레시피명 표시부(902)에 표시된 레시피(예를 들면 레시피 AAA)에 있어서의 각 조건이나 커맨드 등을 각 입력부에 입력하고, 저장 버튼(904)을 누름으로써, 이 레시피를 갱신한다.
이상과 같이, 주조작 장치(16)가 갖는 주표시 장치(18)에는, 유저 설정 화면(300), 권한 설정 화면(400), 메인 화면(500), 로그인 화면(600), 편집 메뉴 화면(700), 레시피 편집 화면(900) 등이 표시된다. 이들 여러 가지의 화면을 사용하여, 기판 처리 시스템(1)의 조작이 이루어짐과 함께, 유저(조작자)가 소속하는 그룹이 설정되는 그룹 파라미터나, 유저가 소속하는 그룹에 대응하여 정해지는 여러 가지의 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터의 설정이 이루어진다.
이와 마찬가지로, 부조작 장치(50)가 갖는 부표시 장치(52)나, 외부 조작 장치(30)의 외부 표시 장치(32)에도, 유저가 소속하는 그룹에 대응하여 정해지는 여러 가지의 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터의 설정이 이루어진다.
여기에서, 외부 조작 장치(30)는 기판 처리 장치(10)로부터 이간한 위치에 배치된다. 그래서, 기판 처리 장치(10)나 기판 처리 장치(10)의 주위의 상황을 확인할 수 없는 경우도 있다. 따라서, 외부 조작 장치(30)로부터, 주조작 장치(18)나 부조작 장치(50)와 동일한 조작을 할 수 있도록 하면, 기판 처리에 지장을 초래하거나 위험이 생길 우려가 있다.
그래서, 이 기판 처리 시스템(1)에 있어서, 외부 조작 장치(30)로부터의 조작에 대하여, 주조작 장치(16) 및 부조작 장치(50)와는 별도로, 특별히 제한이 두어져 있다.
즉, 외부 조작 장치(30)의 조작에 있어서, 주조작 장치(18)와 부조작 장치(50)로부터의 조작에서 사용되는 권한 파라미터에 의한 조작의 제한에 더하여, 기능 제한 파라미터를 사용하여 제한이 가해진다. 기능 제한 파라미터는 외부 표시 장치(32)에 표시되는 기능 제한 설정 화면(후술하는 도 17)을 사용하여 설정이 이루어진다.
여기에서, 외부 조작 장치(30)로 이루어지는 조작에 제한을 가하기 위하여, 상술한 권한 파라미터와 기능 제한 파라미터의 논리곱이 산출되고, 그 산출 결과에 의해 가능한 조작의 권한이 정해진다.
상술한 권한 파라미터는, 「금지(Inhibit)」, 「참조가(ReadOnly)」, 「편집가(Edit)」에 대해서, 각각의 유저, 또는 유저가 속하는 그룹에 대응하여,
금지(Inhibit)　：0×00
참조가(ReadOnly)　：0×01
편집가(Edit)　：0×02
로 값이 정해져 있다.
또한, 기능 제한 파라미터에 대해서는, 「금지(Inhibit)」, 「참조가(ReadOnly)」, 「편집가(Edit)」, 「참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)」에 대해서,
금지(Inhibit)　：0×00
참조가(ReadOnly)　：0×01
편집가(Edit)　：0×02
참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)　：0×03
으로 값이 정해져 있다.
그리고, 이들의 권한 파라미터의 값과, 기능 제한 파라미터의 값과의 논리곱이 주컨트롤러(14)에 의해 산출되고, 그 값에 대응하여 외부 조작 장치(30)로부터 이루어지는 조작에 제한이 가해진다. 도 19에, 권한 파라미터의 값과 기능 제한 파라미터의 값과의 논리곱을 나타낸다. 도 19에서, 유저 권한이란, 로그인한 유저에 대한 권한 파라미터이다.
도 17에는, 외부 조작 장치(30)의 외부 표시 장치(32)에 표시되는 기능 제한 설정 화면(950)의 일례로서, 메인터넌스의 그룹에 속하는 유저로서 로그인했을 때의 화면이 나타나 있다. 기능 제한 파라미터는, 기능 제한 설정 화면(950)을 사용하여 설정이 이루어짐과 함께, 설정이 이루어진 기능 제한 파라미터가 기능 제한 화면(950)에 표시된다.
도 17에 나타내는 바와 같이, 예시되는 기능 제한 설정 화면(950)에는, 온라인 기능 제한 설정부(954)와, 오프라인(비온라인) 기능 제한 설정부(952)가 포함된다. 온라인 기능 제한 설정부(954)에는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인인 경우의 각 기능을 제한하는 파라미터가 입력되도록 되어 있다. 또한, 오프라인 기능 제한 설정부(952)에는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 오프라인인 경우의 각 기능을 제한하는 파라미터가 입력되도록 되어 있다.
기능 제한 파라미터는, 각 기능에 대하여 설정되고, 상술한 바와 같이 「금지(Inhibit)」, 「참조가(ReadOnly)」, 「편집가(Edit)」 및 「참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)」중 어느 하나이다. 「금지(Inhibit)」라면 0이, 「참조가(ReadOnly)」라면 1이, 「편집가(Edit)」라면 2가, 「참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)」라면 3이, 오프라인 기능 제한 설정부(952)와 온라인 기능 제한 설정부(954)에 각각 표시된다.
외부 조작 장치(30)로 이루어지는 조작의 제한에 대해서, 보다 구체적으로 설명한다.
예를 들면, 외부 조작 장치(30)에 메인터넌스의 그룹에 속하는 유저로서 로그인한 경우의, 프로세스 레시피 편집에 가해지는 제한은, 메인터넌스의 그룹의 권한이 「참조가(ReadOnly)」이다. 도 17에 번호 956으로 나타내는 바와 같이 프로세스 레시피 편집의 제한이 「참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)」이기 때문에, 유저의 조작 권한은, 양자(兩者)의 값 「0×01」과 「0×03」의 논리곱 「0×01」으로 정해지고, 「참조가(ReadOnly)」가 된다.
또한, 예를 들면, 도 17에 번호 958로 나타내는 바와 같이, 알람 조건 편집의 제한은, 「금지(Inhibit)」로서, 그 값은 「0×00」이다. 이 때문에, 어떠한 그룹에 속하는 유저로서 로그인하더라도, 그 그룹의 권한의 값과의 논리곱이 항상 「0×00」이 되고, 속하는 유저 그룹에 관계없이, 외부 조작 장치(30)로부터의 조작은, 「금지(Inhibit)」로 된다.
또한, 외부 조작 장치(30)에 메인터넌스의 그룹에 속하는 유저로서 로그인하고, 메인터넌스의 그룹의 권한이 「편집가(Edit)」이며, 기능 제한이 「참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)」인 조작 A가 있다고 가정(假定)한다. 이 경우, 조작 A에 가해지는 제한은, 유저가 속하는 그룹의 권한 파라미터의 값 「0×02」와, 기능 제한 파라미터의 값 「0×03」과의 논리곱이 「0×02」이기 때문에, 「편집가(Edit)」가 된다.
다음에, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(1)의 제어 처리를 설명한다.
도 18은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 시스템(1)에 의한 제어 처리로서, 특히 외부 조작 장치(30)로부터 조작이 이루어질 때의 제어 처리를 나타내는 플로우 차트(flow chart)이다.
도 18에 나타내는 바와 같이, 스텝 S100에 있어서, 주컨트롤러(14)는 외부 표시 장치(32)로부터 입력되는 유저명과, 이 유저명에 대응하는 패스워드를 받아들임과 함께, 그 유저가 어느 한 유저 그룹에 속하는지의 검색 처리를 수행한다.
다음의 스텝 S102에서, 주컨트롤러(14)는 스텝 S100에서 검색된 유저 그룹이 존재하는지의 여부를 판별한다. 구체적으로는, 스텝 S100에서 검색된 유저 그룹이, 예를 들면, ROM(250) 또는 RAM(251) 등에 격납된 것과 동일한지를 판정하고, 동일하다는 판별이 이루어진 경우에는, 다음의 스텝 S104의 처리로 이행(移行)한다. 한편, 동일하지 않다는 판별이 이루어진 경우, 스텝 S116으로 이행한다.
스텝 S104에서는, 스텝 S102에서 존재한다고 판별된 유저 그룹의 권한이 설정된다. 구체적으로는, 주컨트롤러(14)는 외부 표시 장치(32)로부터 입력된 유저명이 속하는 유저 그룹에 대하여, 예를 들면 ROM(250) 또는 RAM(251) 등에 기억된 권한을 설정한다. 이 때, 권한의 설정은, 해당하는 유저 그룹에 대하여 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인 시 또는 오프라인 시인 경우 각각에 있어서의 각 레시피에 대한 유저의 조작 권한을 설정한다.
또한, 스텝 S104에 있어서의 권한의 설정은, 상술한 바와 같이, 값 「0×00」을 취하는 「금지(Inhibit)」, 값 「0×01」을 취하는 「참조가(ReadOnly)」, 값 「0×02」를 취하는 「편집가(Edit)」 중 어느 하나에 셋팅된다.
다음의 스텝 S106에서는, 외부 조작 장치(30)로부터 조작이 이루어질 때에 독자(獨自)적인 처리로서, 조작 권한의 제한이 이루어진다. 구체적으로는, 주컨트롤러(14)는 외부 표시 장치(32)에 표시되는 기능 제한 설정 화면(950)으로부터 입력된 조작에 대하여, 예를 들면, ROM(250) 또는 RAM(251) 등에 기억된 기능 제한 파라미터의 설정을 수행한다.
스텝 S106에 있어서의 기능 제한 파라미터의 설정은, 상술한 바와 같이 값 「0×00」을 취하는 「금지(Inhibit)」, 값 「0×01」을 취하는 「참조가(ReadOnly)」, 값 「0×02」를 취하는 「편집가(Edit)」, 값 「0×03」을 취하는 「참조가·편집가(ReadOnly ＆ Edit)」중 어느 하나로 이루어진다.
다음의 스텝 S108에서는, 스텝 S104에서 설정된 권한 파라미터의 값과, 스텝 S106에서 설정된 기능 제한 파라미터의 값과의 논리곱이, 주컨트롤러(14)에 의해 산출된다.
스텝 S110, 스텝 S112 및 스텝 S114에서는, 스텝 S108에서 산출된 논리곱으로부터, 값 「0×00」을 취하는 「금지(Inhibit)」인지, 값 「0×01」을 취하는 「참조가(ReadOnly)」인지, 값 「0×02」를 취하는 「편집가(Edit)」인지의 판별이 이루어진다. 「금지(Inhibit)」라는 판별이 이루어진 경우는 스텝 S116으로 진행하고, 「참조가(ReadOnly)」라는 판별이 이루어진 경우는 스텝 S118로 진행하며, 「편집가(Edit)」라는 판별이 이루어진 경우는 스텝 S120으로 진행한다.
스텝 S116에서는, 주컨트롤러(14)는 외부 표시 장치(32)에, 「금지(Inhibit)」로 제한된 조작에 대응한 화면을 표시시킨다. 구체적으로는, 예를 들면, 외부 표시 장치(32)에 유저 설정 화면(300)에 상당하는 화면을 표시한 그대로의 상태로서, 레시피 등의 파일을 편집 및 참조를 할 수 없도록 한다.
스텝 S118에서는, 주컨트롤러(14)는 외부 표시 장치(32)에, 「참조가(ReadOnly)」로 제한된 조작에 대응한 화면을 표시시킨다. 구체적으로는, 예를 들면 외부 표시 장치(32)에 메인 화면(500)의 상당하는 화면을 표시하고, 레시피나 기판을 처리하기 위한 여러 조건(예를 들면 온도 조건, 압력 조건 등)을, 조작자가 참조할 수 있도록 한다.
스텝 S120에서는, 주컨트롤러(14)는 외부 표시 장치(32)에, 「편집가(Edit)」로 제한된 조작에 대응한 화면을 표시시킨다. 구체적으로는, 예를 들면 외부 표시 장치(32)에, 레시피 편집 화면(900)을 표시시키고, 당해 유저가 프로세스 레시피의 편집(갱신)을 할 수 있도록 한다.
이상과 같이, 외부 조작 장치(30)로부터의 조작이, 기능 제한 파라미터를 설정함으로써 제한되기 때문에, 생산에 지장을 초래할 우려가 있는 조작이나, 예를 들면, 기판 처리 장치(10)의 상태를 직접 눈으로 확인할 수 없는 위치에서 수행하면 위험을 일으킬 우려가 있는 조작 등을, 외부 조작 장치(30)로부터 수행할 수 없도록 할 수 있다.
또한, 본 실시의 형태에 있어서는, 로그인하는 유저가 속하는 그룹을 검색하는 방법에 대해서 설명했는데, 이 형태에 국한되지 않는다. 외부 조작 장치(30)에 대해서, 로그인하는 유저가 정해져 있는 경우는, 로그인하는 유저 ID와 패스워드를 미리 정해 두고, 이 외부 조작 장치(30)로부터의 조작으로 고정적인 로그인 정보(유저 ID, 패스워드)를 입력했을 때에, 주컨트롤러(14)가 외부 조작 장치(30)로부터 로그인되었다는 판단을 해도 된다. 다만, 이 경우, 유저 ID나 패스워드를 포함하는 유저 정보는, 파라미터로서 주컨트롤러(14)의 기억 수단에 미리 기억시켜 둘 필요가 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 주표시 장치(18), 부표시 장치(52) 및 외부 표시 장치(32)에 각각 다른 표시를 시킬 수 있고, 주표시 장치(18)에 표시되는 주조작 화면(18a), 부표시 장치(52)에 표시되는 부조작 화면(52a) 및 외부 표시 장치(32)에 표시되는 외부 조작 화면(32a)으로부터, 기판 처리 장치(10) 등에, 각각 다른 조작을 시킬 수 있다.
또한, 후술하는 실시예와 같이, 각 장치에서 다른 표시를 시킴과 함께 다른 조작을 실시할 수 있기 때문에, 여러 가지의 운용이 가능하게 된다. 예를 들면, 각 장치에서 다른 조작을 병행하여 셋업(setup) 작업을 진행할 수 있기 때문에, 셋업에 소요되는 시간을 단축할 수 있다. 조작으로서, 부표시 제어부(242)에서는, JOB의 작성이나 프로세스의 진척 상황의 확인이 실시되고, 주표시 제어부(240)에서는, 파라미터 편집이나 참조, 생산이나 장해의 상태, 트레이스 로깅(trace logging)의 확인, 외부 표시 제어부(244)에서는, 파라미터 참조, 생산이나 장해의 상태, 트레이스 로깅의 확인이 실시된다.
특히, 외부 표시 제어부(244)를 사용함으로써, 클린 룸 내에 극력(極力) 들어가지 않고도 조작이 가능하게 되기 때문에, 작업 효율이 향상할 뿐 아니라, 클린 룸 내의 무인화(無人化)에 공헌할 수 있다. 또한, 외부 표시 제어부(244)와 주표시 제어부(240)는, 화면 구성을 극력 동일하게 하고 있기 때문에, 클린 룸 내와 동일한 조작을 할 수 있어, 조작성이 향상한다.
도 20에 각 조작 장치에서 가능한 조작을 나타낸다. 한편, 조작에는, 캐리어의 반입/반출, JOB 작성, 레시피 작성, 파라미터 작성, 테이블 작성, 로그 데이터 참조, 장치 상태 참조, 생산 정보 참조, 장해 정보 참조, 트레이스 데이터 참조, 파일 메인터넌스, 리모트 커맨드 등을 들 수 있다. 기본적으로는, 상기의 조작이 각 표시 제어부에서 동시에 조작 가능하게 된다. 그에 따라, 조작성의 향상이나 작업 효율의 향상 등의 작용 효과를 얻을 수 있다. 여기에서, 장치 정보란, 이재기(移載機)의 상태, JOB의 진행 상태, 프로세스의 상태(온도, 압력, MFC 등의 상태) 등으로서, 파일 메인터넌스란, HD(하드 디스크)로부터 HD로의 파일의 복사/이동, HD로부터 외부 기억 매체인 USB 메모리로의 파일의 복사/이동, USB 메모리로부터 HD로의 파일의 복사/이동, 시스템 파일의 백업/리스토어(restore) 등이다. 리모트 커맨드란, 보트 로드/언로드 등의 이재기 관련 커맨드, PM(프로세스 모듈)의 상태를 변경하는 커맨드, 시스템 상태를 변경하는 커맨드를 나타낸다.
<실시예 1>
다음에 본 발명의 실시예를 설명한다.
본 발명의 실시예 1에 있어서는, 부표시 제어부(242)에서 반송계의 티칭(teaching)을 실시함과 함께 다른 각 표시 제어부(240, 242)에서 파일의 참조 작업을 실시할 수 있다. 따라서, 데이터의 해석과 티칭 작업이 병행하여 실시되기 때문에 작업 효율이 향상하고, 셋업에 소요되는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 기판의 처리에 지장을 초래하지 않는 처리인 경우라면, 외부 표시 제어부(244)에서의 장치에 발생한 이상(異常)의 해석과, 반송계의 셋업을 병행하여 실시할 수 있다. 여기에서, 해석이란, 예를 들면, 장해가 발생하여 이상 정지한 생산 정보 파일을 참조하고, 조작 화면 상에서 화면을 전환하면서 여러 가지의 파일을 참조하여, 장해 발생 요인을 밝혀내는 처리라고 정의한다. 또한, 생산에 지장을 초래하지 않는 처리란, 주로 모니터계의 화면의 조작이다. 예시하면, 시스템 메인 화면과 PM 메인 화면으로부터 천이(遷移) 가능한 화면에서, 반송, 작업(JOB), 레시피 진척, 가스 유량, 온도, 압력, 특수 시퀀스 등의 모니터 화면이나 장해 정보, 생산 정보 등의 이력 정보, 기타 트랜드(trend)/트레이스(trace) 화면 등을 들 수 있다.
<실시예 2>
실시예 2에서는, 로그인한 오퍼레이터가, 레시피(파일)를 편집하는 권한을 갖는 레벨이라면, 부표시 제어부(242)에서 반송계의 티칭을 실시함과 함께 다른 각 표시 제어부(240, 242)에서 파일의 편집 작업을 실시할 수 있다. 따라서, 레시피의 편집과 티칭 작업이 병행하여 실시되기 때문에 작업 효율이 향상하고, 셋업에 소요되는 시간을 단축할 수 있다. 다만, 티칭 중이기 때문에, 메인터넌스용이나 조정용의 레시피 및 파라미터류의 편집이다. 조정용의 레시피를 실행하고, 처리 결과를 수정하기 위하여 다음의 조정용의 레시피를 실행하기 전에, 티칭을 다시 실시하고 레시피의 수정 작업을 병행하여 실시할 수 있다. 따라서, 몇 번이고 반복하여, 조정용의 레시피를 실행하지 않을 수 없는 경우, 티칭과 레시피 편집과의 병행 실시에 의해, 결과적으로 셋업에 걸리는 시간을 억제할 수 있다.
<실시예 3>
실시예 3에서는, 실시예 2와 동일하게 로그인한 오퍼레이터의 조작 레벨이 높은 경우, 다른 레시피라면, 각 제어 표시부에서 동시에 레시피를 작성할 수 있다. 따라서, 외부 표시 제어부(244)에서 레시피를 작성할 수 있기 때문에 클린 룸 내에 들어오지 않고도 조작이 가능하게 되어 작업 효율이 향상한다.
<실시예 4>
실시예 4에서는, 실시예 2와 동일하게 로그인한 오퍼레이터의 조작 레벨이 높은 경우, 부표시 제어부(242)에서 프로세스의 진척 상황의 확인과, 주표시 제어부(240)에서의 파라미터의 편집과, 외부 표시 제어부(244)에서의 장해 정보의 참조를 동시에 실시할 수 있다.
<실시예 5>
실시예 5에서는, 외부 표시 제어부(244)에서 프로세스의 진척 상황을 확인하면서, 주표시 제어부(240)에서 반송계의 상태를 참조할 수 있다. 또는, 반대로, 외부 표시 제어부(244)에서 반송계 상태를 참조하면서, 주표시 제어부(240)에서 프로세스의 진척 상황을 확인할 수 있다. 이와 같이, 각 조작 장치에서 다른 조작을 수행할 수 있기 때문에, 예를 들면, 반송계에서 이상(異常)이 발생하더라도 신속하게 대응이 가능하다.
<실시예 6>
실시예 6에서는, 부표시 제어부(242)에서 프로세스의 진척 상황을 확인하면서, 외부 표시 제어부(244)에서 파라미터의 편집이나 참조, 생산이나 장해의 상태를 참조할 수 있다. 이에 따라, 레시피 실행 중에 클린 룸 외부에서 생산이나 장해 등의 이력 정보의 해석을 실시할 수 있으며, 그 해석 결과에 따라서 파라미터의 수정을 수행할 수 있다. 따라서, 레시피의 진척 상황을 확인하면서, 다음 레시피의 편집을 수행할 수 있다. 특히 셋업 시에는, 조정용의 레시피를 반복하여 실행할 필요가 있다. 이전(以前)의 레시피를 실행하고 있을 때에 해석을 수행함으로써, 이전의 레시피가 종료되더라도 다음의 레시피를 곧바로 실행할 수 있어, 결과적으로 셋업에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
<실시예 7>
실시예 7에서는, 부표시 제어부(242)에서의 조작에 대해서도, 외부 표시 제어부(244)에서의 조작과 마찬가지로 기능 제한 파라미터에 의한 조작 제한을 가할 수 있다. 이에 따라, 부표시 제어부(242)에서 메인터넌스 작업을 실시하는 경우, 주표시 제어부(240)에서의 잘못된 레시피의 편집을 억제할 수 있다. 특히, 외부 표시 제어부(244) 측에서 셋업이나 메인터넌스 시에, 조정용의 레시피를 복수 회 실행하기 위하여 레시피를 편집하는 작업, 반송계의 재(再) 티칭 등을 수행하고 소정의 파라미터로 설정하는 작업 등이 필요한 경우라도, 주표시 제어부(240) 측에서 불필요한 레시피 편집을 수행하는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 기본적인 조작(파라미터 참조, 장치 정보 참조, 트레이스 데이터 참조 등의 참조 조작)만을 가능하게 하고, 레시피 편집, 파라미터 편집, 파일 메인터넌스, 리모트 커맨드 등의 편집 조작이나 장치 상태를 변경하는 조작 등을 할 수 없도록 하여, 장치의 안전성을 향상시키는 것도 가능하다.
<실시예 8>
실시예 8에서는, 실시예 2와 동일하게 로그인한 오퍼레이터의 조작 레벨이 높더라도, 로그인을 하고 있지 않은 오퍼레이터의 권한을 변경할 수 있도록 한다. 그렇게 하면, 로그인하고 있지 않은 오퍼레이터에게는, 리모트 커맨드나 파일 편집을 실시시키지 않고, 정보(파일) 참조만 실시시킬 수 있다. 구체적으로는, 각 표시 제어부 중, 어딘가의 표시 제어부에서 로그인하고 있으면 다른 표시 제어부로부터는 로그인시키지 않고, 기본적인 조작(파라미터 참조, 장치 정보 참조, 트레이스 데이터 참조 등의 참조 조작) 만이 가능하게 하고, 레시피 편집, 파라미터 편집, 파일 메인터넌스, 리모트 커맨드 등의 편집 조작이나 장치 상태를 변경하는 조작 등을 할 수 없도록 한다. 이에 따라, 장치의 안전성을 향상시키는 것도 가능하다.
한편, 로그인한 오퍼레이터의 조작 레벨이 낮은 경우, 상기한 메인터넌스용이나 조정용의 레시피는 참조밖에 할 수 없는 경우가 있기 때문에 주의가 필요하다. 그 때는, 한 번 로그인한 오퍼레이터가 로그아웃을 수행하여, 조작 레벨이 높은 오퍼레이터가 로그인해 줄 필요가 있다. 또한, 로그인한 조작 레벨이 높은 오퍼레이터가 외부 표시 제어부(244)로부터 로그인한 경우, 기능 제한 파라미터에 의한 제한을 받아 기본적인 조작(파라미터 참조, 장치 정보 참조, 트레이스 데이터 참조 등의 참조 조작)만 가능한 경우라도, 로그인하고 있지 않은 다른 오퍼레이터는, 주표시 제어부(240)에서 레시피 편집, 파라미터 편집, 파일 메인터넌스, 리모트 커맨드 등의 편집 조작을 실시할 수 있다.
즉, 로그인하고 있지 않은 오퍼레이터는, 부표시 제어부(242)를 조작하기 때문에, 디폴트 유저(로그인하고 있지 않은 유저)의 조작 권한만으로 레시피 편집이 가능한지의 여부가 결정(決定)되고, 디폴트 유저의 권한이 2(Edit)인 경우는 레시피 편집이 가능하게 되며, 1(Read Only)인 경우는 레시피가 참조 가능하게 되고, 0(Inhibit)인 경우는 참조 불가능하게 된다. 본 실시의 형태에서는, 오퍼레이터가, 어딘가의 조작부에서 로그인하고 있는지의 여부에 관계없이, 어디까지나 주표시 조작부(240)와 부표시 제어부(242)에 대해서는, 로그인하는 유저 권한만으로 결정되며, 외부 표시 제어부(244)에 대해서는 로그인하는 유저 권한과 기능 제한 파라미터의 논리곱으로 결정한다.
한편, 본 발명은, 기판 처리 장치로서, 반도체 제조 장치 뿐 아니라 LCD 장치와 같은 유리 기판을 처리하는 장치에서도 적용할 수 있다. 성막 처리에는, 예를 들면 CVD, PVD, 산화막, 질화막을 형성하는 처리, 금속을 포함하는 막을 형성하는 처리 등을 포함한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 종형(縱型) 처리 장치에 대해서 기재했는데, 매엽(枚葉) 장치에 대해서도 동일하게 적용할 수 있으며, 나아가, 노광(露光) 장치, 리소그래피(lithography) 장치, 도포(塗布) 장치 등에도 동일하게 적용할 수 있다.
본 발명은 특허 청구 범위에 기재한 사항을 특징으로 하는데, 추가로 다음에 부기한 사항도 포함된다.
<부기 1>
기판을 처리하는 기판 처리 기구와,
적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단과,
상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저 정보(유저 ID, 패스워드)가 기억되는 기억 수단과,
유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 상기 기억 수단에 기억된 유저 정보를 대조하여, 이 유저의 조작 레벨(조작 권한)에 대응한 조작 화면을 표시시키는 표시부,
를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
<부기 2>
기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 파일과,
상기 파일을 실행하는 유저의 유저 정보가 기억되는 기억 수단과,
상기 파일을 실행함으로써 소정의 처리를 실시하도록 제어하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 접속되고, 적어도 상기 파일을 실행하기 위한 조작 화면이 표시되는 주표시부
를 포함하고,
상기 주표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 상기 기억 수단에 기억된 유저 정보를 대조하여, 상기 주표시부에, 이 유저의 조작 레벨(조작 권한)에 대응한 조작 화면을 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
<부기 3>
기판을 처리하는 순서가 기재된 레시피를 포함하는 파일과,
상기 파일을 실행하는 유저의 유저 정보(유저 ID, 패스워드)가 기억되는 기억 수단과,
상기 파일을 실행함으로써 소정의 처리를 실시하도록 제어하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 접속되고, 적어도 상기 파일을 실행하기 위한 조작 화면이 표시되는 주표시부
를 포함하고,
상기 제어 수단으로부터 이간한 위치에 배치 가능하고, 적어도 상기 파일을 실행하기 위한 조작 화면이 표시되는 외부 표시부와 통신 네트워크를 개재하여 접속 가능하며, 유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 상기 기억 수단에 기억된 유저 정보를 대조하여, 이 유저의 조작 레벨(조작 권한)에 대응한 조작 화면을 표시시키고, 상기 주조작 화면 및 상기 외부 조작 화면에 표시되는 표시 화면을, 각각 다른 표시로 하는 것이 가능함을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
<부기 4>
기판을 처리하는 순서가 기재된 레시피를 포함하는 파일과,
상기 파일을 실행하는 유저의 유저 정보(유저 ID, 패스워드)와, 이 유저가 조작하는 기능을 제한하는 기능 제한 파라미터를 기억하는 기억 수단과,
상기 파일을 실행함으로써 소정의 처리를 실시하도록 제어하는 제어 수단과,
상기 제어 수단에 접속되고, 적어도 상기 파일을 실행하기 위한 조작 화면이 표시되는 주표시부,
를 포함하고,
상기 제어 수단으로부터 이간한 위치에 배치되고, 적어도 상기 파일을 실행하기 위한 조작 화면이 표시되는 외부 표시부가 접속 가능하며,
상기 외부 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 상기 기억 수단에 기억된 유저 정보를 대조하여, 상기 외부 표시부에, 상기 조작 화면으로서 이 유저의 조작 레벨(조작 권한)에 대응한 조작 화면을 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
본 발명은, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판을 처리하는 기판 처리 시스템, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 적용할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판 처리 장치의 주조작부나 기판 처리 장치 근방에 접속된 외부 조작부와, 기판 처리 장치로부터 이간한 위치에 배치된 외부 조작부에서 각각 다른 표시나, 다른 조작이 가능하게 된다. 이에 따라, 유저가 원하는 여러 가지의 운용이 가능하기 때문에, 조작성이 향상한다. 또한, 조작 상, 생산에 지장을 초래하는 조작[프로세스 레시피(recipe) 등의 레시피 편집이나 알람 등의 설정 등]을 외부 조작부로부터 실행할 수 없도록 제어할 수 있기 때문에 안전성이 향상한다. 한편, 생산에 지장을 초래하지 않는 조작은 고객의 오피스에 있는 외부 조작부로부터도 조작할 수 있기 때문에 편리성이 향상한다. 이에 따라, 유저가 청정복(淸淨服)으로 갈아입고 클린 룸(clean room) 내의 기판 처리 장치의 조작부를 조작하는 수고를 덜 수 있다.
<도면 주요 부호의 설명>
1 : 기판 처리 시스템 10 : 기판 처리 장치
14 : 주컨트롤러 16 : 주조작 장치
18 : 주표시 장치 30 : 외부 조작 장치
32 : 외부 표시 장치 50 : 부조작 장치
52 : 부표시 장치 200 : 웨이퍼
202 : 처리실 240 : 주표시 제어부
242 : 부표시 제어부 244 : 외부 표시 제어부
300 : 유저 설정 화면 400 : 권한 설정 화면
420 : 선택 화면 500 : 메인 화면
600 : 로그인 화면 700 : 편집 메뉴 화면
900 : 레시피 편집 화면

Claims (12)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단;
    상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저가 소속하는 그룹을 설정하는 그룹 파라미터와, 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응하여 미리 설정된 여러 가지의 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터와, 상기 유저가 조작하는 기능을 제한하는 기능 제한 파라미터를 기억하는 기억 수단;
    상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부; 및
    상기 기판 처리 기구로부터 이간(離間)한 위치에 배치되고, 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부;를 포함하고,
    상기 제어 수단은,
    상기 제1 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 그 로그인 정보와, 상기 기억 수단에 기억된 그룹 파라미터를 대조하여, 상기 제1 표시부에, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응한 조작 화면을 표시시키고,
    상기 제2 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 기억수단에 미리 설정된 상기 기능 제한 파라미터와 상기 유저가 소속하는 그룹에 대응한 상기 권한 파라미터를 비교하여 일치한 조작 권한에 맞는 조작 화면을 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부에 다른 표시를 시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 표시부에서 입력 조작이 이루어지고 있는 경우 상기 제2 표시부에서의 입력 조작을 금지시키고, 상기 제2 표시부에서 입력 조작이 이루어지고 있는 경우 상기 제1 표시부에서의 입력 조작을 금지시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  4. 기판을 처리하는 기판 처리 기구;
    적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단;
    상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구에 고정되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부;
    상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부; 및
    상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저에 대응하여 미리 설정된 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터를 적어도 기억하는 기억 수단;
    을 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부 또는 상기 제2 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저에 대응한 조작 화면을 표시시키는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부에 다른 표시를 시키는 것이 가능한 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부로부터의 지시와 상기 제2 표시부로부터의 지시에 대해서, 다른 제어를 하는 기판 처리 장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부로부터의 유저의 로그인 정보가 입력된 후, 상기 제1 조작 화면을 표시하고, 상기 제2 표시부로부터의 유저의 로그인 정보가 입력된 후, 상기 제2 조작 화면을 표시하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 조작 화면과 상기 제2 조작 화면을 다른 표시로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 조작 화면과 상기 제2 조작 화면으로 다른 조작을 시키는 기판 처리 장치.
  11. 기판을 처리하는 기판 처리 기구;
    적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단;
    상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구에 고정되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부;
    상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부; 및
    적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저에 대응하여 미리 설정된 여러 가지의 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터를 적어도 기억하는 기억 수단;
    을 포함하고,
    상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저에 대응한 조작 화면을 표시시켜서, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부에 다른 표시를 시키는 것이 가능하고, 상기 제1 표시부로부터의 지시와 상기 제2 표시부로부터의 지시에 대해서, 다른 제어를 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 기판을 처리하는 기판 처리 기구;
    적어도 상기 기판 처리 기구를 제어하는 제어 수단;
    상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구에 고정되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제1 조작 화면이 표시되는 제1 표시부;
    상기 제어 수단에 접속됨과 함께, 상기 기판 처리 기구 근방에 배치되고, 적어도 상기 기판 처리 기구를 조작하기 위한 제2 조작 화면이 표시되는 제2 표시부; 및
    상기 기판 처리 기구를 조작하는 유저에 대응하여 미리 설정된 조작 권한을 규정하는 권한 파라미터를 적어도 기억하는 기억 수단;
    을 포함하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로,
    상기 제어 수단은, 상기 제1 표시부 또는 상기 제2 표시부로부터 유저의 로그인 정보가 입력되면, 상기 권한 파라미터를 사용하여 상기 유저에 대응하여 조작 화면을 표시시키는 기판 처리 장치의 표시 방법.
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