JP3384292B2 - 真空処理装置の運転方法及び真空処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プロセス処理を行
う２つ以上のプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う
搬送処理装置で構成され、少なくとも２つ以上のプロセ
ス処理装置を使ってウェハ処理する真空処理装置の運転
方法及び真空処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の装置は、例えば、特開昭６３−１
３３５３２号公報のように搬送室に処理室を接続したシ
ステムにおいて、正常な運転状態で試料処理が実施され
る場合、別々のウェハを別々の処理室で同時に実行した
り、又はウェハを順次２つ以上の処理室を経由して処理
することのできる装置及びその搬送に関するものであっ
た。

【０００３】また他の従来装置は、特開平３−２７４７
４６号公報のように2つの経路のプロセス処理を同時に
行う運転で、一つの経路に含まれる処理室にメンテナン
ス作業を実施する場合は、他の経路の処理室を過渡的に
2つの経路のプロセス処理に共用する装置の運転方法に
関するものであった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術は、２つ
以上のプロセス処理を実施する場合、ウェハを真空雰囲
気の搬送路を介して２つ以上の処理室に搬送し、個々の
処理室では、その処理室が持つ固有の処理を実施するこ
とにより、大気状態にさらすことなく真空中で複数のプ
ロセス処理をする為の装置構成、搬送方法、及びメンテ
ナンス作業を通常のウエハ処理と並行作業させるもので
あった。

【０００５】ところで、前記前者の従来技術では２つ以
上の処理室を処理経路として使って運転している運転中
に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった時に
正常な処理室を使って処理を続行する運転及び復旧処置
については、考慮されていなかった。

【０００６】又、運転開始時修復する必要のある処理室
がある場合でも、正常な処理室のみを使って装置を運転
する方法、手順についても考慮されていなかった。

【０００７】又、２つ以上の処理室を処理経路として使
って運転中にその運転を一時中断させ、中断させる迄に
その運転の処理経路に使っていなかった処理室を処理経
路として使った割り込み処理を優先的に実行し、その割
り込み処理が終了した後は一時中断させていた処理を続
行させる運転する方法、手順についても考慮されていな
かった。

【０００８】又、２つ以上の処理室を処理経路として使
って運転中にその運転の処理経路に使用していない処理
室の機器に対する操作指示の方法については考慮されて
いなかった。またその運転の処理経路に使用していない
処理室の機器に対する操作指示を通常操作する操作部と
離れた場所にある操作部で行う場合での操作上の安全性
確保についても考慮されていなかった。

【０００９】又、前記後者の従来技術ではターゲット交
換のメンテナンス作業のように、作業者が稼動している
装置の機側に立ち、装置及び機器にメンテナンスする作
業と通常のウエハ処理とを並行して運転する場合に例え
ば“誤操作”により処理用ガスを流したり、放電用電源
をＯＮして感電するといった安全性の確保についての処
置、方法は考慮されていなかった。

【００１０】このように従来技術は処理室が正常な状
態、及び運転開始前に予め修復する処理室のみを除外し
た上での運転を考慮したものであるが、運転中に処理室
が異常等で使用できない時の運転、割り込み処理、運転
中での運転の一時中断及び中断状態から再開運転や、運
転中に処理経路に使用していない処理室の操作、運用等
については考慮されていないため、例えば同種の処理室
が接続されている場合、運転中に他方の正常な処理室を
使って運転を続行するという装置の運転方法が考慮され
ておらず、稼働率の低い装置であった。

【００１１】また、正常にウエハ処理する通常運転と並
行して、異常な処理室を復旧したり、定期的に実施する
メンテナンスする作業を行う場合の作業者に対する安全
性確保への配慮がなされていない装置であった。

【００１２】本発明は、プロセス処理を行う２つ以上の
プロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置
で構成され、少なくとも２つ以上のプロセス処理装置を
使って処理する真空処理装置において、 １）２つ以上の処理室を処理経路として使って運転中
に、処理室の内どれかが故障等で使用できなくなった場
合でも運転続行でき、又、 ２）修復する必要のあるプロセス処理装置がある場合
は、正常な処理室のみを処理経路として使って運転で
き、又 ３）運転中に運転の一時中断、及び中断状態からの再開
運転、及び運転中に運転を一時中断させ、中断させる迄
にその運転の処理経路に使っていなかった処理室を処理
経路として使った割り込み処理を実行し、その割り込み
処理が終了した後は一時中断させていた処理を続行させ
る運転ができ、又 ４）２つ以上の処理室を処理経路として使って運転中
に、その運転の処理経路に使用していない処理室の機器
に対する操作指示ができ、またその運転の処理経路に使
用していない処理室の機器に対して操作指示をする場合
や、通常の操作指示をする操作部と離れた場所にある操
作部で操作指示を行う場合の操作上の安全性が確保で
き、又 ５）正常にウエハ処理する通常運転と並行して、異常な
処理室を復旧したり、定期的に実施するメンテナンスす
る作業を行う場合の作業者に対する安全性の確保ができ
るようにすることにより、装置の稼働率を向上でき、且
つ安全性の確保が図れる真空処理装置の運転方法及び真
空処理装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、各プロセス処理装置の運転有効又は運転無効である
ことを示す各運転情報信号を発生する運転情報信号発生
手段を各プロセス処理装置毎に設け、その各運転情報信
号を記憶する運転情報信号記憶手段を設け、各運転情報
信号を元にして運転無効である該プロセス処理装置を使
用せず、他の運転有効なプロセス処理装置を使って運転
続行する装置制御手段を設けたものである。

【００１４】装置の運転においては、運転途中にあるプ
ロセス処理装置が故障等で使用できなくなった場合は、
装置運転を一時中断し、オペレータに運転続行又は運転
中止の判断を促し、続行する場合は、運転続行の処置を
装置に行うことで運転続行が可能となるようにしたもの
である。

【００１５】又、運転開始時点で修復、保守等する必要
のあるプロセス処理装置がある状態で運転を開始する場
合は、運転開始前に修復、保守等する必要のあるプロセ
ス処理装置を使わず、有効なプロセス処理装置を使って
装置運転する処置を施すことで運転が可能となるように
したものである。

【００１６】又、正常にウエハ処理する通常運転と並行
して、異常な処理室を復旧したり、定期的に実施するメ
ンテナンスする作業を行う場合、誤って操作を行っても
処理用ガスを流れないようにガスラインのエアオペレー
ションバルブ駆動用エア−ラインを遮断できる機能（例
えば、ガスライン毎に手動開閉用のバルブを設ける）を
設け、放電用電源を誤ってＯＮして感電することがない
ように放電用電源ユニットに供給している電源を遮断で
きる機能（例えば、電源ライン毎にＯＮ／ＯＦＦできる
ブレーカを設ける）を設けることで作業者に対する安全
性の確保ができるようにすることにより、装置の稼働率
を向上でき、且つ安全性の確保が図れる真空処理装置の
運転方法及び真空処理装置を提供することにある。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図１３に示す。

【００１８】図１は、一実施例であり、プロセス処理装
置が搬送処理装置に４室接続され、処理装置にウエハを
搬入する為のカセットは処理装置本体の前に設置した大
気搬送装置に設置し、該カセットから１枚ずつ取り出し
処理装置に搬入し処理する装置構成図を示す。プロセス
処理装置が４つ以上接続されても構わない。図１におい
て、１はウェハの搬送を行う搬送処理装置でありロード
ロック室のウエハをウエハの搬送スケジュールに従って
プロセス処理装置２−１〜２−４に搬送し、プロセス処
理装置で処理終了したウエハを次のプロセス処理装置に
搬送し、全てのプロセス処理が終了したウエハをアンロ
ードロック室に搬送する。２−１〜２−４はプロセス処
理を行うプロセス処理装置である。プロセス処理として
はエッチング、後処理、成膜、スパッタ、ＣＶＤ、水洗
処理等ウエハのプロセス処理全てを含む。３はロードロ
ック室であり大気搬送装置６にあるウエハを搬送処理装
置に搬入する室、４はアンロードロック室であり真空処
理室にあるウエハを大気搬送装置６に搬出する室、５は
搬送処理装置内に設置されウェハの搬送を行う真空ロボ
ット、６はウェハを収納したカセットを設置するための
大気搬送装置、７は処理するウェハを収納したカセット
であり製品用ウエハを収納したカセットやクリーニング
用ウエハを収納したカセットである。８は大気搬送装置
上のカセット内のウェハをカセットから搬出し、ロード
ロック室３に搬入し、またアンロードロック室４のウエ
ハを元のカセットに戻す大気ロボットを示す。

【００１９】通常の運転にあたっては、オペレータは、
製品用ウエハを収納したカセット７−１（又は７−２）
とクリーニング用ウエハを収納したカセット７−３を大
気搬送装置６に設置する。表示手段１３、入力手段１４
とを使って運転条件の設定を行った後運転の開始指示を
行う。運転が開始されるとウェハの搬送が開始しプロセ
ス処理装置２−１（２−２〜２−４も含む）に搬送さ
れ、プロセス処理を行って元のカセットに戻される。元
のカセット内のウェハが全て処理されるとそのカセット
の回収の為にこの図に示していないフ゛サ゛ーを鳴ら
し、オペレータにカセット回収要求を通報し、オペレー
タがカセットを取り除く。製品用ウエハを収納したカセ
ットの処理が終了すると、カセット７−３からクリーニ
ング用ウエハをプロセス処理装置２−１、２−２、２−
３、２−４に搬出し、クリーニング処理を行ってカセッ
ト７−３に戻す。この場合、１枚のクリーニング用ダミ
ーウエハを使って順次プロセス処理装置２−１、２−
２、２−３、２−４に搬出し、クリーニング処理を行う
ことも可能であり、また別の方法としてプロセス処理装
置２−１、２−２、２−３、２−４に１枚づつ搬送し、
クリーニング処理を同時に行うことも可能である。また
前述のクリーニング処理は製品用ウエハを収納したカセ
ットの処理が終了すると、カセット７−３からクリーニ
ング用ダミーウエハをプロセス処理装置２−１、２−
２、２−３、２−４に搬出し、クリーニング処理を行っ
たが、クリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置
２−１、２−２、２−３、２−４に搬出しないでクリー
ニング処理を行うことも可能である。また、以上のよう
に１カセット分の製品用ウエハの処理終了後にクリーニ
ング処理を行うことに加えて、クリーニング周期として
処理した製品ウエハの枚数毎（この枚数は適宜設定可
能)にカセット７−３からクリーニング用ダミーウエハ
をプロセス処理装置２−１、２−２、２−３、２−４に
搬出し、クリーニング処理を行うことも可能である。ま
たクリーニング周期として処理した製品ウエハの枚数毎
（この枚数は適宜設定可能)にカセット７−３からクリ
ーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置２−１、２
−２、２−３、２−４に搬出しないで、クリーニング処
理を行うことも可能である。また、製品用ウエハを収納
したカセットの処理が予め設定されたカセット数実施後
に、カセット７−３からクリーニング用ダミーウエハを
プロセス処理装置２−１、２−２、２−３、２−４に搬
出し、クリーニング処理を行うことも可能である。

【００２０】次に製品ウエハを収納したカセットの処理
開始前にカセット７−３からダミーウエハをプロセス処
理装置２−１、２−２、２−３、２−４に搬出しないで
エージング処理後に上記ウエハ処理を行うことも可能で
ある。また、製品ウエハを収納したカセットの処理開始
前にカセット７−３からダミーウエハをプロセス処理装
置２−１、２−２、２−３、２−４に搬出し、エージン
グ処理した後ダミーウエハをカセット７−３に戻し、本
エージング処理を予め設定したウエハ枚数分実施後に上
記ウエハ処理を行うことも可能である。以上に述べたク
リーニング処理とは、プロセス処理装置内の異物を除去
するために行う処理であり、エージング処理とはウエハ
処理を行う前にプロセス処理装置内をウエハ処理状態に
するために行う処理である。

【００２１】尚、運転条件設定の１部である処理経路の
設定においては、その処理に使用するプロセス処理装置
をウェハの処理する順序にプロセス処理装置の記号等を
使って設定する。

【００２２】このウエハの処理順序は、運転モードとし
て表１に示す。

【００２３】

【表１】

【００２４】以下のこの運転モードの説明ではプロセス
処理装置２ー２と２ー３は同一のプロセス処理を（この
実施例ではエッチング処理とする）、プロセス処理装置
２ー１と２ー４は同一のプロセス処理を（この実施例で
は後処理とする）するものとして説明する。またプロセ
ス処理の実施例としては、プロセス処理装置２ー２又は
２ー３を使ったエッチング処理を行った後、プロセス処
理装置２ー１又は２ー４を使った後処理を行うものとす
る。尚、１カセット分の製品用ウエハの処理の後にカセ
ット７−３からクリーニング用ウエハをプロセス処理装
置２−３（又２ー２）からプロセス処理装置２−４（又
は２−１）に搬送し、クリーニング処理を行うクリーニ
ング処理を行う運転について説明する。またウエハの処
理条件によってはエッチング処理のみであっても良い。

【００２５】１）１カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（以下では、プロセス処理条件
をレシピと称する）で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセ
ットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を
するものである。ウエハは、プロセス処理装置２ー２で
エッチング処理した後プロセス処理装置２ー１で後処理
をして元のカセットに戻す経路（この経路Ａという）
と、プロセス処理装置２ー３でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置２ー４で後処理をして元のカセットに戻
す経路（この経路Ｂという）の両方を使って処理する。

【００２６】この実施例での処理順序は 経路Ａ：カセット７−１→プロセス処理装置２ー２→プ
ロセス処理装置２ー１→カセット７−１ 経路Ｂ：カセット７−１→プロセス処理装置２ー３→プ
ロセス処理装置２ー４→カセット７−１ の組み合わせとしたが、 経路Ｃ：カセット７−１→プロセス処理装置２ー２→プ
ロセス処理装置２ー４→カセット７−１ 経路Ｄ：カセット７−１→プロセス処理装置２ー３→プ
ロセス処理装置２ー１→カセット７−１ の組み合わせであっても良い。

【００２７】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ａ、２枚目は経路Ｂ、３枚目のウエハは経路Ａ、４枚目
は経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。最終ウエハをカセット７−１から搬出す
ると（図３ーＡ）、カセット７−３からクリーニング用
ウエハをプロセス処理装置２−３に搬送し，クリーニン
グ処理を開始させる（図３ーＢ）。またプロセス処理装
置２−２内にあった最終ウエハがプロセス処理装置２−
１に搬送されてあれば，カセット７−３からクリーニン
グ用ウエハをプロセス処理装置２−２に搬送し，クリー
ニング処理を開始させる。プロセス処理装置２−３での
クリーニング処理が終了するとクリーニング用ウエハを
プロセス処理装置２−３からプロセス処理装置２−４に
搬送し、クリーニング処理を行う。この時迄に製品用カ
セット７−２が設置されてあれば、カセット７−１の処
理終了に引き続きカセット７−２の処理に移り，この後
カセット７−２から製品用ウエハの１枚目をプロセス処
理装置２−３に搬送し，プロセス処理を行う（図３ー
Ｃ）。プロセス処理装置２−４でのクリーニング処理が
終了するとクリーニング用ウエハをカセット７−３に戻
す。又この時迄にプロセス処理装置２−２でのクリーニ
ング処理が終了すると，クリーニング用ウエハをプロセ
ス処理装置２−２からプロセス処理装置２−１に搬送
し、クリーニング処理を行う。その後にＣ２カセットか
ら製品用ウエハの２枚目をプロセス処理装置２−２に搬
送し，プロセス処理を行う（図３ーＤ）。又，カセット
７−１内の全てのウエハの処理終了するとカセット７−
１の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為
にこの図に示していないブザーを鳴らす。以上のように
カセット７−２についてもカセット７−１の場合と同じ
順序で処理を行い、カセット７−２内の全てを処理終了
するとカセット７−２の処理終了とカセット交換をオペ
レータに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴
らす。以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転
を終了する場合は、主制御部１１から運転終了の操作入
力を行うことで運転が終了する。

【００２８】処理を終了する方法として、以下の５モー
ドがある。

【００２９】ア）ウエハ供給停止：処理中のカセットか
らのウエハ取り出しを中止する。（２カセットを１ロッ
トとして運転している場合は、指定した方のカセットか
らのウエハ取り出しを中止する。） イ）カセット供給停止：現在処理中のカセット内のウエ
ハを全て処理終了した後、その処理終了迄に設置されて
あったカセットの処理を中止する。（２カセットを１ロ
ットとして運転している場合は、指定した方のカセット
内のウエハを全て処理終了した後、その時迄に設置され
てあったカセットの処理を中止する。） ウ）サイクル停止：現在実行中のプロセス処理、排気、
リーク、搬送等の動作終了後その場で停止する。 エ）処理室一時停止：指定処理室について、現在処理中
のプロセス処理終了後停止する。この場合は、運転の再
開操作により一時停止した状態から運転を再開すること
ができる。またその処理室のみ手動操作は可能である。 オ）即停止：実行中の全ての動作を即時停止する。 処理終了に当たってはいずれの方法によっても良い。

【００３０】２） ２カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（レシピ）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番に抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理
をするものである。この場合のカセットから抜き出し搬
送処理装置に搬入しプロセス処理をする運転が前記の
「１カセット１レシピ並列運転」の場合と異なる。前記
の「１カセット１レシピ並列運転」の場合は、同一カセ
ットから順次ウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプ
ロセス処理を実施し、そのカセットのウエハを全て終了
した後次のカセットのウエハの処理に移ったが、本「２
カセット１レシピ並列運転」では、カセット７−１とカ
セット７−２から交互にウエハを抜き出し搬送処理装置
に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処理経路は
前記の「１カセット１レシピ並列運転」の場合と同様
に、プロセス処理装置２ー２でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置２ー１で後処理をして元のカセットに戻
す経路（この経路Ａという）と、プロセス処理装置２ー
３でエッチング処理した後プロセス処理装置２ー４で後
処理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ｂとい
う）の両方を使って処理する。

【００３１】この実施例での処理順序の経路Ａ、Ｂもし
くは経路Ｃ、Ｄについては前記「１カセット１レシピ並
列運転」の場合と同じである。

【００３２】ウエハの処理は、１枚目のウエハはカセッ
ト７−１からの１枚目を経路Ａ、２枚目はカセット７−
２からの１枚目を経路Ｂ、３枚目のウエハはカセット７
−１からの２枚目を経路Ａ、４枚目はカセット７−２か
らの２枚目を経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の
最終ウエハ迄処理を行う。カセット７−１もしくはカセ
ット７−２内の全てのウエハを処理終了するとカセット
７−１（または７−２）の処理終了とカセット交換をオ
ペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを
鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しいカセ
ットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理のみ
継続されている。新しいカセットが設置されると前記の
ようにカセット７−１と７−２から交互ににウエハを抜
き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。
以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了
する場合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行
う事で運転が終了する。終了方法は前記「１カセット１
レシピ並列運転」の場合と同じである。又，クリーニン
グ処理については，上記１）と同様である。

【００３３】３）２カセット２レシピ並列運転 この運転では、カセット７−１とカセット７−２とのウ
エハ処理レシピが異なる事によりプロセス処理装置での
処理時間が異なることがある。この場合、カセット７−
１とカセット７−２からのウエハ搬出は交互ではなく、
プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセス処理
装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセス処理
装置に搬送する処理以外は前記「２カセット１レシピ並
列運転」と同じある。該ウエハの又，クリーニング処理
については，上記１）と同様である。

【００３４】４）１カセット１レシピ直列運転 この運転では、同一のプロセス処理条件（レシピ）で処
理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは
最上段のウエハから順番にカセットから抜き出し搬送処
理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「１カセ
ット１レシピ並列運転」の場合と同じである。ところが
ウエハの処理経路は前記「１カセット１レシピ並列運
転」の場合と異なる。本「１カセット１レシピ直列運
転」では、ウエハはプロセス処理装置２ー２（もしくは
プロセス処理装置２ー３）でエッチング処理した後、更
にプロセス処理装置２ー３（もしくはプロセス処理装置
２ー２）でエッチング処理した後、プロセス処理装置２
ー１（もしくはプロセス処理装置２ー４）で後処理をし
て元のカセットに戻す経路（この経路Ｅという）で処理
する。

【００３５】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ｅ、２枚目は経路Ｅ、３枚目のウエハは経路Ｅ、４枚目
は経路Ｅ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。カセット７−１内の全てを処理終了する
とカセット７−１の処理終了とカセット交換をオペレー
タに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴ら
す。この時迄にカセット７−２が設置されてあれば、カ
セット７−１の処理終了に引き続きカセット７−２の処
理に移る。カセット７−２についてもカセット７−１の
場合と同じ順序で処理を行い、カセット７−２内の全て
ウエハを処理終了するとカセット７−２の処理終了とカ
セット交換をオペレータに通報する為にこの図に示して
いないブザーを鳴らす。この時迄にカセット７−１が設
置されてあれば、カセット７−２の処理終了に引き続き
カセット７−１の処理に移る。以降この運転サイクル繰
り返しを行う。この運転を終了する場合は、主制御部１
１から運転終了の操作入力を行う事で運転が終了する。
終了方法は前記「１カセット１レシピ並列運転」の場合
と同じである。又，クリーニング処理については，上記
１）と同様である。

【００３６】以上、１）から４）の運転方法は、代表事
例について説明したもので、カセット、レシピと、並列
／直列運転の組み合わせとにより他の運転方法が考えら
れ、本発明は上記１）から４）の運転方法に限定される
ものではない。

【００３７】また、装置を保守、メンテナンスする場合
は補助操作盤２２内にある表示手段２６、入力手段２５
とを使って装置の機側で操作することができる。この補
助操作盤２２は可搬型の操作端末（例えばノートハ゜ソ
コン）であり装置の近くまで持ち運び、装置状態を目視
しながら表示手段２６に表示される装置情報（例えば入
出力ビットのＯＮ／ＯＦＦ情報、エラー情報等）を保
守、メンテナンスの操作に活用でき、保守、メンテナン
スの操作性を向上させているものである。この補助操作
盤２２では、主制御部１１と同じ機能を有しているが、
オペレータに対する安全性を確保する為に主制御部１１
と補助操作盤２２とで同時に操作する場合は、片方しか
操作入力できないように誤操作防止機能を設けてある。

【００３８】図２は、別の一実施例あり、プロセス処理
装置が搬送処理装置に４室接続され、処理装置にウエハ
を搬入する為のカセットは処理装置本体内のロードロッ
ク室３Ａに設置し、カセットから１枚ずつ取り出し処理
装置に搬入し処理する装置構成図を示す。プロセス処理
装置がこれ以上接続されても構わない。装置構成として
は図１に示す構成からウェハを収納したカセットを設置
するための大気搬送装置６、大気ロボット８を削除した
ものである。ウエハのカセットからの搬出がロードロッ
ク室３Ａからとなり、カセットへの収納がアンロードロ
ック室４Ａとなる以外の各機器の機能及び構成は図１と
同じである。また、クリーニング処理としては、クリー
ニング用ウエハを収納したカセットをロードロック室３
Ａ（又はアンロードロック室４Ａ）に設置し、クリーニ
ング用ウエハをプロセス処理装置２−１、２−２、２−
３、２−４に搬出し、クリーニング処理を行って元のカ
セットに戻す。また運転モードにおいては、 １）１カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（レシピ）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をするものである。ウエハは、プロセ
ス処理装置２ー２でエッチング処理した後プロセス処理
装置２ー１で後処理をして元のカセットに戻す経路（こ
の経路Ａという）と、プロセス処理装置２ー３でエッチ
ング処理した後プロセス処理装置２ー４で後処理をして
元のカセットに戻す経路（この経路Ｂという）の両方を
使って処理する。

【００３９】この実施例での処理順序は 経路Ａ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２ー２→プロセス処理装置２ー１→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ 経路Ｂ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２ー３→プロセス処理装置２ー４→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ 又は、 経路Ｃ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２ー２→プロセス処理装置２ー４→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ 経路Ｄ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２ー３→プロセス処理装置２ー１→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ の組み合わせであっても良い。また上記処理順序では処
理したウエハはアンロードロック室４Ａ内カセット７−
２Ａに戻したがウエハを取り出したロードロック室３Ａ
内カセット７−１Ａに戻すこともできる。

【００４０】本実施例では経路Ａと経路Ｂを並行してロ
ードロック室３Ａ内のカセット７−１Ａから抜き出した
ウエハはアンロードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａ
に戻す処理の例を示す。ウエハの処理は、１枚目のウエ
ハは経路Ａ、２枚目は経路Ｂ、３枚目のウエハは経路
Ａ、４枚目は経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の
最終ウエハ迄処理を行う。ロードロック室３Ａ内カセッ
ト７−１Ａ内の全てを処理終了するとロードロック室内
カセットとアンロードロック４Ａ室内カセット７−２Ａ
の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為に
この図に示していないブザーを鳴らす。次に新たな未処
理ウエハの入ったカセットをロードロック室３Ａに、空
のカセットをアンロードロック室４Ａ設置して、以降こ
の運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場
合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行う事で
運転が終了する。終了方法は前記「１カセット１レシピ
並列運転」の場合と同じである。

【００４１】２）２カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（以下では、プロセス処理条件
をレシピと称する）で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセ
ットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処
理をするものである。

【００４２】前記の「１カセット１レシピ並列運転」の
場合は、同一カセットから順次ウエハを抜き出しプロセ
ス処理装置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセッ
トのウエハを全て終了した後次のカセットのウエハの処
理に移ったが、本「２カセット１レシピ並列運転」で
は、ロードロック室３Ａ内のカセット７−１Ａとアンロ
ードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａから交互にウエ
ハを抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理を
実施する。ウエハの処理経路は前記の「１カセット１レ
シピ並列運転」の場合と同様に、プロセス処理装置２ー
２でエッチング処理した後プロセス処理装置２ー１で後
処理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ａとい
う）と、プロセス処理装置２ー３でエッチング処理した
後、プロセス処理装置２ー４で後処理をして元のカセッ
トに戻す経路（この経路Ｂという）の両方を使って処理
する。

【００４３】この実施例での処理順序の経路Ａ、Ｂもし
くは経路Ｃ、Ｄについては前記前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。

【００４４】ウエハの処理は、１枚目のウエハはロード
ロック室３Ａ内のカセット７−１Ａからの１枚目を経路
Ａ、２枚目はアンロードロック室内のカセットからの１
枚目を経路Ｂ、３枚目のウエハはロードロック室３Ａ内
のカセット７−１Ａからの２枚目を経路Ａ、４枚目はア
ンロードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａからの２枚
目を経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の最終ウエ
ハ迄処理を行う。ロードロック室３Ａ内もしくはアンロ
ードロック室４Ａカセット７−２Ａ内の全てのウエハを
処理終了するとロードロック室３Ａ内（またはアンロー
ドロック室４Ａ内）カセットの処理終了とカセット交換
をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザ
ーを鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しい
カセットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理
のみ継続されている。新しいカセットが設置されると前
記のようにロードロック室３Ａ内とアンロードロック室
４Ａ内カセットから交互ににウエハを抜き出しプロセス
処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。以降この運
転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合
は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行う事で運
転が終了する。終了方法は前記「１カセット１レシピ並
列運転」の場合と同じである。

【００４５】３）２カセット２レシピ並列運転 この運転では、ロードロック室３Ａ内のカセット７−１
Ａとアンロードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａとの
ウエハ処理レシピが異なる事がある。この場合、カセッ
ト７−１とカセット７−２からのウエハ搬出は交互では
なく、プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセ
ス処理装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセ
ス処理装置に搬送する処理以外は前記「２カセット１レ
シピ並列運転」と同じある。該ウエハの又，クリーニン
グ処理については，上記１）と同様である。

【００４６】４）１カセット１レシピ直列運転 この運転では、同一のプロセス処理条件（以下では、プ
ロセス処理条件をレシピと称する）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をすることは前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。ところがウエハの処
理経路は前記「１カセット１レシピ並列運転」の場合と
異なる。本「１カセット１レシピ直列運転」では、ウエ
ハはプロセス処理装置２ー２（もしくはプロセス処理装
置２ー３）でエッチング処理した後、更にプロセス処理
装置２ー３（もしくはプロセス処理装置２ー２）でエッ
チング処理した後、プロセス処理装置２ー１（もしくは
プロセス処理装置２ー４）で後処理をして元のカセット
に戻す経路（この経路Ｅという）で処理する。

【００４７】本実施例では経路Ｅでロードロック室３Ａ
内のカセット７−１Ａから抜き出したウエハはアンロー
ドロック室４Ａ内のカセット７−２Ａに戻す処理の例を
示す。ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路Ｅ、２枚
目は経路Ｅ、３枚目のウエハは経路Ｅ、４枚目は経路
Ｅ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ迄処理
を行う。カセット内の全てを処理終了するとロードロッ
ク室３Ａ内カセット７−１Ａとアンロードロック室４Ａ
内カセット７−２Ａの処理終了と交換をオペレータに通
報する為にこの図に示していないブザーを鳴らす。 次
に新たな未処理ウエハの入ったカセットをロードロック
室３Ａに、空のカセットをアンロードロック室４Ａに設
置して、以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運
転を終了する場合は、主制御部１１から運転終了の操作
入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記「１カ
セット１レシピ並列運転」の場合と同じである。

【００４８】図４は、制御構成図を示す。本実施例で
は、装置全体の主制御部は、搬送処理装置１に搭載して
いる場合を示す。尚、装置全体の主制御部は、搬送処理
装置以外にあっても構わない。また表示手段１３、入力
手段１４は主制御部とは別の制御ユニットとして構成し
ても良い。１１は、装置全体を制御する主制御部の構成
を示す。制御手段としては、本発明の請求範囲に該当す
る部分のみを抜き出して記述しており、装置を動かす上
での必要な入出力制御部分（ＤＩ／Ｏ、ＡＩ／Ｏ）につ
いては、記述していない。１６は、真空処理装置内での
ウェハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段であ
り、例えばＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅ
ｍｏｒｙ）である。このウェハの処理順序は、運転開始
前に表示手段１３、入力手段１４とを使ってオペレータ
によって入力されたテ゛ータが記憶される。１７は、プ
ロセス処理装置２−１〜２−４の運転有効／無効である
ことを示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手
段であり、例えばＲＡＭである。１３は、運転状態、運
転条件の設定内容、運転の開始指示／終了の表示を行う
表示手段であり、例えばＣＲＴである。１４は、運転条
件の設定、運転の開始指示入力、プロセス処理条件、保
守やメンテナンスの操作入力等を行う入力手段であり、
例えばキーホ゛ート゛である。１５は、上記プロセス処
理装置２−１〜２−４の運転有効／無効であることを示
す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセス処
理装置２−１〜２−４のどれかが運転不可となっても該
プロセス処理装置を使用せず、他のプロセス処理装置を
使って運転続行する処理手順を記憶した装置制御手段で
あり、 例えばＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏ
ｒｙ）である。１２は、上記１３〜１７を制御する中央
制御手段であり、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐ
ｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕｎｉｔ）である。２−１〜２−４
は、ウェハのプロセス処理を行うプロセス処理装置であ
る。この処理装置としては、エッチンク゛、後処理、成
膜、スハ゜ッタ、ＣＶＤ、水処理等ウエハのプロセス処
理を行う処理であれば、何であっても良い。１９−１〜
１９−４は、プロセス処理装置２−１〜２−４の運転有
効／無効であることを示す運転情報信号を発生する運転
情報信号発生手段である。本実施例では、プロセス処理
装置に設けているが、どこにあっても良い。この運転情
報信号を発生する手段として、 １）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる ２）プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運
転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を用いる ３）プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制
御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用
いることができる。

【００４９】２０と２１は、装置全体を制御する主制御
部１１と補助操作盤２２とを接続する通信手段である。
補助操作盤２２、２５、２６は上述した用途に使用する
ものである。２４は補助操作盤での端末機能を制御する
処理手順を記憶した端末制御手段である。２３は上記２
１、２４から２６を制御する中央制御手段であり、例え
ば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕ
ｎｉｔ）である。

【００５０】図５は、運転情報信号図である。各プロセ
ス処理装置毎に運転の有効／無効を示す情報が記憶され
る。この場合では、有効な場合は、１を、無効な場合
は、０を示すが区別できる内容であれば、記号や数字で
あっても良い。この情報は、運転情報信号発生手段１９
−１〜１９−４の信号状態が反映されたものであり、運
転情報信号記憶手段１７に記憶される。

【００５１】図６は、処理順序情報図である。運転条件
設定の一つとして、オペレータが運転開始前に表示手段
１３、入力手段１４とを使ってウェハの処理する順序を
設定した情報である。この情報は処理順序情報記憶手段
に記憶される。

【００５２】図７は、装置運転フロー図を示す。オペレ
ータは運転開始前に処理装置として構成されているプロ
セス処理装置の内、故障等で運転に使用できない、又は
保守（フ゜ラス゛マクリーニンク゛も含む）の為使用し
ないプロセス処理装置があるか否かを判断する（３
０）。使用できない（又は、使用しない）プロセス処理
装置があれば、運転情報信号発生手段１９を用いて図４
に記述した状態になるように設定する（３２）。この設
定の方法の一つとして、 １）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場
合は、該プロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器
をＯＦＦする。これにより、遮断信号が発生し、運転情
報信号記憶手段１７に伝えられ、図４に記載された情報
として記憶される。

【００５３】２）プロセス処理装置の使用の有無を設定
する運転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を
用いる場合は、該プロセス処理装置に割り当てられた切
り替えスイッチを有効又は無効の状態に設定する。 こ
れにより、切り替え信号が確定し、運転情報信号記憶手
段１７に伝えられ、図５に記載された情報として記憶さ
れる。

【００５４】３）プロセス処理装置の使用の有効／無効
を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した
入力情報を用いる場合は、オペレータは、該プロセス処
理装置に割り当てられた設定情報を入力手段１４より入
力する。 これにより、設定情報が確定し、運転情報信
号記憶手段１７に伝えられ、図５に記載された情報とし
て記憶される。装置接続構成を決定した後、自動運転を
スタートする（３４）。尚、ウェハの処理する順序は以
下のように製品処理条件として設定する。

【００５５】１）ウエハの運転モードを選択する。

【００５６】「１カセット１レシピ並列」、「２カセッ
ト１レシピ並列」、「２カセット２レシピ並列」、「１
カセット１レシピ直列」のいずれかを選択 ２）ウエハの搬送経路を設定する。

【００５７】カセット毎にウエハの処理経路をプロセス
処理装置の記号を使ってパラレルまたはシリーズ処理を
設定する。代表的な設定例を以下に示す。（ウエハ処理
経路は、前述のように組み合わせが可能である） ２ー１）パラレル処理の場合： カセット７−１：Ｅ１→Ａ１、カセット７−１：Ｅ２→
Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１、カセット７ー２：Ｅ２→
Ａ２ Ｅ１：プロセス処理装置２ー２、Ｅ２：プロセス処理装
置２ー３ Ａ１：プロセス処理装置２ー１、Ａ２：プロセス処理装
置２ー４ ２ー２）シリーズ処理の場合： カセット７−１：Ｅ１→Ｅ２→Ａ１ カセット７−２：Ｅ２→Ｅ１→Ａ２ ３）プロセス処理室毎にプロセス処理条件（プロセスレ
シピともいう）を設定する。

【００５８】以上の製品処理条件を設定した後、自動運
転開始の起動をかける。

【００５９】図８は、自動運転フロー図を示す。自動運
転を開始すると、処理すべきウェハを全て搬送したかを
判断し、搬送済であれば処理が終了し、搬送が必要であ
れば、自動運転処理に進む（４０）。自動運転中に異常
等が発生し、運転が一時中断した状態にあるか否かを判
断する（４２）。異常が無ければ、運転を続行する（４
４へ）。運転に使用できないプロセス処理装置がある場
合は、該プロセス処理装置を使わないで運転続行が可能
か否かをオペレータが判断する（７０）。続行が不可能
な場合は、オペレータが自動運転の中止設定を行うこと
により、装置は自動運転停止処理を行う（９０）。 続
行が可能な場合でも、プロセス処理装置にウェハが残っ
ている場合、真空ロボットのハント゛上にウェハが残っ
ている場合、ロート゛ロック室やアンロート゛ロック室
にウェハが残っている場合等がある。

【００６０】このように自動運転中に異常が発生し、自
動運転の続行ができなくなり自動運転が一時中断した状
態から引き続き自動運転を再開し、続行するため、異常
が発生した機器内に残存しているウェハを元のカセット
に搬出する処理を行なう。これは自動運転中に異常が発
生した時点では処理装置内の全ウェハの搬送・処理のス
ケシ゛ュールが確定しているため、異常が発生した機器
にあるウェハを取り出したカセット７に戻さないとウェ
ハの搬送・処理のスケシ゛ュールが狂ってしまい、自動
運転の一時中断状態からの再開、自動運転続行ができな
くなるためである。 また、他の実施例として異常が発
生した機器内に残存しているウェハを元のカセットに搬
出しないで該ウエハを異常が発生した機器内に残存させ
たまま仕掛かりのウエハについて一時中断状態からの再
開、自動運転を続行させひとまとまりの処理を終了さ
せ、自動運転を終了させた後、残存しているウエハを元
のカセットに戻すことも可能である。他の実施例として
該ウエハを元のカセットに搬出したようにウエハ情報の
変更を行なうことも可能である。例えば、異常発生で処
理装置内に残存しているウエハをそのままにしておき、
該ウエハを元のカセットに搬出したようにウエハ情報の
変更を行なった上で、仕掛かりのウエハについて一時中
断状態からの再開、自動運転を続行させひとまとまり
（１ロット）処理を終了させ、自動運転を終了させた
後、残存しているウエハを元のカセットに戻す場合に用
いられる。処理装置内に残存しているウェハの処置例を
以下に示す。

【００６１】装置内に残存ウェハがあるか否か判断する
（７２）。装置内に残存しているウエハをそのままにし
て運転を継続するか否かを判断する（７３）。装置内に
残存しているウエハをそのままにして運転を継続する場
合は、該ウエハを該ウエハを元のカセットに搬出したよ
うにウエハ情報の変更を行う（７７）。装置内に残存し
ているウエハをそのままにして運転を継続しない場合
は、残存しているウェハのうちエッチンク゛処理をする
か否かを判断する（７４）。処理室内に残存しているウ
ェハのうち、エッチンク゛処理の途中で異常が発生した
場合は、残りのエッチンク゛処理を実施した後（７
６）、ウェハを元のカセットに戻す（７８）。これはで
きうる限りウェハを救済するために行なうものである。
また真空ロボットのウェハハント゛上にウェハが残って
いる場合や、ロート゛ロック室アンロート゛ロック室に
ウェハが残っている場合は、機器個別の操作（ロック室
の排気／リーク，ウェハの搬送）を行なって、そのウェ
ハを元のカセットに戻す（７８）。以上のように異常の
発生した機器にあったウェハは必要な処置を実施し元の
カセットに戻した後、一時中断していた自動運転を再開
する操作を行なう。このようにすることで異常が発生し
た機器（処理室や真空ロボット等）にあったウェハのト
ラッキンク゛情報は、正常な経路で処理されたのと同等
となり、自動運転が再開できることになる。以上のよう
な処理装置内に残存していたウェハの処置を行なった
後、使用しないプロセス処理装置に対して図７の（３
２）にて示した内容と同じ運転情報信号発生手段の切り
替え操作（８０）を行う。異常発生情報をリセットし
（８２）、自動運転を続行する。

【００６２】正常な運転状態では、次のウェハの搬送経
路を処理順序情報記憶手段１６に記憶されてある情報を
読み出し（４４）、運転情報信号記憶手段１７に記憶さ
れてある情報と整合処理し搬送順路を決定する（４
６）。決定した搬送順路はカセットより搬出するウェハ
毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順序情報
記憶手段１６とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成
し、ウェハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照す
るようにしても良い。搬送順路が決定すると大気ロボッ
ト８はカセット７よりウェハを搬出し（４８）、上記決
定した搬送順路に登録されてあるプロセス処理装置に搬
送し（５０）、ウェハの処理を行う（５２）。このウェ
ハ搬送処理及びプロセス処理で異常が発生した場合は、
引き続き自動運転を継続する為に処理続行可能な処理は
その個々の処理を終了させるまで実行した後、自動運転
を一時中断状態にする。（例えばＮ枚目のウェハのエッ
チンク゛処理中であれば、そのＮ枚目のウェハのエッチ
ンク゛処理が終了するまでエッチンク゛処理を継続し、
終了した時点で自動運転を一時中断する。また真空ロボ
ット５によるウェハ搬送中に他の処理で異常が発生した
ら、真空ロボット５は、所定の場所へのウェハ搬送を終
了した時点で自動運転を一時中断する。）この後異常発
生したことを示す異常発生情報（図示は無し）を記憶さ
せた後、装置を一時中断状態にオペレータに中断したこ
とを表示手段１３に表示するとともに図示しないフ゛サ
゛ーを鳴らす。この後（４２）に戻り、所定のフローで
処理する。

【００６３】図９は、異常発生後の自動運転再開処理図
を示す。以下に図８で述べた自動運転中に異常が発生し
た後の自動運転再開迄の処理について説明する。図Ａは
表１での「１カセット１レシピ並列運転」の運転モード
でウエハの搬送経路が カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転
し、Ｅ２では（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理中で
Ａ１では（Ｎー１）枚目のウエハが後処理中の時に図Ｂ
に示すようにＥ２で異常が発生すると、エッチング処理
は終了しＡ１の（Ｎー１）枚目のウエハは後処理終了
後、アンロードロック室４に搬出しないで自動運転を一
時中断する。Ｅ２で異常の発生した（Ｎ）枚目ウエハに
ついては図７の７６と７８の処置を行う。その後Ｅ２と
Ａ２については図８の８０の運転情報信号発生手段によ
る切替操作として図７の説明で説明した１）または２）
または３）の操作を行い、図５で示したようにプロセス
処理装置３（Ｅ２）、プロセス処理装置４（Ａ２）の運
転情報を「無効：０」とする。この後異常発生情報をリ
セット（図８の８０）し、自動運転を再開する。再開後
は図ＣのようにＡ２の（Ｎー１）枚目のウエハはアンロ
ードロック室４に搬送され、以降はＥ１とＡ１とを使っ
て処理を続行する。

【００６４】次に、運転情報を「無効：０」としたプロ
セス処理装置３（Ｅ２）、プロセス処理装置４（Ａ２）
については、補助操作盤２２を使って異常原因を究明す
る為にプロセス処理装置３（Ｅ２）、プロセス処理装置
４（Ａ２）に対して機器動作を行う為の操作入力が行え
る。例えば、プロセス処理装置３（Ｅ２）内の本図に示
していないウエハ押し上げ操作を行い動作を確認する。

【００６５】このような操作により異常原因を対策で
き、「無効：０」としたプロセス処理装置３（Ｅ２）、
プロセス処理装置４（Ａ２）をウエハの処理経路に復帰
させる手順を以下に示す。次に図Ｃの運転中に自動運転
の中断操作を行い、運転モードの処理経路から切り離し
たＥ２とＡ２とを有効と設定することで図Ａに移行する
ことができ、運転モードでウエハの搬送経路が カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転で
きる。

【００６６】図１０は、自動運転中の処理装置運転切り
離し処理図を示す。以下に図８で述べた自動運転中にＥ
２とＡ２を自動運転処理経路から切り離した後自動運転
を再開する処理について説明する。図Ａは図９の図Ａの
運転経路と同じである。表１での「１カセット１レシピ
並列運転」の運転モードでウエハの搬送経路が カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転
し、Ｅ２では（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理中で
Ａ１では（Ｎー１）枚目のウエハが後処理中の時に図Ａ
に示すようにＥ２とＡ２に運転停止操作により停止指示
が出されると、Ａ１の（Ｎー１）枚目のウエハは後処理
終了後、元のカセットに戻され、（Ｎ）枚目のウエハの
エッチング処理が終了しＡ２に搬送され後処理終了後元
のカセットに戻される。ところで、Ｅ２とＡ２は運転停
止状態となっている為（Ｎ＋１）枚目以降のウエハは、
Ｅ１とＡ１とを使って運転が続行される。

【００６７】上記では、自動運転中にＥ２とＡ２を自動
運転処理経路から切り離す手段として運転停止操作によ
り停止指示を出すことで切り離しを行ったが、別の方法
として処理装置内に組み込んだ検出器の機能によって停
止指示を出すこともできる。一例としては、処理装置内
に組み込んだ異物モニタ装置からの異物測定モニタ値が
運転前に設定した設定値を超過したことを検知し、この
超過した信号をもって自動運転中にＥ２とＡ２に停止指
示を出すことで運転停止操作と同じ機能を行える。

【００６８】また切り離したプロセス処理装置をウエハ
の搬送経路に復帰させる手順は、図９の説明で示した内
容と同じである。

【００６９】図１１は、パイロットカセット処理図を示
す。これは自動運転中に割り込み特急処理を行い、その
処理終了後は元の処理を再開し続行するものである。以
下に図８で述べた自動運転中に特定の（この場合はＥ２
とＡ２とする） 処理装置を現在運転中の運転モードの
処理経路から切り離し、その切り離したＥ２とＡ２とを
使ってそれまでに運転していたプロセス処理条件とは異
なるプロセス処理条件で処理するカセット（このカセッ
トのことをパイロットカセットと呼ぶ）を割り込んで処
理後、元の自動運転を再開し続行する処理について説明
する。図Ａは図９での運転経路と同じである。表１での
「１カセット１レシピ並列運転」の運転モードでウエハ
の搬送経路が カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転
し、Ｅ２ではカセット７−１の（Ｎ）枚目のウエハがエ
ッチング処理中で、Ａ１でのカセット７−１の（Ｎー
１）枚目のウエハが後処理中の時に図Ａに示すようにＥ
２とＡ２を使った割り込み特急処理を行う為に自動運転
の中断操作を行う。Ｅ２とＡ２に運転停止操作により停
止指示が出されると、Ａ１の（Ｎー１）枚目のウエハは
後処理終了後、元のカセットに戻され、（Ｎ）枚目のウ
エハはエッチング処理が終了しＡ２に搬送され後処理終
了後元のカセットに戻される。ところで、Ｅ２とＡ２は
運転停止状態となっている為（Ｎ＋１）枚目以降のウエ
ハは、Ｅ１とＡ１とを使って運転が続行される（図
Ｃ）。Ｅ１とＡ１とを使った運転中に、Ｅ２とＡ２とを
使った割り込み特急処理のカセットがカセット７ー２に
置かれ割り込み処理の起動運転が掛かけられる（図Ｃ）
とその時迄にカセット７−１から抜き出されたウエハが
全て処理されカセット７−１に搬入後、カセット７−１
内ウエハのＥ１とＡ１とを使った運転は一時中断状態と
なり、割り込み特急処理用のカセット７−２内ウエハの
処理が開始される（図Ｄ）。カセット７−２のウエハに
ついては順次Ｅ２ → Ａ２の処理を行いカセット７−
２に搬入する。パイロットカセットの処理が終了すると
割り込み処理終了と一時中断状態の運転の再開設定を行
い、中断していたカセット７−１からウエハの処理が再
開する（図Ｃの状態に戻る）。次に図Ｃに戻った状態で
運転中に自動運転の中断操作を行い、運転モードの処理
経路から切り離したＥ２とＡ２とを有効と設定すること
で図Ａに移行することができ、運転モードでウエハの搬
送経路が カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２にて運転で
きる。

【００７０】図１２は、真空処理装置における処理装置
切り離しの為の構成図を示す。プロセス処理装置２−１
〜２−４は、処理用ガスライン毎にエアオペレーション
バルブ駆動用エア−ラインを遮断できる構造とし、手動
開閉用のバルブを設けている。又放電用電源ユニットに
供給している電源を遮断できる構造とし、電源ライン毎
にＯＮ／ＯＦＦできるブレーカを設けている。本図では
“１カセット１レシピ並行う運転について述べる。又、
実施例説明の上で特に説明しないプロセス処理装置への
上記対応内容の図示は省いてある。

【００７１】装置運転経路としては、経路Ａと経路Ｂを
使った運転となるが（図１の実施例の説明を参照）プロ
セス処理装置２−２ではメンテナンス作業を行う為、プ
ロセス処理装置２−１においてもガスラインのエアオペ
レーションバルブ駆動用エア−ラインの手動開閉用のバ
ルブを閉とし、且つ放電用電源ユニットに供給している
電源ライン毎のブレーカをＯＦＦとした後、図７で示す
装置運転を行う。よって、メンテナンス中のプロセス処
理装置に誤って処理用ガスを流す操作を行っても、ガス
ラインのエアオペレーションバルブ駆動用エア−ライン
を遮断されている為処理用ガスは流れることはない。放
電用電源を誤ってＯＮしても放電用電源ユニットに供給
している電源が遮断されている為、感電することがな
い。このように作業者が稼動している装置の機側に立
ち、装置及び機器にメンテナンスする作業と通常のウエ
ハ処理とを並行して運転する場合でも“誤操作”により
処理用ガスを流したり、放電用電源をＯＮして感電する
といった作業者へ危害を及ぼすことが阻止でき、作業業
者に対する安全性の確保ができる。

【００７２】図１３は、主操作部と補助操作盤との操作
上のインターロックのフロー図を示す。図１で示した装
置構成で主操作部１１で装置操作を実施している途中に
プロセス処理装置２ー２に対して補助操作盤２２を用い
て操作を行う場合の操作上のインターロックを示す。

【００７３】補助操作盤でプロセス処理装置２ー２の装
置操作を実施する前に主操作部１１から補助操作盤２２
にプロセス処理装置２ー２の操作権を渡す（１１０）と
その操作権を補助操作盤２２から受領するまで主操作部
１１からはプロセス処理装置２ー２への操作のみできな
くなる（１１６）。補助操作盤２２がプロセス処理装置
２ー２の操作権を受領すると（１０４）、補助操作盤２
２でのプロセス処理装置２ー２の操作が可能となる（１
０８）。補助操作盤２２でのプロセス処理装置２ー２の
操作が終了すると（１１０）、補助操作部２２から主操
作部１１にプロセス処理装置２ー２の操作権を渡す（１
１２）と補助操作盤２２からはプロセス処理装置２ー２
への操作はできない（１１４）。主操作部１１がプロセ
ス処理装置２ー２の操作権を受領すると（１１６）、主
操作部１１でのプロセス処理装置２ー２の操作が可能と
なる（１１８）となり、主制御部１１からは全てのプロ
セス処理装置に対する操作が可能となる（１２０）。

【００７４】以上に述べた内容でも分かるように故障等
で運転に使用できない、又は修復や保守（フ゜ラス゛マ
クリーニンク゛も含む）の為使用しないプロセス処理装
置は、運転情報信号記憶手段１７に記憶されており、装
置制御手段はこの情報を参照して運転を進める為、無効
と設定したプロセス処理装置に搬送することはない。又
この無効と設定したプロセス処理装置では、修復、保守
及び不具合原因を行うために、続行している自動運転中
のウェハ処理と並行してメンテナンス操作として作業者
が装置の機側ではなく装置から離れた状態での装置操作
（例えば、フ゜ラス゛マクリーニンク゛処理、カ゛スラ
イン排気処理、ウェハフ゜ッシャーの押上げ／押下げ動
作）を行なうことができる。又、無効と設定したプロセ
ス処理装置に対して装置の機側で修復、保守及び不具合
原因のための操作入力する場合は前述の補助操作盤２２
を用いることになる。ところで通常生産ラインでは、図
１に示す大気搬送装置６がクリーンルーム側に搬送処理
装置１、プロセス処理装置２−１〜２−４は、メンテル
ーム側に設置されており、クリーンルーム側とメンテル
ーム側との間は、ハ゜ーテーションで区切られており、
片側から他方は、充分に視界がきかない場合がある。ま
た補助操作盤２２は、主制御部１１にも接続されている
が、補助操作盤２２は主制御部１１とは、普通は離れた
場所でかつ別々の人が操作することがある。このような
場合に、どちらの操作部でも操作ができるようにしてお
くと、特に機側で補助操作盤２２を用いて操作する場
合、操作しているオペレータに対して安全上の災害の発
生させることが考えられるため、この災害を防止するた
め補助操作盤２２を用いて機側でプロセス処理装置に操
作（例えばウエハ押し上げの上昇／下降操作）を行なう
時は、主制御部１１では機器への操作ができないように
図１３で示したした操作上のインターロックをかけてい
る。

【００７５】以上の内容でもって、自動運転中にその処
理に使用していない処理室を使った処理、及びその処理
室への操作ができ片肺運転を実行することができる。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
運転途中に或プロセス処理装置が故障等で使用できなく
なった場合や、運転開始時点で修復や保守の必要のある
プロセス処理装置がある状態で運転を開始する場合や、
運転途中に或プロセス処理装置の運転を中断させ他の有
効なプロセス処理装置を使って運転中に、先に中断させ
たプロセス処理装置を運転再開する場合に、装置運転続
行の処置を施すことで運転続行が可能となるようにした
ことにより、プロセス処理を行う複数のプロセス処理装
置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置で構成された真
空処理装置では、複数ある処理室の内、どれかが故障等
で使用できなくなった場合でも運転続行ができ、又運転
開始時修復や保守する必要のあるプロセス処理装置があ
る場合でも、正常なプロセス処理装置を使って運転で
き、装置の稼働率を向上することができる。又、正常に
ウエハ処理する通常運転と並行して異常な処理室を復旧
したり、定期的に実施するメンテナンスする作業を装置
の機側で行う場合、誤って操作を行うことにより処理用
ガスを流れたり、誤って放電用電源をＯＮすることによ
り感電することがないように作業者への危害を阻止する
ことで作業者に対する安全性の確保が図れる真空処理装
置を提供することにある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空処理装置の一実施例を示す平
面図である。

【図２】本発明による真空処理装置の他の実施例を示す
平面図である。

【図３】本発明によるクリーニング運転のフロー図であ
る。

【図４】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の制御構成図である。

【図５】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の運転情報信号を示す図である。

【図６】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の処理順序情報を示す図である。

【図７】図１の一実施例の真空処理装置における装置制
御手段の自動運転のフロー図である。

【図８】図７の自動運転フローの詳細を示すフロー図で
ある。

【図９】図１の一実施例の真空処理装置における異常発
生後の自動運転再開処理時の動作状態を示す図である。

【図１０】図１の一実施例の真空処理装置における自動
運転中の処理装置運転切り離し処理の動作状態を示す図
である。

【図１１】図１の一実施例の真空処理装置における自動
運転中のパイロットカセット処理時の状態変化を示す図
である。

【図１２】真空処理装置における処理装置切り離しの為
の構成図である。

【図１３】主操作部と補助操作部との操作上のインター
ロックのフロー図を示す。

【符号の説明】

１…搬送処理装置、２−１，２，３，４…プロセス処理
装置、３，３Ａ…ロート゛ロック室、４，４Ａ…アンロ
ート゛ロック室、５…真空ロボット、６…大気搬送装
置、７…カセット、８…大気ロボット、１１…主制御
部、１２…中央制御手段、１３…表示手段、１４…入力
手段、１５…装置制御手段、１６…処理順序情報記憶手
段、１７…運転情報信号記憶手段、１９−１，２，３，
４…運転情報信号発生手段、２０，２１…通信手段、２
２…補助操作盤、２３…中央制御手段、２４…端末制御
手段、２５…入力手段、２６…表示手段、２７，２８…
ブレーカ、２９，３０…手動バルブ。

フロントページの続き (72)発明者 幾原 祥二 山口県下松市大字東豊井794番地 日立 テクノエンジニアリング株式会社笠戸事 業所内 (72)発明者 田原 哲也 山口県下松市大字東豊井794番地 日立 テクノエンジニアリング株式会社笠戸事 業所内 (72)発明者 沖口 昌司 山口県下松市大字東豊井794番地 日立 テクノエンジニアリング株式会社笠戸事 業所内 (56)参考文献 特開 平９−50948（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−181184（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−274746（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−17838（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−326649（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−110805（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−64142（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−259546（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−57734（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/02 H01L 21/3065

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 メンテルーム側に配置され、プロセス処
   理を行う複数のプロセス処理装置と、該プロセス処理装置に取り付けられ、 ウェハの搬送を行
   う搬送処理装置と、 前記プロセス処理装置を遠隔制御するクリーンルーム側
   に配置された主制御部及び前記プロセス処理装置近傍の
   メンテルームに配置された補助制御盤からなり前記各装
   置を制御する制御装置を備え、 少なくとも２つ以上のプロセス処理装置が搬送処理装置
   に取り付けられ、該搬送処理装置に取り付けられた２つ
   以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空処
   理装置の運転方法において、 前記各プロセス処理装置が運転有効又は運転無効である
   かの状態判断を行い、 該判断で運転無効のプロセス処理装置を切り放し、 前記搬送処理装置を用いてウェハを運転有効なプロセス
   処理装置に搬送し、 該運転有効なプロセス処理装置のみを使ってウェハ処理
   を行い、 その連続処置運転中に前記切り離された運転無効である
   プロセス処理装置に関してメインテナンス作業を行うと
   ともに、該メインテナンス作業に際して該メインテナン
   ス対象プロセス処理装置に対する前記主制御部の操作権
   を前記補助制御盤に移譲することを特徴とする真空処理
   装置の運転方法。
2. 【請求項２】 メンテルーム側に配置され、プロセス処
   理を行う複数のプロセス処理装置と、該プロセス処理装置に取り付けられ、 ウェハの搬送を行
   う搬送処理装置と、 前記プロセス処理装置を遠隔制御するクリーンルーム側
   に配置された主制御部及び前記プロセス処理装置近傍の
   メンテルームに配置された補助制御盤からなり前記各装
   置を制御する制御装置を備え、 少なくとも２つ以上のプロセス処理装置が搬送処理装置
   に取り付けられ、該搬送処理装置に取り付けられた２つ
   以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空処
   理装置において、 前記真空処理装置内でのウェハの処理順序を記憶する処
   理順序情報記憶手段と、 各プロセス処理装置の運転有
   効又は運転無効であることを示す運転情報信号を発生す
   る運転情報信号発生手段と、 各プロセス処理装置の運転有効又は運転無効であること
   を示す運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段
   と、 処理順序情報と各運転情報信号とを整合処理し、運転無
   効であるプロセス処理装置を切り離し、運転有効なプロ
   セス処理装置のみを使って運転続行する装置制御手段と
   を具備し、 前記運転有効であるプロセス処理装置を処理経路に組み
   込んで運転している連続処理運転中に、運転無効である
   プロセス処理装置のメインテナンス作業を行う際に、該
   メインテナンス対象プロセス処理装置に対する前記主制
   御部の操作権を前記補助制御盤に移譲することにより装
   置の機側で作業が行えるように構成したことを特徴とす
   る真空処理装置。