KR101192674B1

KR101192674B1 - 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR101192674B1
Application number: KR1020070098631A
Authority: KR
Inventors: 시게키 노가미; 미츠루 후나쿠라; 이사오 테라니시; 쯔카사 야시마; 히로시 에코
Original assignee: 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
Priority date: 2006-10-04
Filing date: 2007-10-01
Publication date: 2012-10-19
Also published as: KR101046260B1; US20080178119A1; KR20080031624A; US8806370B2; JP2008112968A; KR101297131B1; KR20120087865A; JP5224744B2; KR20110036725A

Abstract

제품의 품질 저하 및 장치의 손상을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치(10) 상에서 동작하는 제어 프로그램(40)에 있어서, 레시피 기억부(408) 및 파라미터 기억부(410)는, 제어에 관한 데이터를 기억하는 데이터 기억 수단을 구성한다. 권한이 있는 사용자가 인증 처리에 의하여 인증되면, 해당 사용자는 편집 화면을 개재하여 데이터의 편집 조작을 한다. 설정부(406)는, 상기 데이터 기억 수단에 의해 기억되고 있는 데이터를 편집하기 위한 조작을 UI 장치(20)를 개재하여 받아들인다. 계시부(416)는, 설정부(406)에 의해 받아들여진 조작 사이의 시간을 계측하여 조작 제어부(414)에 대하여 출력한다. 조작 제어부(414)는, 계시부(416)에 의해 계측된 시간이 소정 시간을 초과한 경우, 데이터를 편집하기 위한 조작의 접수를 금지한다.

기판, 운전 레시피, 인증

Description

기판 처리 장치{Substrate Treatment Apparatus}

본 발명은, 반도체 기판이나 유리 기판 등을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

이러한 종류의 기판 처리 장치는, 소정의 제어 파라미터 및 장치 파라미터 하에서, 복수의 프로세스 등으로 이루어진 운전 레시피를 토대로 제어된다. 이와 같은 운전 레시피나 장치 파라미터는, 편집 권한을 가지는 사용자(user)에 의해 소정의 편집 화면을 개재하여 편집된다.

특허 문헌 1에서는, 복수의 프로세스실을 구비하고, 피처리물인 웨이퍼를 복수의 프로세스실로 흘려 보내고, 웨이퍼에 대하여 서로 다른 복수의 프로세스를 실행하는 반도체 처리 장치에 있어서, 복수의 프로세스 등으로 이루어진 운전 레시피를 작성하기 위한 운전 레시피 작성 화면을 표시부에 표시하는 장치가 개시되어 있다.

[특허문헌 1] 일본특허공개번호 제1999－195573호 공보

그러나, 편집 권한을 갖는 사용자가, 긴급상황에 대응하거나, 비상벨이 울려 피난하거나, 몸상태가 안 좋은 사정 등에 의하여, 운전 레시피 등의 편집 중인 장치로부터 이탈하는 경우, 화면상에 표시되어 있는 운전 레시피 등은, 본래 편집 권한을 갖지 않는(편집하는 것이 허락되지 않는) 사용자에 의해 편집될 우려가 있다. 만약, 장치가, 잘못하여 편집된 운전 레시피나 장치 파라미터(parameter)를 토대로 실행되어 버리면, 장치가 손상을 받거나 또는 제품의 품질이 열화 하는 등 여러 가지의 문제가 발생한다.

본 발명은, 편집 권한을 갖지 않는 사용자에 의한 부적절한 편집을 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 작성 또는 편집된 운전 레시피(recipe)를 실행해 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 운전 레시피를 작성 또는 편집하기 위한 편집 화면을 표시하는 표시 수단과, 상기 표시 수단에 의하여 표시된 편집 화면 상에서 조작이 수행되지 않은 채 미리 설정된 시간이 경과했을 경우, 로그아웃 처리 및 상기 편집 화면으로부터 상기 편집 화면과는 다른 소정의 화면으로 화면을 변환 처리함과 동시에 상기 로그아웃 처리시까지 편집된 편집 도중의 운전 레시피를 편집 전의 운전 레시피로 되돌리는 처리를 하도록 제어하는 제어 수단을 가진다.

바람직하게는, 상기 제어 수단은, 상기 편집 화면으로부터 초기 화면으로 전 환시킨다.

바람직하게는, 상기 제어 수단은, 상기 편집 화면으로부터 인증 화면으로 전환시킨다.

바람직하게는, 상기 초기 화면에는, 조작 권한의 변경 및 로그인 처리를 하기 위한 지정 수단이 포함되고, 상기 제어 수단은, 상기 지정 수단을 개재하여 조작 권한의 변경 및 로그인 처리를 한 경우, 운전 레시피의 편집 조작을 받아들인다.

바람직하게는, 상기 제어 수단은, 상기 인증 화면을 개재하여 입력된 사용자의 식별자 및 패스워드와, 미리 기억되어 있는 사용자의 식별자 및 패스워드가 일치한 경우, 운전 레시피의 편집 조작을 받아들인다.

또한, 바람직하게는, 상기 제어 수단은, 편집 도중의 운전 레시피에 관한 데이터를 일시 파일로서 보존한다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 편집 권한이 없는 사용자가 운전 레시피나 장치 파라미터 등의 편집을 실행하는 경우가 없기 때문에, 부정한 운전 레시피의 실행에 의한 제품 품질의 저하 및 부정한 장치 파라미터의 실행에 의한 장치의 손상을 방지할 수 있다.

먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 개략을 설명한다.

도 1은, 본 발명에 따른 기판 처리 장치에 대하여 소정의 처리를 할 때 표시되는 메뉴(menu) 화면 및 인증 화면을 나타내는 그림으로서, 도 1(A)은 메뉴 화면 을 나타내며, 도 1(B)는 인증 화면을 나타낸다. 도 2는, 본 발명에 따른 기판 처리 장치에 기억되어 있는 운전 레시피나 장치 파라미터를 편집하기 위한 화면을 예시하는 그림이며, 도 2(A)는 레시피 편집 화면을 예시하고, 도 2(B)는 파라미터 데이터(장치 파라미터)를 설정함으로써 장치 상태나 사용 가능한 기능 등을 용이하게 변경하기 위한 파라미터 편집 화면을 예시한다.

도 1(A)에 나타내는 바와 같이, 메뉴 화면에는, 초기화 처리, 레시피 편집 처리, 파라미터 편집 처리, 권한 변경 처리 등의 처리를 지정하는 복수의 버튼이 포함된다. 사용자는, 운전 레시피나 장치 파라미터를 편집하는 경우, 메뉴 화면에 있어서 원하는 처리에 대응하는 버튼을 눌러 처리를 한다.

도 1(B)에 나타내는 바와 같이, 인증 화면에는, 사용자 식별자(ID)와 해당 ID에 대응하는 패스워드를 입력하기 위한 입력부 및 로그인 버튼이 포함된다. 사용자가 메뉴 화면에 있어서 소정의 버튼을 누르면, 인증 화면이 표시된다. 사용자가 인증 화면에 있어 ID 및 패스워드를 입력하고, 로그인 버튼을 누르면, 이 사용자가 메뉴 화면에 있어서 선택된 처리를 할 수 있는 권한을 가지고 있는지 없는지 판정된다. 사용자가 권한을 가지고 있는 경우, 사용자는, 선택한 처리(예를 들면, 레시피 편집, 파라미터 편집 등)를 할 수 있다.

도 1을 사용해, 레시피 편집으로부터 레시피 실행까지의 흐름을 상술한다.

사용자가 도 1(A)에 나타나는 권한 변경 버튼을 누르면, 화면은 도 1(B)의 인증 화면으로 전환되고, 사용자는 로그인(사용자 ID 및 패스워드 입력)을 한다. 로그인 처리가 실행되면, 화면은, 도 1(A)의 메뉴 화면으로 다시 전환된다. 로그인 전의 초기 화면(메뉴 화면)과 상기 메뉴 화면과의 차이는, 상기 메뉴 화면에서는, 로그인을 한 사용자가 사용할 수 있는 기능이 종류에 따라 표시되고 있다는 점이다. 사용자가 이 화면 상에서 레시피 편집 버튼을 누르면, 화면은 레시피 편집 화면으로 전환된다. 사용자는, 레시피 편집 화면에서 편집 작업을 하고, 편집을 종료하면 보존 종료 버튼을 누른다. 보존 종료 버튼을 누르면, 화면은 메뉴 화면으로 되돌아간다. 그리고, 사용자는, 도시하지 않는 레시피 실행 버튼을 눌러 레시피를 실행시키는 화면을 표시하고, 레시피를 선택하여 실행한다.

한편, 사용자가 한 번 로그인을 하면, 로그아웃 처리를 하지 않는 한, 조작 권한이 유지된다. 일반적으로, 권한 레벨이 낮은 사용자가 장치를 운용하고 있으므로, 레시피 편집이나 파라미터 설정 변경 등의 특수한 작업을 하는 경우, 권한 레벨이 높은 사용자가 다시 로그인을 하고 나서 실시하고 있다. 권한 레벨이 높은 사용자는, 이와 같은 특수한 작업을 종료하면, 그 후 로그아웃 하고, 다시 권한 레벨이 낮은 사용자가 로그인하여 장치를 운용한다.

도 2(A)에 예시하는 바와 같이, 레시피 편집 화면에는, 운전 레시피에 포함되는 복수의 단계, 이들 단계에 있어서 설정치 및 설정치를 보존하기 위한 보존 종료 버튼 등을 포함하는 복수의 조작 버튼이 포함된다. 사용자는, 레시피 편집 화면에 있어 설정치를 변경하고, 보존 종료 버튼을 누름으로써, 운전 레시피의 내용을 변경함과 동시에 레시피 편집 화면은 메뉴 화면으로 전환된다. 본 발명에 있어서, 운전 레시피 내용의 변경은, RF 출력, 압력, 처리 가스 유량 등의 제어 파라미터를 설정함으로써 가능하다. 예를 들면, 압력이 600 Pa인 것을 6000 Pa 등으로 하면, 프로세스 조건이 다르기 때문에 기판 품질 저하의 요인이 된다. 그 결과 기판의 손실로 연결될 가능성이 있다. 또한, 메뉴 화면으로의 전환은, 보존 종료 버튼을 누르고, 표시 전환 버튼을 누름으로써 실시하도록 해도 된다.

도 2(B)에 예시하는 바와 같이, 파라미터 편집 화면에는, 복수의 장치 파라미터, 이들 장치 파라미터의 설정을 보존하기 위한 보존 종료 버튼 등을 포함하는 복수의 조작 버튼이 포함된다. 사용자는, 파라미터 편집 화면에 있어 파라미터의 설정을 변경하고, 보존 종료 버튼을 누름으로써, 장치 파라미터의 내용을 변경한다. 본 발명에 있어서, 파라미터 A는, 예를 들면 프로세스실(처리실)을 설정하는 버튼이다. 하나밖에 유효하게 되어 있지 않으나, 이는 실시 형태를 종형 장치로 하고 있기 때문이다. 도시하지 않았지만 복수의 처리실을 가지는 매엽장치라면, 예를 들어 모두 유효하게 설정을 할 수 있다. 또한, 유지 보수가 필요한 처리실이 있는 경우에는 그 처리실을 무효로 설정함으로써 나머지의 처리실에서 기판의 처리를 할 수 있도록 설정할 수 있다. 예를 들면, 이 설정을 잘못하여 유효하게 설정해 버리면 유지 보수가 필요한 처리실에 반송 장치가 기판을 넣으려고 하기 때문에, 결과적으로 기판의 손실뿐 아니라, 장치를 구성하는 부품(반송장치 등) 그 자체에 손상을 줄 것을 쉽게 예상할 수 있다. 또한, 유지 보수가 필요한 처리실에 잘못하여 가열 처리를 하여, 유지 보수 작업자가 위험한 경우에 처하는 사태를 초래할 우려가 있다.

파라미터 B는, 예를 들면 로드 포트(load port)의 설정을 실시하는 버튼이다. 종형 장치나 매엽장치인 경우에 관계없이, 현재 사용할 수 있는 로드 포트의 수에 따라 설정을 차례로 실시한다. 예를 들면, 이 설정을 잘못하여 무효(로드 포트가 없거나 또는 유지 보수 중)로 하면, 로드 포트에 카셋트를 둘 수 없게 된다.

파라미터 C는, 예를 들면 N₂ 가스 퍼지(purge) 기능을 설정하는 버튼이다. 이는 본 실시 형태에 있어서 종형 장치의 경우, 후술하는 바와 같이, 이재실(移載室)(124)을 깨끗한 상태로 만든다. 이 기능이 유효하게 되지 않으면 특히 처리가 완료된 웨이퍼 표면에 자연 산화막이 형성되어, 웨이퍼의 품질 저하를 초래한다.

파라미터 D는, 예를 들면 노치(notch) 맞춤 기구를 유효하게 할지 어떨지, 즉 웨이퍼의 위치 맞춤을 할지 어떨지의 설정이다. 통상적으로는, 웨이퍼의 품질 향상을 위해, 웨이퍼의 위치 맞춤(노치 맞춤)을 하지만, 처리 내용에 따라서는 노치 맞춤을 할 필요가 없는 경우가 있다. 이 경우, 노치 맞춤을 하지 않고 웨이퍼 이재를 함으로써 스루풋(throughput)을 올릴 수가 있다.

이상, 편집 화면에 있어서 장치 파라미터의 설정에 대해 설명했으나, 상기한 본 실시의 형태는 한 예로서, 이에 국한하지 않고 여러 가지의 파라미터 추가, 변경 등을 할 수 있는 것은 당연하다. 예를 들면, 로드록(loadlock)실의 설정을 파라미터 E로서 추가할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 레시피 편집 화면, 파라미터 편집 화면 등 기판 처리 장치의 기능에 관한 데이터를 편집하는 화면에 있어서, 데이터를 편집하기 위한 조작을 받아들인다. 예를 들면, 기판 처리 장치는, 소정의 편집 화면에 있어서 사용자가 키보드를 사용해 입력하는 조작 및 마우스 등의 포인팅 디바이 스(pointing device)를 사용해 실시하는 조작을 받아들인다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 받아들여진 조작과 그 다음의 조작과의 사이의 시간을 계측하고, 계측된 시간이 소정 시간을 초과한 경우, 데이터를 편집하기 위한 조작의 접수를 금지한다. 예를 들면, 기판 처리 장치는, 조작을 받아들이지 않고 소정 시간 경과한 경우, 로그아웃 처리를 하여, 초기 화면(예를 들면, 메뉴 화면)을 표시한다. 이 경우, 사용자는, 다시 ID 및 패스워드를 입력하지 않으면, 운전 레시피 등의 편집을 할 수가 없다.

로그아웃 처리에 의해 전환된 초기 화면(메뉴 화면)은, 가장 권한이 낮은 사용자에게 대응한 화면(default 화면)으로 되어 있다. 이는, 편집 도중의 레시피가 다른 사용자에게 사용되지 않게 하기 위함이다. 또한, 편집 도중에 로그아웃 되는 경우, 로그아웃시까지 편집된 데이터(파라미터 등)는 파기된다. 이는, 편집 완료된 데이터가 보존된 뒤, 편집 도중의 레시피를 다른 사용자가 알지 못하고 레시피를 보존하여 실행하면, 잘못된 운전 레시피로 실행되게 되어, 제품의 품질의 저하 및 장치의 파손의 원인이 되기 때문이다.

사용자는, 로그아웃 후의 메뉴 화면에 있어서, 메뉴 화면상의 권한 변경 버튼을 눌러 다시 로그인을 하여, 레시피 편집 화면을 다시 한 번 표시시켜 편집 작업을 한다.

한편, 편집 도중의 레시피는, 편집 전의 상태에 복귀되고, 편집된 데이터 정보는, 일시 파일로 보관되어도 된다. 이 경우, 편집 도중의 데이터가 일시적으로 파일에 보존되고 있으므로, 다른 사용자가 편집되어 있지 않은 레시피를 실행할 수 있다. 또한, 로그아웃 전에 편집 작업을 하고 있던 사용자가 다시 편집 작업을 하는 경우에 유효하다. 예를 들면, 편집 도중까지 작업한 사용자가 다시 로그인한 경우, 원래의 레시피가 일시적 파일의 데이터를 사용하여 갱신됨으로써, 사용자가 레시피를 다시 편집하지 않아도 되므로 편리하다. 또한, 원래의 레시피를 일시 파일을 사용해 갱신할지 아닐지를 선택할 수 있도록 해도 된다.

로그아웃시의 편집 도중의 데이터는, 편집된 데이터의 사용 방법이나 사용자의 형편 등 여러 가지이다. 따라서, 범용성을 갖도록 하기 위해, 편집 도중의 데이터가 삭제될지 또는 일시적으로 파일에 보존될지를 선택할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 예를 들면, 기판 처리 장치는, 조작을 받아들이지 않고 소정 시간 경과한 후, 로그아웃 처리를 하여, 인증 화면[도 1(B)]을 표시하고, 사용자에 대해서 ID 및 패스워드를 입력하는 것을 요구하도록 해도 무방하다. 이 경우, 사용자는, ID 및 패스워드를 다시 입력하지 않으면, 운전 레시피 등의 편집을 할 수가 없다.

예를 들면, 도중까지 편집하고 있던 사용자가 다시 로그인한 경우만, 기판 처리 장치가 편집 조작을 받아들임으로써, 편집 도중의 레시피가 다른 사용자에 의해 실행되지 않도록 할 수 있다. 이와 같은 경우, 로그아웃 처리시까지 편집된 레시피에 관한 데이터의 보존도 가능하다.

편집 도중의 레시피를 편집 전의 레시피로 복귀시키고, 편집 도중의 데이터를 버퍼 파일(일시 파일)에 별도 보존해 두고, 다른 사용자의 조작을 받아들일 수도 있다. 이 경우, 편집 도중까지 작업한 사용자가, 다시 로그인한 경우, 편집 도 중의 데이터를 사용해 원래의 레시피를 갱신할 수 있도록 해도 된다. 또한, 일시 파일에서 원래의 레시피를 갱신할지 아닐지 선택하도록 해도 된다. 다른 사용자가 로그인한 경우, 해당 사용자는 편집 전의 레시피(원래의 레시피)를 실행할 수 있다.

따라서, 편집 처리 동안에, 기판 처리 장치가 조작을 받아들이지 않고 소정 시간이 경과한 경우, 레시피 편집 화면으로부터 지정된 소정의 화면으로 전환함으로써, 편집 권한이 있는 사용자가 없더라도, 편집 권한이 없는 사용자가, 편집 화면의 값을 바꾸는 것을 방지할 수 있다. 그 때문에, 장치가, 잘못 편집된 운전 레시피 등을 토대로 제어되는 것이 방지되고, 제품 품질의 저하 및 장치의 손상이 방지된다.

다음에, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)를 상세하게 설명한다.

도 3은, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 구성을, 제어장치(12)를 중심으로 나타내는 그림이다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(10)는, CPU(14) 및 메모리(16) 등을 포함한 제어장치(12)와, 네트워크를 개재하여 외부 컴퓨터 등과 데이터의 송신 및 수신을 하는 통신 장치(18)와, 하드 디스크 드라이브 등의 기억장치(22)와, 액정 디스플레이 등의 표시장치 및 키보드 및 마우스 등의 포인팅 디바이스를 포함하는 유저 인터페이스(UI) 장치(20)와 프로세스 장치(100)를 가진다.

제어장치(12)는, 프로세스 장치(100)에 대하여, 기판에 대한 처리의 지시를 발송한다. 또한, 제어장치(12)는, 도시하지 않는 네트워크를 개재하여 외부의 호스트 장치 등에 대해서 프로세스 장치(100) 상태 등을 송신한다.

프로세스 장치(100)(기판 처리 장치 본체)는, 예를 들면 기판에 산화 및 확산 처리 및 CVD 처리 등을 하는 종형의 장치이며, 제어장치(12)에 의한 지시를 토대로, 온도나 가스 등을 조정하여 기판에 대하여 성막 처리를 한다. 구체적으로는, 프로세스 장치(100)는, 기억되고 있는 운전 레시피, 제어 파라미터등을 토대로, 제어장치(12)에 의하여 제어된다.

이와 같이, 기판 처리 장치(10)는, 예를 들면, 후술하는 제어 프로그램(40) 등이 설치된 범용 컴퓨터를 포함하고, 기판에 대하여 소정의 처리를 하는 것이다. 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)는, 운전 레시피, 장치 파라미터 등 기능에 관한 데이터를 기억하고, 상기 기억되어 있는 데이터를 편집하기 위한 조작을 받아들이고, 상기 받아들여진 조작 사이의 시간을 계측하고, 상기 계측된 시간이 소정 시간을 초과할 경우, 데이터를 편집하기 위한 조작의 접수를 금지한다. 기판 처리 장치(10)는, UI 장치(20)의 키보드 및 마우스 등을 개재하여 사용자에 의해 수행되는 조작을 받아들여도 되고, 사용자가 외부의 컴퓨터(도시하지 않음)를 사용해 입력한 조작을 통신 장치(18)를 개재하여 받아들여도 된다.

도 4는, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 적용되는 프로세스 장치(100)의 경사 투시도이다.

도 5는, 도 4에 나타내는 프로세스 장치(100)의 측면 투시도이다.

도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 프로세스 장치(100)는, 광체(111)을 구 비하고 있다. 이 광체(111)의 정면벽(111a)의 정면 전방부에는, 유지 보수 할 수 있도록 설치된 개구부로서의 정면 유지 보수구(103)가 개설되고, 이 정면 유지 보수구(103)를 개폐하는 정면 유지 보수문(104), (104)이 각각 설치되어 있다. 또한, 프로세스 장치(100)는, 실리콘 등으로 되어 있는 웨이퍼(기판)를 수납한 웨이퍼 캐리어(carrier)로서 후프(FOUP, 기판 수용기, 이하 포드라고 한다)(110)를 구비한다.

광체(111)의 정면벽(111a)에는, 포드 반입 반출구(기판 수용기 반입 반출구)(112)가 광체(111) 내외를 연통(連通)하도록 개설되어 있고, 포드 반입 반출구(112)는, 프론트 셔터(기판 수용기 반입 반출구 개폐 기구)(113)에 의하여 개폐되도록 되어 있다. 포드 반입 반출구(112)의 정면 전방 측에는, 로드 포트(기판 수용기 수수대)(114)가 설치되어 있고, 로드 포트(114)는, 포드(110)를 재치(載置)하여 위치 맞춤을 하도록 구성되어 있다. 포드(110)는, 로드 포트(114)상에 공정 내 반송 장치(도시하지 않음)에 의해 반입되며 또한, 로드 포트(114)상으로부터 반출되도록 되어 있다.

광체(111) 내의 전후방향의 실질적으로 중앙부에 있어서 상부에는, 회전식 포드 선반(기판 수용기 재치 선반)(105)이 설치되어 있고, 회전식 포드 선반(105)은, 복수 개의 포드(110)를 보관하도록 구성되어 있다. 즉, 회전식 포드 선반(105)은, 수직으로 입설(立設)되어 수평면 내에서 간헐 회전되는 지주(116)와, 지주(116)의 상중하단 각 위치에 있어서 방사상으로 지지된 복수 매의 선반판(기판 수용기 재치대)(117)을 구비하고 있으며, 복수 매의 선반판(117)은, 포드(110)를 복수 개씩 각각 재치한 상태로 보지하도록 구성되어 있다.

광체(111) 내에 있어서의 로드 포트(114)와 회전식 포드 선반(105)과의 사이에는, 포드 반송 장치(기판 수용기 반송 장치)(118)가 설치되어 있고, 포드 반송 장치(118)는, 포드(110)를 보지한 채로 승강 가능한 포드 엘리베이터(기판 수용기 승강기구)(118a)와 반송 기구로서의 포드 반송 기구(기판 수용기 반송 기구)(118b)로 구성되어 있다. 포드 반송 장치(118)는, 포드 엘리베이터(118a)와 포드 반송 기구(118b)와의 연속 동작에 의해, 로드 포트(114), 회전식 포드 선반(105), 포드 오프너(pod opener, 기판 수용기 덮개 개폐 기구)(121)와의 사이에서, 포드(110)를 반송하도록 구성되어 있다.

광체(111) 내의 전후방향의 실질적으로 중앙부에 있어서 하부에는, 서브 광체(119)가 후단에 걸쳐서 구축되고 있다. 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에는, 웨이퍼를 서브 광체(119) 내에 대해 반입 반출하기 위한 웨이퍼 반입 반출구(기판 반입 반출구)(120)가 한 쌍, 수직 방향으로 상하 2단으로 정렬되어 개설되고 있다. 상하단의 웨이퍼 반입 반출구(120), (120)에는, 한 쌍의 포드 오프너(121), (121)가 각각 설치되어 있다. 포드 오프너(121)는, 포드(110)를 재치하는 재치대(122), (122)와, 포드(110)의 캡(덮개)을 착탈하는 캡 착탈 기구(덮개 착탈 기구)(123), (123)를 구비하고 있다. 포드 오프너(121)는, 재치대(122)에 재치된 포드(110)의 캡을 캡 착탈 기구(123)에 의하여 착탈함으로써, 포드(110)의 웨이퍼 출입구를 개폐하도록 구성되어 있다.

서브 광체(119)는, 포드 반송 장치(118)나 회전식 포드 선반(105)의 설치 공 간으로부터 유체적으로 격절된 이재실(124)을 구성하고 있다. 이재실(124)의 앞쪽 영역에는, 웨이퍼 이재 기구(기판 이재 기구)(125)가 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 기구(125)는, 웨이퍼를 수평 방향으로 회전 내지 직동 가능한 웨이퍼 이재 장치(기판 이재 장치)(125a)와, 웨이퍼 이재 장치(125a)를 승강시키기 위한 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(기판 이재 장치 승강기구)(125b)로 구성되어 있다. 도 4에 모식적으로 나타나고 있는 바와 같이, 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)는, 내압 광체(111) 우측 단부와 서브 광체(119)의 이동실(124) 전방 영역 우단부와의 사이에 설치되어 있다. 이들은, 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)의 연속 동작에 의하여, 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(tweezer, 기판 보지체)(125c)를 웨이퍼 재치부로서, 보트(기판 보지도구)(217)에 대하여 웨이퍼를 장전(charging) 및 탈장(discharging) 하도록 구성되어 있다.

이재실(124)의 후측 영역에는, 보트(217)를 수용하여 대기시키는 대기부(126)가 구성되어 있다. 대기부(126)의 상방에는, 처리로(202)가 설치되어 있다. 처리로(202)의 하단부는, 노구(爐口) 셔터(노구 개폐 기구)(147)에 의해 개폐되도록 구성되어 있다.

도 4에 모식적으로 나타나 있는 바와 같이, 내압 광체(111) 우측 단부와 서브 광체(119)의 대기부(126) 우단부와의 사이에는, 보트(217)를 승강시키기 위한 보트 엘리베이터(기판 보지도구 승강기구)(115)가 설치되어 있다. 보트 엘리베이터(115)의 승강대에 연결된 연결도구로서의 암(128)에는, 덮개로서의 씰캡(seal cap)(219)이 수평으로 설치되어 있고, 씰캡(219)은 보트(217)를 수직으로 지지하 며, 처리로(202)의 하단부를 폐색할 수 있도록 구성되어 있다. 보트(217)는, 복수 본의 보지 부재를 구비하고 있고 복수 매(예를 들면, 50매?125매 정도)의 웨이퍼를 그 중심을 가지런히 하여 수직 방향으로 정렬시킨 상태에서, 각각 수평으로 유지하도록 구성되어 있다.

도 4에 모식적으로 나타낸 바와 같이, 이재실(124)의 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 측 및 보트 엘리베이터(115) 측과 반대측인 좌측 단부에는, 청정화한 분위기 또는 불활성 가스(N₂ 가스)인 클린 에어(133)를 공급하도록 공급 팬(fan) 및 방진 필터로 구성된 클린 유니트(134)가 설치되어 있다. 웨이퍼 이재 장치(125a)와 클린 유니트(134)와의 사이에는, 도시는 하지 않지만, 웨이퍼의 원주 방향의 위치를 정합(整合)시키는 기판 정합 장치로서 노치 맞춤 장치(135)가 설치되어 있다.

클린 유니트(134)로부터 불어낸 클린 에어(133)는, 노치 맞춤 장치(135) 및 웨이퍼 이재 장치(125a), 대기부(126)에 있는 보트(217)를 유통한 후, 도시하지 않는 덕트에 의해 흡입되고, 광체(111)의 외부로 배기되던지, 또는 클린 유니트(134)의 흡입측인 1차측(공급측)으로까지 순환되어, 다시 클린 유니트(134)에 의하여, 이재실(124) 내로 불어내도록 구성되어 있다.

도 6은, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 제어장치(12)에 의해 실행되는 제어 프로그램(40)의 기능 구성을 나타내는 그림이다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 제어 프로그램(40)은, 유저 인터페이스(UI)부 (400), 인증부(402), 사용자 DB(404), 설정부(406), 레시피 기억부(408), 파라미터 기억부(410), 장치 제어부(412), 조작 제어부(414) 및 계시부(計時部)(416)를 가진다. 제어 프로그램(40)은, 예를 들면, FD, CD 또는 DVD 등의 기록 매체(24)(도 3)에 격납되고 기판 처리 장치(10)에 공급되며, 메모리(16)에 로드되어, 제어장치(12) 상에서 동작하는 도시하지 않는 OS 상에서, 하드웨어를 구체적으로 이용해 실행된다. 제어 프로그램(40)은, 도시하지 않는 네트워크에 접속된 외부 컴퓨터로부터 통신 장치(18)를 개재하여 제어장치(12)에 공급되어도 된다.

제어 프로그램(40)에 있어서, UI 부(400)는, UI 장치(20)에 대한 사용자의 조작을 받아들이고, 제어 프로그램(40)의 각 구성 부분에 대해서 출력한다. 또한, UI부(400)는, 제어 프로그램(40)의 각 구성 부분에 의해 작성된 정보, 데이터 및 각 구성 부분의 처리 내용 등을 UI 장치(20)의 표시장치에 표시한다.

사용자 DB(404)는, 사용자의 식별자(ID), 사용자의 패스워드 및 레시피 편집 처리, 파라미터 편집 처리 등 각각의 처리에 대한 사용자의 권한을 기억한다. ID는, 오로지 사용자를 식별하기 위한 식별자이다. 패스워드는, 사용자를 인증하기 위한 예컨대 영숫자로 되는 소정의 길이의 문자열이다. 권한은, 예컨대, 설정치를 참조 및 편집하기 위한 ‘편집’ 권한, 설정치를 참조하기 위한 ‘참조’ 권한 및 참조, 편집의 어느 것도 할 수 없는 ‘금지’ 권한의 어느 하나이다. 사용자는, 각각의 처리에 대해서 어느 하나의 권한을 설정하고 있다. 사용자 DB(404)는, 메모리(16) 및 기억장치(22)의 적어도 어느 하나에 의하여 실현된다.

인증부(402)는, 인증 화면에 있어서 입력된 ID 및 패스워드를 받아들이고, 사용자 DB(404)를 참조하여, 사용자를 인증한다. 구체적으로는, 인증부(402)는, ID 및 패스워드를 받아들이면, 패스워드가 ID에 대하여 올바른지 아닌지 판정한다. 또한, 인증부(402)는, 메뉴 화면에 있어서 선택된 처리에 대한 사용자의 권한을 참조하여, 사용자가 해당 처리에 대한 권한을 가지는지 아닌지를 판정한다. 패스워드가 ID에 대하여 올바르고, 또한 사용자가 선택된 처리를 할 수 있다고 판정되었을 경우, 인증부(402)는, 선택된 처리가 실행되는 것을 허가한다.

레시피 기억부(408)는, 복수의 프로세스 처리 내용이 기재된 운전 레시피를 기억한다. 파라미터 기억부(410)는, 프로세스 장치(100)를 제어하기 위한 파라미터를 기억한다. 구체적으로는, 파라미터 기억부(410)는, 프로세스 장치(100) 상태나 사용 가능한 기능 등을 변경하기 위한 장치 파라미터를 기억한다. 이와 같이 하여, 레시피 기억부(408) 및 파라미터 기억부(410)는, 프로세스 장치(100)의 기능에 관한 데이터를 기억하는 데이터 기억 수단을 구성한다. 레시피 기억부(408) 및 파라미터 기억부(410)는, 사용자 DB(404)와 마찬가지로, 기억장치(22) 등에 의해 실현된다.

설정부(406)는, 레시피 기억부(408) 또는 파라미터 기억부(410)에 의하여 기억되어 있는 데이터를 편집하기 위한 조작을 받아들일 편집 조작 접수 수단을 구성한다. 구체적으로는, 설정부(406)는, 사용자에 의해 레시피 편집 화면(도 2) 또는 파라미터 편집 화면을 개재하여 입력되는 조작을 받아들이고, 레시피 기억부(408)에 기억되어 있는 운전 레시피, 파라미터 기억부(410)에 기억되어 있는 장치 파라미터의 등록, 삭제 및 갱신을 한다.

장치 제어부(412)는, 레시피 기억부(408)에 기억되어 있는 운전 레시피 및 파라미터 기억부(410)에 기억되어 있는 장치 파라미터를 토대로, 프로세스 장치(100)에 대하여, 기판의 처리에 관한 지시를 출력하고, 프로세스 장치(100)를 제어한다.

계시부(416)는, 설정부(406)에 의해 받아들여진 조작 사이의 시간을 계측한다. 구체적으로는, 계시부(416)는, 설정부(406)가 사용자에 의한 조작을 받아들인 경우, 계시된 값을 조작 제어부(414)에 의해 초기화된다. 계시부(416)는, 소정의 간격으로 시간을 계측하고, 계측치를 조작 제어부(414)에 대해 출력한다.

조작 제어부(414)는, 계시부(416)에 의해 계측된 시간이 소정 시간을 초과한 경우, 데이터를 편집하기 위한 조작의 접수를 금지하는 금지 수단을 구성한다. 보다 구체적으로는, 조작 제어부(414)는, 레시피 편집 화면, 파라미터 편집 화면 등 기판 처리 장치의 기능에 관한 데이터를 편집하는 화면에 있어서, 데이터를 편집하기 위한 조작을 받아들이고, 계시부(416)에 의해 계측된 시간을 초기화한다. 조작 제어부(414)는, 계시부(416)에 의해 계측되는 시간을 받아들여, 해당 시간이 소정 시간을 초과했는지 여부를 판정한다. 그 시간이 소정 시간을 초과한 경우, 조작 제어부(414)는, 조작의 접수를 금지한다.

예를 들면, 조작 제어부(414)는, 인증부(402)를 제어하여, 조작 중의 사용자를 강제적으로 로그아웃시켜, 메뉴 화면 등의 초기 화면 또는 인증 화면을 UI 장치(20)에 표시한다. 또한, 예를 들면, 조작 제어부(414)는, 조작을 받아들이지 않고 소정 시간 경과한 후에 조작을 받아들인 경우, 인증부(402)를 제어하여, 인증 화면을 표시시켜 ID 및 패스워드를 입력시킨다.

다음에, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 제어 처리를 설명한다.

도 7은, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 의한 편집 화면에 있어서의 제어 처리(S10)를 나타내는 플로차트(flow chart)이다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 단계 100(S100)에 있어서, 제어 프로그램(40)의 조작 제어부(414)는, UI 장치(20)에 메뉴 화면[도 1(A)]을 표시한다. 조작 제어부(414)는, 권한 변경 버튼이 눌렸는지, 사용자에 의해 어느 하나의 메뉴가 선택되었는지를 판정하고, 권한 변경 버튼이 선택되었을 경우에는 S102의 처리로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 S100의 처리로 되돌아간다.

단계 102(S102)에 있어서, 인증부(402)는, 조작 제어부(414)에 제어되고, 인증 화면[도 1(B)]을 UI 장치(20)에 표시하고, 이 인증 화면을 개재하여 입력된 ID 및 패스워드를 받아들여, 인증 처리를 한다. 구체적으로는, 인증부(402)는, 사용자 DB(404)를 참조하여, 패스워드가 ID가 올바른지 및 해당 사용자가 선택된 처리를 할 권한을 가지고 있는지를 확인한다. 그 후, 사용자의 권한에 대응한 메뉴 화면[도 1(A)]이 표시된다. 이 메뉴 화면은, 사용 가능한 기능을 분류 표시한다.

단계 104(S104)에 있어서, 조작 제어부(414)는, 계시부(416)에 의해 계측된 시간을 초기화한다. 예를 들면, 계측된 시간은 0으로 된다.

단계 106(S106)에 있어서, 사용자가 메뉴 화면상에서 사용 가능한 기능을 선택하면(누르면), 설정부(406)는, 조작 제어부(414)로 제어되고, 편집 화면[도 2(A), 도 2(B) 등]을 UI 장치(20)에 표시한다. 사용자는, 표시된 화면을 개재하여 소정 처리를 한다. 도 2(A)에서는, 원하는 제어 파라미터의 설정, 도 2(B)에서는, 원하는 장치 파라미터의 설정을 실시한다.

단계 108(S108)에 있어서, 계시부(416)는, 상기 설정에 수반하는 조작이 조작 제어부(414)로부터 통지되면, 계시 처리를 하고, 상기 조작을 접수하고 나서 계측한 시간을 조작 제어부(414)에 대하여 출력한다. 여기에서, 계시부(416)는, 계측한 시간에 소정 시간(예를 들면, 1초)을 가산하고, 가산 후의 값을 출력한다.

단계 110(S110)에 있어서, 설정부(406)는, 사용자에 의한 조작을 받아들였는지 아닌지 판정한다. 제어 프로그램(40)은, 조작이 받아들인 경우에는 S112의 처리로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 S114의 처리로 진행한다.

단계 112(S112)에 있어서, 설정부(406)는, 받아들인 조작이 종료 조작(예를 들면, ‘보존 종료’버튼이 눌려진 조작)인지 아닌지를 판정한다. 받아들인 조작이 종료 조작인 경우, 제어 프로그램(40)은 처리를 종료한다. 그렇지 않은 경우, 설정부(406)는, 접수된 조작을 토대로, 레시피 기억부(408), 파라미터 기억부(410) 등에 기억되어 있는 데이터의 참조, 갱신 등을 하고, 제어 프로그램(40)은 S104의 처리로 되돌아온다.

단계 114(S114)에 있어서, 조작 제어부(414)는, 계측된 시간[즉, 계시부(416)으로부터 출력된 시간]이 미리 결정된 소정 시간을 초과했는지 판정한다. 조작 제어부(414)는, 계측된 시간이 소정 시간을 초과한 경우에는 S116의 처리로 진행하고, 그렇지 않은 경우에는 S108의 처리로 되돌아온다.

단계 116(S116)에 있어서, 조작 제어부(414)는, 인증부(402)를 제어하여, 강 제적으로 로그아웃 처리를 한다. 로그아웃 처리가 실행된 후, 조작 제어부(414)는, UI 장치(20)에 초기 화면(예를 들면, 메뉴 화면)을 표시한다.

로그아웃시까지 편집된 레시피는, 그 편집된 데이터의 사용 방법이나 사용자의 형편 등에 의한 것으로서, 편집 도중에 로그아웃 되는 경우, 범용성을 갖도록 하기 위해 삭제되거나 보존되어도 좋도록 선택할 수 있도록 해 두는 것이 바람직하다.

본 실시예와 같이, 초기 화면이 표시되는 경우, 조작 제어부(414)는, 편집된 레시피는 편집 전의 레시피로 복귀되고, 편집된 데이터는 설정부(406)에 의해 파기시킨다. 그렇게 함으로써 편집 도중까지의 레시피를 다른 사용자가 잘못 실행하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 조작 제어부(414)는, 도시하지 않지만 버퍼 파일(일시 파일)을 격납하기 위한 기억부에 상기 편집된 데이터를 1차 보존할 수도 있다. 이 경우, 편집 도중의 레시피의 원래의 레시피를 다른 사용자가 편집 및 실행할 수 있다.

초기 화면이 표시된 후, 다시 편집 작업을 계속하는 경우, 사용자는, 상기 초기 화면 상에서 권한 변경 버튼을 눌러 로그인을 한다. 그리고, 메뉴 화면으로부터 레시피 편집을 선택하여, 편집 작업을 실시한다. 상기 편집된 데이터를 1차 보존해 두면, 로그인할 때에, 조작 제어부(414)에, 설정부(406)에 원래의 레시피를 갱신하도록 제어시킬 수가 있기 때문에, 다시 편집 작업을 실시할 경우에 처음부터 설정을 고칠 필요가 없어져 편리하다.

또한, 인증 화면을 표시시키도록 하여도 된다. 표시된 후, 다시 편집 작업을 계속하기 위해, 로그인을 한다. 편집 도중까지의 데이터를 보존하더라도, 편집하고 있던 사용자가 다시 로그인할 때만 인증부(402)를 제어한다. 그렇게 하면, 편집 도중 레시피를 다른 사용자자가 편집하는 것이 방지된다. 또한, 편집 도중의 레시피를 편집 전의 레시피로 복귀시키고, 편집된 데이터를 도시하지 않는 일시 파일에 1차 보존하여 둔다. 그리고, 로그인할 때에 조작 제어부(414)에, 설정부(406)에 원래의 레시피를 사용하거나 또는 원래의 레시피를 갱신시키던지 선택시키도록 하여, 다른 사용자의 로그인을 받아들여도 된다.

이와 같이 하여, 레시피 기억부(408)에 기억되어 있는 운전 레시피 및 파라미터 기억부(410)에 기억되어 있는 장치 파라미터는, 권한이 없는 사용자에 의해 편집되는 것을 막는다. 또한, 편집 도중의 레시피가 잘못하여 실행되는 적이 없다. 따라서, 조작 권한이 없는 사용자가 운전 레시피나 장치 파라미터 등의 편집을 함으로써, 제품 품질의 저하 및 장치의 손상을 방지할 수 있다.

한편,　본 실시예에 있어서는, 사용자가 입력 조작 하는 동안에 로그아웃 처리를 하고 있다. 그러나, 본 실시예의 형태에 의하지 아니하고, 예를 들면, 조작 화면으로부터의 거리(ID tag 등) 또는 비접촉으로 데이터 통신이 가능한 IC 태그와 같은 것을 사용하는 경우에는, 이 IC 태그를 독취 가능한지 등 여러 가지의 변경이 가능하다.

다음에, 운전 레시피, 장치 파라미터 등을 토대로 제어되는 프로세스 장치(100)의 동작을, 도 4 및 도 5를 참조하여 상세하게 설명한다. 이와 같은 동작은, 제어 프로그램(40)의 장치 제어부(412)에 의해 제어된다.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 포드(110)가 로드 포트(114)에 공급되면, 포드 반입 반출구(112)가 프런트 셔터(113)에 의해 개방되고, 로드 포트(114) 상의 포드(110)는, 포드 반송 장치(118)에 의해 광체(111) 내부에 포드 반입 반출구(112)로부터 반입된다.

반입된 포드(110)는, 회전식 포드 선반(105)의 지정된 선반판(117)으로 포드 반송 장치(118)에 의해 자동적으로 반송 수수되고, 일시적으로 보관된 후, 선반판(117)으로부터 한쪽의 포드 오프너(121)에 반송되어 재치대(122)에 이재되든지, 또는 직접 포드 오프너(121)에 반송되어 재치대(122)에 이재된다. 이때, 포드 오프너(121)의 웨이퍼 반입 반출구(120)는, 캡 착탈 기구(123)에 의해 닫혀지고, 이재실(124)에는, 클린 에어(133)가 유통되어 충만되고 있다. 예를 들면, 이재실(124)에는, 클린 에어(133)로서 질소 가스가 충만함으로써, 산소 농도가 20 ppm 이하로, 광체(111)의 내부(대기 분위기)의 산소 농도보다 훨씬 더 낮게 설정되어 있다.

재치대(122)에 재치된 포드(110)는, 이 개구측 단면이 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에서 웨이퍼 반입 반출구(120)의 개구 연변부(緣邊部)로 밀어 붙여짐과 동시에, 그 캡이, 캡 착탈 기구(123)에 의해 떼어져, 웨이퍼 출입구가 개방된다. 포드(110)가 포드 오프너(121)에 의해 개방되면, 웨이퍼는, 포드(110)로부터 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(125c)에 의하여 웨이퍼 출입구를 통해서 픽업 되고, 노치 맞춤 장치(135)에서 웨이퍼를 정합한 후, 이재실(124) 후방에 있는 대기부(126)에 반입되어, 보트(217)에 장전(charging)된다. 보트(217)에 웨이퍼를 수수한 웨이퍼 이재 장치(125a)는 포드(110)에 되돌아와, 다음의 웨이퍼(110)를 보 트(217)에 장전한다.

한쪽(상단 또는 하단)의 포드 오프너(121)에 있어서 웨이퍼 이재 기구(125)에 의한 웨이퍼의 보트(217)로의 장전 작업 중에, 다른 쪽(하단 또는 상단)의 포드 오프너(121)에는, 회전식 포드 선반(105)으로부터 다른 포드(110)가 포드 반송 장치(118)에 의해 반송 이재되고, 포드 오프너(121)에 의한 포드(110)의 개방 작업이 동시에 진행된다.

미리 지정된 매수의 웨이퍼가 보트(217)에 장전되면, 노구 셔터(147)에 의해 닫혀진 처리로(202)의 하단부가, 노구 셔터(147)에 의해 개방된다. 뒤이어, 웨이퍼 군(群)을 보지한 보트(217)는 씰캡(219)이 보트 엘리베이터(115)에 의해 상승됨으로써, 처리로(202) 내에 반입(loading)되어 간다.

로딩 후는, 처리로(202)에서 웨이퍼에 임의 처리가 실시된다. 처리 후는, 노치 맞춤 장치(135)에서의 웨이퍼의 정합 공정을 제외하고, 이미 상술한 반대의 순서로, 웨이퍼 및 포드(110)는 광체(111) 외부로 반출된다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 종형 장치만이 아니라, 매엽장치, 횡형장치, LCD 장치 등에도 적용될 수 있다. 또한, 이들 복수의 기판 처리 장치를 집중 관리하는 군관리(群管理) 장치에도 적용될 수 있다. 특히, 작업자가 군관리 장치를 취급하는 경우, 해당 작업자는 시스템을 관리하는 권한을 가지므로, 본 발명에 의한 효과가 현저하다. 또한, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 노내의 처리에 국한하지 않고, CVD, PVD, 산화막, 질화산(窒化散)을 형성하는 처리 및 금속을 포함한 막을 형성하는 처리를 포함한 성막 처리에 사용할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치에 대해서 소정의 처리를 할 때에 표시되는 메뉴 화면 및 인증 화면을 나타내는 그림으로서, 도 1(A)는 메뉴 화면, 도 1(B)는 인증 화면.

도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치에 기억되고 있는 운전 레시피나 제어 파라미터를 편집하기 위한 화면을 예시하는 그림으로서, 도 2(A)는 레시피 편집 화면, 도 2(B)는 파라미터 편집 화면.

도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 구성을, 제어장치(12)를 중심으로 나타낸 그림.

도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 적용되는 프로세스 장치(100)의 경사 투시도.

도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 적용되는 프로세스 장치(100)의 측면 투시도.

도 6은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 제어장치(12)에 의해 실행되는 제어 프로그램(40)의 기능 구성을 나타내는 그림.

도 7은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 의한 편집 화면에 있어서의 제어 처리(S10)를 나타내는 플로우차트.

　　<부호의 설명>

10 : 기판 처리 장치 12 : 제어장치

14 : CPU 16 : 메모리

18 : 통신 장치 20 : UI 장치

22 : 기억장치 40 : 제어 프로그램

100 : 프로세스 장치 400 : UI 부

402 : 인증부 404 :　사용자 DB

406 : 설정부 408 : 레시피 기억부

410 : 파라미터 기억부 412 : 장치 제어부

414 : 조작 제어부 416 : 계시부

Claims

작성 또는 편집된 운전 레시피(recipe)를 실행해 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서,

운전 레시피를 작성 또는 편집하기 위한 편집 화면을 표시하는 표시 수단과,

상기 표시 수단에 의하여 표시된 편집 화면 상에서 조작이 수행되지 않은 채 미리 설정된 시간이 경과했을 경우, 상기 편집 화면으로부터 로그인 처리를 수행하기 위한 인증 화면으로 화면을 변환 처리 및 상기 편집된 편집 도중의 운전 레시피를 편집 작업 전의 본래의 운전 레시피로 되돌리는 처리를 수행하고, 상기 인증 화면 상에서 로그인 처리를 수행하도록 제어하는 제어 수단

을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서,　상기 제어 수단은, 상기 편집 화면으로부터 조작 권한의 변경이나 로그인 처리를 수행하기 위한 지정 수단이 포함된 초기 화면으로 전환하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제2항에 있어서,　상기 제어 수단은, 상기 지정 수단을 개재하여 조작 권한의 변경 및 로그인 처리가 이루어진 경우, 운전 레시피의 조작을 받아들이는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제1항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 인증 화면을 개재하여 입력된 사용자의 식별자 및 패스워드와, 미리 기억되어 있는 사용자의 식별자 및 패스워드가 일치한 경우, 운전 레시피의 조작을 받아들이는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제4항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 인증 화면을 개재하여 입력된 사용자의 식별자 및 패스워드로부터, 운전 레시피의 조작을 받아들이기 위해 상기 편집 화면을 표시하는 지를 판단하는 기판 처리 장치.
운전 레시피를 작성 또는 편집하기 위한 편집 화면을 표시하고,

표시된 편집 화면 상에서 조작이 수행되지 않은 채 미리 설정된 시간이 경과했을 경우, 상기 편집 화면으로부터 로그인 처리를 수행하기 위한 인증 화면으로 화면을 변환하고, 상기 편집된 편집 도중의 운전 레시피를 편집 작업 전의 본래의 운전 레시피로 되돌리는 처리를 수행하고, 상기 인증 화면 상에서 상기 로그인 처리를 수행하도록 요구하는 화면 제어 방법.
제6항에 있어서, 상기 편집된 운전 레시피에 관한 데이터는, 일시 파일로 보존하는 화면 제어 방법.
제6항에 있어서, 상기 인증 화면을 개재하여 입력된 사용자의 식별자 및 패스워드와, 미리 기억되어 있는 사용자의 식별자 및 패스워드가 일치하면, 상기 편집 화면 상에 표시된 상기 본래의 운전 레시피의 조작을 받아들이는 화면 제어 방법.
운전 레시피를 작성 또는 편집하기 위한 편집 화면을 표시하고,

표시된 편집 화면 상에서 조작이 수행되지 않은 채 미리 설정된 시간이 경과했을 경우, 상기 편집 화면으로부터 로그인 처리를 수행하기 위한 인증 화면으로 변환하고, 상기 편집된 편집 도중의 운전 레시피를 편집 작업 전의 본래의 운전 레시피로 되돌리는 처리를 수행하고,

상기 인증 화면을 개재하여 입력된 사용자의 식별자 및 패스워드와, 미리 기억되어 있는 사용자의 식별자 및 패스워드가 일치하면, 상기 편집 화면을 표시하고, 상기 편집 화면 상에 표시된 상기 본래의 운전 레시피의 조작을 받아들이고,

상기 조작에 의해, 상기 본래의 운전 레시피를 실행하여 기판을 처리하거나, 또는 상기 본래의 운전 레시피를 편집한 후에 실행하여 기판을 처리하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조 방법.
운전 레시피를 작성, 또는 편집하기 위한 편집 화면을 표시하고,

표시된 편집 화면 상에서 조작이 수행되지 않은 채 미리 설정된 시간이 경과했을 경우, 상기 편집 화면으로부터 로그인 처리를 수행하기 위한 인증 화면으로의 화면 변환, 상기 편집된 편집 도중의 운전 레시피를 편집 작업 전의 본래의 운전 레시피로 되돌리는 처리를 수행하고,

상기 인증 화면 상에서 로그인 처리를 수행했을 경우, 상기 인증 화면을 개재하여 입력된 사용자의 식별자 및 패스워드로부터 상기 사용자의 조작 권한이 판단되고,

상기 편집 화면이 표시되면, 상기 운전 레시피의 조작을 받아들이고,

상기 편집 전의 운전 레시피를 그대로 실행하여 기판에 처리하거나, 또는 상기 본래의 운전 레시피를 편집한 후에 실행하여 기판을 처리하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조 방법.
운전 레시피를 작성, 또는 편집하기 위한 편집 화면을 표시하는 표시 수단을 구비한 기판 처리 장치 상에서 작동하는 제어 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체에 있어서,

상기 편집 화면 상에서 조작이 수행되지 않은 채 미리 설정된 시간이 경과했을 경우, 상기 편집 화면으로부터 인증 화면으로의 화면 변환 처리 및 상기 편집된 편집 도중의 운전 레시피를 편집 작업 전의 본래의 운전 레시피로 되돌리는 처리를 수행하는 제어 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.
제11항에 있어서, 또한, 상기 인증 화면에서 로그인 처리가 이루어진 경우, 상기 편집 화면을 표시하는지를 판단하는 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.