JP4669681B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
オペレータは、割り当てられている識別子を、基板処理装置に対して入力することで、許可されている操作範囲で、基板処理装置を操作できる。
しかしながら、操作範囲の制御は、基板処理装置の操作性と、セキュリティなどの安全性とを考慮してなされる必要がある。
また、好適には、前記制御手段により操作範囲が制御されることを確認する確認手段をさらに有する。
以下、本発明の第1の実施例を説明する。
図1は、本発明にかかる基板処理装置1の構成を例示する図である。
基板処理装置1は、基板処理装置本体12と、この基板処理装置本体12に対する操作範囲を制御する制御装置14と、この制御装置14とオペレータとのインターフェースを構成する表示・入力装置16とを有する。
基板処理装置1は、これらの構成部分により、入力された識別子とパスワードとを識別し、この識別子に割り当てられている操作に従って、半導体ウエハを処理する。
なお、基板処理装置1のこれらの構成部分は、全てが同一の筐体内に一体に構成されているか、別々の筐体内に構成されているかなどは問われない。
表示・入力装置16は、オペレータが基板処理装置本体12に対して必要な操作をするために用いられる。
図2(A)に示すように、オペレータの識別子には、操作権限が割り当てられており、識別子と、この識別子に割り当てられた権限とは、制御装置14(図1)にあらかじめ記憶されている。
図2(B)に示すように、操作権限には、この操作権限で可能となる操作が割り当てられており、操作権限と、この操作権限で可能となる操作とは、同様に、制御装置14に記憶されている。
ひとつの操作権限に対しては、1または2以上の可能な操作が、割り当てられている。
例えば、操作権限Aは、操作a〜操作hを可能とする操作権限であり、操作a〜操作gを可能とする操作権限B、操作a〜操作fを可能とする操作権限C、あるいは、操作b〜操作dを可能とする操作権限Dよりも、広い範囲の操作が許可された操作権限である。
図3に示すように、ステップ100(S100)において、オペレータが、表示・入力装置16を用いて、識別子とパスワードとを制御装置14に入力する。
このとき、制御装置14は入力を受け入れるとともに、表示・入力装置16に、入力された内容を表示してもよい。
ステップ102(S102)において、制御装置14は、オペレータによる入力が完了したか否かを判断し、完了したならばS104の処理に進み、完了していないならばS100の処理に戻る。
ステップ104(S104)において、制御装置14は、オペレータに入力された識別子を識別し、この識別子に対して割り当てられている操作権限を参照する。
ステップ106(S106)において、制御装置14は、この操作権限で許可されている操作を参照し、この操作範囲で動作するように、基板処理装置本体12を制御する。
ステップ108(S108)において、制御装置14は、この識別子に割り当てられているパラメータに従って、基板処理装置本体12を制御する。
ステップ110(S110)において、制御装置14は、入力された識別子と、使用日時とを操作履歴として記憶する。
このようにして、基板処理装置本体12に対して可能な操作を制御することにより、オペレータによる誤操作などを防止することができる。
制御装置14には、入力された識別子と、使用日時とが、対になって記録されている。
オペレータが操作終了処理をしなかった場合は、次のオペレータが識別子を入力しなくても、次のオペレータは、基板処理装置10を使用できることになる。
したがって、図4に示すように、実際には、7人のオペレータが、基板処理装置10を使用した際においても、制御装置14に記憶されたオペレータが、例えば、識別子が11111111と44444444である2人のみである場合もある。このような場合、オペレータは前回使用していたオペレータの操作権限のまま、基板処理装置10を使用してしまうおそれがある。
図5は、本発明にかかる基板処理装置10の構成を示す図である。
基板処理装置10は、基板処理装置本体12と、制御装置14と、表示・入力装置16と、アンテナ40を含むID(識別子)リーダ4とを有する。
基板処理装置10は、これらの構成部分により、識別対象物8の識別子を検出し、この識別子に割り当てられている操作に従って、半導体ウエハを処理する。
なお、基板処理装置10のこれらの構成部分は、全てが同一の筐体内に一体に構成されているか、別々の筐体内に構成されているかなどは問われない。
識別対象物8は、例えば、オペレータが作業するクリーンルーム内にて常時身につけているクリーン服、入退用IDカードあるいは携帯電話であれば何でもよい。
ID(識別子)リーダ4は、オペレータが基板処理装置本体12に対して必要な操作を行う位置にきたとき、オペレータ自身が身につけている識別対象物8を、読み取れるようにしておくことが好ましい。
図6は、図5に示したIDタグ6の構成を示す図である。
図6に示すように、IDタグ6は、アンテナ60、電源回路62、リミッタ64、クロック発生回路66、ID発生回路68および変調回路70から構成される。
アンテナ60は、長方形の導体の長手方向にスロットが形成された構成を採り、スロットアンテナとして動作する。
電源回路62は、IDリーダ4(図5)から送られ、アンテナ60により捉えられた問い合わせ信号を整流・平滑し、IDタグ6の各構成部分に対して電源(Vdd)として供給する。
クロック再生回路146は、アンテナ60から入力される問い合わせ信号に含まれる方形波からクロック信号を再生し、ID発生回路68に対して出力する。
ID発生回路68は、識別対象物8の識別子などのデータを記憶するROM・RAM(図示せず)などから構成され、クロック信号に同期して、ROM・RAMに記憶されたデータを順次、読み出して、識別子データを生成し、変調回路70に対して出力する。
IDタグ6の構成部分は、電源回路62が発生し、リミッタ64が電圧を制限した電源の供給を受けて動作する。
IDタグ6は、これらの構成部分の動作により、IDリーダ4から送信される問い合わせ信号に応えて、識別対象物8の識別子を含む応答信号を返す。
図7は、IDリーダ4(図5)の構成を示す図である。
図7に示すように、IDリーダ4は、円偏波アンテナ40、制御部42、送信部44、方向性結合器46、サーキューレータ48および復調部50から構成される。
制御部42は、制御装置14(図5)からの指示に従って、IDリーダ4の各構成部分の動作を制御し、検出されたID(識別)データを、制御装置14に対して出力する。
また、制御部42は、クロック信号を、送信部44と復調部50とに対して出力する。
方向性結合器46は、例えば、送信部44から入力される問い合わせ信号を、電力として1/10(−10dB)だけ、バイアス信号として復調部50に対して供給し、問い合わせ信号の残りの電力の分を、サーキューレータ48に対して出力する。
また、サーキューレータ48は、円偏波アンテナ40から入力された応答信号を、復調部50に対して出力する。
復調部50は、サーキューレータ48から入力された応答信号と、バイアス信号とを加算して検波し、クロック信号に同期して、IDデータを検出し、制御部42に対して出力する。
IDリーダ4は、これらの構成部分の動作により、IDタグ6に対して問い合わせ信号を送信し、この問い合わせ信号に応じて返される応答信号から、IDデータを検出し、制御装置14に対して出力する。
基板処理装置本体12は、ウエハに所望の厚さの膜を形成し、形成される膜の厚さを均一にするように構成されている。
図8は、図5に示された基板処理装置本体12の上面を例示する図である。
図9は、基板処理装置本体12の側面を例示する図である。
なお、図8の下側面および図9の左側面が、基板処理装置本体12の前面である。
また、基板処理装置本体12では、ウエハなどの基板を搬送するキャリヤとして、FOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)が使用されている。
この第一の搬送室103の筐体101は、平面視が六角形で、上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
第一の搬送室103には、負圧下でウエハ200を移載する第一のウエハ移載機112が、設置されている。
この第一のウエハ移載機112は、エレベータ115によって、第一の搬送室103の気密性を維持しつつ、昇降できるように構成されている。
さらに、予備室122には、搬入室用の基板置き台140が設置され、予備室123には、搬出室用の基板置き台141が設置されている。
第二の搬送室121には、ウエハ200を移載する第二のウエハ移載機124が設置されている。
この第二のウエハ移載機124は、第二の搬送室121に設置されたエレベータ126によって、昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ132によって、左右方向に往復移動されるように構成されている。
また、図9に示されているように、第二の搬送室121の上部には、クリーンエアを供給するクリーンユニット118が設置されている。
ポッドオープナ108は、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップおよびウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142を開閉するキャップ開閉機構136を備えている。
また、ポッドオープナ108は、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップおよびウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142をキャップ開閉機構136によって開閉することにより、ポッド100のウエハ出し入れを可能にする。
また、ポッド100は、図示しない工程内搬送装置(RGV)によって、前記IOステージ105に供給および排出されるようになっている。
第一の処理炉202および第二の処理炉137は、いずれもコールドウオール式の処理炉によって、それぞれ構成されている。
また、筐体101における六枚の側壁のうちの残りの互いに対向する二枚の側壁には、第三の処理炉としての第一のクーリングユニット138と、第四の処理炉としての第二のクーリングユニット139とが、それぞれ連結されている。
第一のクーリングユニット138および第二のクーリングユニット139は、いずれも処理済みのウエハ200を冷却するように構成されている。
以下、前記構成をもつ基板処理装置本体12を使用した処理工程を説明する。
未処理のウエハ200は、25枚がポッド100に収納された状態で、処理工程を実施する基板処理装置本体12へ、工程内搬送装置によって搬送される。
図8および図9に示されているように、搬送されたポッド100は、IOステージ105の上に、工程内搬送装置から受け渡されて載置される。
ポッド100のキャップおよびウエハ搬入搬出口134を開閉する蓋142が、キャップ開閉機構136によって取り外され、ポッド100のウエハ出し入れ口が開放される。
この移載作業中には、第一の搬送室103側のゲートバルブ244は閉じられており、第一の搬送室103の負圧は維持されている。
ウエハ200の基板置き台140への移載が完了すると、ゲートバルブ128が閉じられ、予備室122が排気装置(図示せず)によって負圧に排気される。
続いて、第一の搬送室103の第一のウエハ移載機112は、基板置き台140からウエハ200をピックアップして、第一の処理炉202に搬入する。
そして、処理ガスが、第一の処理炉202内に供給され、所望の処理が、ウエハ200に行われる。
そして、第一のウエハ移載機112は、第一の処理炉202から搬出したウエハ200を第一のクーリングユニット138へ搬入し、処理済みのウエハを冷却する。
第一のクーリングユニット138において、予め設定された冷却時間が経過すると、冷却済みのウエハ200は、第一のウエハ移載機112によって、第一のクーリングユニット138から第一の搬送室103に搬出される。
そして、第1のウエハ移載機112は、第一のクーリングユニット138から搬出したウエハ200を予備室123へ搬送し、基板置き台141に移載した後、予備室123は、ゲートバルブ127によって閉じられる。
この予備室123内が略大気圧に戻されると、ゲートバルブ129が開かれ、第二の搬送室121の予備室123に対応したウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142と、IOステージ105に載置された空のポッド100のキャップとが、ポッドオープナ108によって開かれる。
処理済みの25枚のウエハ200のポッド100への収納が完了すると、ポッド100のキャップと、ウエハ搬入搬出口134を閉塞する蓋142とが、ポッドオープナ108によって閉じられる。
閉じられたポッド100は、IOステージ105の上から、次の工程へ工程内搬送装置によって搬送される。
なお、第一の処理炉202および第一のクーリングユニット138が使用される場合を例にして説明したが、第二の処理炉137および第二のクーリングユニット139が使用される場合についても同様の作動が実施される。
また、第一の処理炉202と第二の処理炉137とは、それぞれ同じ処理を行ってもよいし、別の処理を行ってもよい。
第一の処理炉202と第二の処理炉137とで別の処理を行う場合、例えば第一の処理炉202でウエハ200にある処理を行った後、続けて第二の処理炉137で別の処理を行わせてもよい。
また、第一の処理炉202でウエハ200にある処理を行った後、第二の処理炉137で別の処理を行わせる場合、第一のクーリングユニット138(又は第二のクーリングユニット139)を経由するようにしてもよい。
図10は、制御装置14の構成を示す図である。
制御装置14は、CPU24およびメモリ26などを含むコンピュータ本体22と、通信インターフェース(通信IF)28と、記憶装置30とを有する。
制御装置14は、基板処理装置本体12に対してオペレータごとに許可された操作権限を記憶し、また、このオペレータに対して許可されている操作を提供する。
メモリ26は、CPU24に実行されるプログラムおよび記憶装置30に記憶されている情報を格納する。
通信IF28は、基板処理装置本体12と情報を送受信する。
記憶装置30は、後述するデータベースに関する情報などを記憶する。
つまり、制御装置14は、一般的なコンピュータとしての構成部分を含んでいる。
図11は、制御装置14上で動作する制御プログラム34の構成を示す図である。
図11に示すように、制御プログラム34は、識別子検出部340、識別子識別部342、操作履歴更新部344、操作範囲設定部346、パラメータ設定部348、制御部350、ユーザインターフェース(UI)部352、識別子データベース(識別子DB)354、操作履歴データベース(操作履歴DB)356および操作権限データベース(操作権限DB)358から構成される。
さらに、制御プログラム34は、検出された識別子と、検出された時刻(使用日時)とを操作履歴として記憶する。
制御プログラム34は、例えば、記録媒体32(図10)を介して制御装置14に供給され、メモリ26にロードされて実行される。
図12に示すように、識別子DB354は、オペレータごとに割り当てられている識別子、この識別子に割り当てられている操作権限、この識別子の最終検出時刻、および、この識別子が検出された場合に基板処理装置本体12に設定されるパラメータ1〜nの値を記憶する。
操作権限には、例えば、装置メーカ側保守員のための操作権限、顧客側保守員のための操作権限、顧客側プロセスエンジニアのための操作権限、あるいは、顧客側ラインオペレータのための操作権限がある。
図13に示すように、操作履歴DB356は、検出された識別子と、この識別子が検出された時刻(使用日時)とを記憶する。
オペレータは、表示・入力装置16近辺にて基板処理装置10を操作するので、あらかじめ、オペレータの識別子は、オペレータの有するIDタグ6から、IDリーダ4により自動的に検出されるようにしておく。
よって、オペレータが、表示・入力装置16を用いて、識別子を入力しなくとも、識別子および使用日時は、制御装置14に記録される。
したがって、実際に作業したオペレータの識別子と、制御装置14に記録された識別子とは、同一の内容となるため、誰がいつ操作したかという履歴情報が、確実に管理される。
基板処理装置本体12に対して許可されうる操作は、例えば、以下のような操作a〜操作hである。
操作aは、処理炉202内で処理される温度制御、圧力制御、ガス制御を設定するプロセスレシピおよび関連パラメータを編集する操作である。
操作bは、操作aのレシピをウエハ1枚ずつに関連付け、ウエハの処理順を設定するシーケンスレシピを編集する操作である。
操作dは、処理炉の状態(温度、圧力、ガス流量など)、第一搬送室(ロードロック)103および第2搬送室121の状態(圧力、ガス流量など)をモニタする操作である。
操作eは、操作dの過去のモニタデータを呼び出して表示する操作である。
操作gは、装置に故障あるいは異常が発生した後に復旧するための操作である。
操作hは、操作gの時に、ログデータのコピーなど、調査および解析するための操作である。
また、顧客側保守員には、操作権限Bが割り当てられており、顧客側プロセスエンジニアには、操作権限Cが割り当てられており、顧客側ラインオペレータには、操作権限Dが割り当てられている。
識別子識別部342は、識別子DB354(図12)を参照し、受け入れた識別子と、この識別子に対応した操作権限とを、操作範囲設定部346に対して出力する。
また、識別子識別部342は、識別子DB354に記憶されているこの識別子の最終検出時刻を、この識別子が検出された時刻に更新する。
操作履歴更新部344は、この識別子と、この識別子が検出された時刻とを、操作履歴DB356(図13)に新たに書き込む。
例えば、装置メーカ側保守員の識別子が検出された場合には、操作範囲設定部346は、操作a〜操作hを許可する旨を制御部350に対して出力する。
また、操作範囲設定部346は、受け入れた識別子を、パラメータ設定部348に対して出力する。
これらのパラメータは、処理炉202内で処理される処理実行時間、設定温度、設定圧力、設定ガス流量などである。
また、プロセスレシピもパラメータの一つであり、このプロセスレシピは、上記パラメータで定められた処理を複数個設定するためのパラメータである。
例えば、検出された識別子に対して、顧客側ラインオペレータの操作権限である操作権限Dが割り当てられている場合には、制御部350は、このオペレータが、基板処理装置本体12の状態をモニタしたり、モニターデータをコピーしたりする操作のみを実行できるように、基板処理装置本体12を制御する。
また、例えば、操作権限Aの場合には、制御部350は、オペレータが上述の操作a〜操作hを実行できるように、基板処理装置本体12を制御する。
さらに、制御部350は、表示・入力装置16(図5)により指示された操作に従って、基板処理装置本体12を制御する。
また、UI部352は、表示された内容に対する確認を、表示・入力装置16から受け入れてもよい。
この場合、UI部352は、確認結果を、操作範囲設定部346またはパラメータ設定部348に対して出力し、操作範囲設定部346またはパラメータ設定部348は、確認結果に基づいて、設定内容を制御部350に対して出力する。
以下、制御プログラム34の動作を説明する。
図14は、図11に示した制御プログラム34により行われる制御処理(S20)を示すフローチャートである。
図14に示される処理のうち、図3に示した処理と実質的に同じ処理には、同じ符号が付してある。
図14に示すように、ステップ200(S200)において、識別子検出部340(図11)は、IDリーダ4から入力される識別子を検出したか否かを判断する。
検出しなければ再びS200の処理に戻り、検出したならばS104の処理に進む。
ステップ106(S106)において、操作範囲設定部346は、操作権限DB358を参照し、この操作権限で許可されている操作を、制御部350に対して出力する。
制御部350は、これらの操作のみを可能とするように、基板処理装置本体12を制御する。
制御部350は、これらのパラメータに従って、基板処理装置本体12を制御する。
ステップ110(S110)において、操作履歴更新部344は、この識別子と、検出された日時とを操作履歴DB356に書き込む。
以下、基板処理装置10の全体的な動作を説明する。
図15は、基板処理装置10に対する操作(S30)を示すフローチャートである。
図15に示すように、制御装置14は、S20に示された制御処理を実行し、オペレータを識別して操作範囲を制御する。
このとき、制御装置14は、検出された識別子に割り当てられた操作権限で許可されている操作のみを、表示・入力装置16に表示する。
例えば、検出された識別子に、装置メーカ側保守員のための操作権限Aが割り当てられている場合には、制御装置14は、操作a〜操作hに関する内容を、表示・入力装置16に表示し、顧客側ラインオペレータのための操作権限Dが割り当てられている場合には、操作b〜操作dに関する内容のみを表示する。
ステップ304(S304)において、制御装置14は、入力された操作を実行する。
例えば、処理炉202内で処理される温度制御に関するパラメータ(図12)を編集する操作である操作aが入力された場合には、制御装置14は、識別子DB354内のパラメータを更新する。
また、例えば、1枚以上のウエハを処理する操作である操作cが入力された場合には、制御装置14は、基板処理装置本体12を制御してウエハを処理する。
また、例えば、基板処理装置本体12の状態をモニタしたデータを、記録媒体32(図10)にコピーする操作である操作fが入力された場合には、制御装置14は、記憶装置30に記憶されているデータを、記録媒体32にコピーする。
したがって、オペレータのレベルに対応した操作範囲が自動的に設定されるので、例えば顧客側ラインオペレータが編集すべきでない保守員専用のパラメータを変更するなどの人為的ミスが防がれる。
また、マルチプロセス炉において、ウエハを処理するパラメータが担当者ごとに異なる場合でも、担当者ごとに対応したパラメータが、自動的に設定されうる。
さらに、オペレータの操作履歴を、管理することができるので、どの装置にどのオペレータがどれだけの時間作業しているかなど、オペレータの工程管理が可能となる。
また、本発明の基板処理装置は、枚葉装置だけでなく、縦型装置および横型装置にも適用されうる。
つまり、オペレータが、表示・入力装置16を操作することにより、半導体基板あるいはガラス基板などの基板処理を行う装置であれば、本発明の基板処理装置は、適用されうる。
さらに、本発明の基板処理装置は、基板処理装置本体の炉内の処理が、CVD、酸化、拡散あるいはアニールであっても、適用されうる。
6 IDタグ
8 識別対象物
10 基板処理装置
12 基板処理装置本体
14 制御装置
16 表示・入力装置
22 コンピュータ本体
24 CPU
26 メモリ
28 通信IF
30 記憶装置
34 制御プログラム
40 円偏波アンテナ
42 制御部
44 送信部
46 方向性結合器
48 サーキューレータ
50 復調部
60 アンテナ
62 電源回路
64 リミッタ
66 クロック発生回路
68 発生回路
70 変調回路
103 第一の搬送室
121 第二の搬送室
137 第二の処理炉
200 ウエハ
202 第一の処理炉
340 識別子検出部
342 識別子識別部
344 操作履歴更新部
346 操作範囲設定部
348 パラメータ設定部
350 制御部
352 ユーザインターフェース部
354 識別子DB
356 操作履歴DB
358 操作権限DB
Claims (8)
- それぞれに設定される異なったパラメータに従って基板を処理する複数の処理室を備え、操作権限に従って、許可された操作を行う基板処理手段と、
無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、識別対象物を識別する識別子を含む応答信号から、前記識別子を検出するデータ検出手段と、
前記検出された識別子に基づいて、前記識別子に対応した操作権限を確認し、この操作権限で許可されている範囲で前記基板処理手段に対する操作範囲を設定し、前記識別子に対応した前記パラメータに従って、前記基板処理手段を制御する制御手段と、
前記識別子と該識別子を検出した時刻を少なくとも記憶する記憶手段と
を有する基板処理装置。 - それぞれに設定される異なったパラメータに従って基板を処理する複数の処理室を備えた基板処理装置の管理方法であって、
無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、識別対象物を識別する識別子を含む応答信号から、前記識別子を検出する識別子検出ステップと、
前記識別子に応じた操作権限を確認する識別子識別ステップと、
前記操作権限で許可されている操作を前記基板処理装置で可能にする操作範囲設定ステップと、
前記識別子に対応した前記パラメータに従って、前記基板処理装置を制御するパラメータ設定ステップと、
前記識別子と該識別子を検出した時刻を少なくとも記憶する操作履歴更新ステップと
を有する基板処理装置の管理方法。 - 請求項1の基板処理装置で実施される表示方法であって、
検出された識別子で割り当てられた操作権限で許可されている操作に関する内容を表示するステップと
を有する基板処理装置の表示方法。 - 請求項1の基板処理装置で実施される制御方法であって、
前記検出された識別子で割り当てられた操作権限で許可されている操作に関する内容を表示し、前記操作が入力されると、前記識別子に対応した前記パラメータに従って、前記処理室を制御する
基板処理装置の制御方法。 - それぞれに設定されるパラメータに従って基板を処理する複数の処理室を備え、操作権限に従って、許可された操作を行う基板処理手段と、
無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、識別対象物を識別する識別子を含む応答信号から、前記識別子を検出するデータ検出手段と、
前記検出された識別子に基づいて、前記識別子に対応した操作権限を確認し、この操作権限で許可されている範囲で前記基板処理手段に対する操作範囲を設定し、前記識別子に対応した前記パラメータに従って、前記基板処理手段を制御する制御手段と、
前記識別子と該識別子を検出した時刻を少なくとも記憶する記憶手段と
を有する基板処理装置。 - それぞれに設定されるパラメータに従って基板を処理する複数の処理室を備えた基板処理装置の管理方法であって、
無線送信される問い合わせ信号に応じて無線送信され、識別対象物を識別する識別子を含む応答信号から、前記識別子を検出する識別子検出ステップと、
前記識別子に応じた操作権限を確認する識別子識別ステップと、
前記操作権限で許可されている操作を前記基板処理装置で可能にする操作範囲設定ステップと、
前記識別子に対応した前記パラメータに従って、前記基板処理装置を制御するパラメータ設定ステップと、
前記識別子と該識別子を検出した時刻を少なくとも記憶する操作履歴更新ステップと
を有する基板処理装置の管理方法。 - 請求項5の基板処理装置で実施される表示方法であって、
検出された識別子で割り当てられた操作権限で許可されている操作に関する内容を表示するステップと
を有する基板処理装置の表示方法。 - 請求項5の基板処理装置で実施される制御方法であって、
前記検出された識別子で割り当てられた操作権限で許可されている操作に関する内容を表示し、前記操作が入力されると、前記識別子に対応した前記パラメータに従って、前記処理室を制御する
基板処理装置の制御方法。
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