JP2002358380A - 遠隔保守方法，産業用機器、および半導体装置 - Google Patents
遠隔保守方法，産業用機器、および半導体装置Info
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/80—Management or planning
Abstract
(57)【要約】
【課題】遠隔保守作業の内容，保守の依頼先に応じた制
御，木目の細かいサービス，課金を可能とし、また、保
守員の属性に応じたアクセスの制限，装置の状態に応じ
たアクセスの制限，出力モードに応じた出力の制限を行
うことが可能となる遠隔保守方法，遠隔保守システムお
よび産業用機器を提供すること。 【解決手段】製造工場１２０に設定された産業用機器１
２３と保守センタ１１０に設置された作業装置１１３を
ネットワーク１００を介して接続する。作業装置１１３
は、保守に関する命令を表す命令情報を産業用機器１２
３に送信し、産業用機器123は、受信した命令情報に従
って処理を実行し、実行した処理の内容に応じて保守に
関する料金を表す料金情報を生成し、生成した料金情報
の全部または一部を産業用機器１２３の出力装置に出力
する。
御，木目の細かいサービス，課金を可能とし、また、保
守員の属性に応じたアクセスの制限，装置の状態に応じ
たアクセスの制限，出力モードに応じた出力の制限を行
うことが可能となる遠隔保守方法，遠隔保守システムお
よび産業用機器を提供すること。 【解決手段】製造工場１２０に設定された産業用機器１
２３と保守センタ１１０に設置された作業装置１１３を
ネットワーク１００を介して接続する。作業装置１１３
は、保守に関する命令を表す命令情報を産業用機器１２
３に送信し、産業用機器123は、受信した命令情報に従
って処理を実行し、実行した処理の内容に応じて保守に
関する料金を表す料金情報を生成し、生成した料金情報
の全部または一部を産業用機器１２３の出力装置に出力
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、産業用機器の遠隔
保守システムにおける課金方法および装置に関わり、特
に保守の内容に応じた制御，木目の細かいサービス，課
金を可能とする遠隔保守方法，遠隔保守システムおよび
装置に関する。
保守システムにおける課金方法および装置に関わり、特
に保守の内容に応じた制御，木目の細かいサービス，課
金を可能とする遠隔保守方法，遠隔保守システムおよび
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、メーカの産業用機器と装置供給ベ
ンダの保守センタを公衆電話回線やインターネットを介
して接続し、保守センタから遠隔で産業用機器を保守す
ることが提案されている。特開平１１−１５５２０号公
報には、ネットワークを用いた遠隔保守システムが提案
されており、このシステムを利用すれば産業用機器の設
置地域を問わずに産業用機器の保守を行うことができ
る。
ンダの保守センタを公衆電話回線やインターネットを介
して接続し、保守センタから遠隔で産業用機器を保守す
ることが提案されている。特開平１１−１５５２０号公
報には、ネットワークを用いた遠隔保守システムが提案
されており、このシステムを利用すれば産業用機器の設
置地域を問わずに産業用機器の保守を行うことができ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、特に半導体産業
においては、設備投資の急増に伴い産業用機器の設置数
が飛躍的に増大している。このような状況においては、
産業用機器の保守コストも増大する傾向にあり、この保
守コストをいかに抑えるかが課題となっている。しかし
ながら、これまでの保守に対する一般的な課金方法は、
産業用機器の価格や保守員の人件費を基にした定額料金
をメーカに請求するというものであり、実際には保守を
受けていない場合でもメーカは定額料金を支払わなけれ
ばならないことがあった。また、前述の特開平１１−１
５５２０号公報で示されている遠隔保守システムにおい
ても課金方法については触れられていない。
においては、設備投資の急増に伴い産業用機器の設置数
が飛躍的に増大している。このような状況においては、
産業用機器の保守コストも増大する傾向にあり、この保
守コストをいかに抑えるかが課題となっている。しかし
ながら、これまでの保守に対する一般的な課金方法は、
産業用機器の価格や保守員の人件費を基にした定額料金
をメーカに請求するというものであり、実際には保守を
受けていない場合でもメーカは定額料金を支払わなけれ
ばならないことがあった。また、前述の特開平１１−１
５５２０号公報で示されている遠隔保守システムにおい
ても課金方法については触れられていない。
【０００４】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たものであり、遠隔保守作業の内容，保守の依頼先に応
じた制御，木目の細かいサービス，課金を可能とし、ま
た、保守員の属性に応じたアクセスの制限，装置の状態
に応じたアクセスの制限，出力モードに応じた出力の制
限を行うことが可能となる遠隔保守方法，遠隔保守シス
テムおよび産業用機器を提供することを目的とする。
たものであり、遠隔保守作業の内容，保守の依頼先に応
じた制御，木目の細かいサービス，課金を可能とし、ま
た、保守員の属性に応じたアクセスの制限，装置の状態
に応じたアクセスの制限，出力モードに応じた出力の制
限を行うことが可能となる遠隔保守方法，遠隔保守シス
テムおよび産業用機器を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の一実施形態は、
特定の処理を実行する産業用機器と産業用機器を保守す
る作業装置とがネットワークを介して接続された遠隔保
守システムであって、作業装置は、保守の命令を表す命
令情報を産業用機器に送信し、産業用機器は、受信した
命令情報に従って処理を実行し、実行した処理の内容に
応じて保守の対価を表す料金情報を生成し、生成した料
金情報の全部または一部を出力することを特徴とする遠
隔保守方法である。この方法を用いることにより、産業
用機器で行った保守作業の内容に応じた制御，木目の細
かいサービス，課金を行うことが可能となる。なお、こ
の課金方法により管理される産業用機器を用いて生産さ
れたことを特徴とする半導体デバイスも本発明の範疇に
含まれる。
特定の処理を実行する産業用機器と産業用機器を保守す
る作業装置とがネットワークを介して接続された遠隔保
守システムであって、作業装置は、保守の命令を表す命
令情報を産業用機器に送信し、産業用機器は、受信した
命令情報に従って処理を実行し、実行した処理の内容に
応じて保守の対価を表す料金情報を生成し、生成した料
金情報の全部または一部を出力することを特徴とする遠
隔保守方法である。この方法を用いることにより、産業
用機器で行った保守作業の内容に応じた制御，木目の細
かいサービス，課金を行うことが可能となる。なお、こ
の課金方法により管理される産業用機器を用いて生産さ
れたことを特徴とする半導体デバイスも本発明の範疇に
含まれる。
【０００６】本発明の別の実施形態は、特定の処理を実
行する１つ以上の産業用機器と産業用機器を保守する１
つ以上の作業装置とがネットワークを介して接続された
遠隔保守システムであって、産業用機器は、産業用機器
のトラブルの発生の有無を監視し、トラブルが発生して
いることを検知した場合には、トラブルの症状を特定す
るステータス情報を生成し、生成したステータス情報を
通知する作業装置を決定し、生成したステータス情報を
決定した作業装置に通知し、作業装置は、通知されたス
テータス情報に基づいて、産業用機器のトラブルに対す
る対処方法を決定し、その対処方法に基づく保守の命令
を表す命令情報を産業用機器に送信し、産業用機器は、
受信した命令情報に従って処理を実行し、ステータス情
報を通知した作業装置の識別子に応じて保守の対価を表
す料金情報を生成し、生成した料金情報の全部または一
部に出力することを特徴とする遠隔保守方法である。こ
の方法を用いることにより、保守の依頼先に応じた制
御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能とな
る。
行する１つ以上の産業用機器と産業用機器を保守する１
つ以上の作業装置とがネットワークを介して接続された
遠隔保守システムであって、産業用機器は、産業用機器
のトラブルの発生の有無を監視し、トラブルが発生して
いることを検知した場合には、トラブルの症状を特定す
るステータス情報を生成し、生成したステータス情報を
通知する作業装置を決定し、生成したステータス情報を
決定した作業装置に通知し、作業装置は、通知されたス
テータス情報に基づいて、産業用機器のトラブルに対す
る対処方法を決定し、その対処方法に基づく保守の命令
を表す命令情報を産業用機器に送信し、産業用機器は、
受信した命令情報に従って処理を実行し、ステータス情
報を通知した作業装置の識別子に応じて保守の対価を表
す料金情報を生成し、生成した料金情報の全部または一
部に出力することを特徴とする遠隔保守方法である。こ
の方法を用いることにより、保守の依頼先に応じた制
御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能とな
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を詳細
に説明する。本実施形態は、本発明を適用した半導体製
造装置の遠隔保守システムである。本システムは、保守
の内容に応じた木目の細かい課金を可能とするものであ
る。本発明が扱える産業用機器には、計算機を内蔵して
いること以外に制限はないが、本実施の形態の説明で
は、産業用機器として半導体製造工場で使用する露光装
置，塗布現像装置，熱処理装置，組み立て装置，検査装
置などの半導体製造に用いられる各種装置やシステムを
想定する。ここでは、これら装置やシステムを総称し
て、以下、半導体製造装置とよぶ。
に説明する。本実施形態は、本発明を適用した半導体製
造装置の遠隔保守システムである。本システムは、保守
の内容に応じた木目の細かい課金を可能とするものであ
る。本発明が扱える産業用機器には、計算機を内蔵して
いること以外に制限はないが、本実施の形態の説明で
は、産業用機器として半導体製造工場で使用する露光装
置，塗布現像装置，熱処理装置，組み立て装置，検査装
置などの半導体製造に用いられる各種装置やシステムを
想定する。ここでは、これら装置やシステムを総称し
て、以下、半導体製造装置とよぶ。
【０００８】図１は、本発明を適用した半導体製造装置
の遠隔保守システムの構成の一例を示すブロック図であ
る。１１０は、半導体製造装置を供給する会社（以下、
装置供給ベンダと記す）の保守センタである。１２０
は、半導体製造装置を使用して半導体デバイスを製造す
る会社（以下、半導体製造メーカと記す）の製造工場で
ある。図１に示したシステムでは２つの製造工場１２０
が示されているが、実際には２つ以上の製造工場１２０
があっても構わない。また、製造工場１２０は、互いに
異なる半導体製造メーカに属する工場であっても同一の
半導体製造メーカに属する工場であってもよい。
の遠隔保守システムの構成の一例を示すブロック図であ
る。１１０は、半導体製造装置を供給する会社（以下、
装置供給ベンダと記す）の保守センタである。１２０
は、半導体製造装置を使用して半導体デバイスを製造す
る会社（以下、半導体製造メーカと記す）の製造工場で
ある。図１に示したシステムでは２つの製造工場１２０
が示されているが、実際には２つ以上の製造工場１２０
があっても構わない。また、製造工場１２０は、互いに
異なる半導体製造メーカに属する工場であっても同一の
半導体製造メーカに属する工場であってもよい。
【０００９】保守センタ１１０には、半導体製造装置の
保守を行う１つ以上の作業装置113と、保守センタ１１
０への通信を管理する管理装置１１２とが設けられてい
る。各作業装置１１３と管理装置１１２はイントラネッ
ト１１１を介して接続されている。各製造工場１２０に
は、半導体デバイスを製造する１つ以上の半導体製造装
置１２３と、製造工場１２０への通信を管理する管理装
置１２２とが設けられている。各半導体製造装置１２３
と管理装置１２２はイントラネット１２１を介して接続
されている。保守センタ１１０に設けられた管理装置１
１２は、各製造工場１２０に設けられた管理装置１２２
とインターネット１００を介して接続されている。図１
の各装置はいずれも単一の計算機を利用した装置である
が、実際には単一の装置を複数台の計算機で構成しても
複数の装置を単一の計算機を利用して構成してもよい。
保守を行う１つ以上の作業装置113と、保守センタ１１
０への通信を管理する管理装置１１２とが設けられてい
る。各作業装置１１３と管理装置１１２はイントラネッ
ト１１１を介して接続されている。各製造工場１２０に
は、半導体デバイスを製造する１つ以上の半導体製造装
置１２３と、製造工場１２０への通信を管理する管理装
置１２２とが設けられている。各半導体製造装置１２３
と管理装置１２２はイントラネット１２１を介して接続
されている。保守センタ１１０に設けられた管理装置１
１２は、各製造工場１２０に設けられた管理装置１２２
とインターネット１００を介して接続されている。図１
の各装置はいずれも単一の計算機を利用した装置である
が、実際には単一の装置を複数台の計算機で構成しても
複数の装置を単一の計算機を利用して構成してもよい。
【００１０】保守センタ１１０に設けられた作業装置１
１３は、保守センタ１１０の保守員が遠隔で半導体製造
装置１２３の保守を行う装置である。作業装置１１３
は、管理装置１１２から保守の依頼を表すメッセージ
（以下、保守依頼と記す）を受信すると、この保守依頼
に含まれる情報を例えばディスプレイに表示する機能も
有する。保守依頼に含まれる情報には、トラブルの症状
を特定するデータ（以下、ステータスと記す）と保守作
業の状況を半導体装置に出力する態様を特定するデータ
（以下、出力モードと記す）とがある。なお、保守依頼
には、例えばトラブル検知日時，半導体製造工場の識別
子，半導体製造装置の識別子，半導体製造装置の機種な
どがある。
１３は、保守センタ１１０の保守員が遠隔で半導体製造
装置１２３の保守を行う装置である。作業装置１１３
は、管理装置１１２から保守の依頼を表すメッセージ
（以下、保守依頼と記す）を受信すると、この保守依頼
に含まれる情報を例えばディスプレイに表示する機能も
有する。保守依頼に含まれる情報には、トラブルの症状
を特定するデータ（以下、ステータスと記す）と保守作
業の状況を半導体装置に出力する態様を特定するデータ
（以下、出力モードと記す）とがある。なお、保守依頼
には、例えばトラブル検知日時，半導体製造工場の識別
子，半導体製造装置の識別子，半導体製造装置の機種な
どがある。
【００１１】保守員は、表示された情報を見た上で、ト
ラブルへの対処がオンラインで必要であるか否かを判断
する。オンラインでの対処が必要であると判断した保守
員は、保守作業を開始する旨を通知するために、キーボ
ードを用いて保守員の識別子とパスワードを入力し、マ
ウスを用いて着手通知送信ボタンを押下する。作業装置
１１３は、保守員が入力した保守員の識別子とパスワー
ドと、保守依頼から取り出した出力モードから構成され
るメッセージ（以下、着手通知と記す）を管理装置１１
２と管理装置１２２とを介してオンラインで半導体製造
装置１２３に送信する機能も有する。半導体製造装置１
２３は、着手通知を受信すると保守員の認証を行う。保
守員は、この認証により例えばＤ１，Ｄ２，・・・など
のユニークな識別子で識別される。
ラブルへの対処がオンラインで必要であるか否かを判断
する。オンラインでの対処が必要であると判断した保守
員は、保守作業を開始する旨を通知するために、キーボ
ードを用いて保守員の識別子とパスワードを入力し、マ
ウスを用いて着手通知送信ボタンを押下する。作業装置
１１３は、保守員が入力した保守員の識別子とパスワー
ドと、保守依頼から取り出した出力モードから構成され
るメッセージ（以下、着手通知と記す）を管理装置１１
２と管理装置１２２とを介してオンラインで半導体製造
装置１２３に送信する機能も有する。半導体製造装置１
２３は、着手通知を受信すると保守員の認証を行う。保
守員は、この認証により例えばＤ１，Ｄ２，・・・など
のユニークな識別子で識別される。
【００１２】認証を済ませた保守員は、半導体製造装置
１２３に命令を送信するために、半導体製造装置１２３
で実行するプログラムの識別子とプログラムに与えるパ
ラメータとから構成されるコマンドと、プログラムの実
行結果を格納するファイルの識別子とをキーボードを用
いて入力し、保守操作送信ボタンをマウスを用いて押下
する。なお、保守員は複数のコマンドとファイルの識別
子を入力してもよい。作業装置１１３は、保守員が入力
した１つ以上のコマンドから構成されるメッセージ（以
下、保守操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２
２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信
する機能も有する。
１２３に命令を送信するために、半導体製造装置１２３
で実行するプログラムの識別子とプログラムに与えるパ
ラメータとから構成されるコマンドと、プログラムの実
行結果を格納するファイルの識別子とをキーボードを用
いて入力し、保守操作送信ボタンをマウスを用いて押下
する。なお、保守員は複数のコマンドとファイルの識別
子を入力してもよい。作業装置１１３は、保守員が入力
した１つ以上のコマンドから構成されるメッセージ（以
下、保守操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２
２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信
する機能も有する。
【００１３】半導体製造装置１２３は、作業装置１１３
から保守操作を受信すると、保守操作から全てのコマン
ドを取り出し、各コマンドで指定されているプログラム
をそれぞれに対応付けられているパラメータを用いて実
行し、全てのコマンドで指定されているプログラムを実
行し終えたら、プログラムの実行結果から構成されるコ
マンド応答をそれぞれのコマンドごとに生成し、これら
のコマンド応答から構成されるメッセージ（以下、保守
操作応答と記す）を作業装置１１３に一括して送信す
る。
から保守操作を受信すると、保守操作から全てのコマン
ドを取り出し、各コマンドで指定されているプログラム
をそれぞれに対応付けられているパラメータを用いて実
行し、全てのコマンドで指定されているプログラムを実
行し終えたら、プログラムの実行結果から構成されるコ
マンド応答をそれぞれのコマンドごとに生成し、これら
のコマンド応答から構成されるメッセージ（以下、保守
操作応答と記す）を作業装置１１３に一括して送信す
る。
【００１４】作業装置１１３は、半導体製造装置１２３
から保守操作応答を受信すると、保守操作応答に格納さ
れている全てのコマンド応答を取り出し、それぞれのコ
マンド応答に格納されているプログラムの実行結果をそ
れぞれのコマンドに対応付けられているファイルに格納
し、保守操作応答を受信した旨をディスプレイに表示す
る機能も有する。
から保守操作応答を受信すると、保守操作応答に格納さ
れている全てのコマンド応答を取り出し、それぞれのコ
マンド応答に格納されているプログラムの実行結果をそ
れぞれのコマンドに対応付けられているファイルに格納
し、保守操作応答を受信した旨をディスプレイに表示す
る機能も有する。
【００１５】表示された情報を見た保守員は、プログラ
ムの実行結果を確認するために、マウスを用いてプログ
ラムの実行結果が格納されているファイルの識別子を押
下する。作業装置１１３は、押下されたファイルの内容
をディスプレイに表示する機能も有する。表示された内
容を見た保守員は、トラブルへの更なる対処が必要か否
かを判断し、必要がある場合には、マウスを用いて継続
ボタンを押下し、キーボードを用いて新たなコマンドと
ファイルの識別子を入力し、マウスを用いて保守操作送
信ボタンを押下する。保守員は、保守操作の送信をトラ
ブルへの対処が終わるまで繰り返す。
ムの実行結果を確認するために、マウスを用いてプログ
ラムの実行結果が格納されているファイルの識別子を押
下する。作業装置１１３は、押下されたファイルの内容
をディスプレイに表示する機能も有する。表示された内
容を見た保守員は、トラブルへの更なる対処が必要か否
かを判断し、必要がある場合には、マウスを用いて継続
ボタンを押下し、キーボードを用いて新たなコマンドと
ファイルの識別子を入力し、マウスを用いて保守操作送
信ボタンを押下する。保守員は、保守操作の送信をトラ
ブルへの対処が終わるまで繰り返す。
【００１６】保守員は、トラブルへの対処を終えると、
マウスを用いて完了通知送信ボタンを押下する。作業装
置１１３は、保守作業を完了した旨を表すメッセージ
（以下、完了通知と記す）を管理装置１１２と管理装置
１２２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に
送信する機能も有する。半導体製造装置１２３は、完了
通知を受信すると、着手通知を受信してから完了通知を
受信するまでの間に実行したプログラムの処理の内容に
応じて当該保守についての保守料金を算出し、算出した
保守料金を例えばディスプレイに表示する。なお、この
保守料金の算出は、半導体製造装置１２３内部でなく、
管理装置１２２や外部に設けられた算出装置（図示せ
ず）で実行してもよい。本実施の形態では、着手通知を
送信してから完了通知を送信するまでが１回の保守作業
である。
マウスを用いて完了通知送信ボタンを押下する。作業装
置１１３は、保守作業を完了した旨を表すメッセージ
（以下、完了通知と記す）を管理装置１１２と管理装置
１２２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に
送信する機能も有する。半導体製造装置１２３は、完了
通知を受信すると、着手通知を受信してから完了通知を
受信するまでの間に実行したプログラムの処理の内容に
応じて当該保守についての保守料金を算出し、算出した
保守料金を例えばディスプレイに表示する。なお、この
保守料金の算出は、半導体製造装置１２３内部でなく、
管理装置１２２や外部に設けられた算出装置（図示せ
ず）で実行してもよい。本実施の形態では、着手通知を
送信してから完了通知を送信するまでが１回の保守作業
である。
【００１７】保守センタ１１０に設けられた管理装置１
１２は、保守センタ１１０への通信を管理する装置であ
る。管理装置１１２は、各製造工場１２０に設けられた
管理装置１２２から保守依頼を受信しているか否かを定
期的に監視し、保守依頼を受信している場合には、この
保守依頼を所定の規則に従って特定の保守員が使用して
いる作業装置１１３に送信する機能を有する。また、管
理装置１１２は、保守依頼に応答して作業装置１１３か
ら送信される着手通知，保守操作，完了通知の各メッセ
ージを保守依頼を送信してきた製造工場１２０の管理装
置１２２に送信する機能も有する。
１２は、保守センタ１１０への通信を管理する装置であ
る。管理装置１１２は、各製造工場１２０に設けられた
管理装置１２２から保守依頼を受信しているか否かを定
期的に監視し、保守依頼を受信している場合には、この
保守依頼を所定の規則に従って特定の保守員が使用して
いる作業装置１１３に送信する機能を有する。また、管
理装置１１２は、保守依頼に応答して作業装置１１３か
ら送信される着手通知，保守操作，完了通知の各メッセ
ージを保守依頼を送信してきた製造工場１２０の管理装
置１２２に送信する機能も有する。
【００１８】製造工場１２０に設けられた管理装置１２
２は、製造工場１２０への通信を管理する装置である。
管理装置１２２は、各半導体製造装置１２３から保守依
頼を受信しているか否かを定期的に監視し、保守依頼を
受信している場合には、この保守依頼を保守センタ１１
０の管理装置１２２に送信する機能を有する。また、管
理装置１２２は、保守依頼に応答して保守センタ１１０
の管理装置１１２から送信される着手通知，保守操作，
完了通知の各メッセージを保守依頼を送信してきた半導
体製造装置１２３に送信する機能も有する。
２は、製造工場１２０への通信を管理する装置である。
管理装置１２２は、各半導体製造装置１２３から保守依
頼を受信しているか否かを定期的に監視し、保守依頼を
受信している場合には、この保守依頼を保守センタ１１
０の管理装置１２２に送信する機能を有する。また、管
理装置１２２は、保守依頼に応答して保守センタ１１０
の管理装置１１２から送信される着手通知，保守操作，
完了通知の各メッセージを保守依頼を送信してきた半導
体製造装置１２３に送信する機能も有する。
【００１９】製造工場１２０に設けられた半導体製造装
置１２３は、製造工場１２０の技師が半導体デバイスを
製造する装置である。図２は、半導体製造装置１２３の
構成を示すブロック図である。半導体製造装置１２３
は、技師が半導体デバイスの製造に必要なデータ（以
下、製造操作と記す）を入力する入出力部１３０と、管
理装置１２２との間で保守依頼，着手通知，保守操作，
完了通知の各メッセージを送受信する通信部１３１と、
保守操作と製造操作に応じてプログラムを実行する制御
部１３２と、制御部１３２によって制御される各部位１
３３とから構成される。
置１２３は、製造工場１２０の技師が半導体デバイスを
製造する装置である。図２は、半導体製造装置１２３の
構成を示すブロック図である。半導体製造装置１２３
は、技師が半導体デバイスの製造に必要なデータ（以
下、製造操作と記す）を入力する入出力部１３０と、管
理装置１２２との間で保守依頼，着手通知，保守操作，
完了通知の各メッセージを送受信する通信部１３１と、
保守操作と製造操作に応じてプログラムを実行する制御
部１３２と、制御部１３２によって制御される各部位１
３３とから構成される。
【００２０】入出力部１３０は、技師が半導体製造装置
１２３の使用を開始するたびに技師を認証する機能を有
する。技師は、この認証により例えばＵ１，Ｕ２，・・
・などのユニークな識別子で識別される。技師は、認証
を済ませると、半導体デバイスの製造を行うために製造
操作を入出力部１３０に入力する。
１２３の使用を開始するたびに技師を認証する機能を有
する。技師は、この認証により例えばＵ１，Ｕ２，・・
・などのユニークな識別子で識別される。技師は、認証
を済ませると、半導体デバイスの製造を行うために製造
操作を入出力部１３０に入力する。
【００２１】入出力部１３０は、入力された製造操作に
応じて、プログラムの識別子とパラメータから構成され
るデータ（以下、実行要求と記す）を制御部１３２に送
信し、制御部１３２からプログラムの実行結果を格納し
たデータ（以下、実行要求応答と記す）を受信すると、
実行要求応答からプログラムの実行結果を取り出し、こ
のプログラムの実行結果をディスプレイに表示する機能
も有する。
応じて、プログラムの識別子とパラメータから構成され
るデータ（以下、実行要求と記す）を制御部１３２に送
信し、制御部１３２からプログラムの実行結果を格納し
たデータ（以下、実行要求応答と記す）を受信すると、
実行要求応答からプログラムの実行結果を取り出し、こ
のプログラムの実行結果をディスプレイに表示する機能
も有する。
【００２２】入出力部１３０は、保守作業の状況を出力
するために必要な出力モードの条件を表すデータ（以
下、状況出力権限と記す）を出力権限管理テーブルに記
録する機能も有する。状況出力権限は、出荷時に装置供
給ベンダの工場で入力される。状況出力権限には、保守
作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定する出力
モードに応じて制御部１３２で実行されたプログラムの
実行日時，識別子，パラメータの各項目の表示を許可す
るか否かを表すデータを格納する。
するために必要な出力モードの条件を表すデータ（以
下、状況出力権限と記す）を出力権限管理テーブルに記
録する機能も有する。状況出力権限は、出荷時に装置供
給ベンダの工場で入力される。状況出力権限には、保守
作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定する出力
モードに応じて制御部１３２で実行されたプログラムの
実行日時，識別子，パラメータの各項目の表示を許可す
るか否かを表すデータを格納する。
【００２３】入出力部１３０は、制御部１３２からプロ
グラムの実行日時，プログラムの識別子，パラメータか
ら構成されるデータ（以下、実行状況と記す）と、保守
作業の状況を半導体製造装置１２３に出力する態様を特
定する出力モードとを受信すると、出力権限管理テーブ
ルから状況出力権限を読み出し、受信した出力モードを
基に、実行状況の各項目の出力権限が与えられているか
否かを確認し、出力権限が与えられている実行状況の項
目を例えばディスプレイに表示する機能も有する。
グラムの実行日時，プログラムの識別子，パラメータか
ら構成されるデータ（以下、実行状況と記す）と、保守
作業の状況を半導体製造装置１２３に出力する態様を特
定する出力モードとを受信すると、出力権限管理テーブ
ルから状況出力権限を読み出し、受信した出力モードを
基に、実行状況の各項目の出力権限が与えられているか
否かを確認し、出力権限が与えられている実行状況の項
目を例えばディスプレイに表示する機能も有する。
【００２４】通信部１３１は、半導体製造装置１２３の
稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生しているこ
とを検知した場合には、ステータスと出力モードから構
成される保守依頼を生成し、生成した保守依頼を管理装
置１２２を介して保守センタ１１０の管理装置１２２に
送信する機能も有する。トラブルの内容とステータスの
対応関係は予め対応付けられている。また、出力モード
の値は予め技師によって入力されている。なお、保守依
頼には、前述のようにステータスと出力モードの他に、
例えばトラブル検知日時，半導体製造工場の識別子，半
導体製造装置の識別子，半導体製造装置の機種などを含
めてもよい。
稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生しているこ
とを検知した場合には、ステータスと出力モードから構
成される保守依頼を生成し、生成した保守依頼を管理装
置１２２を介して保守センタ１１０の管理装置１２２に
送信する機能も有する。トラブルの内容とステータスの
対応関係は予め対応付けられている。また、出力モード
の値は予め技師によって入力されている。なお、保守依
頼には、前述のようにステータスと出力モードの他に、
例えばトラブル検知日時，半導体製造工場の識別子，半
導体製造装置の識別子，半導体製造装置の機種などを含
めてもよい。
【００２５】通信部１３１は、保守員の属性を表すデー
タ（以下、保守員属性と記す）を保守員属性管理テーブ
ルに記録する機能も有する。保守員属性データは、技師
により予め入力される。保守員属性データには、保守員
のパスワードと保守員の技術レベルを格納する。
タ（以下、保守員属性と記す）を保守員属性管理テーブ
ルに記録する機能も有する。保守員属性データは、技師
により予め入力される。保守員属性データには、保守員
のパスワードと保守員の技術レベルを格納する。
【００２６】通信部１３１は、プログラムの実行権限を
表すデータ（以下、プログラム実行権限と記す）を実行
権限管理テーブルに記録する機能も有する。実行権限デ
ータは、技師により予め入力される。実行権限データに
は、保守員の属性を表す保守員属性と、その時点の装置
の状態を表すデータ（以下、装置状態と記す）に応じて
プログラムの実行を許可するか否かを表すデータを格納
する。装置状態には、例えば生産，待機，エンジニアリ
ング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画
時間，不定などの値を格納する。
表すデータ（以下、プログラム実行権限と記す）を実行
権限管理テーブルに記録する機能も有する。実行権限デ
ータは、技師により予め入力される。実行権限データに
は、保守員の属性を表す保守員属性と、その時点の装置
の状態を表すデータ（以下、装置状態と記す）に応じて
プログラムの実行を許可するか否かを表すデータを格納
する。装置状態には、例えば生産，待機，エンジニアリ
ング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画
時間，不定などの値を格納する。
【００２７】通信部１３１は、保守員が行う保守作業を
例えばＯ１，Ｏ２，・・・などのユニークな識別子で識
別し、管理装置１２２から着手通知，保守操作，完了通
知の各メッセージを受信するたびに、これらのメッセー
ジの内容を表すデータ（以下、保守実績と記す）を特定
の識別子に対応付けて保守実績管理テーブルに記録する
機能も有する。保守実績には、いつ，どの技術レベルの
どの保守員が，装置がどの状態の時に，どの出力モード
で，どういう内容のメッセージを送信したかという情報
を記録する。
例えばＯ１，Ｏ２，・・・などのユニークな識別子で識
別し、管理装置１２２から着手通知，保守操作，完了通
知の各メッセージを受信するたびに、これらのメッセー
ジの内容を表すデータ（以下、保守実績と記す）を特定
の識別子に対応付けて保守実績管理テーブルに記録する
機能も有する。保守実績には、いつ，どの技術レベルの
どの保守員が，装置がどの状態の時に，どの出力モード
で，どういう内容のメッセージを送信したかという情報
を記録する。
【００２８】通信部１３１は、保守に対する対価の額を
指定するデータ（以下、保守料金表と記す）を保守料金
表管理テーブルに記録する機能も有する。保守料金表
は、出荷時に装置供給ベンダの工場で入力される。保守
料金表には、保守員の技術レベル，プログラムを実行し
た時点の装置状態，読み出した使用履歴情報の種別，出
力モードなどに応じて、装置ベンダが半導体製造メーカ
にいくらの対価を請求するかという情報を記録する。保
守に対する対価の額は、保守員の技術レベルが高いほど
高く、半導体製造メーカの製造プロセスに悪影響を与え
る可能性が高いほど高く、プログラムが半導体製造メー
カの機密情報を多く読み出すほど低く、保守作業の状況
を詳細に表示するほど高く設定する。
指定するデータ（以下、保守料金表と記す）を保守料金
表管理テーブルに記録する機能も有する。保守料金表
は、出荷時に装置供給ベンダの工場で入力される。保守
料金表には、保守員の技術レベル，プログラムを実行し
た時点の装置状態，読み出した使用履歴情報の種別，出
力モードなどに応じて、装置ベンダが半導体製造メーカ
にいくらの対価を請求するかという情報を記録する。保
守に対する対価の額は、保守員の技術レベルが高いほど
高く、半導体製造メーカの製造プロセスに悪影響を与え
る可能性が高いほど高く、プログラムが半導体製造メー
カの機密情報を多く読み出すほど低く、保守作業の状況
を詳細に表示するほど高く設定する。
【００２９】通信部１３１は、管理装置１２２から着手
通知を受信すると、着手通知から取り出したパスワード
と保守員属性管理テーブルから読み出した保守員属性を
比較して保守員を認証する機能も有する。前述の通り、
保守員は、この認証により例えばＤ１，Ｄ２，・・・な
どのユニークな識別子で識別される。
通知を受信すると、着手通知から取り出したパスワード
と保守員属性管理テーブルから読み出した保守員属性を
比較して保守員を認証する機能も有する。前述の通り、
保守員は、この認証により例えばＤ１，Ｄ２，・・・な
どのユニークな識別子で識別される。
【００３０】通信部１３１は、管理装置１２２から着手
通知を受信すると、着手通知から取り出した出力モード
を、完了通知を受信するまで記憶する機能を有する。
通知を受信すると、着手通知から取り出した出力モード
を、完了通知を受信するまで記憶する機能を有する。
【００３１】通信部１３１は、管理装置１２２から保守
操作を受信すると、保守操作から全てのコマンドを取り
出し、各コマンドで指定されているプログラムを実行
し、各プログラムの実行を終了するとプログラムの実行
結果から構成されるコマンド応答をそれぞれのコマンド
ごとに生成し、これらのコマンド応答から構成される保
守操作応答を作業装置１１３に送信する機能も有する。
操作を受信すると、保守操作から全てのコマンドを取り
出し、各コマンドで指定されているプログラムを実行
し、各プログラムの実行を終了するとプログラムの実行
結果から構成されるコマンド応答をそれぞれのコマンド
ごとに生成し、これらのコマンド応答から構成される保
守操作応答を作業装置１１３に送信する機能も有する。
【００３２】通信部１３１は、各コマンドで指定されて
いるプログラムを実行するために、保守員属性管理テー
ブルから保守員の保守員属性を読み出し、制御部１３２
からその時点の装置状態を読み出し、実行権限管理テー
ブルから各コマンドで指定されているプログラムのプロ
グラム実行権限を読み出し、保守員属性と装置状態を基
に各コマンドで指定されているプログラムの実行権限が
保守員に与えられているか否かを確認し、プログラムの
実行権限が与えられている場合に限って、このプログラ
ムの識別子とパラメータから構成される実行要求と、記
憶している出力モードとを制御部１３２に送信し、制御
部１３２からプログラムの実行結果を格納した実行要求
応答を受信する機能も有する。
いるプログラムを実行するために、保守員属性管理テー
ブルから保守員の保守員属性を読み出し、制御部１３２
からその時点の装置状態を読み出し、実行権限管理テー
ブルから各コマンドで指定されているプログラムのプロ
グラム実行権限を読み出し、保守員属性と装置状態を基
に各コマンドで指定されているプログラムの実行権限が
保守員に与えられているか否かを確認し、プログラムの
実行権限が与えられている場合に限って、このプログラ
ムの識別子とパラメータから構成される実行要求と、記
憶している出力モードとを制御部１３２に送信し、制御
部１３２からプログラムの実行結果を格納した実行要求
応答を受信する機能も有する。
【００３３】通信部１３１は、管理装置１２２から完了
通知を受信すると、保守実績管理テーブルと保守料金表
管理テーブルからそれぞれ保守実績と保守料金表を読み
出し、この保守料金表データと保守実績データを用い
て、当該保守についての保守料金を算出し、この保守料
金に関する情報を例えばディスプレイに表示するように
制御部１３２を介して入出力部１３０に要求する機能も
有する。
通知を受信すると、保守実績管理テーブルと保守料金表
管理テーブルからそれぞれ保守実績と保守料金表を読み
出し、この保守料金表データと保守実績データを用い
て、当該保守についての保守料金を算出し、この保守料
金に関する情報を例えばディスプレイに表示するように
制御部１３２を介して入出力部１３０に要求する機能も
有する。
【００３４】制御部１３２は、制御部１３２が実行する
処理の条件と手続きを表すプログラムをプログラム管理
テーブルに蓄積する機能を有する。プログラムには、ど
のような条件の下で、どのような手続きに従って処理を
実行するかという情報を格納する。
処理の条件と手続きを表すプログラムをプログラム管理
テーブルに蓄積する機能を有する。プログラムには、ど
のような条件の下で、どのような手続きに従って処理を
実行するかという情報を格納する。
【００３５】制御部１３２は、入出力部１３０から実行
要求を受信すると、実行要求で指定されているプログラ
ムをこれに対応付けられているパラメータを用いて実行
する機能も有する。
要求を受信すると、実行要求で指定されているプログラ
ムをこれに対応付けられているパラメータを用いて実行
する機能も有する。
【００３６】制御部１３２は、通信部１３１から実行要
求を受信すると、実行要求で指定されているプログラム
をこれに対応付けられているパラメータを用いて実行
し、プログラムの実行日時，プログラムの識別子，パラ
メータから構成される実行状況と、実行要求で指定され
ている出力モードを入出力部１３０に送信し、プログラ
ムの実行結果を格納した実行要求応答を通信部１３１に
送信する機能も有する。
求を受信すると、実行要求で指定されているプログラム
をこれに対応付けられているパラメータを用いて実行
し、プログラムの実行日時，プログラムの識別子，パラ
メータから構成される実行状況と、実行要求で指定され
ている出力モードを入出力部１３０に送信し、プログラ
ムの実行結果を格納した実行要求応答を通信部１３１に
送信する機能も有する。
【００３７】制御部１３２は、入出力部１３０から受信
した実行要求に応じて実行されたプログラムの履歴を表
すデータ（以下、プログラム実行履歴と記す）をプログ
ラム実行履歴管理テーブルに記録する機能も有する。プ
ログラム実行履歴には、いつ，どの技師が，どのプログ
ラムを，どのパラメータを用いて実行したかという情報
を格納する。
した実行要求に応じて実行されたプログラムの履歴を表
すデータ（以下、プログラム実行履歴と記す）をプログ
ラム実行履歴管理テーブルに記録する機能も有する。プ
ログラム実行履歴には、いつ，どの技師が，どのプログ
ラムを，どのパラメータを用いて実行したかという情報
を格納する。
【００３８】制御部１３２は、制御部１３２により制御
される各部位１３４の状態を表すデータ（以下、センサ
状態履歴と記す）をセンサ状態履歴管理テーブルに記録
する機能も有する。センサ状態履歴には、いつ，どの部
位が，どの状態に遷移したかという情報を格納する。
される各部位１３４の状態を表すデータ（以下、センサ
状態履歴と記す）をセンサ状態履歴管理テーブルに記録
する機能も有する。センサ状態履歴には、いつ，どの部
位が，どの状態に遷移したかという情報を格納する。
【００３９】制御部１３２は、各部位１３４によって処
理されたウェーハの状態を表すデータ（以下、処理結果
と記す）を処理結果管理テーブルに記録する機能も有す
る。処理結果には、どのウェーハが、どのような状態に
なったかという情報を格納する。
理されたウェーハの状態を表すデータ（以下、処理結果
と記す）を処理結果管理テーブルに記録する機能も有す
る。処理結果には、どのウェーハが、どのような状態に
なったかという情報を格納する。
【００４０】制御部１３２は、装置の状態の履歴を表す
データ(以下、装置状態履歴と記す)を装置状態履歴管理
テーブルに記録する機能も有する。装置状態履歴には、
いつ，どの状態に遷移したかという情報を格納する。装
置の状態には、例えば生産，待機，エンジニアリング，
計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画時間，
不定などがある。
データ(以下、装置状態履歴と記す)を装置状態履歴管理
テーブルに記録する機能も有する。装置状態履歴には、
いつ，どの状態に遷移したかという情報を格納する。装
置の状態には、例えば生産，待機，エンジニアリング，
計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画時間，
不定などがある。
【００４１】制御部１３２は、通信部１３１からの要求
があった場合には、装置状態履歴管理テーブルからその
時点の装置の状態を表す装置状態を読み出して通信部１
３１に提供する機能も有する。
があった場合には、装置状態履歴管理テーブルからその
時点の装置の状態を表す装置状態を読み出して通信部１
３１に提供する機能も有する。
【００４２】続いて、半導体製造装置１２３が管理する
テーブルの構造について説明する。図３は、半導体製造
装置１２３の通信部１３１が管理する保守員属性管理テ
ーブルの例を示している。保守員属性管理テーブル１４
０の各行は、先頭の保守員ＩＤの値によって識別される
保守員の属性を表す保守員属性を格納する。保守員属性
は、「保守員ＩＤ」，「パスワード」，「技術レベル」
の各項目から構成される。
テーブルの構造について説明する。図３は、半導体製造
装置１２３の通信部１３１が管理する保守員属性管理テ
ーブルの例を示している。保守員属性管理テーブル１４
０の各行は、先頭の保守員ＩＤの値によって識別される
保守員の属性を表す保守員属性を格納する。保守員属性
は、「保守員ＩＤ」，「パスワード」，「技術レベル」
の各項目から構成される。
【００４３】「保守員ＩＤ」の項目は、保守員の識別子
を表すデータを格納する。「パスワード」の項目は、保
守員のパスワードを表すデータを格納する。「技術レベ
ル」の項目は、保守員の技術レベルを表すデータを格納
する。この例では、保守員Ｄ１のパスワードは１２３４
であり技術レベルは上級であること、保守員Ｄ２のパス
ワードは５６７８であり技術レベルは中級であることを
表している。
を表すデータを格納する。「パスワード」の項目は、保
守員のパスワードを表すデータを格納する。「技術レベ
ル」の項目は、保守員の技術レベルを表すデータを格納
する。この例では、保守員Ｄ１のパスワードは１２３４
であり技術レベルは上級であること、保守員Ｄ２のパス
ワードは５６７８であり技術レベルは中級であることを
表している。
【００４４】図４は、半導体製造装置１２３の制御部１
３２が管理する装置状態管理テーブルの例を示してい
る。装置状態管理テーブル１４１の各行は、装置の状態
の履歴を表す装置状態履歴を格納する。装置状態履歴
は、「遷移日時」と「装置状態」の各項目から構成され
る。「遷移日時」の項目は、装置の状態が遷移した日時
を表すデータを格納する。「装置状態」の項目は、遷移
した装置の状態を表すデータを格納する。この例では、
２００１年０１月０２日１０時１０分１０秒に装置が生
産状態に遷移し、２００１年０１月０２日１０時１５分
１０秒に装置が待機状態に遷移したことを表している。
なお、「装置状態」の項目には、生産，待機，エンジニ
アリング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非
計画時間，不定などの値を設定してもよい。
３２が管理する装置状態管理テーブルの例を示してい
る。装置状態管理テーブル１４１の各行は、装置の状態
の履歴を表す装置状態履歴を格納する。装置状態履歴
は、「遷移日時」と「装置状態」の各項目から構成され
る。「遷移日時」の項目は、装置の状態が遷移した日時
を表すデータを格納する。「装置状態」の項目は、遷移
した装置の状態を表すデータを格納する。この例では、
２００１年０１月０２日１０時１０分１０秒に装置が生
産状態に遷移し、２００１年０１月０２日１０時１５分
１０秒に装置が待機状態に遷移したことを表している。
なお、「装置状態」の項目には、生産，待機，エンジニ
アリング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非
計画時間，不定などの値を設定してもよい。
【００４５】図５は、半導体製造装置１２３の制御部１
３２が管理するプログラム管理テーブルの例を示してい
る。プログラム管理テーブル１４２の各行は、制御部１
３２が実行する処理の条件と手続きを表すプログラムを
格納する。プログラムは、「プログラムＩＤ」，「プロ
グラム種別」，「名称」，「処理条件」，「処理手続」
の各項目から構成される。
３２が管理するプログラム管理テーブルの例を示してい
る。プログラム管理テーブル１４２の各行は、制御部１
３２が実行する処理の条件と手続きを表すプログラムを
格納する。プログラムは、「プログラムＩＤ」，「プロ
グラム種別」，「名称」，「処理条件」，「処理手続」
の各項目から構成される。
【００４６】「プログラムＩＤ」の項目は、個々のプロ
グラムごとに割り当てられるユニークな識別子を表すデ
ータである。「プログラム種別」の項目は、プログラム
の種別を表すデータである。「名称」の項目は、プログ
ラムの名称を表すデータである。「処理条件」の項目
は、制御部１３２が行う処理の条件を表すデータであ
る。「処理手続」の項目は、制御部１３２が行う処理の
手続を表すデータである。なお、処理条件の設定を必要
としないプログラムが存在してもよい。
グラムごとに割り当てられるユニークな識別子を表すデ
ータである。「プログラム種別」の項目は、プログラム
の種別を表すデータである。「名称」の項目は、プログ
ラムの名称を表すデータである。「処理条件」の項目
は、制御部１３２が行う処理の条件を表すデータであ
る。「処理手続」の項目は、制御部１３２が行う処理の
手続を表すデータである。なお、処理条件の設定を必要
としないプログラムが存在してもよい。
【００４７】この例では、プログラムＰ１は、プログラ
ムを読み出すためのプログラムであり、使用履歴読出し
の種別をもち、プログラムリードという名称の手続きを
実行することを表している。
ムを読み出すためのプログラムであり、使用履歴読出し
の種別をもち、プログラムリードという名称の手続きを
実行することを表している。
【００４８】プログラムＰ２は、プログラム実行履歴を
読み出すためのプログラムであり、使用履歴読出しの種
別をもち、プログラム実行履歴リードという名称の手続
きを実行することを表している。
読み出すためのプログラムであり、使用履歴読出しの種
別をもち、プログラム実行履歴リードという名称の手続
きを実行することを表している。
【００４９】プログラムＰ３は、センサ状態履歴を読み
出すためのプログラムであり、使用履歴読出しの種別を
もち、センサ状態履歴リードという名称の手続きを実行
することを表している。
出すためのプログラムであり、使用履歴読出しの種別を
もち、センサ状態履歴リードという名称の手続きを実行
することを表している。
【００５０】プログラムＰ４は、処理結果を読み出すた
めのプログラムであり、使用履歴読出しの種別をもち、
処理結果リードという名称の手続きを実行することを表
している。
めのプログラムであり、使用履歴読出しの種別をもち、
処理結果リードという名称の手続きを実行することを表
している。
【００５１】プログラムＰ５は、プログラムを生成する
ためのプログラムであり、プログラム操作の種別をも
ち、プログラムクリエートという名称の手続きを実行す
ることを表している。
ためのプログラムであり、プログラム操作の種別をも
ち、プログラムクリエートという名称の手続きを実行す
ることを表している。
【００５２】プログラムＰ６は、プログラムを編集する
ためのプログラムであり、プログラム操作の種別をも
ち、プログラムエディットという名称の手続きを実行す
ることを表している。
ためのプログラムであり、プログラム操作の種別をも
ち、プログラムエディットという名称の手続きを実行す
ることを表している。
【００５３】プログラムＰ７は、プログラムを削除する
ためのプログラムであり、プログラム操作の種別をも
ち、プログラムデリートという名称の手続きを実行する
ことを表している。
ためのプログラムであり、プログラム操作の種別をも
ち、プログラムデリートという名称の手続きを実行する
ことを表している。
【００５４】プログラムＰ８は、自動モードでウェーハ
を処理するためのプログラムであり、ウェーハ処理の種
別をもち、自動でウェーハの処理を行い、番号１のスロ
ットを使用し、ウェーハ単位で処理を行い、測定したウ
ェーハ画像は画像１に格納することを処理条件とし、ウ
ェーハロード，ウェーハアラインメント，アドレッシン
グ，測定，ウェーハアンロードという名称の手続きを順
に実行することを表している。
を処理するためのプログラムであり、ウェーハ処理の種
別をもち、自動でウェーハの処理を行い、番号１のスロ
ットを使用し、ウェーハ単位で処理を行い、測定したウ
ェーハ画像は画像１に格納することを処理条件とし、ウ
ェーハロード，ウェーハアラインメント，アドレッシン
グ，測定，ウェーハアンロードという名称の手続きを順
に実行することを表している。
【００５５】プログラムＰ９は、手動モードでウェーハ
を処理するためのプログラムであり、手動でウェーハの
処理を行い、ウェーハ処理の種別をもち、番号２のスロ
ットを使用し、カセット単位で処理を行い、測定したウ
ェーハ画像は画像２に格納することを処理条件とし、プ
ログラムＰ８と同じ手続を実行することを表している。
を処理するためのプログラムであり、手動でウェーハの
処理を行い、ウェーハ処理の種別をもち、番号２のスロ
ットを使用し、カセット単位で処理を行い、測定したウ
ェーハ画像は画像２に格納することを処理条件とし、プ
ログラムＰ８と同じ手続を実行することを表している。
【００５６】図６は、半導体製造装置１２３の通信部１
３１が管理する実行権限管理テーブルの例を示してい
る。実行権限管理テーブル１４３の各行は、先頭のプロ
グラムＩＤの値によって識別されるプログラムの実行権
限を表すプログラム実行権限を格納する。プログラム実
行権限は、「プログラムＩＤ」と「実行権限」の各項目
から構成される。
３１が管理する実行権限管理テーブルの例を示してい
る。実行権限管理テーブル１４３の各行は、先頭のプロ
グラムＩＤの値によって識別されるプログラムの実行権
限を表すプログラム実行権限を格納する。プログラム実
行権限は、「プログラムＩＤ」と「実行権限」の各項目
から構成される。
【００５７】「プログラムＩＤ」の項目は、プログラム
の識別子を表すデータを格納する。「実行権限」の項目
は、プログラムの実行を要求した保守員の保守員属性と
その時点の装置の装置状態とに応じて保守員にプログラ
ムの実行を許可するか否かを表すデータを格納する。
の識別子を表すデータを格納する。「実行権限」の項目
は、プログラムの実行を要求した保守員の保守員属性と
その時点の装置の装置状態とに応じて保守員にプログラ
ムの実行を許可するか否かを表すデータを格納する。
【００５８】この例では、実行権限を４文字の文字列で
表記している。最初の２文字は、保守員属性の「技術レ
ベル」の項目の値が上級である保守員に対する実行権限
を表しており、「ＸＸ」の場合には、装置状態の値に関
わらず実行を許可することを、「Ｘ−」の場合には、装
置状態の値が生産状態の場合には実行を許可し、その他
の状態の場合には実行を許可しないことを、「−Ｘ」の
場合には、装置状態の値が生産状態の場合には実行を許
可せず、その他の状態の場合には実行を許可すること
を、「−−」の場合には、装置状態の値に関わらず実行
を許可しないことを意味している。
表記している。最初の２文字は、保守員属性の「技術レ
ベル」の項目の値が上級である保守員に対する実行権限
を表しており、「ＸＸ」の場合には、装置状態の値に関
わらず実行を許可することを、「Ｘ−」の場合には、装
置状態の値が生産状態の場合には実行を許可し、その他
の状態の場合には実行を許可しないことを、「−Ｘ」の
場合には、装置状態の値が生産状態の場合には実行を許
可せず、その他の状態の場合には実行を許可すること
を、「−−」の場合には、装置状態の値に関わらず実行
を許可しないことを意味している。
【００５９】次の２文字は、保守員属性の「技術レベ
ル」の項目の値が中級である保守員に対する実行権限を
表しており、意味は最初の２文字と同様である。
ル」の項目の値が中級である保守員に対する実行権限を
表しており、意味は最初の２文字と同様である。
【００６０】プログラムＰ１とＰ４は、装置状態の値に
関わらず保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級で
ある保守員には実行を許可し、保守員属性の「技術レベ
ル」の項目の値が中級である保守員には実行を許可しな
いことを表している。
関わらず保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級で
ある保守員には実行を許可し、保守員属性の「技術レベ
ル」の項目の値が中級である保守員には実行を許可しな
いことを表している。
【００６１】また、プログラムＰ２，３，５，６，７
は、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級であ
る保守員には、装置状態の値が「生産」の場合には実行
を許可せず、装置状態の値が「その他」の場合には実行
を許可し、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が中
級である保守員には、装置状態の値に関わらず実行を許
可しないことを表している。
は、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級であ
る保守員には、装置状態の値が「生産」の場合には実行
を許可せず、装置状態の値が「その他」の場合には実行
を許可し、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が中
級である保守員には、装置状態の値に関わらず実行を許
可しないことを表している。
【００６２】また、プログラムＰ８，９は、いずれの保
守員にも実行を許可しないことを表している。
守員にも実行を許可しないことを表している。
【００６３】図７は、半導体製造装置１２３の制御部１
３２が管理するプログラム実行履歴管理テーブルの例を
示している。プログラム実行履歴管理テーブル１４４の
各行は、実行されたプログラムの履歴を表すプログラム
実行履歴を格納する。プログラム実行履歴は、「実行日
時」，「技師ＩＤ」，「プログラムＩＤ」，「パラメー
タ」の各項目から構成される。
３２が管理するプログラム実行履歴管理テーブルの例を
示している。プログラム実行履歴管理テーブル１４４の
各行は、実行されたプログラムの履歴を表すプログラム
実行履歴を格納する。プログラム実行履歴は、「実行日
時」，「技師ＩＤ」，「プログラムＩＤ」，「パラメー
タ」の各項目から構成される。
【００６４】「実行日時」の項目は、プログラムが実行
された日時を表すデータを格納する。「技師ＩＤ」の項
目は、プログラムを実行した技師の識別子を表すデータ
を格納する。「プログラムＩＤ」の項目は、実行された
プログラムの識別子を表すデータを格納する。「パラメ
ータ」の項目は、実行されたプログラムに与えたパラメ
ータを表すデータを格納する。この例では、２００１年
０１月０２日１０時１０分１０秒に技師Ｕ１がプログラ
ムＰ８を実行し、２００１年０１月０２日１０時１５分
１０秒に技師Ｕ１がプログラムＰ９を実行したことを表
している。
された日時を表すデータを格納する。「技師ＩＤ」の項
目は、プログラムを実行した技師の識別子を表すデータ
を格納する。「プログラムＩＤ」の項目は、実行された
プログラムの識別子を表すデータを格納する。「パラメ
ータ」の項目は、実行されたプログラムに与えたパラメ
ータを表すデータを格納する。この例では、２００１年
０１月０２日１０時１０分１０秒に技師Ｕ１がプログラ
ムＰ８を実行し、２００１年０１月０２日１０時１５分
１０秒に技師Ｕ１がプログラムＰ９を実行したことを表
している。
【００６５】図８は、半導体製造装置１２３の制御部１
３２が管理するセンサ状態管理テーブルの例を示してい
る。センサ状態履歴管理テーブル１４５の各行は、各部
位１３３の状態の履歴を表すセンサ状態履歴を格納す
る。センサ状態履歴は、「記録日時」，「センサＳ
１」，「センサＳ２」，・・・の各項目から構成され
る。「記録日時」の項目は、各部位１２７の状態値が記
録された日時を表すデータを格納する。
３２が管理するセンサ状態管理テーブルの例を示してい
る。センサ状態履歴管理テーブル１４５の各行は、各部
位１３３の状態の履歴を表すセンサ状態履歴を格納す
る。センサ状態履歴は、「記録日時」，「センサＳ
１」，「センサＳ２」，・・・の各項目から構成され
る。「記録日時」の項目は、各部位１２７の状態値が記
録された日時を表すデータを格納する。
【００６６】「センサＳ１」，「センサＳ２」，・・・
の各項目は、それぞれセンサを用いて測定した各部位１
３３の状態を表すデータを格納する。この例では、２０
０１年０１月０２日１０時１０分１０秒に各部位１３３
の状態値がそれぞれ０.０１,０.１０ ，・・・であり、
２００１年０１月０２日１０時１０分１１秒に各部位１
３３の状態値がそれぞれ０.０２，０.２０，・・・であ
ったことを表している。
の各項目は、それぞれセンサを用いて測定した各部位１
３３の状態を表すデータを格納する。この例では、２０
０１年０１月０２日１０時１０分１０秒に各部位１３３
の状態値がそれぞれ０.０１,０.１０ ，・・・であり、
２００１年０１月０２日１０時１０分１１秒に各部位１
３３の状態値がそれぞれ０.０２，０.２０，・・・であ
ったことを表している。
【００６７】図９は、半導体製造装置１２３の制御部１
３２が管理する処理結果管理テーブルの例を示してい
る。処理結果管理テーブル１４６の各行は、先頭のウェ
ーハＩＤの値によって識別されるウェーハの処理結果を
表す処理結果を格納する。処理結果は、「ウェーハＩ
Ｄ」と「ウェーハ画像」の各項目から構成される。
３２が管理する処理結果管理テーブルの例を示してい
る。処理結果管理テーブル１４６の各行は、先頭のウェ
ーハＩＤの値によって識別されるウェーハの処理結果を
表す処理結果を格納する。処理結果は、「ウェーハＩ
Ｄ」と「ウェーハ画像」の各項目から構成される。
【００６８】「ウェーハＩＤ」の項目は、個々のウェー
ハごとに割り当てられるユニークな識別子を表すデータ
を格納する。「ウェーハ画像」の項目は、ウェーハの表
面の状態を表す画像データを格納する。この例では、ウ
ェーハＷ１の表面の状態は正常なパターンであり、ウェ
ーハＷ２の表面の状態は異常なパターンであることを表
している。
ハごとに割り当てられるユニークな識別子を表すデータ
を格納する。「ウェーハ画像」の項目は、ウェーハの表
面の状態を表す画像データを格納する。この例では、ウ
ェーハＷ１の表面の状態は正常なパターンであり、ウェ
ーハＷ２の表面の状態は異常なパターンであることを表
している。
【００６９】図１０は、半導体製造装置１２３の入出力
部１３０が管理する出力権限管理テーブルの例を示して
いる。出力権限管理テーブル１４７の各行は、保守作業
の状況の出力権限を表す状況出力制限を格納する。出力
制限は、「項目」と「出力権限」の各項目から構成され
る。
部１３０が管理する出力権限管理テーブルの例を示して
いる。出力権限管理テーブル１４７の各行は、保守作業
の状況の出力権限を表す状況出力制限を格納する。出力
制限は、「項目」と「出力権限」の各項目から構成され
る。
【００７０】「項目」の項目は、実行状況の各項目を表
すデータである。「出力権限」の項目は、出力モードに
応じて実行状況の各項目の表示を許可するか否かを表す
データを格納する。この例では、出力制限を２文字の文
字列で表記している。この文字列は、「ＸＸ」の場合に
は、出力モードに関わらず出力を許可することを、「Ｘ
−」の場合には、出力モードの値が全表示の場合には出
力を許可し、部分表示の場合には出力を許可しないこと
を、「−Ｘ」の場合には、出力モードの値が全表示の場
合には出力を許可せず、部分表示の場合には出力を許可
することを、「−−」の場合には、出力モードに関わら
ず出力を許可しないことを意味している。
すデータである。「出力権限」の項目は、出力モードに
応じて実行状況の各項目の表示を許可するか否かを表す
データを格納する。この例では、出力制限を２文字の文
字列で表記している。この文字列は、「ＸＸ」の場合に
は、出力モードに関わらず出力を許可することを、「Ｘ
−」の場合には、出力モードの値が全表示の場合には出
力を許可し、部分表示の場合には出力を許可しないこと
を、「−Ｘ」の場合には、出力モードの値が全表示の場
合には出力を許可せず、部分表示の場合には出力を許可
することを、「−−」の場合には、出力モードに関わら
ず出力を許可しないことを意味している。
【００７１】実行日時とプログラム種別の項目は、出力
モードの値に関わらず出力を許可し、プログラムＩＤと
パラメータの項目は、出力モードの値が全表示の場合に
は出力を許可し、出力モードの値が部分表示の場合には
出力を許可しないことを表している。
モードの値に関わらず出力を許可し、プログラムＩＤと
パラメータの項目は、出力モードの値が全表示の場合に
は出力を許可し、出力モードの値が部分表示の場合には
出力を許可しないことを表している。
【００７２】図１１は、半導体製造装置１２３の通信部
１３１が管理する保守実績管理テーブルの例を示してい
る。保守実績管理テーブル１４８の各行は、管理装置１
２２から受信したメッセージの内容を表す保守実績を格
納する。保守実績は、「作業ＩＤ」，「記録日時」，
「技術レベル」，「保守員ＩＤ」，「作業状態」，「プ
ログラムＩＤ」，「パラメータ」，「装置状態」，「出
力モード」の各項目から構成される。
１３１が管理する保守実績管理テーブルの例を示してい
る。保守実績管理テーブル１４８の各行は、管理装置１
２２から受信したメッセージの内容を表す保守実績を格
納する。保守実績は、「作業ＩＤ」，「記録日時」，
「技術レベル」，「保守員ＩＤ」，「作業状態」，「プ
ログラムＩＤ」，「パラメータ」，「装置状態」，「出
力モード」の各項目から構成される。
【００７３】「作業ＩＤ」の項目は、保守作業の識別子
を表すデータを格納する。「記録日時」の項目は、保守
実績が記録された日時を表すデータを格納する。「技術
レベル」の項目は、保守操作を送信した保守員の技術レ
ベルを表すデータを格納する。「保守員ＩＤ」の項目
は、メッセージを送信した保守員の識別子を表すデータ
を格納する。「作業状態」の項目は、保守作業の進捗状
態を表すデータを格納する。「プログラムＩＤ」の項目
は、保守操作によって実行されるプログラムの識別子を
表すデータを格納する。「パラメータ」の項目は、プロ
グラムへ与えるパラメータを表すデータを格納する。
「装置状態」の項目は、プログラムが実行された時の装
置状態を格納する。「出力モード」の項目は、保守作業
の出力モードを格納する。
を表すデータを格納する。「記録日時」の項目は、保守
実績が記録された日時を表すデータを格納する。「技術
レベル」の項目は、保守操作を送信した保守員の技術レ
ベルを表すデータを格納する。「保守員ＩＤ」の項目
は、メッセージを送信した保守員の識別子を表すデータ
を格納する。「作業状態」の項目は、保守作業の進捗状
態を表すデータを格納する。「プログラムＩＤ」の項目
は、保守操作によって実行されるプログラムの識別子を
表すデータを格納する。「パラメータ」の項目は、プロ
グラムへ与えるパラメータを表すデータを格納する。
「装置状態」の項目は、プログラムが実行された時の装
置状態を格納する。「出力モード」の項目は、保守作業
の出力モードを格納する。
【００７４】この例では、保守員は保守員Ｄ１であり、
技術レベルは上級であり、出力モードは部分表示である
ことを示している。また、半導体製造装置１２３の通信
部１３１は、２００１年０１月０３日１１時１０分１０
秒に着手通知を受信し、２００１年０１月０３日１１時
１５分１０秒にプログラム実行履歴の読出し(Ｐ２)を要
求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１
時２０分１０秒にセンサ状態履歴の読出し（Ｐ３）を要
求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１
時２５分１０秒に処理結果の読出し（Ｐ４）を要求する
保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時３０
分１０秒にプログラムＰ８の読出し（Ｐ１）を要求する
保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時３５
分１０秒にプログラムＰ８の編集(Ｐ６)を要求する保守
操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時４０分１
０秒にプログラムＰ８の実行（Ｐ８）を要求する保守操
作を受信し、２００１年０１月０３日１１時４５分１０
秒に処理結果の読出し（Ｐ４）を要求する保守操作を受
信し、２００１年０１月０３日１１時５０分１０秒に完
了通知を受信したことを表している。また、着手通知を
受信した時と最初の保守操作を受信した時の装置状態の
値は生産状態であり、残りの保守操作を受信した時の装
置状態の値は待機状態であったことを表している。
技術レベルは上級であり、出力モードは部分表示である
ことを示している。また、半導体製造装置１２３の通信
部１３１は、２００１年０１月０３日１１時１０分１０
秒に着手通知を受信し、２００１年０１月０３日１１時
１５分１０秒にプログラム実行履歴の読出し(Ｐ２)を要
求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１
時２０分１０秒にセンサ状態履歴の読出し（Ｐ３）を要
求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１
時２５分１０秒に処理結果の読出し（Ｐ４）を要求する
保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時３０
分１０秒にプログラムＰ８の読出し（Ｐ１）を要求する
保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時３５
分１０秒にプログラムＰ８の編集(Ｐ６)を要求する保守
操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時４０分１
０秒にプログラムＰ８の実行（Ｐ８）を要求する保守操
作を受信し、２００１年０１月０３日１１時４５分１０
秒に処理結果の読出し（Ｐ４）を要求する保守操作を受
信し、２００１年０１月０３日１１時５０分１０秒に完
了通知を受信したことを表している。また、着手通知を
受信した時と最初の保守操作を受信した時の装置状態の
値は生産状態であり、残りの保守操作を受信した時の装
置状態の値は待機状態であったことを表している。
【００７５】図１２は、半導体製造装置１２３の通信部
１３１が管理する保守料金表管理テーブルの例を示して
いる。保守料金表管理テーブル１４９を構成する各テー
ブルは、保守作業の見返りとして装置ベンダが半導体製
造メーカに請求する対価の額を表す保守料金表を格納す
る。保守料金表管理テーブル１４９は、定価料金管理テ
ーブル１５０と割引料金管理テーブル１５１と割増料金
管理テーブル１５２とから構成される。
１３１が管理する保守料金表管理テーブルの例を示して
いる。保守料金表管理テーブル１４９を構成する各テー
ブルは、保守作業の見返りとして装置ベンダが半導体製
造メーカに請求する対価の額を表す保守料金表を格納す
る。保守料金表管理テーブル１４９は、定価料金管理テ
ーブル１５０と割引料金管理テーブル１５１と割増料金
管理テーブル１５２とから構成される。
【００７６】定価料金管理テーブル１５０は保守作業を
各保守センタに保守作業を依頼した場合の１回の保守作
業あたりの保守作業の定価料金を表すデータを格納す
る。割引料金管理テーブル１５１は、保守作業で各プロ
グラムを実行した場合の１回あたりのプログラムの実行
の割引料金を表すデータを格納する。割増料金管理テー
ブル１５２は、出力モードを各値にした場合の１回あた
りの保守作業の割増料金を表すデータを格納する。この
例では、上級の保守員は中級の保守員よりも短時間で保
守を完了することができるため、技術レベルが上級の保
守員が保守を行った場合には、技術レベルが中級の保守
員が保守を行った場合よりも高い定価料金を半導体製造
メーカに請求することを表している。
各保守センタに保守作業を依頼した場合の１回の保守作
業あたりの保守作業の定価料金を表すデータを格納す
る。割引料金管理テーブル１５１は、保守作業で各プロ
グラムを実行した場合の１回あたりのプログラムの実行
の割引料金を表すデータを格納する。割増料金管理テー
ブル１５２は、出力モードを各値にした場合の１回あた
りの保守作業の割増料金を表すデータを格納する。この
例では、上級の保守員は中級の保守員よりも短時間で保
守を完了することができるため、技術レベルが上級の保
守員が保守を行った場合には、技術レベルが中級の保守
員が保守を行った場合よりも高い定価料金を半導体製造
メーカに請求することを表している。
【００７７】また、プログラムや処理結果データにはプ
ログラム実行履歴データやセンサ状態履歴データよりも
半導体製造メーカの機密情報が多く含まれるため、プロ
グラムＰ１，Ｐ４，Ｐ６を実行した場合には、プログラ
ムＰ２とＰ３を実行した場合よりも大きい割引幅で割引
きを行うことを表している。
ログラム実行履歴データやセンサ状態履歴データよりも
半導体製造メーカの機密情報が多く含まれるため、プロ
グラムＰ１，Ｐ４，Ｐ６を実行した場合には、プログラ
ムＰ２とＰ３を実行した場合よりも大きい割引幅で割引
きを行うことを表している。
【００７８】また、装置が生産状態の場合にはその他の
状態の場合よりも保守が困難になるため、装置状態デー
タの値が生産状態のときに保守を行う場合には、その他
の状態のときに保守を行う場合よりも小さい割引幅で割
引きを行うことを表している。
状態の場合よりも保守が困難になるため、装置状態デー
タの値が生産状態のときに保守を行う場合には、その他
の状態のときに保守を行う場合よりも小さい割引幅で割
引きを行うことを表している。
【００７９】また、出力モードに全表示を指定した場合
には部分表示を指定した場合よりも多くの保守に関する
ノウハウを半導体製造メーカに見せることになるため、
出力モードに全表示を指定して保守を行う場合には、部
分表示を指定して保守を行う場合よりも大きい割増幅で
割増を行うことを表している。
には部分表示を指定した場合よりも多くの保守に関する
ノウハウを半導体製造メーカに見せることになるため、
出力モードに全表示を指定して保守を行う場合には、部
分表示を指定して保守を行う場合よりも大きい割増幅で
割増を行うことを表している。
【００８０】次に、半導体製造装置１２３と作業装置１
１３の間で送受信するメッセージの構造について説明す
る。図１３は、半導体製造装置１２３と作業装置１１３
の間で送受信する保守依頼，着手通知，保守操作，保守
操作応答，完了通知の各メッセージの例を示している。
保守依頼１６０は、半導体製造装置１２３が作業装置１
１３に保守を依頼するために送信するメッセージであ
り、「トラブル検知日時」，「半導体製造工場ＩＤ」，
「半導体製造装置ＩＤ」，「半導体製造装置種別」，
「ステータス」，「出力モード」の各項目から構成され
る。
１３の間で送受信するメッセージの構造について説明す
る。図１３は、半導体製造装置１２３と作業装置１１３
の間で送受信する保守依頼，着手通知，保守操作，保守
操作応答，完了通知の各メッセージの例を示している。
保守依頼１６０は、半導体製造装置１２３が作業装置１
１３に保守を依頼するために送信するメッセージであ
り、「トラブル検知日時」，「半導体製造工場ＩＤ」，
「半導体製造装置ＩＤ」，「半導体製造装置種別」，
「ステータス」，「出力モード」の各項目から構成され
る。
【００８１】「トラブル検知日時」の項目は、トラブル
の発生を検出した日時を表すデータを格納する。「半導
体製造工場ＩＤ」の項目は、トラブルの発生を検出した
半導体製造装置が設けられている工場の識別子を表すデ
ータを格納する。「半導体製造装置ＩＤ」の項目は、ト
ラブルの発生を検出した半導体製造装置の識別子を表す
データを格納する。「半導体製造装置種別」の項目は、
トラブルの発生を検出した半導体製造装置の種別を表す
データを格納する。「ステータス」の項目は、トラブル
の症状を特定するステータスを格納する。「出力モー
ド」の項目は、保守作業の状況を半導体装置に出力する
態様を特定する出力モードを格納する。
の発生を検出した日時を表すデータを格納する。「半導
体製造工場ＩＤ」の項目は、トラブルの発生を検出した
半導体製造装置が設けられている工場の識別子を表すデ
ータを格納する。「半導体製造装置ＩＤ」の項目は、ト
ラブルの発生を検出した半導体製造装置の識別子を表す
データを格納する。「半導体製造装置種別」の項目は、
トラブルの発生を検出した半導体製造装置の種別を表す
データを格納する。「ステータス」の項目は、トラブル
の症状を特定するステータスを格納する。「出力モー
ド」の項目は、保守作業の状況を半導体装置に出力する
態様を特定する出力モードを格納する。
【００８２】着手通知１６１は、作業装置１１３が半導
体製造装置１２３に保守作業を着手する旨を伝えるため
に送信するメッセージであり、「保守員ＩＤ」，「パス
ワード」，「出力モード」の各項目から構成される。
体製造装置１２３に保守作業を着手する旨を伝えるため
に送信するメッセージであり、「保守員ＩＤ」，「パス
ワード」，「出力モード」の各項目から構成される。
【００８３】「保守員ＩＤ」の項目は、保守作業を行う
保守員の識別子を表すデータを格納する。「パスワー
ド」の項目は、保守作業を行う保守員のパスワードを表
すデータを格納する。「出力モード」の項目は、保守依
頼で指定された出力モードを格納する。
保守員の識別子を表すデータを格納する。「パスワー
ド」の項目は、保守作業を行う保守員のパスワードを表
すデータを格納する。「出力モード」の項目は、保守依
頼で指定された出力モードを格納する。
【００８４】保守操作１６２は、作業装置１１３が半導
体製造装置１２３に命令を伝えるために送信するメッセ
ージであり、「コマンド数」，「プログラムＩＤ」，
「パラメータ」，「プログラムＩＤ」，「パラメー
タ」，・・・の各項目から構成される。「コマンド数」
の項目は、保守操作に格納されているコマンドの数を表
すデータである。「プログラムＩＤ」の項目は、半導体
製造装置で実行するプログラムの識別子を表すデータで
ある。「パラメータ」の項目は、半導体製造装置で実行
するプログラムに渡すパラメータである。
体製造装置１２３に命令を伝えるために送信するメッセ
ージであり、「コマンド数」，「プログラムＩＤ」，
「パラメータ」，「プログラムＩＤ」，「パラメー
タ」，・・・の各項目から構成される。「コマンド数」
の項目は、保守操作に格納されているコマンドの数を表
すデータである。「プログラムＩＤ」の項目は、半導体
製造装置で実行するプログラムの識別子を表すデータで
ある。「パラメータ」の項目は、半導体製造装置で実行
するプログラムに渡すパラメータである。
【００８５】保守操作応答１６３は、半導体製造装置１
２３が作業装置１１３に命令の結果を伝えるために送信
するメッセージであり、「結果数」，「結果」，「結
果」，・・・の各項目から構成される。「結果数」の項
目は、保守操作応答に格納されているコマンド応答の数
を表すデータである。「結果」の項目は、プログラムの
実行結果を表すデータである。
２３が作業装置１１３に命令の結果を伝えるために送信
するメッセージであり、「結果数」，「結果」，「結
果」，・・・の各項目から構成される。「結果数」の項
目は、保守操作応答に格納されているコマンド応答の数
を表すデータである。「結果」の項目は、プログラムの
実行結果を表すデータである。
【００８６】完了通知１６４は、作業装置１１３が半導
体製造装置１２３に保守作業を完了する旨を伝えるため
のメッセージであり、「総コマンド数」の項目から構成
される。「総コマンド数」の項目は、着手通知を送信し
てから完了通知を送信するまでに送信したコマンドの数
を表すデータである。
体製造装置１２３に保守作業を完了する旨を伝えるため
のメッセージであり、「総コマンド数」の項目から構成
される。「総コマンド数」の項目は、着手通知を送信し
てから完了通知を送信するまでに送信したコマンドの数
を表すデータである。
【００８７】続いて、図１の半導体製造装置１２３と作
業装置１１３の処理フローについて説明する。図１４
は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示す
フローチャートである。通信部１３１は、このフローチ
ャートに示す処理を定期的に実行することにより、半導
体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視する。
業装置１１３の処理フローについて説明する。図１４
は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示す
フローチャートである。通信部１３１は、このフローチ
ャートに示す処理を定期的に実行することにより、半導
体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視する。
【００８８】まず、通信部１３１は、半導体製造装置１
２３でトラブルが発生していることを検出したか否かを
確認する（ステップ２０１）。通信部１３１は、トラブ
ルが発生していることを検出した場合にはトラブルの症
状を特定するステータと保守作業の状況を半導体装置に
出力する態様を特定する出力モードから構成される保守
依頼１６０を生成し（ステップ２０３）、トラブルが発
生していることを検出しなかった場合には処理を終了す
る(ステップ２０５)。次に、通信部１３１は、保守セン
タ１１０の管理装置１１２に保守依頼１６０を送信し
(ステップ２０４)、処理を終了する（ステップ２０
５）。
２３でトラブルが発生していることを検出したか否かを
確認する（ステップ２０１）。通信部１３１は、トラブ
ルが発生していることを検出した場合にはトラブルの症
状を特定するステータと保守作業の状況を半導体装置に
出力する態様を特定する出力モードから構成される保守
依頼１６０を生成し（ステップ２０３）、トラブルが発
生していることを検出しなかった場合には処理を終了す
る(ステップ２０５)。次に、通信部１３１は、保守セン
タ１１０の管理装置１１２に保守依頼１６０を送信し
(ステップ２０４)、処理を終了する（ステップ２０
５）。
【００８９】図１５は、作業装置１１３の動作を示すフ
ローチャートである。作業装置113は、このフローチャ
ートに示す処理を定期的に実行することにより、トラブ
ルが検出された半導体製造装置１２３との間で保守依頼
１６０，着手通知１６１，保守操作１６２，保守操作応
答１６３，完了通知１６４の各メッセージの送受信を行
う。
ローチャートである。作業装置113は、このフローチャ
ートに示す処理を定期的に実行することにより、トラブ
ルが検出された半導体製造装置１２３との間で保守依頼
１６０，着手通知１６１，保守操作１６２，保守操作応
答１６３，完了通知１６４の各メッセージの送受信を行
う。
【００９０】まず、作業装置１１３は、半導体製造装置
１２３から保守依頼１６０を受信しているか否かを確認
する(ステップ２１１)。作業装置１１３は、保守依頼１
６０を受信している場合にはこの保守依頼１６０に含ま
れる情報を例えばディスプレイに表示し（ステップ２１
３）、保守依頼１６０を受信していない場合には処理を
終了する（ステップ２２４）。次に、作業装置１１３
は、オンラインでの対処が必要であると判断した保守員
がキーボードを用いて入力する保守員の識別子とパスワ
ードを受け付ける（ステップ２１４）。次に、作業装置
１１３は、保守員がマウスを用いて着手通知送信ボタン
を押下すると、保守員が入力した保守員の識別子とパス
ワードと、保守依頼から取り出した出力モードから構成
される着手通知１６１を、保守依頼１６０を送信してき
た半導体製造装置１２３に送信する（ステップ２１
５）。次に、作業装置１１３は、保守員が半導体製造装
置１２３に命令を送信するためにキーボードを用いて入
力するコマンドと、プログラムの実行結果を格納するフ
ァイルの識別子を受け付ける（ステップ２１６）。な
お、ステップ２１６では、作業装置１１３は複数のコマ
ンドとファイルの識別子を保守員から受け付けてもよ
い。
１２３から保守依頼１６０を受信しているか否かを確認
する(ステップ２１１)。作業装置１１３は、保守依頼１
６０を受信している場合にはこの保守依頼１６０に含ま
れる情報を例えばディスプレイに表示し（ステップ２１
３）、保守依頼１６０を受信していない場合には処理を
終了する（ステップ２２４）。次に、作業装置１１３
は、オンラインでの対処が必要であると判断した保守員
がキーボードを用いて入力する保守員の識別子とパスワ
ードを受け付ける（ステップ２１４）。次に、作業装置
１１３は、保守員がマウスを用いて着手通知送信ボタン
を押下すると、保守員が入力した保守員の識別子とパス
ワードと、保守依頼から取り出した出力モードから構成
される着手通知１６１を、保守依頼１６０を送信してき
た半導体製造装置１２３に送信する（ステップ２１
５）。次に、作業装置１１３は、保守員が半導体製造装
置１２３に命令を送信するためにキーボードを用いて入
力するコマンドと、プログラムの実行結果を格納するフ
ァイルの識別子を受け付ける（ステップ２１６）。な
お、ステップ２１６では、作業装置１１３は複数のコマ
ンドとファイルの識別子を保守員から受け付けてもよ
い。
【００９１】次に、作業装置１１３は、保守員がマウス
を用いて保守操作送信ボタンを押下すると、保守員が入
力したコマンドから構成される保守操作１６２を、保守
依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信
する(ステップ２１７)。次に、作業装置１１３は、送信
した保守操作１６２に応答して半導体製造装置１２３か
ら送信される保守操作応答１６３を受信する（ステップ
２１８）。次に、作業装置１１３は、保守操作応答１６
３に格納されている全てのコマンド応答を取り出し、そ
れぞれのコマンド応答に格納されているプログラムの実
行結果をそれぞれに対応付けられているファイルに格納
する（ステップ２１９）。次に、作業装置１１３は、保
守操作応答１６３を受信した旨をディスプレイに表示す
る（ステップ２２０）。次に、作業装置１１３は、保守
員からの入力を受け付ける（ステップ２２１）。
を用いて保守操作送信ボタンを押下すると、保守員が入
力したコマンドから構成される保守操作１６２を、保守
依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信
する(ステップ２１７)。次に、作業装置１１３は、送信
した保守操作１６２に応答して半導体製造装置１２３か
ら送信される保守操作応答１６３を受信する（ステップ
２１８）。次に、作業装置１１３は、保守操作応答１６
３に格納されている全てのコマンド応答を取り出し、そ
れぞれのコマンド応答に格納されているプログラムの実
行結果をそれぞれに対応付けられているファイルに格納
する（ステップ２１９）。次に、作業装置１１３は、保
守操作応答１６３を受信した旨をディスプレイに表示す
る（ステップ２２０）。次に、作業装置１１３は、保守
員からの入力を受け付ける（ステップ２２１）。
【００９２】作業装置１１３は、保守員がマウスを用い
て継続ボタンを押下した場合には、ステップ２１６に戻
って処理を継続し、保守員が完了通知送信ボタンを押下
した場合には、保守依頼１６０を送信してきた半導体製
造装置１２３に完了通知164を送信し（ステップ２２
３）、処理を終了する（ステップ２２４）。
て継続ボタンを押下した場合には、ステップ２１６に戻
って処理を継続し、保守員が完了通知送信ボタンを押下
した場合には、保守依頼１６０を送信してきた半導体製
造装置１２３に完了通知164を送信し（ステップ２２
３）、処理を終了する（ステップ２２４）。
【００９３】図１６は、半導体製造装置１２３の通信部
１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３
１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、着手通知１６１，保守操作１６２，完了
通知１６４の各メッセージに応じた処理を実行する。
１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３
１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、着手通知１６１，保守操作１６２，完了
通知１６４の各メッセージに応じた処理を実行する。
【００９４】まず、通信部１３１は、作業装置１１３か
らメッセージが到着しているか否かを確認する（ステッ
プ２３１）。通信部１３１は、メッセージが到着してい
る場合には、このメッセージが着手通知１６１，保守操
作１６２，完了通知１６４のいずれであるかを確認し
（ステップ２３３）、メッセージが到着していない場合
には、処理を終了する（ステップ２５０）。
らメッセージが到着しているか否かを確認する（ステッ
プ２３１）。通信部１３１は、メッセージが到着してい
る場合には、このメッセージが着手通知１６１，保守操
作１６２，完了通知１６４のいずれであるかを確認し
（ステップ２３３）、メッセージが到着していない場合
には、処理を終了する（ステップ２５０）。
【００９５】通信部１３１は、ステップ２３３で確認し
たメッセージが着手通知１６１である場合には、保守員
属性管理テーブル１４０から保守員属性を読み出し（ス
テップ２３５）、読み出した保守員属性を用いて保守員
を認証し（ステップ２３６）、着手通知から取り出した
出力モードを記憶し（ステップ２３７）、着手通知の内
容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ２
４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。通信部１
３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが保守操
作１６２である場合には、保守操作１６２から全てのコ
マンドを取り出す（ステップ２３８）。通信部１３１
は、取り出した各コマンドについてステップ２３９から
２４５を繰り返す(ステップ２４６，２４７)。まず、通
信部１３１は、制御部１３２からその時点の装置の状態
を表す装置状態を読み出す（ステップ２３９）。次に、
通信部１３１は、実行権限管理テーブル１４３からコマ
ンドで指定されているプログラムの実行権限を読み出す
（ステップ２４０）。次に、通信部１３１は、保守員属
性と装置状態を基に、コマンドで指定されているプログ
ラムの実行権限が保守員に与えられているか否かを確認
する(ステップ２４１)。
たメッセージが着手通知１６１である場合には、保守員
属性管理テーブル１４０から保守員属性を読み出し（ス
テップ２３５）、読み出した保守員属性を用いて保守員
を認証し（ステップ２３６）、着手通知から取り出した
出力モードを記憶し（ステップ２３７）、着手通知の内
容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ２
４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。通信部１
３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが保守操
作１６２である場合には、保守操作１６２から全てのコ
マンドを取り出す（ステップ２３８）。通信部１３１
は、取り出した各コマンドについてステップ２３９から
２４５を繰り返す(ステップ２４６，２４７)。まず、通
信部１３１は、制御部１３２からその時点の装置の状態
を表す装置状態を読み出す（ステップ２３９）。次に、
通信部１３１は、実行権限管理テーブル１４３からコマ
ンドで指定されているプログラムの実行権限を読み出す
（ステップ２４０）。次に、通信部１３１は、保守員属
性と装置状態を基に、コマンドで指定されているプログ
ラムの実行権限が保守員に与えられているか否かを確認
する(ステップ２４１)。
【００９６】通信部１３１は、実行権限が与えられてい
る場合には、コマンドで指定されているプログラムとパ
ラメータとから構成される実行要求と、記憶してる出力
モードを制御部１３２に送信し（ステップ２４３）、制
御部１３２から実行要求応答を受信し（ステップ２４
４）、実行要求応答から取り出したプログラムの実行結
果を保守操作応答１６３に格納し（ステップ２４５）、
実行権限が与えられていない場合には、その旨を保守操
作応答１６３に格納する（ステップ２４５）。通信部１
３１は、取り出した各コマンドについてステップ２３９
から２４５を繰り返すと、保守操作応答１６３を作業装
置１１３に送信し（ステップ２４８）、保守操作１６２
の内容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステッ
プ２４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。通信
部１３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが完
了通知１６４である場合には、保守実績管理テーブル１
４７から保守実績を読み出し（ステップ２５１）、保守
料金表管理テーブル１４８から保守料金表を読み出し
（ステップ２５２）、この保守料金表と保守実績を用い
て当該保守についての保守料金を算出し（ステップ２５
３）、この保守料金に関する情報を例えばディスプレイ
に表示するように制御部１３２を介して入出力部１３０
に要求し（ステップ２５４）、完了通知１６４の内容を
保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ２４
９）、処理を終了する（ステップ２５０）。なお、ステ
ップ２３９と２４０は処理の順序を入れ替えてもよい。
また、ステップ２５１と２５２も処理の順序を入れ替え
てもよい。
る場合には、コマンドで指定されているプログラムとパ
ラメータとから構成される実行要求と、記憶してる出力
モードを制御部１３２に送信し（ステップ２４３）、制
御部１３２から実行要求応答を受信し（ステップ２４
４）、実行要求応答から取り出したプログラムの実行結
果を保守操作応答１６３に格納し（ステップ２４５）、
実行権限が与えられていない場合には、その旨を保守操
作応答１６３に格納する（ステップ２４５）。通信部１
３１は、取り出した各コマンドについてステップ２３９
から２４５を繰り返すと、保守操作応答１６３を作業装
置１１３に送信し（ステップ２４８）、保守操作１６２
の内容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステッ
プ２４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。通信
部１３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが完
了通知１６４である場合には、保守実績管理テーブル１
４７から保守実績を読み出し（ステップ２５１）、保守
料金表管理テーブル１４８から保守料金表を読み出し
（ステップ２５２）、この保守料金表と保守実績を用い
て当該保守についての保守料金を算出し（ステップ２５
３）、この保守料金に関する情報を例えばディスプレイ
に表示するように制御部１３２を介して入出力部１３０
に要求し（ステップ２５４）、完了通知１６４の内容を
保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ２４
９）、処理を終了する（ステップ２５０）。なお、ステ
ップ２３９と２４０は処理の順序を入れ替えてもよい。
また、ステップ２５１と２５２も処理の順序を入れ替え
てもよい。
【００９７】図１７は、半導体製造装置１２３の制御部
１３２の動作を示すフローチャートである。制御部１３
２は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、通信部１３１から受信した実行要求に応
じてプログラムを実行する。
１３２の動作を示すフローチャートである。制御部１３
２は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、通信部１３１から受信した実行要求に応
じてプログラムを実行する。
【００９８】まず、制御部１３２は、通信部１３１から
実行要求と出力モードを受信しているか否かを確認する
（ステップ２６１）。制御部１３２は、実行要求と出力
モードを受信している場合には、実行要求で指定されて
いるプログラムをこれに対応付けられているパラメータ
を用いて実行し（ステップ２６３）、プログラム実行要
求が到着していない場合には、処理を終了する（ステッ
プ２６６）。次に、制御部１３２は、プログラムの実行
日時，プログラムの識別子，パラメータから構成される
実行状況と、制御部１３２から受信した出力モードとを
入出力部１３０に送信する（ステップ２６４）。次に、
制御部１３２は、プログラムの実行結果から構成される
実行要求応答を通信部に送信し（ステップ２６５）、処
理を終了する（ステップ２６６）。
実行要求と出力モードを受信しているか否かを確認する
（ステップ２６１）。制御部１３２は、実行要求と出力
モードを受信している場合には、実行要求で指定されて
いるプログラムをこれに対応付けられているパラメータ
を用いて実行し（ステップ２６３）、プログラム実行要
求が到着していない場合には、処理を終了する（ステッ
プ２６６）。次に、制御部１３２は、プログラムの実行
日時，プログラムの識別子，パラメータから構成される
実行状況と、制御部１３２から受信した出力モードとを
入出力部１３０に送信する（ステップ２６４）。次に、
制御部１３２は、プログラムの実行結果から構成される
実行要求応答を通信部に送信し（ステップ２６５）、処
理を終了する（ステップ２６６）。
【００９９】図１８は、半導体製造装置１２３の入出力
部１３０の動作を示すフローチャートである。入出力部
１３０は、このフローチャートに示す処理を定期的に実
行することにより、実行状況を例えばディスプレイに出
力する。
部１３０の動作を示すフローチャートである。入出力部
１３０は、このフローチャートに示す処理を定期的に実
行することにより、実行状況を例えばディスプレイに出
力する。
【０１００】まず、入出力部１３０は、制御部１３２か
ら実行状況と出力モードを受信しているか否かを確認す
る（ステップ２７１）。入出力部１３０は、実行状況と
出力モードを受信している場合には出力権限管理テーブ
ルから状況出力権限を読み出し（ステップ２７３）、実
行状況と出力モードを受信していない場合には処理を終
了する（ステップ２７６）。次に、入出力部１３０は、
受信した出力モードを基に、実行状況の各項目の出力権
限が与えられているか否かを確認する（ステップ２７
４）。次に、入出力部１３０は、出力権限が与えられて
いる実行状況の項目を例えばディスプレイに表示し（ス
テップ２７５）、処理を終了する（ステップ２７６）。
ら実行状況と出力モードを受信しているか否かを確認す
る（ステップ２７１）。入出力部１３０は、実行状況と
出力モードを受信している場合には出力権限管理テーブ
ルから状況出力権限を読み出し（ステップ２７３）、実
行状況と出力モードを受信していない場合には処理を終
了する（ステップ２７６）。次に、入出力部１３０は、
受信した出力モードを基に、実行状況の各項目の出力権
限が与えられているか否かを確認する（ステップ２７
４）。次に、入出力部１３０は、出力権限が与えられて
いる実行状況の項目を例えばディスプレイに表示し（ス
テップ２７５）、処理を終了する（ステップ２７６）。
【０１０１】続いて、図１の半導体製造装置１２３と作
業装置１１３のディスプレイに表示する画面について説
明する。図１９は、図１５に示した処理フローのステッ
プ２１３で作業装置１１３のディスプレイに表示する保
守作業画面の例を示している。
業装置１１３のディスプレイに表示する画面について説
明する。図１９は、図１５に示した処理フローのステッ
プ２１３で作業装置１１３のディスプレイに表示する保
守作業画面の例を示している。
【０１０２】保守作業画面２８０は、ステータスと出力
モードを含む保守依頼１６０の内容を保守員に示し、保
守員から着手通知１６１の送信，保守操作１６２の送
信，保守操作１６２の送信の継続，完了通知１６４の送
信などの指示を受け付ける画面であり、保守依頼パネル
２８１，アクションパネル２８２，着手通知パネル287,
保守操作パネル２９０から構成される。
モードを含む保守依頼１６０の内容を保守員に示し、保
守員から着手通知１６１の送信，保守操作１６２の送
信，保守操作１６２の送信の継続，完了通知１６４の送
信などの指示を受け付ける画面であり、保守依頼パネル
２８１，アクションパネル２８２，着手通知パネル287,
保守操作パネル２９０から構成される。
【０１０３】保守依頼パネル２８１は、半導体製造装置
１２３から受信した保守依頼１６０の内容を保守員に表
示するパネルである。この例では、トラブル検知日時は
2001：０１０２：１０：１５：１０であり、半導体製造
工場の識別子はＦ１であり、半導体製造装置の識別子は
Ｅ１であり、半導体製造装置の種別は検査装置であり、
ステータスは０１２３４であり、出力モードは部分表示
であることを示している。
１２３から受信した保守依頼１６０の内容を保守員に表
示するパネルである。この例では、トラブル検知日時は
2001：０１０２：１０：１５：１０であり、半導体製造
工場の識別子はＦ１であり、半導体製造装置の識別子は
Ｅ１であり、半導体製造装置の種別は検査装置であり、
ステータスは０１２３４であり、出力モードは部分表示
であることを示している。
【０１０４】アクションパネル２８２は、着手通知１６
１の送信，保守操作１６２の送信，保守操作１６２の送
信の継続，完了通知１６４の送信を保守員が指示するパ
ネルであり、着手通知送信ボタン２８３，保守操作送信
ボタン２８４，保守操作継続ボタン２８５，完了通知ボ
タン２８６から構成される。着手通知送信ボタン283
は、保守員が着手通知１５２の送信を指示するボタンで
あり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下する
と、保守員が着手通知パネル２８７で入力した保守員Ｉ
Ｄとパスワードと、保守依頼１６０から取り出した出力
モードから構成される着手通知１６１を、保守依頼１６
０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。保
守操作送信ボタン２８４は、保守員が保守操作１６２の
送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いて
このボタンを押下すると、保守員が保守操作パネル２９
０で入力した１つ以上のコマンドから構成される保守操
作162を保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置
１２３に送信する。保守操作継続ボタン２８５は、保守
員が保守操作１６２の送信の継続を指示するボタンであ
り、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、
保守員が保守操作パネル２９０で入力した命令データを
クリアする。保守員は、クリアされた保守操作パネル２
９０で新たなコマンドを入力することができる。完了通
知ボタン２８６は、保守員が完了通知１６４の送信を指
示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタ
ンを押下すると、着手通知１６１を送信してから完了通
知１６４を送信するまでに送信したコマンドの数を表す
データから構成される完了通知164を保守依頼１６０を
送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。
１の送信，保守操作１６２の送信，保守操作１６２の送
信の継続，完了通知１６４の送信を保守員が指示するパ
ネルであり、着手通知送信ボタン２８３，保守操作送信
ボタン２８４，保守操作継続ボタン２８５，完了通知ボ
タン２８６から構成される。着手通知送信ボタン283
は、保守員が着手通知１５２の送信を指示するボタンで
あり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下する
と、保守員が着手通知パネル２８７で入力した保守員Ｉ
Ｄとパスワードと、保守依頼１６０から取り出した出力
モードから構成される着手通知１６１を、保守依頼１６
０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。保
守操作送信ボタン２８４は、保守員が保守操作１６２の
送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いて
このボタンを押下すると、保守員が保守操作パネル２９
０で入力した１つ以上のコマンドから構成される保守操
作162を保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置
１２３に送信する。保守操作継続ボタン２８５は、保守
員が保守操作１６２の送信の継続を指示するボタンであ
り、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、
保守員が保守操作パネル２９０で入力した命令データを
クリアする。保守員は、クリアされた保守操作パネル２
９０で新たなコマンドを入力することができる。完了通
知ボタン２８６は、保守員が完了通知１６４の送信を指
示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタ
ンを押下すると、着手通知１６１を送信してから完了通
知１６４を送信するまでに送信したコマンドの数を表す
データから構成される完了通知164を保守依頼１６０を
送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。
【０１０５】着手通知パネル２８７は、着手通知１６１
に格納する保守員の識別子とパスワードを保守員が入力
するパネルであり、保守員ＩＤフィールド２８８とパス
ワードフィールド２８９から構成される。
に格納する保守員の識別子とパスワードを保守員が入力
するパネルであり、保守員ＩＤフィールド２８８とパス
ワードフィールド２８９から構成される。
【０１０６】保守員ＩＤフィールド２８８は、保守員が
自分の保守員ＩＤをキーボードを用いて入力するフィー
ルドであり、パスワードフィールド２８９は、保守員が
自分のパスワードをキーボードを用いて入力するフィー
ルドである。
自分の保守員ＩＤをキーボードを用いて入力するフィー
ルドであり、パスワードフィールド２８９は、保守員が
自分のパスワードをキーボードを用いて入力するフィー
ルドである。
【０１０７】保守操作パネル２９０は、保守操作１６２
に格納する１つ以上のコマンドと、プログラムの実行結
果を格納するファイルの識別子を保守員が入力し、保守
操作応答１６３が受信された場合にその旨を表示するパ
ネルであり、コマンドリスト２９１とステータスパネル
２９６から構成される。コマンドリスト２９１は、保守
操作１５３に格納する１つ以上のコマンドを保守員が入
力するリストであり、Ｎo.フィールド２９２，プログラ
ムＩＤフィールド２９３，パラメータフィールド２９
４，結果ファイルＩＤフィールド２９５から構成され
る。Ｎo.フィールド２９２は、コマンドの実行順序を保
守員がキーボードを用いて入力するフィールドであり、
プログラムＩＤフィールド２９３は、半導体製造装置１
２３で実行するプログラムの識別子を保守員がキーボー
ドを用いて入力するフィールドであり、パラメータフィ
ールド２９４は、半導体製造装置１２３で実行するプロ
グラムに渡すパラメータを保守員がキーボードを用いて
入力するフィールドであり、結果ファイルＩＤフィール
ド２９５は、プログラムの実行結果を格納するファイル
の識別子を保守員がキーボードを用いて入力するフィー
ルドである。
に格納する１つ以上のコマンドと、プログラムの実行結
果を格納するファイルの識別子を保守員が入力し、保守
操作応答１６３が受信された場合にその旨を表示するパ
ネルであり、コマンドリスト２９１とステータスパネル
２９６から構成される。コマンドリスト２９１は、保守
操作１５３に格納する１つ以上のコマンドを保守員が入
力するリストであり、Ｎo.フィールド２９２，プログラ
ムＩＤフィールド２９３，パラメータフィールド２９
４，結果ファイルＩＤフィールド２９５から構成され
る。Ｎo.フィールド２９２は、コマンドの実行順序を保
守員がキーボードを用いて入力するフィールドであり、
プログラムＩＤフィールド２９３は、半導体製造装置１
２３で実行するプログラムの識別子を保守員がキーボー
ドを用いて入力するフィールドであり、パラメータフィ
ールド２９４は、半導体製造装置１２３で実行するプロ
グラムに渡すパラメータを保守員がキーボードを用いて
入力するフィールドであり、結果ファイルＩＤフィール
ド２９５は、プログラムの実行結果を格納するファイル
の識別子を保守員がキーボードを用いて入力するフィー
ルドである。
【０１０８】ステータスパネル２９６は、保守操作応答
１６３が受信された場合にその旨を表示するパネルであ
り、保守員が保守操作送信ボタンを押下した場合には、
例えば「保守操作を送信しました」などの文字列を表示
し、半導体製造装置１２３から保守操作応答１６３を受
信した場合には、例えば「保守操作応答を受信しまし
た」などの文字列を表示する。
１６３が受信された場合にその旨を表示するパネルであ
り、保守員が保守操作送信ボタンを押下した場合には、
例えば「保守操作を送信しました」などの文字列を表示
し、半導体製造装置１２３から保守操作応答１６３を受
信した場合には、例えば「保守操作応答を受信しまし
た」などの文字列を表示する。
【０１０９】図２０は、図１８に示した処理フローのス
テップ２７５で半導体製造装置123のディスプレイに表
示する実行状況出力画面の例を示している。実行状況出
力画面３００は、保守作業の状況を技師に表示する画面
であり、実行状況パネル301から構成される。実行状況
パネル３０１は、保守作業の状況を技師に表示するパネ
ルであり、実行状況リスト３０２から構成される。
テップ２７５で半導体製造装置123のディスプレイに表
示する実行状況出力画面の例を示している。実行状況出
力画面３００は、保守作業の状況を技師に表示する画面
であり、実行状況パネル301から構成される。実行状況
パネル３０１は、保守作業の状況を技師に表示するパネ
ルであり、実行状況リスト３０２から構成される。
【０１１０】実行状況リスト３０２は、保守作業の状況
を技師に表示するリストであり、実行日時フィールド３
０３，プログラム種別フィールド３０４，プログラムＩ
Ｄフィールド３０５，パラメータフィールド３０６から
構成される。実行日時フィールド３０３は、プログラム
が実行された日時を表すデータを表示する。プログラム
種別フィールド３０４は、プログラムの種別を表すデー
タを表示する。プログラムＩＤフィールド３０５，保守
操作によって実行されるプログラムの識別子を表すデー
タを表示する。パラメータフィールド３０６，プログラ
ムへ与えるパラメータを表すデータを表示する。この例
では、出力モードが部分表示である場合の表示例を示し
ている。実際には、２００１年０１月０３日１１時１５
分１０秒にプログラム実行履歴の読み出し（Ｐ２）が実
行され、２００１年０１月０３日１１時２０分１０秒に
センサ状態履歴の読出し（Ｐ３）が実行され、２００１
年０１月０３日１１時２５分１０秒に処理結果の読出し
（Ｐ４）が実行され、2001年０１月０３日１１時３０分
１０秒にプログラムＰ８の読出し（Ｐ１）が実行され、
２００１年０１月０３日１１時３５分１０秒にプログラ
ムＰ８の編集(Ｐ６)が実行され、２００１年０１月０３
日１１時４０分１０秒にプログラムＰ８の実行（Ｐ８）
が実行され、２００１年０１月０３日１１時４５分１０
秒に処理結果の読出し（Ｐ４）が実行されているが、実
行日時とプログラム種別のみしか表示されていない。
を技師に表示するリストであり、実行日時フィールド３
０３，プログラム種別フィールド３０４，プログラムＩ
Ｄフィールド３０５，パラメータフィールド３０６から
構成される。実行日時フィールド３０３は、プログラム
が実行された日時を表すデータを表示する。プログラム
種別フィールド３０４は、プログラムの種別を表すデー
タを表示する。プログラムＩＤフィールド３０５，保守
操作によって実行されるプログラムの識別子を表すデー
タを表示する。パラメータフィールド３０６，プログラ
ムへ与えるパラメータを表すデータを表示する。この例
では、出力モードが部分表示である場合の表示例を示し
ている。実際には、２００１年０１月０３日１１時１５
分１０秒にプログラム実行履歴の読み出し（Ｐ２）が実
行され、２００１年０１月０３日１１時２０分１０秒に
センサ状態履歴の読出し（Ｐ３）が実行され、２００１
年０１月０３日１１時２５分１０秒に処理結果の読出し
（Ｐ４）が実行され、2001年０１月０３日１１時３０分
１０秒にプログラムＰ８の読出し（Ｐ１）が実行され、
２００１年０１月０３日１１時３５分１０秒にプログラ
ムＰ８の編集(Ｐ６)が実行され、２００１年０１月０３
日１１時４０分１０秒にプログラムＰ８の実行（Ｐ８）
が実行され、２００１年０１月０３日１１時４５分１０
秒に処理結果の読出し（Ｐ４）が実行されているが、実
行日時とプログラム種別のみしか表示されていない。
【０１１１】図２１は、図１６に示した処理フローのス
テップ２５４で半導体製造装置123のディスプレイに表
示する保守料金通知画面の例を示している。保守料金通
知画面３１０は、保守料金に関する情報を技師に示す画
面であり、保守料金通知パネル３１１から構成される。
テップ２５４で半導体製造装置123のディスプレイに表
示する保守料金通知画面の例を示している。保守料金通
知画面３１０は、保守料金に関する情報を技師に示す画
面であり、保守料金通知パネル３１１から構成される。
【０１１２】保守料金通知パネル３１１は、装置ベンダ
が半導体製造メーカに請求する対価の額を技師に表示す
るパネルである。この例では、保守料金が６,０００ 円
であること、定価料金が３０,０００円であり、割引料
金が２５,０００円であり、割増料金が１,０００ 円で
あることを示している。また、保守員の技術レベルが上
級であったため定価料金が３０,０００ 円であること、
生産状態でのプログラム実行履歴読出しを行ったため
２,０００ 円割り引くこと、生産状態でのセンサ状態履
歴読出しを行ったため２,０００ 円割り引くこと、待機
状態で処理結果読出しを行ったのでさらに７,０００ 円
割り引くこと、待機状態でプログラム読み出しを行った
ので７,０００ 円割り引くこと、待機状態でプログラム
編集を行ったので７,０００円割り引くこと、出力モー
ドに部分表示を指定したので１,０００円割り増すこと
を表している。
が半導体製造メーカに請求する対価の額を技師に表示す
るパネルである。この例では、保守料金が６,０００ 円
であること、定価料金が３０,０００円であり、割引料
金が２５,０００円であり、割増料金が１,０００ 円で
あることを示している。また、保守員の技術レベルが上
級であったため定価料金が３０,０００ 円であること、
生産状態でのプログラム実行履歴読出しを行ったため
２,０００ 円割り引くこと、生産状態でのセンサ状態履
歴読出しを行ったため２,０００ 円割り引くこと、待機
状態で処理結果読出しを行ったのでさらに７,０００ 円
割り引くこと、待機状態でプログラム読み出しを行った
ので７,０００ 円割り引くこと、待機状態でプログラム
編集を行ったので７,０００円割り引くこと、出力モー
ドに部分表示を指定したので１,０００円割り増すこと
を表している。
【０１１３】以上のように、本実施の形態のシステムに
おいては、半導体製造装置と作業装置とをインターネッ
トを介して接続し、作業装置は、保守操作を半導体製造
装置に送信し、半導体製造装置は、受信した保守操作に
従って処理を実行し、実行した処理の内容に応じて保守
の料金情報を生成し、生成した料金情報を半導体製造装
置の画面に出力するようにしたので、半導体製造装置で
行った保守作業の内容に応じた制御，木目の細かいサー
ビス，課金を行うことが可能となる。
おいては、半導体製造装置と作業装置とをインターネッ
トを介して接続し、作業装置は、保守操作を半導体製造
装置に送信し、半導体製造装置は、受信した保守操作に
従って処理を実行し、実行した処理の内容に応じて保守
の料金情報を生成し、生成した料金情報を半導体製造装
置の画面に出力するようにしたので、半導体製造装置で
行った保守作業の内容に応じた制御，木目の細かいサー
ビス，課金を行うことが可能となる。
【０１１４】また、半導体製造装置は、保守員の技術レ
ベルを表すデータを保守員属性に保持し、保守操作を送
信した保守員の保守属性データに応じて保守の料金情報
を生成するようにしたので、保守員が保持する技術の程
度に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うこ
とが可能となる。
ベルを表すデータを保守員属性に保持し、保守操作を送
信した保守員の保守属性データに応じて保守の料金情報
を生成するようにしたので、保守員が保持する技術の程
度に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うこ
とが可能となる。
【０１１５】また、半導体製造装置は、半導体製造装置
の処理の状態を示すデータを装置状態データに保持し、
処理を実行した時点の装置状態データに応じて保守の料
金情報を生成するようにしたので、半導体製造メーカの
製造プロセスに悪影響を与える可能性に応じた制御，木
目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。
の処理の状態を示すデータを装置状態データに保持し、
処理を実行した時点の装置状態データに応じて保守の料
金情報を生成するようにしたので、半導体製造メーカの
製造プロセスに悪影響を与える可能性に応じた制御，木
目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。
【０１１６】また、半導体製造装置は、半導体製造装置
が使用された履歴を表す使用履歴情報を蓄積し、保守操
作に従って読み出した使用履歴情報の種別に応じて保守
の料金情報を生成するようにしたので、半導体製造メー
カから取得する機密情報に応じた制御，木目の細かいサ
ービス，課金を行うことが可能となる。
が使用された履歴を表す使用履歴情報を蓄積し、保守操
作に従って読み出した使用履歴情報の種別に応じて保守
の料金情報を生成するようにしたので、半導体製造メー
カから取得する機密情報に応じた制御，木目の細かいサ
ービス，課金を行うことが可能となる。
【０１１７】また、半導体製造装置は、保守操作に従っ
て実行した処理の状況を技師に出力し、出力した状況の
内容に応じて保守の料金情報を生成するようにしたの
で、装置供給ベンダが提供する保守に関するノウハウに
応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが
可能となる。
て実行した処理の状況を技師に出力し、出力した状況の
内容に応じて保守の料金情報を生成するようにしたの
で、装置供給ベンダが提供する保守に関するノウハウに
応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが
可能となる。
【０１１８】また、半導体製造装置は、保守員の属性を
表す保守員属性と、処理の実行に必要な属性の条件を表
すプログラム実行権限とを保持し、保守操作を作業装置
から受信した場合には、保守員属性とプログラム実行権
限とを読み出し、保守員属性にある属性がプログラム実
行条件にある条件を満たしている場合に限って、保守操
作に従った処理を実行するようにしたので、保守員の属
性に応じたアクセスの制限を行うことが可能となる。
表す保守員属性と、処理の実行に必要な属性の条件を表
すプログラム実行権限とを保持し、保守操作を作業装置
から受信した場合には、保守員属性とプログラム実行権
限とを読み出し、保守員属性にある属性がプログラム実
行条件にある条件を満たしている場合に限って、保守操
作に従った処理を実行するようにしたので、保守員の属
性に応じたアクセスの制限を行うことが可能となる。
【０１１９】また、半導体製造装置は、半導体製造装置
の状態を表す装置状態と、処理の実行に必要な状態の条
件を表すプログラム実行権限とを保持し、保守操作を作
業装置から受信した場合には、その時点の装置状態とプ
ログラム実行権限とを読み出し、装置状態にある状態が
プログラム実行条件にある条件を満たしている場合に限
って、保守操作に従った処理を実行するようにしたの
で、装置の状態に応じたアクセスの制限を行うことが可
能となる。
の状態を表す装置状態と、処理の実行に必要な状態の条
件を表すプログラム実行権限とを保持し、保守操作を作
業装置から受信した場合には、その時点の装置状態とプ
ログラム実行権限とを読み出し、装置状態にある状態が
プログラム実行条件にある条件を満たしている場合に限
って、保守操作に従った処理を実行するようにしたの
で、装置の状態に応じたアクセスの制限を行うことが可
能となる。
【０１２０】また、半導体製造装置は、保守作業の状況
を半導体装置に出力する態様を特定する出力モードと、
保守作業の状況を出力するために必要な出力モードの条
件を表す状況出力権限とを保持し、保守操作を作業装置
から受信した場合には、出力モードと状況出力権限とを
読出し、出力モードにある態様が状況出力権限にある条
件を満たしている場合に限って、保守作業の状況を半導
体装置に出力するようにしたので、出力モードに応じた
出力の制限を行うことが可能となる。
を半導体装置に出力する態様を特定する出力モードと、
保守作業の状況を出力するために必要な出力モードの条
件を表す状況出力権限とを保持し、保守操作を作業装置
から受信した場合には、出力モードと状況出力権限とを
読出し、出力モードにある態様が状況出力権限にある条
件を満たしている場合に限って、保守作業の状況を半導
体装置に出力するようにしたので、出力モードに応じた
出力の制限を行うことが可能となる。
【０１２１】以上、本発明の実施の形態を説明したが、
本発明は、これ以外にも様々な変形が可能である。第２
の実施の形態は、第１の実施の形態を変形したものであ
る。第１の実施の形態は、半導体製造装置１２３が出荷
時に装置供給ベンダの工場で入力された保守料金表を用
いて保守料金を算出するというものであったが、本実施
形態は、工場から出荷した後に保守センタ１１０の作業
装置１１３から供給される保守料金表を用いて保守料金
を算出するというものである。
本発明は、これ以外にも様々な変形が可能である。第２
の実施の形態は、第１の実施の形態を変形したものであ
る。第１の実施の形態は、半導体製造装置１２３が出荷
時に装置供給ベンダの工場で入力された保守料金表を用
いて保守料金を算出するというものであったが、本実施
形態は、工場から出荷した後に保守センタ１１０の作業
装置１１３から供給される保守料金表を用いて保守料金
を算出するというものである。
【０１２２】本発明を適用したシステムは、次に示す新
たな機能を作業装置１１３と半導体製造装置１２３の通
信部１３１に追加しているが、これ以外の構成について
は第１の実施の形態で説明したシステムと同様である。
たな機能を作業装置１１３と半導体製造装置１２３の通
信部１３１に追加しているが、これ以外の構成について
は第１の実施の形態で説明したシステムと同様である。
【０１２３】保守員は、オンラインで保守料金表の供給
が必要であると判断した場合には、キーボードを用いて
保守料金表を入力し、マウスを用いて料金表操作ボタン
を押下する。作業装置１１３は、保守員が入力した保守
料金表から構成されるメッセージ（以下、料金表操作と
記す）を管理装置１１２と管理装置１２２を介してオン
ラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有す
る。
が必要であると判断した場合には、キーボードを用いて
保守料金表を入力し、マウスを用いて料金表操作ボタン
を押下する。作業装置１１３は、保守員が入力した保守
料金表から構成されるメッセージ（以下、料金表操作と
記す）を管理装置１１２と管理装置１２２を介してオン
ラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有す
る。
【０１２４】半導体製造装置１２３の通信部１３１は、
管理装置１２２から料金表操作を受信すると、受信した
料金表操作から保守料金表を取り出し、保守料金表管理
テーブル１４９に記録する機能も有する。
管理装置１２２から料金表操作を受信すると、受信した
料金表操作から保守料金表を取り出し、保守料金表管理
テーブル１４９に記録する機能も有する。
【０１２５】続いて、図１の作業装置１１３と半導体製
造装置１２３の処理フローについて説明する。図２２
は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートであ
る。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理
を実行することにより、特定の半導体製造装置１２３に
対して料金表操作の送信を行う。
造装置１２３の処理フローについて説明する。図２２
は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートであ
る。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理
を実行することにより、特定の半導体製造装置１２３に
対して料金表操作の送信を行う。
【０１２６】まず、作業装置１１３は、オンラインでの
保守料金表の供給が必要であると判断した保守員がキー
ボードを用いて入力する保守料金表を受け付ける（ステ
ップ３２１）。次に、作業装置１１３は、保守料金表を
入力した保守員がキーボードを用いて入力する料金表操
作の送信先を受け付ける（ステップ３２２）。次に、作
業装置１１３は、保守員がマウスを用いて料金表操作送
信ボタンを押下すると、保守員が入力した保守料金表か
ら構成される料金表操作を保守員が指定した半導体製造
装置１２３に送信し（ステップ３２３）、処理を終了す
る（ステップ３２４）。なお、ステップ３２１と３２２
は処理の順序を入れ替えてもよい。
保守料金表の供給が必要であると判断した保守員がキー
ボードを用いて入力する保守料金表を受け付ける（ステ
ップ３２１）。次に、作業装置１１３は、保守料金表を
入力した保守員がキーボードを用いて入力する料金表操
作の送信先を受け付ける（ステップ３２２）。次に、作
業装置１１３は、保守員がマウスを用いて料金表操作送
信ボタンを押下すると、保守員が入力した保守料金表か
ら構成される料金表操作を保守員が指定した半導体製造
装置１２３に送信し（ステップ３２３）、処理を終了す
る（ステップ３２４）。なお、ステップ３２１と３２２
は処理の順序を入れ替えてもよい。
【０１２７】図２３は、半導体製造装置１２３の通信部
１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３
１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、作業装置１１３から受信した料金表操作
に応じた処理を実行する。
１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３
１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、作業装置１１３から受信した料金表操作
に応じた処理を実行する。
【０１２８】まず、通信部１３１は、作業装置１１３か
ら料金表操作を受信しているか否かを確認する（ステッ
プ３３１）。通信部１３１は、料金表操作を受信してい
る場合には、料金表操作から保守料金表を取り出して保
守料金表管理テーブル１４９に記憶し(ステップ３３
３）、処理を終了する(ステップ３３４）。通信部１３
１は、料金表操作が到着していない場合にも処理を終了
する（ステップ３３４）。
ら料金表操作を受信しているか否かを確認する（ステッ
プ３３１）。通信部１３１は、料金表操作を受信してい
る場合には、料金表操作から保守料金表を取り出して保
守料金表管理テーブル１４９に記憶し(ステップ３３
３）、処理を終了する(ステップ３３４）。通信部１３
１は、料金表操作が到着していない場合にも処理を終了
する（ステップ３３４）。
【０１２９】続いて、図１の作業装置１１３のディスプ
レイに表示する画面について説明する。図２４は、図２
２に示した処理フローのステップ３２１で作業装置１１
３のディスプレイに表示する保守料金設定画面の例を示
している。
レイに表示する画面について説明する。図２４は、図２
２に示した処理フローのステップ３２１で作業装置１１
３のディスプレイに表示する保守料金設定画面の例を示
している。
【０１３０】保守料金設定画面３４０は、保守員から保
守料金表と料金表操作の送信の指示を受け付ける画面で
あり、保守料金表パネル３４１，送信先パネル３４７，
アクションパネル３４５から構成される。保守料金表パ
ネル３４１は、保守員から保守料金表を受け付けるパネ
ルであり、定価料金リスト３４２，割引料金リスト３４
３，割増料金リスト３４４から構成される。定価料金リ
スト３４２は、料金表操作に格納する定価料金に関する
データを保守員が入力するリストである。このリストに
格納するデータ項目は、図１２で説明した保守料金表管
理テーブル１４９を構成する定価料金管理テーブル１５
０のものと同じであるので説明を省略する。割引料金リ
スト３４３は、料金表操作に格納する割引料金に関する
データを保守員が入力するリストである。このリストに
格納するデータ項目も、図１２で説明した保守料金表管
理テーブル１４９を構成する割引料金管理テーブル１５
１のものと同じであるので説明を省略する。割増料金リ
スト３４４は、料金表操作に格納する割増料金に関する
データを保守員が入力するリストである。このリストに
格納するデータ項目も、図１２で説明した保守料金表管
理テーブル１４９を構成する割増料金管理テーブル１５
２のものと同じであるので説明を省略する。
守料金表と料金表操作の送信の指示を受け付ける画面で
あり、保守料金表パネル３４１，送信先パネル３４７，
アクションパネル３４５から構成される。保守料金表パ
ネル３４１は、保守員から保守料金表を受け付けるパネ
ルであり、定価料金リスト３４２，割引料金リスト３４
３，割増料金リスト３４４から構成される。定価料金リ
スト３４２は、料金表操作に格納する定価料金に関する
データを保守員が入力するリストである。このリストに
格納するデータ項目は、図１２で説明した保守料金表管
理テーブル１４９を構成する定価料金管理テーブル１５
０のものと同じであるので説明を省略する。割引料金リ
スト３４３は、料金表操作に格納する割引料金に関する
データを保守員が入力するリストである。このリストに
格納するデータ項目も、図１２で説明した保守料金表管
理テーブル１４９を構成する割引料金管理テーブル１５
１のものと同じであるので説明を省略する。割増料金リ
スト３４４は、料金表操作に格納する割増料金に関する
データを保守員が入力するリストである。このリストに
格納するデータ項目も、図１２で説明した保守料金表管
理テーブル１４９を構成する割増料金管理テーブル１５
２のものと同じであるので説明を省略する。
【０１３１】送信先パネル３４７は、保守員から料金表
操作の送信先を受け付けるパネルであり、半導体製造工
場リスト３４８，送信先パネル３５１，半導体製造装置
リスト３５２，送信先パネル３５５から構成される。半
導体製造工場リスト３４８は、料金表操作を送信できる
半導体製造工場１２０の識別子を保守員に表示するリス
トであり、Ｎo.フィールド３４９と半導体製造工場フィ
ールド３５０から構成される。Ｎo.フィールド３４９
は、リストの通し番号を表示するフィールドであり、半
導体製造工場フィールド３５０は、料金表操作を送信で
きる半導体製造工場１２０の識別子を表示するフィール
ドである。送信先パネル３５１は、保守員が指定した半
導体製造工場１２０の識別子を表示するパネルであり、
半導体製造工場リスト３４７で保守員がマウスを用いて
特定の候補の識別子を押下すると、これに連動して、押
下された半導体製造工場１２０の識別子が表示される。
操作の送信先を受け付けるパネルであり、半導体製造工
場リスト３４８，送信先パネル３５１，半導体製造装置
リスト３５２，送信先パネル３５５から構成される。半
導体製造工場リスト３４８は、料金表操作を送信できる
半導体製造工場１２０の識別子を保守員に表示するリス
トであり、Ｎo.フィールド３４９と半導体製造工場フィ
ールド３５０から構成される。Ｎo.フィールド３４９
は、リストの通し番号を表示するフィールドであり、半
導体製造工場フィールド３５０は、料金表操作を送信で
きる半導体製造工場１２０の識別子を表示するフィール
ドである。送信先パネル３５１は、保守員が指定した半
導体製造工場１２０の識別子を表示するパネルであり、
半導体製造工場リスト３４７で保守員がマウスを用いて
特定の候補の識別子を押下すると、これに連動して、押
下された半導体製造工場１２０の識別子が表示される。
【０１３２】半導体製造装置リスト３５２は、料金表操
作を送信できる半導体製造装置123の識別子を保守員に
表示するリストであり、Ｎo.フィールド３５３と半導体
製造装置フィールド３５４から構成される。Ｎo.フィー
ルド３５３は、リストの通し番号を表示するフィールド
であり、半導体製造装置フィールド３５４は、料金表操
作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子を表示す
るフィールドであり、半導体製造工場リスト３４８で保
守員がマウスを用いて特定の候補の識別子を押下する
と、これに連動して、押下された半導体製造工場内で料
金表操作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子が
表示される。
作を送信できる半導体製造装置123の識別子を保守員に
表示するリストであり、Ｎo.フィールド３５３と半導体
製造装置フィールド３５４から構成される。Ｎo.フィー
ルド３５３は、リストの通し番号を表示するフィールド
であり、半導体製造装置フィールド３５４は、料金表操
作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子を表示す
るフィールドであり、半導体製造工場リスト３４８で保
守員がマウスを用いて特定の候補の識別子を押下する
と、これに連動して、押下された半導体製造工場内で料
金表操作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子が
表示される。
【０１３３】送信先パネル３５５は、保守員が指定した
半導体製造装置１２３の識別子を表示するパネルであ
り、半導体製造装置リスト３５３で保守員がマウスを用
いて特定の候補の識別子を押下すると、これに連動し
て、押下された半導体製造装置１２３の識別子が表示さ
れる。
半導体製造装置１２３の識別子を表示するパネルであ
り、半導体製造装置リスト３５３で保守員がマウスを用
いて特定の候補の識別子を押下すると、これに連動し
て、押下された半導体製造装置１２３の識別子が表示さ
れる。
【０１３４】アクションパネル３４５は、保守員から料
金表操作の送信の指示を受け付ける画面であり、料金表
操作送信ボタン３４６から構成される。料金表操作送信
ボタン３４６は、保守員が料金表操作の送信を指示する
ボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押
下すると、保守員が保守料金表パネル２４１で入力した
保守料金表から構成される料金表操作を保守員が送信先
パネル３４６で指定した半導体製造装置１２３に送信す
る。
金表操作の送信の指示を受け付ける画面であり、料金表
操作送信ボタン３４６から構成される。料金表操作送信
ボタン３４６は、保守員が料金表操作の送信を指示する
ボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押
下すると、保守員が保守料金表パネル２４１で入力した
保守料金表から構成される料金表操作を保守員が送信先
パネル３４６で指定した半導体製造装置１２３に送信す
る。
【０１３５】以上のように、本実施の形態のシステムに
おいては、第１の実施の形態のシステムにおいて、作業
装置１１３は、保守料金表を半導体製造装置１２３に送
信し、半導体製造装置１２３は、受信した保守料金表を
用いて料金情報を生成するようにしたので、保守料金表
を容易に変更することが可能となる。
おいては、第１の実施の形態のシステムにおいて、作業
装置１１３は、保守料金表を半導体製造装置１２３に送
信し、半導体製造装置１２３は、受信した保守料金表を
用いて料金情報を生成するようにしたので、保守料金表
を容易に変更することが可能となる。
【０１３６】第３の実施の形態は、第１の実施の形態を
変形したものである。第３の実施の形態は、半導体製造
装置１２３が出荷時に装置供給ベンダの工場で入力され
た状況出力権限を用いて入出力部への出力を制限すると
いうものであったが、本実施形態は、工場から出荷した
後に保守センタ１１０の作業装置１１３から供給される
状況出力権限を用いて入出力部１３０への出力を制限す
るというものである。
変形したものである。第３の実施の形態は、半導体製造
装置１２３が出荷時に装置供給ベンダの工場で入力され
た状況出力権限を用いて入出力部への出力を制限すると
いうものであったが、本実施形態は、工場から出荷した
後に保守センタ１１０の作業装置１１３から供給される
状況出力権限を用いて入出力部１３０への出力を制限す
るというものである。
【０１３７】本発明を適用したシステムは、次に示す新
たな機能を作業装置１１３と半導体製造装置１２３の通
信部１３１と入出力部１３０に追加しているが、これ以
外の構成については第１の実施の形態で説明したシステ
ムと同様である。
たな機能を作業装置１１３と半導体製造装置１２３の通
信部１３１と入出力部１３０に追加しているが、これ以
外の構成については第１の実施の形態で説明したシステ
ムと同様である。
【０１３８】保守員は、オンラインで状況出力権限の供
給が必要であると判断した場合には、キーボードを用い
て状況出力権限を入力し、マウスを用いて状況出力操作
送信ボタンを押下する。作業装置１１３は、保守員が入
力した状況出力権限から構成されるメッセージ（以下、
出力権限操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２
２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信
する機能も有する。
給が必要であると判断した場合には、キーボードを用い
て状況出力権限を入力し、マウスを用いて状況出力操作
送信ボタンを押下する。作業装置１１３は、保守員が入
力した状況出力権限から構成されるメッセージ（以下、
出力権限操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２
２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信
する機能も有する。
【０１３９】半導体製造装置１２３の通信部１３１は、
管理装置１２２から出力権限操作を受信すると、受信し
た出力権限操作から状況出力権限を取り出し、取り出し
た状況出力権限を制御部１３２を介して入出力部１３０
に送信する機能も有する。半導体製造装置１２３の入出
力部１３０は、通信部１３１から状況出力権限を受信す
ると、受信した状況出力権限を出力権限管理テーブル１
４６に記憶する機能も有する。
管理装置１２２から出力権限操作を受信すると、受信し
た出力権限操作から状況出力権限を取り出し、取り出し
た状況出力権限を制御部１３２を介して入出力部１３０
に送信する機能も有する。半導体製造装置１２３の入出
力部１３０は、通信部１３１から状況出力権限を受信す
ると、受信した状況出力権限を出力権限管理テーブル１
４６に記憶する機能も有する。
【０１４０】続いて、図１の作業装置１１３と半導体製
造装置１２３の処理フローについて説明する。図２５
は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートであ
る。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理
を実行することにより、特定の半導体製造装置１２３に
対して出力権限操作の送信を行う。
造装置１２３の処理フローについて説明する。図２５
は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートであ
る。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理
を実行することにより、特定の半導体製造装置１２３に
対して出力権限操作の送信を行う。
【０１４１】まず、作業装置１１３は、オンラインでの
状況出力権限の供給が必要であると判断した保守員がキ
ーボードを用いて入力する状況出力権限を受け付ける
（ステップ３６１）。次に、作業装置１１３は、状況出
力権限を入力した保守員がキーボードを用いて入力する
出力権限操作の送信先を受け付ける（ステップ３６
２）。次に、作業装置１１３は、保守員がマウスを用い
て出力権限操作送信ボタンを押下すると、保守員が入力
した状況出力権限から構成される出力権限操作を保守員
が指定した半導体製造装置１２３に送信し（ステップ３
６３）、処理を終了する（ステップ３６４）。なお、ス
テップ３６１と３６２は処理の順序を入れ替えてもよ
い。
状況出力権限の供給が必要であると判断した保守員がキ
ーボードを用いて入力する状況出力権限を受け付ける
（ステップ３６１）。次に、作業装置１１３は、状況出
力権限を入力した保守員がキーボードを用いて入力する
出力権限操作の送信先を受け付ける（ステップ３６
２）。次に、作業装置１１３は、保守員がマウスを用い
て出力権限操作送信ボタンを押下すると、保守員が入力
した状況出力権限から構成される出力権限操作を保守員
が指定した半導体製造装置１２３に送信し（ステップ３
６３）、処理を終了する（ステップ３６４）。なお、ス
テップ３６１と３６２は処理の順序を入れ替えてもよ
い。
【０１４２】図２６は、半導体製造装置１２３の通信部
１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３
１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、作業装置１１３から受信した出力権限操
作に応じて処理を実行する。
１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３
１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行す
ることにより、作業装置１１３から受信した出力権限操
作に応じて処理を実行する。
【０１４３】まず、通信部１３１は、作業装置１１３か
ら出力権限操作を受信しているか否かを確認する（ステ
ップ３７１）。通信部１３１は、出力権限操作を受信し
ている場合には、出力権限操作から状況出力権限を取り
出し、取り出した状況出力権限を制御部１３２を介して
入出力部１３０に送信し（ステップ３７３）、処理を終
了する（ステップ３７４）。通信部１３１は、出力権限
操作を受信していない場合にも処理を終了する（ステッ
プ３７４）。
ら出力権限操作を受信しているか否かを確認する（ステ
ップ３７１）。通信部１３１は、出力権限操作を受信し
ている場合には、出力権限操作から状況出力権限を取り
出し、取り出した状況出力権限を制御部１３２を介して
入出力部１３０に送信し（ステップ３７３）、処理を終
了する（ステップ３７４）。通信部１３１は、出力権限
操作を受信していない場合にも処理を終了する（ステッ
プ３７４）。
【０１４４】続いて、図１の作業装置１１３のディスプ
レイに表示する画面について説明する。図２７は、図２
５に示した処理フローのステップ３６１で作業装置１１
３のディスプレイに表示する状況出力権限設定画面の例
を示している。状況出力権限設定画面３８０は、保守員
から状況出力権限と出力権限操作の送信の指示を受け付
ける画面であり、状況出力権限パネル３８１，送信先パ
ネル４８５，アクションパネル３８３から構成される。
レイに表示する画面について説明する。図２７は、図２
５に示した処理フローのステップ３６１で作業装置１１
３のディスプレイに表示する状況出力権限設定画面の例
を示している。状況出力権限設定画面３８０は、保守員
から状況出力権限と出力権限操作の送信の指示を受け付
ける画面であり、状況出力権限パネル３８１，送信先パ
ネル４８５，アクションパネル３８３から構成される。
【０１４５】状況出力権限パネル３８１は、保守員から
状況出力権限を受け付けるパネルであり、状況出力権限
リスト３８２から構成される。状況出力権限リスト３８
２は、出力権限操作に格納する状況出力権限を保守員が
入力するリストである。このリストに格納するデータ項
目は、図１０で説明した出力権限管理テーブル１４７を
構成する状況出力権限のものと同じであるので説明を省
略する。送信先パネル３８５は、保守員から保守依頼の
送信先を受け付けるパネルである。このパネルは、図２
４で説明した送信先パネル３４７と同じであるので説明
を省略する。
状況出力権限を受け付けるパネルであり、状況出力権限
リスト３８２から構成される。状況出力権限リスト３８
２は、出力権限操作に格納する状況出力権限を保守員が
入力するリストである。このリストに格納するデータ項
目は、図１０で説明した出力権限管理テーブル１４７を
構成する状況出力権限のものと同じであるので説明を省
略する。送信先パネル３８５は、保守員から保守依頼の
送信先を受け付けるパネルである。このパネルは、図２
４で説明した送信先パネル３４７と同じであるので説明
を省略する。
【０１４６】アクションパネル３８３は、保守員から出
力権限操作の送信の指示を受け付ける画面であり、出力
権限操作送信ボタン３８４から構成される。出力権限操
作送信ボタン３８４は、保守員が出力権限操作の送信を
指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボ
タンを押下すると、保守員が状況出力権限パネル381で
入力した状況出力権限から構成される出力権限操作を保
守員が送信先パネル３８５で指定した半導体製造装置１
２３に送信する。
力権限操作の送信の指示を受け付ける画面であり、出力
権限操作送信ボタン３８４から構成される。出力権限操
作送信ボタン３８４は、保守員が出力権限操作の送信を
指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボ
タンを押下すると、保守員が状況出力権限パネル381で
入力した状況出力権限から構成される出力権限操作を保
守員が送信先パネル３８５で指定した半導体製造装置１
２３に送信する。
【０１４７】以上のように、本実施の形態のシステムに
おいては、第１の実施の形態のシステムにおいて、作業
装置は、状況出力権限を半導体製造装置１２３に送信
し、半導体製造装置１２３は、受信した出力権限データ
を用いて保守作業の状況の出力を制限するようにしたの
で、状況出力権限を容易に変更することが可能となる。
おいては、第１の実施の形態のシステムにおいて、作業
装置は、状況出力権限を半導体製造装置１２３に送信
し、半導体製造装置１２３は、受信した出力権限データ
を用いて保守作業の状況の出力を制限するようにしたの
で、状況出力権限を容易に変更することが可能となる。
【０１４８】本発明の第４の実施の形態を詳細に説明す
る。図２８は、本発明を適用した半導体製造装置の遠隔
保守システムの構成を示すブロック図である。第１の実
施の形態は、保守センタ１１０と１つ以上の半導体製造
工場１２０をインターネット１００を介して接続して同
じ保守センタに保守依頼を送信するというものであった
が、本実施の形態は、さらに加えて１つ以上の保守セン
タ１１０と１つ以上の半導体製造工場１２０をインター
ネット１００を介して接続して保守依頼の送信先に応じ
た木目の細かい課金を可能とするものである。
る。図２８は、本発明を適用した半導体製造装置の遠隔
保守システムの構成を示すブロック図である。第１の実
施の形態は、保守センタ１１０と１つ以上の半導体製造
工場１２０をインターネット１００を介して接続して同
じ保守センタに保守依頼を送信するというものであった
が、本実施の形態は、さらに加えて１つ以上の保守セン
タ１１０と１つ以上の半導体製造工場１２０をインター
ネット１００を介して接続して保守依頼の送信先に応じ
た木目の細かい課金を可能とするものである。
【０１４９】図２８に示したシステムではそれぞれ２つ
の保守センタ１１０と製造工場120しか示されてない
が、実際には２つ以上の保守センタ１１０と製造工場１
２０があっても構わない。また、保守センタ１１０は互
いに異なる保守ベンダに属するセンタであっても同一の
保守ベンダに属するセンタであってもよく、製造工場１
２０は互いに異なる半導体製造メーカに属する工場であ
っても同一の半導体製造メーカに属する工場であっても
よい。
の保守センタ１１０と製造工場120しか示されてない
が、実際には２つ以上の保守センタ１１０と製造工場１
２０があっても構わない。また、保守センタ１１０は互
いに異なる保守ベンダに属するセンタであっても同一の
保守ベンダに属するセンタであってもよく、製造工場１
２０は互いに異なる半導体製造メーカに属する工場であ
っても同一の半導体製造メーカに属する工場であっても
よい。
【０１５０】本発明を適用したシステムは、次に説明す
る新たな機能を半導体製造装置123の通信部１３１に追
加しているが、これ以外の各装置の構成については第１
の実施の形態で説明したシステムと同様である。
る新たな機能を半導体製造装置123の通信部１３１に追
加しているが、これ以外の各装置の構成については第１
の実施の形態で説明したシステムと同様である。
【０１５１】半導体製造装置１２３の通信部１３１は、
半導体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視し、ト
ラブルが発生していることを検知した場合には、トラブ
ルの症状を特定するステータスと、保守作業の状況を半
導体製造装置１２３に出力する態様を特定する出力モー
ドとから構成される保守依頼を生成し、生成した保守依
頼を通知する１つ以上の保守センタ１１０または作業装
置１１３の候補を選定し、選定した候補を入出力部１３
０の例えばディスプレイに表示し、表示された候補の中
から技師が指定した保守センタ１１０の管理装置１１２
に保守依頼160を送信する機能を有する。
半導体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視し、ト
ラブルが発生していることを検知した場合には、トラブ
ルの症状を特定するステータスと、保守作業の状況を半
導体製造装置１２３に出力する態様を特定する出力モー
ドとから構成される保守依頼を生成し、生成した保守依
頼を通知する１つ以上の保守センタ１１０または作業装
置１１３の候補を選定し、選定した候補を入出力部１３
０の例えばディスプレイに表示し、表示された候補の中
から技師が指定した保守センタ１１０の管理装置１１２
に保守依頼160を送信する機能を有する。
【０１５２】続いて、図２８の半導体製造装置１２３の
処理フローについて説明する。図２９は、半導体製造装
置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートで
ある。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理
を定期的に実行することにより、半導体製造装置１２３
の稼動状況を定期的に監視する。
処理フローについて説明する。図２９は、半導体製造装
置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートで
ある。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理
を定期的に実行することにより、半導体製造装置１２３
の稼動状況を定期的に監視する。
【０１５３】まず、通信部１３１は、半導体製造装置１
２３でトラブルが発生していることを検出したか否かを
確認する（ステップ４０１）。通信部１３１は、トラブ
ルが発生していることを検出した場合には、トラブルの
症状を特定するステータと、保守作業の状況を半導体製
造装置１２３に出力する態様を特定することを表す出力
モードとから構成される保守依頼１６０を生成し(ステ
ップ４０３)、トラブルが発生していることを検出しな
かった場合には処理を終了する(ステップ４０８)。
２３でトラブルが発生していることを検出したか否かを
確認する（ステップ４０１）。通信部１３１は、トラブ
ルが発生していることを検出した場合には、トラブルの
症状を特定するステータと、保守作業の状況を半導体製
造装置１２３に出力する態様を特定することを表す出力
モードとから構成される保守依頼１６０を生成し(ステ
ップ４０３)、トラブルが発生していることを検出しな
かった場合には処理を終了する(ステップ４０８)。
【０１５４】次に、通信部１３１は、生成した保守依頼
１６０を通知する１つ以上の保守センタ１１０の候補を
所定の規則に従って選定する（ステップ４０４）。次
に、通信部１３１は、選定した候補を入出力部１３０の
例えばディスプレイに表示する（ステップ４０５）。次
に、通信部１３１は、表示された候補の中から技師が選
択する実際の送信先を受け付ける（ステップ４０６）。
次に、技師が指定した保守センタ１１０の管理装置１１
２に保守依頼１６０を送信し（ステップ４０７）、処理
を終了する（ステップ４０８）。
１６０を通知する１つ以上の保守センタ１１０の候補を
所定の規則に従って選定する（ステップ４０４）。次
に、通信部１３１は、選定した候補を入出力部１３０の
例えばディスプレイに表示する（ステップ４０５）。次
に、通信部１３１は、表示された候補の中から技師が選
択する実際の送信先を受け付ける（ステップ４０６）。
次に、技師が指定した保守センタ１１０の管理装置１１
２に保守依頼１６０を送信し（ステップ４０７）、処理
を終了する（ステップ４０８）。
【０１５５】続いて、図２８の半導体製造装置１２３の
入出力部１３０のディスプレイに表示する画面について
説明する。図３０は、図２９に示した処理フローのステ
ップ４０５で半導体製造装置１２３の入出力部１３０に
表示する保守依頼送信先設定画面の例を示している。
入出力部１３０のディスプレイに表示する画面について
説明する。図３０は、図２９に示した処理フローのステ
ップ４０５で半導体製造装置１２３の入出力部１３０に
表示する保守依頼送信先設定画面の例を示している。
【０１５６】保守依頼送信先設定画面４１０は、選定し
た保守センタ１１０の候補を技師に示し、技師から保守
依頼１６０の送信先と保守依頼１６０の送信の指示を受
け付ける画面であり、保守依頼パネル４１１，アクショ
ンパネル４１２，送信先パネル４１４から構成される。
た保守センタ１１０の候補を技師に示し、技師から保守
依頼１６０の送信先と保守依頼１６０の送信の指示を受
け付ける画面であり、保守依頼パネル４１１，アクショ
ンパネル４１２，送信先パネル４１４から構成される。
【０１５７】保守依頼パネル４１１は、送信する保守依
頼１６０の内容を技師に表示するパネルである。この例
では、図１９に示した保守依頼パネル２８１と同様の内
容を示している。アクションパネル４１２は、保守依頼
１６０の送信を技師が指示するパネルであり、保守依頼
送信ボタン４１３から構成される。保守依頼送信ボタン
４１３は、技師が保守依頼１６０の送信を指示するボタ
ンであり、技師がマウスを用いてこのボタンを押下する
と、技師が送信先パネル４１４で候補の中から指定した
送信先に保守依頼１６０を送信する。
頼１６０の内容を技師に表示するパネルである。この例
では、図１９に示した保守依頼パネル２８１と同様の内
容を示している。アクションパネル４１２は、保守依頼
１６０の送信を技師が指示するパネルであり、保守依頼
送信ボタン４１３から構成される。保守依頼送信ボタン
４１３は、技師が保守依頼１６０の送信を指示するボタ
ンであり、技師がマウスを用いてこのボタンを押下する
と、技師が送信先パネル４１４で候補の中から指定した
送信先に保守依頼１６０を送信する。
【０１５８】送信先パネル４１４は、通信部１３１が選
定した保守センタ１１０の候補を技師に示し、技師から
保守依頼１６０の送信先を受け付けるパネルであり、保
守センタ候補リスト４１５と送信先パネル４１８から構
成される。保守センタ候補リスト４１５は、通信部１３
１が選定した保守センタ１１０の候補を技師に表示する
リストであり、Ｎo.パネルフィールド４１６と保守セン
タ候補フィールド417から構成される。Ｎo.フィールド
４１６は、候補の通し番号を表示するフィールドであ
り、保守センタ候補フィールド４１７は、候補の保守セ
ンタ１１０の識別子を表示するフィールドである。
定した保守センタ１１０の候補を技師に示し、技師から
保守依頼１６０の送信先を受け付けるパネルであり、保
守センタ候補リスト４１５と送信先パネル４１８から構
成される。保守センタ候補リスト４１５は、通信部１３
１が選定した保守センタ１１０の候補を技師に表示する
リストであり、Ｎo.パネルフィールド４１６と保守セン
タ候補フィールド417から構成される。Ｎo.フィールド
４１６は、候補の通し番号を表示するフィールドであ
り、保守センタ候補フィールド４１７は、候補の保守セ
ンタ１１０の識別子を表示するフィールドである。
【０１５９】送信先パネル４１８は、技師が指定した送
信先を表示するパネルであり、技師がマウスを用いて保
守センタ候補リスト４１５の候補を押下すると、これに
連動して押下された保守センタ１１０の識別子が表示さ
れる。
信先を表示するパネルであり、技師がマウスを用いて保
守センタ候補リスト４１５の候補を押下すると、これに
連動して押下された保守センタ１１０の識別子が表示さ
れる。
【０１６０】なお、表示された候補とは別の保守センタ
１１０の識別子を保守員が送信先パネル４１８に直接入
力できるようにしてもよい。
１１０の識別子を保守員が送信先パネル４１８に直接入
力できるようにしてもよい。
【０１６１】以上のように、本実施の形態のシステムに
おいては、１つ以上の半導体製造装置１２３と１つ以上
の作業装置１１３とをインターネット１００を介して接
続し、半導体製造装置１２３は、半導体製造装置１２３
のトラブルの発生の有無を監視し、トラブルが発生して
いることを検知した場合には、トラブルの症状を特定す
るステータスを生成し、ステータスを通知する作業装置
１１３を決定し、決定した作業装置１１３にステータス
を通知し、作業装置１１３は、通知されたステータスに
基づいて、半導体製造装置１２３のトラブルに対する対
処方法を決定し、その対処方法に基づく保守操作を半導
体製造装置１２３に送信し、半導体製造装置１２３は、
受信した保守操作に従って処理を実行し、ステータス情
報を通知した作業装置の識別子に応じて保守に関する料
金情報を生成し、生成した料金情報を半導体製造装置１
２３の画面に出力するようにしたので、保守の依頼先に
応じた木目の細かい課金を行うことが可能となる。ま
た、半導体製造装置１２３は、トラブルが発生している
ことを検知した場合には、ステータスを通知する１つ以
上の作業装置１１３の候補を表す候補情報を生成し、生
成した候補情報を出力し、出力された候補の中から前記
半導体製造装置１２３の使用者が指定した作業装置１１
３にステータスを通知するようにしたので、保守の依頼
先を容易に指定することが可能となる。また、半導体製
造装置１２３は、技師が指定した表示された候補とは別
の保守センタ１１０にもステータスを通知するようにし
たので、保守の依頼先を柔軟に指定することが可能とな
る。
おいては、１つ以上の半導体製造装置１２３と１つ以上
の作業装置１１３とをインターネット１００を介して接
続し、半導体製造装置１２３は、半導体製造装置１２３
のトラブルの発生の有無を監視し、トラブルが発生して
いることを検知した場合には、トラブルの症状を特定す
るステータスを生成し、ステータスを通知する作業装置
１１３を決定し、決定した作業装置１１３にステータス
を通知し、作業装置１１３は、通知されたステータスに
基づいて、半導体製造装置１２３のトラブルに対する対
処方法を決定し、その対処方法に基づく保守操作を半導
体製造装置１２３に送信し、半導体製造装置１２３は、
受信した保守操作に従って処理を実行し、ステータス情
報を通知した作業装置の識別子に応じて保守に関する料
金情報を生成し、生成した料金情報を半導体製造装置１
２３の画面に出力するようにしたので、保守の依頼先に
応じた木目の細かい課金を行うことが可能となる。ま
た、半導体製造装置１２３は、トラブルが発生している
ことを検知した場合には、ステータスを通知する１つ以
上の作業装置１１３の候補を表す候補情報を生成し、生
成した候補情報を出力し、出力された候補の中から前記
半導体製造装置１２３の使用者が指定した作業装置１１
３にステータスを通知するようにしたので、保守の依頼
先を容易に指定することが可能となる。また、半導体製
造装置１２３は、技師が指定した表示された候補とは別
の保守センタ１１０にもステータスを通知するようにし
たので、保守の依頼先を柔軟に指定することが可能とな
る。
【０１６２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、半
導体製造装置で行った保守作業の内容，保守の依頼先に
応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが
可能となる。
導体製造装置で行った保守作業の内容，保守の依頼先に
応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが
可能となる。
【０１６３】また、保守員の属性に応じたアクセスの制
限，装置の状態に応じたアクセスの制限，出力モードに
応じた出力の制限を行うことが可能となる。
限，装置の状態に応じたアクセスの制限，出力モードに
応じた出力の制限を行うことが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施形態のシステムの構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】図１の半導体製造装置の構成を示すブロック図
である。
である。
【図３】図１の半導体製造装置で管理する保守員属性管
理テーブルの構造を示す図である。
理テーブルの構造を示す図である。
【図４】図１の半導体製造装置で管理する装置状態管理
テーブルの構造を示す図である。
テーブルの構造を示す図である。
【図５】図１の半導体製造装置で蓄積するプログラム管
理テーブルの構造を示す図である。
理テーブルの構造を示す図である。
【図６】図１の半導体製造装置で蓄積する実行権限管理
テーブルの構造を示す図である。
テーブルの構造を示す図である。
【図７】図１の半導体製造装置で蓄積するプログラム実
行履歴管理テーブルの構造を示す図である。
行履歴管理テーブルの構造を示す図である。
【図８】図１の半導体製造装置で蓄積するセンサ状態履
歴管理テーブルの構造を示す図である。
歴管理テーブルの構造を示す図である。
【図９】図１の半導体製造装置で蓄積する処理結果管理
テーブルの構造を示す図である。
テーブルの構造を示す図である。
【図１０】図１の半導体製造装置で蓄積する出力制御管
理テーブルの構造を示す図である。
理テーブルの構造を示す図である。
【図１１】図１の半導体製造装置で蓄積する保守実績管
理テーブルの構造を示す図である。
理テーブルの構造を示す図である。
【図１２】図１の半導体製造装置で蓄積する保守料金管
理テーブルの構造を示す図である。
理テーブルの構造を示す図である。
【図１３】図１の半導体製造装置と作業装置の間で送受
信するメッセージの構造を示す図である。
信するメッセージの構造を示す図である。
【図１４】図１の半導体製造装置の通信部の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図１５】図１の作業装置の動作を示すフローチャート
である。
である。
【図１６】図１の半導体製造装置の通信部の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図１７】図１の半導体製造装置の制御部の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図１８】図１の半導体製造装置の入出力部の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図１９】図１の作業装置に表示する保守作業画面を示
す図である。
す図である。
【図２０】図１の半導体製造装置に表示する実行状況出
力画面を示す図である。
力画面を示す図である。
【図２１】図１の半導体製造装置に表示する保守料金通
知画面を示す図である。
知画面を示す図である。
【図２２】図１の作業装置の動作を示すフローチャート
である。
である。
【図２３】図１の半導体製造装置の通信部の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図２４】図１の作業装置に表示する保守料金表設定画
面を示す図である。
面を示す図である。
【図２５】図１の作業装置の動作を示すフローチャート
である。
である。
【図２６】図１の半導体製造装置の通信部の動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図２７】図１の作業装置に表示する出力制御設定画面
を示す図である。
を示す図である。
【図２８】本発明の第２の実施形態のシステム構成ブロ
ック図。
ック図。
【図２９】図２８の半導体製造装置の通信部の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図３０】図２８の半導体製造装置に表示する保守依頼
送信先設定画面を示す図である。
送信先設定画面を示す図である。
１００…インターネット、１１０…保守センタ、１１
１，１２１…イントラネット、１１２，１２２…管理装
置、１１３…作業装置、１２０…半導体製造工場、１２
３…半導体製造装置、１３０…入出力部、１３１…通信
部、１３２…制御部、１３３…部位。
１，１２１…イントラネット、１１２，１２２…管理装
置、１１３…作業装置、１２０…半導体製造工場、１２
３…半導体製造装置、１３０…入出力部、１３１…通信
部、１３２…制御部、１３３…部位。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 相薗 岳生 神奈川県川崎市麻生区王禅寺1099番地 株 式会社日立製作所システム開発研究所内 (72)発明者 飯泉 孝 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器グループ内
Claims (51)
- 【請求項１】特定の処理を実行する産業用機器と産業用
機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接続
されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装置
は保守の命令を表す命令情報を前記産業用機器に送信
し、前記産業用機器は受信した命令情報に従って処理を
実行し、該実行した処理の内容に応じて保守の対価を表
す料金情報を生成し、該生成された料金情報の全部また
は一部を前記産業用機器の出力装置に出力することを特
徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項２】請求項１の記載において、前記産業用機器
は前記作業装置の使用者とこの使用者が保持する技術の
程度を表す属性情報とを関連付けて保持し、前記命令情
報を送信した使用者に関連付けられている前記属性情報
に応じて前記料金情報を生成することを特徴とする遠隔
保守方法。 - 【請求項３】請求項２の記載において、前記属性情報に
表された前記技術の程度に応じて前記保守の対価を割増
しすることを特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項４】請求項１の記載において、前記産業用機器
は前記産業用機器の処理の状態を表す状態情報を保持
し、前記命令情報に従って処理を実行した時点の前記状
態情報に応じて前記料金情報を生成することを特徴とす
る遠隔保守方法。 - 【請求項５】請求項４の記載において、前記状態情報が
前記産業用機器が生産状態にあることを示す場合は、前
記保守の対価を割引きすることを特徴とする遠隔保守方
法。 - 【請求項６】請求項１の記載において、前記産業用機器
は前記産業用機器が使用された履歴を表す使用履歴情報
を蓄積し、前記命令情報に従って読み出した前記使用履
歴情報の種別に応じて前記料金情報を生成することを特
徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項７】請求項１の記載において、前記産業用機器
は保守作業の状況を表す状況情報を出力し、出力した前
記状況情報の内容に応じて前記料金情報を生成すること
を特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項８】請求項１の記載において、前記産業用機器
の使用に関する機密情報が開示される場合は、前記保守
の対価を割引きすることを特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項９】請求項１の記載において、前記産業用機器
の保守に関する機密情報が開示される場合は、前記保守
の対価を割増しすることを特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項１０】請求項１の記載において、前記産業用機
器は保守作業の状況を表す状況情報を出力し、出力した
前記状況情報の内容に応じて前記料金情報を生成するこ
とを特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項１１】請求項１の記載において、前記産業用機
器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守方
法。 - 【請求項１２】特定の処理を実行する産業用機器と産業
用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接
続されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装
置は保守の命令を表す命令情報を前記産業用機器に送信
し、前記産業用機器は前記受信した命令情報に従って処
理を実行し、前記作業装置の使用者の属性を表す属性情
報と前記命令情報に従って処理を実行するために必要な
前記属性の条件を表す条件情報とを保持し、前記命令情
報を前記作業装置から受信した場合には前記属性情報と
前記条件情報とを読み出し、前記属性情報にある属性が
前記条件情報の条件を満たしている場合に限って前記命
令情報に従った処理を実行することを特徴とする遠隔保
守方法。 - 【請求項１３】請求項１２の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項１４】特定の処理を実行する産業用機器と産業
用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接
続されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装
置は保守の命令を表す命令情報を前記産業用機器に送信
し、前記産業用機器は前記受信した命令情報に従って処
理を実行し、前記産業用機器の処理の状態を表す状態情
報と前記命令情報に従って処理を実行するために必要な
前記状態情報に関する条件を表す条件情報とを保持し、
前記命令情報を前記作業装置から受信した場合には前記
状態情報と前記条件情報とを読み出し、前記状態情報に
ある状態が前記条件情報の条件を満たしている場合に限
って、前記命令情報に従った処理を実行することを特徴
とする遠隔保守方法。 - 【請求項１５】請求項１４の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項１６】特定の処理を実行する産業用機器と産業
用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接
続されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装
置は保守の命令を表す命令情報を前記産業用機器に送信
し、前記産業用機器は前記受信した命令情報に従って処
理を実行し、保守作業の状況を前記産業用機器に出力す
る態様を特定するモード情報と前記保守作業の状況を出
力するために必要な前記態様に関する条件を表す条件情
報とを保持し、前記命令情報を前記作業装置から受信し
た場合には前記モード情報と前記条件情報とを読出し、
前記モード情報にある態様が前記条件情報の条件を満た
している場合に限って前記保守作業の状況を前記産業用
機器の出力装置に出力することを特徴とする遠隔保守方
法。 - 【請求項１７】請求項１６の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項１８】特定の処理を実行する産業用機器と産業
用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接
続されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装
置は保守の命令を表す命令情報と保守に対する対価の額
を指定する料金表情報とを前記産業用機器に送信し、前
記産業用機器は前記受信した命令情報に従って処理を実
行し、受信した前記料金表情報を用いて保守の対価を表
す料金情報を生成し、該生成した料金情報の全部または
一部を前記産業用機器の出力装置に出力することを特徴
とする遠隔保守方法。 - 【請求項１９】請求項１８の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項２０】特定の処理を実行する産業用機器と産業
用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接
続されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装
置は保守の命令を表す命令情報と保守作業の状況を出力
するために必要な態様に関する条件を表す条件情報を前
記産業用機器に送信し、前記産業用機器は前記受信した
命令情報に従って処理を実行し、前記保守作業の状況を
前記産業用機器に出力する態様を特定するモード情報と
前記条件情報とを保持し、前記命令情報を前記作業装置
から受信した場合には前記モード情報と前記条件情報と
を読み出し、前記モード情報で特定された態様が前記条
件情報の条件を満たしている場合に限って前記保守作業
の状況を前記産業用機器の出力装置に出力することを特
徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項２１】請求項２０の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項２２】ネットワークを介して接続された作業装
置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であって、保
守の命令を表す命令情報を前記作業装置から受信する通
信手段と、該通信手段が受信した命令情報に従って処理
を実行する処理手段と、該処理手段が実行した処理の内
容に応じて前記保守の対価を表す料金情報を生成する計
算手段と、該計算手段が生成した前記料金情報の全部ま
たは一部を出力装置に出力する出力手段とを備えること
を特徴とする産業用機器。 - 【請求項２３】請求項２２の記載において、前記通信手
段は前記作業装置の使用者とこの使用者が保持する技術
の程度を表す属性情報とを関連付けて保持し、前記計算
手段は前記命令情報を送信した前記作業装置の使用者に
関連付けられている前記属性情報を前記通信手段から取
得し、前記計算手段は前記取得した属性情報に応じて前
記料金情報を生成することを特徴とする産業用機器。 - 【請求項２４】請求項２３の記載において、前記計算手
段は前記属性情報で表された前記技術の程度に応じて前
記保守の対価を割増しすることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項２５】請求項２２の記載において、前記処理手
段は前記産業用機器の処理の状態を表す状態情報を保持
し、前記計算手段は前記命令情報に従って処理を実行し
た時点の前記状態情報を前記処理手段から取得し、取得
した前記状態情報に応じて前記料金情報を生成すること
を特徴とする産業用機器。 - 【請求項２６】請求項２５の記載において、前記計算手
段は前記処理手段に保持された前記状態情報が前記産業
用機器が生産状態であることを示す場合、前記保守の対
価を割引きすることを特徴とする産業用機器。 - 【請求項２７】請求項２２の記載において、前記処理手
段は前記産業用機器が使用された履歴を表す使用履歴情
報を蓄積し、前記計算手段は前記命令情報に従って前記
処理手段が読み出した前記使用履歴情報の種別に応じて
前記料金情報を生成することを特徴とする産業用機器。 - 【請求項２８】請求項２２の記載において、前記出力手
段は保守作業の状況を表す状況情報を出力し、前記計算
手段は前記出力手段が前記出力装置に出力した前記状況
情報の内容に応じて前記料金情報を生成することを特徴
とする産業用機器。 - 【請求項２９】請求項２２の記載において、前記計算手
段は前記産業用機器の使用に関する機密情報が開示され
る場合は、前記保守の対価を割引きすることを特徴とす
る産業用機器。 - 【請求項３０】請求項２２の記載において、前記計算手
段は前記産業用機器の保守に関する機密情報が開示され
る場合は、前記保守の対価を割増しすることを特徴とす
る産業用機器。 - 【請求項３１】請求項２２の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項３２】ネットワークを介して接続された作業装
置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であって、保
守の命令を表す命令情報を前記作業装置から受信する通
信手段と、該通信手段が受信した命令情報に従って処理
を実行する処理手段とを備えるとともに、前記通信手段
は前記作業装置の使用者の属性を表す属性情報と、前記
命令情報に従って処理を実行するために必要な前記属性
の条件を表す条件情報とを保持し、前記命令情報を前記
作業装置から受信した場合には、前記属性情報と前記条
件情報とを読み出し、前記属性情報にある属性が前記条
件情報の条件を満たしている場合に限って、前記命令情
報に従った処理の実行を許可することを特徴とする産業
用機器。 - 【請求項３３】請求項３２の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項３４】ネットワークを介して接続された作業装
置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であって、保
守の命令を表す命令情報を前記作業装置から受信する通
信手段と、該通信手段が受信した命令情報に従って処理
を実行する処理手段とを備えるとともに、前記処理手段
は前記産業用機器の処理の状態を表す状態情報を保持
し、前記通信手段は前記命令情報に従って処理を実行す
るために必要な前記状態に関する条件を表す条件情報を
保持し、前記命令情報を前記作業装置から受信した場合
には前記状態情報を前記処理手段から取得し、前記条件
情報を読み出し、前記状態情報の状態が前記条件情報の
条件を満たしている場合に限って、前記命令情報に従っ
た処理の実行を許可することを特徴とする産業用装置。 - 【請求項３５】請求項３４の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項３６】ネットワークを介して接続された作業装
置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であって、保
守の命令を表す命令情報を前記作業装置から受信する通
信手段と、該通信手段が受信した命令情報に従って処理
を実行する処理手段と、前記保守作業の状況を出力する
態様を特定するモード情報と前記保守作業の状況を出力
するために必要な前記態様に関する条件を表す条件情報
とを保持し、前記処理手段が処理を実行した場合には前
記モード情報と前記条件情報とを読出し、前記モード情
報の態様が前記条件情報の条件を満たしている場合に限
って前記保守作業の状況を前記産業用機器の出力装置に
出力する出力手段とを備えたことを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項３７】請求項３６の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項３８】ネットワークを介して接続された作業装
置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であって、保
守の命令を表す命令情報を前記作業装置から受信する通
信手段と、該通信手段が受信した命令情報に従って処理
を実行する処理手段と、該処理手段が実行した処理の内
容に応じて前記保守の対価を表す料金情報を生成する計
算手段と、該計算手段が生成した前記料金情報の全部ま
たは一部を出力装置に出力する出力手段とを備え、前記
通信手段は前記保守に対する対価の額を指定する料金表
情報を前記作業装置から受信し、前記計算手段は前記通
信手段が受信した前記料金表情報を用いて前記料金情報
を生成することを特徴とする産業用機器。 - 【請求項３９】請求項３８の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項４０】ネットワークを介して接続された作業装
置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であって、保
守の命令を表す命令情報を前記作業装置から受信する通
信手段と、該通信手段が受信した命令情報に従って処理
を実行する処理手段と、前記保守作業の状況を出力する
態様を特定するモード情報と前記保守作業の状況を出力
するために必要な前記態様に関する条件を表す条件情報
とを保持し、前記処理手段が処理を実行した場合には前
記モード情報と前記条件情報とを読出し、前記モード情
報の態様が前記条件情報の条件を満たしている場合に限
って前記保守作業の状況を前記産業用機器の出力装置に
出力する出力手段とを備えるとともに、前記通信手段は
前記条件情報を前記作業装置から受信し、前記出力手段
は前記通信手段が受信した前記条件情報を保持し、前記
処理手段が処理を実行した場合には前記モード情報と受
信した前記条件情報とを読出し、前記モード情報にある
態様が前記条件情報にある条件を満たしている場合に限
って前記保守作業の状況を前記産業用機器の出力装置に
出力することを特徴とする産業用機器。 - 【請求項４１】請求項４０の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項４２】特定の処理を実行する１つ以上の産業用
機器と該産業用機器を保守する１つ以上の作業装置とが
ネットワークを介して接続されたシステムの遠隔保守方
法であって、前記産業用機器は産業用機器自身のトラブ
ルの発生の有無を監視し、トラブルの発生を検知した場
合には該トラブルの症状を特定するためのステータス情
報を生成し、生成した該ステータス情報を通知する作業
装置を決定し、生成した前記ステータス情報を決定した
前記作業装置に通知し、前記作業装置は通知された前記
ステータス情報に基づいて前記産業用機器の前記トラブ
ルに対する対処方法を決定し、該対処方法に基づく保守
の命令を表す命令情報を前記産業用機器に送信し、該産
業用機器は受信した前記命令情報に従って処理を実行
し、前記ステータス情報を通知した前記作業装置の識別
子に応じて保守の対価を表す料金情報を生成し、生成さ
れた該料金情報の全部または一部を前記産業用機器の出
力装置に出力することを特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項４３】請求項４２の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項４４】請求項４２の記載において、前記産業用
機器は前記トラブルの発生を検知した場合には、前記ス
テータス情報を通知する１つ以上の作業装置の候補を表
す候補情報を生成し、生成された該候補情報を出力装置
に出力し、出力された前記候補情報の候補の中から前記
産業用機器の使用者が指定した作業装置に前記ステータ
ス情報を通知することを特徴とする遠隔保守方法。 - 【請求項４５】請求項４４の記載において、前記産業用
機器は前記使用者が指定した前記候補とは異なる作業装
置にも前記ステータス情報を通知することを特徴とする
遠隔保守方法。 - 【請求項４６】請求項４２の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠隔保守
方法。 - 【請求項４７】ネットワークを介して接続された１つ以
上の作業装置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器で
あって、該産業用機器のトラブルの発生の有無を監視
し、トラブルの発生を検知した場合には該トラブルの症
状を特定するステータス情報を生成し、生成された該ス
テータス情報を通知する作業装置を決定し、生成された
該ステータス情報を決定された前記作業装置に通知する
監視手段と、前記作業装置が通知された前記ステータス
情報に基づいて前記産業用機器の前記トラブルに対する
対処方法を決定してその対処方法に基づく保守の命令を
表す命令情報を前記作業装置から受信する通信手段と、
該通信手段が受信した前記命令情報に従って処理を実行
する処理手段と、前記監視手段により前記ステータス情
報を通知した前記作業装置の識別子に応じて保守の対価
を表す料金情報を生成する計算手段と、該計算手段が生
成した前記料金情報の全部または一部を出力装置に出力
する出力手段とを備えることを特徴とする産業用機器。 - 【請求項４８】請求項４７の記載において、前記監視手
段はトラブルが発生していることを検知した場合に前記
ステータス情報を通知する１つ以上の作業装置の候補を
表す候補情報を生成し、前記出力手段は前記監視手段に
より生成された前記候補情報を前記出力装置に出力し、
前記通信手段は前記出力手段により出力された候補の中
から前記産業用機器の使用者が指定した作業装置に前記
ステータス情報を通知することを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項４９】請求項４７の記載において、前記通信手
段は前記使用者が指定した前記候補とは異なる作業装置
にも前記ステータス情報を通知することを特徴とする産
業用機器。 - 【請求項５０】請求項４７の記載において、前記産業用
機器は半導体製造装置であることを特徴とする産業用機
器。 - 【請求項５１】特定の処理を実行する産業用機器と産業
用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接
続され、前記作業装置は保守の命令を表す命令情報を前
記産業用機器に送信し、前記産業用機器は受信した命令
情報に従って処理を実行し、該実行した処理の内容に応
じて保守の対価を表す料金情報を生成し、該生成された
料金情報の全部または一部を前記産業用機器の出力装置
に出力することにより生産されることを特徴とする半導
体デバイス。
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| EP05014101A EP1591853A3 (en) | 2001-05-31 | 2002-02-25 | Remote maintenance method, industrial device and semiconductor device |
| EP02004125A EP1262848B1 (en) | 2001-05-31 | 2002-02-25 | Remote maintenance method, industrial device, and semiconductor device |
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| US10/943,891 US7047096B2 (en) | 2001-05-31 | 2004-09-20 | Remote maintenance method, industrial device, and semiconductor device |
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