JP4867537B2 - 遠隔保守方法，産業用機器、および半導体装置 - Google Patents

Description

本発明は、産業用機器の遠隔保守システムにおける課金方法および装置に関わり、特に保守の内容に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を可能とする遠隔保守方法，遠隔保守システムおよび装置に関する。

従来、メーカの産業用機器と装置供給ベンダの保守センタを公衆電話回線やインターネットを介して接続し、保守センタから遠隔で産業用機器を保守することが提案されている。特開平１１−１５５２０号公報には、ネットワークを用いた遠隔保守システムが提案されており、このシステムを利用すれば産業用機器の設置地域を問わずに産業用機器の保守を行うことができる。

特開平１１−１５５２０号公報

近年、特に半導体産業においては、設備投資の急増に伴い産業用機器の設置数が飛躍的に増大している。このような状況においては、産業用機器の保守コストも増大する傾向にあり、この保守コストをいかに抑えるかが課題となっている。しかしながら、これまでの保守に対する一般的な課金方法は、産業用機器の価格や保守員の人件費を基にした定額料金をメーカに請求するというものであり、実際には保守を受けていない場合でもメーカは定額料金を支払わなければならないことがあった。また、前述の特開平１１−１５５２０号公報で示されている遠隔保守システムにおいても課金方法については触れられていない。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、遠隔保守作業の内容，保守の依頼先に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を可能とし、また、保守員の属性に応じたアクセスの制限，装置の状態に応じたアクセスの制限，出力モードに応じた出力の制限を行うことが可能となる遠隔保守方法，遠隔保守システムおよび産業用機器を提供することを目的とする。

本発明の一実施形態は、特定の処理を実行する産業用機器と産業用機器を保守する作業装置とがネットワークを介して接続されたシステムの遠隔保守方法であって、前記作業装置は保守の命令を表す命令情報を前記産業用機器に送信し、前記産業用機器は前記受信した命令情報に従って処理を実行し、前記作業装置の使用者の属性を表す属性情報と前記命令情報に従って処理を実行するために必要な前記属性の条件を表す条件情報とを保持し、前記命令情報を前記作業装置から受信した場合には前記属性情報と前記条件情報とを読み出し、前記属性情報にある属性が前記条件情報の条件を満たしている場合に限って前記命令情報に従った処理を実行することを特徴とする遠隔保守方法である。この方法を用いることにより、産業用機器で行った保守作業の内容に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。なお、この課金方法により管理される産業用機器を用いて生産されたことを特徴とする半導体デバイスも本発明の範疇に含まれる。

以上述べたように、本発明によれば、半導体製造装置で行った保守作業の内容，保守の依頼先に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。

また、保守員の属性に応じたアクセスの制限，装置の状態に応じたアクセスの制限，出力モードに応じた出力の制限を行うことが可能となる。

以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。

本発明の第１の実施の形態を詳細に説明する。本実施形態は、本発明を適用した半導体製造装置の遠隔保守システムである。本システムは、保守の内容に応じた木目の細かい課金を可能とするものである。本発明が扱える産業用機器には、計算機を内蔵していること以外に制限はないが、本実施の形態の説明では、産業用機器として半導体製造工場で使用する露光装置，塗布現像装置，熱処理装置，組み立て装置，検査装置などの半導体製造に用いられる各種装置やシステムを想定する。ここでは、これら装置やシステムを総称して、以下、半導体製造装置とよぶ。

図１は、本発明を適用した半導体製造装置の遠隔保守システムの構成の一例を示すブロック図である。１１０は、半導体製造装置を供給する会社(以下、装置供給ベンダと記す)の保守センタである。１２０は、半導体製造装置を使用して半導体デバイスを製造する会社（以下、半導体製造メーカと記す）の製造工場である。図１に示したシステムでは２つの製造工場１２０が示されているが、実際には２つ以上の製造工場１２０があっても構わない。また、製造工場１２０は、互いに異なる半導体製造メーカに属する工場であっても同一の半導体製造メーカに属する工場であってもよい。

保守センタ１１０には、半導体製造装置の保守を行う１つ以上の作業装置１１３と、保守センタ１１０への通信を管理する管理装置１１２とが設けられている。各作業装置113と管理装置１１２はイントラネット１１１を介して接続されている。各製造工場１２０には、半導体デバイスを製造する１つ以上の半導体製造装置１２３と、製造工場１２０への通信を管理する管理装置１２２とが設けられている。各半導体製造装置１２３と管理装置１２２はイントラネット１２１を介して接続されている。保守センタ１１０に設けられた管理装置１１２は、各製造工場１２０に設けられた管理装置１２２とインターネット100を介して接続されている。図１の各装置はいずれも単一の計算機を利用した装置であるが、実際には単一の装置を複数台の計算機で構成しても複数の装置を単一の計算機を利用して構成してもよい。

保守センタ１１０に設けられた作業装置１１３は、保守センタ１１０の保守員が遠隔で半導体製造装置１２３の保守を行う装置である。作業装置１１３は、管理装置１１２から保守の依頼を表すメッセージ（以下、保守依頼と記す）を受信すると、この保守依頼に含まれる情報を例えばディスプレイに表示する機能も有する。保守依頼に含まれる情報には、トラブルの症状を特定するデータ（以下、ステータスと記す）と保守作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定するデータ（以下、出力モードと記す）とがある。なお、保守依頼には、例えばトラブル検知日時，半導体製造工場の識別子，半導体製造装置の識別子，半導体製造装置の機種などがある。

保守員は、表示された情報を見た上で、トラブルへの対処がオンラインで必要であるか否かを判断する。オンラインでの対処が必要であると判断した保守員は、保守作業を開始する旨を通知するために、キーボードを用いて保守員の識別子とパスワードを入力し、マウスを用いて着手通知送信ボタンを押下する。作業装置１１３は、保守員が入力した保守員の識別子とパスワードと、保守依頼から取り出した出力モードから構成されるメッセージ（以下、着手通知と記す）を管理装置１１２と管理装置１２２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有する。半導体製造装置１２３は、着手通知を受信すると保守員の認証を行う。保守員は、この認証により例えばＤ１，Ｄ２，・・・などのユニークな識別子で識別される。

認証を済ませた保守員は、半導体製造装置１２３に命令を送信するために、半導体製造装置１２３で実行するプログラムの識別子とプログラムに与えるパラメータとから構成されるコマンドと、プログラムの実行結果を格納するファイルの識別子とをキーボードを用いて入力し、保守操作送信ボタンをマウスを用いて押下する。なお、保守員は複数のコマンドとファイルの識別子を入力してもよい。作業装置１１３は、保守員が入力した１つ以上のコマンドから構成されるメッセージ（以下、保守操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有する。

半導体製造装置１２３は、作業装置１１３から保守操作を受信すると、保守操作から全てのコマンドを取り出し、各コマンドで指定されているプログラムをそれぞれに対応付けられているパラメータを用いて実行し、全てのコマンドで指定されているプログラムを実行し終えたら、プログラムの実行結果から構成されるコマンド応答をそれぞれのコマンドごとに生成し、これらのコマンド応答から構成されるメッセージ（以下、保守操作応答と記す）を作業装置１１３に一括して送信する。

作業装置１１３は、半導体製造装置１２３から保守操作応答を受信すると、保守操作応答に格納されている全てのコマンド応答を取り出し、それぞれのコマンド応答に格納されているプログラムの実行結果をそれぞれのコマンドに対応付けられているファイルに格納し、保守操作応答を受信した旨をディスプレイに表示する機能も有する。

表示された情報を見た保守員は、プログラムの実行結果を確認するために、マウスを用いてプログラムの実行結果が格納されているファイルの識別子を押下する。作業装置113は、押下されたファイルの内容をディスプレイに表示する機能も有する。表示された内容を見た保守員は、トラブルへの更なる対処が必要か否かを判断し、必要がある場合には、マウスを用いて継続ボタンを押下し、キーボードを用いて新たなコマンドとファイルの識別子を入力し、マウスを用いて保守操作送信ボタンを押下する。保守員は、保守操作の送信をトラブルへの対処が終わるまで繰り返す。

保守員は、トラブルへの対処を終えると、マウスを用いて完了通知送信ボタンを押下する。作業装置１１３は、保守作業を完了した旨を表すメッセージ(以下、完了通知と記す)を管理装置１１２と管理装置１２２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有する。半導体製造装置１２３は、完了通知を受信すると、着手通知を受信してから完了通知を受信するまでの間に実行したプログラムの処理の内容に応じて当該保守についての保守料金を算出し、算出した保守料金を例えばディスプレイに表示する。なお、この保守料金の算出は、半導体製造装置１２３内部でなく、管理装置１２２や外部に設けられた算出装置（図示せず）で実行してもよい。本実施の形態では、着手通知を送信してから完了通知を送信するまでが１回の保守作業である。

保守センタ１１０に設けられた管理装置１１２は、保守センタ１１０への通信を管理する装置である。管理装置１１２は、各製造工場１２０に設けられた管理装置１２２から保守依頼を受信しているか否かを定期的に監視し、保守依頼を受信している場合には、この保守依頼を所定の規則に従って特定の保守員が使用している作業装置１１３に送信する機能を有する。また、管理装置１１２は、保守依頼に応答して作業装置１１３から送信される着手通知，保守操作，完了通知の各メッセージを保守依頼を送信してきた製造工場120の管理装置１２２に送信する機能も有する。

製造工場１２０に設けられた管理装置１２２は、製造工場１２０への通信を管理する装置である。管理装置１２２は、各半導体製造装置１２３から保守依頼を受信しているか否かを定期的に監視し、保守依頼を受信している場合には、この保守依頼を保守センタ110の管理装置１２２に送信する機能を有する。また、管理装置１２２は、保守依頼に応答して保守センタ１１０の管理装置１１２から送信される着手通知，保守操作，完了通知の各メッセージを保守依頼を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する機能も有する。

製造工場１２０に設けられた半導体製造装置１２３は、製造工場１２０の技師が半導体デバイスを製造する装置である。図２は、半導体製造装置１２３の構成を示すブロック図である。半導体製造装置１２３は、技師が半導体デバイスの製造に必要なデータ（以下、製造操作と記す）を入力する入出力部１３０と、管理装置１２２との間で保守依頼，着手通知，保守操作，完了通知の各メッセージを送受信する通信部１３１と、保守操作と製造操作に応じてプログラムを実行する制御部１３２と、制御部１３２によって制御される各部位１３３とから構成される。

入出力部１３０は、技師が半導体製造装置１２３の使用を開始するたびに技師を認証する機能を有する。技師は、この認証により例えばＵ１，Ｕ２，・・・などのユニークな識別子で識別される。技師は、認証を済ませると、半導体デバイスの製造を行うために製造操作を入出力部１３０に入力する。

入出力部１３０は、入力された製造操作に応じて、プログラムの識別子とパラメータから構成されるデータ（以下、実行要求と記す）を制御部１３２に送信し、制御部１３２からプログラムの実行結果を格納したデータ（以下、実行要求応答と記す）を受信すると、実行要求応答からプログラムの実行結果を取り出し、このプログラムの実行結果をディスプレイに表示する機能も有する。

入出力部１３０は、保守作業の状況を出力するために必要な出力モードの条件を表すデータ（以下、状況出力権限と記す）を出力権限管理テーブルに記録する機能も有する。状況出力権限は、出荷時に装置供給ベンダの工場で入力される。状況出力権限には、保守作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定する出力モードに応じて制御部１３２で実行されたプログラムの実行日時，識別子，パラメータの各項目の表示を許可するか否かを表すデータを格納する。

入出力部１３０は、制御部１３２からプログラムの実行日時，プログラムの識別子，パラメータから構成されるデータ（以下、実行状況と記す）と、保守作業の状況を半導体製造装置１２３に出力する態様を特定する出力モードとを受信すると、出力権限管理テーブルから状況出力権限を読み出し、受信した出力モードを基に、実行状況の各項目の出力権限が与えられているか否かを確認し、出力権限が与えられている実行状況の項目を例えばディスプレイに表示する機能も有する。

通信部１３１は、半導体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生していることを検知した場合には、ステータスと出力モードから構成される保守依頼を生成し、生成した保守依頼を管理装置１２２を介して保守センタ１１０の管理装置１２２に送信する機能も有する。トラブルの内容とステータスの対応関係は予め対応付けられている。また、出力モードの値は予め技師によって入力されている。なお、保守依頼には、前述のようにステータスと出力モードの他に、例えばトラブル検知日時，半導体製造工場の識別子，半導体製造装置の識別子，半導体製造装置の機種などを含めてもよい。

通信部１３１は、保守員の属性を表すデータ（以下、保守員属性と記す）を保守員属性管理テーブルに記録する機能も有する。保守員属性データは、技師により予め入力される。保守員属性データには、保守員のパスワードと保守員の技術レベルを格納する。

通信部１３１は、プログラムの実行権限を表すデータ（以下、プログラム実行権限と記す）を実行権限管理テーブルに記録する機能も有する。実行権限データは、技師により予め入力される。実行権限データには、保守員の属性を表す保守員属性と、その時点の装置の状態を表すデータ（以下、装置状態と記す）に応じてプログラムの実行を許可するか否かを表すデータを格納する。装置状態には、例えば生産，待機，エンジニアリング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画時間，不定などの値を格納する。

通信部１３１は、保守員が行う保守作業を例えばＯ１，Ｏ２，・・・などのユニークな識別子で識別し、管理装置１２２から着手通知，保守操作，完了通知の各メッセージを受信するたびに、これらのメッセージの内容を表すデータ（以下、保守実績と記す）を特定の識別子に対応付けて保守実績管理テーブルに記録する機能も有する。保守実績には、いつ，どの技術レベルのどの保守員が，装置がどの状態の時に，どの出力モードで，どういう内容のメッセージを送信したかという情報を記録する。

通信部１３１は、保守に対する対価の額を指定するデータ（以下、保守料金表と記す）を保守料金表管理テーブルに記録する機能も有する。保守料金表は、出荷時に装置供給ベンダの工場で入力される。保守料金表には、保守員の技術レベル，プログラムを実行した時点の装置状態，読み出した使用履歴情報の種別，出力モードなどに応じて、装置ベンダが半導体製造メーカにいくらの対価を請求するかという情報を記録する。保守に対する対価の額は、保守員の技術レベルが高いほど高く、半導体製造メーカの製造プロセスに悪影響を与える可能性が高いほど高く、プログラムが半導体製造メーカの機密情報を多く読み出すほど低く、保守作業の状況を詳細に表示するほど高く設定する。

通信部１３１は、管理装置１２２から着手通知を受信すると、着手通知から取り出したパスワードと保守員属性管理テーブルから読み出した保守員属性を比較して保守員を認証する機能も有する。前述の通り、保守員は、この認証により例えばＤ１，Ｄ２，・・・などのユニークな識別子で識別される。

通信部１３１は、管理装置１２２から着手通知を受信すると、着手通知から取り出した出力モードを、完了通知を受信するまで記憶する機能を有する。

通信部１３１は、管理装置１２２から保守操作を受信すると、保守操作から全てのコマンドを取り出し、各コマンドで指定されているプログラムを実行し、各プログラムの実行を終了するとプログラムの実行結果から構成されるコマンド応答をそれぞれのコマンドごとに生成し、これらのコマンド応答から構成される保守操作応答を作業装置１１３に送信する機能も有する。

通信部１３１は、各コマンドで指定されているプログラムを実行するために、保守員属性管理テーブルから保守員の保守員属性を読み出し、制御部１３２からその時点の装置状態を読み出し、実行権限管理テーブルから各コマンドで指定されているプログラムのプログラム実行権限を読み出し、保守員属性と装置状態を基に各コマンドで指定されているプログラムの実行権限が保守員に与えられているか否かを確認し、プログラムの実行権限が与えられている場合に限って、このプログラムの識別子とパラメータから構成される実行要求と、記憶している出力モードとを制御部１３２に送信し、制御部１３２からプログラムの実行結果を格納した実行要求応答を受信する機能も有する。

通信部１３１は、管理装置１２２から完了通知を受信すると、保守実績管理テーブルと保守料金表管理テーブルからそれぞれ保守実績と保守料金表を読み出し、この保守料金表データと保守実績データを用いて、当該保守についての保守料金を算出し、この保守料金に関する情報を例えばディスプレイに表示するように制御部１３２を介して入出力部130に要求する機能も有する。

制御部１３２は、制御部１３２が実行する処理の条件と手続きを表すプログラムをプログラム管理テーブルに蓄積する機能を有する。プログラムには、どのような条件の下で、どのような手続きに従って処理を実行するかという情報を格納する。

制御部１３２は、入出力部１３０から実行要求を受信すると、実行要求で指定されているプログラムをこれに対応付けられているパラメータを用いて実行する機能も有する。

制御部１３２は、通信部１３１から実行要求を受信すると、実行要求で指定されているプログラムをこれに対応付けられているパラメータを用いて実行し、プログラムの実行日時，プログラムの識別子，パラメータから構成される実行状況と、実行要求で指定されている出力モードを入出力部１３０に送信し、プログラムの実行結果を格納した実行要求応答を通信部１３１に送信する機能も有する。

制御部１３２は、入出力部１３０から受信した実行要求に応じて実行されたプログラムの履歴を表すデータ（以下、プログラム実行履歴と記す）をプログラム実行履歴管理テーブルに記録する機能も有する。プログラム実行履歴には、いつ，どの技師が，どのプログラムを，どのパラメータを用いて実行したかという情報を格納する。

制御部１３２は、制御部１３２により制御される各部位１３４の状態を表すデータ（以下、センサ状態履歴と記す）をセンサ状態履歴管理テーブルに記録する機能も有する。センサ状態履歴には、いつ，どの部位が，どの状態に遷移したかという情報を格納する。

制御部１３２は、各部位１３４によって処理されたウェーハの状態を表すデータ（以下、処理結果と記す）を処理結果管理テーブルに記録する機能も有する。処理結果には、どのウェーハが、どのような状態になったかという情報を格納する。

制御部１３２は、装置の状態の履歴を表すデータ(以下、装置状態履歴と記す)を装置状態履歴管理テーブルに記録する機能も有する。装置状態履歴には、いつ，どの状態に遷移したかという情報を格納する。装置の状態には、例えば生産，待機，エンジニアリング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画時間，不定などがある。

制御部１３２は、通信部１３１からの要求があった場合には、装置状態履歴管理テーブルからその時点の装置の状態を表す装置状態を読み出して通信部１３１に提供する機能も有する。

続いて、半導体製造装置１２３が管理するテーブルの構造について説明する。図３は、半導体製造装置１２３の通信部１３１が管理する保守員属性管理テーブルの例を示している。保守員属性管理テーブル１４０の各行は、先頭の保守員ＩＤの値によって識別される保守員の属性を表す保守員属性を格納する。保守員属性は、「保守員ＩＤ」，「パスワード」，「技術レベル」の各項目から構成される。

「保守員ＩＤ」の項目は、保守員の識別子を表すデータを格納する。「パスワード」の項目は、保守員のパスワードを表すデータを格納する。「技術レベル」の項目は、保守員の技術レベルを表すデータを格納する。この例では、保守員Ｄ１のパスワードは１２３４であり技術レベルは上級であること、保守員Ｄ２のパスワードは５６７８であり技術レベルは中級であることを表している。

図４は、半導体製造装置１２３の制御部１３２が管理する装置状態管理テーブルの例を示している。装置状態管理テーブル１４１の各行は、装置の状態の履歴を表す装置状態履歴を格納する。装置状態履歴は、「遷移日時」と「装置状態」の各項目から構成される。「遷移日時」の項目は、装置の状態が遷移した日時を表すデータを格納する。「装置状態」の項目は、遷移した装置の状態を表すデータを格納する。この例では、２００１年０１月０２日１０時１０分１０秒に装置が生産状態に遷移し、２００１年０１月０２日１０時１５分１０秒に装置が待機状態に遷移したことを表している。なお、「装置状態」の項目には、生産，待機，エンジニアリング，計画ダウンタイム，計画外ダウンタイム，非計画時間，不定などの値を設定してもよい。

図５は、半導体製造装置１２３の制御部１３２が管理するプログラム管理テーブルの例を示している。プログラム管理テーブル１４２の各行は、制御部１３２が実行する処理の条件と手続きを表すプログラムを格納する。プログラムは、「プログラムＩＤ」，「プログラム種別」，「名称」，「処理条件」，「処理手続」の各項目から構成される。

「プログラムＩＤ」の項目は、個々のプログラムごとに割り当てられるユニークな識別子を表すデータである。「プログラム種別」の項目は、プログラムの種別を表すデータである。「名称」の項目は、プログラムの名称を表すデータである。「処理条件」の項目は、制御部１３２が行う処理の条件を表すデータである。「処理手続」の項目は、制御部
１３２が行う処理の手続を表すデータである。なお、処理条件の設定を必要としないプログラムが存在してもよい。

この例では、プログラムＰ１は、プログラムを読み出すためのプログラムであり、使用履歴読み出しの種別をもち、プログラムリードという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ２は、プログラム実行履歴を読み出すためのプログラムであり、使用履歴読み出しの種別をもち、プログラム実行履歴リードという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ３は、センサ状態履歴を読み出すためのプログラムであり、使用履歴読み出しの種別をもち、センサ状態履歴リードという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ４は、処理結果を読み出すためのプログラムであり、使用履歴読み出しの種別をもち、処理結果リードという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ５は、プログラムを生成するためのプログラムであり、プログラム操作の種別をもち、プログラムクリエートという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ６は、プログラムを編集するためのプログラムであり、プログラム操作の種別をもち、プログラムエディットという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ７は、プログラムを削除するためのプログラムであり、プログラム操作の種別をもち、プログラムデリートという名称の手続きを実行することを表している。

プログラムＰ８は、自動モードでウェーハを処理するためのプログラムであり、ウェーハ処理の種別をもち、自動でウェーハの処理を行い、番号１のスロットを使用し、ウェーハ単位で処理を行い、測定したウェーハ画像は画像１に格納することを処理条件とし、ウェーハロード，ウェーハアラインメント，アドレッシング，測定，ウェーハアンロードという名称の手続きを順に実行することを表している。

プログラムＰ９は、手動モードでウェーハを処理するためのプログラムであり、手動でウェーハの処理を行い、ウェーハ処理の種別をもち、番号２のスロットを使用し、カセット単位で処理を行い、測定したウェーハ画像は画像２に格納することを処理条件とし、プログラムＰ８と同じ手続を実行することを表している。

図６は、半導体製造装置１２３の通信部１３１が管理する実行権限管理テーブルの例を示している。実行権限管理テーブル１４３の各行は、先頭のプログラムＩＤの値によって識別されるプログラムの実行権限を表すプログラム実行権限を格納する。プログラム実行権限は、「プログラムＩＤ」と「実行権限」の各項目から構成される。

「プログラムＩＤ」の項目は、プログラムの識別子を表すデータを格納する。「実行権限」の項目は、プログラムの実行を要求した保守員の保守員属性とその時点の装置の装置状態とに応じて保守員にプログラムの実行を許可するか否かを表すデータを格納する。

この例では、実行権限を４文字の文字列で表記している。最初の２文字は、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級である保守員に対する実行権限を表しており、「ＸＸ」の場合には、装置状態の値に関わらず実行を許可することを、「Ｘ−」の場合には、装置状態の値が生産状態の場合には実行を許可し、その他の状態の場合には実行を許可しないことを、「−Ｘ」の場合には、装置状態の値が生産状態の場合には実行を許可せず、その他の状態の場合には実行を許可することを、「−−」の場合には、装置状態の値に関わらず実行を許可しないことを意味している。

次の２文字は、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が中級である保守員に対する実行権限を表しており、意味は最初の２文字と同様である。

プログラムＰ１とＰ４は、装置状態の値に関わらず保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級である保守員には実行を許可し、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が中級である保守員には実行を許可しないことを表している。

また、プログラムＰ２，３，５，６，７は、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が上級である保守員には、装置状態の値が「生産」の場合には実行を許可せず、装置状態の値が「その他」の場合には実行を許可し、保守員属性の「技術レベル」の項目の値が中級である保守員には、装置状態の値に関わらず実行を許可しないことを表している。

また、プログラムＰ８，９は、いずれの保守員にも実行を許可しないことを表している。

図７は、半導体製造装置１２３の制御部１３２が管理するプログラム実行履歴管理テーブルの例を示している。プログラム実行履歴管理テーブル１４４の各行は、実行されたプログラムの履歴を表すプログラム実行履歴を格納する。プログラム実行履歴は、「実行日時」，「技師ＩＤ」，「プログラムＩＤ」，「パラメータ」の各項目から構成される。

「実行日時」の項目は、プログラムが実行された日時を表すデータを格納する。「技師ＩＤ」の項目は、プログラムを実行した技師の識別子を表すデータを格納する。「プログラムＩＤ」の項目は、実行されたプログラムの識別子を表すデータを格納する。「パラメータ」の項目は、実行されたプログラムに与えたパラメータを表すデータを格納する。この例では、２００１年０１月０２日１０時１０分１０秒に技師Ｕ１がプログラムＰ８を実行し、２００１年０１月０２日１０時１５分１０秒に技師Ｕ１がプログラムＰ９を実行したことを表している。

図８は、半導体製造装置１２３の制御部１３２が管理するセンサ状態管理テーブルの例を示している。センサ状態履歴管理テーブル１４５の各行は、各部位１３３の状態の履歴を表すセンサ状態履歴を格納する。センサ状態履歴は、「記録日時」，「センサＳ１」，「センサＳ２」，・・・の各項目から構成される。「記録日時」の項目は、各部位１２７の状態値が記録された日時を表すデータを格納する。

「センサＳ１」，「センサＳ２」，・・・の各項目は、それぞれセンサを用いて測定した各部位１３３の状態を表すデータを格納する。この例では、２００１年０１月０２日
１０時１０分１０秒に各部位１３３の状態値がそれぞれ０.０１，０.１０，・・・であり、２００１年０１月０２日１０時１０分１１秒に各部位１３３の状態値がそれぞれ0.02，０.２０，・・・であったことを表している。

図９は、半導体製造装置１２３の制御部１３２が管理する処理結果管理テーブルの例を示している。処理結果管理テーブル１４６の各行は、先頭のウェーハＩＤの値によって識別されるウェーハの処理結果を表す処理結果を格納する。処理結果は、「ウェーハＩＤ」と「ウェーハ画像」の各項目から構成される。

「ウェーハＩＤ」の項目は、個々のウェーハごとに割り当てられるユニークな識別子を表すデータを格納する。「ウェーハ画像」の項目は、ウェーハの表面の状態を表す画像データを格納する。この例では、ウェーハＷ１の表面の状態は正常なパターンであり、ウェーハＷ２の表面の状態は異常なパターンであることを表している。

図１０は、半導体製造装置１２３の入出力部１３０が管理する出力権限管理テーブルの例を示している。出力権限管理テーブル１４７の各行は、保守作業の状況の出力権限を表す状況出力制限を格納する。出力制限は、「項目」と「出力権限」の各項目から構成される。

「項目」の項目は、実行状況の各項目を表すデータである。「出力権限」の項目は、出力モードに応じて実行状況の各項目の表示を許可するか否かを表すデータを格納する。この例では、出力制限を２文字の文字列で表記している。この文字列は、「ＸＸ」の場合には、出力モードに関わらず出力を許可することを、「Ｘ−」の場合には、出力モードの値が全表示の場合には出力を許可し、部分表示の場合には出力を許可しないことを、「−Ｘ」の場合には、出力モードの値が全表示の場合には出力を許可せず、部分表示の場合には出力を許可することを、「−−」の場合には、出力モードに関わらず出力を許可しないことを意味している。

実行日時とプログラム種別の項目は、出力モードの値に関わらず出力を許可し、プログラムＩＤとパラメータの項目は、出力モードの値が全表示の場合には出力を許可し、出力モードの値が部分表示の場合には出力を許可しないことを表している。

図１１は、半導体製造装置１２３の通信部１３１が管理する保守実績管理テーブルの例を示している。保守実績管理テーブル１４８の各行は、管理装置１２２から受信したメッセージの内容を表す保守実績を格納する。保守実績は、「作業ＩＤ」，「記録日時」，
「技術レベル」，「保守員ＩＤ」，「作業状態」，「プログラムＩＤ」，「パラメータ」，「装置状態」，「出力モード」の各項目から構成される。

「作業ＩＤ」の項目は、保守作業の識別子を表すデータを格納する。「記録日時」の項目は、保守実績が記録された日時を表すデータを格納する。「技術レベル」の項目は、保守操作を送信した保守員の技術レベルを表すデータを格納する。「保守員ＩＤ」の項目は、メッセージを送信した保守員の識別子を表すデータを格納する。「作業状態」の項目は、保守作業の進捗状態を表すデータを格納する。「プログラムＩＤ」の項目は、保守操作によって実行されるプログラムの識別子を表すデータを格納する。「パラメータ」の項目は、プログラムへ与えるパラメータを表すデータを格納する。「装置状態」の項目は、プログラムが実行された時の装置状態を格納する。「出力モード」の項目は、保守作業の出力モードを格納する。

この例では、保守員は保守員Ｄ１であり、技術レベルは上級であり、出力モードは部分表示であることを示している。また、半導体製造装置１２３の通信部１３１は、２００１年０１月０３日１１時１０分１０秒に着手通知を受信し、２００１年０１月０３日１１時１５分１０秒にプログラム実行履歴の読み出し（Ｐ２）を要求する保守操作を受信し、
２００１年０１月０３日１１時２０分１０秒にセンサ状態履歴の読み出し（Ｐ３）を要求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時２５分１０秒に処理結果の読み出し（Ｐ４）を要求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時３０分１０秒にプログラムＰ８の読み出し（Ｐ１）を要求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時３５分１０秒にプログラムＰ８の編集（Ｐ６）を要求する保守操作を受信し、
２００１年０１月０３日１１時４０分１０秒にプログラムＰ８の実行（Ｐ８）を要求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時４５分１０秒に処理結果の読み出し
（Ｐ４）を要求する保守操作を受信し、２００１年０１月０３日１１時５０分１０秒に完了通知を受信したことを表している。また、着手通知を受信した時と最初の保守操作を受信した時の装置状態の値は生産状態であり、残りの保守操作を受信した時の装置状態の値は待機状態であったことを表している。

図１２は、半導体製造装置１２３の通信部１３１が管理する保守料金表管理テーブルの例を示している。保守料金表管理テーブル１４９を構成する各テーブルは、保守作業の見返りとして装置ベンダが半導体製造メーカに請求する対価の額を表す保守料金表を格納する。保守料金表管理テーブル１４９は、定価料金管理テーブル１５０と割引料金管理テーブル１５１と割増料金管理テーブル１５２とから構成される。

定価料金管理テーブル１５０は保守作業を各保守センタに保守作業を依頼した場合の１回の保守作業あたりの保守作業の定価料金を表すデータを格納する。割引料金管理テーブル１５１は、保守作業で各プログラムを実行した場合の１回あたりのプログラムの実行の割引料金を表すデータを格納する。割増料金管理テーブル１５２は、出力モードを各値にした場合の１回あたりの保守作業の割増料金を表すデータを格納する。この例では、上級の保守員は中級の保守員よりも短時間で保守を完了することができるため、技術レベルが上級の保守員が保守を行った場合には、技術レベルが中級の保守員が保守を行った場合よりも高い定価料金を半導体製造メーカに請求することを表している。

また、プログラムや処理結果データにはプログラム実行履歴データやセンサ状態履歴データよりも半導体製造メーカの機密情報が多く含まれるため、プログラムＰ１，Ｐ４，
Ｐ６を実行した場合には、プログラムＰ２とＰ３を実行した場合よりも大きい割引幅で割引きを行うことを表している。

また、装置が生産状態の場合にはその他の状態の場合よりも保守が困難になるため、装置状態データの値が生産状態のときに保守を行う場合には、その他の状態のときに保守を行う場合よりも小さい割引幅で割引きを行うことを表している。

また、出力モードに全表示を指定した場合には部分表示を指定した場合よりも多くの保守に関するノウハウを半導体製造メーカに見せることになるため、出力モードに全表示を指定して保守を行う場合には、部分表示を指定して保守を行う場合よりも大きい割増幅で割増を行うことを表している。

次に、半導体製造装置１２３と作業装置１１３の間で送受信するメッセージの構造について説明する。図１３は、半導体製造装置１２３と作業装置１１３の間で送受信する保守依頼，着手通知，保守操作，保守操作応答，完了通知の各メッセージの例を示している。保守依頼１６０は、半導体製造装置１２３が作業装置１１３に保守を依頼するために送信するメッセージであり、「トラブル検知日時」，「半導体製造工場ＩＤ」，「半導体製造装置ＩＤ」，「半導体製造装置種別」，「ステータス」，「出力モード」の各項目から構成される。

「トラブル検知日時」の項目は、トラブルの発生を検出した日時を表すデータを格納する。「半導体製造工場ＩＤ」の項目は、トラブルの発生を検出した半導体製造装置が設けられている工場の識別子を表すデータを格納する。「半導体製造装置ＩＤ」の項目は、トラブルの発生を検出した半導体製造装置の識別子を表すデータを格納する。「半導体製造装置種別」の項目は、トラブルの発生を検出した半導体製造装置の種別を表すデータを格納する。「ステータス」の項目は、トラブルの症状を特定するステータスを格納する。
「出力モード」の項目は、保守作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定する出力モードを格納する。

着手通知１６１は、作業装置１１３が半導体製造装置１２３に保守作業を着手する旨を伝えるために送信するメッセージであり、「保守員ＩＤ」，「パスワード」，「出力モード」の各項目から構成される。

「保守員ＩＤ」の項目は、保守作業を行う保守員の識別子を表すデータを格納する。
「パスワード」の項目は、保守作業を行う保守員のパスワードを表すデータを格納する。「出力モード」の項目は、保守依頼で指定された出力モードを格納する。

保守操作１６２は、作業装置１１３が半導体製造装置１２３に命令を伝えるために送信するメッセージであり、「コマンド数」，「プログラムＩＤ」，「パラメータ」，「プログラムＩＤ」，「パラメータ」，・・・の各項目から構成される。「コマンド数」の項目は、保守操作に格納されているコマンドの数を表すデータである。「プログラムＩＤ」の項目は、半導体製造装置で実行するプログラムの識別子を表すデータである。「パラメータ」の項目は、半導体製造装置で実行するプログラムに渡すパラメータである。

保守操作応答１６３は、半導体製造装置１２３が作業装置１１３に命令の結果を伝えるために送信するメッセージであり、「結果数」，「結果」，「結果」，・・・の各項目から構成される。「結果数」の項目は、保守操作応答に格納されているコマンド応答の数を表すデータである。「結果」の項目は、プログラムの実行結果を表すデータである。

完了通知１６４は、作業装置１１３が半導体製造装置１２３に保守作業を完了する旨を伝えるためのメッセージであり、「総コマンド数」の項目から構成される。「総コマンド数」の項目は、着手通知を送信してから完了通知を送信するまでに送信したコマンドの数を表すデータである。

続いて、図１の半導体製造装置１２３と作業装置１１３の処理フローについて説明する。図１４は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、半導体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視する。

まず、通信部１３１は、半導体製造装置１２３でトラブルが発生していることを検出したか否かを確認する（ステップ２０１）。通信部１３１は、トラブルが発生していることを検出した場合にはトラブルの症状を特定するステータと保守作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定する出力モードから構成される保守依頼１６０を生成し（ステップ
２０３）、トラブルが発生していることを検出しなかった場合には処理を終了する(ステップ２０５)。次に、通信部１３１は、保守センタ１１０の管理装置１１２に保守依頼
１６０を送信し(ステップ２０４)、処理を終了する（ステップ２０５）。

図１５は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートである。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、トラブルが検出された半導体製造装置１２３との間で保守依頼１６０，着手通知１６１，保守操作１６２，保守操作応答１６３，完了通知１６４の各メッセージの送受信を行う。

まず、作業装置１１３は、半導体製造装置１２３から保守依頼１６０を受信しているか否かを確認する(ステップ２１１)。作業装置１１３は、保守依頼１６０を受信している場合にはこの保守依頼１６０に含まれる情報を例えばディスプレイに表示し(ステップ213)、保守依頼１６０を受信していない場合には処理を終了する（ステップ２２４）。次に、作業装置１１３は、オンラインでの対処が必要であると判断した保守員がキーボードを用いて入力する保守員の識別子とパスワードを受け付ける（ステップ２１４）。次に、作業装置１１３は、保守員がマウスを用いて着手通知送信ボタンを押下すると、保守員が入力した保守員の識別子とパスワードと、保守依頼から取り出した出力モードから構成される着手通知１６１を、保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する（ステップ２１５）。次に、作業装置１１３は、保守員が半導体製造装置１２３に命令を送信するためにキーボードを用いて入力するコマンドと、プログラムの実行結果を格納するファイルの識別子を受け付ける（ステップ２１６）。なお、ステップ２１６では、作業装置１１３は複数のコマンドとファイルの識別子を保守員から受け付けてもよい。

次に、作業装置１１３は、保守員がマウスを用いて保守操作送信ボタンを押下すると、保守員が入力したコマンドから構成される保守操作１６２を、保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する(ステップ２１７)。次に、作業装置１１３は、送信した保守操作１６２に応答して半導体製造装置１２３から送信される保守操作応答１６３を受信する（ステップ２１８）。次に、作業装置１１３は、保守操作応答１６３に格納されている全てのコマンド応答を取り出し、それぞれのコマンド応答に格納されているプログラムの実行結果をそれぞれに対応付けられているファイルに格納する(ステップ２１９)。次に、作業装置１１３は、保守操作応答１６３を受信した旨をディスプレイに表示する（ステップ２２０）。次に、作業装置１１３は、保守員からの入力を受け付ける（ステップ２２１）。

作業装置１１３は、保守員がマウスを用いて継続ボタンを押下した場合には、ステップ２１６に戻って処理を継続し、保守員が完了通知送信ボタンを押下した場合には、保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に完了通知１６４を送信し(ステップ223)、処理を終了する（ステップ２２４）。

図１６は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、着手通知１６１，保守操作１６２，完了通知１６４の各メッセージに応じた処理を実行する。

まず、通信部１３１は、作業装置１１３からメッセージが到着しているか否かを確認する（ステップ２３１）。通信部１３１は、メッセージが到着している場合には、このメッセージが着手通知１６１，保守操作１６２，完了通知１６４のいずれであるかを確認し
（ステップ２３３）、メッセージが到着していない場合には、処理を終了する（ステップ２５０）。

通信部１３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが着手通知１６１である場合には、保守員属性管理テーブル１４０から保守員属性を読み出し（ステップ２３５）、読み出した保守員属性を用いて保守員を認証し（ステップ２３６）、着手通知から取り出した出力モードを記憶し（ステップ２３７）、着手通知の内容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ２４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。通信部１３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが保守操作１６２である場合には、保守操作１６２から全てのコマンドを取り出す（ステップ２３８）。通信部１３１は、取り出した各コマンドについてステップ２３９から２４５を繰り返す(ステップ２４６，２４７)。まず、通信部１３１は、制御部１３２からその時点の装置の状態を表す装置状態を読み出す（ステップ２３９）。次に、通信部１３１は、実行権限管理テーブル１４３からコマンドで指定されているプログラムの実行権限を読み出す（ステップ２４０）。次に、通信部１３１は、保守員属性と装置状態を基に、コマンドで指定されているプログラムの実行権限が保守員に与えられているか否かを確認する(ステップ２４１)。

通信部１３１は、実行権限が与えられている場合には、コマンドで指定されているプログラムとパラメータとから構成される実行要求と、記憶してる出力モードを制御部１３２に送信し（ステップ２４３）、制御部１３２から実行要求応答を受信し(ステップ２４４)、実行要求応答から取り出したプログラムの実行結果を保守操作応答１６３に格納し（ステップ２４５）、実行権限が与えられていない場合には、その旨を保守操作応答１６３に格納する（ステップ２４５）。通信部１３１は、取り出した各コマンドについてステップ２３９から２４５を繰り返すと、保守操作応答１６３を作業装置１１３に送信し（ステップ２４８）、保守操作１６２の内容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ
２４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。通信部１３１は、ステップ２３３で確認したメッセージが完了通知１６４である場合には、保守実績管理テーブル１４７から保守実績を読み出し（ステップ２５１）、保守料金表管理テーブル１４８から保守料金表を読み出し（ステップ２５２）、この保守料金表と保守実績を用いて当該保守についての保守料金を算出し（ステップ２５３）、この保守料金に関する情報を例えばディスプレイに表示するように制御部１３２を介して入出力部１３０に要求し（ステップ２５４）、完了通知１６４の内容を保守実績管理テーブル１４７に記録し（ステップ２４９）、処理を終了する（ステップ２５０）。なお、ステップ２３９と２４０は処理の順序を入れ替えてもよい。また、ステップ２５１と２５２も処理の順序を入れ替えてもよい。

図１７は、半導体製造装置１２３の制御部１３２の動作を示すフローチャートである。制御部１３２は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、通信部１３１から受信した実行要求に応じてプログラムを実行する。

まず、制御部１３２は、通信部１３１から実行要求と出力モードを受信しているか否かを確認する（ステップ２６１）。制御部１３２は、実行要求と出力モードを受信している場合には、実行要求で指定されているプログラムをこれに対応付けられているパラメータを用いて実行し（ステップ２６３）、プログラム実行要求が到着していない場合には、処理を終了する（ステップ２６６）。次に、制御部１３２は、プログラムの実行日時，プログラムの識別子，パラメータから構成される実行状況と、制御部１３２から受信した出力モードとを入出力部１３０に送信する（ステップ２６４）。次に、制御部１３２は、プログラムの実行結果から構成される実行要求応答を通信部に送信し（ステップ２６５）、処理を終了する（ステップ２６６）。

図１８は、半導体製造装置１２３の入出力部１３０の動作を示すフローチャートである。入出力部１３０は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、実行状況を例えばディスプレイに出力する。

まず、入出力部１３０は、制御部１３２から実行状況と出力モードを受信しているか否かを確認する（ステップ２７１）。入出力部１３０は、実行状況と出力モードを受信している場合には出力権限管理テーブルから状況出力権限を読み出し（ステップ２７３）、実行状況と出力モードを受信していない場合には処理を終了する（ステップ２７６）。次に、入出力部１３０は、受信した出力モードを基に、実行状況の各項目の出力権限が与えられているか否かを確認する（ステップ２７４）。次に、入出力部１３０は、出力権限が与えられている実行状況の項目を例えばディスプレイに表示し（ステップ２７５）、処理を終了する（ステップ２７６）。

続いて、図１の半導体製造装置１２３と作業装置１１３のディスプレイに表示する画面について説明する。図１９は、図１５に示した処理フローのステップ２１３で作業装置
１１３のディスプレイに表示する保守作業画面の例を示している。

保守作業画面２８０は、ステータスと出力モードを含む保守依頼１６０の内容を保守員に示し、保守員から着手通知１６１の送信，保守操作１６２の送信，保守操作１６２の送信の継続，完了通知１６４の送信などの指示を受け付ける画面であり、保守依頼パネル
２８１，アクションパネル２８２，着手通知パネル２８７，保守操作パネル２９０から構成される。

保守依頼パネル２８１は、半導体製造装置１２３から受信した保守依頼１６０の内容を保守員に表示するパネルである。この例では、トラブル検知日時は２００１：０１０２：１０：１５：１０であり、半導体製造工場の識別子はＦ１であり、半導体製造装置の識別子はＥ１であり、半導体製造装置の種別は検査装置であり、ステータスは０１２３４であり、出力モードは部分表示であることを示している。

アクションパネル２８２は、着手通知１６１の送信，保守操作１６２の送信，保守操作１６２の送信の継続，完了通知１６４の送信を保守員が指示するパネルであり、着手通知送信ボタン２８３，保守操作送信ボタン２８４，保守操作継続ボタン２８５，完了通知ボタン２８６から構成される。着手通知送信ボタン２８３は、保守員が着手通知１５２の送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、保守員が着手通知パネル２８７で入力した保守員ＩＤとパスワードと、保守依頼１６０から取り出した出力モードから構成される着手通知１６１を、保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。保守操作送信ボタン２８４は、保守員が保守操作１６２の送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、保守員が保守操作パネル２９０で入力した１つ以上のコマンドから構成される保守操作１６２を保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。保守操作継続ボタン285は、保守員が保守操作１６２の送信の継続を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、保守員が保守操作パネル２９０で入力した命令データをクリアする。保守員は、クリアされた保守操作パネル２９０で新たなコマンドを入力することができる。完了通知ボタン２８６は、保守員が完了通知１６４の送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、着手通知１６１を送信してから完了通知１６４を送信するまでに送信したコマンドの数を表すデータから構成される完了通知１６４を保守依頼１６０を送信してきた半導体製造装置１２３に送信する。

着手通知パネル２８７は、着手通知１６１に格納する保守員の識別子とパスワードを保守員が入力するパネルであり、保守員ＩＤフィールド２８８とパスワードフィールド289から構成される。

保守員ＩＤフィールド２８８は、保守員が自分の保守員ＩＤをキーボードを用いて入力するフィールドであり、パスワードフィールド２８９は、保守員が自分のパスワードをキーボードを用いて入力するフィールドである。

保守操作パネル２９０は、保守操作１６２に格納する１つ以上のコマンドと、プログラムの実行結果を格納するファイルの識別子を保守員が入力し、保守操作応答１６３が受信された場合にその旨を表示するパネルであり、コマンドリスト２９１とステータスパネル２９６から構成される。コマンドリスト２９１は、保守操作１５３に格納する１つ以上のコマンドを保守員が入力するリストであり、Ｎo.フィールド２９２，プログラムＩＤフィールド２９３，パラメータフィールド２９４，結果ファイルＩＤフィールド２９５から構成される。Ｎo.フィールド２９２は、コマンドの実行順序を保守員がキーボードを用いて入力するフィールドであり、プログラムＩＤフィールド２９３は、半導体製造装置１２３で実行するプログラムの識別子を保守員がキーボードを用いて入力するフィールドであり、パラメータフィールド２９４は、半導体製造装置１２３で実行するプログラムに渡すパラメータを保守員がキーボードを用いて入力するフィールドであり、結果ファイルＩＤフィールド２９５は、プログラムの実行結果を格納するファイルの識別子を保守員がキーボードを用いて入力するフィールドである。

ステータスパネル２９６は、保守操作応答１６３が受信された場合にその旨を表示するパネルであり、保守員が保守操作送信ボタンを押下した場合には、例えば「保守操作を送信しました」などの文字列を表示し、半導体製造装置１２３から保守操作応答１６３を受信した場合には、例えば「保守操作応答を受信しました」などの文字列を表示する。

図２０は、図１８に示した処理フローのステップ２７５で半導体製造装置１２３のディスプレイに表示する実行状況出力画面の例を示している。実行状況出力画面３００は、保守作業の状況を技師に表示する画面であり、実行状況パネル３０１から構成される。実行状況パネル３０１は、保守作業の状況を技師に表示するパネルであり、実行状況リスト
３０２から構成される。

実行状況リスト３０２は、保守作業の状況を技師に表示するリストであり、実行日時フィールド３０３，プログラム種別フィールド３０４，プログラムＩＤフィールド３０５，パラメータフィールド３０６から構成される。実行日時フィールド３０３は、プログラムが実行された日時を表すデータを表示する。プログラム種別フィールド３０４は、プログラムの種別を表すデータを表示する。プログラムＩＤフィールド３０５，保守操作によって実行されるプログラムの識別子を表すデータを表示する。パラメータフィールド３０６，プログラムへ与えるパラメータを表すデータを表示する。この例では、出力モードが部分表示である場合の表示例を示している。実際には、２００１年０１月０３日１１時１５分１０秒にプログラム実行履歴の読み出し（Ｐ２）が実行され、２００１年０１月０３日１１時２０分１０秒にセンサ状態履歴の読み出し（Ｐ３）が実行され、２００１年０１月０３日１１時２５分１０秒に処理結果の読み出し（Ｐ４）が実行され、２００１年０１月０３日１１時３０分１０秒にプログラムＰ８の読み出し（Ｐ１）が実行され、２００１年０１月０３日１１時３５分１０秒にプログラムＰ８の編集(Ｐ６)が実行され、２００１年０１月０３日１１時４０分１０秒にプログラムＰ８の実行（Ｐ８）が実行され、２００１年０１月０３日１１時４５分１０秒に処理結果の読み出し（Ｐ４）が実行されているが、実行日時とプログラム種別のみしか表示されていない。

図２１は、図１６に示した処理フローのステップ２５４で半導体製造装置１２３のディスプレイに表示する保守料金通知画面の例を示している。保守料金通知画面３１０は、保守料金に関する情報を技師に示す画面であり、保守料金通知パネル３１１から構成される。

保守料金通知パネル３１１は、装置ベンダが半導体製造メーカに請求する対価の額を技師に表示するパネルである。この例では、保守料金が６,０００ 円であること、定価料金が３０,０００円であり、割引料金が２５,０００円であり、割増料金が１,０００ 円であることを示している。また、保守員の技術レベルが上級であったため定価料金が30,000円であること、生産状態でのプログラム実行履歴読み出しを行ったため２,０００ 円割り引くこと、生産状態でのセンサ状態履歴読み出しを行ったため２,０００ 円割り引くこと、待機状態で処理結果読み出しを行ったのでさらに７,０００ 円割り引くこと、待機状態でプログラム読み出しを行ったので７,０００ 円割り引くこと、待機状態でプログラム編集を行ったので７,０００円割り引くこと、出力モードに部分表示を指定したので１,０００円割り増すことを表している。

以上のように、本実施の形態のシステムにおいては、半導体製造装置と作業装置とをインターネットを介して接続し、作業装置は、保守操作を半導体製造装置に送信し、半導体製造装置は、受信した保守操作に従って処理を実行し、実行した処理の内容に応じて保守の料金情報を生成し、生成した料金情報を半導体製造装置の画面に出力するようにしたので、半導体製造装置で行った保守作業の内容に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、保守員の技術レベルを表すデータを保守員属性に保持し、保守操作を送信した保守員の保守属性データに応じて保守の料金情報を生成するようにしたので、保守員が保持する技術の程度に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、半導体製造装置の処理の状態を示すデータを装置状態データに保持し、処理を実行した時点の装置状態データに応じて保守の料金情報を生成するようにしたので、半導体製造メーカの製造プロセスに悪影響を与える可能性に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、半導体製造装置が使用された履歴を表す使用履歴情報を蓄積し、保守操作に従って読み出した使用履歴情報の種別に応じて保守の料金情報を生成するようにしたので、半導体製造メーカから取得する機密情報に応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、保守操作に従って実行した処理の状況を技師に出力し、出力した状況の内容に応じて保守の料金情報を生成するようにしたので、装置供給ベンダが提供する保守に関するノウハウに応じた制御，木目の細かいサービス，課金を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、保守員の属性を表す保守員属性と、処理の実行に必要な属性の条件を表すプログラム実行権限とを保持し、保守操作を作業装置から受信した場合には、保守員属性とプログラム実行権限とを読み出し、保守員属性にある属性がプログラム実行条件にある条件を満たしている場合に限って、保守操作に従った処理を実行するようにしたので、保守員の属性に応じたアクセスの制限を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、半導体製造装置の状態を表す装置状態と、処理の実行に必要な状態の条件を表すプログラム実行権限とを保持し、保守操作を作業装置から受信した場合には、その時点の装置状態とプログラム実行権限とを読み出し、装置状態にある状態がプログラム実行条件にある条件を満たしている場合に限って、保守操作に従った処理を実行するようにしたので、装置の状態に応じたアクセスの制限を行うことが可能となる。

また、半導体製造装置は、保守作業の状況を半導体装置に出力する態様を特定する出力モードと、保守作業の状況を出力するために必要な出力モードの条件を表す状況出力権限とを保持し、保守操作を作業装置から受信した場合には、出力モードと状況出力権限とを読み出し、出力モードにある態様が状況出力権限にある条件を満たしている場合に限って、保守作業の状況を半導体装置に出力するようにしたので、出力モードに応じた出力の制限を行うことが可能となる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、これ以外にも様々な変形が可能である。第２の実施の形態は、第１の実施の形態を変形したものである。第１の実施の形態は、半導体製造装置１２３が出荷時に装置供給ベンダの工場で入力された保守料金表を用いて保守料金を算出するというものであったが、本実施形態は、工場から出荷した後に保守センタ１１０の作業装置１１３から供給される保守料金表を用いて保守料金を算出するというものである。

本発明を適用したシステムは、次に示す新たな機能を作業装置１１３と半導体製造装置１２３の通信部１３１に追加しているが、これ以外の構成については第１の実施の形態で説明したシステムと同様である。

保守員は、オンラインで保守料金表の供給が必要であると判断した場合には、キーボードを用いて保守料金表を入力し、マウスを用いて料金表操作ボタンを押下する。作業装置１１３は、保守員が入力した保守料金表から構成されるメッセージ（以下、料金表操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２２を介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有する。

半導体製造装置１２３の通信部１３１は、管理装置１２２から料金表操作を受信すると、受信した料金表操作から保守料金表を取り出し、保守料金表管理テーブル１４９に記録する機能も有する。

続いて、図１の作業装置１１３と半導体製造装置１２３の処理フローについて説明する。図２２は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートである。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理を実行することにより、特定の半導体製造装置１２３に対して料金表操作の送信を行う。

まず、作業装置１１３は、オンラインでの保守料金表の供給が必要であると判断した保守員がキーボードを用いて入力する保守料金表を受け付ける（ステップ３２１）。次に、作業装置１１３は、保守料金表を入力した保守員がキーボードを用いて入力する料金表操作の送信先を受け付ける（ステップ３２２）。次に、作業装置１１３は、保守員がマウスを用いて料金表操作送信ボタンを押下すると、保守員が入力した保守料金表から構成される料金表操作を保守員が指定した半導体製造装置１２３に送信し（ステップ３２３）、処理を終了する（ステップ３２４）。なお、ステップ３２１と３２２は処理の順序を入れ替えてもよい。

図２３は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、作業装置１１３から受信した料金表操作に応じた処理を実行する。

まず、通信部１３１は、作業装置１１３から料金表操作を受信しているか否かを確認する（ステップ３３１）。通信部１３１は、料金表操作を受信している場合には、料金表操作から保守料金表を取り出して保守料金表管理テーブル１４９に記憶し(ステップ３３３)、処理を終了する（ステップ３３４）。通信部１３１は、料金表操作が到着していない場合にも処理を終了する（ステップ３３４）。

続いて、図１の作業装置１１３のディスプレイに表示する画面について説明する。図
２４は、図２２に示した処理フローのステップ３２１で作業装置１１３のディスプレイに表示する保守料金設定画面の例を示している。

保守料金設定画面３４０は、保守員から保守料金表と料金表操作の送信の指示を受け付ける画面であり、保守料金表パネル３４１，送信先パネル３４７，アクションパネル345から構成される。保守料金表パネル３４１は、保守員から保守料金表を受け付けるパネルであり、定価料金リスト３４２，割引料金リスト３４３，割増料金リスト３４４から構成される。定価料金リスト３４２は、料金表操作に格納する定価料金に関するデータを保守員が入力するリストである。このリストに格納するデータ項目は、図１２で説明した保守料金表管理テーブル１４９を構成する定価料金管理テーブル１５０のものと同じであるので説明を省略する。割引料金リスト３４３は、料金表操作に格納する割引料金に関するデータを保守員が入力するリストである。このリストに格納するデータ項目も、図１２で説明した保守料金表管理テーブル１４９を構成する割引料金管理テーブル１５１のものと同じであるので説明を省略する。割増料金リスト３４４は、料金表操作に格納する割増料金に関するデータを保守員が入力するリストである。このリストに格納するデータ項目も、図１２で説明した保守料金表管理テーブル１４９を構成する割増料金管理テーブル１５２のものと同じであるので説明を省略する。

送信先パネル３４７は、保守員から料金表操作の送信先を受け付けるパネルであり、半導体製造工場リスト３４８，送信先パネル３５１，半導体製造装置リスト３５２，送信先パネル３５５から構成される。半導体製造工場リスト３４８は、料金表操作を送信できる半導体製造工場１２０の識別子を保守員に表示するリストであり、Ｎo.フィールド３４９と半導体製造工場フィールド３５０から構成される。Ｎo.フィールド３４９は、リストの通し番号を表示するフィールドであり、半導体製造工場フィールド３５０は、料金表操作を送信できる半導体製造工場１２０の識別子を表示するフィールドである。送信先パネル３５１は、保守員が指定した半導体製造工場１２０の識別子を表示するパネルであり、半導体製造工場リスト３４７で保守員がマウスを用いて特定の候補の識別子を押下すると、これに連動して、押下された半導体製造工場１２０の識別子が表示される。

半導体製造装置リスト３５２は、料金表操作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子を保守員に表示するリストであり、Ｎo.フィールド３５３と半導体製造装置フィールド３５４から構成される。Ｎo.フィールド３５３は、リストの通し番号を表示するフィールドであり、半導体製造装置フィールド３５４は、料金表操作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子を表示するフィールドであり、半導体製造工場リスト３４８で保守員がマウスを用いて特定の候補の識別子を押下すると、これに連動して、押下された半導体製造工場内で料金表操作を送信できる半導体製造装置１２３の識別子が表示される。

送信先パネル３５５は、保守員が指定した半導体製造装置１２３の識別子を表示するパネルであり、半導体製造装置リスト３５３で保守員がマウスを用いて特定の候補の識別子を押下すると、これに連動して、押下された半導体製造装置１２３の識別子が表示される。

アクションパネル３４５は、保守員から料金表操作の送信の指示を受け付ける画面であり、料金表操作送信ボタン３４６から構成される。料金表操作送信ボタン３４６は、保守員が料金表操作の送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、保守員が保守料金表パネル２４１で入力した保守料金表から構成される料金表操作を保守員が送信先パネル３４６で指定した半導体製造装置１２３に送信する。

以上のように、本実施の形態のシステムにおいては、第１の実施の形態のシステムにおいて、作業装置１１３は、保守料金表を半導体製造装置１２３に送信し、半導体製造装置１２３は、受信した保守料金表を用いて料金情報を生成するようにしたので、保守料金表を容易に変更することが可能となる。

第３の実施の形態は、第１の実施の形態を変形したものである。第３の実施の形態は、半導体製造装置１２３が出荷時に装置供給ベンダの工場で入力された状況出力権限を用いて入出力部への出力を制限するというものであったが、本実施形態は、工場から出荷した後に保守センタ１１０の作業装置１１３から供給される状況出力権限を用いて入出力部
１３０への出力を制限するというものである。

本発明を適用したシステムは、次に示す新たな機能を作業装置１１３と半導体製造装置１２３の通信部１３１と入出力部１３０に追加しているが、これ以外の構成については第１の実施の形態で説明したシステムと同様である。

保守員は、オンラインで状況出力権限の供給が必要であると判断した場合には、キーボードを用いて状況出力権限を入力し、マウスを用いて状況出力操作送信ボタンを押下する。作業装置１１３は、保守員が入力した状況出力権限から構成されるメッセージ（以下、出力権限操作と記す）を管理装置１１２と管理装置１２２とを介してオンラインで半導体製造装置１２３に送信する機能も有する。

半導体製造装置１２３の通信部１３１は、管理装置１２２から出力権限操作を受信すると、受信した出力権限操作から状況出力権限を取り出し、取り出した状況出力権限を制御部１３２を介して入出力部１３０に送信する機能も有する。半導体製造装置１２３の入出力部１３０は、通信部１３１から状況出力権限を受信すると、受信した状況出力権限を出力権限管理テーブル１４６に記憶する機能も有する。

続いて、図１の作業装置１１３と半導体製造装置１２３の処理フローについて説明する。図２５は、作業装置１１３の動作を示すフローチャートである。作業装置１１３は、このフローチャートに示す処理を実行することにより、特定の半導体製造装置１２３に対して出力権限操作の送信を行う。

まず、作業装置１１３は、オンラインでの状況出力権限の供給が必要であると判断した保守員がキーボードを用いて入力する状況出力権限を受け付ける（ステップ３６１）。次に、作業装置１１３は、状況出力権限を入力した保守員がキーボードを用いて入力する出力権限操作の送信先を受け付ける（ステップ３６２）。次に、作業装置１１３は、保守員がマウスを用いて出力権限操作送信ボタンを押下すると、保守員が入力した状況出力権限から構成される出力権限操作を保守員が指定した半導体製造装置１２３に送信し（ステップ３６３）、処理を終了する（ステップ３６４）。なお、ステップ３６１と３６２は処理の順序を入れ替えてもよい。

図２６は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、作業装置１１３から受信した出力権限操作に応じて処理を実行する。

まず、通信部１３１は、作業装置１１３から出力権限操作を受信しているか否かを確認する（ステップ３７１）。通信部１３１は、出力権限操作を受信している場合には、出力権限操作から状況出力権限を取り出し、取り出した状況出力権限を制御部１３２を介して入出力部１３０に送信し（ステップ３７３）、処理を終了する（ステップ３７４）。通信部１３１は、出力権限操作を受信していない場合にも処理を終了する（ステップ３７４）。

続いて、図１の作業装置１１３のディスプレイに表示する画面について説明する。図
２７は、図２５に示した処理フローのステップ３６１で作業装置１１３のディスプレイに表示する状況出力権限設定画面の例を示している。状況出力権限設定画面３８０は、保守員から状況出力権限と出力権限操作の送信の指示を受け付ける画面であり、状況出力権限パネル３８１，送信先パネル４８５，アクションパネル３８３から構成される。

状況出力権限パネル３８１は、保守員から状況出力権限を受け付けるパネルであり、状況出力権限リスト３８２から構成される。状況出力権限リスト３８２は、出力権限操作に格納する状況出力権限を保守員が入力するリストである。このリストに格納するデータ項目は、図１０で説明した出力権限管理テーブル１４７を構成する状況出力権限のものと同じであるので説明を省略する。送信先パネル３８５は、保守員から保守依頼の送信先を受け付けるパネルである。このパネルは、図２４で説明した送信先パネル３４７と同じであるので説明を省略する。

アクションパネル３８３は、保守員から出力権限操作の送信の指示を受け付ける画面であり、出力権限操作送信ボタン３８４から構成される。出力権限操作送信ボタン３８４は、保守員が出力権限操作の送信を指示するボタンであり、保守員がマウスを用いてこのボタンを押下すると、保守員が状況出力権限パネル３８１で入力した状況出力権限から構成される出力権限操作を保守員が送信先パネル３８５で指定した半導体製造装置１２３に送信する。

以上のように、本実施の形態のシステムにおいては、第１の実施の形態のシステムにおいて、作業装置は、状況出力権限を半導体製造装置１２３に送信し、半導体製造装置123は、受信した出力権限データを用いて保守作業の状況の出力を制限するようにしたので、状況出力権限を容易に変更することが可能となる。

本発明の第４の実施の形態を詳細に説明する。図２８は、本発明を適用した半導体製造装置の遠隔保守システムの構成を示すブロック図である。第１の実施の形態は、保守センタ１１０と１つ以上の半導体製造工場１２０をインターネット１００を介して接続して同じ保守センタに保守依頼を送信するというものであったが、本実施の形態は、さらに加えて１つ以上の保守センタ１１０と１つ以上の半導体製造工場１２０をインターネット100を介して接続して保守依頼の送信先に応じた木目の細かい課金を可能とするものである。

図２８に示したシステムではそれぞれ２つの保守センタ１１０と製造工場１２０しか示されてないが、実際には２つ以上の保守センタ１１０と製造工場１２０があっても構わない。また、保守センタ１１０は互いに異なる保守ベンダに属するセンタであっても同一の保守ベンダに属するセンタであってもよく、製造工場１２０は互いに異なる半導体製造メーカに属する工場であっても同一の半導体製造メーカに属する工場であってもよい。

本発明を適用したシステムは、次に説明する新たな機能を半導体製造装置１２３の通信部１３１に追加しているが、これ以外の各装置の構成については第１の実施の形態で説明したシステムと同様である。

半導体製造装置１２３の通信部１３１は、半導体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視し、トラブルが発生していることを検知した場合には、トラブルの症状を特定するステータスと、保守作業の状況を半導体製造装置１２３に出力する態様を特定する出力モードとから構成される保守依頼を生成し、生成した保守依頼を通知する１つ以上の保守センタ１１０または作業装置１１３の候補を選定し、選定した候補を入出力部１３０の例えばディスプレイに表示し、表示された候補の中から技師が指定した保守センタ１１０の管理装置１１２に保守依頼１６０を送信する機能を有する。

続いて、図２８の半導体製造装置１２３の処理フローについて説明する。図２９は、半導体製造装置１２３の通信部１３１の動作を示すフローチャートである。通信部１３１は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、半導体製造装置１２３の稼動状況を定期的に監視する。

まず、通信部１３１は、半導体製造装置１２３でトラブルが発生していることを検出したか否かを確認する（ステップ４０１）。通信部１３１は、トラブルが発生していることを検出した場合には、トラブルの症状を特定するステータと、保守作業の状況を半導体製造装置１２３に出力する態様を特定することを表す出力モードとから構成される保守依頼１６０を生成し(ステップ４０３)、トラブルが発生していることを検出しなかった場合には処理を終了する(ステップ４０８)。

次に、通信部１３１は、生成した保守依頼１６０を通知する１つ以上の保守センタ110の候補を所定の規則に従って選定する（ステップ４０４）。次に、通信部１３１は、選定した候補を入出力部１３０の例えばディスプレイに表示する（ステップ４０５）。次に、通信部１３１は、表示された候補の中から技師が選択する実際の送信先を受け付ける（ステップ４０６）。次に、技師が指定した保守センタ１１０の管理装置１１２に保守依頼
１６０を送信し（ステップ４０７）、処理を終了する（ステップ４０８）。

続いて、図２８の半導体製造装置１２３の入出力部１３０のディスプレイに表示する画面について説明する。図３０は、図２９に示した処理フローのステップ４０５で半導体製造装置１２３の入出力部１３０に表示する保守依頼送信先設定画面の例を示している。

保守依頼送信先設定画面４１０は、選定した保守センタ１１０の候補を技師に示し、技師から保守依頼１６０の送信先と保守依頼１６０の送信の指示を受け付ける画面であり、保守依頼パネル４１１，アクションパネル４１２，送信先パネル４１４から構成される。

保守依頼パネル４１１は、送信する保守依頼１６０の内容を技師に表示するパネルである。この例では、図１９に示した保守依頼パネル２８１と同様の内容を示している。アクションパネル４１２は、保守依頼１６０の送信を技師が指示するパネルであり、保守依頼送信ボタン４１３から構成される。保守依頼送信ボタン４１３は、技師が保守依頼１６０の送信を指示するボタンであり、技師がマウスを用いてこのボタンを押下すると、技師が送信先パネル４１４で候補の中から指定した送信先に保守依頼１６０を送信する。

送信先パネル４１４は、通信部１３１が選定した保守センタ１１０の候補を技師に示し、技師から保守依頼１６０の送信先を受け付けるパネルであり、保守センタ候補リスト
４１５と送信先パネル４１８から構成される。保守センタ候補リスト４１５は、通信部
１３１が選定した保守センタ１１０の候補を技師に表示するリストであり、Ｎo.パネルフィールド４１６と保守センタ候補フィールド４１７から構成される。Ｎo.フィールド416は、候補の通し番号を表示するフィールドであり、保守センタ候補フィールド４１７は、候補の保守センタ１１０の識別子を表示するフィールドである。

送信先パネル４１８は、技師が指定した送信先を表示するパネルであり、技師がマウスを用いて保守センタ候補リスト４１５の候補を押下すると、これに連動して押下された保守センタ１１０の識別子が表示される。

なお、表示された候補とは別の保守センタ１１０の識別子を保守員が送信先パネル418に直接入力できるようにしてもよい。

以上のように、本実施の形態のシステムにおいては、１つ以上の半導体製造装置１２３と１つ以上の作業装置１１３とをインターネット１００を介して接続し、半導体製造装置１２３は、半導体製造装置１２３のトラブルの発生の有無を監視し、トラブルが発生していることを検知した場合には、トラブルの症状を特定するステータスを生成し、ステータスを通知する作業装置１１３を決定し、決定した作業装置１１３にステータスを通知し、作業装置１１３は、通知されたステータスに基づいて、半導体製造装置１２３のトラブルに対する対処方法を決定し、その対処方法に基づく保守操作を半導体製造装置１２３に送信し、半導体製造装置１２３は、受信した保守操作に従って処理を実行し、ステータス情報を通知した作業装置の識別子に応じて保守に関する料金情報を生成し、生成した料金情報を半導体製造装置１２３の画面に出力するようにしたので、保守の依頼先に応じた木目の細かい課金を行うことが可能となる。また、半導体製造装置１２３は、トラブルが発生していることを検知した場合には、ステータスを通知する１つ以上の作業装置１１３の候補を表す候補情報を生成し、生成した候補情報を出力し、出力された候補の中から前記半導体製造装置１２３の使用者が指定した作業装置１１３にステータスを通知するようにしたので、保守の依頼先を容易に指定することが可能となる。また、半導体製造装置１２３は、技師が指定した表示された候補とは別の保守センタ１１０にもステータスを通知するようにしたので、保守の依頼先を柔軟に指定することが可能となる。

本発明の第１の実施形態のシステムの構成を示すブロック図である。 図１の半導体製造装置の構成を示すブロック図である。 図１の半導体製造装置で管理する保守員属性管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で管理する装置状態管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積するプログラム管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積する実行権限管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積するプログラム実行履歴管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積するセンサ状態履歴管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積する処理結果管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積する出力制御管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積する保守実績管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置で蓄積する保守料金管理テーブルの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置と作業装置の間で送受信するメッセージの構造を示す図である。 図１の半導体製造装置の通信部の動作を示すフローチャートである。 図１の作業装置の動作を示すフローチャートである。 図１の半導体製造装置の通信部の動作を示すフローチャートである。 図１の半導体製造装置の制御部の動作を示すフローチャートである。 図１の半導体製造装置の入出力部の動作を示すフローチャートである。 図１の作業装置に表示する保守作業画面を示す図である。 図１の半導体製造装置に表示する実行状況出力画面を示す図である。 図１の半導体製造装置に表示する保守料金通知画面を示す図である。 図１の作業装置の動作を示すフローチャートである。 図１の半導体製造装置の通信部の動作を示すフローチャートである。 図１の作業装置に表示する保守料金表設定画面を示す図である。 図１の作業装置の動作を示すフローチャートである。 図１の半導体製造装置の通信部の動作を示すフローチャートである。 図１の作業装置に表示する出力制御設定画面を示す図である。 本発明の第２の実施形態のシステム構成ブロック図。 図２８の半導体製造装置の通信部の動作を示すフローチャートである。 図２８の半導体製造装置に表示する保守依頼送信先設定画面を示す図である。

符号の説明

１００…インターネット
１１０…保守センタ
１１１，１２１…イントラネット
１１２，１２２…管理装置
１１３…作業装置
１２０…半導体製造工場
１２３…半導体製造装置
１３０…入出力部
１３１…通信部
１３２…制御部
１３３…部位

Claims (4)

1. 特定の処理を実行する産業用機器と産業用機器を保守する作業装置とがネットワークを
   介して接続されたシステムの遠隔保守方法であって、
   前記産業用機器は半導体デバイスの製造に必要な製造操作が入力される入出力部と、保
   守依頼，着手通知，保守操作，完了通知の各メッセージを送受信する通信部と、前記保守
   操作と前記製造操作に応じてプログラムを実行する制御部とから構成され、
   前記作業装置は保守の命令を表す保守操作を前記産業用機器に送信し、
   前記産業用機器は受信した前記保守操作から全てのコマンドを取り出し、各コマンドで
   指定されているプログラムをそれぞれに対応付けられているパラメータを用いて実行し、
   前記通信部は前記保守の作業の状況を前記産業用機器に出力する態様を特定する出力モードを保持し、
   前記入出力部は前記保守の作業の状況を出力するために必要な前記出力モードに応じて前記制御部で実行されたプログラムの実行日時，識別子，パラメータ
   の各項目の表示を許可するか否かを表す状況出力権限を保持し、
   前記制御部は前記プログラムの実行状況と前記出力モードとを前記入出力部に送信し、
   前記入出力部は前記制御部から前記実行状況と前記出力モードとを受信すると、前記状況出力権限を読み出し、前記出力モードに応じて実行状況の各項目の表示を許可するか否かを表すデータに基づいて前記保守の作業の状況を前記産業用機器の出力装置に出力することを特徴とする遠隔保守方法。
2. 請求項１の記載において、前記産業用機器は半導体製造装置であることを特徴とする遠
   隔保守方法。
3. ネットワークを介して接続された作業装置から遠隔で保守作業を受ける産業用機器であ
   って、半導体デバイスの製造に必要な製造操作が入力される入出力部と、保守の命令を表
   す保守操作を前記作業装置から受信する通信部と、該通信部が受信した前記保守操作から
   全てのコマンドを取り出し、各コマンドで指定されているプログラムをそれぞれに対応付
   けられているパラメータを用いて実行する制御部とから構成され、
   前記通信部は前記保守の作業の状況を前記産業用機器に出力する態様を特定する出力モードを保持し、
   前記入出力部は前記保守の作業の状況を出力するために必要な前記出力モードに応じて前記制御部で実行されたプログラムの実行日時，識別子，パラメータ
   の各項目の表示を許可するか否かを表す状況出力権限を保持し、
   前記制御部は前記プログラムの実行状況と前記出力モードとを前記入出力部に送信し、
   前記入出力部は前記制御部から前記実行状況と前記出力モードとを受信すると、前記状況出力権限を読み出し、前記出力モードに応じて実行状況の各項目の表示を許可するか否かを表すデータに基づいて前記保守の作業の状況を出力装置に出力することを特徴とする産業用機器。
4. 請求項３の記載において、前記産業用機器は半導体製造装置であることを特徴とする産
   業用機器。

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