JP3919294B2 - 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体デバイス生産用機器などの保守を必要とする産業用機器の遠隔保守システムおよび方法、ならびにデバイス生産方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、保守を必要とする産業用機器、たとえば半導体デバイスの製造用の機器のトラブル対応や定期メンテナンスなどの保守は、保守要員がトラブル発生時に電話やファクシミリで対応したり、定期的もしくは緊急に保守要員が機器設置工場に赴いて、保守を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の半導体生産投資の急増は、生産用機器の設置数の伸びに対して保守要員が慢性的に不足した状況を作り出しつつある。また、生産体制の世界的な広がりによって、より低コストな地域を目指して生産拠点が国内、海外各所の遠隔地に点在している。このような状況変化によって、従来に比べてトラブル対処や定期保守に対して迅速な対応が困難になりつつあり、これをいかに解決するかが大きな課題となっている。また、生産拠点の拡散に伴って、保守情報が各生産拠点にとどまって生産拠点を超えた情報の共有化が希薄になり、過去のトラブルの経験が生かしにくいという課題もある。
【０００４】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、遠隔地に設置された機器であっても迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システムおよび方法を提供することを目的とする。また、該システムを利用したデバイス生産方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、イントラネットに接続された、産業用機器の遠隔保守システムであって、
産業用機器を監視する監視装置から、インターネットおよび前記イントラネットを介して、前記産業用機器の異常状態の情報を受信する受信手段と、
前記異常状態の情報と、該異常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースと、
前記受信手段により受信された異常状態の情報に対する対処方法の情報が前記データベースに登録されているか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていると判断された場合、該対処方法の情報を、前記イントラネットおよびインターネットを介して前記監視装置に向けて送信する第１の送信手段と、
前記第１の送信手段により前記対処方法の情報が送信された後、または前記判断手段により前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていないと判断された場合、前記受信手段により受信された異常状態の情報を含む情報を、前記イントラネットに接続されたコンピュータに向けて送信する第２の送信手段と
を有することを特徴とする遠隔保守システムである。
【０００６】
本発明の第２の態様は、前記産業用機器は半導体デバイス製造装置であることを特徴とする遠隔保守システムである。
【０００８】
本発明の第４の態様は、イントラネットに接続されたシステムによる、産業用機器の遠隔保守方法であって、
産業用機器を監視する監視装置から、インターネットおよび前記イントラネットを介して、前記産業用機器の異常状態の情報を受信する受信ステップと、
前記異常状態の情報と、該異常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースに、前記受信ステップで受信された異常状態の情報に対する対処方法の情報が登録されているか否かを判断する判断ステップと、
前記判断ステップで前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていると判断された場合、該対処方法の情報を、前記イントラネットおよびインターネットを介して前記監視装置に向けて送信する第１の送信ステップと、
前記第１の送信ステップで前記対処方法の情報が送信された後、または前記判断ステップで前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていないと判断された場合、前記受信ステップで受信された異常状態の情報を、前記イントラネットに接続されたコンピュータに向けて送信する第２の送信ステップと
を有することを特徴とする遠隔保守方法である。
【０００９】
本発明の第５の態様は、前記産業用機器は半導体デバイス製造装置であることを特徴とする前記第４の態様の遠隔保守方法である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
＜産業用機器の遠隔保守システムの第１の実施の形態＞
図１は、本発明の好適な実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。１０１は、産業用機器を提供するベンダ（装置供給メーカ）の事業所である。この実施の形態は、産業用機器として、半導体製造工場で使用する半導体製造装置、例えば、前工程用機器（露光装置、塗布現像装置、熱処理装置等）や後工程用機器（組み立て装置、検査装置等）を想定している。
【００１２】
１０２〜１０４は、産業用機器のユーザとしての半導体製造メーカの生産工場である。生産工場１０２〜１０４は、互いに異なるメーカに属する工場であっても良いし、同一のメーカに属する工場（例えば、前工程用の工場、後工程用の工場等）であっても良い。
【００１３】
各工場１０２〜１０４には、夫々、複数の産業用機器１０６と、それらを結ぶＬＡＮ（イントラネット）１０９と、各産業用機器１０６の稼動状況を監視する監視装置としてのホストコンピュータ１０７とが設けられている。
【００１４】
各工場１０２〜１０４に設けられたホストコンピュータ１０７は、世界的な規模で広がった通信手段であるインターネット１０５を介してベンダ１０１側の管理装置であるホストコンピュータ１０８に接続されている。ホストコンピュータ１０７は、このインターネット１０５を介して、各産業用機器１０６の稼動状況を示すステータス情報（例えば、トラブルが発生した産業用機器の症状）を工場側からベンダ側に通知する他、その通知に対応する応答情報（例えば、トラブルに対する対処方法を指示する情報、対処用のプログラムやデータ）をベンダ側から受け取ることができる。なお、以下では、ステータス情報及び／又は応答情報を保守情報という。
【００１５】
各工場１０２〜１０４とベンダ１０１との間の通信および各工場内のＬＡＮでの通信には、インターネットで一般的に使用されているパケット通信プロトコル（ＴＣＰ／ＩＰ）が使用される。
【００１６】
ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８は、インターネット１０５を介して、ユーザの各工場１０２〜１０４における産業用機器１０６の稼動状況を時々刻々把握することができる。また、これらの稼動状況や保守の状況などを示す保守情報は、ベンダ１０１の各部門、例えば、保守部門の他、製造部門、開発部門のコンピュータ１１０からも参照可能であり、これにより保守情報を製造、開発部門へフィードバックすることができる。
【００１７】
図２は、各工場に設置されたホストコンピュータ１０７の動作を示すフローチャートである。ホストコンピュータ１０７は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、ＬＡＮ１０９を介して接続された複数（ｎ）台の産業用機器１０６の稼動状況を定期的に監視する。そして、トラブルが発生している場合には、ホストコンピュータ１０７は、トラブルの症状その他のトラブルに関連するステータス情報を取得して、それをインターネット１０５を介してベンダ１０１側に通知する。
【００１８】
図２のフローチャートに示す例では、ホストコンピュータ１０７は、監視対象の複数の産業用機器１０６を第１〜第ｎの産業用機器として識別し管理する。そして、パラメータｉを順次インクリメントしながら（ステップＳ２０７，Ｓ２０８）、第ｉの産業用機器の稼動状況を監視し（ステップＳ２０３）、トラブルが発生している場合には、該当する産業用機器から、その稼動状態に関するステータス情報を取得し（ステップＳ２０４）、そのステータス情報をインターネット１０５を介してベンダ１０１側に報告する（ステップＳ２０５）。そして、ステータス情報の報告に応答してベンダ１０１側から送信されてくる応答情報に基づいて、可能な場合（例えば、ソフトウェアの更新等によりトラブルを解決可能な場合）には、ＬＡＮ１０９を介してトラブルに係る産業用機器を自動で保守する（ステップＳ２０６）。なお、トラブルの自動保守ができない場合には、例えばディスプレイにその旨のメッセージを表示する。
【００１９】
各産業用機器１０６は、ホストコンピュータ１０７からの要求に応じて、トラブルの発生の有無をホストコンピュータ１０７に通知し（ステップＳ２０３に対応）、更にそのトラブルの内容を特定して、その特定した内容を示すステータス情報（例えば、トラブルの内容を示すエラーコード）をホストコンピュータ１０７に通知する機能を有する（ステップＳ２０４に対応）。
【００２０】
ステップＳ２０５において、ホストコンピュータ１０７がベンダ１０１側に通知するステータス情報には、例えば、トラブルが発生した産業用機器の機種、シリアルナンバー、エラーコード、トラブルの発生した時間等が含まれる。このエラーコードとトラブルの内容との対応関係は、例えば、インターネット１０５を介してベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８から随時更新することができる。
【００２１】
なお、トラブルの内容が予め登録されていない場合には、その旨を示すエラーコードをステータス情報に含めれば良い。この場合は、オペレータがベンダ側に電話、ファクシミリ、電子メール等の手段により詳細な情報を知らせることになる。
【００２２】
一方、ベンダ１０１側の管理装置であるホストコンピュータ１０８は、各工場に設置されたホストコンピュータ１０７からの通信に対して、例えば２４時間体制で待機する。図３は、ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８の動作を示すフローチャートである。
【００２３】
ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８は、図３のフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、各工場１０２〜１０４の産業機器１０６の稼動状況を監視する。
【００２４】
先ず、ホストコンピュータ１０８は、トラブルの報告（ステータス情報の通知）があるか否かを監視し（ステップＳ３０２）、報告があった場合には、その報告に係るステータス情報を取得する（ステップＳ３０３）。そして、ホストコンピュータ１０８は、このステータス情報に基づいて、各工場の産業用機器の保守を管理するためのトラブルデータベース（ＤＢ）を参照し、当該報告に係る産業用機器に関して、同一の症状が過去に発生したことがあるか否か、すなわち、同一の症状がトラブルデータベース（後述の５０１）に登録されているか否かを調査する（ステップＳ３０４）。
【００２５】
その結果、登録されている場合（ステップＳ３０４において“ｙｅｓ”）には、更に、その症状に対する対処法がトラブルデータベースに登録されているか否かを判断（ステップＳ３０６）し、登録されている場合には、その登録された対処法に関する応答情報（例えば、対処法を示すコード情報やメッセージ、対処用のプログラムやデータ等）を、トラブルの報告に係る工場のホストコンピュータ１０７にインターネット１０５を介して通知する（ステップＳ３０７）。
【００２６】
応答情報の通知を受けた工場側のホストコンピュータ１０７は、その応答情報に基づいて、可能な場合には、自動で該当する産業用機器を正常な状態に復帰させ、それが不可能な場合には、例えば、ディスプレイ等に当該産業用機器のオペレータに対するメッセージを出力する。
【００２７】
次いで、ホストコンピュータ１０８は、ベンダ１０１側の担当者に対して、トラブル発生の事実、トラブルの内容（ステータス情報）、対処法（応答情報）の通知の有無、現在の状態その他の関連する情報を報告する。この報告は、例えば、コンピュータ１１０のディスプレイに表示すると共に、ベンダ担当者のメールアドレス宛に、ホストコンピュータ１０８から自動的に報告の電子メールを送信して行なう。
【００２８】
ここで、ステップＳ３０４において、当該トラブルに係る症状と同一の症状がトラブルデータベースに登録されていないと判断した場合には、当該症状をトラブルデータベースに新規に登録した後にステップＳ３０８を実行する。
【００２９】
オペレータへの報告（ステップＳ３０８）が終ると、ホストコンピュータ１０８は、トラブルデータベースを更新する（ステップＳ３０９）。この更新により、例えば、対処法（応答情報）の送信の有無や、トラブルの報告を受けた時間等がトラブルデータベースに登録される。
【００３０】
図４は、ステップＳ３０８で報告を受けた保守部門の担当者が取り得る措置の流れの一例を示す図である。先ず、担当者は、トラブルデータベースを参照して、トラブルの内容を把握し、対処が必要であるか否かを判断する（ステップＳ４０２）。そして、対処の必要がない場合（例えば、ステップＳ３０７で適正な対処法を該当する工場に通知している場合）には、例えばトラブルの再現に備えてインターネット１０５を介して該当する産業用機器１０６の稼動状態を監視する（ステップＳ４０４）。
【００３１】
一方、対処が必要な場合（ステップＳ４０３において“Ｎｏ”）には、担当者は、トラブルデータベースに蓄積された情報等を参照して最適な対処方針を選択する（ステップＳ４０３）。
【００３２】
この対処方針としては、先ず、インターネット１０５を介してオンラインでトラブルを解決することが考えられる（ステップＳ４０７）。この一例として、トラブルの原因がソフトウェアの誤りに起因する場合が挙げられる。この場合、該当する産業用機器のメモリ内のパラメータやプログラムをインターネット１０５及び工場側のホストコンピュータ１０７を介してオンラインで修正することも可能である。
【００３３】
他の対処方針としては、電子メール、ファクシミリ、電話等の手段により、工場のオペレータに対して、トラブルの解決方法を指示することが考えられる（ステップＳ４０６）。
【００３４】
ステップＳ４０５及びＳ４０６のいずれの方法でも対処不能な重大なトラブルの場合には、工場を訪問して対処することになる（ステップＳ４０５）。
【００３５】
対処が完了したら、担当者は、ホストコンピュータ１０８又はコンピュータ１１０を操作することにより、当該トラブルに関する情報に基づいてトラブルデータベースを更新する（ステップＳ４０８）。
【００３６】
次に、ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８に備えられたトラブルデータベースに関して説明する。ＬＡＮ１０９を介してホストコンピュータ１０８に接続された各コンピュータ１１０さらにはインターネットを介して接続された各工場の産業用機器１０６のコンソールは、専用又は汎用のブラウザソフトを内蔵しており、これにより、例えば図５に一例を示す様な画面のユーザインターフェースを構成している。
【００３７】
ベンダ又は各工場のオペレータは、図５に一例を示す画面を参照しながら、産業用機器の機種（４０１）、シリアルナンバー（４０２）、トラブルの件名（４０３）、発生日（４０４）、緊急度（４０５）、症状（４０６）、対処法（４０７）、経過（４０８）等の情報を入力することができる。なお、前述のように、トラブルデータベースへの情報の入力は、ホストコンピュータ１０８により自動的に実行される場合もある。
【００３８】
図５に示す画面に係るブラウザソフトは、ハイパーリンク機能（４１０〜４１２）を有し、これによりベンダの各部門の要員や工場のオペレータは、例えば、各項目の更に詳細な情報にアクセスしたり、ソフトウェアのライブラリから最新バージョンのソフトウェアを引出したり、工場のオペレータの参考に供する操作ガイド（補助情報）を引出したりすることができる。
【００３９】
上記のようにベンダ１０１側の各部門、例えば保守部門、製造部門、開発部門の要員は、ＬＡＮ１０９を介してホストコンピュータ１０８に接続されたコンピュータ１１０を用いてトラブルデータベースにアクセスすることができる。また、このトラブルデータベースには、外回りの保守要員もインターネット１０５を介して携帯端末等によりアクセスすることができる。これによって、ベンダの各部門の情報を一元的に管理することができ、各部門において、常に最新の情報を入手することができる。
【００４０】
また、トラブルデータベースの一部の情報をユーザ（工場）側に開放することにより、ユーザは、過去に蓄積された様々な保守情報をインターネットを介して入手し、自らがトラブルに対して適切な対処を採ることができる。このように、この実施の基体においては、ベンダ及び複数のユーザ間で保守情報を共有化することにより、保守の効率を飛躍的に高めている。
【００４１】
さらに、この実施の形態では、第三者がインターネットを介してトラブルデータベースをアクセスすることにより機密情報を入手することを禁止するための通信セキュリティシステムを備えている。
【００４２】
すなわち、このシステムでは、ファイアーウォールを設けて、パスワードによる認証に加えて、アクセスを許可するコンピュータを予めベンダ１０１のホストコンピュータ１０８に登録することにより、登録したコンピュータ以外のコンピュータによるアクセスを禁止している。
【００４３】
図６は、この実施の形態に係る通信セキュリティシステムの構成を示す図である。ユーザがブラウザ５００を用いてベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８のトラブルデータベース５０１にアクセスする際の通信は、暗号化されたパケット通信によって行われる。両ホストコンピュータ１０７，１０８は、暗号・復号器５０２，５０４を及び通信コントローラ５０３，５０５を夫々備えている。暗号・復号のアルゴリズムは、各工場（ユーザ）毎に個別に設け（ベンダ側の暗号・復号器は複数のアルゴリズムに対応させる）、更に、この暗号・復号のアルゴリズムを定期的に変更することにより、セキュリティを高めることができる。
【００４４】
以上のように本実施形態のシステムにおいては、既存のインフラであるインターネット及びその通信プロトコル、さらにはインターネットアクセス用のソフトウェアを活用して産業用機器の保守情報を通信するようにしたので、専用通信ラインの敷設や新たなソフトウェア開発の負担などを軽減し、迅速で低コストな遠隔保守システムの構築を可能としている。
【００４５】
また、産業用機器を設置した複数の工場と、ベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、さまざまな保守情報を集中的に管理して情報を共有化することで、生産拠点を超えて過去のトラブルの経験を生かすことができ、トラブルに対して迅速に対応することができる。特に、異なるユーザー企業間でも保守情報を共有するようにすれば、産業全体の効率化向上にも貢献することができる。
【００４６】
＜産業用機器の遠隔保守システムの第２の実施形態＞
図７は本発明の第２の実施形態の産業用機器保守システムの概念図である。先の実施形態では、それぞれが産業用機器を備えた複数のユーザー工場と、該産業用機器のベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、該通信手段を介して各工場の産業用機器の保守情報を通信するものであったが、本実施形態では、更に加えて複数のベンダーの産業用機器を備えた工場と、該複数の産業用機器のそれぞれのベンダーの管理システムとをインターネットを利用した通信手段で接続して、該通信手段を介して各産業用機器の保守情報を通信するものである。
【００４７】
図７において、201は産業用機器ユーザー（半導体デバイス製造メーカー）の生産工場であり、工場の生産ラインには半導体デバイス製造用装置である露光装置202、塗布現像装置203、熱処理装置204などが導入されている。なお図７では生産工場２０１は１つだけ描いているが、実際は複数の工場が同様にネットワーク化されている。これらの各装置はＬＡＮ206（イントラネット）で接続され、生産管理用ホストコンピュータ205でラインの稼動管理されている。一方、露光装置メーカー210、塗布現像装置メーカー220、熱処理装置メーカー230などベンダー（装置供給メーカー）の各事業所には、それぞれ供給機器の遠隔保守を行なうためのホスト管理システム211,221,231を備えている。そして、ユーザーの生産工場内の各装置を管理するホストコンピュータ205と、各装置のベンダーの管理システム211,221,231とは、通信手段であるインターネット200によって接続されている。なお、各ベンダー２１０，２２０，２３０では、先の図１の例で説明したように、複数のユーザーの工場内の自分が供給した装置の保守を集中管理している。
【００４８】
このシステムにおいて、生産ラインの一連の生産機器の中のどれかにトラブルが起きると、生産ラインの稼動が止まってしまうが、トラブルが起きた機器のベンダーからインターネット２００を介した遠隔保守を受けることで迅速な対応が可能で、生産ラインの休止を最小限に抑えることができる。各ベンダーのホスト管理システムは上記第１の実施形態で説明したようなトラブルデータベースを備え、保守情報が蓄積されている。また、生産工場と各ベンダーとの通信には異なる通信セキュリティシステムを備え機密の漏洩を防止している。具体的な保守の内容や方法は、第１の実施形態と同様であるので詳しい説明は省略する。
【００４９】
以上のように本実施形態のシステムにおいては、複数のベンダーの産業用機器を生産ラインに持つ同一又は異なるユーザーの複数の工場と、各ベンダーの管理システムとを通信手段で接続して保守情報を通信するようにしたので、生産中にある機器でトラブルが生じても対応するベンダーから迅速な保守を受けることが可能で、ラインが止まる時間を最小限に抑えて生産効率を高めることができる。特に、異なるユーザー企業同士あるいは異なるベンダー企業同士でも保守情報を共有するようにすれば、産業全体の効率化向上にも貢献することができる。
【００５０】
＜半導体デバイス生産方法の実施形態＞
次に上記説明した遠隔保守システムを利用した設備における半導体デバイスの生産方法の例を説明する。
【００５１】
図８は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ２（マスク製作）では設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これを出荷（ステップ７）する。前工程と後工程はそれぞれ専用の別の工場で行い、これらの工場毎に上記説明した遠隔保守システムによって保守がなされる。
【００５２】
図９は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。各工程で使用する生産機器は上記説明した遠隔保守システムによって保守がなされているので、トラブルを未然に防ぐと共に、もしトラブルが発生しても迅速な復旧が可能で、従来に比べて半導体デバイスの生産性を向上させることができる。
【００５３】
【発明の効果】
以上本発明によれば、遠隔地に設置された機器であっても迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システムおよび方法、ならびに該システムを利用したデバイス生産方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。
【図２】ユーザ（工場）側に設置された監視装置としてのホストコンピュータの動作を示すフローチャートである。
【図３】ベンダー側に設置された管理装置としてのホストコンピュータの動作を示す図である。
【図４】保守部門の担当者が取り得る措置の一例を示す図である。
【図５】トラブルデータベースのユーザインターフェースである入力画像の一例を示す図である。
【図６】通信セキュリティシステムの構成を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。
【図８】半導体デバイスの製造フローを示す図である。
【図９】ウェハプロセスを示す図である。
【符号の説明】
１０１ ベンダーの事業所
１０２〜１０４ ユーザーの生産工場
１０５ インターネット
１０６ 産業用機器
１０７ 各工場（ユーザー）のホストコンピュータ
１０８ ベンダーのホストコンピュータ
１０９ ＬＡＮ
１１０ ベンダーの各部門のコンピュータ
２００ インターネット
２０１ ユーザーの生産工場
２０２ 露光装置
２０３ 塗布現像装置
２０４ 熱処理装置
２０５ 生産管理用ホストコンピュータ
２０６ ＬＡＮ
２１０ 露光装置メーカー事業所
２１１ ホスト管理システム
２２０ 塗布現像装置メーカーの事業所
２２１ ホスト管理システム
２３０ 熱処理装置メーカーの事業所
２３１ ホスト管理システム
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体デバイス生産用機器などの保守を必要とする産業用機器の遠隔保守システムおよび方法、ならびにデバイス生産方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、保守を必要とする産業用機器、たとえば半導体デバイスの製造用の機器のトラブル対応や定期メンテナンスなどの保守は、保守要員がトラブル発生時に電話やファクシミリで対応したり、定期的もしくは緊急に保守要員が機器設置工場に赴いて、保守を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の半導体生産投資の急増は、生産用機器の設置数の伸びに対して保守要員が慢性的に不足した状況を作り出しつつある。また、生産体制の世界的な広がりによって、より低コストな地域を目指して生産拠点が国内、海外各所の遠隔地に点在している。このような状況変化によって、従来に比べてトラブル対処や定期保守に対して迅速な対応が困難になりつつあり、これをいかに解決するかが大きな課題となっている。また、生産拠点の拡散に伴って、保守情報が各生産拠点にとどまって生産拠点を超えた情報の共有化が希薄になり、過去のトラブルの経験が生かしにくいという課題もある。
【０００４】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、遠隔地に設置された機器であっても迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システムおよび方法を提供することを目的とする。また、該システムを利用したデバイス生産方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、イントラネットに接続された、産業用機器の遠隔保守システムであって、
産業用機器を監視する監視装置から、インターネットおよび前記イントラネットを介して、前記産業用機器の異常状態の情報を受信する受信手段と、
前記異常状態の情報と、該異常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースと、
前記受信手段により受信された異常状態の情報に対する対処方法の情報が前記データベースに登録されているか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていると判断された場合、該対処方法の情報を、前記イントラネットおよびインターネットを介して前記監視装置に向けて送信する第１の送信手段と、
前記第１の送信手段により前記対処方法の情報が送信された後、または前記判断手段により前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていないと判断された場合、前記受信手段により受信された異常状態の情報を含む情報を、前記イントラネットに接続されたコンピュータに向けて送信する第２の送信手段と
を有することを特徴とする遠隔保守システムである。
【０００６】
本発明の第２の態様は、前記産業用機器は半導体デバイス製造装置であることを特徴とする遠隔保守システムである。
【０００８】
本発明の第４の態様は、イントラネットに接続されたシステムによる、産業用機器の遠隔保守方法であって、
産業用機器を監視する監視装置から、インターネットおよび前記イントラネットを介して、前記産業用機器の異常状態の情報を受信する受信ステップと、
前記異常状態の情報と、該異常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースに、前記受信ステップで受信された異常状態の情報に対する対処方法の情報が登録されているか否かを判断する判断ステップと、
前記判断ステップで前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていると判断された場合、該対処方法の情報を、前記イントラネットおよびインターネットを介して前記監視装置に向けて送信する第１の送信ステップと、
前記第１の送信ステップで前記対処方法の情報が送信された後、または前記判断ステップで前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていないと判断された場合、前記受信ステップで受信された異常状態の情報を、前記イントラネットに接続されたコンピュータに向けて送信する第２の送信ステップと
を有することを特徴とする遠隔保守方法である。
【０００９】
本発明の第５の態様は、前記産業用機器は半導体デバイス製造装置であることを特徴とする前記第４の態様の遠隔保守方法である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
＜産業用機器の遠隔保守システムの第１の実施の形態＞
図１は、本発明の好適な実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。１０１は、産業用機器を提供するベンダ（装置供給メーカ）の事業所である。この実施の形態は、産業用機器として、半導体製造工場で使用する半導体製造装置、例えば、前工程用機器（露光装置、塗布現像装置、熱処理装置等）や後工程用機器（組み立て装置、検査装置等）を想定している。
【００１２】
１０２〜１０４は、産業用機器のユーザとしての半導体製造メーカの生産工場である。生産工場１０２〜１０４は、互いに異なるメーカに属する工場であっても良いし、同一のメーカに属する工場（例えば、前工程用の工場、後工程用の工場等）であっても良い。
【００１３】
各工場１０２〜１０４には、夫々、複数の産業用機器１０６と、それらを結ぶＬＡＮ（イントラネット）１０９と、各産業用機器１０６の稼動状況を監視する監視装置としてのホストコンピュータ１０７とが設けられている。
【００１４】
各工場１０２〜１０４に設けられたホストコンピュータ１０７は、世界的な規模で広がった通信手段であるインターネット１０５を介してベンダ１０１側の管理装置であるホストコンピュータ１０８に接続されている。ホストコンピュータ１０７は、このインターネット１０５を介して、各産業用機器１０６の稼動状況を示すステータス情報（例えば、トラブルが発生した産業用機器の症状）を工場側からベンダ側に通知する他、その通知に対応する応答情報（例えば、トラブルに対する対処方法を指示する情報、対処用のプログラムやデータ）をベンダ側から受け取ることができる。なお、以下では、ステータス情報及び／又は応答情報を保守情報という。
【００１５】
各工場１０２〜１０４とベンダ１０１との間の通信および各工場内のＬＡＮでの通信には、インターネットで一般的に使用されているパケット通信プロトコル（ＴＣＰ／ＩＰ）が使用される。
【００１６】
ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８は、インターネット１０５を介して、ユーザの各工場１０２〜１０４における産業用機器１０６の稼動状況を時々刻々把握することができる。また、これらの稼動状況や保守の状況などを示す保守情報は、ベンダ１０１の各部門、例えば、保守部門の他、製造部門、開発部門のコンピュータ１１０からも参照可能であり、これにより保守情報を製造、開発部門へフィードバックすることができる。
【００１７】
図２は、各工場に設置されたホストコンピュータ１０７の動作を示すフローチャートである。ホストコンピュータ１０７は、このフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、ＬＡＮ１０９を介して接続された複数（ｎ）台の産業用機器１０６の稼動状況を定期的に監視する。そして、トラブルが発生している場合には、ホストコンピュータ１０７は、トラブルの症状その他のトラブルに関連するステータス情報を取得して、それをインターネット１０５を介してベンダ１０１側に通知する。
【００１８】
図２のフローチャートに示す例では、ホストコンピュータ１０７は、監視対象の複数の産業用機器１０６を第１〜第ｎの産業用機器として識別し管理する。そして、パラメータｉを順次インクリメントしながら（ステップＳ２０７，Ｓ２０８）、第ｉの産業用機器の稼動状況を監視し（ステップＳ２０３）、トラブルが発生している場合には、該当する産業用機器から、その稼動状態に関するステータス情報を取得し（ステップＳ２０４）、そのステータス情報をインターネット１０５を介してベンダ１０１側に報告する（ステップＳ２０５）。そして、ステータス情報の報告に応答してベンダ１０１側から送信されてくる応答情報に基づいて、可能な場合（例えば、ソフトウェアの更新等によりトラブルを解決可能な場合）には、ＬＡＮ１０９を介してトラブルに係る産業用機器を自動で保守する（ステップＳ２０６）。なお、トラブルの自動保守ができない場合には、例えばディスプレイにその旨のメッセージを表示する。
【００１９】
各産業用機器１０６は、ホストコンピュータ１０７からの要求に応じて、トラブルの発生の有無をホストコンピュータ１０７に通知し（ステップＳ２０３に対応）、更にそのトラブルの内容を特定して、その特定した内容を示すステータス情報（例えば、トラブルの内容を示すエラーコード）をホストコンピュータ１０７に通知する機能を有する（ステップＳ２０４に対応）。
【００２０】
ステップＳ２０５において、ホストコンピュータ１０７がベンダ１０１側に通知するステータス情報には、例えば、トラブルが発生した産業用機器の機種、シリアルナンバー、エラーコード、トラブルの発生した時間等が含まれる。このエラーコードとトラブルの内容との対応関係は、例えば、インターネット１０５を介してベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８から随時更新することができる。
【００２１】
なお、トラブルの内容が予め登録されていない場合には、その旨を示すエラーコードをステータス情報に含めれば良い。この場合は、オペレータがベンダ側に電話、ファクシミリ、電子メール等の手段により詳細な情報を知らせることになる。
【００２２】
一方、ベンダ１０１側の管理装置であるホストコンピュータ１０８は、各工場に設置されたホストコンピュータ１０７からの通信に対して、例えば２４時間体制で待機する。図３は、ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８の動作を示すフローチャートである。
【００２３】
ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８は、図３のフローチャートに示す処理を定期的に実行することにより、各工場１０２〜１０４の産業機器１０６の稼動状況を監視する。
【００２４】
先ず、ホストコンピュータ１０８は、トラブルの報告（ステータス情報の通知）があるか否かを監視し（ステップＳ３０２）、報告があった場合には、その報告に係るステータス情報を取得する（ステップＳ３０３）。そして、ホストコンピュータ１０８は、このステータス情報に基づいて、各工場の産業用機器の保守を管理するためのトラブルデータベース（ＤＢ）を参照し、当該報告に係る産業用機器に関して、同一の症状が過去に発生したことがあるか否か、すなわち、同一の症状がトラブルデータベース（後述の５０１）に登録されているか否かを調査する（ステップＳ３０４）。
【００２５】
その結果、登録されている場合（ステップＳ３０４において“ｙｅｓ”）には、更に、その症状に対する対処法がトラブルデータベースに登録されているか否かを判断（ステップＳ３０６）し、登録されている場合には、その登録された対処法に関する応答情報（例えば、対処法を示すコード情報やメッセージ、対処用のプログラムやデータ等）を、トラブルの報告に係る工場のホストコンピュータ１０７にインターネット１０５を介して通知する（ステップＳ３０７）。
【００２６】
応答情報の通知を受けた工場側のホストコンピュータ１０７は、その応答情報に基づいて、可能な場合には、自動で該当する産業用機器を正常な状態に復帰させ、それが不可能な場合には、例えば、ディスプレイ等に当該産業用機器のオペレータに対するメッセージを出力する。
【００２７】
次いで、ホストコンピュータ１０８は、ベンダ１０１側の担当者に対して、トラブル発生の事実、トラブルの内容（ステータス情報）、対処法（応答情報）の通知の有無、現在の状態その他の関連する情報を報告する。この報告は、例えば、コンピュータ１１０のディスプレイに表示すると共に、ベンダ担当者のメールアドレス宛に、ホストコンピュータ１０８から自動的に報告の電子メールを送信して行なう。
【００２８】
ここで、ステップＳ３０４において、当該トラブルに係る症状と同一の症状がトラブルデータベースに登録されていないと判断した場合には、当該症状をトラブルデータベースに新規に登録した後にステップＳ３０８を実行する。
【００２９】
オペレータへの報告（ステップＳ３０８）が終ると、ホストコンピュータ１０８は、トラブルデータベースを更新する（ステップＳ３０９）。この更新により、例えば、対処法（応答情報）の送信の有無や、トラブルの報告を受けた時間等がトラブルデータベースに登録される。
【００３０】
図４は、ステップＳ３０８で報告を受けた保守部門の担当者が取り得る措置の流れの一例を示す図である。先ず、担当者は、トラブルデータベースを参照して、トラブルの内容を把握し、対処が必要であるか否かを判断する（ステップＳ４０２）。そして、対処の必要がない場合（例えば、ステップＳ３０７で適正な対処法を該当する工場に通知している場合）には、例えばトラブルの再現に備えてインターネット１０５を介して該当する産業用機器１０６の稼動状態を監視する（ステップＳ４０４）。
【００３１】
一方、対処が必要な場合（ステップＳ４０３において“Ｎｏ”）には、担当者は、トラブルデータベースに蓄積された情報等を参照して最適な対処方針を選択する（ステップＳ４０３）。
【００３２】
この対処方針としては、先ず、インターネット１０５を介してオンラインでトラブルを解決することが考えられる（ステップＳ４０７）。この一例として、トラブルの原因がソフトウェアの誤りに起因する場合が挙げられる。この場合、該当する産業用機器のメモリ内のパラメータやプログラムをインターネット１０５及び工場側のホストコンピュータ１０７を介してオンラインで修正することも可能である。
【００３３】
他の対処方針としては、電子メール、ファクシミリ、電話等の手段により、工場のオペレータに対して、トラブルの解決方法を指示することが考えられる（ステップＳ４０６）。
【００３４】
ステップＳ４０５及びＳ４０６のいずれの方法でも対処不能な重大なトラブルの場合には、工場を訪問して対処することになる（ステップＳ４０５）。
【００３５】
対処が完了したら、担当者は、ホストコンピュータ１０８又はコンピュータ１１０を操作することにより、当該トラブルに関する情報に基づいてトラブルデータベースを更新する（ステップＳ４０８）。
【００３６】
次に、ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８に備えられたトラブルデータベースに関して説明する。ＬＡＮ１０９を介してホストコンピュータ１０８に接続された各コンピュータ１１０さらにはインターネットを介して接続された各工場の産業用機器１０６のコンソールは、専用又は汎用のブラウザソフトを内蔵しており、これにより、例えば図５に一例を示す様な画面のユーザインターフェースを構成している。
【００３７】
ベンダ又は各工場のオペレータは、図５に一例を示す画面を参照しながら、産業用機器の機種（４０１）、シリアルナンバー（４０２）、トラブルの件名（４０３）、発生日（４０４）、緊急度（４０５）、症状（４０６）、対処法（４０７）、経過（４０８）等の情報を入力することができる。なお、前述のように、トラブルデータベースへの情報の入力は、ホストコンピュータ１０８により自動的に実行される場合もある。
【００３８】
図５に示す画面に係るブラウザソフトは、ハイパーリンク機能（４１０〜４１２）を有し、これによりベンダの各部門の要員や工場のオペレータは、例えば、各項目の更に詳細な情報にアクセスしたり、ソフトウェアのライブラリから最新バージョンのソフトウェアを引出したり、工場のオペレータの参考に供する操作ガイド（補助情報）を引出したりすることができる。
【００３９】
上記のようにベンダ１０１側の各部門、例えば保守部門、製造部門、開発部門の要員は、ＬＡＮ１０９を介してホストコンピュータ１０８に接続されたコンピュータ１１０を用いてトラブルデータベースにアクセスすることができる。また、このトラブルデータベースには、外回りの保守要員もインターネット１０５を介して携帯端末等によりアクセスすることができる。これによって、ベンダの各部門の情報を一元的に管理することができ、各部門において、常に最新の情報を入手することができる。
【００４０】
また、トラブルデータベースの一部の情報をユーザ（工場）側に開放することにより、ユーザは、過去に蓄積された様々な保守情報をインターネットを介して入手し、自らがトラブルに対して適切な対処を採ることができる。このように、この実施の基体においては、ベンダ及び複数のユーザ間で保守情報を共有化することにより、保守の効率を飛躍的に高めている。
【００４１】
さらに、この実施の形態では、第三者がインターネットを介してトラブルデータベースをアクセスすることにより機密情報を入手することを禁止するための通信セキュリティシステムを備えている。
【００４２】
すなわち、このシステムでは、ファイアーウォールを設けて、パスワードによる認証に加えて、アクセスを許可するコンピュータを予めベンダ１０１のホストコンピュータ１０８に登録することにより、登録したコンピュータ以外のコンピュータによるアクセスを禁止している。
【００４３】
図６は、この実施の形態に係る通信セキュリティシステムの構成を示す図である。ユーザがブラウザ５００を用いてベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８のトラブルデータベース５０１にアクセスする際の通信は、暗号化されたパケット通信によって行われる。両ホストコンピュータ１０７，１０８は、暗号・復号器５０２，５０４を及び通信コントローラ５０３，５０５を夫々備えている。暗号・復号のアルゴリズムは、各工場（ユーザ）毎に個別に設け（ベンダ側の暗号・復号器は複数のアルゴリズムに対応させる）、更に、この暗号・復号のアルゴリズムを定期的に変更することにより、セキュリティを高めることができる。
【００４４】
以上のように本実施形態のシステムにおいては、既存のインフラであるインターネット及びその通信プロトコル、さらにはインターネットアクセス用のソフトウェアを活用して産業用機器の保守情報を通信するようにしたので、専用通信ラインの敷設や新たなソフトウェア開発の負担などを軽減し、迅速で低コストな遠隔保守システムの構築を可能としている。
【００４５】
また、産業用機器を設置した複数の工場と、ベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、さまざまな保守情報を集中的に管理して情報を共有化することで、生産拠点を超えて過去のトラブルの経験を生かすことができ、トラブルに対して迅速に対応することができる。特に、異なるユーザー企業間でも保守情報を共有するようにすれば、産業全体の効率化向上にも貢献することができる。
【００４６】
＜産業用機器の遠隔保守システムの第２の実施形態＞
図７は本発明の第２の実施形態の産業用機器保守システムの概念図である。先の実施形態では、それぞれが産業用機器を備えた複数のユーザー工場と、該産業用機器のベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、該通信手段を介して各工場の産業用機器の保守情報を通信するものであったが、本実施形態では、更に加えて複数のベンダーの産業用機器を備えた工場と、該複数の産業用機器のそれぞれのベンダーの管理システムとをインターネットを利用した通信手段で接続して、該通信手段を介して各産業用機器の保守情報を通信するものである。
【００４７】
図７において、201は産業用機器ユーザー（半導体デバイス製造メーカー）の生産工場であり、工場の生産ラインには半導体デバイス製造用装置である露光装置202、塗布現像装置203、熱処理装置204などが導入されている。なお図７では生産工場２０１は１つだけ描いているが、実際は複数の工場が同様にネットワーク化されている。これらの各装置はＬＡＮ206（イントラネット）で接続され、生産管理用ホストコンピュータ205でラインの稼動管理されている。一方、露光装置メーカー210、塗布現像装置メーカー220、熱処理装置メーカー230などベンダー（装置供給メーカー）の各事業所には、それぞれ供給機器の遠隔保守を行なうためのホスト管理システム211,221,231を備えている。そして、ユーザーの生産工場内の各装置を管理するホストコンピュータ205と、各装置のベンダーの管理システム211,221,231とは、通信手段であるインターネット200によって接続されている。なお、各ベンダー２１０，２２０，２３０では、先の図１の例で説明したように、複数のユーザーの工場内の自分が供給した装置の保守を集中管理している。
【００４８】
このシステムにおいて、生産ラインの一連の生産機器の中のどれかにトラブルが起きると、生産ラインの稼動が止まってしまうが、トラブルが起きた機器のベンダーからインターネット２００を介した遠隔保守を受けることで迅速な対応が可能で、生産ラインの休止を最小限に抑えることができる。各ベンダーのホスト管理システムは上記第１の実施形態で説明したようなトラブルデータベースを備え、保守情報が蓄積されている。また、生産工場と各ベンダーとの通信には異なる通信セキュリティシステムを備え機密の漏洩を防止している。具体的な保守の内容や方法は、第１の実施形態と同様であるので詳しい説明は省略する。
【００４９】
以上のように本実施形態のシステムにおいては、複数のベンダーの産業用機器を生産ラインに持つ同一又は異なるユーザーの複数の工場と、各ベンダーの管理システムとを通信手段で接続して保守情報を通信するようにしたので、生産中にある機器でトラブルが生じても対応するベンダーから迅速な保守を受けることが可能で、ラインが止まる時間を最小限に抑えて生産効率を高めることができる。特に、異なるユーザー企業同士あるいは異なるベンダー企業同士でも保守情報を共有するようにすれば、産業全体の効率化向上にも貢献することができる。
【００５０】
＜半導体デバイス生産方法の実施形態＞
次に上記説明した遠隔保守システムを利用した設備における半導体デバイスの生産方法の例を説明する。
【００５１】
図８は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ２（マスク製作）では設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これを出荷（ステップ７）する。前工程と後工程はそれぞれ専用の別の工場で行い、これらの工場毎に上記説明した遠隔保守システムによって保守がなされる。
【００５２】
図９は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。各工程で使用する生産機器は上記説明した遠隔保守システムによって保守がなされているので、トラブルを未然に防ぐと共に、もしトラブルが発生しても迅速な復旧が可能で、従来に比べて半導体デバイスの生産性を向上させることができる。
【００５３】
【発明の効果】
以上本発明によれば、遠隔地に設置された機器であっても迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システムおよび方法、ならびに該システムを利用したデバイス生産方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。
【図２】ユーザ（工場）側に設置された監視装置としてのホストコンピュータの動作を示すフローチャートである。
【図３】ベンダー側に設置された管理装置としてのホストコンピュータの動作を示す図である。
【図４】保守部門の担当者が取り得る措置の一例を示す図である。
【図５】トラブルデータベースのユーザインターフェースである入力画像の一例を示す図である。
【図６】通信セキュリティシステムの構成を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。
【図８】半導体デバイスの製造フローを示す図である。
【図９】ウェハプロセスを示す図である。
【符号の説明】
１０１ ベンダーの事業所
１０２〜１０４ ユーザーの生産工場
１０５ インターネット
１０６ 産業用機器
１０７ 各工場（ユーザー）のホストコンピュータ
１０８ ベンダーのホストコンピュータ
１０９ ＬＡＮ
１１０ ベンダーの各部門のコンピュータ
２００ インターネット
２０１ ユーザーの生産工場
２０２ 露光装置
２０３ 塗布現像装置
２０４ 熱処理装置
２０５ 生産管理用ホストコンピュータ
２０６ ＬＡＮ
２１０ 露光装置メーカー事業所
２１１ ホスト管理システム
２２０ 塗布現像装置メーカーの事業所
２２１ ホスト管理システム
２３０ 熱処理装置メーカーの事業所
２３１ ホスト管理システム
Claims (11)
- イントラネットに接続された、産業用機器の遠隔保守システムであって、
産業用機器を監視する監視装置から、インターネットおよび前記イントラネットを介して、前記産業用機器の異常状態の情報を受信する受信手段と、
前記異常状態の情報と、該異常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースと、
前記受信手段により受信された異常状態の情報に対する対処方法の情報が前記データベースに登録されているか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていると判断された場合、該対処方法の情報を、前記イントラネットおよびインターネットを介して前記監視装置に向けて送信する第１の送信手段と、
前記第１の送信手段により前記対処方法の情報が送信された後、または前記判断手段により前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていないと判断された場合、前記受信手段により受信された異常状態の情報を含む情報を、前記イントラネットに接続されたコンピュータに向けて送信する第２の送信手段と
を有することを特徴とする遠隔保守システム。 - 前記第１の送信手段は、前記対処方法の情報として、前記対処方法を示すコードの情報およびメッセージ、ならびに対処用のプログラムおよびデータの少なくとも１つを送信することを特徴とする請求項１に記載の遠隔保守システム。
- 複数の監視装置からの異常状態の情報に基づき複数の産業用機器の遠隔保守を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の遠隔保守システム。
- 前記監視装置との間の通信データを暗号化・復号化するための暗号化・復号化手段をさらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の遠隔保守システム。
- 前記監視装置を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の遠隔保守システム。
- 前記産業用機器は半導体デバイス製造装置であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の遠隔保守システム。
- イントラネットに接続されたシステムによる、産業用機器の遠隔保守方法であって、
産業用機器を監視する監視装置から、インターネットおよび前記イントラネットを介して、前記産業用機器の異常状態の情報を受信する受信ステップと、
前記異常状態の情報と、該異常状態への対処方法の情報とを記録するデータベースに、前記受信ステップで受信された異常状態の情報に対する対処方法の情報が登録されているか否かを判断する判断ステップと、
前記判断ステップで前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていると判断された場合、該対処方法の情報を、前記イントラネットおよびインターネットを介して前記監視装置に向けて送信する第１の送信ステップと、
前記第１の送信ステップで前記対処方法の情報が送信された後、または前記判断ステップで前記対処方法の情報が前記データベースに登録されていないと判断された場合、前記受信ステップで受信された異常状態の情報を、前記イントラネットに接続されたコンピュータに向けて送信する第２の送信ステップと
を有することを特徴とする遠隔保守方法。 - 前記第１の送信ステップにおいて、前記対処方法の情報として、前記対処方法を示すコードおよびメッセージ、ならびに対処用のプログラムおよびデータの少なくとも１つの情報を送信することを特徴とする請求項７に記載の遠隔保守方法。
- 複数の監視装置からの異常状態の情報に基づき複数の産業用機器の遠隔保守を行うことを特徴とする請求項７または８に記載の遠隔保守方法。
- 前記監視装置との間の通信データを暗号化・復号化することを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の遠隔保守方法。
- 前記産業用機器は半導体デバイス製造装置であることを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載の遠隔保守方法。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16723397A JP3919294B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
| TW090112674A TWI249760B (en) | 1996-07-31 | 1997-07-21 | Remote maintenance system |
| US08/902,160 US6385497B1 (en) | 1996-07-31 | 1997-07-29 | Remote maintenance system |
| EP06075184A EP1672452A2 (en) | 1996-07-31 | 1997-07-30 | Remote maintenance system |
| EP97305732A EP0822473B1 (en) | 1996-07-31 | 1997-07-30 | Remote maintenance system |
| KR1019970036434A KR100294714B1 (ko) | 1996-07-31 | 1997-07-31 | 원격보수시스템,이를구성하는감시장치및원격보수방법 |
| US09/988,572 US6892109B2 (en) | 1996-07-31 | 2001-11-20 | Remote maintenance system |
| US09/988,573 US6963786B2 (en) | 1996-07-31 | 2001-11-20 | Remote maintenance system |
| TW092105891A TWI246708B (en) | 1996-07-31 | 2003-03-18 | Remote maintenance system |
| US11/117,455 US7062343B2 (en) | 1996-07-31 | 2005-04-29 | Remote maintenance system |
| US11/438,440 US7805279B2 (en) | 1996-07-31 | 2006-05-23 | Remote maintenance system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16723397A JP3919294B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005329162A Division JP2006146915A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1115520A JPH1115520A (ja) | 1999-01-22 |
| JP3919294B2 true JP3919294B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=15845929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16723397A Expired - Fee Related JP3919294B2 (ja) | 1996-07-31 | 1997-06-24 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3919294B2 (ja) |
Families Citing this family (60)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3572571B2 (ja) | 1999-06-30 | 2004-10-06 | 富士通株式会社 | 複数階層管理システム及びローカル監視装置 |
| SE9904035L (sv) * | 1999-11-08 | 2001-05-09 | Id Network Ab | Kommunikation |
| KR20020075111A (ko) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | 썬스타 특수정밀 주식회사 | 네트워크 기반의 고장 진단 시스템 및 방법, 그 프로그램소스를 기록한 기록매체 |
| JP3870002B2 (ja) | 2000-04-07 | 2007-01-17 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
| US6697695B1 (en) * | 2000-04-25 | 2004-02-24 | Komatsu Ltd. | Laser device management system |
| JP2001326151A (ja) | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Nec Corp | 半導体集積回路製作システム |
| JP2001350511A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-21 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 製造ラインのリモートメンテナンスシステム |
| KR20010112879A (ko) * | 2000-06-15 | 2001-12-22 | 김복수 | 웹 기반 설비 고장 진단 및 제어 시스템을 이용한 설비애프터서비스 방법 |
| KR100385097B1 (ko) * | 2000-06-27 | 2003-05-22 | 김태수 | 인터넷을 이용한 스페어 파트 관리 보험 서비스 시스템 및그 운용방법 |
| JP2002027567A (ja) | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置のリモート操作システム、半導体製造装置および遠隔操作装置 |
| JP4488607B2 (ja) * | 2000-08-22 | 2010-06-23 | 出光興産株式会社 | コンビナートにおける用役共有管理システム |
| JP4798891B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP3689767B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2005-08-31 | 株式会社日立製作所 | 火力発電プラント保守サービス提供方法 |
| US6879940B1 (en) | 2000-09-28 | 2005-04-12 | Credence Systems Corporation | Method and apparatus for remotely testing semiconductors |
| CN1402879A (zh) * | 2000-09-28 | 2003-03-12 | 株式会社东芝 | 制造设备、制造设备的控制方法、制造设备的控制系统、其中记录有制造设备的控制程序的计算机可读记录介质及制造设备的控制程序 |
| JP2002163016A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Canon Inc | 産業用機器の管理システム及び管理方法 |
| JP2002202811A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Yamatake Building Systems Co Ltd | 設備データモニタリング方法及び装置 |
| JP2008077684A (ja) * | 2001-01-22 | 2008-04-03 | Tokyo Electron Ltd | 機器の生産性を向上させる方法 |
| JPWO2002057860A1 (ja) | 2001-01-22 | 2004-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 機器の生産性向上システム及びその方法 |
| KR20010067604A (ko) * | 2001-02-21 | 2001-07-13 | 이동헌 | 설비 관리 장치 및 방법 |
| JP2002289506A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Nikon Corp | 基板処理装置 |
| JP4627919B2 (ja) * | 2001-04-13 | 2011-02-09 | 株式会社スター精機 | 成形不良監視システム |
| JP4280003B2 (ja) | 2001-05-31 | 2009-06-17 | 株式会社日立製作所 | 遠隔保守方法および産業用機器 |
| TWI244603B (en) | 2001-07-05 | 2005-12-01 | Dainippon Screen Mfg | Substrate processing system for managing device information of substrate processing device |
| JP4071461B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2008-04-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
| JP2003022955A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Canon Inc | 露光装置 |
| JP2003022963A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Canon Inc | 露光装置 |
| US20040186622A1 (en) | 2001-07-12 | 2004-09-23 | Takashi Aiuchi | Wafer processing apparatus and transfer device adjustment system |
| US6839613B2 (en) * | 2001-07-17 | 2005-01-04 | General Electric Company | Remote tuning for gas turbines |
| JP4696422B2 (ja) * | 2001-08-06 | 2011-06-08 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 管理装置、管理方法、及びプログラム |
| JP2003066053A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Techno Medica Co Ltd | エラー管理機能を備えた採血管自動準備システム |
| JP2003075300A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Tsubasa System Co Ltd | 車輌の診断項目表作成装置 |
| KR100448668B1 (ko) * | 2001-09-06 | 2004-09-13 | 주식회사 케이디파워 | 산업시설 관리 시스템 |
| JP2003084189A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Canon Inc | オートフォーカス検出方法および投影露光装置 |
| JP5002100B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 焦点位置検出方法及び焦点位置検出装置 |
| JP4707903B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2011-06-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システムおよび基板処理装置管理方法 |
| KR20030042593A (ko) * | 2001-11-23 | 2003-06-02 | (주)수도프리미엄엔지니어링 | 원격지서버를 이용한 기계설비장치 제어시스템 및 그제어방법 |
| JP2003223521A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-08-08 | Mitsubishi Electric Corp | 設備管理システム及び設備管理方法 |
| JP2003292298A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-15 | Toyota Industries Corp | 産業車両 |
| WO2003086028A1 (fr) | 2002-04-05 | 2003-10-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Procede et appareil de controle de tube a rayons x |
| AU2003236267A1 (en) | 2002-04-05 | 2003-10-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube adjustment apparatus, x-ray tube adjustment system, and x-ray tube adjustment method |
| JP4299996B2 (ja) | 2002-05-29 | 2009-07-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 遠隔保守システムおよび遠隔保守方法 |
| JP2004013716A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Mori Seiki Co Ltd | 稼動データ蓄積・送信装置、稼動管理装置及び稼動管理システム |
| JP2004140162A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-05-13 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子回路部品実装機のメンテナンス方法，電子回路部品実装機の運転状況監視方法および電子回路生産支援システム |
| KR20040036980A (ko) * | 2002-10-25 | 2004-05-04 | (재)광주.전남 테크노파크 | 기계 상태 감시 시스템 및 그 서버 |
| CN100347553C (zh) * | 2003-06-02 | 2007-11-07 | 纬创资通股份有限公司 | 工厂自动化测试方法及系统 |
| US7502068B2 (en) * | 2004-06-22 | 2009-03-10 | International Business Machines Corporation | Sensor for imaging inside equipment |
| JP4579594B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2010-11-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 半導体製造検査装置の遠隔保守システムおよび遠隔保守方法 |
| KR20070055558A (ko) * | 2004-08-25 | 2007-05-30 | 티에치케이 가부시끼가이샤 | 리모트 유지 보수 시스템 |
| KR100679118B1 (ko) | 2005-05-19 | 2007-02-06 | 이경수 | 설비의 최적관리기법을 이용한 시설자산관리 및 에이에스피서비스 제공시스템 및 그 방법 |
| JP4735428B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2011-07-27 | ムラテックオートメーション株式会社 | 無人搬送台車制御システム |
| KR100824059B1 (ko) * | 2006-09-14 | 2008-04-24 | 김세호 | 접지저항 경년변화 측정시스템 |
| JP4867537B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2012-02-01 | 株式会社日立製作所 | 遠隔保守方法，産業用機器、および半導体装置 |
| JP4642817B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2011-03-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
| JP5124355B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2013-01-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 遠隔保守システム |
| JP6097594B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-03-15 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 製造装置およびパラメータ変更方法 |
| EP3579068A4 (en) * | 2017-02-06 | 2020-04-15 | Fuji Corporation | LABOR MANAGEMENT DEVICE |
| JP7059105B2 (ja) * | 2018-05-18 | 2022-04-25 | キヤノン株式会社 | データ処理装置、データ処理方法、プログラム、およびデータ処理システム |
| JP6849029B2 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-24 | 株式会社安川電機 | データ収集システム、データ収集方法、及びプログラム |
| EP3786750B1 (en) | 2019-08-30 | 2024-02-28 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Data collection system, data collection method, and program |
-
1997
- 1997-06-24 JP JP16723397A patent/JP3919294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1115520A (ja) | 1999-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050531 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050913 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051114 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060704 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060830 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061114 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070109 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070130 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070213 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140223 Year of fee payment: 7 |
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