JPH1115520A

JPH1115520A - 産業用機器の遠隔保守システム

Info

Publication number: JPH1115520A
Application number: JP16723397A
Authority: JP
Inventors: Nobuaki Ogushi; 信明大串; Masaya Ogura; 真哉小倉; Yoshito Yoneyama; 好人米山; Hirohisa Ota; 裕久太田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-06-24
Filing date: 1997-06-24
Publication date: 1999-01-22
Anticipated expiration: 2017-06-24
Also published as: JP3919294B2

Abstract

(57)【要約】【課題】遠隔地の機器であっても地域を問わず迅速且
つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保守システ
ムを提供すること。【解決手段】各工場１０２〜１０４に、夫々産業用機
器１０９の監視用のホストコンピュータ１０７を備え、
このホストコンピュータ１０７をベンダ１０１側の管理
用のホストコンピュータ１０８とインターネット１０５
を介して接続する。工場側のホストコンピュータ１０７
は、産業用機器１０６のトラブルの発生を検知し、その
症状を示すステータス情報をベンダ側に通知し、これに
応答してベンダ側のホストコンピュータ１０８は、その
症状に対応した対処を示す応答情報を工場側に通知す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体生産
用機器などの保守を必要とする産業用機器の遠隔保守シ
ステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、保守を必要とする産業用機器、た
とえば半導体デバイスの製造用の機器のトラブル対応や
定期メンテナンスなどの保守は、保守要員がトラブル発
生時に電話やファクシミリで対応したり、定期的もしく
は緊急に保守要員が機器設置工場に赴いて、保守を行っ
ていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
半導体生産投資の急増は、生産用機器の設置数の伸びに
対して保守要員が慢性的に不足した状況を作り出しつつ
ある。また、生産体制の世界的な広がりによって、より
低コストな地域を目指して生産拠点が国内、海外各所の
遠隔地に点在している。このような状況変化によって、
従来に比べてトラブル対処や定期保守に対して迅速な対
応が困難になりつつあり、これをいかに解決するかが大
きな課題となっている。また、生産拠点の拡散に伴っ
て、保守情報が各生産拠点にとどまって生産拠点を超え
た情報の共有化が希薄になり、過去のトラブルの経験が
生かしにくいという課題もある。

【０００４】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
もので、遠隔地に設置された機器であっても地域を問わ
ず迅速且つ確実な保守を可能とする産業用機器の遠隔保
守システムを提供することを目的とする。また、該シス
テムを利用した優れた生産方法を提供することを目的と
する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の好ましい形態は、遠隔地の産業用機器を保守する遠
隔保守システムであって、１又は複数の産業用機器の稼
動状態を監視する監視手段と、インターネットを介して
前記監視手段との間で産業用機器の保守に関する情報を
通信しながら産業用機器の保守を管理する管理手段と、
を備えることを特徴とする遠隔保守システムである。

【０００６】本発明の別の形態は、遠隔地の産業用機器
を保守する遠隔保守システムを構成するために、産業用
機器側に設けられる監視装置であって、１又は複数の産
業用機器のトラブルの発生を検知し、そのトラブルの症
状を示すステータス情報を取得する取得手段と、前記取
得手段により取得したステータス情報を、インターネッ
トを介して、産業用機器の保守を集中管理する管理装置
に通知すると共に、その通知に応答して前記管理装置か
らインターネットを介して送られてくる応答情報を受信
する通信手段と、を備えることを特徴とする遠隔保守シ
ステムの監視装置である。

【０００７】本発明の別の形態は、遠隔地の産業用機器
を保守する遠隔保守システムを構成するために、ベンダ
ー側に設けられる管理装置であって、１又は複数の産業
用機器の稼動状態を監視する監視装置が設置された１又
は複数の工場の各監視手段とインターネットを介して通
信する通信手段と、前記通信手段により前記監視装置か
ら受信した産業用機器のトラブルの症状に関するステー
タス情報に基づいて、そのトラブルに対する対処法を決
定し、その決定した対処法に基づく応答情報を前記通信
手段により該当する監視装置に通知する対応手段と、を
備えることを特徴とする遠隔保守システムの管理装置で
ある。

【０００８】本発明の別の形態は、遠隔地の産業用機器
を保守する遠隔保守方法であって、第１の産業用機器を
供給する第１のベンダーと、第２の産業用機器を供給す
る第２のベンダーと、第１及び第２の産業用機器が設置
された第１の工場と、第１及び第２の産業用機器が設置
された第２の工場の、それぞれの間でインターネットを
介して保守情報を通信し、第１のベンダーは第１及び第
２の工場にそれぞれ設置された第１の産業用機器の保守
を集中管理し、第２のベンダーは第１及び第２の工場に
それぞれ設置された第２の産業用機器の保守を集中管理
することを特徴とする遠隔保守方法である。

【０００９】そして、この遠隔保守システムを利用して
半導体デバイスを生産する方法や、該方法で生産された
ことを特徴とするデバイスも本発明の範疇に含まれる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。

【００１１】＜産業用機器の遠隔保守システムの第１の
実施の形態＞図１は、本発明の好適な実施の形態に係る
産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。
１０１は、産業用機器を提供するベンダ（装置供給メー
カ）の事業所である。この実施の形態は、産業用機器と
して、半導体製造工場で使用する半導体製造装置、例え
ば、前工程用機器（露光装置、塗布現像装置、熱処理装
置等）や後工程用機器（組み立て装置、検査装置等）を
想定している。

【００１２】１０２〜１０４は、産業用機器のユーザと
しての半導体製造メーカの生産工場である。生産工場１
０２〜１０４は、互いに異なるメーカに属する工場であ
っても良いし、同一のメーカに属する工場（例えば、前
工程用の工場、後工程用の工場等）であっても良い。

【００１３】各工場１０２〜１０４には、夫々、複数の
産業用機器１０６と、それらを結ぶＬＡＮ（イントラネ
ット）１０９と、各産業用機器１０６の稼動状況を監視
する監視装置としてのホストコンピュータ１０７とが設
けられている。

【００１４】各工場１０２〜１０４に設けられたホスト
コンピュータ１０７は、世界的な規模で広がった通信手
段であるインターネット１０５を介してベンダ１０１側
の管理装置であるホストコンピュータ１０８に接続され
ている。ホストコンピュータ１０７は、このインターネ
ット１０５を介して、各産業用機器１０６の稼動状況を
示すステータス情報（例えば、トラブルが発生した産業
用機器の症状）を工場側からベンダ側に通知する他、そ
の通知に対応する応答情報（例えば、トラブルに対する
対処方法を指示する情報、対処用のプログラムやデー
タ）をベンダ側から受け取ることができる。なお、以下
では、ステータス情報及び／又は応答情報を保守情報と
いう。

【００１５】各工場１０２〜１０４とベンダ１０１との
間の通信および各工場内のＬＡＮでの通信には、インタ
ーネットで一般的に使用されているパケット通信プロト
コル（ＴＣＰ／ＩＰ）が使用される。

【００１６】ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０
８は、インターネット１０５を介して、ユーザの各工場
１０２〜１０４における産業用機器１０６の稼動状況を
時々刻々把握することができる。また、これらの稼動状
況や保守の状況などを示す保守情報は、ベンダ１０１の
各部門、例えば、保守部門の他、製造部門、開発部門の
コンピュータ１１０からも参照可能であり、これにより
保守情報を製造、開発部門へフィードバックすることが
できる。

【００１７】図２は、各工場に設置されたホストコンピ
ュータ１０７の動作を示すフローチャートである。ホス
トコンピュータ１０７は、このフローチャートに示す処
理を定期的に実行することにより、ＬＡＮ１０９を介し
て接続された複数（ｎ）台の産業用機器１０６の稼動状
況を定期的に監視する。そして、トラブルが発生してい
る場合には、ホストコンピュータ１０７は、トラブルの
症状その他のトラブルに関連するステータス情報を取得
して、それをインターネット１０５を介してベンダ１０
１側に通知する。

【００１８】図２のフローチャートに示す例では、ホス
トコンピュータ１０７は、監視対象の複数の産業用機器
１０６を第１〜第ｎの産業用機器として識別し管理す
る。そして、パラメータｉを順次インクリメントしなが
ら（ステップＳ２０７，Ｓ２０８）、第ｉの産業用機器
の稼動状況を監視し（ステップＳ２０３）、トラブルが
発生している場合には、該当する産業用機器から、その
稼動状態に関するステータス情報を取得し（ステップＳ
２０４）、そのステータス情報をインターネット１０５
を介してベンダ１０１側に報告する（ステップＳ２０
５）。そして、ステータス情報の報告に応答してベンダ
１０１側から送信されてくる応答情報に基づいて、可能
な場合（例えば、ソフトウェアの更新等によりトラブル
を解決可能な場合）には、ＬＡＮ１０９を介してトラブ
ルに係る産業用機器を自動で保守する（ステップＳ２０
６）。なお、トラブルの自動保守ができない場合には、
例えばディスプレイにその旨のメッセージを表示する。

【００１９】各産業用機器１０６は、ホストコンピュー
タ１０７からの要求に応じて、トラブルの発生の有無を
ホストコンピュータ１０７に通知し（ステップＳ２０３
に対応）、更にそのトラブルの内容を特定して、その特
定した内容を示すステータス情報（例えば、トラブルの
内容を示すエラーコード）をホストコンピュータ１０７
に通知する機能を有する（ステップＳ２０４に対応）。

【００２０】ステップＳ２０５において、ホストコンピ
ュータ１０７がベンダ１０１側に通知するステータス情
報には、例えば、トラブルが発生した産業用機器の機
種、シリアルナンバー、エラーコード、トラブルの発生
した時間等が含まれる。このエラーコードとトラブルの
内容との対応関係は、例えば、インターネット１０５を
介してベンダ１０１側のホストコンピュータ１０８から
随時更新することができる。

【００２１】なお、トラブルの内容が予め登録されてい
ない場合には、その旨を示すエラーコードをステータス
情報に含めれば良い。この場合は、オペレータがベンダ
側に電話、ファクシミリ、電子メール等の手段により詳
細な情報を知らせることになる。

【００２２】一方、ベンダ１０１側の管理装置であるホ
ストコンピュータ１０８は、各工場に設置されたホスト
コンピュータ１０７からの通信に対して、例えば２４時
間体制で待機する。図３は、ベンダ１０１側のホストコ
ンピュータ１０８の動作を示すフローチャートである。

【００２３】ベンダ１０１側のホストコンピュータ１０
８は、図３のフローチャートに示す処理を定期的に実行
することにより、各工場１０２〜１０４の産業機器１０
６の稼動状況を監視する。

【００２４】先ず、ホストコンピュータ１０８は、トラ
ブルの報告（ステータス情報の通知）があるか否かを監
視し（ステップＳ３０２）、報告があった場合には、そ
の報告に係るステータス情報を取得する（ステップＳ３
０３）。そして、ホストコンピュータ１０８は、このス
テータス情報に基づいて、各工場の産業用機器の保守を
管理するためのトラブルデータベース（ＤＢ）を参照
し、当該報告に係る産業用機器に関して、同一の症状が
過去に発生したことがあるか否か、すなわち、同一の症
状がトラブルデータベース（後述の５０１）に登録され
ているか否かを調査する（ステップＳ３０４）。

【００２５】その結果、登録されている場合（ステップ
Ｓ３０４において“ｙｅｓ”）には、更に、その症状に
対する対処法がトラブルデータベースに登録されている
か否かを判断（ステップＳ３０６）し、登録されている
場合には、その登録された対処法に関する応答情報（例
えば、対処法を示すコード情報やメッセージ、対処用の
プログラムやデータ等）を、トラブルの報告に係る工場
のホストコンピュータ１０７にインターネット１０５を
介して通知する（ステップＳ３０７）。

【００２６】応答情報の通知を受けた工場側のホストコ
ンピュータ１０７は、その応答情報に基づいて、可能な
場合には、自動で該当する産業用機器を正常な状態に復
帰させ、それが不可能な場合には、例えば、ディスプレ
イ等に当該産業用機器のオペレータに対するメッセージ
を出力する。

【００２７】次いで、ホストコンピュータ１０８は、ベ
ンダ１０１側の担当者に対して、トラブル発生の事実、
トラブルの内容（ステータス情報）、対処法（応答情
報）の通知の有無、現在の状態その他の関連する情報を
報告する。この報告は、例えば、コンピュータ１１０の
ディスプレイに表示すると共に、ベンダ担当者のメール
アドレス宛に、ホストコンピュータ１０８から自動的に
報告の電子メールを送信して行なう。

【００２８】ここで、ステップＳ３０４において、当該
トラブルに係る症状と同一の症状がトラブルデータベー
スに登録されていないと判断した場合には、当該症状を
トラブルデータベースに新規に登録した後にステップＳ
３０８を実行する。

【００２９】オペレータへの報告（ステップＳ３０８）
が終ると、ホストコンピュータ１０８は、トラブルデー
タベースを更新する（ステップＳ３０９）。この更新に
より、例えば、対処法（応答情報）の送信の有無や、ト
ラブルの報告を受けた時間等がトラブルデータベースに
登録される。

【００３０】図４は、ステップＳ３０８で報告を受けた
保守部門の担当者が取り得る措置の流れの一例を示す図
である。先ず、担当者は、トラブルデータベースを参照
して、トラブルの内容を把握し、対処が必要であるか否
かを判断する（ステップＳ４０２）。そして、対処の必
要がない場合（例えば、ステップＳ３０７で適正な対処
法を該当する工場に通知している場合）には、例えばト
ラブルの再現に備えてインターネット１０５を介して該
当する産業用機器１０６の稼動状態を監視する（ステッ
プＳ４０４）。

【００３１】一方、対処が必要な場合（ステップＳ４０
３において“Ｎｏ”）には、担当者は、トラブルデータ
ベースに蓄積された情報等を参照して最適な対処方針を
選択する（ステップＳ４０３）。

【００３２】この対処方針としては、先ず、インターネ
ット１０５を介してオンラインでトラブルを解決するこ
とが考えられる（ステップＳ４０７）。この一例とし
て、トラブルの原因がソフトウェアの誤りに起因する場
合が挙げられる。この場合、該当する産業用機器のメモ
リ内のパラメータやプログラムをインターネット１０５
及び工場側のホストコンピュータ１０７を介してオンラ
インで修正することも可能である。

【００３３】他の対処方針としては、電子メール、ファ
クシミリ、電話等の手段により、工場のオペレータに対
して、トラブルの解決方法を指示することが考えられる
（ステップＳ４０６）。

【００３４】ステップＳ４０５及びＳ４０６のいずれの
方法でも対処不能な重大なトラブルの場合には、工場を
訪問して対処することになる（ステップＳ４０５）。

【００３５】対処が完了したら、担当者は、ホストコン
ピュータ１０８又はコンピュータ１１０を操作すること
により、当該トラブルに関する情報に基づいてトラブル
データベースを更新する（ステップＳ４０９）。

【００３６】次に、ベンダ１０１側のホストコンピュー
タ１０８に備えられたトラブルデータベースに関して説
明する。ＬＡＮ１０９を介してホストコンピュータ１０
８に接続された各コンピュータ１１０さらにはインター
ネットを介して接続された各工場の産業用機器１０６の
コンソールは、専用又は汎用のブラウザソフトを内蔵し
ており、これにより、例えば図５に一例を示す様な画面
のユーザインターフェースを構成している。

【００３７】ベンダ又は各工場のオペレータは、図５に
一例を示す画面を参照しながら、産業用機器の機種（４
０１）、シリアルナンバー（４０２）、トラブルの件名
（４０３）、発生日（４０４）、緊急度（４０５）、症
状（４０６）、対処法（４０７）、経過（４０８）等の
情報を入力することができる。なお、前述のように、ト
ラブルデータベースへの情報の入力は、ホストコンピュ
ータ１０８により自動的に実行される場合もある。

【００３８】図５に示す画面に係るブラウザソフトは、
ハイパーリンク機能（４１０〜４１２）を有し、これに
よりベンダの各部門の要員や工場のオペレータは、例え
ば、各項目の更に詳細な情報にアクセスしたり、ソフト
ウェアのライブラリから最新バージョンのソフトウェア
を引出したり、工場のオペレータの参考に供する操作ガ
イド（補助情報）を引出したりすることができる。

【００３９】上記のようにベンダ１０１側の各部門、例
えば保守部門、製造部門、開発部門の要員は、ＬＡＮ１
０９を介してホストコンピュータ１０８に接続されたコ
ンピュータ１１０を用いてトラブルデータベースにアク
セスすることができる。また、このトラブルデータベー
スには、外回りの保守要員もインターネット１０５を介
して携帯端末等によりアクセスすることができる。これ
によって、ベンダの各部門の情報を一元的に管理するこ
とができ、各部門において、常に最新の情報を入手する
ことができる。

【００４０】また、トラブルデータベースの一部の情報
をユーザ（工場）側に開放することにより、ユーザは、
過去に蓄積された様々な保守情報をインターネットを介
して入手し、自らがトラブルに対して適切な対処を採る
ことができる。このように、この実施の基体において
は、ベンダ及び複数のユーザ間で保守情報を共有化する
ことにより、保守の効率を飛躍的に高めている。

【００４１】さらに、この実施の形態では、第三者がイ
ンターネットを介してトラブルデータベースをアクセス
することにより機密情報を入手することを禁止するため
の通信セキュリティシステムを備えている。

【００４２】すなわち、このシステムでは、ファイアー
ウォールを設けて、パスワードによる認証に加えて、ア
クセスを許可するコンピュータを予めベンダ１０１のホ
ストコンピュータ１０８に登録することにより、登録し
たコンピュータ以外のコンピュータによるアクセスを禁
止している。

【００４３】図６は、この実施の形態に係る通信セキュ
リティシステムの構成を示す図である。ユーザがブラウ
ザ５００を用いてベンダ１０１側のホストコンピュータ
１０８のトラブルデータベース５０１にアクセスする際
の通信は、暗号化されたパケット通信によって行われ
る。両ホストコンピュータ１０７，１０８は、暗号・復
号器５０２，５０４を及び通信コントローラ５０３，５
０５を夫々備えている。暗号・復号のアルゴリズムは、
各工場（ユーザ）毎に個別に設け（ベンダ側の暗号・復
号器は複数のアルゴリズムに対応させる）、更に、この
暗号・復号のアルゴリズムを定期的に変更することによ
り、セキュリティを高めることができる。

【００４４】以上のように本実施形態のシステムにおい
ては、既存のインフラであるインターネット及びその通
信プロトコル、さらにはインターネットアクセス用のソ
フトウェアを活用して産業用機器の保守情報を通信する
ようにしたので、専用通信ラインの敷設や新たなソフト
ウェア開発の負担などを軽減し、迅速で低コストな遠隔
保守システムの構築を可能としている。

【００４５】また、産業用機器を設置した複数の工場
と、ベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、
さまざまな保守情報を集中的に管理して情報を共有化す
ることで、生産拠点を超えて過去のトラブルの経験を生
かすことができ、トラブルに対して迅速に対応すること
ができる。特に、異なるユーザー企業間でも保守情報を
共有するようにすれば、産業全体の効率化向上にも貢献
することができる。

【００４６】＜産業用機器の遠隔保守システムの第２の
実施形態＞図７は本発明の第２の実施形態の産業用機器
保守システムの概念図である。先の実施形態では、それ
ぞれが産業用機器を備えた複数のユーザー工場と、該産
業用機器のベンダーの管理システムとを通信手段で接続
して、該通信手段を介して各工場の産業用機器の保守情
報を通信するものであったが、本実施形態では、更に加
えて複数のベンダーの産業用機器を備えた工場と、該複
数の産業用機器のそれぞれのベンダーの管理システムと
をインターネットを利用した通信手段で接続して、該通
信手段を介して各産業用機器の保守情報を通信するもの
である。

【００４７】図７において、201は産業用機器ユーザー
（半導体デバイス製造メーカー）の生産工場であり、工
場の生産ラインには半導体デバイス製造用装置である露
光装置202、塗布現像装置203、熱処理装置204などが導
入されている。なお図７では生産工場２０１は１つだけ
描いているが、実際は複数の工場が同様にネットワーク
化されている。これらの各装置はＬＡＮ206（イントラ
ネット）で接続され、生産管理用ホストコンピュータ20
5でラインの稼動管理されている。一方、露光装置メー
カー210、塗布現像装置メーカー220、熱処理装置メーカ
ー230などベンダー（装置供給メーカー）の各事業所に
は、それぞれ供給機器の遠隔保守を行なうためのホスト
管理システム211,221,231を備えている。そして、ユー
ザーの生産工場内の各装置を管理するホストコンピュー
タ205と、各装置のベンダーの管理システム211,221,231
とは、通信手段であるインターネット200によって接続
されている。なお、各ベンダー２１０，２２０，２３０
では、先の図１の例で説明したように、複数のユーザー
の工場内の自分が供給した装置の保守を集中管理してい
る。

【００４８】このシステムにおいて、生産ラインの一連
の生産機器の中のどれかにトラブルが起きると、生産ラ
インの稼動が止まってしまうが、トラブルが起きた機器
のベンダーからインターネット２００を介した遠隔保守
を受けることで迅速な対応が可能で、生産ラインの休止
を最小限に抑えることができる。各ベンダーのホスト管
理システムは上記第１の実施形態で説明したようなトラ
ブルデータベースを備え、保守情報が蓄積されている。
また、生産工場と各ベンダーとの通信には異なる通信セ
キュリティシステムを備え機密の漏洩を防止している。
具体的な保守の内容や方法は、第１の実施形態と同様で
あるので詳しい説明は省略する。

【００４９】以上のように本実施形態のシステムにおい
ては、複数のベンダーの産業用機器を生産ラインに持つ
同一又は異なるユーザーの複数の工場と、各ベンダーの
管理システムとを通信手段で接続して保守情報を通信す
るようにしたので、生産中にある機器でトラブルが生じ
ても対応するベンダーから迅速な保守を受けることが可
能で、ラインが止まる時間を最小限に抑えて生産効率を
高めることができる。特に、異なるユーザー企業同士あ
るいは異なるベンダー企業同士でも保守情報を共有する
ようにすれば、産業全体の効率化向上にも貢献すること
ができる。

【００５０】＜半導体デバイス生産方法の実施形態＞次
に上記説明した遠隔保守システムを利用した設備におけ
る半導体デバイスの生産方法の例を説明する。

【００５１】図８は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半
導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マ
イクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１
（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行なう。
ステップ２（マスク製作）では設計した回路パターンを
形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ
製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造す
る。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、
上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技
術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステ
ップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によ
って作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程
であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これを出荷（ステップ７）する。前工程と後工程は
それぞれ専用の別の工場で行い、これらの工場毎に上記
説明した遠隔保守システムによって保守がなされる。

【００５２】図９は上記ウエハプロセスの詳細なフロー
を示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化
させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁
膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上
に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン
打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５
（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステ
ップ１６（露光）では露光装置によってマスクの回路パ
ターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）
では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチ
ング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで
不要となったレジストを取り除く。これらのステップを
繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パ
ターンを形成する。各工程で使用する生産機器は上記説
明した遠隔保守システムによって保守がなされているの
で、トラブルを未然に防ぐと共に、もしトラブルが発生
しても迅速な復旧が可能で、従来に比べて半導体デバイ
スの生産性を向上させることができる。

【００５３】

【発明の効果】以上本発明によれば、産業用機器の遠隔
保守の通信手段として、世界的に網羅されたインターネ
ットを利用することにより、機器の設置地域を問わずに
少ない投資で有効な保守システムを構築することが可能
となる。

【００５４】また、産業用機器を設置したユーザー工場
と、ベンダーの管理システムとを通信手段で接続して遠
隔保守を行なうことで、トラブルに対して迅速に対応す
ることができ、保守情報の共有化によって保守能力の向
上も期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る産業用機器の
遠隔保守システムの概要を示す図である。

【図２】ユーザ（工場）側に設置された監視装置として
のホストコンピュータの動作を示すフローチャートであ
る。

【図３】ベンダー側に設置された管理装置としてのホス
トコンピュータの動作を示す図である。

【図４】保守部門の担当者が取り得る措置の一例を示す
図である。

【図５】トラブルデータベースのユーザインターフェー
スである入力画像の一例を示す図である。

【図６】通信セキュリティシステムの構成を示す図であ
る。

【図７】本発明の第２の実施の形態に係る産業用機器の
遠隔保守システムの概要を示す図である。

【図８】半導体デバイスの製造フローを示す図である。

【図９】ウェハプロセスを示す図である。

【符号の説明】

１０１ベンダーの事業所１０２〜１０４ユーザーの生産工場１０５インターネット１０６産業用機器１０７各工場（ユーザー）のホストコンピュータ１０８ベンダーのホストコンピュータ１０９ＬＡＮ１１０ベンダーの各部門のコンピュータ２００インターネット２０１ユーザーの生産工場２０２露光装置２０３塗布現像装置２０４熱処理装置２０５生産管理用ホストコンピュータ２０６ＬＡＮ２１０露光装置メーカー事業所２１１ホスト管理システム２２０塗布現像装置メーカーの事業所２２１ホスト管理システム２３０熱処理装置メーカーの事業所２３１ホスト管理システム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者太田裕久東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保守
システムであって、１又は複数の産業用機器の稼動状態を監視する監視手段
と、インターネットを介して前記監視手段との間で産業用機
器の保守に関する情報を通信しながら産業用機器の保守
を管理する管理手段と、を備えることを特徴とする遠隔保守システム。
【請求項２】請求項１記載の遠隔保守システムにおい
て、前記管理手段は、複数の工場に設置された各産業用
機器の保守を集中管理する。
【請求項３】請求項２記載の遠隔保守システムにおい
て、複数の工場は同一あるいは異なるユーザーの複数工
場であって、前記管理手段はベンダー側に備えられる。
【請求項４】請求項１記載の遠隔保守システムにおい
て、１工場内に複数種類の産業用機器が設置され、前記
管理手段は各産業用機器にそれぞれ対応して複数備えら
れている。
【請求項５】請求項４記載の遠隔保守システムにおい
て、複数の産業用機器は異なるベンダーが供給する機器
であって、前記管理手段はそれぞれ異なるベンダー側に
備えられる。
【請求項６】請求項１記載の遠隔保守システムにおい
て、前記管理手段から産業用機器に、産業用機器のソフ
トウェア又は機器操作のガイド情報をインターネットを
介して供給する手段を有する。
【請求項７】請求項１に記載の遠隔保守システムにお
いて、前記監視手段は、産業用機器のトラブルの発生を検知
し、そのトラブルの症状を特定するステータス情報を前
記管理手段に通知し、前記管理手段は、そのステータス情報に基づいて当該産
業用機器のトラブルに対する対処法を決定し、その決定
した対処法に基づく応答情報を前記監視手段に通知す
る。
【請求項８】請求項７に記載の遠隔保守システムにお
いて、前記監視手段は、前記管理手段から通知された応
答情報に基づいて産業用機器を保守する保守手段を有す
る。
【請求項９】請求項７に記載の遠隔保守システムにお
いて、前記管理手段は、前記産業用機器の保守に関する
情報を登録するデータベースを有し、該データベースに
は、産業用機器を識別する情報と、その産業用機器で発
生し得るトラブルの症状と、そのトラブルに対する対処
法とが関連付けて登録されており、前記管理手段は、前
記データベースを参照して、該当するトラブルに対する
対処法を決定する。
【請求項１０】請求項９に記載の遠隔保守システムに
おいて、前記管理手段は、前記監視手段との間で産業用
機器の保守に関する情報をやり取りする都度、その内容
に基づいて前記データベースを更新する自動更新手段を
有する。
【請求項１１】請求項１０に記載の遠隔保守システム
において、前記管理手段は、オペレータからの入力情報
に基づいて前記データベースを更新する手動更新手段を
更に有する。
【請求項１２】請求項９に記載の遠隔保守システムに
おいて、前記管理手段は、前記データベースに対してア
クセスすることを、産業用機器のユーザに許可するアク
セス許可手段を更に有する。
【請求項１３】請求項１２に記載の遠隔保守システム
において、前記管理手段は、前記産業用機器のユーザ以
外の者に対して、前記データベースへのアクセスを禁止
する通信セキュリティ手段を更に有する。
【請求項１４】請求項９に記載の遠隔保守システムに
おいて、前記監視手段は、前記管理手段が有する前記デ
ータベースにアクセスするアクセス手段を有する。
【請求項１５】請求項１に記載の遠隔保守システムに
おいて、産業用機器は半導体製造装置である。
【請求項１６】請求項１に記載の遠隔保守システムに
基づいて管理される半導体製造装置を用いて半導体デバ
イスを生産する方法。
【請求項１７】請求項１に記載の遠隔保守システムに
基づいて管理される半導体製造装置を用いて生産される
半導体デバイス。
【請求項１８】遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保
守システムを構成するために、産業用機器側に設けられ
る監視装置であって、１又は複数の産業用機器のトラブルの発生を検知し、そ
のトラブルの症状を示すステータス情報を取得する取得
手段と、前記取得手段により取得したステータス情報を、インタ
ーネットを介して、産業用機器の保守を集中管理する管
理装置に通知すると共に、その通知に応答して前記管理
装置からインターネットを介して送られてくる応答情報
を受信する通信手段と、を備えることを特徴とする遠隔保守システムの監視装
置。
【請求項１９】請求項１８に記載の監視装置におい
て、前記通信手段により前記管理装置から受信した応答
情報に基づいて、産業用機器を保守する保守手段を更に
備える。
【請求項２０】請求項１８に記載の遠隔保守システム
において、産業用機器は半導体製造装置である。
【請求項２１】遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保
守システムを構成するために、ベンダー側に設けられる
管理装置であって、１又は複数の産業用機器の稼動状態を監視する監視装置
が設置された１又は複数の工場の各監視手段とインター
ネットを介して通信する通信手段と、前記通信手段により前記監視装置から受信した産業用機
器のトラブルの症状に関するステータス情報に基づい
て、そのトラブルに対する対処法を決定し、その決定し
た対処法に基づく応答情報を前記通信手段により該当す
る監視装置に通知する対応手段と、を備えることを特徴とする遠隔保守システムの管理装
置。
【請求項２２】請求項２１に記載の管理装置におい
て、産業用機器の保守に関する情報を登録するデータベ
ースを更に備え、該データベースには、産業用機器を識
別する情報と、その産業用機器で発生し得るトラブルの
症状と、そのトラブルに対する対処法とが関連付けて登
録されており、前記対応手段は、該データベースを参照
して、該当するトラブルに対する対処法を決定する。
【請求項２３】請求項２１に記載の遠隔保守システム
において、前記監視手段との間で産業用機器の保守に関
する情報をやり取りする都度、その内容に基づいて前記
データベースを更新する自動更新手段を更に備える。
【請求項２４】請求項２２に記載の遠隔保守システム
において、オペレータからの入力情報に基づいて前記デ
ータベースを更新する手動更新手段を更に備える。
【請求項２５】請求項２１に記載の遠隔保守システム
において、前記データベースに対してアクセスすること
を、産業用機器のユーザに許可するアクセス許可手段を
更に有する。
【請求項２６】請求項２５に記載の遠隔保守システム
において、産業用機器のユーザ以外の者に対して、前記
データベースへのアクセスを禁止する通信セキュリティ
手段を更に有する。
【請求項２７】請求項２１に記載の遠隔保守システム
において、産業用機器は半導体製造装置である。
【請求項２８】遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保
守方法であって、第１の産業用機器を供給する第１のベンダーと、第２の
産業用機器を供給する第２のベンダーと、第１及び第２
の産業用機器が設置された第１の工場と、第１及び第２
の産業用機器が設置された第２の工場の、それぞれの間
でインターネットを介して保守情報を通信し、第１のベンダーは第１及び第２の工場にそれぞれ設置さ
れた第１の産業用機器の保守を集中管理し、第２のベンダーは第１及び第２の工場にそれぞれ設置さ
れた第２の産業用機器の保守を集中管理することを特徴
とする遠隔保守方法。
【請求項２９】請求項２８に記載の遠隔保守方法にお
いて、第１及び第２の工場は同一ユーザー又は異なるユ
ーザーの工場である。
【請求項３０】請求項２９に記載の遠隔保守方法であ
って、前記産業用機器は半導体製造装置である。