JP2008004112A - 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】障害の解析に必要となる基板処理装置の稼働情報を確実に保存することができる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１においては、種々のログがログファイル１６２として蓄積されている。基板処理装置１で障害が発生すると、アラーム処理部１２２はアラーム定義ファイル１６１を参照してログファイル１６２から必要な関連ログファイル２６２を抽出して情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４に格納する。そして、障害情報生成部１２３によって障害情報が生成され、最終的に障害情報ＤＢ２６１として情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４に記憶される。障害情報ＤＢ２６１においては、障害の発生装置と、障害内容と、抽出された関連ログファイル２６２と、が関連付けられて登録されている。これにより、障害の具体的な内容とともにその障害の原因を迅速に解析することができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置のネットワーク通信技術に関する。

基板に所定の処理を行う基板処理装置においては、常時、基板の処理工程情報やオペレータの操作情報など稼働についての各種情報をログファイルとして順次記録している。

このログファイルは、予め定められたイベントが発生するごとに発生した時間とともに記録されるようになっており、当該基板処理装置の稼働についての時系列の稼働情報を示すこととなる。このため、ログファイルの記録内容を参照することにより基板処理装置の過去における稼働の情報を事後的に確認することができる。特に基板処理装置の障害発生時には、このログファイルのうち障害が発生するまでの記録内容を参照することによって、障害の発生原因の解析を行うことが可能である。

ところで従来、基板処理装置において障害が発生した場合は、以下のような手順で障害の対応を行っていた。

１．基板処理装置のタワーランプやブザーで、オペレータは障害が発生したことを認知する。

２．オペレータは、障害が発生したことをベンダーのフィールドサポート担当者に電話等で連絡する。

３．連絡を受けたフィールドサポート担当者は、当該基板処理装置のある基板処理工場まで出向いて障害の状況を把握する。

４．フィールドサポート担当者がその場で障害に対して対応できない場合は、当該基板処理装置のログファイルを記録媒体に出力して取得するとともに、障害の具体的な状況を示す障害報告文書を作成する。

５．サポートセンター等の遠隔地にいる障害解析担当者に上記ログファイル及び障害報告文書を電子メールなどで送付する。

６．障害解析担当者が、ログファイル及び障害報告文書を参照して障害の発生原因を解析して、障害の対応策を検討する。

７．障害解析担当者からフィールドサポート担当者に、障害の解析結果及び対応策を連絡する。

このように、障害が発生した場合においても、ログファイルを参照することによって障害の原因を解析することができ、障害に対して適切な対応がとれるようになっている。

しかしながら、上記手順のうちログファイルによる障害の原因解析（上記６）以外の作業に時間を要しており、結果的に解析が完了して対応策が連絡されるまでに多大な時間を要していた。特に、基板処理装置の稼働を停止しなければならない障害が発生した場合は、対応策が連絡されるまで長時間にわたって当該装置を停止しなければならず基板の生産効率を大幅に下げてしまうといった問題があった。

また、障害発生からログファイルを取得するまでにも時間を要してしまっていた。このため、ログファイルのデータ量の最大値は予め定められていることから、ログファイルを取得した時点において障害の解析に必要となる記録内容が既に削除されてしまっている場合があった。これに対応するため、長時間にわたってログファイルを保存できるようにすると、障害発生時に取得するログファイルのデータ量が飛躍的に大きくなってしまい、障害解析担当者へのログファイルの送信や必要な記録内容の検索に多大な時間を要してしまう。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、障害の解析に必要となる基板処理装置の稼働情報を確実に保存することができる技術を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置と、前記基板処理装置の装置情報を処理するコンピュータとがネットワークに結合された基板処理システムにおいて、前記基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する稼働情報取得手段と、前記稼働情報取得手段によって取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、前記基板処理装置に障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、前記警告信号が発生したときに、発生した前記警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から抽出する抽出手段と、前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、前記障害情報を格納する格納手段と、前記格納手段に格納された前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、を備えることを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置情報に基づいた障害の対処情報を前記コンピュータから取得する対処情報登録部をさらに備えることを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る基板処理システムにおいて、前記警告信号と前記障害関連稼働情報とを対応付けたテーブルを記憶する記憶手段、をさらに備え、前記抽出手段は、前記テーブルを参照して前記障害関連稼働情報を抽出することを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る基板処理システムにおいて、前記稼働情報は、基板の処理工程についての時系列の情報を含んでいることを特徴とする。

また、請求項５の発明は、ネットワークを介して外部コンピュータと通信可能な基板処理装置において、前記基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する装置情報取得手段と、取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、前記警告信号が発生したときに、発生した前記警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から抽出する抽出手段と、前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、前記障害情報を格納する格納手段と、前記格納手段に格納された前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記外部コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、を備えることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係る基板処理装置において、前記装置情報に基づいた障害の対処情報を前記外部コンピュータから取得する対処情報登録部をさらに備えることを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項５または請求項６の発明に係る基板処理装置において、前記警告信号と前記障害関連稼働情報とを対応付けたテーブルを記憶する記憶手段、をさらに備え、前記抽出手段は、前記テーブルを参照して前記障害関連稼働情報を抽出することを特徴とする。

また、請求項８の発明は、請求項５から請求項７のいずれかの発明に係る基板処理装置において、前記稼働情報は、基板の処理工程についての時系列の情報を含んでいることを特徴とする。

また、請求項９の発明は、プログラムであって、基板処理装置に含まれるコンピュータによって実行されることにより、前記基板処理装置が請求項５ないし８のいずれかに記載の基板処理装置として動作することを特徴とする。

また、請求項１０の発明は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、請求項９に記載のプログラムを記録してあることを特徴とする。

また、請求項１１の発明は、複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の装置情報を蓄積する情報蓄積サーバと、前記複数の基板処理装置の障害の解析を行うためのサポートコンピュータと、をネットワークを介して接続した基板処理システムにおいて、前記複数の基板処理装置のそれぞれは、各基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する稼働情報取得手段と、前記稼働情報取得手段によって取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、前記警告信号が発生したときに、発生した前記警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から抽出する抽出手段と、前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、を備え、前記情報蓄積サーバは、前記複数の基板処理装置のそれぞれについての障害情報を格納する格納手段と、前記格納手段に格納された前記複数の基板処理装置のそれぞれについての前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記サポートコンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、基板処理装置の障害情報が蓄積された状態で閲覧できるため、遠隔地においても障害の具体的な内容を把握して適切な対応を行うことができる。また、障害情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、障害関連稼働情報とが関連づけられるため、障害の具体的な内容とともにその障害の原因を解析することができ、より適切な対応を行うことができる。

特に、請求項２および請求項６の発明によれば、基板処理装置の装置情報に基づいた障害の対処情報を、遠隔地から取得することができる。

特に、請求項３および請求項７の発明によれば、警告信号と障害関連稼働情報が関連づけられたテーブルが記憶されているため、このテーブルを参照することによって警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を自動的且つ容易に抽出することができる。

特に、請求項４および請求項８の発明によれば、基板はその処理工程において不備があった場合、工程がある程度進行してからでないと基板の欠陥が発見されないことが多いが、稼働情報として基板の処理工程についての時系列の情報を蓄積しているため、その欠陥が発生した原因とみられる処理工程上の不備を、時間が経過してからであっても的確に解析することができる。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。

＜１．システム全体構成＞
図１は、本発明の一の実施の形態に係る基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は主に、基板処理工場４に備えられた基板処理装置１及び情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１の障害の解析を行う障害解析担当者が配置されるサポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続された構成となっている。

基板処理システム１０においては、基板処理装置１のログファイルや障害情報を含む装置情報は情報蓄積サーバ２に蓄積されるようになっており、蓄積された装置情報はネットワーク６を介してサポートコンピュータ３において閲覧することができるようになっている。

基板処理工場４において、基板処理装置１と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３の相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称する場合は、単にネットワーク６と称することとする。

なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。

＜２．基板処理装置＞
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。

図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１は主に、装置全体の制御を行うシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を備えている。

システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、制御用のプログラムなどを記憶するＲＯＭ１０２、演算の作業領域となるＲＡＭ１０３、ログファイルなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、及び、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。

通信部１０５は、図示を省略するネットワークインターフェイスを介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施の形態では有線による通信方式が採用されている。

バスライン１９０には、複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからの各種情報の入力及び操作を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。

また、処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行うユニット単位での制御部である。すなわち、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、制御用のプログラムなどを記憶するＲＯＭ１１２、演算の作業領域となるＲＡＭ１１３、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４を備えている。

システム制御部１００のＲＯＭ１０２や記憶部１０４には、システム制御用プログラムが予め記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこのシステム制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５のＲＯＭ１１２や記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用プログラムが予め記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこのユニット制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。これらのプログラムに従って、システム制御部１００やユニット制御部１１５の演算処理により実現される機能については後述する。

なお、これらのプログラムは、読取装置１５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、所定のサーバ記憶装置などからネットワーク６を経由してのダウンロードによって取得及び更新することが可能となっている。プログラムのそれぞれにはバージョンがあり、プログラムを更新した際にはバージョンを識別する数値などのバージョン情報が変更される。基板処理装置１で実行されるプログラムそれぞれのバージョン情報は、システム制御部１００の記憶部１０４に記憶されている。

＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピュータ＞
情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。

情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からプログラムを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、所定のサーバー記憶装置からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶されたプログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。すなわち、このプログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３としての動作を行うこととなる。

＜４．システムの機能＞
図５は、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３のそれぞれのプログラムに従ってＣＰＵ等の演算処理により実現される機能を含めた、基板処理システム１０の機能構成の概略を示すブロック図である。

＜４−１．基板処理装置＞
基板処理装置１において図５に示す構成のうち、アラーム発生部１１７はプログラムに従ってユニット制御部１１５が演算処理することによって実現される機能である。また、ログ記録部１２１、アラーム処理部１２２及び障害情報生成部１２３は、プログラムに従ってシステム制御部１００が演算処理することによって実現される機能である。

アラーム発生部１１７は、処理ユニット１１０において何らかの障害が発生したときに、障害が発生したことを示す警告信号としてアラームを発生するものである。アラームには予め識別コードが割り当てられており、アラーム発生部１１７は、発生した障害に対応する識別コードを有するアラームを発生し、システム制御部１００へ送信を行う。

ログ記録部１２１は、処理ユニット１１０の稼働についての情報をログファイル１６２として記憶部１０４に記録するものである。ログファイル１６２には、予め定められた稼働に関するイベントが発生するごとに発生した時間とともにそのイベントの内容が記録される。ログファイル１６２は基板処理装置１の稼働についての時系列の情報を示す稼働情報であり、障害が発生した際には障害の原因を解析するための装置情報のひとつとなる。

ログファイル１６２は、基板位置ログ、プロセスログ、アラームログ、操作ログ及び通信ログなど複数種類あり、発生したイベントの内容に応じてログ記録部１２１により分類されて、それぞれ独立したファイルとして記録される。なお、これらのログファイル１６２のそれぞれには予め識別コードが割り当てられている。

基板位置ログは、処理を行った基板の基板処理装置１内の位置の時系列の情報を示すログファイル１６２である。具体的には、例えば基板が搬送された処理ユニット１１０の識別情報などである。基板位置ログは、搬送ロボットＴＲが基板を搬送するごとに、ログ記録部１２１で記録される。基板処理装置１で処理される基板はそれぞれ識別ＩＤが与えられ、基板位置ログはこの識別ＩＤとともに記録されるため、基板を特定して、どの基板が、いつ、どの位置に搬送されたかを事後的に確認することが可能である。

プロセスログは、各処理ユニット１１０で行われた実際の処理の内容・条件等の処理工程の時系列の情報を示すログファイル１６２である。具体的には、例えば加熱ユニットにおける加熱温度や加熱時間、塗布処理ユニットＳＣにおけるレジスト塗布量やレジスト濃度などである。プロセスログは、各処理ユニット１１０のユニット制御部１１５から基板の処理が行われるごとに、ログ記録部１２１に送信されて記録されることとなる。プロセスログにおいても、基板の識別ＩＤとともに記録されるため、基板を特定して、どの基板が、いつ、どの処理ユニット１１０において、どのような処理条件で処理されたかの処理工程を事後的に確認することが可能である。基板はその処理工程において何らかの不備があった場合、工程がある程度進行してからでないと基板の欠陥が発見されないことが多いが、プロセスログを確認することにより、その欠陥が発生したとみられる処理工程上の不備を事後的に把握することができるようになる。障害が発生したときに、このプロセスログを確実に保存するようにすれば、障害の原因の解析が容易になる。

アラームログは、発生したアラームの時系列の情報を示すログファイル１６２である。具体的には、アラームが発生した処理ユニット１１０の識別情報、アラームの識別コードなどである。アラームログは、アラームが発生するごとに、ログ記録部１２１で記録される。アラームログにより、どの処理ユニット１１０において、いつ、どのアラームが発生したかを事後的に確認することが可能である。

操作ログは、オペレータが操作部１４０を操作した操作内容の時系列の情報を示すログファイル１６２である。具体的には、基板処理装置１の起動指示や処理条件変更指示などである。操作ログは、オペレータの操作が行われるごとに、ログ記録部１２１で記録される。操作ログにより、いつ、どのような操作が行われたかを事後的に確認することが可能である。

通信ログは、基板処理装置１が通信部１０５を介して情報蓄積サーバ２などの外部装置との通信の時系列の情報を示すログファイル１６２である。具体的には、情報蓄積サーバ２に送信した情報の内容などである。通信ログは、通信部１０５で通信が行われるごとにログ記録部１２１で記録される。通信ログにより、いつ、どのような通信が行われたかを事後的に確認することが可能である。

アラーム処理部１２２は、アラーム発生部１１７からのアラームを受信し、当該アラームの識別コードに応じて動作制御を行うものである。この処理は、記憶部１０４に予め記憶されているアラーム定義ファイル１６１を参照することによって行われる。アラーム定義ファイル１６１は、処理ユニット１１０のカテゴリー（塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤ等）ごとに独立したファイルとして記憶されており、アラーム処理部１２２はアラームが発生した処理ユニット１１０に応じて適切なアラーム定義ファイル１６１を選択して参照するようになっている。

図６は、アラーム定義ファイル１６１の一例を示す図である。図に示すように、アラーム定義ファイル１６１は複数のフィールドを有したテーブルである。フィールドには、「アラームコード」「表示テキスト」「システム制御コード」「出力ログファイルコード」などが含まれている。

「アラームコード」は、発生したアラームに含まれる識別コードを示すフィールドである。他のフィールド（「表示テキスト」「システム制御コード」「出力ログファイルコード」など）は、この「アラームコード」に対応付けられている。アラーム処理部１２２は、受信したアラームの識別コードを「アラームコード」から検索し、当該識別コードに対応する他のフィールドに記載された内容に従って処理を行うこととなる。

「表示テキスト」は、障害の具体的な内容を文章として示すフィールドである。アラーム処理部１２２は、この「表示テキスト」に示された内容を表示部１３０に表示させる。これによりオペレータはどのような障害が発生したかを具体的な文章として把握することができる。

「システム制御コード」は、アラーム発生時における基板処理装置１の制御内容を示すフィールドである。具体的には、「システム制御コード」が「１」であれば基板処理装置１の稼働を停止する、「２」であれば基板処理装置１を強制再起動する、などの制御内容が予め割り当てられている。アラーム処理部１２２は「システム制御コード」の記載内容に従って動作制御を行うため、基板処理装置１は障害の種類に応じて適切な動作を行うこととなる。

「出力ログファイルコード」は、アラームの発生原因に関連するログファイルの識別コードを示すフィールドである。すなわち、障害の発生原因の把握に必要となるログファイル１６２の識別コードのみが選択的に記載されている。これにより、アラーム処理部１２２はアラームの発生原因に関連するログファイル１６２のみ（例えば、プロセスログと操作ログのみ）を容易に選択し、抽出することができる。なお以下、アラーム処理部１２２によって抽出されたアラームの発生原因に関連するログファイル１６２を、関連ログファイル２６２とも称する。

さらにアラーム処理部１２２は、関連ログファイル２６２をＬＡＮ４１を介して情報蓄積サーバ２に送信するようになっている。送信された関連ログファイル２６２は、情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４に記憶される。さらにアラーム処理部１２２は、障害情報生成部１２３に障害情報を生成するように指示を行う。

障害情報生成部１２３は、アラーム処理部１２２からの指示を受けて、発生した障害についての障害情報を生成する。つまり障害情報生成部１２３は、アラームが発生したときに障害情報を生成する手段となる。

障害情報は、関連ログファイル２６２とともに障害の原因を特定するための装置情報のひとつであり、「発生日時」「発生装置」「ユニット」「バージョン」「障害内容」「ログ」などの項目を備えている。

「発生日時」は、アラームの発生日時であり所定の計時回路から障害情報生成時に取得される。

「発生装置」は、障害の発生した基板処理装置１自身の識別情報である。基板処理工場４に配置される基板処理装置１のそれぞれには識別情報が予め割り振られており、記憶部１０４に記憶されている。

「ユニット」は、障害の発生した処理ユニット１１０の識別情報である。アラームの送信元となる処理ユニット１１０を示す。

「バージョン」は、障害の発生した処理ユニット１１０におけるユニット制御用プログラムのバージョン情報である。障害はプログラムの特定バージョンのみに発生することがあるため、バージョン情報により障害の原因を特定できる場合がある。

「障害内容」は、上記アラーム定義ファイル１６１の「表示テキスト」の内容であり、アラーム処理部１２２から取得される。

「ログ」は、関連ログファイル２６２の情報蓄積サーバ２における保存パスであり、アラーム処理部１２２から取得される。この項目により、障害情報と関連ログファイル２６２は関連付けられることとなる。

このように障害情報は、オペレータや障害解析担当者にとって発生した障害の内容を具体的かつ容易に把握することが可能な情報から構成される。障害情報生成部１２３は障害情報を生成すると、この障害情報をＬＡＮ４１を介して情報蓄積サーバ２に対して送信する。

＜４−２．情報蓄積サーバ＞
情報蓄積サーバ２は、基板処理工場４に配置される基板処理装置１の装置情報を蓄積するものである。図５に示す構成のうち、障害情報登録部２２４、メール送信部２２５、装置情報公開部２２６及び対処情報登録部２２７は、プログラムに従ってＣＰＵ２１が演算処理することによって実現される機能である。

障害情報登録部２２４は、基板処理装置１の障害情報生成部１２３から障害情報を受信すると、障害情報データベース（以下、「障害情報ＤＢ」）２６１に追加登録する。したがって、障害情報は障害情報ＤＢ２６１として固定ディスク２４に蓄積されることとなる。障害情報の追加登録時には、追加する障害情報の識別番号が自動的に障害情報登録部２２４によって生成される。

図７は、障害情報ＤＢ２６１の一例を示す図である。図に示すように、障害情報ＤＢ２６１は複数のフィールドを有しており、図においてフィールドＤ１〜Ｄ６には、障害情報の「発生日時」「発生装置」「ユニット」「バージョン」「障害内容」「ログ」の各項目がそれぞれ格納される。また生成された障害情報の識別番号は、「Ｎｏ．」と記されたフィールドＤ０に格納される。なお、「ログ」と記されたフィールドＤ６においては、関連ログファイル２６２の保存パスが格納されるため、障害情報ＤＢ２６１においても関連ログファイル２６２と関連付けられた状態となる。障害が発生する毎に障害情報ＤＢ２６１として障害情報が蓄積されていくため、障害情報ＤＢ２６１は発生した障害の情報とともに基板処理工場４において過去に発生した障害の履歴も示すこととなる。

また、障害情報登録部２２４は、障害情報ＤＢ２６１に新たな障害情報を追加登録した際に、基板処理装置１で障害が発生した旨をサポートコンピュータ３に対して通知するようにメール送信部２２５に指示する。

メール送信部２２５は、障害情報登録部２２４からの指示を受けて、障害が発生した旨を記載した電子メールをサポートコンピュータ３に送信するものである。つまりメール送信部２２５は、アラームが発生したときにネットワーク６を介してサポートコンピュータ３に障害が発生した旨を通知する手段となる。

装置情報公開部２２６は、固定ディスク２４に蓄積された障害情報ＤＢ２６１や関連ログファイル２６２などの装置情報をサポートコンピュータ３から閲覧可能にするものである。装置情報公開部２２６はＨＴＴＰサーバ機能を有しており、装置情報をＨＴＭＬ文書にしてネットワーク６に送信する。このような装置情報の送信は、ネットワーク６に接続された外部装置からＷＥＢブラウザを介しての閲覧要求に応じて行われる。

対処情報登録部２２７は、サポートコンピュータ３から対処情報を受信するものである。対処情報とは、サポートセンター５の障害解析担当者が障害の発生した基板処理装置１の装置情報を閲覧して解析した解析結果や、その障害の対応策などである。すなわち、対処情報登録部２２７は装置情報に基づいた障害の対処情報を取得する手段となる。対処情報登録部２２７はこの対処情報を受信すると、対処情報データベース（以下、「対処情報ＤＢ」）２６３に追加登録する。したがって、対処情報は対処情報ＤＢ２６３として固定ディスク２４に蓄積されることとなる。

なお、固定ディスク２４に蓄積される上記の障害情報ＤＢ２６１、関連ログファイル２６２及び対処情報ＤＢ２６３は、情報蓄積サーバ２において所定の操作を行うことにより、その内容をディスプレイ２５に表示して随時確認することが可能となっている。

＜４−３．サポートコンピュータ＞
サポートコンピュータ３において図５に示す構成のうち、メール受信部３２１、ＷＥＢブラウザ３２２及び対処情報送信部３２３は、プログラムに従ってＣＰＵ３１が演算処理することによって実現される機能である。

メール受信部３２１は、ネットワーク６を介して電子メールを受信するものである。メール受信部３２１は、一定時間ごとに所定のメールサーバ装置（図示省略）と通信を行い、サポートコンピュータ３宛の電子メールを自動でチェックするようになっている。上記メール送信部２２５から送信された電子メールは、メール受信部３２１で受信されることとなる。

ＷＥＢブラウザ３２２は、ネットワーク６におけるアドレス（ＵＲＬ）が指定されることにより当該アドレスにあるＨＴＭＬ文書等を取得する機能を有している。所定のアドレスが指定されることにより、情報蓄積サーバ２に蓄積されている装置情報を装置情報公開部２２６を介して取得することが可能である。これにより、サポートセンター５の障害解析担当者は、障害の発生した基板処理装置１の障害情報や関連ログファイル２６２などを閲覧することができる。

対処情報送信部３２３は、情報蓄積サーバ２に対処情報を送信するものである。対処情報は、障害解析担当者の所定の操作によってサポートコンピュータ３に入力され、対処情報送信部３２３によって情報蓄積サーバ２に送信される。

＜５．処理内容＞
次に、基板処理装置１の障害が発生した際における基板処理システム１０の処理内容について説明する。図８は、基板処理システム１０の処理の流れを示す図である。図８において、基板処理装置１における処理は右側に、情報蓄積サーバ２における処理は中央に、サポートコンピュータ３における処理は左側にそれぞれ示している。また、下方向に行くほど時間が経過することを示している。

まず、基板処理装置１のいずれかの処理ユニット１１０において障害が発生すると、当該処理ユニット１１０のアラーム発生部１１７は、障害に対応した識別コードを有するアラームを発生しシステム制御部１００に送信する（ステップＳ１１）。

送信されたアラームはアラーム処理部１２２で受信され、識別コードに応じた動作制御を行う。すなわち、アラーム定義ファイル１６１を参照して「表示テキスト」に記載された障害の具体的な内容を表示部１３０に表示させるとともに、「システム制御コード」に従って基板処理装置１の稼働を停止するなどの動作制御を行う（ステップＳ１２）。

さらに、アラーム処理部１２２は、アラーム定義ファイル１６１の「出力ログファイルコード」を参照して関連ログファイル２６２を抽出し、当該関連ログファイル２６２を情報蓄積サーバ２に送信する（ステップＳ１３）。送信された関連ログファイル２６２は、情報蓄積サーバ２で受信されて固定ディスク２４に記憶される（ステップＳ２１）。これにより、障害の解析に必要となる関連ログファイル２６２のみが抽出され確実に保存されることとなる。前述したように、プロセスログは障害原因を解析する際に特に重要であるため関連ログファイル２６２として確実に保存されることが好ましい。

次に、アラーム処理部１２２は、障害情報生成部１２３に障害情報を生成するように指示を行うとともに、アラーム定義ファイル１６１の「表示テキスト」の内容と、関連ログファイル２６２の保存パスとを受け渡す。障害情報生成部１２３は、アラーム処理部１２２からの指示を受けて障害情報を生成し（ステップＳ１４）、生成した障害情報を情報蓄積サーバ２に送信する（ステップＳ１５）。

障害情報は情報蓄積サーバ２の障害情報登録部２２４で受信され、障害情報ＤＢ２６１に追加登録される（ステップＳ２２）。これにより、発生した障害についての障害情報と関連ログファイル２６２は関連付けられて固定ディスク２４に記憶されるとともに、装置情報公開部２２６を介してサポートコンピュータ３から閲覧できる状態となる。なお、障害情報ＤＢ２６１及び関連ログファイル２６２には適切なセキュリティをかけ、ネットワーク６に対して送信する際にパスワードを要求するなどして不法な閲覧を防止できるようになっていることが好ましい。

さらに、障害情報登録部２２４は、基板処理装置１で障害が発生した旨をサポートコンピュータ３に対して通知するようにメール送信部２２５に指示する。この指示を受け、メール送信部２２５は障害が発生した旨を記載した電子メールをサポートコンピュータ３のメールアドレスに送信する（ステップＳ２３）。該メールアドレスは予め固定ディスク２４に記憶されている。

送信された電子メールは、サポートコンピュータ３のメール受信部３２１で受信される（ステップＳ３１）。これにより、サポートセンター５の障害解析担当者は基板処理工場４で障害が発生したことを認知する。障害が発生してから電子メールが送信されるまでの上記処理はすべて自動的に行われるため、障害解析担当者は遠隔地でありながら時間帯に関係なく即座に障害発生を認知することができる。

電子メールによる通知を受け、障害解析担当者はＷＥＢブラウザ３２２を使用して情報蓄積サーバ２に対して障害情報ＤＢ２６１の閲覧を要求する。このときＷＥＢブラウザ３２２に指定するアドレスは上記電子メールに記載されていてもよく、サポートコンピュータ３の固定ディスク３４などに予め記憶されていてもよい。この閲覧要求を受け情報蓄積サーバ２の装置情報公開部２２６は障害情報ＤＢ２６１をサポートコンピュータ３に送信する。これにより、サポートコンピュータ３のディスプレイ３５には障害情報ＤＢ２６１の内容が図７の如く表示される。

障害解析担当者は、障害情報ＤＢ２６１の最終データとなる障害情報によって、発生した障害の内容を具体的かつ容易に把握することができる。また所定の操作により「ログ」と記されたフィールドＤ６を指定してやることによって、当該障害の関連ログファイル２６２をさらに表示して閲覧することができる（ステップＳ３２，２４）。このとき、障害に関連のある関連ログファイル２６２のみが既に抽出されているため、データ容量は制限され比較的高速に受信することができる。

障害解析担当者は、これらの障害情報や関連ログファイル２６２に基づいて、障害の原因の解析を行う。この解析においても、障害に関連のある関連ログファイル２６２のみが抽出されているため、障害原因の推定を容易且つ的確に行うことが可能である。また、過去に発生した障害の履歴を閲覧することも可能であるため、過去の障害情報から障害の原因を推定することもできる。

障害解析担当者が障害の原因の解析を終了すると、障害の解析結果とその対応策などが対処情報としてサポートコンピュータ３に入力される。

対処情報は、「Ｎｏ．」「対象装置」「ユニット」「解析結果」「対応方法」「プログラム予定」「バージョン」などの項目の情報を備えている。

「Ｎｏ．」は、対処情報の識別番号である。障害情報の識別番号と同一番号となる。

「対象装置」は、障害の発生した基板処理装置１の識別情報である。障害情報の「発生装置」と同一となる。

「ユニット」は、障害の発生した処理ユニット１１０の識別情報である。障害情報の「ユニット」と同一となる。

「解析結果」は、障害情報及び関連ログファイル２６２に基づいて解析された結果を文章として示すものであり、障害の発生原因などが具体的に記される。

「対応方法」は、障害に対する具体的な対応策であり、障害に対する処置の操作手順などが記される。

「プログラム予定」は、障害の発生を回避する基板処理装置１の新規プログラムのリリース予定時期を示す。この新規プログラムに更新することによって、同一の障害発生を防止できる。

「バージョン」は、上記新規プログラムのバージョン情報である。

これらの情報が入力されると、対処情報送信部３２３によって情報蓄積サーバ２に送信される（ステップＳ３３）。対処情報は情報蓄積サーバ２の対処情報登録部２２７で受信され、対処情報ＤＢ２６３に追加登録される（ステップＳ２５）。

図９は、対処情報ＤＢ２６３の一例を示す図である。図に示すように、対処情報ＤＢ２６３は複数のフィールドを有しており、図においてフィールドＤ１０〜Ｄ１６には、対処情報の「Ｎｏ．」「対象装置」「ユニット」「解析結果」「対応方法」「プログラム予定」「バージョン」の項目の情報がそれぞれ格納される。この対処情報ＤＢ２６３の内容は、情報蓄積サーバ２において随時確認することが可能であるため、基板処理工場４のオペレータにおいても障害に対して適切な対応を行うことができることとなる。

以上のようにすれば、基板処理装置１で障害が発生した際において、自動的にサポートセンター５の障害解析担当者に通知することができ、遠隔地からネットワーク６を介して即座に障害情報及び関連ログファイル２６２を参照することができるため、障害の発生原因の解析を始めるまでの時間を大幅に短縮することができる。

また、障害に関連のある関連ログファイル２６２のみが抽出されて蓄積されるため、障害の発生原因の解析に必要となるログファイルを確実に蓄積保存できる。また、蓄積するデータ容量が制限されるため、サポートコンピュータ３へ送信も比較的高速に行うことができるとともに、解析に必要となる記録内容の検索時間も短縮することができる。

さらに、解析までの時間が短縮されるとともに解析結果や対応策などの対処情報も随時確認することができるため、即座に障害に対して適切な対応を行うことが可能となる。

＜６．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ２は基板処理工場４内に配置されるようになっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワーク６に接続されて基板処理装置１及びサポートコンピュータ３と通信可能になっていればどこに配置されていてもよい。

また、情報蓄積サーバ２による処理機能を基板処理装置１が有していてもよい。図１０は基板処理装置１が情報蓄積サーバ２の処理機能を有した場合における基板処理システム１０の機能構成の概略を示すブロック図である。図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号を付している。

図１０に示す構成のうち、障害情報登録部１２４、メール送信部１２５、装置情報公開部１２６及び対処情報登録部１２７は、プログラムに従って基板処理装置１のシステム制御部１００が演算処理することによって実現される機能である。

障害情報登録部１２４は情報蓄積サーバ２の障害情報登録部２２４の機能に相当し、メール送信部１２５は情報蓄積サーバ２のメール送信部２２５の機能に相当し、装置情報公開部１２６は情報蓄積サーバ２の装置情報公開部２２６の機能に相当し、対処情報登録部１２７は情報蓄積サーバ２の対処情報登録部２２７の機能に相当する。このような構成であれば上記実施の形態において情報蓄積サーバ２で行われていた処理を基板処理装置１で行うことができ、より簡単な構成で本発明を実現することが可能となる。

また、上記実施の形態においては、アラーム定義ファイルは、警告信号となる「アラームコード」に、「表示テキスト」「システム制御コード」「出力ログファイルコード」の項目が対応付けられていたが、少なくとも警告信号と該警告信号の発生原因に関連する関連稼働情報とが対応付けられていれば、他にどのような項目が対応付けられていてもよい。

また、上記実施の形態においては、装置情報として関連ログファイル２６２と障害情報のみが情報蓄積サーバ２に蓄積されてサポートコンピュータ３から閲覧できるようになっていたが、基板処理装置１に関する装置情報であればどのような情報であってもよい。

また、本発明に係る基板処理装置は、基板を回転させつつフォトレジストの塗布処理や現像処理を行う基板処理装置に限定されるものではなく、光照射によって基板を加熱するランプアニール装置や、基板を回転させつつ微少な塵を取り除く洗浄処理を行う洗浄処理装置、処理液中に基板を浸漬して表面処理を行う浸漬処理装置など、基板に所定の処理を行う基板処理装置であればどのようなものであっても本発明を適用することが可能である。

本発明に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。 基板処理装置の概略平面図である。 基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。 情報蓄積サーバとサポートコンピュータの基本構成を示す図である。 基板処理システムの機能構成の概略を示すブロック図である。 アラーム定義ファイルの一例を示す図である。 障害情報データベースの一例を示す図である。 障害が発生した際における基板処理システムの処理の流れを示す図である。 対処情報データベースの一例を示す図である。 基板処理システムの機能構成の概略を示すブロック図である。

符号の説明

１ 基板処理装置
２ 情報蓄積サーバ
３ サポートコンピュータ
６ ネットワーク
１０ 基板処理システム
９１ 記録媒体
１２１ ログ記録部
１２２ アラーム処理部
１２３ 障害情報生成部
１６１ アラーム定義ファイル
２２４ 障害情報登録部
２２６ 装置情報公開部
２２７ 対処情報登録部

Claims (11)

1. 基板処理装置と、前記基板処理装置の装置情報を処理するコンピュータとがネットワークに結合された基板処理システムであって、
   前記基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する稼働情報取得手段と、
   前記稼働情報取得手段によって取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、
   前記基板処理装置に障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、
   前記警告信号が発生したときに、発生した前記警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から抽出する抽出手段と、
   前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、
   前記障害情報を格納する格納手段と、
   前記格納手段に格納された前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、
   を備えることを特徴とする基板処理システム。
2. 請求項１に記載の基板処理システムにおいて、
   前記装置情報に基づいた障害の対処情報を前記コンピュータから取得する対処情報登録部をさらに備えることを特徴とする基板処理システム。
3. 請求項１または請求項２に記載の基板処理システムにおいて、
   前記警告信号と前記障害関連稼働情報とを対応付けたテーブルを記憶する記憶手段、
   をさらに備え、
   前記抽出手段は、前記テーブルを参照して前記障害関連稼働情報を抽出することを特徴とする基板処理システム。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
   前記稼働情報は、基板の処理工程についての時系列の情報を含んでいることを特徴とする基板処理システム。
5. ネットワークを介して外部コンピュータと通信可能な基板処理装置であって、
   前記基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する装置情報取得手段と、
   取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、
   障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、
   前記警告信号が発生したときに、発生した前記警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から抽出する抽出手段と、
   前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、
   前記障害情報を格納する格納手段と、
   前記格納手段に格納された前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記外部コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、
   を備えることを特徴とする基板処理装置。
6. 請求項５に記載の基板処理装置において、
   前記装置情報に基づいた障害の対処情報を前記外部コンピュータから取得する対処情報登録部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
7. 請求項５または請求項６に記載の基板処理装置において、
   前記警告信号と前記障害関連稼働情報とを対応付けたテーブルを記憶する記憶手段、
   をさらに備え、
   前記抽出手段は、前記テーブルを参照して前記障害関連稼働情報を抽出することを特徴とする基板処理装置。
8. 請求項５から請求項７のいずれかに記載の基板処理装置において、
   前記稼働情報は、基板の処理工程についての時系列の情報を含んでいることを特徴とする基板処理装置。
9. 基板処理装置に含まれるコンピュータによって実行されることにより、前記基板処理装置が請求項５ないし８のいずれかに記載の基板処理装置として動作することを特徴とするプログラム。
10. 請求項９に記載のプログラムを記録してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
11. 複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の装置情報を蓄積する情報蓄積サーバと、前記複数の基板処理装置の障害の解析を行うためのサポートコンピュータと、をネットワークを介して接続した基板処理システムであって、
    前記複数の基板処理装置のそれぞれは、
    各基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する稼働情報取得手段と、
    前記稼働情報取得手段によって取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、
    障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、
    前記警告信号が発生したときに、発生した前記警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から抽出する抽出手段と、
    前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、障害内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、
    を備え、
    前記情報蓄積サーバは、
    前記複数の基板処理装置のそれぞれについての障害情報を格納する格納手段と、
    前記格納手段に格納された前記複数の基板処理装置のそれぞれについての前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記サポートコンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、
    を備えることを特徴とする基板処理システム。

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