JP4642817B2 - 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一の実施の形態に係る基板処理システム10の概略構成を示す図である。図1に示すように基板処理システム10は主に、基板処理工場4に備えられた基板処理装置1及び情報蓄積サーバ2と、基板処理装置1の障害の解析を行う障害解析担当者が配置されるサポートセンター5に備えられたサポートコンピュータ3とが、ネットワーク6を介して接続された構成となっている。
次に、基板処理工場4に配置された基板処理装置1について説明する。図2は、基板処理装置1の概略平面図である。この基板処理装置1は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置1は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサIDと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットSC(いわゆるスピンコータ)と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットSD(いわゆるスピンデベロッパ)と、インデクサIDおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットTRとを備えている。また、塗布処理ユニットSCおよび現像処理ユニットSDの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット(いわゆるホットプレート)および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット(いわゆるクールプレート)が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットSC、現像処理ユニットSDおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット110とする。
情報蓄積サーバ2、サポートコンピュータ3は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ2とサポートコンピュータ3の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図4を参照して説明する。情報蓄積サーバ2とサポートコンピュータ3のそれぞれは図4に示すように、各種演算処理を行うCPU(情報蓄積サーバ2ではCPU21,サポートコンピュータ3ではCPU31、以下同様)、基本プログラムを記憶するROM(22,32)および各種情報を記憶するRAM(23,33)をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定ディスク(24,34)、各種情報の表示を行うディスプレイ(25,35)、操作者からの入力を受け付けるキーボード(26a,36a)およびマウス(26b,36b)、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体91から各種データの読み取りを行う読取装置(27,37)、並びに、ネットワーク6を介して外部装置と通信を行う通信部(28,38)が、適宜、インターフェイス(I/F)を介する等して接続される。
図5は、基板処理装置1、情報蓄積サーバ2及びサポートコンピュータ3のそれぞれのプログラムに従ってCPU等の演算処理により実現される機能を含めた、基板処理システム10の機能構成の概略を示すブロック図である。
基板処理装置1において図5に示す構成のうち、アラーム発生部117はプログラムに従ってユニット制御部115が演算処理することによって実現される機能である。また、ログ記録部121、アラーム処理部122及び障害情報生成部123は、プログラムに従ってシステム制御部100が演算処理することによって実現される機能である。
情報蓄積サーバ2は、基板処理工場4に配置される基板処理装置1の装置情報を蓄積するものである。図5に示す構成のうち、障害情報登録部224、メール送信部225、装置情報公開部226及び対処情報登録部227は、プログラムに従ってCPU21が演算処理することによって実現される機能である。
サポートコンピュータ3において図5に示す構成のうち、メール受信部321、WEBブラウザ322及び対処情報送信部323は、プログラムに従ってCPU31が演算処理することによって実現される機能である。
次に、基板処理装置1の障害が発生した際における基板処理システム10の処理内容について説明する。図8は、基板処理システム10の処理の流れを示す図である。図8において、基板処理装置1における処理は右側に、情報蓄積サーバ2における処理は中央に、サポートコンピュータ3における処理は左側にそれぞれ示している。また、下方向に行くほど時間が経過することを示している。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ2は基板処理工場4内に配置されるようになっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワーク6に接続されて基板処理装置1及びサポートコンピュータ3と通信可能になっていればどこに配置されていてもよい。
2 情報蓄積サーバ
3 サポートコンピュータ
6 ネットワーク
10 基板処理システム
91 記録媒体
121 ログ記録部
122 アラーム処理部
123 障害情報生成部
161 アラーム定義ファイル
224 障害情報登録部
226 装置情報公開部
227 対処情報登録部
Claims (9)
- 基板処理装置と、前記基板処理装置の装置情報を処理するコンピュータとがネットワークに結合された基板処理システムであって、
前記基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する稼働情報取得手段と、
前記稼働情報取得手段によって取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、
前記基板処理装置に障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、
警告信号と、障害の内容を文章として示す表示テキストと、当該警告信号の発生時における前記基板処理装置の制御内容を示すシステム制御コードと、当該警告信号の発生原因に関連する稼働情報の識別コードと、を対応付けたテーブルを記憶する記憶手段と、
前記警告信号が発生したときに、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられた稼働情報の識別コードを参照して前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から当該警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を抽出する抽出手段と、
前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられた表示テキストの内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、
前記警告信号が発生したときに、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられたシステム制御コードに従って基板処理装置の動作制御を行う制御部と、
前記障害情報を格納する格納手段と、
前記格納手段に格納された前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、
を備えることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1に記載の基板処理システムにおいて、
前記装置情報に基づいた障害の対処情報を前記コンピュータから取得する対処情報登録部をさらに備えることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理システムにおいて、
前記稼働情報は、基板の処理工程についての時系列の情報を含んでいることを特徴とする基板処理システム。 - ネットワークを介して外部コンピュータと通信可能な基板処理装置であって、
前記基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する装置情報取得手段と、
取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、
障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、
警告信号と、障害の内容を文章として示す表示テキストと、当該警告信号の発生時における制御内容を示すシステム制御コードと、当該警告信号の発生原因に関連する稼働情報の識別コードと、を対応付けたテーブルを記憶する記憶手段と、
前記警告信号が発生したときに、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられた稼働情報の識別コードを参照して前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から当該警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を抽出する抽出手段と、
前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられた表示テキストの内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、
前記警告信号が発生したときに、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられたシステム制御コードに従って動作制御を行う制御部と、
前記障害情報を格納する格納手段と、
前記格納手段に格納された前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記外部コンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記装置情報に基づいた障害の対処情報を前記外部コンピュータから取得する対処情報登録部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4または請求項5に記載の基板処理装置において、
前記稼働情報は、基板の処理工程についての時系列の情報を含んでいることを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置に含まれるコンピュータによって実行されることにより、前記基板処理装置が請求項4ないし6のいずれかに記載の基板処理装置として動作することを特徴とするプログラム。
- 請求項7に記載のプログラムを記録してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置の装置情報を蓄積する情報蓄積サーバと、前記複数の基板処理装置の障害の解析を行うためのサポートコンピュータと、をネットワークを介して接続した基板処理システムであって、
前記複数の基板処理装置のそれぞれは、
各基板処理装置の稼働についての時系列の情報を、稼働情報として取得する稼働情報取得手段と、
前記稼働情報取得手段によって取得された前記稼働情報を蓄積する装置情報蓄積手段と、
障害が発生したときに警告信号を発生する警告手段と、
警告信号と、障害の内容を文章として示す表示テキストと、当該警告信号の発生時における制御内容を示すシステム制御コードと、当該警告信号の発生原因に関連する稼働情報の識別コードと、を対応付けたテーブルを記憶する記憶手段と、
前記警告信号が発生したときに、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられた稼働情報の識別コードを参照して前記装置情報蓄積手段に蓄積された前記稼働情報から当該警告信号の発生原因に関連する障害関連稼働情報を抽出する抽出手段と、
前記警告信号が発生したときに、障害の原因を特定するための装置情報として、障害の発生装置の項目と、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられた表示テキストの内容の項目と、前記警告信号に対応する前記障害関連稼働情報と、を関連付けた障害情報を生成する障害情報生成手段と、
前記警告信号が発生したときに、前記テーブルにて当該警告信号に対応付けられたシステム制御コードに従って動作制御を行う制御部と、
を備え、
前記情報蓄積サーバは、
前記複数の基板処理装置のそれぞれについての障害情報を格納する格納手段と、
前記格納手段に格納された前記複数の基板処理装置のそれぞれについての前記障害情報を、前記ネットワークを介して前記サポートコンピュータから閲覧可能にする装置情報公開手段と、
を備えることを特徴とする基板処理システム。
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