KR100615974B1 - 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 - Google Patents

기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100615974B1
KR100615974B1 KR1020040077334A KR20040077334A KR100615974B1 KR 100615974 B1 KR100615974 B1 KR 100615974B1 KR 1020040077334 A KR1020040077334 A KR 1020040077334A KR 20040077334 A KR20040077334 A KR 20040077334A KR 100615974 B1 KR100615974 B1 KR 100615974B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
control unit
information
substrate processing
software module
Prior art date
Application number
KR1020040077334A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040097962A (ko
Inventor
키타모토토루
카메이켄지
이노우에히데카즈
하마다테츠야
Original Assignee
다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2001205111A external-priority patent/JP2003022200A/ja
Priority claimed from JP2001205109A external-priority patent/JP4071461B2/ja
Priority claimed from JP2001205110A external-priority patent/JP3880814B2/ja
Application filed by 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 filed Critical 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Publication of KR20040097962A publication Critical patent/KR20040097962A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100615974B1 publication Critical patent/KR100615974B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4184—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by fault tolerance, reliability of production system
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
    • G05B23/0264—Control of logging system, e.g. decision on which data to store; time-stamping measurements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31337—Failure information database
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31365—Send message to most appropriate operator as function of kind of error
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31402—Keep log book, for activities of a station, equipment
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/32—Operator till task planning
    • G05B2219/32207—Action upon failure value, send warning, caution message to terminal
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Debugging And Monitoring (AREA)
  • Control By Computers (AREA)

Abstract

기판 처리시스템은, 기판 처리장치와 정보축적 서버와 서포트 컴퓨터를 구비하고, 각각 네트워크에 접속된다. 기판 처리장치에서 장해가 발생하면, 알람처리부는 필요한 관련 로그파일을 추출하여 정보축적 서버의 고정디스크에 기억한다. 또한, 장해정보 생성부에 의해 장해정보가 생성되고, 최종적으로 장해정보 데이터베이스로서 정보축적 서버의 고정디스크에 기억된다. 이들 관련 로그파일과 장해정보 데이터베이스는, 장치정보 공개부에 의해 원격지의 서포트 컴퓨터에서 열람하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 즉석에서 관련 로그파일이나 장해정보 데이터베이스를 열람할 수 있다. 즉, 기판 처리장치의 장해 발생시에, 가동정보를 원격지에서 즉시 열람할 수 있는 기판 처리시스템이 제공된다.
기판, 처리장치, 정보축적 서버, 서포트 컴퓨터, 네트워크, 데이터베이스, 장해

Description

기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템{Substrate Processing System Managing Apparatus Information of Substrate Processing Apparatus}
도 1은 본 발명에 관한 기판 처리시스템의 개략 구성을 나타내는 도면,
도 2는 기판 처리장치의 개략 평면도,
도 3은 기판 처리장치의 제어시스템의 구성을 나타내는 블록도,
도 4는 정보축적 서버와 서포트 컴퓨터의 기본 구성을 나타내는 도면,
도 5는 제1 실시형태의 기판 처리시스템의 기능 구성의 일예를 나타내는 블록도,
도 6은 알람 정의파일의 일예를 나타내는 도면,
도 7은 장해정보 데이터베이스의 일예를 나타내는 도면,
도 8은 장해가 발생한 때의 기판 처리시스템의 처리의 흐름을 나타내는 도면,
도 9는 대처정보 데이터베이스의 일예를 나타내는 도면,
도 10은 제1 실시형태의 기판 처리시스템의 기능 구성의 다른 예를 나타내는 블록도,
도 11은 제2 실시형태의 기판 처리시스템의 기능 구성의 일예를 나타내는 블 록도,
도 12는 제2 실시형태의 알람 정의파일의 일예를 나타내는 도면,
도 13은 제2 실시형태의 기판 처리시스템의 처리 흐름을 나타내는 도면,
도 14는 제3 실시형태의 기판 처리시스템의 기능 구성의 일예를 나타내는 블록도,
도 15는 제3 실시형태의 기판 처리시스템에서의 처리수순을 나타내는 플로우차트,
도 16은 버전 관리테이블의 일예를 나타내는 도면,
도 17은 확인테이블의 일예를 나타내는 도면,
도 18은 버전 관리테이블의 다른 예를 나타내는 도면,
도 19는 제3 실시형태의 기판 처리시스템의 기능 구성의 다른 예를 나타내는 블록도,
도 20은 제3 실시형태의 기판 처리시스템의 기능 구성의 다른 예를 나타내는 블록도이다.
본 발명은, 반도체기판, 액정 표시장치용 유리기판, 포토마스크용 유리기판, 광디스크용 기판 등(이하, 간단히「기판」이라 한다)에 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치와 컴퓨터를 네트워크 경유해서 결합한 네트워크 통신기술에 관한 것이다.
반도체나 액정 디스플레이 등의 제품은, 기판에 대해서 세정, 레지스트 도포, 노광, 현상, 에칭, 층간절연막의 형성, 열처리 등 일련의 여러 처리를 시행함으로써 제조되고 있다. 종래부터, 이들 여러 처리는 레지스트 도포 처리유닛이나 현상 처리유닛 등을 조립한 기판 처리장치에서 행해지고 있다. 기판 처리장치에 설치된 반송로봇이 각 처리유닛에 기판을 순차 반송함으로써 그 기판에 일련의 처리가 행해지는 것이다.
이와 같은 기판의 처리는 자동제어 되고 있고, 일반적으로 기판 처리장치는 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부 이외에, 각 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비하고 있다. 그리고, 기판 처리장치에 실장되는 제어 소프트웨어는, 시스템 제어부 및 유닛제어부의 각각에 인스톨 되는 소프트웨어 모듈로 구성되어 있다. 즉, 시스템 제어부에 인스톨된 소프트웨어 모듈에 의해 장치 전체를 제어하는 시스템 제어계가 구축되고, 각 유닛제어부에 인스톨된 각각의 소프트웨어 모듈에 의해 각 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어계가 구축되어 있는 것이다.
시스템 제어부 및 유닛제어부에 인스톨 되어 있는 각 소프트웨어 모듈의 각각은 고유의 버전을 가지고 있다. 그리고, 각 소프트웨어 모듈에는 계획적으로 버전 업이 행해진다. 또, 기판 처리장치를 설치하는 공장에 있어서, 서포트의 형편상 일시적으로 특정의 소프트웨어 모듈에 대해서 버전 변경이 행해지는 일도 있다.
이와 같은 소프트웨어 모듈의 버전 변경을 행할 때 중요한 것은, 1개의 기판 처리장치에 인스톨 되어 있는 전체 소프트웨어 모듈 사이에서의 정합성을 유지하는 것이다. 소프트웨어 모듈 사이에서 정합성이 유지되어 있지 않은 경우에는, 제어계 의 트러블에 기인해서 기판 처리장치가 오동작하거나 정지하거나 한다. 따라서, 소프트웨어 모듈의 계획적인 버전 업을 행할 때는, 각 소프트웨어 모듈 사이에서 정합성을 유지하도록 계획된다.
그러나, 소프트웨어 모듈을 버전 업 할 때 인스톨의 조작미스에 의해 틀린 버전의 소프트웨어 모듈이 인스톨 되는 일도 있다. 또, 서포트 현장에 있어서, 일시적으로 특정의 소프트웨어 모듈에 대해서 버전 변경을 행했을 때는, 계획된 모듈 구성과 다른 경우도 있다. 이들의 경우에는, 반드시 소프트웨어 모듈 사이에서의 정합성이 유지되어 있지 않은 일도 있고, 오동작이나 정지 등 장치에 장해가 발생한다는 문제가 있었다.
또, 기판 처리장치에 장해가 발생한 경우에는, 장치에 실장되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 신속하면서 정확하게 파악하지 않으면, 장해의 원인 해석에 예상 밖의 장시간이 필요하다는 문제도 있었다.
또, 상기와 같은 기판 처리장치에 있어서는, 상시 기판의 처리공정 정보나 오퍼레이터의 조작정보 등 가동에 대해서 각종 정보를 로그파일로서 순차 기록하고 있다.
이 로그파일은, 미리 정해진 이벤트가 발생할 때마다 발생한 시간과 함께 기록되도록 되어 있고, 해당 기판 처리장치의 가동에 대해서 시계열의 가동정보를 나타내게 된다. 이 때문에, 로그파일의 기록내용을 참조함으로써 기판 처리장치의 과거에서의 가동의 정보를 사후적으로 확인할 수 있다. 특히 기판 처리장치의 장해 발생시에는, 이 로그파일중 장해가 발생할 때까지의 기록내용을 참조함으로써, 장해 발생원인의 해석을 행하는 것이 가능하다.
종래, 기판 처리장치에 있어서 장해가 발생한 경우는, 이하와 같은 수순으로 장해의 대응을 행하고 있었다.
1. 기판 처리장치의 타워 램프나 부저로, 오퍼레이터는 장해가 발생한 것을 인지한다.
2. 오퍼레이터는 장해가 발생한 것을 벤더의 필드 서포트 담당자에게 전화 등으로 연락한다.
3. 연락을 받은 필드 서포트 담당자는, 해당 기판 처리장치가 있는 기판 처리공장까지 나가서 장해의 상황을 파악한다.
4. 필드 서포트 담당자가 그 장소에서 장해에 대해 대응할 수 없는 경우는, 해당 기판 처리장치의 로그파일을 기록매체에 출력하여 취득함과 동시에, 장해의 구체적인 상황을 나타내는 장해 보고문서를 작성한다.
5. 서포트 센터 등 원격지에 있는 장해해석 담당자에게 상기 로그파일 및 장해 보고문서를 전자 메일 등으로 송부한다.
6. 장해해석 담당자가, 로그파일 및 장해 보고문서를 참조하여 장해의 발생원인을 해석해서, 장해의 대응책을 검토한다.
7. 장해해석 담당자로부터 필드 서포트 담당자에게, 장해의 해석결과 및 대응책을 연락한다.
이와 같이, 장해가 발생한 경우에 있어서도, 로그파일을 참조함으로써 장해의 원인을 해석할 수 있고, 장해에 대해서 적절한 대응이 취해지도록 되어 있다.
그러나, 상기 수순중 로그파일에 의한 장해의 원인해석(상기 6) 이외의 작업에 시간을 필요로 하고 있고, 결과적으로 해석이 완료하여 대응책이 연락될 때까지 다대한 시간을 필요로 하고 있었다. 특히, 기판 처리장치의 가동을 정지하지 않으면 안되는 장해가 발생한 경우는, 대응책이 연락될 때까지 장시간에 걸쳐 해당 장치를 정지하지 않으면 안되므로 기판의 생산효율을 대폭 낮추어버린다는 문제가 있었다.
또, 장해 발생으로부터 로그파일을 취득할 때까지도 시간을 필요로 하고 있었다. 이 때문에, 로그파일의 데이터량의 최대치는 미리 정해져 있는 것이므로, 로그파일을 취득한 시점에서 장해의 해석에 필요로 하는 기록내용이 이미 삭제되어 버린 경우가 있었다. 이것에 대응하기 위해, 장시간에 걸쳐 로그파일을 보존할 수 있도록 하면, 장해 발생시에 취득하는 로그파일의 데이터량이 비약적으로 크게 되어버려, 장해해석 담당자에게의 로그파일의 송신이나 필요한 기록내용의 검색에 다대한 시간을 필요로 하게 되어 버린다.
또한, 레지스트 도포 처리유닛이나 현상 처리유닛 등을 조립한 기판 처리장치에 있어서는, 기판 처리장치에 있어서 상정되는 장해에 대한 대처정보가, 미리 장치내에 기억되어 있는 일이 있다. 이 대처정보에는, 장해의 발생원인, 장해에 대응하는 조작방법 및 장해시에서의 제약상항 등이 포함되어 있다. 이것에 의해, 해당 장치에 정통하지 않은 오퍼레이터라도, 장해의 발생시에 상기 대처정보를 적절히 판독함으로써 장치의 복구작업 등을 행할 수 있도록 되어 있다.
그러나, 기판 처리장치내에 기억되어 있는 대처정보는, 해당 장치의 도입시(출하시)의 정보이므로, 도입시에 있어서 상정되는 장해 이외의 예측할 수 없는 장해가 발생한 때 등에는, 기억되어 있는 대처정보에서는 정확하고 확실하게 대응할 수 없는 일도 있다. 정확하고 확실하지 않은 대처정보에 따라서 장해의 복구작업을 행한 경우에는, 더 기판 처리장치의 상태를 악화시켜버려, 복구를 지연시켜버리는 일도 있다.
이것에 대응하기 위해, 장해에 대해서 새롭게 판명한 최신의 대처정보는, 이벤트에서 문서 등으로 추가정보로서 배포되도록 되어 있다. 그러나, 이들은 우편 등으로 배포되기 때문에, 최신의 대처정보가 필요한 시기에, 즉석에서 취득할 수 는 의미는 아니었다.
또, 최신의 대처정보가 배포된 후에도, 장치내에 기억되어 있는 대처정보와는 달리 관리되는 것으로 되기 위한 정보의 일원화가 가능하지 않고, 실제로 장해가 발생한 때에, 필요해지는 최신의 대처정보를 선택하는 것은 곤란하였다.
본 발명은, 네트워크를 통해서 기판 처리장치와 컴퓨터가 통신 가능하게 접속된 기판 처리시스템에 향해져 있다.
본 발명에 의하면, 기판 처리장치와, 상기 기판 처리장치의 장치정보를 처리하는 컴퓨터가 네트워크에 결합된 기판 처리시스템에 있어서, 취득된 상기 장치정보를 축적하는 장치정보 축적수단과, 상기 장치정보 축적수단에 축적된 상기 장치정보를 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에서 열람 가능하게 하는 장치정보 공개수단을 구비한다.
상시 가동하고 있는 기판 처리장치의 장치정보가 축적된 상태에서, 네트워크를 통해서 열람할 수 있기 때문에, 원격지에서 장치정보를 용이하게 파악할 수 있다.
본 발명의 다른 국면에서는, 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치와 컴퓨터를 네트워크 경유하여 결합한 기판 처리시스템에 있어서, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 구비한다.
기판 처리장치에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때의 각 소프트웨어 모듈 사이의 부정합에 기인한 장해를 미연에 방지할 수 있다.
본 발명의 다른 국면에서는, 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는 기판 처리시스템에 있어서, 상기 기판 처리장치에 관련하는 정보로서 또 추가적으로 상기 기판 처리장치의 벤더로부터 제공된 추가정보를 축적하는 추가정보 축적수단과, 축적된 상기 추가정보를 상기 네트워크를 통해서 취득하는 추가정보 취득수단을 구비한다.
추가적으로, 기판 처리장치의 벤더로부터 제공된 추가정보를 즉석에서 취득할 수 있다.
본 발명은, 또 네트워크를 통해서 기판 처리장치와 컴퓨터를 통신 가능하게 접속하는 기판 처리방법에도 향해져 있다.
본 발명은, 또 네트워크를 통해서 컴퓨터와 통신 가능하게 접속된 기판 처리 장치에도 향해져 있다.
그러므로, 본 발명의 목적은, 기판 처리장치의 가동정보를 원격지에서 즉석에서 열람할 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 기판 처리장치에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때의 각 소프트웨어 모듈 사이의 부정합에 기인한 장해를 미연에 방지하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 추가정보를 필요한 시기에 즉석에서 취득할 수 있도록 하는 것이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다.
〈1. 제1 실시형태〉
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 기판 처리시스템(10)의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리시스템(10)은 주로 기판처리 공장(4)에 구비된 기판 처리장치(1) 및 정보축적 서버(2)와, 기판 처리장치(1)의 장해의 해석을 행하는 장해해석 담당자가 배치되는 서포트 센터(5)에 구비된 서포트 컴퓨터(3)가 네트워크(6)를 통해서 접속된 구성으로 되어 있다.
기판 처리시스템(10)에 있어서는, 기판 처리장치(1)의 로그파일이나 장해정보를 포함하는 장치정보는 정보축적 서버(2)에 축적되도록 되어 있고, 축적된 장치정보는 네트워크(6)를 통해서 서포트 컴퓨터(3)에 있어서 열람할 수 있도록 되어 있다.
기판처리 공장(4)에 있어서, 기판 처리장치(1)와 정보축적 서버(2)는 LAN(Local Area Network)(41)을 통해서 접속되어 있다. LAN(41)은 라우터나 파이어월 등의 기능을 가지는 접속장치(42)를 통해서 인터넷 등의 광역 네트워크(61)에 접속되어 있다. 또, 서포트 센터(6)도 서포트 컴퓨터(3)가 접속되는 LAN(51)을 가지고 있고, LAN(51)도 라우터나 파이어월 등의 기능을 가지는 접속장치(52)를 통해서 광역 네트워크(61)에 접속되어 있다. 이것에 의해, 기판 처리장치(1), 정보축적 서버(2) 및 서포트 컴퓨터(3) 상호간에서 각종 데이터 통신이 가능하게 되어 있다. 본 명세서에 있어서, LAN(41, 51) 및 광역 네트워크(61)를 총칭하는 경우는, 간단히 네트워크(6)라 부르는 것으로 한다.
또한 도 1에 있어서, 기판처리 공장(4)에는 복수의 기판 처리장치(1)가 구비되어 있지만 기판 처리장치(1)는 1대라도 되고, 마찬가지로 서포트 센터(5)에는 복수의 서포트 컴퓨터(3)가 구비되어 있지만 서포트 컴퓨터(3)는 1대라도 된다. 또한, 기판처리 공장(4)으로서 하나의 공장만이 기술되어 있지만 기판 처리시스템(10)에는 복수의 기판처리 공장이 포함되어 있어도 된다.
다음에, 기판처리 공장(4)에 배치된 기판 처리장치(1)에 대해서 설명한다. 도 2는 기판 처리장치(1)의 개략 평면도이다. 이 기판 처리장치(1)는, 기판에 레지스트 도포처리, 현상처리 및 그들에 부수하는 열처리를 행하는 장치이다. 기판 처리장치(1)는, 미처리 기판을 캐리어로부터 반출함과 동시에 처리가 끝난 기판을 받아 캐리어에 수납하는 인덱서(ID)와, 기판을 회전시키면서 그 기판 주면에 포토레지스트를 떨어뜨려 레지스트 도포처리를 행하는 도포처리 유닛(SC)(소위 스핀코터)과, 노광 후의 기판상에 현상액을 공급함으로써 현상처리를 행하는 현상처리 유닛 (SD)(소위 스핀 디벨로퍼)과, 인덱서(ID) 및 각 처리유닛 사이에서 기판의 반송을 행하는 반송로봇(TR)을 구비하고 있다. 또, 도포처리 유닛(SC) 및 현상처리 유닛(SD)의 상방에는 도시를 생략하는 열처리 유닛이 팬 필터유닛을 사이에 두고 배치되어 있다. 열처리 유닛으로서는, 기판에 가열처리를 행하는 가열유닛(소위 핫 플레이트) 및 가열된 기판을 일정 온도까지 냉각하는 냉각유닛(소위 쿨 플레이트)이 설치되어 있다. 또한, 본 명세서에 있어서는, 도포처리 유닛(SC), 현상처리 유닛(SD) 및 열처리 유닛을 총칭해서 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛(110)이라 한다.
도 3은 기판 처리장치의 제어시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이 기판 처리장치(10)는 주로 장치 전체의 제어를 행하는 시스템 제어부(100)와, 복수의 처리유닛(110)을 구비하고 있다.
시스템 제어부(100)는 장치 전체를 총괄적으로 제어하는 것으로서, 마이크로 컴퓨터를 구비하여 구성되어 있다. 구체적으로는, 그 본체부인 CPU(101), 제어용 프로그램 등을 기억하는 ROM(102), 연산의 작업영역이 되는 RAM(103), 로그파일 등을 기억해 놓는 고정디스크 등으로 이루어지는 기억부(104) 및 외부 장치와의 사이에서 데이터 통신을 행하는 통신부(105)를 구비하고 있고, 각각을 버스 라인(190)으로 접속한 구성으로 되어 있다.
통신부(105)는, 도시를 생략하는 네트워크 인터페이스를 통해서 네트워크(6)에 접속되어 있고, 이것에 의해 기판 처리장치(1)는 정보축적 서버(2)나 서포트 컴퓨터(3) 등과의 사이에서 각종 데이터의 송수신이 가능하다. 통신부(105)에서 행해 지는 네트워크(6)를 통한 통신방식은 유선이거나 무선이라도 되지만, 본 실시형태에서는 유선에 의한 통신방식이 채용되어 있다.
버스 라인(190)에는, 복수의 처리유닛(110)과 함께, 각종 정보의 표시를 행하는 표시부(130), 오퍼레이터로부터 각종 정보의 입력 및 조작을 받는 조작부(140), 자기디스크나 광자기디스크 등의 기록매체(91)로부터 각종 데이터의 판독을 행하는 판독장치(150) 등도 전기적으로 접속되어 있다. 이것에 의해, 시스템 제어부(100)의 제어하에 있어서, 기판 처리장치(1)의 각 부(部) 사이에서 버스 라인(190)을 통해서 데이터의 교환이 가능하게 되어 있다.
또, 처리유닛(110)은, 실제로 기판에 처리를 행하는 기구부(예컨대, 기판을 회전시키는 기구, 기판에 처리액을 토출하는 기구, 기판을 가열하는 기구 등)가 되는 기판처리부(116)와 함께, 유닛제어부(115)를 구비하고 있다. 유닛제어부(115)는 기판처리부(116)의 동작 제어나 동작 감시를 행하는 유닛단위에서의 제어부이다. 즉, 상술한 시스템 제어부(100)는 기판 처리장치(1)의 전체에서의 총괄적인 제어를 담당하고, 유닛제어부(115)는 기판처리부(116)의 처리내용에 따른 제어를 담당하도록 그 역할을 분담하고 있다. 유닛제어부(115)는 시스템 제어부(100)와 같이 마이크로 컴퓨터를 구비하여 구성되고, 구체적으로는 그 본체부인 CPU(111)와, 제어용 프로그램 등을 기억하는 ROM(112), 연산의 작업영역이 되는 RAM(113), 각종 데이터를 기억해 놓고 배터리 백업 된 SRAM등으로 이루어지는 기억부(114)를 구비하고 있다.
시스템 제어부(100)의 ROM(102)이나 기억부(104)에는, 시스템 제어용 프로그 램이 미리 기억되어 있다. 시스템 제어부(100)의 CPU(101)가 이 시스템 제어용 프로그램에 따라서 연산처리를 실행함으로써, 기판 처리장치(1)의 전체로서의 동작 제어나 데이터 처리가 실현되게 된다. 또, 유닛제어부(115)의 ROM(112)이나 기억부(114)에는, 해당 처리유닛(110)의 기판처리부(116)의 처리내용에 따른 유닛제어용 프로그램이 미리 기억되어 있다. 유닛제어부(115)의 CPU(111)가 이 유닛제어용 프로그램에 따라서 연산처리를 실행함으로써, 기판처리부(116)의 동작 제어나 데이터 처리가 실현되게 된다. 이들 프로그램에 따라서, 시스템 제어부(100)나 유닛제어부(115)의 연산처리에 의해 실현되는 기능에 대해서는 후술한다.
또한, 이들 프로그램은, 판독장치(150)를 통해서 기록매체(91)로부터의 판독이나, 소정의 서버 기억장치 등에서 네트워크(6)를 경유해서 다운로드에 의해 취득 및 갱신하는 것이 가능하게 되어 있다. 프로그램의 각각에는 버전이 있고, 프로그램을 갱신한 때에는 버전을 식별하는 수치 등의 버전정보가 변경된다. 기판 처리장치(1)에서 실행되는 프로그램 각각의 버전정보는, 시스템 제어부(100)의 기억부(104)에 기억되어 있다.
정보축적 서버(2), 서포트 컴퓨터(3)는 하드웨어로서의 구성은 일반적인 컴퓨터와 같은 구성이다. 따라서, 정보축적 서버(2)와 서포트 컴퓨터(3)의 기본 구성은 같기 때문에, 동일한 개략 도면인 도 4를 참조하여 설명한다. 정보축적 서버(2)와 서포트 컴퓨터(3)의 각각은 도 4에 나타내는 바와 같이, 각종 연산처리를 행하는 CPU(21, 31)(정보축적 서버(2)에서는 CPU(21), 서포트 컴퓨터(3)에서는 CPU(31), 이하, 동일), 기본 프로그램을 기억하는 ROM(22, 32) 및 각종 정보를 기 억하는 RAM(23, 33)을 버스 라인에 접속한 구성으로 되어 있다. 또, 정보축적 서버(2)와 서포트 컴퓨터(3)의 각각의 버스 라인에는, 각종 정보를 기억하는 고정디스크(24, 34), 각종 정보의 표시를 행하는 디스플레이(25, 35), 조작자로부터 입력을 받는 키보드(26a, 36a) 및 마우스(26b, 36b), 광디스크, 자기디스크, 광자기디스크 등의 기록매체(91)로부터 각종 데이터의 판독을 행하는 판독장치(27, 37) 및 네트워크(6)를 통해서 외부장치와 통신을 행하는 통신부(28, 38)가 적절히 인터페이스(I/F)를 통하는 등 하여 접속된다.
정보축적 서버(2) 및 서포트 컴퓨터(3)는, 각각 판독장치(27, 37)를 통해서 기록매체(91)로부터 프로그램을 판독하여, 고정디스크(24, 34)에 기억할 수 있다. 또, 정보축적 서버(2) 및 서포트 컴퓨터(3)의 각각은, 소정의 서버 기억장치로부터 네트워크(6)를 경유해서 다운로드 하여 고정디스크(24, 34)에 기억하는 것도 가능하다. 그리고, CPU(21, 31)가 고정디스크(24, 34)에 기억된 프로그램에 따라서 연산처리를 실행함으로써 각종 동작을 행하도록 되어 있다. 즉, 이 프로그램에 따라서 연산처리를 실행한 결과로서, 정보축적 서버(2)는 정보축적 서버(2)로서의 동작을 행하고, 서포트 컴퓨터(3)는 서포트 컴퓨터(3)로서의 동작을 행하게 된다.
도 5는 기판 처리장치(1), 정보축적 서버(2) 및 서포트 컴퓨터(3)의 각각의 프로그램에 따라서 CPU 등의 연산처리에 의해 실현되는 기능을 포함한, 기판 처리시스템(10)의 기능 구성의 개략을 나타내는 블록도이다.
기판 처리장치(1)에 있어서 도 5에 나타내는 구성중, 알람발생부(117)는 프로그램에 따라서 유닛제어부(115)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다. 또, 로그기록부(121), 알람처리부(122) 및 장해정보 생성부(123)는, 프로그램에 따라서 시스템 제어부(100)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다.
알람발생부(117)는, 치리유닛(110)에 있어서 어떤 장해가 발생한 때에, 장해가 발생한 것을 나타내는 경고신호로서 알람을 발생하는 것이다. 알람에는 미리 식별코드가 할당되어 있고, 알람발생부(117)는, 발생한 장해에 대응하는 식별코드를 가지는 알람을 발생하고, 시스템 제어부(100)로 송신을 행한다.
로그기록부(121)는, 처리유닛(110)의 가동에 대해서 정보를 로그파일(162)로서 기억부(104)에 기록하는 것이다. 로그파일(162)에는, 미리 정해진 가동에 관한 이벤트가 발생할 때마다 발생한 시간과 함께 그 이벤트의 내용이 기록된다. 로그파일(162)은 기판 처리장치(1)의 가동에 대해서 시계열의 정보를 나타내는 가동정보로서, 장해가 발생한 때에는 장해의 원인을 해석하기 위한 장치정보의 하나가 된다.
로그파일(162)은, 기판위치 로그, 프로세스 로그, 알람 로그, 조작 로그 및 통신 로그 등 복수 종류이고, 발생한 이벤트의 내용에 따라서 로그기록부(121)에 의해 분류되어, 각각 독립한 파일로서 기록된다. 또한, 이들 로그파일(162)의 각각에는 미리 식별코드가 할당되어 있다.
기판위치 로그는, 처리를 행한 기판의 기판 처리장치(1)내의 위치의 시계열의 정보를 나타내는 로그파일(162)이다. 구체적으로는, 예컨대 기판이 반송된 처리유닛(110)의 식별정보 등이다. 기판위치 로그는, 반송로봇(TR)이 기판을 반송할 때마다, 로그기록부(121)에서 기록된다. 기판 처리장치(1)에서 처리되는 기판은 각각 식별 ID가 주어지고, 기판위치 로그는 이 식별 ID와 함께 기록되기 때문에, 기판을 특정하여 어느 기판이, 어느 때, 어느 위치로 반송되었는가를 사후적으로 확인하는 것이 가능하다.
프로세스 로그는, 각 처리유닛(110)에서 행해진 실제의 처리의 내용ㆍ조건 등의 처리공정의 시계열의 정보를 나타내는 로그파일(162)이다. 구체적으로는, 예컨대 가열유닛에서의 가열온도나 가열시간, 도포처리 유닛(SC)에서의 레지스트 도포량이나 레지스트 농도 등이다. 프로세스 로그는, 각 처리유닛(110)의 유닛제어부(115)에서 기판의 처리가 행해질 때마다, 로그기록부(121)로 송신되어 기록되게 된다. 프로세스 로그에 있어서도, 기판의 식별 ID와 함께 기록되기 때문에, 기판을 특정하여 어느 기판이, 어느 때, 어느 처리유닛(110)에 있어서, 어떠한 처리조건으로 처리되었는가의 처리공정을 사후적으로 확인하는 것이 가능하다. 기판은 그 처리공정에 있어서 무엇인가 불비(不備)가 있었던 경우, 공정이 어느 정도 진행하고 있지 않으면 기판의 결함이 발견되지 않는 일이 많지만, 프로세스 로그를 확인함으로써, 그 결함이 발생한 것으로 보이는 처리공정상의 불비를 사후적으로 파악할 수 있게 된다. 장해가 발생한 때에, 이 프로세스 로그를 확실하게 보존하도록 하면, 장해의 원인 해석이 용이해진다.
알람 로그는, 발생한 알람의 시계열의 정보를 나타내는 로그파일(162)이다. 구체적으로는, 알람이 발생한 처리유닛(110)의 식별정보, 알람의 식별코드 등이다. 알람 로그는, 알람이 발생할 때마다, 로그기록부(121)에서 기록된다. 알람 로그에 의해, 어떤 처리유닛(110)에 있어서, 어느 때, 어느 알람이 발생하였는가를 사후적 으로 확인하는 것이 가능하다.
조작 로그는, 오퍼레이터가 조작부(140)를 조작한 조작내용의 시계열의 정보를 나타내는 로그파일(162)이다. 구체적으로는, 기판 처리장치(1)의 기동지시나 처리조건 변경지시 등이다. 조작 로그는, 오퍼레이터의 조작이 행해질 때마다, 로그기록부(121)에서 기록된다. 조작 로그에 의해, 어느 때, 어떠한 조작이 행해졌는가를 사후적으로 확인하는 것이 가능하다.
통신 로그는, 기판 처리장치(1)가 통신부(105)를 통해서 정보축적 서버(2) 등의 외부 장치와의 통신의 시계열의 정보를 나타내는 로그파일(162)이다. 구체적으로는, 정보축적 서버(2)로 송신한 정보의 내용 등이다. 통신 로그는, 통신부(105)에서 통신이 행해질 때마다 로그기록부(121)에서 기록된다. 통신 로그에 의해, 어느 때, 어떠한 통신이 행해졌는가를 사후적으로 확인하는 것이 가능하다.
알람처리부(122)는, 알람발생부(117)로부터의 알람을 수신하여, 해당 알람의 식별코드에 따라서 동작 제어를 행하는 것이다. 이 처리는, 기억부(104)에 미리 기억되어 있는 알람 정의파일(161)을 참조함으로써 행해진다. 알람 정의파일(161)은, 처리유닛(110)의 카테고리(도포처리 유닛(SC), 현상처리 유닛(SD) 등)마다 독립한 파일로서 기억되어 있고, 알람처리부(122)는 알람이 발생한 처리유닛(110)에 따라서 적절한 알람 정의파일(161)을 선택해서 참조하도록 되어 있다.
도 6은 알람 정의파일(161)의 일예를 나타내는 도면이다. 도면에 나타내는 바와 같이, 알람 정의파일(161)은 복수의 필드를 가진 테이블이다. 필드에는「알람 코드」,「표시 텍스트」,「시스템 제어코드」,「출력로그 파일코드」등이 포함되어 있다.
「알람 코드」는, 발생한 알람에 포함되는 식별코드를 나타내는 필드이다. 다른 필드(「표시 텍스트」,「시스템 제어코드」,「출력로그 파일코드」등)는, 이 「알람 코드」에 대응하게 되어 있다. 알람처리부(122)는, 수신한 알람의 식별코드를「알람 코드」에서 검색하고, 해당 식별코드에 대응하는 다른 필드에 기재된 내용에 따라서 처리를 행하게 된다.
「표시 텍스트」는, 장해의 구체적인 내용을 문장으로서 나타내는 필드이다. 알람처리부(122)는, 이「표시 텍스트」에 나타난 내용을 표시부(130)에 표시시킨다. 이것에 의해 오퍼레이터는 어떠한 장해가 발생하였는가를 구체적인 문장으로서 파악할 수 있다.
「시스템 제어코드」는, 알람발생시에서의 기판 처리장치(1)의 제어 내용을 나타내는 필드이다. 구체적으로는,「시스템 제어코드」가「1」이라면 기판 처리장치(1)의 가동을 정지하는,「2」라면 기판 처리장치(1)를 강제 재기동하는, 등의 제어 내용이 미리 할당되어 있다. 알람처리부(122)는「시스템 제어코드」의 기재내용에 따라서 동작 제어를 행하므로, 기판 처리장치(1)는 장해의 종류에 따라서 적절한 동작을 행하게 된다.
「출력로그 파일코드」는, 알람의 발생원인에 관련하는 로그파일의 식별코드를 나타내는 필드이다. 즉, 장해의 발생원인의 파악에 필요하게 되는 로그파일(162)의 식별코드만이 선택적으로 기재되어 있다. 이것에 의해, 알람처리부(122)는 알람의 발생원인에 관련하는 로그파일(162)만(예컨대, 프로세스 로그와 조작 로그만)을 용이하게 선택하여, 추출할 수 있다. 또한, 이하 알람처리부(122)에 의해 추출된 알람의 발생원인에 관련하는 로그파일(162)을 관련 로그파일(262)이라고도 한다.
또한 알람처리부(122)는, 관련 로그파일(262)을 LAN(41)을 통해서 정보축적 서버(2)에 송신하도록 되어 있다. 송신된 관련 로그파일(262)은, 정보축적 서버(2)의 고정디스크(24)에 기억된다. 또한 알람처리부(122)는 장해정보 생성부(123)에 장해정보를 생성하도록 지시를 행한다.
장해정보 생성부(123)는, 알람처리부(122)로부터 지시를 받아, 발생한 장해에 대해서 장해정보를 생성한다. 요컨대, 장해정보 생성부(123)는, 알람이 발생한 때에 장해정보를 생성하는 수단이 된다.
장해정보는, 관련로그파일(262)과 함께 장행의 원인을 특정하기 위한 장치정보의 하나로서,「발생일시」,「발생장치」,「유닛」,「버전」,「장해내용」,「로그」등의 항목을 구비하고 있다.
「발생일시」는, 알람의 발생일시로서 소정의 계시(計時)회로에서 장해정보 생성시에 취득된다.
「발생장치」는, 장해가 발생한 기판 처리장치(1) 자신의 식별정보이다. 기판처리 공장(4)에 배치되는 기판 처리장치(1)의 각각에는 식별정보가 미리 할당되어 있고, 기억부(104)에 기억되어 있다.
「유닛」은, 장해가 발생한 처리유닛(110)의 식별정보이다. 알람의 송신원이 되는 처리유닛(110)을 나타낸다.
「버전」은, 장해가 발생한 처리유닛(110)에서의 유닛제어용 프로그램의 버전정보이다. 장해는 프로그램의 특정 버전에만 발생하는 일이 있기 때문에, 버전정보에 의해 장해의 원인을 특정할 수 있는 경우가 있다.
「장해내용」은, 상기 알람 정의파일(161)의「표시 텍스트」의 내용으로서, 알람처리부(122)에서 취득된다.
「로그」는, 관련 로그파일(262)의 정보축적 서버(2)에서의 보존패스로서, 알람처리부(122)에서 취득된다. 이 항목에 의해, 장해정보와 관련 로그파일(262)은 관련하게 된다.
이와 같이 장해정보는, 오퍼레이터나 장해해석 담당자에게 취해져 발생한 장해의 내용을 구체적이고 또 용이하게 파악하는 것이 가능한 정보로 구성된다. 장해정보 생성부(123)는 장해정보를 생성하면, 이 장해정보를 LAN(41)을 통해서 정보축적 서버(2)에 대해서 송신한다.
정보축적 서버(2)는, 기판처리 공장(4)에 배치되는 기판 처리장치(1)의 장치정보를 축적하는 것이다. 도 5에 나타내는 구성중, 장해정보 등록부(224), 메일송신부(225), 장치정보 공개부(226) 및 대처정보 등록부(227)는, 프로그램에 따라 서 CPU(21)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다.
장해정보 등록부(224)는, 기판 처리장치(1)의 장해정보 생성부(123)로부터 장해정보를 수신하면, 장해정보 데이터베이스(이하,「장해정보 DB」)(261)에 추가 등록한다. 따라서, 장해정보는 장해정보 DB(261)로서 고정디스크(24)에 축적되게 된다. 장해정보의 추가등록시에는, 추가하는 장해정보의 식별번호가 자동적으로 장해정보 등록부(224)에 의해 생성된다.
도 7은, 장해정보 DB(261)의 일예를 나타내는 도면이다. 도면에 나타내는 바와 같이, 장해정보 DB(261)는 복수의 필드를 가지고 있고, 도면에 있어서 필드(D1~D6)에는 장해정보의「발생일시」,「발생장치」,「유닛」,「버전」,「장해내용」,「로그」의 각 항목이 각각 저장된다. 또 생성된 장해정보의 식별번호는 「No.」로 기재된 필드(D0)에 저장된다. 또한,「로그」로 기재된 필드(D6)에 있어서는, 관련 로그파일(262)의 보존패스가 저장되기 때문에, 장해정보 DB(261)에 있어서도 관련 로그파일(262)과 관련하게 된 상태가 된다. 장해가 발생할 때마다 장해정보 DB(261)로서 장해정보가 축적되어 가기 때문에, 장해정보 DB(261)는 발생한 장해의 정보와 함께 기판처리 공장(4)에 있어서 과거에 발생한 장해의 이력도 나타내게 된다.
또, 장해정보 등록부(224)는, 장해정보 DB(261)에 새로운 장해정보를 추가 등록한 때에, 기판 처리장치(1)에서 장해가 발생한 취지를 서포트 컴퓨터(3)에 대해서 통지하도록 메일송신부(225)에 지시한다.
*메일송신부(225)는, 장해정보 등록부(224)로부터 지시를 받아, 장해가 발생한 취지를 기재한 전자메일을 서포트 컴퓨터(3)로 송신하는 것이다. 요컨대, 메일송신부(225)는, 알람이 발생한 때에 네트워크(6)를 통해서 서포트 컴퓨터(3)로 장해가 발생한 취지를 통지하는 수단이 된다.
장치정보 공개부(226)는, 고정디스크(24)에 축적된 장해정보 DB(261)나 관련 로그파일(262) 등의 장치정보를 서포트 컴퓨터(3)에서 열람 가능하게 하는 것이다. 장치정보 공개부(226)는 HTTP 서버 기능을 가지고 있고, 장치정보를 HTML 문서로 하여 네트워크(6)로 송신한다. 이와 같은 장치정보의 송신은, 네트워크(6)에 접속된 외부장치에서 WEB 브라우저를 통한 열람 요구에 따라 행해진다.
대처정보 등록부(227)는, 서포트 컴퓨터(3)로부터 대처정보를 수신하는 것이다. 대처정보란, 서포트 센터(5)의 장해해석 담당자가 장해가 발생한 기판 처리장치(1)의 장치정보를 열람하여 해석한 해석결과나, 그 장해의 대응책 등이다. 즉, 대처정보 등록부(227)는 장치정보에 의거한 장해의 대처정보를 취득하는 수단이 된다. 대처정보 등록부(227)는 이 대처정보를 수신하면, 대처정보 데이터베이스(이하,「대처정보 DB」)(263)에 추가 등록한다. 따라서, 대처정보는 대처정보 DB(263)로서 고정디스크(24)에 축적되게 된다.
또한, 고정디스크(24)에 축적되는 상기의 장해정보 DB(261), 관련 로그파일(262) 및 대처정보 DB(263)는, 정보축적 서버(2)에 있어서 소정의 조작을 행함으로써, 그 내용을 디스플레이(25)에 표시하여 수시로 확인하는 것이 가능하게 되어 있다.
서포트 컴퓨터(3)에 있어서 도 5에 나타내는 구성중, 메일수신부(321), WEB 브라우저(322) 및 대처정보 송신부(323)는, 프로그램에 따라서 CPU(31)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다.
메일수신부(321)는, 네트워크(6)를 통해서 전자메일을 수신하는 것이다. 메일수신부(321)는, 일정 시간마다 소정의 메일 서버장치(도시 생략)와 통신을 행하 고, 서포트 컴퓨터(3)앞의 전자메일을 자동으로 체크하도록 되어 있다. 상기 메일송신부(225)에서 송신된 전자메일은, 메일수신부(321)에서 수신되게 된다.
WEB 브라우저(322)는, 네트워크(6)에서의 어드레스(URL)가 지정됨으로써 해당 어드레스에 있는 HTML 문서 등을 취급하는 기능을 가지고 있다. 소정의 어드레스가 지정됨으로써, 정보축적 서버(2)에 축적되어 있는 장치정보를 장치정보 공개부(226)를 통해서 취득하는 것이 가능하다. 이것에 의해, 서포트 센터(5)의 장해해석 담당자는, 장해가 발생한 기판 처리장치(1)의 장해정보나 관련 로그파일(262) 등을 열람할 수 있다.
대처정보 송신부(323)는, 정보축적 서버(2)에 대처정보를 송신하는 것이다. 대처정보는 장해해석 담당자의 소정의 조작에 의해 서포트 컴퓨터(3)로 입력되어, 대처정보 송신부(323)에 의해 정보축적 서버(2)로 송신된다.
다음에, 기판 처리장치(1)의 장해가 발생한 때에서의 기판 처리시스템(10)의 처리내용에 대해서 설명한다. 도 8은 기판 처리시스템(10)의 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 도 8에 있어서, 기판 처리장치(1)에서의 처리는 우측에, 정보축적 서버(2)에서의 처리는 중앙에, 서포트 컴퓨터(3)에서의 처리는 좌측에 각각 나타내고 있다. 또, 하방향으로 가면 시간이 경과하는 것을 나타내고 있다.
우선, 기판 처리장치(1)의 어느 처리유닛(110)에 있어서 장해가 발생하면, 해당 처리유닛(110)의 알람발생부(117)는, 장해에 대응한 식별코드를 가지는 알람을 발생하여 시스템 제어부(100)로 송신한다(스텝 S11).
송신된 알람은 알람처리부(122)에서 수신되어, 식별코드에 따른 동작 제어를 행한다. 즉, 알람 정의파일(161)을 참조하여「표시 텍스트」에 기재된 장해의 구체적인 내용을 표시부(130)에 표시시킴과 동시에,「시스템 제어코드」에 따라서 기판 처리장치(1)의 가동을 정지하는 등의 동작 제어를 행한다(스텝 S12).
또한, 알람처리부(122)는, 알람 정의파일(161)의「출력로그 파일코드」를 참조하여 관련 로그파일(262)을 추출하고, 해당 관련 로그파일(262)을 정보축적 서버(2)로 송신한다(스텝 S13). 송신된 관련 로그파일(262)은 정보축적 서버(2)에서 수신되어 고정디스크(24)에 기억된다(스텝 S21). 이것에 의해, 장해의 해석에 필요하게 되는 관련 로그파일(262)만이 추출되어 확실하게 보존되게 된다. 상술한 바와 같이, 프로세스 로그는 장해원인을 해석할 때 특히 중요하기 때문에 관련 로그파일(262)로서 확실하게 보존되는 것이 바람직하다.
다음에, 알람처리부(122)는, 장해정보 생성부(123)에 장해정보를 생성하도록 지시를 행함과 동시에, 알람 정의파일(161)의「표시 텍스트」의 내용과, 관련 로그파일(262)의 보존패스를 받아 넘긴다. 장해정보 생성부(123)는, 알람처리부(122)로부터 지시를 받아 장해정보를 생성하고(스텝 S14), 생성한 장해정보를 정보축적 서버(2)로 송신한다(스텝 S15).
장해정보는 정보축적 서버(2)의 장해정보 등록부(224)에서 수신되어, 장해정보 DB(261)에 추가 등록된다(스텝 S22). 이것에 의해, 발생한 장해에 대해서 장해정보와 관련 로그파일(262)은 관련하게 되어 고정디스크(24)에 기억됨과 동시에, 장치정보 공개부(226)를 통해서 서포트 컴퓨터(3)에서 열람할 수 있는 상태가 된다. 또한, 장해정보 DB(261) 및 관련 로그파일(262)에는 적절한 시큐리티를 부가하여, 네트워크(6)에 대해서 송신할 때 패스워드를 요구하는 등 하여 불법 열람을 방지할 수 있도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 장해정보 등록부(224)는, 기판 처리장치(1)에서 장해가 발생한 취지를 서포트 컴퓨터(3)에 대해서 통지하도록 메일송신부(225)에 지시한다. 이 지시를 받아, 메일송신부(225)는 장해가 발생한 취지를 기재한 전자메일을 서포트 컴퓨터(3)의 메일 어드레스로 송신한다(스텝 S23). 그 메일 어드레스는 미리 고정디스크(24)에 기억되어 있다.
송신된 전자메일은, 서포트 컴퓨터(3)의 메일수신부(321)에서 수신된다(스텝 S31). 이것에 의해, 서포트 센터의 장해해석 담당자는 기판처리 공장(4)에서 장해가 발생한 것을 인지한다. 장해가 발생하고 나서 전자메일이 송신될 때까지 상기 처리는 모두 자동적으로 행해지기 때문에, 장해해석 담당자는 원격지이면서 시간대에 관계없이 즉석에서 장해발생을 인지할 수 있다.
전자메일에 의한 통지를 받고, 장해해석 담당자는 WEB 브라우저(322)를 사용하여 정보축적 서버(2)에 대해서 장해정보 DB(261)의 열람을 요구한다. 이때 WEB 브라우저(322)로 지정하는 어드레스는 상기 전자메일에 기재되어 있는 것이라도 되고, 서포트 컴퓨터(3)의 고정디스크(24) 등에 미리 기억되어 있는 것이라도 된다. 이 열람요구를 받은 정보축적 서버(2)의 장치정보 공개부(226)는 장해정보 DB(261)를 서포트 컴퓨터(3)로 송신한다. 이것에 의해, 서포트 컴퓨터(3)의 디스플레이(35)에는 장해정보 DB(261)의 내용이 도 7과 같이 표시된다.
장해해석 담당자는, 장해정보 DB(261)의 최종 데이터가 되는 장해정보에 의해, 발생한 장해의 내용을 구체적이고 또 용이하게 파악할 수 있다. 또 소정의 조작에 의해「로그」로 기재된 필드(D6)를 지정하여 보내는 것에 의해, 해당 장해의 관련 로그파일(262)을 더 표시하여 열람할 수 있다(스텝 S32, 24). 이때, 장해에 관련이 있는 관련 로그파일(262)만이 이미 추출되어 있기 때문에, 데이터 용량은 제한되어 비교적 고속으로 수신할 수 있다.
장해해석 담당자는, 이들 장해정보나 관련 로그파일(262)에 의거해서, 장해 원인의 해석을 행한다. 이 해석에 있어서도, 장해에 관련이 있는 관련 로그파일(262)만이 추출되어 있기 때문에, 장해 원인의 추정을 용이하고 또 정확하고 확실하게 행하는 것이 가능하다. 또, 과거에 발생한 장해의 이력을 열람하는 것도 가능하기 때문에, 과거의 장해정보로부터 장해의 원인을 추정하는 것도 가능하다.
장해해석 담당자가 장해 원인의 해석을 종료하면, 장해의 해석결과와 그 대응책 등이 대처정보로서 서포트 컴퓨터(3)로 입력된다.
대처정보는,「No.」,「대상장치」,「유닛」,「해석결과」,「대응방법」,「프로그램 예정」,「버전」등의 항목의 정보를 구비하고 있다.
「No.」는, 대처정보의 식별번호이다. 장해정보의 식별번호와 동일한 번호가 된다.
「대상장치」는, 장해가 발생한 기판 처리장치(1)의 식별번호이다. 장해정보의「발생장치」와 동일하게 된다.
「유닛」은, 장해가 발생한 처리유닛(110)의 식별번호이다. 장해정보의「유닛」과 동일하게 된다.
「해석결과」는, 장해정보 및 관련 로그파일(262)에 의거해서 해석된 결과를 문장으로 나타내는 것으로서, 장해의 발생원인 등이 구체적으로 기재된다.
「대응방법」은, 장해에 대한 구체적인 대응책으로서, 장해에 대한 처치의 조작수순 등이 기재된다.
「프로그램 예정」은, 장해의 발생을 회피하는 기판 처리장치(1)의 신규 프로그램의 릴리스(release) 예정시기를 나타낸다. 이 신규 프로그램으로 갱신함으로써, 동일한 장해발생을 방지할 수 있다.
「버전」은, 상기 신규 프로그램의 버전정보이다.
이들 정보가 입력되면, 대처정보 송신부(323)에 의해 정보축적 서버(2)로 송신된다(스텝 S33). 대처정보는 정보축적 서버(2)의 대처정보 등록부(227)에서 수신되어, 대처정보 DB(263)에 추가 등록된다(스텝 S25).
도 9는 대처정보 DB(263)의 일예를 나타내는 도면이다. 도면에 나타내는 바와 같이, 대처정보 DB(263)는 복수의 필드를 가지고 있고, 도면에 있어서 필드(D10~D16)에는, 대처정보의「No.」,「대상장치」,「유닛」,「해석결과」,「대응방법」,「프로그램 예정」,「버전」의 항목의 정보가 각각 저장된다. 이 대처정보 DB(263)의 내용은, 정보축적 서버(2)에 있어서 수시 확인하는 것이 가능하기 때문에, 기판처리 공장(4)의 오퍼레이터에 있어서도 장해에 대해서 적절한 대응을 행할 수 있게 된다.
이상과 같이 하면, 기판 처리장치(1)에서 장해가 발생한 때에 있어서, 자동적으로 서포트 센터(5)의 장해해석 담당자에게 통지할 수 있고, 원격지에서 네트워크(6)를 통해서 즉석에서 장해정보 및 관련 로그파일(262)을 참조할 수 있기 때문에, 장해의 발생원인의 해석을 시작할 때까지의 시간을 대폭 단축할 수 있다.
또, 장해에 관련이 있는 관련 로그파일(262)만이 추출되어 축적되기 때문에, 장해의 발생원인의 해석에 필요하게 되는 로그파일을 확실하게 축적 보존할 수 있다. 또, 축적하는 데이터 용량이 제한되기 때문에, 서포트 컴퓨터(3)로 송신도 비교적 고속으로 행할 수 있음과 동시에, 해석에 필요하게 되는 기록내용의 검색시간도 단축할 수 있다.
또한, 해석까지의 시간이 단축됨과 동시에 해석결과나 대응책 등의 대처정보도 수시 확인할 수 있기 때문에, 즉석에서 장해에 대해 적절한 대응을 행하는 것이 가능해진다.
제1 실시형태는 상기에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 정보축적 서버(2)는 기판처리 공장(4)내에 배치되어 있도록 되어 있었지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 네트워크(6)에 접속되어 기판 처리장치(1) 및 서포트 컴퓨터(3)와 통신 가능하게 되어 있으면 어디에 배치되어 있어도 된다.
또, 정보축적 서버(2)에 의한 처리기능을 기판 처리장치(1)가 가지고 있어도 된다. 도 10은 기판 처리장치(1)가 정보축적 서버(2)의 처리기능을 가진 경우에서의 기판 처리시스템(10)의 기능 구성의 개략을 나타내는 블록도이다. 도 5와 동일한 기능을 가지는 것에 관해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.
도 10에 나타내는 구성중, 장해정보 등록부(124), 메일송신부(125), 장치정보 공개부(126) 및 대처정보 등록부(127)는, 프로그램에 따라서 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다.
장해정보 등록부(124)는 정보축적 서버(2)의 장해정보 등록부(224)의 기능에 상당하고, 메일송신부(125)는 정보축적 서버(2)의 메일송신부(225)의 기능에 상당하며, 장치정보 공개부(126)는 정보축적 서버(2)의 장치정보 공개부(226)의 기능에 상당하고, 대처정보 등록부(127)는 정보축적 서버(2)의 대처정보 등록부(227)의 기능에 상당한다. 이와 같은 구성이라면 상기 실시형태에 있어서 정보축적 서버(2)에서 행해지고 있던 처리를 기판 처리장치(1)에서 행할 수 있고, 보다 간단한 구성으로 본 발명을 실현하는 것이 가능해진다.
또, 상기 실시형태에 있어서는, 알람 정의파일은 경고신호가 되는「알람코드」에「표시 텍스트」,「시스템 제어코드」,「출력로그 파일코드」의 항목이 대응하게 되어 있었지만, 적어도 경고신호와 그 경고신호의 발생원인에 관련하는 관련 가동정보가 대응하게 되어 있으면, 그 밖에 어떠한 항목이 대응하게 되어 있어도 된다.
또, 상기 실시형태에 있어서는, 장치정보로서 관련 로그파일(262)과 장해정보만이 정보축적 서버(2)에 축적되어 서포트 컴퓨터(3)에서 열람할 수 있도록 되어 있었지만, 기판 처리장치(1)에 관한 장치정보라면 어떠한 정보라도 된다.
〈2. 제2 실시형태〉
제2 실시형태의 기판 처리시스템(10)의 개략 구성은 도 1에 나타낸 것과 동일하다. 단, 제2 실시형태의 기판 처리시스템(10)에 있어서는, 기판 처리장치(1)의 장해의 대처정보 등의 추가정보가 서포트 컴퓨터(3)에 축적되도록 되어 있고, 축적된 추가정보는 네트워크(6)를 통해서 기판 처리장치(1)에서 취득할 수 있도록 되어 있다.
기판 처리장치(1)의 구성은, 제1 실시형태의 도 2, 도 3에 있어서 설명한 것과 동일하다. 또, 서포트 컴퓨터(3)는, 추가정보를 축적함과 동시에 기판 처리장치(1)에서의 요구에 따라서 추가정보를 제공하는 컴퓨터로서, 그 구성은 제1 실시형태의 도 4에서 설명한 것과 동일하다.
도 11은 제2 실시형태의 기판 처리장치(1) 및 서포트 컴퓨터(3)의 각각이 프로그램에 따라서 CPU 등의 연산처리에 의해 실현되는 기능을 포함한 기판 처리시스템(10)의 기능 구성의 개략을 나타내는 블록도이다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 기판 처리장치(1)의 기억부(104)에는, 기판 처리장치(1)에 있어서 상정되는 장해에 대한 대처정보(163)가 미리 기억되어 있다. 이 대처정보(163)에는, 장해의 발생원인, 장해에 대응하는 처치방법, 장해시에서의 기능의 제약사항 등 장해가 발생한 때에서의 구체적인 대응책이 기재되어 있다.
대처정보(163)는, 상정되는 장해 종류의 각각에 대해서 준비되어 있고, 각각 독립한 파일로서 기억되어 있다. 장해의 발생시에는 필요에 따라서 이 대처정보(163)가 선택되고, 그 내용이 표시부(130)에 표시된다. 또한 이하, 기판 처리장치(1)에 미리 기억되어 있는 대처정보(163)를「장치내 대처정보」라고도 한다.
또, 서포트 컴퓨터(3)의 고정디스크(34)에도, 기판 처리장치(1)의 장해에 관한 대처정보(363) 등의 추가정보가 축적되어 있다. 이 대처정보(363)는, 서포트 센터(5)의 시스템 관리자에 의해 새로운 대처정보를 판명할 때마다 그 내용이 갱신되도록 되어 있다. 따라서, 기판 처리장치(1)의 도입 후에 판명하여 추가된 정보도 포함되어 있고, 대처정보(363)는 항상 최신의 대처정보로서 축적되게 된다. 또한 이하, 서포트 컴퓨터(3)에 축적되는 대처정보(363)를,「최신 대처정보」(363)라고도 한다.
기판 처리장치(1)는, 네트워크(6)를 통해서 서포트 컴퓨터(3)로부터 최신 대처정보(363)를 취득하여, 장치내 대처정보(163)의 내용을 갱신할 수 있도록 되어 있지만 상세는 후술한다.
도 11에 나타내는 구성중, 알람발생부(117)는 프로그램에 따라서 기판 처리장치(1)의 유닛제어부(115)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다. 또, 알람처리부(122) 및 대처정보 취득부(128)는, 프로그램에 따라서 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다. 또, 대처정보 제공부(324)는, 프로그램에 따라서 서포트 컴퓨터(3)의 CPU(31)가 연산 처리함으로써 실현되는 기능이다.
알람발생부(117)는, 처리유닛(110)에 있어서 무엇인가 장해가 발생하였을 때, 장해가 발생한 것을 나타내는 경고신호로서 알람을 발생하는 것이다. 알람에는 미리 식별코드가 할당되어 있고, 알람발생부(117)는 발생한 장해에 대응하는 식별코드를 가지는 알람을 발생하여, 시스템 제어부(100)로 송신을 행한다.
*알람처리부(122)는, 알람발생부(117)로부터 알람을 수신하고, 해당 알람의 식별코드에 따라서 동작 제어를 행하는 것이다. 이 처리는, 기억부(104)에 미리 기 억되어 있는 알람 정의파일(461)을 참조함으로써 행해진다. 알람 정의파일(461)은, 처리유닛(110)의 카테고리(도포처리 유닛(SV), 현상처리 유닛(SD) 등)마다 독립한 파일로서 기억되어 있고, 알람처리부(122)는 알람이 발생한 처리유닛(110)에 따라서 적절한 알람 정의파일(461)을 선택하여 참조하도록 되어 있다.
도 12는 알람 정의파일(461)의 일예를 나타내는 도면이다. 도면에 나타내는 바와 같이, 알람 정의파일(461)은 복수의 필드를 가진 테이블이다. 필드에는,「알람코드」,「표시 텍스트」,「시스템 제어코드」,「대처정보」,「갱신일」등이 포함되어 있다.
「알람코드」는, 발생한 알람에 포함되는 식별코드를 나타내는 필드이다. 다른 필드(「표시 텍스트」,「시스템 제어코드」,「대처정보」,「갱신일」등)는, 이 「알람코드」에 대응하게 되어 있다. 알람처리부(122)는, 수신한 알람의 식별코드를「알람코드」에서 검색하여, 해당 식별코드에 대응하는 다른 필드에 기재된 내용에 따른 처리를 행하게 된다.
「표시 텍스트」는, 장해의 구체적인 내용을 문장으로서 나타내는 필드이다. 알람처리부(122)는, 이「표시 텍스트」에 나타난 내용을 표시부(130)에 표시시킨다. 이것에 의해 오퍼레이터는 어떠한 장해가 발생하였는가를 구체적인 문장으로서 파악할 수 있다.
「시스템 제어코드」는, 알람발생시에서의 기판 처리장치(1)의 제어내용을 나타내는 필드이다. 구체적으로는,「시스템 제어코드」가「1」이라면 기판 처리장치(1)의 가동을 정지하는,「2」라면 기판 처리장치(1)를 강제 재기동하는, 등의 제어 내용이 미리 할당되어 있다. 알람처리부(122)는「시스템 제어코드」의 기재내용에 따라서 동작 제어를 행하므로, 기판 처리장치(1)는 장해의 종류에 따라서 적절한 동작을 행하게 된다.
「대처정보」는, 발생한 알람에 대응하는 장치내 대처정보(163)의 필드명을 나타내는 필드이다. 즉, 알람의 발생원인이 되는 장해에 대응하는 장치내 대처정보(163)가 대응하게 되어 있다. 이 때문에, 알람처리부(122)는 장해가 발생한 때에는 해당 장해에 대응하는 장치내 대처정보(163)를 용이하게 선택할 수 있다. 선택된 장치내 대처정보(163)는, 알람처리부(122)에 의해 상기「표시 텍스트」와 함께 표시부(130)에 자동적으로 표시된다.
「갱신일」은,「대처정보」에 나타나는 장치내 대처정보(163)가 갱신된 일시를 나타내는 필드이다. 즉,「갱신일」에 나타난 일시의 시점에 있어서,「대처정보」에 기재된 장치내 대처정보(163)가 최신의 정보였던 것을 나타내게 된다. 또한, 기판 처리장치(1)의 도입시로부터 미리 기억되어, 전혀 갱신이 없는 파일에 관해서는, 해당 기판 처리장치(1)의 출하일시나 도입일시 등이 기재되어도 되고 기재가 없어도 된다.
대처정보 취득부(128)는, 네트워크(6)를 통해서 서포트 컴퓨터(3)로부터 최신 대처정보(363)를 취득하는 것이다. 취득시에는, 소정의 요구 커맨드를 서포트 컴퓨터(3)로 송신한다. 대처정보 취득부(128)에서 송신된 요구 커맨드는, 서포트 컴퓨터(3)의 대처정보 제공부(324)에서 수신된다. 대처정보 제공부(324)는, 수신한 요구 커맨드에 의거해서 최신 대처정보(363)를 선택하여, 기판 처리장치(1)로 송신 하도록 되어 있다.
이것에 의해, 대처정보 취득부(128)는 최신 대처정보(363)을 취득할 수 있다. 대처정보 취득부(128)는, 장치내 대처정보(163)중 해당하는 파일에 대해서 취득한 최신 대처정보(363)를 재기록하여 보존한다. 이렇게 하여, 장치내 대처정보(163)의 내용은, 최신의 정보로 갱신되게 된다.
다음에, 기판 처리장치(1)의 장해가 발생한 때에서의 기판 처리시스템(10)의 처리내용에 대해서 설명한다. 도 13은 제2 실시형태의 기판 처리시스템(10)의 처리의 흐름을 나타내는 도면이다. 도 13에 있어서, 기판 처리장치(1)에서의 처리는 우측에, 서포트 컴퓨터(3)에서의 처리는 좌측에 각각 나타내고 있다. 또, 하방향으로 갈수록 시간이 경과하는 것을 나타내고 있다.
우선, 기판 처리장치(1)의 어느 처리유닛(110)에 있어서 장해가 발생하면, 해당 처리유닛(110)의 알람발생부(117)는, 장해에 대응한 식별코드를 가지는 알람을 발생시켜 시스템 제어부(100)로 송신한다(스텝 T11).
송신된 알람은 알람처리부(122)에서 수신되어, 식별코드에 따른 동작 제어를 행한다. 즉, 알람 정의파일(461)을 참조하여「시스템 제어코드」에 따라서 기판 처리장치(1)의 가동을 정지하는 등의 동작 제어를 행한다(스텝 T12).
다음에, 알람처리부(122)는, 알람 정의파일(161)의「대처정보」를 참조하여, 해당 장해에 대응하는 장치내 대처정보(163)를 선택한다. 그리고, 알람 정의파일(161)의「표시 텍스트」와 함께, 선택한 장치내 대처정보(163)의 내용을 표시부(130)에 표시한다(스텝 T13). 이것에 의해, 기판 처리장치(1)의 오퍼레이터는 발생한 장해의 구체적인 내용과 함께, 그 장해의 구체적인 대응책을 파악할 수 있다.
또, 알람 정의파일(161)의「갱신일」의 내용도 표시부(130)에 동시에 표시된다. 이것에 의해, 오퍼레이터는 그 내용이 표시되어 있는 장치내 대처정보(163)의 갱신된 일시를 파악할 수 있고, 그 내용의 신뢰성을 판단하는 것이 가능해진다. 요컨대, 갱신일에서 시간이 경과하고 있으면, 서포트 컴퓨터(3)에는 새로운 대처정보가 축적되어 있을 가능성이 있는 것으로 판단할 수 있는 의미이다.
또한 표시부(130)에는, 최신의 대처정보를 취득할 것인가 아닌가를 문의하는 메시지가 표시된다(스텝 T14). 오퍼레이터는, 표시부(130)에 표시되어 있는 장치내 대처정보(163)의 내용이나 갱신일 등을 확인하고 나서, 최신의 대처정보를 취득할 것인가 아닌가를 조작부(140)를 통해서 입력할 수 있다. 이때, 오퍼레이터에 의해 취득할 수 없는 것으로 선택된 경우(스텝 T14에서 No)는, 이하에 설명하는 최신 대처정보(363)의 취득처리는 행해지지 않고, 장치내 대처정보(163)만으로 장해에 대응하게 된다.
한편, 오퍼레이터에 의해 최신의 대처정보를 취득하는 것으로 선택된 경우(스텝 T14에서 Yes)는, 알람처리부(122)는 대처정보 취득부(128)에 대해서 최신 대처정보(363)를 취득하도록 지시한다. 알람처리부(122)의 지시에 의해, 대처정보 취득부(128)는 최신 대처정보(363)를 취득하기 위해, 서포트 컴퓨터(3)에 대해서 소정의 요구 커맨드를 송신한다(스텝 T15). 이 요구 커맨드는, 서포트 컴퓨터(3)의 대처정보 제공부(324)에 의해 수신된다(스텝 T31).
요구 커맨드에는, 기판 처리장치(1) 자신의 식별정보, 장해가 발생한 처리유닛(110)의 식별정보, 기판 처리장치(1)에서 기재되어 있는 프로그램의 버전정보, 발생한 알람의 식별코드의 각 정보가 부가되어 있다. 프로그램의 버전정보는, 시스템 제어용 프로그램과 유닛제어용 프로그램의 양자의 버전정보가 포함되는 것이 바람직하다. 이들 각 정보는, 대처정보 취득부(128)의 처리에 의해 요구 커맨드에 부가된다.
대처정보 제공부(324)는, 요구 커맨드에 부가된 각 정보에 의해, 송신해야 할 최신 대처정보(363)를 선택할 수 있다. 선택된 최신 대처정보(363)는 대처정보 제공부(324)에 의해 기판 처리장치(1)로 송신되어(스텝 T32), 대처정보 취득부(128)에서 수신된다(스텝 T16). 이와 같은 처리에 의해, 대처정보 취득부(128)는 발생한 알람의 발생원인인 장해의 최신 대처정보(363)만을 선택적으로 취득할 수 있다. 이것과 함께, 수신하는 최신 대처정보(363)의 데이터 용량을 제한하게 되어, 비교적 고속으로 수신할 수 있다.
대처정보 취득부(128)는, 구정보가 되는 장치내 대처정보(163)(스텝 T13에서 선택된 장치내 대처정보(163))에 대해서, 수신한 최신 대처정보(363)를 재기록하고, 기억부(104)에 기억시킨다. 또, 알람 정의파일(161)의「갱신일」을, 최신 대처정보(363)를 취득한 시점의 일시로 재기록하여 갱신한다. 또한, 알람 정의파일(161)의「대처정보」를, 취득한 최신 대처정보(363)의 파일명으로 재기록하여 갱신한다. 이렇게 하여, 취득된 최신 대처정보(363)는, 새롭게 장치내 대처정보(163)로서, 알람에 대해서 대응하게 되어 기억되게 된다(스텝 T17). 요컨대, 최신 대처정보(363)는 미리 도입시부터 존재하는 대처정보와 같이 기억부(104)에 기억되고, 알람 정의파일(161)도 이것에 따라 갱신된다. 이 때문에, 추가된 대처정보도 장해의 대처정보로서 일원적으로 관리할 수 있고, 이전부터 존재하는 대처정보와 같이 취급하는 것이 가능해진다.
계속해서, 대처정보 취득부(128)는 최신 대처정보(363)를 취득한 취지를 알람처리부(122)에 대해서 통지하고, 이 통지를 받아 알람처리부(122)는, 알람 정의파일(161)을 다시 참조하여, 취득된 최신 대처정보(363)를 표시부(130)에 표시시킨다(스텝 T18). 이것에 의해, 오퍼레이터는, 최신의 대처정보를 열람할 수 있고, 장해에 대해서 적절한 대응을 행할 수 있다.
이상과 같이 하면, 추가정보를 축적하는 서포트 컴퓨터(3)로부터, 네트워크를 통해서 최신 대처정보(363)를 즉석에서 취득할 수 있기 때문에, 기판 처리장치(1)에서 장해가 발생한 때에 있어서도 적절한 대응을 행하는 것이 가능해진다. 또, 추가된 대처정보는, 미리 기억되어 있는 대처정보와 함께 일원적으로 관리되어 같이 취급할 수 있게 된다.
제2 실시형태는 상기에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제2 실시형태에 있어서는, 오퍼레이터에게 최신의 대처정보를 취득할 것인가 아닌가의 문의를 행해, 취득하는 것이 선택된 경우에만, 최신 대처정보(363)를 취득하도록 하였지만, 오퍼레이터에게 문의를 행하지 않고 자동적으로 최신 대처정보(363)의 취득을 행하도록 하여도 된다. 즉, 도 13에 나타낸 스텝(T13, T14)의 처리를 행해도 된다. 이것에 의하면, 기판 처리장치(1)에 있어서 장해가 발생한 경우에 자동적으로 최신 대처정보(363)가 취득되고, 항상 최신의 대처정보를 열람할 수 있다.
또, 상기 실시형태에 있어서는, 대처정보(163)는 각각 독립한 파일로서 기억되고, 알람 정의파일(461)에 의해 경고신호(알람)에 간접적으로 대응하게 되어 있었지만, 알람 정의파일(461)의「대처정보」필드 등에 그 내용이 기재되어, 직접적으로 경고신호와 대응하게 되어 있어도 된다. 결국은, 경고신호와, 그 경고신호의 발생원인인 장해의 대처정보가 대응하도록 되어 있으면 된다.
또, 상기 실시형태에 있어서, 최신 대처정보(363)를 취득할 때 송신하는 요구 커맨드에는, 기판 처리장치(1)의 식별정보, 처리유닛(110)의 식별정보, 프로그램의 버전정보, 알람의 식별코드의 각 정보가 부가되어 있었지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 기판 처리장치(1)의 식별정보, 처리유닛(110)의 식별정보, 프로그램의 버전정보, 알람의 식별코드의 정보를 한결같이 도출하도록, 대처정보의 파일명이 구성되어 있으면, 파일명만을 요구 커맨드에 부가하여 적절한 최신 대처정보(363)를 선택적으로 취득하는 것도 가능하다.
또, 상기 실시형태에 있어서는, 추가정보로서 대처정보(363)만을 서포트 컴퓨터(3)에서 취득하는 것으로 되어 있었지만, 기판 처리장치의 사양에 관한 정보, 조작방법에 관한 정보, 기판 처리방법에 관한 정보 등, 기판 처리장치(1)의 추가정보라면 어떠한 정보라도 된다.
〈3. 제3 실시형태〉
제3 실시형태의 기판 처리시스템(10)의 개략 구성은 도 1에 나타낸 것과 동일하다. 단, 제3 실시형태의 기판 처리시스템(10)에 있어서는, 기판 처리장치(1)에 실장되는 소프트웨어 모듈의 버전정보가 정보축적 서버(2)에 축적되도록 되어 있 고, 축적된 버전정보는 네트워크(6)를 통해서 서포트 컴퓨터(3)에서 열람할 수 있도록 되어 있다.
기판 처리장치(1)의 구성은, 제1 실시형태의 도 2, 도 3에서 설명한 것과 동일하다. 단, 제3 실시형태의 시스템 제어부(100)의 기억부(104)에는, 장치 전체에 관한 시스템 제어용 프로그램인 소프트웨어 모듈이 기억되어 있다. 시스템 제어부(100)의 CPU(101)가 이 소프트웨어 모듈에 따라서 연산처리를 실행함으로써, 기판 처리장치(1)의 전체로서의 동작 제어나 데이터 처리가 실현되게 된다. 또, 유닛제어부(115)의 기억부(114)에는, 해당 처리유닛(110)의 기판처리부(116)의 처리내용에 따라서 유닛제어용 프로그램인 소프트웨어 모듈이 기억되어 있다. 유닛제어부(115)의 CPU(111)가 이 소프트웨어 모듈에 따라서 연산처리를 실행함으로써, 기판처리부(116)의 동작 제어나 데이터 처리가 실현되게 된다.
즉, 기판 처리장치(1)에 실장되는 제어용 프로그램은 몇개의 소프트웨어 모듈로 분할하여 시스템 제어부(100)의 기억부(104) 또는 유닛제어부(115)의 기억부(114)에 저장되어 있는 것으로서, 소프트웨어 모듈과는 그와 같은 기판 처리장치(1)의 제어용 소프트웨어의 분할체이다.
또한, 이들 소프트웨어 모듈은, 판독장치(150)를 통해서 기록매체(91)로부터의 판독이나 소정의 서버 기억장치 등으로 부터 네트워크(6)를 경유하여 다운로드에 의해 취득 및 갱신하는 것이 가능하게 되어 있다.
또, 기판처리 공장(4)에 배치된 정보축적 서버(2) 및 서포트 센터(5)에 배치된 서포트 컴퓨터(3)의 구성은 제1 실시형태의 도 4에서 설명한 것과 동일하다.
다음에, 기판 처리시스템(10)의 기능 및 처리내용에 대해서 설명한다. 도 14는 제3 실시형태의 기판 처리시스템(10)의 기능 구성을 나타내는 블록도이다. 또, 도 15는, 제3 실시형태의 기판 처리시스템(10)에서의 처리 수순을 나타내는 플로우차트이다. 또한, 도 14에 있어서, 버전정보 송출부(129)는 시스템 제어부(100)의 CPU(101)가 처리 프로그램(소프트웨어 모듈)을 실행함으로써 실현되는 처리부이고, 버전정보 등록부(231), 메일송신부(232), 정합성 확인부(235) 및 정보공개부(236)는 정보축적 서버(2)의 CPU(21)가 처리 프로그램을 실행함으로써 각각 실현되는 처리부이며, 메일수신부(311) 및 WEB 브라우저(312)는 정보축적 서버(2)의 CPU(21)가 처리 프로그램을 실행함으로써 각각 실현되는 처리부이다.
우선, 도 15의 스텝(S1)에서, 기판 처리장치(1)에 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨이 행해진다. 상술한 바와 같이, 소프트웨어 모듈(178)은 기판 처리장치(1)의 제어용 소프트웨어의 분할체이고, 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100) 및/또는 유닛제어부(115)에 인스톨된다. 보다 구체적으로는, 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨은 기판 처리장치(1)의 판독장치(150)를 통해서 행해지고, 시스템 제어부(100)에 인스톨 되는 소프트웨어 모듈(178)은 기억부(104)에 저장되며, 유닛제어부(115)에인스톨 되는 소프트웨어 모듈(178)은 기억부(114)에 저장된다.
여기서, 본 실시형태에서의 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨에는, 새롭게 소프트웨어 모듈(178)의 도입을 행하는 경우 이외에, 이미 실장되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 갱신(버전 업)을 행하는 경우도 포함된다. 또, 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨은, 1대의 기판 처리장치(1)에 포함되는 전체의 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 대해서 일제히 행하도록 하여도 되고, 그들중 어느 것인가(단수 또는 복수)에 대해서 행하도록 하여도 된다.
적어도 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)의 어느 것인가에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨 되면, 버전정보 송출부(129)가 버전정보를 집약하여 정보축적 서버(2)로 송출한다(스텝 S2). 즉, 시스템 제어부(100)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨 되면, 버전정보 송출부(129)는 직접 인스톨을 인식한다. 또, 유닛제어부(115)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨 되면 유닛제어부(115)로부터 자기신고를 받은 버전정보 송출부(129)가 인스톨을 인식한다. 그리고, 어떤 기판 처리장치(1)에 있어서, 적어도 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)의 어느 것인가에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 것을 인식한 버전정보 송출부(129)는, 그 시점에서 그 기판 처리장치(1)에 포함되는 시스템 제어부(100) 및 전체의 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 집약하여, 정보축적 서버(2)의 버전정보 등록부(231)로 송출하는 것이다.
송출을 받은 버전정보 등록부(231)는, 상기의 기판 처리장치(1)에 포함되는 시스템 제어부(100) 및 전체의 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 고정디스크(24)에 등록한다(스텝 S3). 고정디스크(24)내에서는 기판 처리장치(1)의 각각에 대해서 버전정보가 버전 관리테이블(241)로서 저장된다.
도 16은 버전 관리테이블(241)의 일예를 나타내는 도면이다. 동도에 있어서, 「장치」는 각 기판 처리장치(1)에 부여된 식별번호를 나타내고,「시스템 버전」은 기판 처리장치(1)를 실장하는 시스템 전체의 버전을 나타내며,「인스톨 일시」는 적어도 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)의 어느 것인가에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 일시를 나타내고 있다. 또,「카테고리」는 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 종별을 나타내고,「버전 구분」은 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)이 표준 사양의 것인가 특별발주 사양의 것인가를 나타내며,「버전」은 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 나타내고 있다.
도 16에 나타내는 바와 같이, 버전 관리테이블(241)에는, 기판처리 공장(4)에 배치된 기판 처리장치(1)마다 버전정보가 등록되어 있다. 예컨대, 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)에 대해서는, 시스템 버전 "1.00"으로서 2001년 4월 12일에 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨이 행해진 것이 기록되어 있다. 그리고, 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리"시스템 제어")의 버전정보로서 그 소프트웨어 모듈(178)의 버전이 "1.0.0.1"인 것이 등록되어 있다. 또한, 그 소프트웨어 모듈(178)의 버전 구분이 "표준"인 것도 등록되어 있다.
또, 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)의 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "스핀 제어", "약액 제어" 등)의 버전정보로서 그 소프트웨어 모듈(178)의 버전이 각각 "1.1.0.1", "1.0.0.3"인 것이 등록되어 있다. 또한, 그 소프트웨어 모듈(178)의 버전 구분이 "표준, "특별발주 E"인 것도 등록되어 있다.
마찬가지로, 장치번호 "8100"의 기판 처리장치(1)에 대해서는 시스템 버전" 1.00"으로서 2001년 4월 12일에 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨이 행해진 것이 기 록됨과 동시에, 그 후 시스템 버전 "1.00"으로서 2001년 4월 20일에 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨이 행해진 것이 기록되어 있다. 즉, 버전 관리테이블(241)에는, 그 시점에서의 기판 처리장치(1)마다 버전정보뿐만 아니라 과거의 버전 이력도 기록되어 있는 것이다. 환언하면, 본 실시형태의 고정디스크(24)는, 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 축적하는 버전정보 축적수단으로서 기능하고 있는 것이다.
도 16에 나타내는 바와 같이 버전 관리테이블(241)은, 기판 처리장치(1)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 때에, 그 시점에서의 시스템 제어부(100) 및 전체의 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 축적한 결과로서 구축되는 것이다. 예컨대, 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)에 대해서 2001년 4월 12일에 약액 제어를 위해 새로운 소프트웨어 모듈(버전 "1.0.0.3")이 유닛제어부(115)에 인스톨된 것으로 하면, 4월 12일 시점에서 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)에 포함되는 시스템 제어부(100) 및 전체의 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보가 고정디스크(24)에 축적되어 도 16에 나타내는 바와 같이 버전 관리테이블(241)이 구축된다.
한편, 버전정보 등록부(231)는, 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 고정디스크(24)에 등록함과 동시에, 그 등록한 취지를 메일송신부(232)로 전달한다. 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 고정디스크(24)에 등록한 것을 인식한 메일송신부(232)는, 신규버전의 등록이 있었던 것을 기재한 전자메일을 서포트 센터(5)의 서포트 컴퓨터(3)로 네트워크(6)를 경유해서 송신한다(도 15의 스텝 S4). 서포트 컴 퓨터(3)의 메일수신부(311)가 신규버전 등록에 관한 전자메일을 수신함으로써, 서포트 센터(5)에 있는 담당자는 기판 처리장치(1)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 것을 서포트 컴퓨터(3)로부터 알 수 있다.
*다음에, 도 15의 스텝(S5)으로 진행하여, 정보축적 서버(2)의 정합성 확인부(235)가 새롭게 인스톨된 소프트웨어 모듈(178)의 정합성 체크를 행한다. 보다 정확하게는, 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 때에, 고정디스크(24)에 축적된 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 참조하여, 그 시점(인스톨 직후)에서 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 상호의 접합성을 정합성 확인부(235)가 확인하는 것이다. 소프트웨어 모듈(178)의 일부 갱신이 행해진 경우에는, 해당 인스톨된 소프트웨어 모듈(178)과 서포트 컴퓨터(3) 및 유닛제어부(115)에 이미 인스톨이 끝난 소프트웨어 모듈(178)과의 상호의 정합성을 정합성 확인부(235)가 확인하게 된다. 이 확인수단에 대해서 더 구체적으로 설명한다.
어떤 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 때에, 그 시점(인스톨 직후)에서 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보에 대해서는 정합성 확인부(235)가 버전 관리테이블(241)을 참조함으로써 인식할 수 있다. 예컨대, 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)의 유닛제어부(115)에 카테고리 "약액 제어"를 위한 새로운 소프트웨어 모듈(178)(버전 "1.0.0.3")이 인스톨된 것으로 하면, 정합성 확인부(235)는 도 16의 버전 관리테이블(241)을 참조함으로써, 그 시점에서 시스템 제어부(100)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "시스템 제어")의 버전정보가 버전 "1.0.0.1"인 것을 인식하고, 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "스핀 제어", "약액 제어" 등)의 버전정보가 각각 버전 "1.1.0.1", 버전 "1.0.0.3"등인 것을 인식할 수 있다.
또, 정보축적 서버(2)의 고정디스크(24)에는, 확인테이블(242)이 저장되어 있다. 도 17은, 확인테이블(242)의 일예를 나타내는 도면이다. 동도에 있어서, 「시스템 버전」,「카테고리」,「버전 구분」,「버전」의 의미에 대해서는 도 16에서 설명한 것과 동일하다. 또,「릴리스 정보」는 각 시스템 버전에 대해서 코멘트문이다. 확인테이블(242)은 시스템 버전마다 준비되어 있고, 도 17에서는 시스템 버전 "1.00"에 대한 확인테이블(242)을 나타내고 있다.
확인테이블(242)은, 상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블이고, 고정디스크(24)는 그와 같은 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단으로서도 기능하고 있다. 도 17의 확인테이블(242)에 의하면, 시스템 버전 "1.00"에 있어서, 카테고리 "시스템 제어"의 소프트웨어 모듈(178)(버전 "1.0.0.1")에 대해서는 카테고리 "스핀 제어"의 소프트웨어 모듈(178)(버전 "1.1.0.1", "1.1.0.2") 및 카테고리 "약액 제어"의 소프트웨어 모듈(178)(버전 "1.0.0.3")등이 상호 정합성을 가지고 있는 것이 확인된다. 동시에, 그들은 카테고리 "시스템 제어"의 소프트웨어 모듈(178)(버전 "1.0.0.2")에 대해서도 정합성 을 가지고 있다. 즉, 어떤 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보의 전체가 확인테이블(242)에 등록되어 있으면, 그들은 상호 정합성을 가지게 되는 것이다.
또한, 이와 같은 확인테이블(242)은 기판 처리장치(1)의 메이커측이 작성하여 배포하는 것이고, 본 실시형태에서는 서포트 센터(5)의 서포트 컴퓨터(3)에서 네트워크(6)를 경유하여 기판처리 공장(4)의 정보축적 서버(2)에 배포된다.
정합성 확인부(235)는, 어떤 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨될 때에, 버전 관리테이블(241)을 참조함으로써 인식한 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보의 전체가 도 17과 같이 확인테이블(242)에 등록되어 있는가 아닌가를 확인한다. 그 결과, 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보의 전체가 확인테이블(242)에 등록되어 있는 경우는 정합성 있는 것으로 판단하고, 하나라도 확인테이블(242)에 등록되어 있지 않은 경우는 정합성 없는 것으로 판단한다(도 15의 스텝 S6).
예컨대 상술한 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)의 유닛제어부(115)에 카테고리 "약액 제어"를 위해 새로운 소프트웨어 모듈(178)(버전 "1.0.0.3")이 인스톨된 예에서는, 그 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "시스템 제어")의 버전정보가 버전 "1.0.0.1"이고, 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "스핀 제어", "약액 제어"등)의 버전정보가 각각 버전 "1.1.0.1", 버전 "1.0.0.3"등이다(도 16). 이들 버전정보는 모두 도 17의 확인테이블(242)(시스템 버전 "1.00")에 등록되어 있기 때문에, 정합성 확인부(235)는 새롭게 인스톨된 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "약액 제어", 버전 "1.0.0.3")가 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 이미 인스톨이 끝난 소프트웨어 모듈(178)과 정합하는 것으로 판단한다.
상기의 예와 같이, 정합성 있는 것으로 판단된 경우는, 새로운 소프트웨어 모듈(178)의 인스톨에 따른 일련의 처리는 종료한다. 한편, 정합성 확인부(235)가 정합성 없는 것으로 판단하는 경우도 있다.
예컨대, 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)의 유닛제어부(115)에 카테고리 "약액 제어"를 위해 새로운 소프트웨어 모듈(버전 구분 "특별발주 F", 버전 "1.0.0.4")이 인스톨된 것으로 한다. 이때는, 상기와 같이, 인스톨 시점에서 장치번호 "8101"의 기판 처리장치(1)에 포함되는 시스템 제어부(100) 및 전체의 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보가 고정디스크(24)에 축적되어 도 18에 나타내는 바와 같이 버전 관리테이블(241)이 구축된다.
이 경우, 정합성 확인부(235)는 도 18의 버전 관리테이블(241)을 참조함으로써, 시스템 제어부(100)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "시스템 제어")의 버전정보가 버전 "1.0.0.1"인 것을 인식하고, 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "스핀 제어", "약액 제어"등)의 버전정보가 각각 버전 "1.1.0.1", 버전 "1.0.0.4"등인 것을 인식한다. 그리고, 정합성 확인부(235)는, 이들 버전정보중 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)(카테고리 "약액 제어")의 버전 "1.0.0.4"가 도 17의 확인테이블(242)(시스템 버전 "1.00")에 등록되어 있지 않기 때문에, 새롭게 인스톨된 소프트웨어 모듈(178)이 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 이미 인스톨이 끝난 소프트웨어 모듈(178)과 정합하지 않는 것으로 판단한다.
이와 같이, 정합성 확인부(235)가 정합성 없는 것으로 판단한 경우에는, 메일송신부(232)에 그 취지를 전달하고, 부정합 통지를 기재한 전자메일을 서포트 센터(5)의 서포트 컴퓨터(3)로 네트워크(6)를 경유해서 송신한다(도 15의 스텝 S7). 서포트 컴퓨터(3)의 메일수신부(311)가 부정합 통지를 기재한 전자메일을 수신함으로써, 서포트 센터(5)에 있는 담당자는 기판 처리장치(1)에 인스톨된 소프트웨어 모듈(178)이 정합하고 있지 않은 것을 인식한다.
이 경우, 서포트 센터(5)의 담당자는 WEB 브라우저(312)를 사용하여 버전정보의 확인을 행한다(도 15의 스텝 S8). 즉, 정보축적 서버(2)의 고정디스크(24)에 축적되어 있는 버전 관리테이블(241)은, 정보공개부(236)에 의해 네트워크(6)를 통해서 열람 가능하게 공개되어 있다. 서포트 센터(5)의 담당자는 WEB 브라우저(312)를 사용하여 고정디스크(24)에 축적되어 있는 버전 관리테이블(241)을 열람하고, 기판 처리장치(1)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 확인하는 것이다. 그리고, 서포트 센터(5)의 담당자는 정합하고 있지 않은 소프트웨어 모듈(178)을 찾아내고, 그것을 기판처리 공장(4)의 오퍼레이터나 필드 서포트의 담당자에게 전자메일 등으로 연락하여, 부정합을 해소하도록 한다.
이상과 같이 하면, 어떤 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 때에, 그 시점에서 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 상호 정합성을 확인하도록 하고 있기 때문에, 소프트웨어 모듈 사이의 부정합에 기인한 장해(기판 처리장치(1)의 오동작이나 정지 등)를 미연에 방지할 수 있다. 또, 일부의 소프트웨어 모듈(178)이 갱신된 때에는, 그 새롭게 인스톨된 소프트웨어 모듈(178)과 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 이미 인스톨이 끝난 소프트웨어 모듈(178)과의 정합성을 확인하게 되기 때문에, 소프트웨어 모듈 사이의 부정합에 기인한 장해를 미연에 방지할 수 있다.
또, 소프트웨어 모듈(178)의 정합성의 유무에 관계없이, 어떤 기판 처리장치(1)에 포함되는 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 전체의 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 버전 관리테이블(241)로서 축적하고, 그것을 네트워크(6)를 통해서 열람 가능하게 공개하고 있기 때문에, 서포트 센터(5)측에서 기판 처리장치(1)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 신속하고 또 정확하게 파악할 수 있고, 장해 발생시에도 효율 좋게 원인해석을 행할 수 있다.
제3 실시형태는 상기에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 제3 실시형태에 있어서는, 정보축적 서버(2)가 기판처리 공장(4)내에 배치되도록 되어 있었지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 네트워크(6)에 접속되어 기판 처리장치(1) 및 서포트 컴퓨터(3)와 통신 가능하게 되어 있으면 어디에 배치되어 있어도 된다.
또, 제3 실시형태에 있어서는, 확인테이블(242)을 서포트 컴퓨터(3)에서 배 포하여 정보축적 서버(2)의 고정디스크(24)에 저장하도록 하고 있었지만, 확인테이블(242)은 서포트 컴퓨터(3)의 고정디스크(34)에 저장하도록 하여도 된다. 도 19는, 확인테이블(242)을 서포트 컴퓨터(3)의 고정디스크(34)에 저장한 때의 기판 처리시스템(10)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 이 경우, 기판 처리장치(1)의 메이커측은 작성한 확인테이블(242)을 배포하는 것은 아니고, 서포트 컴퓨터(3)의 고정디스크(34)에 저장하여, 네트워크(6)를 통해서 열람 가능하게 공개한다. 정보 축적서버(2)의 정합성 확인부(235)는 네트워크(6)를 경유하여 확인테이블(242)을 참조하면서, 상술한 소프트웨어 모듈(178)의 정합성 체크를 행한다. 또한, 이것 이외의 점에 대해서는 상기 실시형태와 동일하다. 이렇게 하여도, 상기 실시형태와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또, 정보축적 서버(2)에 의한 처리 기능을 기판 처리장치(1)에 갖게하여도 된다. 도 20은 정보축적 서버(2)에 의한 처리 기능을 기판 처리장치(1)에 갖게 한 때의 기판 처리시스템(10)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 동도에 있어서, 도 14와 동일한 기능을 가지는 것에 관해서는, 동일한 부호를 붙이고 있다. 또, 도 20에 있어서, 버전정보 송출부(129), 버전정보 등록부(131), 메일송신부(132), 정합성 확인부(135) 및 정보공개부(136)는 시스템 제어부(100)의 CPU(101)가 처리 프로그램(소프트웨어 모듈)을 실행함으로써 실현되는 처리부이다.
도 20과 같이 한 경우는, 시스템 제어부(100)의 기억부(104)에 소프트웨어 모듈(178) 이외에 버전 관리테이블(241) 및 확인테이블(242)이 저장되게 된다. 그리고, 시스템 제어부(100)의 버전정보 등록부(131), 메일송신부(132), 정합성 확인 부(135) 및 정보공개부(136)는, 각각 상기 실시형태의 정보축적 서버(2)의 버전정보 등록부(231), 메일송신부(232), 정합성 확인부(235) 및 정보공개부(236)와 같은 기능을 가지고, 같은 처리를 행한다. 이렇게 하여도, 상기 실시형태와 같은 효과를 얻을 수 있다.
즉, 본 발명에 관한 기술내용을 집약하면, 어떤 기판 처리장치(1)의 시스템 제어부(100) 또는 유닛제어부(115)에 소프트웨어 모듈(178)이 인스톨된 때에, 그 시점(인스톨 직후)에서의 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 축적하여 버전 관리테이블(241)을 구축함과 동시에, 상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈(178)의 버전정보를 등록한 확인테이블(242)을 참조하면서 버전 관리테이블(241)에서 시스템 제어부(100) 및 유닛제어부(115)의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈(178)의 상호간의 정합성을 확인하도록 하는 형태라면, 각 처리를 기판 처리장치(1), 정보축적 서버(2), 서포트 컴퓨터(3)의 어느 것에서 행해도 된다. 또, 정합성의 확인작업 자체는, 신규 버전등록의 통지를 전자메일로 안 서포트 센터(5)의 담당자가 행하도록 하여도 된다.
또한, 상기 각 실시형태의 기판 처리장치(1)는, 기판에 레지스트의 도포처리 및 현상처리를 행하는 것이었지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예컨대 광조사에 의해 기판을 가열하는 램프 어닐장치나, 기판을 회전시키면서 파티클을 제거하는 세정처리를 행하는 세정 처리장치나, 불산 등의 처리액중에 기판을 침지하여 표면 처리를 행하는 침지 처리장치 등, 기판에 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치라면 어떠한 것이라도 본 발명에 관한 기술을 적용하는 것이 가능하다.

Claims (25)

  1. 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치와 컴퓨터를 네트워크를 경유하여 결합한 기판 처리시스템으로서,
    상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상호의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 정합성 확인수단은, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 버전정보에 의거해서 정합성을 확인하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 축적하는 버전정보 축적수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상호 정합성을 가지는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단을 더 구비하고,
    상기 정합성 확인수단은, 상기 버전정보 축적수단에 축적되어 있는 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보의 전체가 상기 정합성 확인테이블에 등록되어 있는 경우에는 정합성 있는 것으로 하고, 그 이외의 경우에는 정합성 없는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 정합성 확인수단이 정합성 없는 것으로 한 때에 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에 부정합 통지를 행하는 통지수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치를 관리하는 기판 처리장치 관리방법으로서,
    상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 상호의 정합성을 확인하는 공정을 구비하는 기판 처리장치 관리방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 정합성의 확인은, 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보에 의거해서 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
  14. 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치로서,
    상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상호의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 정합성 확인수단은, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보에 의거해서 정합성을 확인하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 상기 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 축적하는 버전정보 축적수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단을 더 구비하고,
    상기 정합성 확인수단은, 상기 버전정보 축적수단에 축적되어 있는 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보의 전체가 상기 정합성 확인테이블에 등록되어 있는 경우에는 정합성 있는 것으로 하고, 그 이외의 경우에는 정합성 없는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  18. 삭제
  19. 기판 처리장치가 구비하는 컴퓨터로 실행되는 것에 의해, 상기 기판 처리장치가 제 14 항에 기재된 기판 처리장치로서 동작하는 프로그램을 기록하고 있는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
  20. a) 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치와,
    b) 상기 기판 처리장치를 관리하기 위한 정보축적 수단과,
    c) 상기 기판 처리장치의 장해해석을 위한 서포트 컴퓨터
    를 네트워크를 경유하여 결합한 기판 처리시스템으로서,
    상기 기판 처리장치는
    a-1) 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 상기 소프트웨어 모듈의 버전정보를 집약해서 상기 정보축적 수단으로 송출하는 버전정보 송출수단
    을 구비하고 있고,
    상기 정보축적 수단은
    b-1) 상기 버전정보 송출수단에서 송출된 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 기억부에 등록하는 버전정보 등록수단과,
    b-2) 상기 기억부에 상기 버전정보가 등록된 때에 신규등록을 통지하는 전자메일을 상기 서포트 컴퓨터에 송신하는 메일송신 수단과,
    b-3) 상기 기억부에 등록된 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 상기 네트워크를 통해서 상기 서포트 컴퓨터로부터 열람가능하게 공개하는 버전정보 공개수단
    을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 정보축적 수단은
    b-4) 상기 기억부에 등록된 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 참조하여 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부에 각각 인스톨되어 있는 소프트웨어 모듈의 상호의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 정합성 확인수단이 정합성 없는 것으로 한 때에, 상기 메일송신 수단은 상기 서포트 컴퓨터에 부정합을 통지하는 전자메일을 송신하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  23. 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치에 있어서,
    상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 집약하는 버전정보 송출수단과;
    상기 버전정보 송출수단에서 송출된 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 기억부에 등록하는 버전정보 등록수단과;
    상기 기억부에 상기 버전정보가 등록된 때에 신규등록을 통지하는 전자메일을 상기 기판 처리장치에 네트워크를 통해서 접속된 외부 컴퓨터로 송신하는 메일송신 수단과;
    상기 기억부에 등록된 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 상기 네트워크를 통해서 상기 외부 컴퓨터로부터 열람가능하게 공개하는 버전정보 공개수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 기억부에 등록된 상기 소프트웨어 모듈의 상기 버전정보를 참조하여, 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각 인스톨되어 있는 소프트웨어 모듈의 상호의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 정합성 확인수단이 정합성 없는 것으로 한 때에, 상기 메일송신 수단은 상기 외부 컴퓨터에 부정합을 통지하는 전자메일을 송신하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
KR1020040077334A 2001-07-05 2004-09-24 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 KR100615974B1 (ko)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2001-00205109 2001-07-05
JPJP-P-2001-00205110 2001-07-05
JP2001205111A JP2003022200A (ja) 2001-07-05 2001-07-05 基板処理システム、基板処理装置、追加情報取得方法、プログラム及び記録媒体
JP2001205109A JP4071461B2 (ja) 2001-07-05 2001-07-05 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体
JP2001205110A JP3880814B2 (ja) 2001-07-05 2001-07-05 基板処理システムおよび基板処理装置管理方法
JPJP-P-2001-00205111 2001-07-05

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020035878A Division KR100542813B1 (ko) 2001-07-05 2002-06-26 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040097962A KR20040097962A (ko) 2004-11-18
KR100615974B1 true KR100615974B1 (ko) 2006-08-28

Family

ID=27347093

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020035878A KR100542813B1 (ko) 2001-07-05 2002-06-26 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템
KR20040077335A KR100538459B1 (ko) 2001-07-05 2004-09-24 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는기판 처리시스템
KR1020040077334A KR100615974B1 (ko) 2001-07-05 2004-09-24 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020035878A KR100542813B1 (ko) 2001-07-05 2002-06-26 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템
KR20040077335A KR100538459B1 (ko) 2001-07-05 2004-09-24 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는기판 처리시스템

Country Status (4)

Country Link
US (3) US7047100B2 (ko)
KR (3) KR100542813B1 (ko)
CN (1) CN1215529C (ko)
TW (1) TWI244603B (ko)

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU738134B2 (en) * 1997-10-02 2001-09-06 Sankyo Company Limited Amidocarboxylic acid derivatives
JP3601466B2 (ja) * 2000-04-14 2004-12-15 トヨタ自動車株式会社 化学物質排出移動量計算方法とそのためのサーバとシステム
US7280883B2 (en) * 2001-09-06 2007-10-09 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Substrate processing system managing apparatus information of substrate processing apparatus
JP4796251B2 (ja) * 2001-09-21 2011-10-19 株式会社日立製作所 ネットワークストレージシステム及びその制御方法
WO2004014022A2 (de) * 2002-07-29 2004-02-12 Baumüller Anlagen-Systemtechnik GmbH & Co. Rechnernetzwerk mit diagnoserechnerknoten
JP4097485B2 (ja) * 2002-08-28 2008-06-11 独立行政法人科学技術振興機構 酸化還元酵素と基質との反応中間体を捕捉する方法
WO2006016435A1 (ja) * 2004-08-11 2006-02-16 Tokyo Electron Limited 処理システムおよび処理方法、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラム
JP3999649B2 (ja) * 2002-12-19 2007-10-31 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置とその動作方法、およびプログラム
JP2004280345A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Omron Corp 端子台装置
US20040220777A1 (en) * 2003-04-29 2004-11-04 Texas Instruments Incorporated Integrated furnace control board and method
US20040217182A1 (en) * 2003-04-29 2004-11-04 Texas Instruments Incorporated Integrated furnace control board and method
US7386883B2 (en) * 2003-07-22 2008-06-10 International Business Machines Corporation Systems, methods and computer program products for administration of computer security threat countermeasures to a computer system
US7426420B2 (en) * 2003-09-15 2008-09-16 International Business Machines Corporation System for dispatching semiconductors lots
DE10353052A1 (de) * 2003-11-13 2005-06-16 Siemens Ag Automatisierungsanlage mit untereinander kommunizierenden Komponenten
SG155210A1 (en) * 2004-08-12 2009-09-30 Nikon Corp Substrate processing apparatus, use state ascertaining method, and false use preventing method
JP4393976B2 (ja) * 2004-12-06 2010-01-06 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP2006277298A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム
US20070050075A1 (en) * 2005-08-26 2007-03-01 Electro Scientific Industries, Inc. Automatic wafer tracking process and apparatus for carrying out the process
US7662648B2 (en) * 2005-08-31 2010-02-16 Micron Technology, Inc. Integrated circuit inspection system
JP2007156927A (ja) * 2005-12-06 2007-06-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 供給装置及び受給装置
JP4781832B2 (ja) * 2006-02-01 2011-09-28 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体
JP5091413B2 (ja) * 2006-03-08 2012-12-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理装置の制御方法
JP2008078630A (ja) * 2006-08-24 2008-04-03 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理システム
US7538664B2 (en) * 2006-09-29 2009-05-26 Rockwell Automation Technologies, Inc. Customized industrial alarms
JP4901442B2 (ja) * 2006-12-04 2012-03-21 東京エレクトロン株式会社 トラブル原因究明支援装置，トラブル原因究明支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体
JP5461778B2 (ja) * 2007-04-02 2014-04-02 株式会社日立国際電気 基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法
US7813828B2 (en) * 2007-04-02 2010-10-12 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing system and group management system
US20090319906A1 (en) * 2008-06-18 2009-12-24 Eads Na Defense Security And Systems Solutions Inc Systems and methods for reconstitution of network elements in a simulated network
JP2010117866A (ja) * 2008-11-12 2010-05-27 Canon Inc バージョンアップ方法及びプログラム
US8135560B2 (en) 2009-01-30 2012-03-13 Applied Materials, Inc. Sensor system for semiconductor manufacturing apparatus
JP5368878B2 (ja) * 2009-05-25 2013-12-18 キヤノン株式会社 情報処理装置、製造装置及びデバイス製造方法
US10210162B1 (en) 2010-03-29 2019-02-19 Carbonite, Inc. Log file management
JP6310260B2 (ja) * 2014-01-20 2018-04-11 株式会社荏原製作所 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置
CN105005528B (zh) * 2015-06-26 2018-07-24 浪潮(北京)电子信息产业有限公司 一种日志信息提取方法及装置
WO2018055797A1 (ja) 2016-09-20 2018-03-29 オリンパス株式会社 集中制御装置
EP3517970B1 (en) * 2016-09-21 2021-05-12 Hitachi High-Tech Corporation Remote maintenance system and maintenance method of an automatic analysis apparatus
CN106776911B (zh) * 2016-11-30 2020-04-10 上海华力微电子有限公司 WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统
EP3588423B1 (en) * 2017-02-24 2023-12-13 Fuji Corporation Failure information sharing system
US10379934B2 (en) * 2017-07-31 2019-08-13 Oracle International Corporation System and method of providing post error analysis for instances of applications in cloud service environments on a per user basis
JP6653722B2 (ja) * 2018-03-14 2020-02-26 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置
CN109213091A (zh) * 2018-06-27 2019-01-15 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种基于文件解析的半导体芯片加工设备状态监控方法
JP7061524B2 (ja) 2018-06-28 2022-04-28 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法
JP2020194354A (ja) * 2019-05-28 2020-12-03 オムロン株式会社 サポート装置および設定プログラム
JP6973956B2 (ja) * 2019-07-04 2021-12-01 株式会社Kokusai Electric 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体
CN110825069B (zh) * 2019-11-07 2022-09-13 德明通讯（上海）股份有限公司 一种快速定位obd设备故障的故障检测方法及系统
JP2022180157A (ja) * 2021-05-24 2022-12-06 オムロン株式会社 制御装置、ロギング方法およびプログラム

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60100806A (ja) 1983-11-07 1985-06-04 Sanyo Electric Co Ltd 半導体集積回路
JPH02311939A (ja) 1989-05-26 1990-12-27 Nec Corp ワークステーションのモジュール更新方式
JPH04239301A (ja) 1991-01-11 1992-08-27 Yaskawa Electric Corp マルチｃｐｕソフトウェアのバ−ジョン整合性検出方法
JPH04369050A (ja) 1991-06-18 1992-12-21 Nec Corp 情報処理端末装置の保守方法
JP2820352B2 (ja) 1992-10-05 1998-11-05 大日本スクリーン製造株式会社 画像データファイリング装置
GB9516441D0 (en) * 1995-08-10 1995-10-11 Philips Electronics Uk Ltd Light pen input systems
KR100286008B1 (ko) * 1995-12-30 2001-04-16 윤종용 소프트웨어 프로그램 자동 갱신방법
US5875443A (en) * 1996-01-30 1999-02-23 Sun Microsystems, Inc. Internet-based spelling checker dictionary system with automatic updating
US6738970B1 (en) * 1999-06-30 2004-05-18 Marimba, Inc. Method and apparatus for identifying changes made to a computer system due to software installation
JP3919294B2 (ja) 1997-06-24 2007-05-23 キヤノン株式会社 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法
TWI249760B (en) * 1996-07-31 2006-02-21 Canon Kk Remote maintenance system
JP3592861B2 (ja) 1996-10-23 2004-11-24 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
GB9623298D0 (en) * 1996-11-08 1997-01-08 Int Computers Ltd Updating mechanism for software
JPH10154086A (ja) 1996-11-21 1998-06-09 Dainippon Printing Co Ltd エラー修復支援システム
KR19980055091A (ko) * 1996-12-28 1998-09-25 김광호 설비 진단 시스템
JP3055606B2 (ja) 1997-04-22 2000-06-26 日本電気株式会社 交換システム保守運用方式
JP3512594B2 (ja) * 1997-06-20 2004-03-29 東京エレクトロン株式会社 制御システム
US6269279B1 (en) * 1997-06-20 2001-07-31 Tokyo Electron Limited Control system
KR100211937B1 (ko) 1997-08-04 1999-08-02 주일성 원격제어관리장치
JPH1161251A (ja) 1997-08-11 1999-03-05 Nisshin Steel Co Ltd 熱間加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ合金板の製造方法
KR100484130B1 (ko) * 1997-12-26 2005-06-16 삼성전자주식회사 원격장애치유기능을갖는컴퓨터시스템및그방법
JPH11194928A (ja) * 1997-12-29 1999-07-21 Tokyo Electron Ltd 制御装置
US7080371B1 (en) * 1998-03-03 2006-07-18 Siebel Systems, Inc. Method, system, apparatus and program product for distribution and instantiation of software upgrades
KR100315912B1 (ko) * 1998-04-27 2002-02-19 윤종용 파일서버를이용한자동화시스템과그제어방법
EP1125314A1 (en) * 1998-07-10 2001-08-22 Applied Materials, Inc. Improved endpoint detection for substrate fabrication processes
KR20000047269A (ko) 1998-12-31 2000-07-25 강병호 멀티미디어 위성통신 시스템에서 가입자 소프트웨어 버전 확인시스템과, 이를 이용한 소프트웨어 자동 업그레이드 시스템
US6408434B1 (en) * 1999-01-07 2002-06-18 Sony Corporation System and method for using a substitute directory to automatically install an update program
JP2000222299A (ja) * 1999-02-04 2000-08-11 Toshiba Corp 障害情報支援システムおよびコンピュータの障害情報支援方法
US6324692B1 (en) * 1999-07-28 2001-11-27 Data General Corporation Upgrade of a program
JP2001075640A (ja) * 1999-09-08 2001-03-23 Toshiba Microelectronics Corp 半導体基板処理装置及び半導体プロセス管理システム
US6658659B2 (en) * 1999-12-16 2003-12-02 Cisco Technology, Inc. Compatible version module loading
JP2001274054A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Canon Inc 露光装置、半導体デバイス製造方法および半導体デバイス製造工場
JP3976981B2 (ja) * 2000-03-30 2007-09-19 キヤノン株式会社 露光装置、ガス置換方法、デバイス製造方法
JP2001326162A (ja) * 2000-05-17 2001-11-22 Canon Inc 半導体製造装置および半導体デバイス製造方法
JP2001332472A (ja) * 2000-05-19 2001-11-30 Canon Inc Ｘ線露光装置
JP2001345248A (ja) * 2000-05-31 2001-12-14 Canon Inc 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法
JP2002057100A (ja) * 2000-05-31 2002-02-22 Canon Inc 露光装置、コートデベロップ装置、デバイス製造システム、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法
US20020022969A1 (en) * 2000-07-07 2002-02-21 Berg Marc Van Den Remote automated customer support for manufacturing equipment
US6711731B2 (en) * 2000-08-23 2004-03-23 Pri Automation, Inc. Web based tool control in a semiconductor fabrication facility
US6701259B2 (en) * 2000-10-02 2004-03-02 Applied Materials, Inc. Defect source identifier
US8176137B2 (en) * 2001-01-31 2012-05-08 Accenture Global Services Limited Remotely managing a data processing system via a communications network
US8458689B2 (en) * 2001-03-30 2013-06-04 Roderick A. Barman Method and apparatus for reprogramming engine controllers
JP4044443B2 (ja) * 2001-04-27 2008-02-06 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置の遠隔保守システム，工場側クライアント，ベンダ側サーバ，記憶媒体，プログラムおよび半導体製造装置の遠隔保守方法
US6775630B2 (en) * 2001-05-21 2004-08-10 Lsi Logic Corporation Web-based interface with defect database to view and update failure events
US7146609B2 (en) * 2002-05-17 2006-12-05 Sun Microsystems, Inc. Method, system and article of manufacture for a firmware image

Also Published As

Publication number Publication date
US7047100B2 (en) 2006-05-16
US20060241803A1 (en) 2006-10-26
KR20040099188A (ko) 2004-11-26
KR20040097962A (ko) 2004-11-18
US20030023340A1 (en) 2003-01-30
CN1396625A (zh) 2003-02-12
KR20030005002A (ko) 2003-01-15
US7333867B2 (en) 2008-02-19
CN1215529C (zh) 2005-08-17
US20060206229A1 (en) 2006-09-14
TWI244603B (en) 2005-12-01
KR100538459B1 (ko) 2005-12-22
KR100542813B1 (ko) 2006-01-11
US7460923B2 (en) 2008-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100615974B1 (ko) 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템
JP5525240B2 (ja) カスタマイズされた文書作成方法、装置、グラフィカルユーザインタフェース手段、及び機械アクセス可能媒体
CN100378909C (zh) 管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统
CN100407215C (zh) 用于监视和控制半导体生产过程的方法和装置
US7203560B1 (en) System and methodology facilitating remote and automated maintenance procedures in an industrial controller environment
US6138249A (en) Method and apparatus for monitoring computer systems during manufacturing, testing and in the field
US7589624B2 (en) Component unit monitoring system and component unit monitoring method
CN101739007A (zh) 过程控制系统中的软件部署管理器整合
JP2008047130A (ja) プロセス制御システムを維持管理するためのシステムと方法
JPH11175142A (ja) 製造装置の運転支援システム
JP2019056999A (ja) アプリケーションセキュリティ管理システム及びエッジサーバ
CN107431715A (zh) 用于使用基础设施监视软件来收集网络安全风险数据的技术
EP1489499A1 (en) Tool and associated method for use in managed support for electronic devices
JP4618850B2 (ja) 半導体工場自動化システム及び自動化方法
JP4642817B2 (ja) 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体
JP3880814B2 (ja) 基板処理システムおよび基板処理装置管理方法
US7181301B2 (en) Engineering and automation system
JPH11203433A (ja) 非接触ｉｃカードシステムおよび該非接触ｉｃカードシステムにおける不具合処理方法
JP4346323B2 (ja) 保守管理システム
JPH1188471A (ja) 試験方法及び試験装置
JP3815384B2 (ja) サーバの動作状態確認方法およびそのシステム
PT1875319E (pt) Processo para a operação de uma instalação industrial
JP2001216166A (ja) 情報処理装置の保守管理方法および情報処理装置ならびにソフトウェアの作成方法およびソフトウェア
JP2005107687A (ja) プラント監視制御装置
JP2523638B2 (ja) 半導体設備運用デ−タ収集方法

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120724

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130719

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140722

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150716

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160720

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170720

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180801

Year of fee payment: 13