KR19980055091A - 설비 진단 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 설비 진단 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 설비의 공정조건에 대한 주요한 파라미터들을 실시간(on-time)으로 측정하여 관리도(Control chart)작성에 용이하도록 한 설비 진단 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 설비 진단 시스템의 구성은 설비의 공정조건에 대한 측정 데이터로 설비의 상태를 진단하는 설비 진단 시스템에 있어서, 상기 설비로부터 상기 측정 데이터를 입력받아 처리하는 제어부 및 상기 제어부에서 처리된 데이터를 출력하는 출력부를 구비함을 특징으로 한다.
상기한 본 발명에 의하면 설비의 공정조건에 대한 측정 데이터들을 실시간으로 파악할 수 있으며, 시간과 인력을 줄일 수 있다.
Description
본 발명은 설비 진단 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 설비의 공정조건에 대한 주요한 파라미터들을 실시간으로 측정하여 관리도(Control chart)작성에 용이하도록 한 설비 진단 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 관리도(Control chart)란 품질의 산포를 관리하기 위하여 합리적으로 정한 선, 즉 관리한계선(Control limits)이 있는 그래프를 말하며, 이것을 사용하는 방법을 관리기법(Control chart methods)이라 한다.
관리도(Control chart)를 작성하는 목적은 공정에 대한 데이터를 관리·해석하여 필요한 정보를 수집하고, 이들 정보에 의해 공정의 산포(散布)를 효율적으로 관리해 나가는데 있다.
관리도는 공정의 관리와 공정의 해석에 모두 사용된다. 먼저, 공정의 관리에 대하여 언급해보면, 품질특성을 나타내는 점이 관리한계선 안쪽에 있고, 점의 움직임에 어떤 습성(pattern)이 없으면 공정은 관리상태(under control)하에 있다고 한다. 이 경우는 공정이 정상상태에 있다고 볼 수 있다. 이와는 반대로 점이 관리한계선을 벗어나거나 또는 어떤 습성이 발견되면 공정에는 어떤 이상이 있는 것으로 판단하여 공정은 이상상태(out of control)하에 있다고 말한다. 이 경우에는 이상을 일으키는 원인을 발견·제거시켜 그와 같은 이상상태가 다시 나타나지 않도록 관리하여 주어야한다.
관리도는 또한 공정의 해석에 쓰인다. 공정평균을 중심으로 하여 관리한계선을 긋는다는 것은 공정의 평균이나 분산을 추정하고 있는 것과 마찬가지이다. 이들의 추정을 바탕으로 하여 공정에 대한 여러 가지 해석을 내릴 수 있다.
이러한 관리도를 최대한 실제공정에 적용하여 통계적인 해석을 통하여 효율적인 설비 진단 시스템을 구축하는 것이 필요하다는 것은 명백하다.
이하 첨부한 도면을 참고로하여 종래기술에 의한 설비 진단 시스템을 알아보기로 한다.
도 1은 종래기술에 의한 설비 진단 시스템을 나타낸 개략도이고, 도 2는 종래기술에 의한 설비 진단방법을 나타낸 순서도이다.
도 1은 종래기술에 의한 설비 진단 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 설비(10)와 상기 설비와는 연결되지 않은 통제부(11)으로 이루어진다.
도 2는 종래기술에 따른 설비 진단방법을 나타낸 순서도이다.
먼저 설비(10)가 가동되면서 이 설비(10)의 공정조건에 대한 측정 데이터가 모니터(도시안됨) 상에 올라온다.(S11) 이어서, 모니터(도시안됨) 상에 나오는 설비(10)의 공정조건에 대한 측정 데이터를 라인 내의 조작자(operator)가 수시로 측정하여 관리도에 기입한다.(S12) 이렇게 기입된 상기 데이터들을 바탕으로 하여 통계 소프트웨어 툴(tool)을 이용하여 관리도를 작성한다. 예를들면, SPC(statistical process control) 관리기법에서 평균(X)- 범위(Rs)에 대한 CL(center line), UCL(upper control line) 및 LCL(lower control line) 등을 계산한다.(S13) 이러한 자료들을 통하여 장비의 이상상태를 예측한다.(S14) 즉, UCL 및 LCL 사이에 데이터가 들어오면 설비는 정상상태로 가동중임을 알 수 있고, 그렇지 않으면 이상상태임을 알 수 있다.
그러나, 이러한 종래기술에 의하면, 라인 내의 조작자(operator)가 수시로 측정한 데이터를 수작업으로 관리도에 기입하기 때문에 실시간으로 관리도를 작성하는데에 어려움이 있고, 조작자에 의한 부주의로 데이터 입력시부정확성이 야기되며, 또한, 조작자가 계속적으로 관측해야 하기 때문에 시간과 인력이 이중으로 수반되는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 설비의 공정 조건에 대한 주요 파라미터들을 실시간으로 자동처리하며, 즉각적으로 출력하여 빠르고도 정확한 데이터로 설비 운영 관리를 용이하도록 한 설비 진단 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래기술에 의한 설비 진단 시스템을 나타낸 개략도
도 2는 종래기술에 의한 설비 진단 방법을 나타낸 순서도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 설비 진단 시스템을 나타낸 개략도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 설비 진단 방법을 나타낸 순서도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의설명*
10, 20 : 설비11 : 통제부
21 : 제어부211 : 아이솔레이션 증폭기
212 : A/D 컨버터213 : 컴퓨터
22 : 출력부
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 설비 진단 시스템은, 설비의 공정 조건에 대한 측정 데이터로 상기 설비의 상태를 진단하는 설비 진단 시스템에 있어서,
상기 설비로부터 상기 측정 데이터를 입력받아 처리하는 제어부 및, 상기 제어부에서 처리된 데이터를 출력하는 출력부를 구비함을 특징으로 한다.
이하 첨부한 도면을 참조로하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 설비 진단 시스템을 나타낸 개략도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 설비 진단 방법을 나타낸 순서도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 설비 진단 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 설비(20)와 상기 설비(20)에 연결된 제어부(21) 및, 상기 제어부에 연결된 출력부로 이루어진다.
또한, 이 제어부는 설비(20)의 모니터(도시안됨) 상에 올려진 설비(20)의 공정조건 데이터들이 전송될 때 직류(DC)의 영향을 방지해주기 위한 아이솔에이션 증폭기(211), 이 아이솔에이션 증폭기(211)에 접속되고 설비(20)의 공정조건 데이터 신호를 아날로그에서 디치탈 수치로 변환·수집하는 A/D 컨버터(212) 및 이 A/D 컨버터의 수치 데이터로 관리도 작성을 위해 통계 소프웨어 툴을 실행하는 컴퓨터(213)로 이루어진다. 이때, 컴퓨터(213) 로는 데스크 탑 컴퓨터 외에도 노트북 컴퓨터의 사용이 가능하고 이때에는 A/D 컨버터(212)를 외장형인 것을 사용하면 된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 설비 진단 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4에 나타난 바와 같이, 먼저 설비(20)가 가동되면서 이 설비(20)의 공정조건에 대한 측정 데이터가 모니터(도시안됨) 상에 올라온다.(S21) 이어서, 설비(20)의 공정조건에 대한 측정 데이터는 A/D 컨버터(212)를 통하여 디지털 데이터로 변화되어 데이터가 수집된다.(S22) 이렇게 수집된 데이터는 자동으로 컴퓨터(213)에 입력되면서 이 데이터들을 바탕으로 하여 통계 소프트웨어 툴(tool)이 실행된다. 예를들면, SPC(statistical process control) 관리기법에서 평균(X)- 범위(Rs)에 대한 CL(center line), UCL(upper control line) 및, LCL(lower control line) 등을 계산한다.(S23) 이런 통계 데이터들을 즉석에서 출력하여 볼 수 있다.(S24) 또한, 이러한 데이터들을 통하여 설비의 이상상태를 예측하고 나아가 설비의 예방보전(PM : Preventive Maintenance)주기를 예측할 수 있다.(S25)
상술한 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
필요한 장비에 A/D 컨버터와 이를 운용하기 위한 소프트웨어 툴(tool)을 장착하여서 데이터를 자동적으로 저장하고 이를 해석하기 위한 데이터 파일을 실행하면 X-Rs관리도를 즉시 확인 할 수 있다. 또한, 이러한 설비 진단 시스템은 소형으로 이동이 편하고 원거리에도 케이블을 설치해서 데이터를 전송할 수 있다. 그리고 실시간으로 데이터를 분석하면서 장비의 예방보전(PM : Preventive Maintenance)주기를 예측할 수 있고, 데이터의 균일성 등을 측정하는데 매우 유용하다.
본 발명이 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 기술적 사상내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진자에 의하여 가능함은 명백하다.
Claims (3)
- 설비의 공정 조건에 대한 측정 데이터로 상기 설비의 상태를 진단하는 설비 진단 시스템에 있어서,상기 설비로부터 상기 측정 데이터를 입력받아 처리하는 제어부 및 상기 제어부에서 처리된 데이터를 출력하는 출력부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 설비 진단 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 설비의 공정 조건에 대한 데이터들이 직류의 영향을 방지하는 아이솔레이션 증폭기와 상기 설비의 공정 조건에 대한 데이터들을 디지털 데이터로 변환하는 A/D 컨버터 및 상기 디지털 데이터를 통계내는 컴퓨터로 구성된 것을 특징으로 하는 설비 진단 시스템.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제어부는 설비의 공정 조건에 대한 데이터들이 실시간으로 처리하는 것을 특징으로 하는 설비 진단 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960074298A KR19980055091A (ko) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | 설비 진단 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960074298A KR19980055091A (ko) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | 설비 진단 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980055091A true KR19980055091A (ko) | 1998-09-25 |
Family
ID=66383022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960074298A KR19980055091A (ko) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | 설비 진단 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980055091A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100542813B1 (ko) * | 2001-07-05 | 2006-01-11 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 |
-
1996
- 1996-12-28 KR KR1019960074298A patent/KR19980055091A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100542813B1 (ko) * | 2001-07-05 | 2006-01-11 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 |
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