KR20030005002A - 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 438
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 337
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 90
- 230000010485 coping Effects 0.000 claims description 101
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 91
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 36
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 24
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 13
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 29
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 26
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 19
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 16
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 15
- 230000004044 response Effects 0.000 description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 230000009471 action Effects 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009118 appropriate response Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4184—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by fault tolerance, reliability of production system
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0264—Control of logging system, e.g. decision on which data to store; time-stamping measurements
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31337—Failure information database
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31365—Send message to most appropriate operator as function of kind of error
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31402—Keep log book, for activities of a station, equipment
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32207—Action upon failure value, send warning, caution message to terminal
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
Description
Claims (58)
- 기판 처리장치와, 상기 기판 처리장치의 장치정보를 처리하는 컴퓨터가 네트워크에 결합된 기판 처리시스템으로서,취득된 상기 장치정보를 축적하는 장치정보 축적수단과;상기 장치정보 축적수단에 축적된 상기 장치정보를, 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에서 열람 가능하게 하는 장치정보 공개수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판 처리장치의 가동에 대한 시계열의 정보를, 가동정보로서 기록하는 가동정보 기록수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 가동정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 기판 처리장치에 장애가 발생한 때에 경고신호를 발생하는 경고수단을 더 구비하고,상기 장치정보 축적수단은, 상기 경고신호가 발생한 때에 상기 장치정보를 축적하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 가동정보로부터, 발생한 상기 경고신호의 발생원인에 관련하는 장애관련 가동정보를 추출하는 추출수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 장애관련 가동정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 4 항에 있어서,상기 경고신호와 상기 장애관련 가동정보를 대응하게 한 테이블을 기억하는 기억수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 5 항에 있어서,상기 가동정보는, 기판의 처리공정에 대한 시계열의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 6 항에 있어서,상기 경고신호가 발생한 때에 상기 장애에 대한 장애정보를, 그 경고신호에 대응하는 상기 장애관련 가동정보에 관련시켜 생성하는 장애정보 생성수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 장애정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판 처리장치에 장애가 발생한 때에 경고신호를 발생하는 경고수단과,상기 경고신호가 발생한 때에 상기 장애에 대한 장애정보를 생성하는 장애정보 생성수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 장애정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 8 항에 있어서,상기 경고신호가 발생한 때에 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에 상기 장애가 발생한 취지를 통지하는 통지수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 9 항에 있어서,상기 장치정보에 의거한 상기 장애의 대처정보를 취득하는 대처정보 취득수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치로서,그 기판 처리장치의 장치정보를, 상기 네트워크에 대해서 송출하는 장치정보송출수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 11 항에 있어서,가동에 대한 시계열의 정보를, 가동정보로서 기록하는 가동정보 기록수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 가동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 12 항에 있어서,장애가 발생한 때에 경고신호를 발생하는 경고수단을 더 구비하고,상기 장치정보 제공수단은, 상기 경고신호가 발생한 때에 상기 장치정보를 축적시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 가동정보로부터, 발생한 상기 경고신호의 발생원인에 관련하는 장애관련 가동정보를 추출하는 추출수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 장애관련 가동정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 14 항에 있어서,상기 경고신호와 상기 장애관련 가동정보를 대응하게 한 테이블을 기억하는 기억수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 15 항에 있어서,상기 가동정보는, 기판의 처리공정에 대한 시계열의 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 경고신호가 발생한 때에 상기 장애에 대한 장애정보를, 그 경고신호에 대응하는 상기 장애관련 가동정보에 관련시켜 생성하는 장애정보 생성수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 장애정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 기판 처리장치에 장애가 발생한 때에 경고신호를 발생하는 경고수단과,상기 경고신호가 발생한 때에 상기 장애에 대한 장애정보를 생성하는 장애정보 생성수단을 더 구비하고,상기 장치정보는, 상기 장애정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 18 항에 있어서,상기 경고신호가 발생한 때에 상기 네트워크를 통해서 외부 컴퓨터에 상기 장애가 발생한 취지를 통지하는 통지수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 19 항에 있어서,상기 장치정보에 의거한 상기 장애의 대처정보를 취득하는 대처정보 취득수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 방법으로서,취득된 상기 장치정보를 축적하는 공정과;축적된 상기 장치정보를, 네트워크를 통해서 외부 컴퓨터에서 열람 가능하게 하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 방법.
- 기판 처리장치에 포함되는 컴퓨터로 실행되는 것에 의해, 상기 기판 처리장치가 제 11 항 기재의 기판 처리장치로서 동작하는 프로그램.
- 제 22 항 기재의 프로그램이 기록되어 있는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
- 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치와 컴퓨터를 네트워크를 경유하여 결합한 기판 처리시스템으로서,상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 시스템 제어부 및 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 24 항에 있어서,상기 정합성 확인수단은, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보에 의거해서 정합성을 확인하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 25 항에 있어서,상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 축적하는 버전정보 축적수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 26 항에 있어서,상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단을 더 구비하고,상기 정합성 확인수단은, 상기 버전정보 축적수단에 축적되어 있는 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보의 전체가 상기 정합성 확인테이블에 등록되어 있는 경우에는 정합성 있는 것으로 하고, 그 이외의 경우에는 정합성 없는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 27 항에 있어서,상기 정합성 확인수단이 정합성 없는 것으로 한 때에 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에 부정합 통지를 행하는 통지수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치와 컴퓨터를 네트워크 경유해서 결합한 기판 처리시스템으로서,상시 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부(115)에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 축적하는 버전정보 축적수단과, 상기 버전정보 축적수단에축적된 상기 버전정보를, 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에서 열람 가능하게 하는 버전정보 공개수단을 구비한 정보축적 서버를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 29 항에 있어서,상기 시스템 제어부는, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 상기 정보축적 서버로 송출하고,상기 정보축적 서버는, 상기 송출된 버전정보를 상기 버전정보 축적수단에 축적하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 30 항에 있어서,상기 정보축적 서버는, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 상기 버전정보 축적수단에 축적된 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 참조하여, 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 31 항에 있어서,상기 정보축적 서버는, 상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단을 더 구비하고,상기 정합성 확인수단은, 상기 버전정보 축적수단에 축적되어 있는 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보의 전체가 상기 정합성 확인테이블에 등록되어 있는 경우에는 정합성 있는 것으로 하고, 그 이외의 경우에는 정합성 없는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 31 항에 있어서,상기 컴퓨터는, 상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단을 더 구비하고,상기 정합성 확인수단은, 네트워크 경유하여 상기 정합성 확인테이블을 참조하면서, 상기 버전정보 축적수단에 축적되어 있는 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보의 전체가 상기 정합성 확인테이블에 등록되어 있는 경우에는 정합성 있는 것으로 하고, 그 이외의 경우에는 정합성 없는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 32 항에 있어서,상기 정보축적 서버는, 상호 정합성 확인수단이 정합성 없는 것으로 한 때에상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에 부정합 통지를 행하는 통지수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치를 관리하는 기판 처리장치 관리방법으로서,상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 정합성을 확인하는 공정을 구비하는 기판 처리장치 관리방법.
- 제 35 항에 있어서,상기 정합성의 확인은, 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보에 의거해서 행해지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
- 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치로서,상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 정합성을 확인하는 정합성 확인수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 37 항에 있어서,상기 정합성 확인수단은, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보에 의거해서 정합성을 확인하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 38 항에 있어서,상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 축적하는 버전정보 축적수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 39 항에 있어서,상호 정합성을 가지는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 등록한 정합성 확인테이블을 유지하는 테이블 유지수단을 더 구비하고,상기 정합성 확인수단은, 상기 버전정보 축적수단에 축적되어 있는 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부의 각각에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보의 전체가 상기 정합성 확인테이블에 등록되어 있는 경우에는 정합성 있는 것으로 하고, 그 이외의 경우에는 정합성 없는 것으로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판에 소정의 처리를 행하는 처리유닛과, 장치 전체를 제어하는 시스템 제어부와, 상기 처리유닛을 개별로 제어하는 유닛제어부를 구비한 기판 처리장치로서,상기 시스템 제어부는, 상기 시스템 제어부 또는 상기 유닛제어부에 소프트웨어 모듈이 인스톨된 때에, 그 시점에서 상기 시스템 제어부 및 상기 유닛제어부에 인스톨 되어 있는 소프트웨어 모듈의 버전정보를 송출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판 처리장치가 구비하는 컴퓨터로 실행되는 것에 의해, 상기 기판 처리장치가 제 37 항에 기재된 기판 처리장치로서 동작하는 프로그램.
- 제 42 항에 기재된 프로그램을 기록하고 있는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
- 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는 기판 처리시스템으로서,상기 기판 처리장치에 관련하는 정보로서, 또 추가적으로 상기 기판 처리장치의 벤더로부터 제공된 추가정보를 축적하는 추가정보 축적수단과;축적된 상기 추가정보를 상기 네트워크를 통해서 취득하는 추가정보 취득수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 44 항에 있어서,상기 추가정보 취득수단에 의해 취득된 상기 추가정보를 기억하는 추가정보 기억수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 45 항에 있어서,상기 추가정보는, 그 기판 처리장치의 장애의 대처정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 46 항에 있어서,상기 기판 처리장치의 장애가 발생한 때에 경고신호를 발생하는 경고수단과,상기 경고신호와 그 경고신호의 발생원인인 장애의 대처정보를 대응하게 되는 테이블을 기억하는 테이블 기억수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 47 항에 있어서,상기 추가정보 취득수단은, 발생한 상기 경고신호의 발생원인인 장애의 대처정보를 선택적으로 취득하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 제 48 항에 있어서,상기 경고신호가 발생한 때에, 상기 경고신호의 발생원인인 장애의 대처정보를 표시하는 표시수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
- 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치로서,상기 기판 처리장치에 관련하는 정보로서, 또 추가적으로 상기 기판 처리장치의 벤더로부터 제공된 추가정보를 축적하는 장치에서, 상기 추가정보를 상기 네트워크를 통해서 취득하는 추가정보 취득수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 50 항에 있어서,상기 추가정보 취득수단에 의해 취득된 상기 추가정보를 기억하는 추가정보 기억수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 51 항에 있어서,상기 추가정보는, 그 기판 처리장치의 장애의 대처정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 52 항에 있어서,상기 기판 처리장치의 장애가 발생한 때에 경고신호를 발생하는 경고수단과,상기 경고신호와 그 경고신호의 발생원인인 장애의 대처정보를 대응하게 되는 테이블을 기억하는 테이블 기억수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 53 항에 있어서,상기 추가정보 취득수단은, 발생한 상기 경고신호의 발생원인인 장애의 대처정보를 선택적으로 취득하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 54 항에 있어서,상기 경고신호가 발생한 때에, 그 경고신호의 발생원인인 장애의 대처정보를 표시하는 표시수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판 처리장치에 관련하는 추가된 추가정보를 취득하는 방법으로서,상기 추가정보를 축적하는 추가정보 축적공정과;축적된 상기 추가정보를 네트워크를 통해서 취득하는 추가정보 취득공정을 구비하는 것을 특징으로 추가정보를 취득하는 방법.
- 기판 처리장치에 포함되는 컴퓨터로 실행되는 것에 의해, 상기 기판 처리장치가 제 50 항에 기재된 기판 처리장치로서 동작하는 프로그램.
- 제 57 항에 기재된 프로그램을 기록하고 있는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2001-00205110 | 2001-07-05 | ||
JP2001205109A JP4071461B2 (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
JPJP-P-2001-00205111 | 2001-07-05 | ||
JPJP-P-2001-00205109 | 2001-07-05 | ||
JP2001205111A JP2003022200A (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 基板処理システム、基板処理装置、追加情報取得方法、プログラム及び記録媒体 |
JP2001205110A JP3880814B2 (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 基板処理システムおよび基板処理装置管理方法 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR20040077335A Division KR100538459B1 (ko) | 2001-07-05 | 2004-09-24 | 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는기판 처리시스템 |
KR1020040077334A Division KR100615974B1 (ko) | 2001-07-05 | 2004-09-24 | 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030005002A true KR20030005002A (ko) | 2003-01-15 |
KR100542813B1 KR100542813B1 (ko) | 2006-01-11 |
Family
ID=27347093
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020020035878A KR100542813B1 (ko) | 2001-07-05 | 2002-06-26 | 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 |
KR1020040077334A KR100615974B1 (ko) | 2001-07-05 | 2004-09-24 | 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 |
KR20040077335A KR100538459B1 (ko) | 2001-07-05 | 2004-09-24 | 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는기판 처리시스템 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040077334A KR100615974B1 (ko) | 2001-07-05 | 2004-09-24 | 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 |
KR20040077335A KR100538459B1 (ko) | 2001-07-05 | 2004-09-24 | 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 구비하는기판 처리시스템 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7047100B2 (ko) |
KR (3) | KR100542813B1 (ko) |
CN (1) | CN1215529C (ko) |
TW (1) | TWI244603B (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110825069A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-21 | 德明通讯(上海)有限责任公司 | 一种快速定位obd设备故障的故障检测方法及系统 |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BR9813019A (pt) * | 1997-10-02 | 2000-09-05 | Sankyo Co | Derivados do ácido amidocarboxìlico, agentes para diminuir a glicose do sangue, redutor de lipìdio, para melhorar a resistência à insulina, anti-inflamatório, para imuno regulagem, para inibir a aldose reductase, para inibir a 5-lipoxigenase, para a geração de supressor de peróxido de lipìdio, para ativar a ppar, para minorar a osteoporose, e, composições para a terapia ou prevenção da diabete melito, da hiperlipemia, da obesidade, da tolerância à glicose prejudicada, da resistência à insulina que não a igt, do fìgado gorduroso, de complicações diabéticas, da arterioesclerose, da diabete melito gestacional, da sìndrome do ovário policìstico, da artroesteìte, da artrite reumática, de doenças alérgicas, da asma, do câncer, de doenças auto imunes, da pancreatite, e de cataratas |
JP3601466B2 (ja) * | 2000-04-14 | 2004-12-15 | トヨタ自動車株式会社 | 化学物質排出移動量計算方法とそのためのサーバとシステム |
US7280883B2 (en) * | 2001-09-06 | 2007-10-09 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing system managing apparatus information of substrate processing apparatus |
JP4796251B2 (ja) * | 2001-09-21 | 2011-10-19 | 株式会社日立製作所 | ネットワークストレージシステム及びその制御方法 |
CN1685664B (zh) * | 2002-07-29 | 2010-05-12 | 鲍米勒系统工程有限公司 | 具有诊断计算机节点的计算机网络 |
JP4097485B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2008-06-11 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 酸化還元酵素と基質との反応中間体を捕捉する方法 |
WO2006016435A1 (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-16 | Tokyo Electron Limited | 処理システムおよび処理方法、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体およびコンピュータプログラム |
JP3999649B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2007-10-31 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置とその動作方法、およびプログラム |
JP2004280345A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Omron Corp | 端子台装置 |
US20040220777A1 (en) * | 2003-04-29 | 2004-11-04 | Texas Instruments Incorporated | Integrated furnace control board and method |
US20040217182A1 (en) * | 2003-04-29 | 2004-11-04 | Texas Instruments Incorporated | Integrated furnace control board and method |
US7386883B2 (en) * | 2003-07-22 | 2008-06-10 | International Business Machines Corporation | Systems, methods and computer program products for administration of computer security threat countermeasures to a computer system |
US7426420B2 (en) * | 2003-09-15 | 2008-09-16 | International Business Machines Corporation | System for dispatching semiconductors lots |
DE10353052A1 (de) * | 2003-11-13 | 2005-06-16 | Siemens Ag | Automatisierungsanlage mit untereinander kommunizierenden Komponenten |
JP4705034B2 (ja) * | 2004-08-12 | 2011-06-22 | 株式会社ニコン | 基板処理装置、使用状況確認方法 |
JP4393976B2 (ja) * | 2004-12-06 | 2010-01-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2006277298A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、履歴情報記録方法、履歴情報記録プログラム及び履歴情報記録システム |
US20070050075A1 (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-01 | Electro Scientific Industries, Inc. | Automatic wafer tracking process and apparatus for carrying out the process |
US7662648B2 (en) * | 2005-08-31 | 2010-02-16 | Micron Technology, Inc. | Integrated circuit inspection system |
JP2007156927A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 供給装置及び受給装置 |
JP4781832B2 (ja) * | 2006-02-01 | 2011-09-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
JP5091413B2 (ja) * | 2006-03-08 | 2012-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 |
JP2008078630A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理システム |
US7538664B2 (en) * | 2006-09-29 | 2009-05-26 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Customized industrial alarms |
JP4901442B2 (ja) * | 2006-12-04 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | トラブル原因究明支援装置,トラブル原因究明支援方法,プログラムを記憶する記憶媒体 |
US7813828B2 (en) * | 2007-04-02 | 2010-10-12 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing system and group management system |
JP5461778B2 (ja) * | 2007-04-02 | 2014-04-02 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法 |
US8751629B2 (en) * | 2008-06-18 | 2014-06-10 | Camber Defense Security And Systems Solutions, Inc. | Systems and methods for automated building of a simulated network environment |
JP2010117866A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Canon Inc | バージョンアップ方法及びプログラム |
US8135560B2 (en) | 2009-01-30 | 2012-03-13 | Applied Materials, Inc. | Sensor system for semiconductor manufacturing apparatus |
JP5368878B2 (ja) * | 2009-05-25 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、製造装置及びデバイス製造方法 |
US10210162B1 (en) * | 2010-03-29 | 2019-02-19 | Carbonite, Inc. | Log file management |
JP6310260B2 (ja) * | 2014-01-20 | 2018-04-11 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 |
CN105005528B (zh) * | 2015-06-26 | 2018-07-24 | 浪潮(北京)电子信息产业有限公司 | 一种日志信息提取方法及装置 |
WO2018055797A1 (ja) | 2016-09-20 | 2018-03-29 | オリンパス株式会社 | 集中制御装置 |
WO2018056202A1 (ja) * | 2016-09-21 | 2018-03-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置及びリモート保守システム並びに保守方法 |
CN106776911B (zh) * | 2016-11-30 | 2020-04-10 | 上海华力微电子有限公司 | WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统 |
JP6721775B2 (ja) * | 2017-02-24 | 2020-07-15 | 株式会社Fuji | 不具合情報共有システム |
US10379934B2 (en) * | 2017-07-31 | 2019-08-13 | Oracle International Corporation | System and method of providing post error analysis for instances of applications in cloud service environments on a per user basis |
JP6653722B2 (ja) * | 2018-03-14 | 2020-02-26 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置 |
CN109213091A (zh) * | 2018-06-27 | 2019-01-15 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种基于文件解析的半导体芯片加工设备状态监控方法 |
JP7061524B2 (ja) * | 2018-06-28 | 2022-04-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法 |
JP2020194354A (ja) * | 2019-05-28 | 2020-12-03 | オムロン株式会社 | サポート装置および設定プログラム |
JP6973956B2 (ja) * | 2019-07-04 | 2021-12-01 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
JP2022180157A (ja) | 2021-05-24 | 2022-12-06 | オムロン株式会社 | 制御装置、ロギング方法およびプログラム |
Family Cites Families (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60100806A (ja) | 1983-11-07 | 1985-06-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路 |
JPH02311939A (ja) | 1989-05-26 | 1990-12-27 | Nec Corp | ワークステーションのモジュール更新方式 |
JPH04239301A (ja) | 1991-01-11 | 1992-08-27 | Yaskawa Electric Corp | マルチcpuソフトウェアのバ−ジョン整合性検出方法 |
JPH04369050A (ja) | 1991-06-18 | 1992-12-21 | Nec Corp | 情報処理端末装置の保守方法 |
JP2820352B2 (ja) | 1992-10-05 | 1998-11-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像データファイリング装置 |
GB9516441D0 (en) * | 1995-08-10 | 1995-10-11 | Philips Electronics Uk Ltd | Light pen input systems |
KR100286008B1 (ko) * | 1995-12-30 | 2001-04-16 | 윤종용 | 소프트웨어 프로그램 자동 갱신방법 |
US5875443A (en) * | 1996-01-30 | 1999-02-23 | Sun Microsystems, Inc. | Internet-based spelling checker dictionary system with automatic updating |
US6738970B1 (en) * | 1999-06-30 | 2004-05-18 | Marimba, Inc. | Method and apparatus for identifying changes made to a computer system due to software installation |
JP3919294B2 (ja) | 1997-06-24 | 2007-05-23 | キヤノン株式会社 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
TWI249760B (en) * | 1996-07-31 | 2006-02-21 | Canon Kk | Remote maintenance system |
JP3592861B2 (ja) | 1996-10-23 | 2004-11-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
GB9623298D0 (en) * | 1996-11-08 | 1997-01-08 | Int Computers Ltd | Updating mechanism for software |
JPH10154086A (ja) | 1996-11-21 | 1998-06-09 | Dainippon Printing Co Ltd | エラー修復支援システム |
KR19980055091A (ko) * | 1996-12-28 | 1998-09-25 | 김광호 | 설비 진단 시스템 |
JP3055606B2 (ja) | 1997-04-22 | 2000-06-26 | 日本電気株式会社 | 交換システム保守運用方式 |
JP3512594B2 (ja) * | 1997-06-20 | 2004-03-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 制御システム |
US6269279B1 (en) * | 1997-06-20 | 2001-07-31 | Tokyo Electron Limited | Control system |
KR100211937B1 (ko) | 1997-08-04 | 1999-08-02 | 주일성 | 원격제어관리장치 |
JPH1161251A (ja) | 1997-08-11 | 1999-03-05 | Nisshin Steel Co Ltd | 熱間加工性に優れたFe−Ni合金板の製造方法 |
KR100484130B1 (ko) * | 1997-12-26 | 2005-06-16 | 삼성전자주식회사 | 원격장애치유기능을갖는컴퓨터시스템및그방법 |
JPH11194928A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-07-21 | Tokyo Electron Ltd | 制御装置 |
US7080371B1 (en) * | 1998-03-03 | 2006-07-18 | Siebel Systems, Inc. | Method, system, apparatus and program product for distribution and instantiation of software upgrades |
KR100315912B1 (ko) * | 1998-04-27 | 2002-02-19 | 윤종용 | 파일서버를이용한자동화시스템과그제어방법 |
EP1125314A1 (en) * | 1998-07-10 | 2001-08-22 | Applied Materials, Inc. | Improved endpoint detection for substrate fabrication processes |
KR20000047269A (ko) | 1998-12-31 | 2000-07-25 | 강병호 | 멀티미디어 위성통신 시스템에서 가입자 소프트웨어 버전 확인시스템과, 이를 이용한 소프트웨어 자동 업그레이드 시스템 |
US6408434B1 (en) * | 1999-01-07 | 2002-06-18 | Sony Corporation | System and method for using a substitute directory to automatically install an update program |
JP2000222299A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-11 | Toshiba Corp | 障害情報支援システムおよびコンピュータの障害情報支援方法 |
US6324692B1 (en) * | 1999-07-28 | 2001-11-27 | Data General Corporation | Upgrade of a program |
JP2001075640A (ja) * | 1999-09-08 | 2001-03-23 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体基板処理装置及び半導体プロセス管理システム |
US6658659B2 (en) * | 1999-12-16 | 2003-12-02 | Cisco Technology, Inc. | Compatible version module loading |
JP2001274054A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Canon Inc | 露光装置、半導体デバイス製造方法および半導体デバイス製造工場 |
JP3976981B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2007-09-19 | キヤノン株式会社 | 露光装置、ガス置換方法、デバイス製造方法 |
JP2001326162A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Canon Inc | 半導体製造装置および半導体デバイス製造方法 |
JP2001332472A (ja) * | 2000-05-19 | 2001-11-30 | Canon Inc | X線露光装置 |
JP2002057100A (ja) * | 2000-05-31 | 2002-02-22 | Canon Inc | 露光装置、コートデベロップ装置、デバイス製造システム、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
JP2001345248A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
US20020022969A1 (en) * | 2000-07-07 | 2002-02-21 | Berg Marc Van Den | Remote automated customer support for manufacturing equipment |
AU2001285480A1 (en) * | 2000-08-23 | 2002-03-04 | Pri Automation, Inc. | Web based tool control in a semiconductor fabrication facility |
US6701259B2 (en) * | 2000-10-02 | 2004-03-02 | Applied Materials, Inc. | Defect source identifier |
US8176137B2 (en) * | 2001-01-31 | 2012-05-08 | Accenture Global Services Limited | Remotely managing a data processing system via a communications network |
US8458689B2 (en) * | 2001-03-30 | 2013-06-04 | Roderick A. Barman | Method and apparatus for reprogramming engine controllers |
US20040176868A1 (en) * | 2001-04-27 | 2004-09-09 | Naoyuki Haga | Remote maintenance system and remote maintenance method for semiconductor manufacturing apparatus |
US6775630B2 (en) * | 2001-05-21 | 2004-08-10 | Lsi Logic Corporation | Web-based interface with defect database to view and update failure events |
US7146609B2 (en) * | 2002-05-17 | 2006-12-05 | Sun Microsystems, Inc. | Method, system and article of manufacture for a firmware image |
-
2002
- 2002-06-25 TW TW091113885A patent/TWI244603B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-06-26 KR KR1020020035878A patent/KR100542813B1/ko active IP Right Grant
- 2002-07-02 US US10/189,975 patent/US7047100B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 CN CNB02130372XA patent/CN1215529C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-09-24 KR KR1020040077334A patent/KR100615974B1/ko active IP Right Grant
- 2004-09-24 KR KR20040077335A patent/KR100538459B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-03-06 US US11/368,862 patent/US7333867B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2006-03-06 US US11/368,586 patent/US7460923B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110825069A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-21 | 德明通讯(上海)有限责任公司 | 一种快速定位obd设备故障的故障检测方法及系统 |
CN110825069B (zh) * | 2019-11-07 | 2022-09-13 | 德明通讯(上海)股份有限公司 | 一种快速定位obd设备故障的故障检测方法及系统 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
TWI244603B (en) | 2005-12-01 |
CN1396625A (zh) | 2003-02-12 |
KR100542813B1 (ko) | 2006-01-11 |
US7047100B2 (en) | 2006-05-16 |
US7460923B2 (en) | 2008-12-02 |
US20060241803A1 (en) | 2006-10-26 |
US20060206229A1 (en) | 2006-09-14 |
CN1215529C (zh) | 2005-08-17 |
KR100615974B1 (ko) | 2006-08-28 |
KR100538459B1 (ko) | 2005-12-22 |
US20030023340A1 (en) | 2003-01-30 |
KR20040097962A (ko) | 2004-11-18 |
US7333867B2 (en) | 2008-02-19 |
KR20040099188A (ko) | 2004-11-26 |
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