JP4901442B2 - トラブル原因究明支援装置，トラブル原因究明支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は，トラブル原因究明支援装置，トラブル原因究明支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体に関する。

例えば半導体デバイスの製造工程においては，半導体ウエハ（以下，単に「ウエハ」ともいう。）にエッチングや成膜などの所定の処理を施す基板処理装置が使用されている。このような基板処理装置には，ウエハを処理する処理室，ウエハを搬送する搬送装置，基板処理装置に配設された各種装置及び基板処理装置全体の動作制御を行う制御装置等の種々の装置が配設され，さらに各装置の状態を検出する検出器等が設けられる。

基板処理装置の稼働により，各検出器からの出力情報，搬送装置などの各部の駆動情報，オペレータの操作情報，異常情報，アラーム情報，プログラムの起動情報など複数種類の履歴情報が文字列からなるログとしてログファイルに記録される（例えば特許文献１参照）。そして，基板処理装置にトラブル（障害）が発生した場合に，基板処理装置の履歴情報が保存されたログファイルは，トラブル原因を究明するために活用される。

このようなログファイルによってトラブル原因を究明する場合には，従来，作業者が例えばコンピュータなどにより構成されるトラブル原因究明装置のハードディスクにログファイルをコピーし，そのログファイルのログをディスプレイに表示させて，トラブル発生の日時やトラブルの種類などから当りをつけて，その作業者の経験と知識に基づいてログファイルの中からそのトラブルに関連するログを探し出して，トラブル原因を究明していた。

ところが，基板処理装置で発生するログの数は極めて大量であるため，その中からトラブルに関連のあるログを探し出すには，非常に多くの手間や時間がかかる。このため，近年では，トラブルの種類によってはその原因究明に必要のないログの種類もあることに着目し，ログの種類別にログファイルを作成するような基板処理装置もある。これによれば，トラブルに関連する種類のログファイルのログのみを解析すればよいので，解析に必要なログの量も減り，作業者の手間を軽減することができる。

特開２００３−２９７７１０号公報

しかしながら，上述したようにログの種類別にログファイルが分れている場合でも，トラブルに関連するログが複数のログファイルに存在する場合には，各ログファイルごとにログが時系列に記録されているため，例えば各ログファイルの大量のログを同時にディスプレイに表示してこれらを見比べ，各ログファイルのログの前後関係を確認しながらトラブル原因の究明作業を進めなければならず，作業の効率が悪いという問題があった。しかも，近年では益々基板処理装置の機能も増え，各ログファイルに記録されるログも益々増大する傾向にある。このため，ログの種類別にログファイルを作成したとしても，各ログファイルのログの解析にかかる時間と手間を軽減するには十分ではない。

また，ログファイルからトラブルに関連するログを探し出すためには，例えばログに含まれる特定の文字列からなるキーワードを作成し，このキーワードによってログを検索するのが便利であるが，どのようなキーワードでどのようなログを検索するかは，そのトラブルの原因究明についての作業者の知識と経験が必要になる。このため，そのような知識と経験がない作業者がそのトラブルに関連するログを探し出すのは容易でないという問題もあった。

そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，
基板処理装置のトラブルに関連するログを自動的に検索して強調表示させることができ，トラブル原因の究明作業の効率を高めて作業者の時間と手間を軽減させることができるトラブル原因究明装置等を提供することにある。

上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に，前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する装置であって，入力部と，表示部と，前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部と，予め前記基板処理装置のトラブルに関連する１つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された１つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部と，前記入力部からの入力情報に基づいて特定された１つ又は複数のキーワードファイルから，ログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定部と，前記入力部からの入力情報に基づいて，前記種類別ログファイル記憶部からログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定部と，設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成部と，前記表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御部とを備えることを特徴とするトラブル原因究明支援装置が提供される。

このような本発明によれば，基板処理装置のトラブル原因の究明にかかる時間と手間を大幅に軽減することができる。具体的には，予め基板処理装置のトラブルに関連するログのキーワードが記憶されたキーワードファイルを利用することによって，大量のログの中から必要なログを自動的に検索して強調表示させることができる。このため，そのトラブルについてのどのようなログを検索するかを検討する必要がなく，またログを検索するための最適なキーワードの文字列を作成する手間を省くことができるので，トラブル原因究明の作業効率を高めることができる。また，トラブルに関連するログを知らなくても，必要なログを自動的に検索して強調表示させることができるので，知識や経験がない作業者でもトラブル原因の究明を行うことができる。

さらに，トラブル原因の究明に必要な種類別ログファイルを１つの解析用ログファイルにまとめて時系列にソートして表示し，上記キーワードで検索されたログを強調表示するため，トラブル原因の究明に必要なログを容易に確認することができ，複数の種類別ログファイルを使用する場合でも，各種類別ログファイルのログの時系列的な前後関係の確認が容易になり，トラブル原因究明の作業効率を高めることができる。

また，上記キーワード設定部は，前記入力部から入力されたキーワードファイルの情報に基づいて特定された１つ又は複数のキーワードファイルを前記キーワード記憶手段から検索し，検索されたキーワードファイルに含まれるすべてのキーワードをログの検索に使用するキーワードとして設定するようにしてもよい。これによれば，キーワードファイルを設定するだけで，ログの検索に使用するキーワードを容易に設定することができる。

また，上記キーワードファイルには，前記基板処理装置に発生したトラブルの種類を表す文字列とそのトラブルの種類に関連する１つ又は複数のログのキーワードが前記トラブルの種類ごとに記憶され，前記キーワード設定部は，前記入力部から入力された文字列の情報に基づいてその文字列を含むトラブルの種類を有する１つ又は複数のキーワードファイルを前記キーワード記憶手段から検索し，検索されたキーワードファイルのキーワードのうち，そのトラブルの種類に関連づけられたキーワードのみを，ログの検索に使用するキーワードとして設定するようにしてもよい。これにより，どのキーワードファイルを使用すればよいかがわからなくても，トラブルの種類を示す文字列を入力するだけで，そのトラブル原因の解析に必要なキーワードのみを，ログの検索に使用するキーワードとして設定することができる。

さらに，上記入力部から入力された抽出範囲情報に基づいて，前記各種類別ログファイルから抽出するログの範囲を設定する抽出範囲設定部を有し，前記解析用ログファイル作成部は，設定された種類別ログファイルのログのうち，設定された抽出範囲のログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成するようにしてもよい。これにより，基板処理装置のトラブル原因の究明に必要な抽出範囲のログのみを表示させることができるので，トラブル原因の究明作業の効率を向上させることができる。

この場合，前記種類別ログファイルのログは日時情報を有し，前記抽出範囲設定部における前記入力部から入力される抽出範囲情報は，例えば日時による抽出範囲情報である。これによれば，日時によってログの抽出範囲を設定することができるので，例えば基板処理装置のトラブルが発生した日時がわかっている場合には，その日時から当りをつけた抽出範囲を設定することができる。これにより，トラブルに関連するログが含まれる蓋然性の高い範囲のログのみを抽出することができる。

また，上記キーワードファイルに，１つのトラブルに関連するキーワードが複数記憶されている場合に，さらにそのキーワードが含まれる各ログの時系列的な順序の情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記各キーワードを含むログがその順序で検索された場合にのみ，検索された各ログを強調表示するようにしてもよい。これにより，ログが所定の順序で表れる場合にのみ表示部に強調表示されるので，大量のログの中から必要なログを容易に見つけ出すことができる。これにより，特定のログが時系列的な順序で表れるようなトラブルについての原因究明を容易に行うことができる。

また，上記キーワードファイルに，トラブルに関連するキーワードとともに，そのキーワードが含まれるログの重要度の情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記キーワードを含むログをその重要度に応じて異なる強調表示を行うようにしてもよい。これにより，強調表示されたログの重要度が一目でわかるので，トラブル原因の究明作業の効率を向上させることができる。

また，上記キーワードファイルに，トラブルに関連するキーワードとともに，そのトラブルの原因に関するコメントの情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記表示部に前記コメントの情報も表示するようにしてもよい。これにより，表示されたコメントを参考にして効率よくトラブル原因の究明を行うことができる。

また，上記キーワードファイルに，トラブルに関連するキーワードとともに，そのトラブルの原因を解消するための復旧手順の情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記表示部に前記復旧手順の情報も表示するようにしてもよい。これにより，トラブル原因の究明のみならず，その後の復旧作業まで容易に行うことができる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に，前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する方法であって，予め前記基板処理装置のトラブルに関連する１つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された１つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部から，入力部からの入力情報に基づいて１つ又は複数のキーワードファイルを検索し，検索されたキーワードファイルからログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定工程と，前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部から，前記入力部からの入力情報に基づいて，ログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定工程と，設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成工程と，表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御工程とを有することを特徴とするトラブル原因究明支援方法が提供される。このような本発明によれば，基板処理装置のトラブル原因の究明にかかる時間と手間を大幅に軽減することができる。

上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に，前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する方法を実行するためのプログラムを記録する記録媒体であって，コンピュータに，予め前記基板処理装置のトラブルに関連する１つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された１つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部から，入力部からの入力情報に基づいて１つ又は複数のキーワードファイルを検索し，検索されたキーワードファイルからログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定ステップと，前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部から，前記入力部からの入力情報に基づいて，ログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定ステップと，設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成ステップと，表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御ステップとを実行させることを特徴とするプログラムを記録するコンピュータ読み取り可能な記録媒体が提供される。

本発明によれば，基板処理装置のトラブル原因の究明作業の効率を向上させることができ，作業にかかる時間と手間を大幅に軽減することができる。また，知識と経験がない作業者でもトラブル原因の究明を行うことができる。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（基板処理装置の構成例）
先ず，本発明によってトラブル原因を究明する基板処理装置の具体例について図面を参照しながら説明する。ここでは，搬送室に少なくとも１以上の真空処理ユニットが接続された基板処理装置を例に挙げて説明する。図１は本実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す断面図である。

基板処理装置１００は，被処理基板例えば半導体ウエハ（以下，単に「ウエハ」ともいう。）Ｗに対してエッチング処理などの所定の処理を行う１つ又は２つ以上の真空処理ユニット１１０と，この真空処理ユニット１１０に対してウエハＷを搬出入させる搬送ユニット１２０とを備える。搬送ユニット１２０は，ウエハＷを搬送する際に共用される搬送室１３０を有している。

図１では，例えば２つの真空処理ユニット１１０Ａ，１１０Ｂを搬送ユニット１２０の側面に配設したものを示す。各真空処理ユニット１１０Ａ，１１０Ｂは，それぞれ処理室ＭＣＡ，ＭＣＢと，これらのそれぞれに連設され，真空引き可能に構成されたロードロック室１５０Ａ，１５０Ｂを有している。各真空処理ユニット１１０Ａ，１１０Ｂは，各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢ内でウエハＷに対して同種の処理例えばエッチング処理を行うようになっている。

例えば各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢはそれぞれ，その内部に配置したウエハの載置台１４２Ａ，１４２Ｂを兼ねる電極に高周波電力を印加するとともに，処理室ＭＣＡ，ＭＣＢ内に処理ガスを供給してプラズマ化してウエハ表面にプラズマエッチング処理を施すプラズマ処理装置として構成される。なお，処理室の構成はこれに限られるものではない。また，図１に示すように処理室を備える真空処理ユニットを２つ設けた場合について説明したが，これに限定されるものではなく，処理室を備える真空処理ユニットを３つ以上設けてもよい。

上記搬送ユニット１２０の搬送室１３０は，例えばＮ_２ガス等の不活性ガスや清浄空気が循環される断面略矩形状の箱体により構成されている。搬送室１３０における断面略矩形状の長辺を構成する一側面には，複数のロードポートＬＰＡ〜ＬＰＣが設けられている。これらロードポートＬＰＡ〜ＬＰＣは，カセット容器１３４Ａ〜１３４Ｃを載置する被処理基板待機ポートとして機能する。図１では，例えば各ロードポートＬＰＡ〜ＬＰＣに３台のカセット容器１３４Ａ〜１３４Ｃをそれぞれ１つずつ載置することができる例を挙げているが，ロードポートとカセット容器の数はこれに限られず，例えば１台又は２台であってもよく，また４台以上設けてもよい。

各カセット容器１３４Ａ〜１３４Ｃには，例えば最大２５枚のウエハＷを等ピッチで多段に載置して収容できるようになっており，内部は例えばＮ_２ガス雰囲気で満たされた密閉構造となっている。そして，搬送室１３０はその内部へゲートバルブ１３６Ａ〜１３６Ｃを介してウエハＷを搬出入可能に構成されている。

搬送室１３０内には，ウエハＷをその長手方向（図１に示す矢印方向）に沿って搬送する共通搬送機構（大気側搬送機構）１６０が設けられている。この共通搬送機構１６０は，例えば基台１６２上に固定され，この基台１６２は搬送室１３０内の中心部を長さ方向に沿って設けられた図示しない案内レール上を例えばリニアモータ駆動機構によりスライド移動可能に構成されている。共通搬送機構１６０は例えば図１に示すような２つのピックを備えるダブルアーム機構であってもよく，また１つのピックを備えるシングルアーム機構であってもよい。

搬送室における断面略矩形状の長辺を構成する他側面には，上記２つのロードロック室１５０Ａ，１５０Ｂの基端が，開閉可能に構成されたゲートバルブ（大気側ゲートバルブ）１５２Ａ，１５２Ｂをそれぞれ介して連結されている。各ロードロック室１５０Ａ，１５０Ｂの先端は，開閉可能に構成されたゲートバルブ（真空側ゲートバルブ）１４４Ａ，１４４Ｂを介してそれぞれ上記処理室ＭＣＡ，ＭＣＢに連結されている。

各ロードロック室１５０Ａ，１５０Ｂ内には，それぞれウエハＷを一時的に載置して待機させる一対のバッファ用載置台１５４Ａ，１５６Ａ及び１５４Ｂ，１５６Ｂが設けられる。ここで搬送室側のバッファ用載置台１５４Ａ，１５４Ｂを第１バッファ用載置台とし，反対側のバッファ用載置台１５６Ａ，１５６Ｂを第２バッファ用載置台とする。そして，両バッファ用載置台１５４Ａ，１５６Ａ間及び１５４Ｂ，１５６Ｂ間には，屈伸，旋回及び昇降可能になされた多関節アームよりなる個別搬送機構（真空側搬送機構）１７０Ａ，１７０Ｂが設けられている。

これら個別搬送機構１７０Ａ，１７０Ｂの先端にはピック１７２Ａ，１７２Ｂが設けられ，このピック１７２Ａ，１７２Ｂを用いて第１，第２の両バッファ用載置台１５４Ａ，１５６Ａ及び１５４Ｂ，１５６Ｂ間でウエハＷの受け渡し移載を行い得るようになっている。なお，ロードロック室１５０Ａ，１５０Ｂから処理室ＭＣＡ，ＭＣＢ内へのウエハの搬出入は，それぞれ上記個別搬送機構１７０Ａ，１７０Ｂを用いて行われる。

搬送室１３０の一端部，すなわち断面略矩形状の短辺を構成する一方の側面には，ウエハＷの位置決め装置としてのオリエンタ（プリアライメントステージ）１３７が設けられている。オリエンタ１３７は，例えば内部に回転載置台１３８とウエハＷの周縁部を光学的に検出する光学センサ１３９とを備え，ウエハＷのオリエンテーションフラットやノッチ等を検出して位置合せを行う。

上記各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢ，オリエンタ１３７，各搬送機構１６０，１７０など各部は，制御部２００からの制御信号に基づいて制御される。制御部２００は，所定のプログラムに基づいて各部を制御することによって，ウエハの処理を実行するようになっている。

制御部２００は，オペレータによる種々のデータの入出力などを行うための入出力部２１０，基板処理装置１００の稼働によって発生するログを種類別（例えば目的別）に分類して複数の種類別ログファイルに記憶する種類別ログファイル記憶部２２０を備える。また，制御部２００には上記の他，図示はしないが，基板処理装置１００の各部を制御するための各種コントローラなどを備える。各種コントローラには，共通搬送機構１６０，個別搬送機構１７０Ａ，１７０Ｂ，オリエンタ１３７のコントローラの他，各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢの各部の制御を行うコントローラも含まれる。なお，各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢの各部の制御は，各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢごとに制御部を設けて制御するようにしてもよい。この場合には上記制御部２００は，各処理室ＭＣＡ，ＭＣＢの制御部と接続し，データや信号のやり取りを行いながら基板処理装置１００を制御する。

入出力部２１０は，例えばキーボードやマウス，又はタッチパネルなどの入力部，各種の情報を表示出力するためのディスプレイなどで構成される表示部，フロッピー（登録商標）ディスク，ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を読み書きするためのドライブ装置などを備える。

種類別ログファイル記憶部２２０には，例えば図２に示すように複数種類のログが種類別（例えば目的別）に分類された複数の種類別ログファイルが記憶される。各種類別ログファイルには基板処理装置１００の稼働により発生するログが複数記憶される。このような種類別ログファイルとしては，例えばアラームログファイル，システムログファイル，通信ログファイル，ＭＣバイナリログファイル，ブートログファイル，オペレーションログファイルなどが挙げられる。

アラームログは基板処理装置１００でアラームが発生したときにその情報をアラームログとして記憶するためのものである。システムログはシステム異常やシステム内インフォメーションが発生したときにその情報をシステムログとして記憶するためのものである。通信ログファイルは例えば基板処理装置１００に接続されるホスト装置(図示しない)との通信データ（各種メッセージなどを含む）を記憶するためのものである。ＭＣバイナリログは，基板処理装置１００の搬送機構などメカ部の駆動情報を記憶するためのものである。ブートログは，基板処理装置１００内のプログラム起動，シャットダウンなどの情報を記憶するためのものである。オペレーションログは，基板処理装置１００の操作画面からの操作内容をオペレーションログとして記憶するものである。これらのログは，例えば図２に示すように少なくともファイル名，日時，ログの内容であるログデータの情報を有する。

なお，上記種類別ログファイル記憶部は，必ずしも制御部２００に設けられる必要はなく，制御部２００にネットワークを介して接続したデータ処理用のコンピュータであるデータ処理装置（例えばＡＧＣ（アドバンスド・グループ・コントローラ）に設けるようにしてもよい。この場合には，制御部２００は，基板処理装置１００で発生したログをネットワークを介してデータ処理装置に送信し，データ処理装置はハードディスクなどで構成される記憶部に設けられた種類別ログファイル記憶部にログを記憶する。データ処理装置は，例えばフロッピー（登録商標）ディスク，ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を読み書きするためのドライブ装置を備え，種類別ログファイル記憶部に記憶されたログは，記録媒体に記憶できるようになっている。

このようなデータ処理装置は，上述したログ記憶機能の他，プロセスデータなどの解析処理，統計処理，プロセスデータやその解析／統計結果の集中モニタリング処理，更には解析／統計結果をレシピに反映させる処理等を行うように構成してもよい。データ処理装置は，１台のコンピュータで構成してもよく，複数台のコンピュータで構成してもよい。また，サーバとクライアントに分けて機能を分散させるように構成してもよい。なお，データ処理装置を後述するトラブル原因究明支援装置として機能させるようにしてもよい。

（トラブル原因究明支援装置の構成例）
次に，本発明にかかるトラブル原因究明支援装置の構成例について図面を参照しながら説明する。図３は，本実施形態にかかるトラブル原因究明支援装置の構成を示すブロック図である。図３に示すようにトラブル原因究明支援装置３００は，オペレータによる入力及び表示等の出力を行うための入出力部３１０，演算処理部３３０の演算処理に必要なデータ等を記憶する記憶部３２０，各種の演算処理を行う演算処理部３３０，演算処理部３３０による演算結果を一時的に記憶するメモリ３４０を備える。

入出力部３１０は，例えばキーボードやマウス，又はタッチパネルなどの入力部３１１，各種の情報を表示出力するためのディスプレイなどで構成される表示部３１２を備える。なお，入出力部３１０は上記の他，図示はしないが，フロッピー（登録商標）ディスク，ＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を読み書きするためのドライブ装置などを備える。

記憶部３２０は，例えばハードディスクなどで構成され，トラブル原因究明支援処理を実行するためのプログラムなどの必要なプログラムを記憶するためのプログラム記憶部３２１の他，トラブル原因究明支援処理を実行する際に使用するファイルやデータを記憶する記憶部を備える。具体的には例えば種類別ログファイル記憶部３２２，キーワードファイル記憶部３２３，復旧手順ファイル記憶部３２４，解析用ログファイル記憶部３２５を備える。

種類別ログファイル記憶部３２２は，基板処理装置１００で発生した複数の種類別ログファイルを記憶する。具体的には例えば基板処理装置１００の制御部２００種類別ログファイル記憶部２２０（又は制御部２００にネットワークで接続された上記データ処理装置の種類別ログファイル記憶部）で収集された例えば図２に示すような種類別ログファイルをフロッピー（登録商標）ディスクやＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体を介して取り込んだものを記憶する。

なお，これに限られるものではなく，例えば基板処理装置１００の制御部２００とトラブル原因究明支援装置３００とをネットワークで接続する場合には，トラブル原因究明支援装置３００は，制御部２００からネットワークを介して受信した種類別ログファイルを種類別ログファイル記憶部３２２に記憶するようにしてもよい。また，上記ネットワークにデータ処理装置を接続してデータ処理装置側で種類別ログを収集する場合には，トラブル原因究明支援装置３００は，データ処理装置からネットワークを介して受信した種類別ログファイルを種類別ログファイル記憶部３２２に記憶するようにしてもよい。

また，種類別ログファイル記憶部３２２の記憶領域の消費量を抑えるため，種類別ログファイルは圧縮して記憶しておき，使用する際に必要な種類別ログファイルのみを解凍するようにしてもよい。

キーワードファイル記憶部３２３は，基板処理装置１００のトラブルごとに，そのトラブルに関連するログに含まれる１つ以上のキーワードを有するキーワードファイルを記憶する。キーワードファイルは例えば図４に示すようにトラブルの種類とそのトラブルに関連するキーワードを有する。トラブル関連キーワードには，例えば図４に示すようにキーワードと，キーワードのレベルと，コメントと，復旧手順コードとを有する。

キーワードは，ログに含まれる文字列の一部であり，その文字列のみでログを特定するためのものである。例えばそのログで特徴的な部分のみをキーワードとしてもよい。また，キーワードのレベルは，キーワードを含むログの重要度を示すレベルであり，例えば重度が高い順に「０」，「１」，「２」…とする。ここでは，例えば「０」はエラー，「１」は警告，「２」はインフォメーションである。

なお，１つのトラブルの種類に複数のキーワードが関連づけられている場合には，このキーワードを含むログが表れる経時的な順序を有するようにしてもよい。このように時系列に序列したキーワードの組合せを記憶することによって，これらキーワードを含むログがこの順序で表れたときのみにトラブル原因となるような場合に，これらのログを見つけやすくすることができる。

コメントには，例えばそのキーワードを含むログが関連するトラブル原因の可能性が記憶される。コメントの内容はこれに限られるものではなく，例えばキーワードで特定されるログの説明をコメントに記憶してもよい。復旧手順コードは，後述する復旧手順ファイルに記憶される復旧手順コードを示す。

なお，キーワードファイルの項目は，必ずしも図４に示すものに限られるものではない。例えば少なくともトラブルごとにキーワードが記憶されていれば，トラブルの種類の項目がなくてもよい。また，１つのトラブルごとにそのトラブルについてのキーワードを記憶するキーワードファイルを設けるようにしてもよい。

このようなキーワードファイルは，例えば基板処理装置１００で過去に発生したトラブル原因の究明のために使用したログのキーワード，コメント，復旧手順などに基づいて作成される。これにより，本実施形態では，過去に発生したトラブル原因を究明した際のキーワードなどのデータを用いることで，それと同様のトラブルについてはそのトラブル原因の究明を短時間で行うことができる。なお，キーワードファイルには，基板処理装置１００のトラブル原因の究明を行うごとに，ログの解析で使用したログのキーワード，コメント，復旧手順などを蓄積していくことが好ましい。

復旧手順ファイル記憶部３２４は，基板処理装置１００のトラブル原因からの復旧手順を示す復旧手順ファイルを記憶する。復旧手順ファイルは，例えば図５に示すように復旧手順コードと復旧手順を有する。解析用ログファイル記憶部３２５は，トラブル原因究明支援処理によって作成される解析用ログファイルを記憶する。

演算処理部３３０は，例えばＣＰＵ（中央処理装置）などで構成され，プログラムに基づいて本実施形態にかかるトラブル原因究明支援処理を行うようになっている。演算処理部３３０は，プログラム記憶部３２１に記憶されたトラブル原因究明支援プログラムを実行することにより，トラブル原因究明支援処理を実行するための種々の処理部として機能するものである。具体的には演算処理部３３０は，キーワード設定部３３１，抽出範囲設定部３３２，種類別ログファイル設定部３３３，解析用ログファイル作成部３３４，表示制御部３３５として機能する。

キーワード設定部３３１は，入力部３１１からの入力情報に基づいて，特定された１つ又は複数のキーワードファイルから，ログの検索に使用するトラブル関連キーワードを設定する。抽出範囲設定部３３２は，入力部３１１から入力された入力情報に基づいて，各種類別ログファイルから抽出するログの範囲を設定する。種類別ログファイル設定部３３３は，入力部３１１からの入力情報に基づいて，種類別ログファイル記憶部３２２からログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する。解析用ログファイル作成部３３４は，設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する。表示制御部３３５は，表示部３１２に解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたトラブル関連キーワードを含むログをそれぞれ解析用ログファイルから検索して強調表示させる。

（トラブル原因究明支援処理）
次に，トラブル原因究明支援装置によって行われるトラブル原因究明支援処理について図面を参照しながら説明する。図６は，トラブル原因究明支援処理の具体例を示すフローチャートである。トラブル原因究明支援処理は，トラブル原因究明支援プログラムに基づいて演算処理部３３０がキーワード設定部３３１，抽出範囲設定部３３２，種類別ログファイル設定部３３３，解析用ログファイル作成部３３４，表示制御部３３５として機能し，所定のタイミングで記憶部３２０から必要なデータが読み出されて実行される。

先ずステップＳ１００にてトラブル関連キーワードの設定を行う（キーワード設定工程，キーワード設定ステップ）。トラブル関連キーワードの設定は，例えば図７に示すフローチャートに基づいて実行される。先ず，ステップＳ１０２にてキーワード設定画面を表示部３１２に表示する。

このとき，例えば図１２に示すようなキーワード設定画面４１０が表示部３１２に表示される。ここでは，トラブル関連キーワードを２種類の方法のいずれかによって設定できるようにしている。第１の設定方法は，（１）キーワードファイルを検索して設定する方法である。具体的にはキーワード設定画面４１０の（１）の部分に，トラブルを表す文字列をキーボードなどの入力部３１１によって入力する入力欄４１２と，入力を確定するためのＯＫボタン４１４を表示する。これは，例えば予め使用するキーワードファイルがわからない場合に，トラブルを表す一部又は全部の文字列から使用するキーワードファイルを自動的に検索して，トラブル関連キーワードを設定するものである。これにより，どのキーワードファイルを使用すればよいかがわからなくても，入力欄４１２にトラブルの種類を示す文字列を入力するだけで，そのトラブル原因の解析に必要なキーワードのみを，ログの検索に使用するキーワードとして設定することができる。従って，知識や経験がない作業者でも容易にトラブル原因の究明を行うことができる。

第２の設定方法は，（２）キーワードファイルを選択して設定する方法である。図１２に示すキーワード設定画面４１０の（２）の部分には，キーワードファイル名をキーボードなどの入力部３１１によって入力する入力欄４１６と，入力を確定するためのＯＫボタン４１８を表示する。これは，例えば予め使用するキーワードファイルがわかっている場合に，キーワードファイルを直接選択して，トラブル関連キーワードを設定するものである。これによれば，キーワードファイルを設定するだけで，ログの検索に使用するキーワードを容易に設定することができる。

なお，入力欄４１６をマウスポインタやカーソル，又は手指やタッチペンなどによって指定すると，別のウインドウを開いて選択可能なキーワードファイルを列挙表示し，その中から使用するキーワードファイルを選択するようにしてもよい。また，キーワード設定画面４１０には，上記のボタンの他，図１２に示すようにキャンセルボタンなどを表示してもよい。キャンセルボタンが押下された場合には，例えばトラブル原因究明支援処理を終了する。

このようなキーワード設定画面４１０の（１）検索設定のＯＫボタン４１４が押下された場合には，ステップＳ１０４〜Ｓ１１０の処理が実行される。すなわち，ステップＳ１０４にて（１）検索設定のＯＫボタン４１４が押下されたと判断した場合には，ステップＳ１０６にて（１）の入力欄４１２に入力された文字列を含むトラブルについてのキーワードファイルを検索する。具体的には当該トラブルを含むキーワードファイルをキーワードファイル記憶部３２３に記憶されたキーワードファイルの中から検索する。なお，このとき，当該トラブルを含むキーワードファイルが検索できなかった場合には，その旨を表示部３１２に表示するようにしてもよい。

この場合には，ステップＳ１０８にて検索されたキーワードファイルを使用するキーワードファイルに設定し，ステップＳ１１０にて設定されたキーワードファイルから当該トラブルに関連づけられたキーワードをトラブル関連キーワードとして設定する。

これに対して，図１２に示すキーワード設定画面の（２）選択設定のＯＫボタン４１８が押下された場合には，ステップＳ１１２〜Ｓ１１６の処理が実行される。すなわち，ステップＳ１１２にて（２）選択設定のＯＫボタン４１８が押下されたと判断した場合は，ステップＳ１１４にて（２）の入力欄４１６に入力されたファイル名のキーワードファイルを使用するキーワードファイルに設定する。この場合には，ステップＳ１１６にて設定されたキーワードファイルに含まれるすべてのキーワードをトラブル関連キーワードとして設定する。

ステップＳ１１０又はＳ１１６にてトラブル関連キーワードが設定されると，図６に示すステップＳ１５０にてログの抽出範囲の設定が行われる（抽出範囲設定工程，抽出範囲設定ステップ）。ログの数は膨大であるため，できるだけ少ない範囲から必要なログを探し出すことができるようにするためである。この抽出範囲の設定は例えば図８に示すフローチャートに基づいて実行される。先ず，ステップＳ１５２にて抽出範囲設定画面を表示部３１２に表示する。

このとき，例えば図１３に示すような抽出範囲設定画面４２０が表示部３１２に表示される。ここでは，抽出範囲を日時によって設定できるようにしている。トラブルが発生した日時の前後の範囲のログによってトラブルの原因となるログが見つかる蓋然性が高いからである。具体的には抽出範囲設定画面４２０に開始日時をキーボードなどの入力部３１１によって入力する開始日時入力欄４２２と，終了日時をキーボードなどの入力部３１１によって入力する終了日時入力欄４２４と，これらの入力を確定するためのＯＫボタン４２６を表示する。

なお，抽出範囲設定画面４２０には，上記のボタンの他，図１３に示すように戻るボタン，キャンセルボタンなどを表示してもよい。戻るボタンが押下された場合は，例えば図１２に示すキーワード設定画面４１０に戻り，キャンセルボタンが押下された場合には，例えばトラブル原因究明支援処理を終了する。

このような抽出範囲設定画面４２０のＯＫボタン４２６が押下された場合には，ステップＳ１５４〜Ｓ１６６の処理が実行される。すなわち，ステップＳ１５４にて抽出範囲設定画面４２０のＯＫボタン４２６が押下されたと判断した場合には，ステップＳ１５６にて開始日時入力欄４２２と終了日時入力欄４２４のいずれか又は両方に日時の入力ありか否かを判断する。このとき，日時の入力ありと判断した場合には，ステップＳ１５８にて日時が開始日時入力欄４２２と終了日時入力欄４２４の両方に入力されているか，又は日時が開始日時入力欄４２２のみに入力されているか，又は日時が終了日時入力欄４２４のみに入力されているかを判断する。

ステップＳ１５８にて日時が開始日時入力欄４２２と終了日時入力欄４２４の両方に入力されていると判断した場合はステップＳ１６０にて入力された開始日時から入力された終了日時までの範囲をログの抽出範囲として設定する。また，ステップＳ１５８にて日時が開始日時入力欄４２２のみに入力されていると判断した場合はステップＳ１６２にて開始日時以降の範囲を抽出範囲として設定する。また，ステップＳ１５８にて日時が終了日時入力欄４２４のみに入力されていると判断した場合は，ステップＳ１６４にて終了日時以前の範囲を抽出範囲として設定する。なお，ステップＳ１５６にて開始日時入力欄４２２と終了日時入力欄４２４のいずれにも入力がないと判断した場合には，ステップＳ１６６にてすべての範囲を抽出範囲として設定する。これにより，基板処理装置１００のトラブル原因の究明に必要な抽出範囲のログのみを表示させることができるので，トラブル原因の究明作業の効率を向上させることができる。また，日時によってログの抽出範囲を設定することができるので，例えば基板処理装置１００のトラブルが発生した日時がわかっている場合には，その日時から当りをつけた抽出範囲を設定することができる。これにより，トラブルに関連するログが含まれる蓋然性の高い範囲のログのみを抽出することができる。

このような抽出範囲が設定されると，図６に示すステップＳ２００にて使用する種類別ログファイルの設定を行う（種類別ログファイル設定工程，種類別ログファイル設定ステップ）。種類別ログファイル記憶部３２２には，複数の種類別ログファイルが記憶されているので，これらのファイルから使用する種類別ログファイルを選択して設定できるようにしている。ログの数は膨大であるため，できるだけ少ない範囲から必要なログを探し出すことができるようにするためである。種類別ログファイルの設定は，例えば図９に示すフローチャートに基づいて実行される。先ず，ステップＳ２０２にて種類別ログファイル設定画面を表示する。

このとき，例えば図１４に示すような種類別ログファイル設定画面４３０が表示部３１２に表示される。ここでは，種類別ログファイルを複数設定できるようにしている。具体的には図１４に示す種類別ログファイル設定画面４３０には，選択可能な種類別ログファイルのファイル名を表示する表示欄４３２と，選択入力を確定するためのＯＫボタン４３４を表示する。例えば各ファイル名の表示欄４３２にチェック欄４３６を表示させて，選択したいファイル名のチェック欄４３６にマウスポインタやカーソル，又は手指やタッチペンなどでチェックを入れることでファイル名を特定させるようにしてもよい。なお，種類別ログファイルのファイル名を別のウインドウを開いて表示させて，その中から選択させるようにしてもよい。

なお，種類別ログファイル設定画面４３０には，上記のボタンの他，図１４に示すように戻るボタン，キャンセルボタンなどを表示してもよい。戻るボタンが押下された場合は，例えば図１３に示す抽出範囲設定画面４２０に戻り，キャンセルボタンが押下された場合には，例えばトラブル原因究明支援処理を終了する。

このような図１４に示す種類別ログファイル設定画面４３０にてＯＫボタン４３４が押下された場合には，ステップＳ２０４〜Ｓ２１０の処理が実行される。すなわち，ステップＳ２０４にてＯＫボタン４３４が押下されたと判断すると，ステップＳ２０６にてログファイルが選択されているか否かを判断する。ステップＳ２０６にてログファイルが選択されていないと判断した場合はステップＳ２０２の処理に戻り，ステップＳ２０６にてログファイルが選択されたと判断した場合はステップＳ２０８にて選択されたファイル名の種類別ログファイルを，ログの解析に使用する種類別ログファイルとして設定する。

そして，種類別ログファイルの設定が終了すると，図６に示すステップＳ２５０にて解析用ログファイルの作成を行う（解析用ログファイル作成工程，解析用ログファイル作成ステップ）。解析用ログファイルは，オペレータがトラブル解析を行うためのものである。解析用ログファイルの作成は，例えば図１０に示すフローチャートに基づいて実行される。すなわち，先ずステップＳ２５２にて解析用ログファイル記憶部３２５に新たな解析用ログファイルを作成する。次いでステップＳ２５４にて設定された種類別ログファイルから，設定された抽出範囲のログを取り出して，解析用ログファイルにコピーして結合する。続いて，ステップＳ２５６にて解析用ログファイルのログを時系列にソートする。

こうして，解析用ログファイルが作成されると，ステップＳ３００にて解析用ログファイルについてのログの検索と表示を行う（表示制御工程，表示制御ステップ）。ログの検索と表示は，例えば図１１に示すフローチャートに基づいて実行される。先ず，ステップＳ３０２にて設定されたトラブル関連キーワードが単数か複数かを判断する。ステップＳ３０２にてトラブル関連キーワードが単数であると判断した場合はステップＳ３０４にて解析用ログファイルからそのトラブル関連キーワードを含むログを検索する。

また，ステップＳ３０２にてトラブル関連キーワードが複数であると判断した場合はステップＳ３０６にてトラブル関連キーワードの順序が指定されているか否かを判断する。ステップＳ３０６にてトラブル関連キーワードの順序が指定されていないと判断した場合には，ステップＳ３０８にて解析用ログファイルから各トラブル関連キーワードを含むログを検索する。これに対して，ステップＳ３０６にてトラブル関連キーワードの順序が指定されていると判断した場合には，ステップＳ３１０にて解析用ログファイルから各トラブル関連キーワードを含むログのうち，指定順序で表れるものを検索する。これにより，ログが指定順序で表れる場合にのみ表示部３１２に強調表示されるので，大量のログの中から必要なログを容易に見つけ出すことができる。これにより，特定のログが時系列的な順序で表れるようなトラブルについての原因究明を容易に行うことができる。

次に，ステップＳ３１２にて解析用ログファイルのログを表示部３１２に表示し，これらのログのうち検索されたログについては強調表示する。なお，強調表示としては例えば反転表示，ハッチング表示，文字拡大表示，ハイライト表示などが挙げられる。これにより，例えば図１５に示すような解析用ログ表示画面４４０のログ表示欄４４２に解析用ファイルのログがすべて表示され，検索されたログが強調表示される。これにより，大量のログの中でも対象となるログを見つけやすくなるので，トラブル原因の究明を容易に行うことができる。図１５に示す解析用ログ表示画面４４０のログ表示欄４４２ではファイル名，日時，ログデータの文字を省略しているが，具体的には例えば図１６に示すように各ログのファイル名，日時，ログデータが時系列に列挙されて表示される。なお，図１５に示す解析用ログ表示画面４４０では，ログ表示欄４４２に表示されるログをスクロールすることができるようになっている。

なお，キーワードファイルに記憶されたキーワードのレベルに応じて異なる強調表示を行うようにしてもよい。これにより，そのキーワードを含むログの重要度に応じて異なる強調表示がされるので，強調表示されたログの重要度が一目でわかり，トラブル原因の究明作業の効率を向上させることができる。

続いて，ステップＳ３１４にて設定されたトラブル関連キーワードに関連づけられたコメントがあると判断した場合には，ステップＳ３１６にて検索されたログのコメントも表示する。例えばコメントがトラブルの原因の可能性である場合には，図１５に示すコメント表示欄４４４に表示するようにしてもよい。これにより，ログ解析を行いながら，表示されたコメントを参考にして効率よくトラブル原因の究明を行うことができる。また，コメントが各ログの説明の場合には，ログ表示欄４４２にさらにコメント欄を設けて，そのログの隣に表示してもよい。

次いでステップＳ３１８にて設定されたトラブル関連キーワードに関連づけられた復旧手順コードがあると判断した場合には，ステップＳ３２０にて検索されたログにその復旧手順コードも表示する。例えば復旧手順コードは，図１５に示す復旧手順表示欄４４６に表示される。これにより，トラブル原因の究明のみならず，その後の復旧作業まで容易に行うことができる。なお，復旧手順の方法が２つ以上あるときは，すべての復旧手順を表示してもよく，また代表的な１つの復旧手順だけを表示してもよい。

具体的には例えば図５に示す復旧手順コードａａａとｂｂｂに対応する各復旧手順は，両方とも図４に示す不正キャリア操作がトラブル原因であった場合の復旧手順であり，いずれの復旧手順によってもトラブル原因を解消することができる。このため，図１５に示す復旧手順表示欄４４６に復旧手順コードａａａとｂｂｂの復旧手順を両方とも表示してもよく，また復旧手順コードａａａの復旧手順を代表して表示してもよい。この場合には，復旧手順コードａａａの復旧手順とともに，他の復旧手順がある旨とその復旧手順コード（例えばｂｂｂ）を同時に表示してもよい。なお，復旧手順コードに対応する復旧手順は，別のウインドウによって表示させるようにしてもよい。

なお，解析用ログ表示画面４４０には，上記のボタンの他，図１５に示すようにキャンセルボタンなどを表示してもよい。キャンセルボタンが押下された場合には，例えばトラブル原因究明支援処理を終了する。以降は，オペレータが表示部３１２に強調表示されたログとその他のログに基づいてトラブル原因を究明する。

ここで，解析用ログ表示画面４４０のログ表示欄４４２に表示されるログ表示結果の具体例を図１６を参照しながら説明する。図１６に示すログ表示結果では，複数の種類別ログファイルのログが時系列で列挙されており，キーワードを含むログが強調表示されている。ここでは，「ＬＰＡ マニュアルアクセス禁止」，「解除」をキーワードとして使用した場合であるため，これらのキーワードを含むログのみが強調表示されている。

図１６に示すログ表示結果では，「ＬＰＡ マニュアルアクセス禁止」のログが発生しているので，これはロードポートＬＰＡにセットされているカセット容器を搬送ロボットによって取り外される自動搬送モードになっているにも拘わらず，人手で取り外してしまった場合に発生する。その後，「確認」のログが発生している。これは，トラブル原因をオペレータによって解決することを前提としたアラームを確認できたことを示している。従って，まだ，トラブル原因が解消されていない状態であることがわかる。

従って，この場合のトラブルは，カセット容器の取り外しが自動搬送モードの通りに行われなかったことが原因であることがわかる。従って，このようなトラブルを復旧するには，例えば復旧手順に示す通りである。すなわち，（１）人手で取り除いてしまったカセット容器を元の状態に戻し，（２）自動搬送装置によってカセット容器を取ることによって，基板処理装置１００を復旧させることができる。

このように，本実施形態によれば，予め基板処理装置１００のトラブルに関連するログのキーワードが記憶されたキーワードファイルを利用することによって，大量のログの中から必要なログを自動的に検索して強調表示させることができる。このため，そのトラブルについてのどのようなログを検索するかを検討する必要がなく，またログを検索するための最適なキーワードの文字列を作成する手間を省くことができるので，トラブル原因究明の作業効率を高めることができ，基板処理装置１００のトラブル原因の究明にかかる時間と手間を大幅に軽減することができる。また，トラブルに関連するログを知らなくても，必要なログを自動的に検索して強調表示させることができるので，知識や経験がない作業者でもトラブル原因の究明を行うことができる。

さらに，トラブル原因の究明に必要な種類別ログファイルを１つの解析用ログファイルにまとめて時系列にソートして表示し，上記キーワードで検索されたログを強調表示するため，トラブル原因の究明に必要なログを容易に確認することができ，複数の種類別ログファイルを使用する場合でも，各種類別ログファイルのログの時系列的な前後関係の確認が容易になり，トラブル原因究明の作業効率を高めることができ，基板処理装置１００のトラブル原因の究明にかかる時間と手間を大幅に軽減することができる。

なお，上記実施形態により詳述した本発明については，複数の機器から構成されるシステムに適用しても，１つの機器からなる装置に適用してもよい。上述した実施形態の機能を実現するソフトウエハのプログラムを記憶した記憶媒体等の媒体をシステムあるいは装置に供給し，そのシステムあるいは装置のコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ）が記憶媒体等の媒体に記憶されたプログラムを読み出して実行することによっても，本発明が達成され得る。

この場合，記憶媒体等の媒体から読み出されたプログラム自体が上述した実施形態の機能を実現することになり，そのプログラムを記憶した記憶媒体等の媒体は本発明を構成することになる。プログラムを供給するための記憶媒体等の媒体としては，例えば，フロッピー（登録商標）ディスク，ハードディスク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＣＤ−ＲＷ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＡＭ，ＤＶＤ−ＲＷ，ＤＶＤ＋ＲＷ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭなどが挙げられる。また，媒体に対してプログラムを，ネットワークを介してダウンロードして提供することも可能である。

なお，コンピュータが読み出したプログラムを実行することにより，上述した実施形態の機能が実現されるだけでなく，そのプログラムの指示に基づき，コンピュータ上で稼動しているＯＳなどが実際の処理の一部又は全部を行い，その処理によって上述した実施形態の機能が実現される場合も，本発明に含まれる。

さらに，記憶媒体等の媒体から読み出されたプログラムが，コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後，そのプログラムの指示に基づき，その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部又は全部を行い，その処理によって上述した実施形態の機能が実現される場合も，本発明に含まれる。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば，上記実施形態では，処理ユニットを処理室にロードロック室を接続して構成し，搬送ユニットに複数の処理ユニットを並列に接続した所謂タンデム型の基板処理装置を例に挙げて説明したが，これに限られず，例えば処理ユニットを共通搬送室の周りに複数の処理室を接続して構成した所謂クラスタツール型の基板処理装置にも本発明を適用できる。その他，ログを記憶する様々なタイプの基板処理装置に本発明を適用可能である。例えば，プラズマエッチング装置の他，プラズマＣＶＤ装置，スパッタリング装置，熱酸化装置などの成膜装置に本発明を適用してもよい。また，被処理基板としてウエハ以外の例えばＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ），フォトマスク用のマスクレチクルなどの他の基板処理装置やＭＥＭＳ(マイクロエレクトロメカニカルシステム)製造装置にも適用可能である。

本発明は，トラブル原因究明支援装置，トラブル原因究明支援方法，プログラムを記憶する記憶媒体に適用可能である。

本発明によってトラブル原因を究明する基板処理装置の具体例を示す断面図である。 種類別ログファイルの具体例を説明する図である。 本発明の実施形態にかかるトラブル原因究明支援装置の構成を示すブロック図である。 同実施形態にかかるキーワードファイルの構成例を示す図である。 同実施形態にかかる復旧手順ファイルの構成例を示す図である。 本発明の実施形態にかかるトラブル原因究明支援処理の具体例を示すフローチャートである。 図６に示すトラブル関連キーワードの設定処理の具体例を示すフローチャートである。 図６に示す抽出範囲の設定処理の具体例を示すフローチャートである。 図６に示す種類別ログファイルの設定処理の具体例を示すフローチャートである。 図６に示す解析用ログファイルの作成処理の具体例を示すフローチャートである。 図６に示すログの検索と表示処理の具体例を示すフローチャートである。 キーワード設定画面の具体例を示す図である。 抽出範囲設定画面の具体例を示す図である。 種類別ログファイル設定画面の具体例を示す図である。 解析用ログ表示画面の具体例を示す図である。 ログ表示欄に表示されるログ表示結果の具体例を示す図である。

符号の説明

１００ 基板処理装置
１１０ 真空処理ユニット
１１０Ａ，１１０Ｂ 真空処理ユニット
１２０ 搬送ユニット
１３０ 搬送室
１３４Ａ〜１３４Ｃ カセット容器
１３６Ａ〜１３６Ｃ ゲートバルブ
１３７ オリエンタ
１３８ 回転載置台
１３９ 光学センサ
１４２Ａ，１４２Ｂ 載置台
１５０Ａ，１５０Ｂ ロードロック室
１５４Ａ，１５４Ｂ バッファ用載置台
１５６Ａ，１５６Ｂ バッファ用載置台
１６０ 共通搬送機構
１６２ 基台
１７０Ａ，１７０Ｂ 個別搬送機構
１７２Ａ，１７２Ｂ ピック
２００ 制御部
２１０ 入出力部
２２０ 種類別ログファイル記憶部
３００ トラブル原因究明支援装置
３１０ 入出力部
３１１ 入力部
３１２ 表示部
３２０ 記憶部
３２１ プログラム記憶部
３２２ 種類別ログファイル記憶部
３２３ キーワードファイル記憶部
３２４ 復旧手順ファイル記憶部
３２５ 解析用ログファイル記憶部
３３０ 演算処理部
３３１ キーワード設定部
３３２ 抽出範囲設定部
３３３ 種類別ログファイル設定部
３３４ 解析用ログファイル作成部
３３５ 表示制御部
４１０ キーワード設定画面
４１２，４１６ 入力欄
４２０ 抽出範囲設定画面
４２２ 開始日時入力欄
４２４ 終了日時入力欄
４２６ ＯＫボタン
４３０ 種類別ログファイル設定画面
４３２ 表示欄
４３４ ＯＫボタン
４３６ チェック欄
４４０ 解析用ログ表示画面
４４２ ログ表示欄
４４４ コメント表示欄
４４６ 復旧手順表示欄

Claims (10)

1. 被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に，前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する装置であって，
   入力部と，
   表示部と，
   前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部と，
   予め前記基板処理装置のトラブルに関連する１つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された１つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部と，
   前記入力部からの入力情報に基づいて特定された１つ又は複数のキーワードファイルから，ログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定部と，
   前記入力部からの入力情報に基づいて，前記種類別ログファイル記憶部からログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定部と，
   設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成部と，
   前記表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御部と，を備え，
   前記キーワード設定部は，前記入力部から入力されたキーワードファイルの情報に基づいて特定された１つ又は複数のキーワードファイルを前記キーワードファイル記憶手段から検索し，検索されたキーワードファイルに含まれるすべてのキーワードをログの検索に使用するキーワードとして設定することを特徴とするトラブル原因究明支援装置。
2. 前記キーワードファイルには，前記基板処理装置に発生したトラブルの種類を表す文字列とそのトラブルの種類に関連する１つ又は複数のログのキーワードが前記トラブルの種類ごとに記憶され，
   前記キーワード設定部は，前記入力部から入力された文字列の情報に基づいてその文字列を含むトラブルの種類を有する１つ又は複数のキーワードファイルを前記キーワードファイル記憶手段から検索し，検索されたキーワードファイルのキーワードのうち，そのトラブルの種類に関連づけられたキーワードのみを，ログの検索に使用するキーワードとして設定することを特徴とする請求項１に記載のトラブル原因究明支援装置。
3. さらに，前記入力部から入力された抽出範囲情報に基づいて，前記各種類別ログファイルから抽出するログの範囲を設定する抽出範囲設定部を有し，
   前記解析用ログファイル作成部は，設定された種類別ログファイルのログのうち，設定された抽出範囲のログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成することを特徴とする請求項１に記載のトラブル原因究明支援装置。
4. 前記種類別ログファイルのログは，日時情報を有し，
   前記抽出範囲設定部における前記入力部から入力される抽出範囲情報は，日時による抽出範囲情報であることを特徴とする請求項３に記載のトラブル原因究明支援装置。
5. 前記キーワードファイルに，１つのトラブルに関連するキーワードが複数記憶されている場合に，さらにそのキーワードが含まれる各ログの時系列的な順序の情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記各キーワードを含むログがその順序で検索された場合にのみ，検索された各ログを強調表示することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のトラブル原因究明支援装置。
6. 前記キーワードファイルに，トラブルに関連するキーワードとともに，そのキーワードが含まれるログの重要度の情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記キーワードを含むログをその重要度に応じて異なる強調表示を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のトラブル原因究明支援装置。
7. 前記キーワードファイルに，トラブルに関連するキーワードとともに，そのトラブルの原因に関するコメントの情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記表示部に前記コメントの情報も表示することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のトラブル原因究明支援装置。
8. 前記キーワードファイルに，トラブルに関連するキーワードとともに，そのトラブルの原因を解消するための復旧手順の情報が記憶されている場合には，前記表示制御部は，前記表示部に前記復旧手順の情報も表示することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のトラブル原因究明支援装置。
9. 被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に，前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する方法であって，
   予め前記基板処理装置のトラブルに関連する１つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された１つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部から，入力部からの入力情報に基づいて１つ又は複数のキーワードファイルを検索し，検索されたキーワードファイルからログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定工程と，
   前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部から，前記入力部からの入力情報に基づいて，ログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定工程と，
   設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成工程と，
   表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御工程と，
   を有し，
   前記キーワード設定工程において，前記入力部から入力されたキーワードファイルの情報に基づいて特定された１つ又は複数のキーワードファイルを前記キーワードファイル記憶部から検索し，検索されたキーワードファイルに含まれるすべてのキーワードをログの検索に使用するキーワードとして設定することを特徴とするトラブル原因究明支援方法。
10. 被処理基板に対して所定の処理を施す基板処理装置にトラブルが発生した際に，前記基板処理装置で得られたログを解析して行うトラブル原因の究明を支援する方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録するコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって，
    前記トラブル原因の究明を支援する方法は，
    予め前記基板処理装置のトラブルに関連する１つ又は複数のログにそれぞれ含まれる文字列がキーワードとして記憶された１つ又は複数のキーワードファイルを格納するキーワードファイル記憶部から，入力部からの入力情報に基づいて１つ又は複数のキーワードファイルを検索し，検索されたキーワードファイルからログの検索に使用するキーワードを設定するキーワード設定ステップと，
    前記基板処理装置で得られたログがそれぞれ種類別に記憶された複数の種類別ログファイルを格納するログファイル記憶部から，前記入力部からの入力情報に基づいて，ログの解析に使用する種類別ログファイルを設定する種類別ログファイル設定ステップと，
    設定された種類別ログファイルのログを取り出して結合し，そのログを時系列にソートした解析用ログファイルを作成する解析用ログファイル作成ステップと，
    表示部に前記解析用ログファイルのログを表示するとともに，設定されたキーワードを含むログをそれぞれ前記解析用ログファイルから検索して強調表示させる表示制御ステップと，を有し，
    前記キーワード設定ステップにおいて，前記入力部から入力されたキーワードファイルの情報に基づいて特定された１つ又は複数のキーワードファイルを前記キーワードファイル記憶部から検索し，検索されたキーワードファイルに含まれるすべてのキーワードをログの検索に使用するキーワードとして設定することを特徴とする記録媒体。

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