JP4868727B2 - 自動検査レシピ作成装置及び作成方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係る自動検査レシピ作成装置は、図1に示すように、中央演算処理装置(CPU)10、レシピデータベース20、記憶装置30、入力装置40、出力装置50を備える。
レシピデータベース20は、レシピパラメータを格納する記憶装置である。レシピパラメータは、検査装置、及び検査工程毎に格納される。
本発明の第2の実施の形態に係わる自動検査レシピ作成装置は、図7に示すように、検出パラメータデータベース21を更に備える点が、図1に示す自動検査レシピ作成装置と異なる。その他の構成については、図1に示す第1の実施の形態と同様である。検出パラメータデータベース21は、検査結果に基づき算出部13が算出する検出パラメータを格納する記憶装置である。検出パラメータは、検査レシピ候補毎に格納される。
上記のように、本発明は第1及び第2の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
12…レシピ候補作成部
13…算出部
14…レシピ選択部
20…レシピデータベース
21…検出パラメータデータベース
31…条件記憶領域
Claims (5)
- 複数の検査装置の動作をそれぞれ規定する複数のレシピパラメータから、特定の検査装置に関する複数のレシピパラメータを抽出する抽出部と、
前記複数のレシピパラメータを組み合わせて、複数の検査レシピ候補を作成するレシピ候補作成部と、
前記複数の検査レシピ候補をそれぞれ適用して前記特定の検査装置により製品を検査した結果に基づき、前記複数の検査レシピ候補毎に検出パラメータを算出する算出部と、
条件記憶領域に格納された検出条件を読み出し、該検出条件と前記検出パラメータに基づき、及び前記複数の検査レシピ候補毎の前記検出パラメータ同士を比較して、前記複数の検査レシピ候補から検査レシピを選択するレシピ選択部
とを備え、欠陥レビューを行わずに検査レシピを作成できることを特徴とする自動検査レシピ作成装置。 - 前記検出パラメータが、検査結果の再現性であることを特徴とする請求項1に記載の自動検査レシピ作成装置。
- 前記複数のレシピパラメータを格納するレシピデータベースを更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の自動検査レシピ作成装置。
- 前記検出パラメータを格納する検出パラメータデータベースを更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の自動検査レシピ作成装置。
- 抽出部が、複数の検査装置の動作をそれぞれ規定する複数のレシピパラメータから、特定の検査装置に関する複数のレシピパラメータを抽出するステップと、
レシピ候補作成部が、前記複数のレシピパラメータを組み合わせて、複数の検査レシピ候補を作成するステップと、
算出部が、前記複数の検査レシピ候補をそれぞれ適用して前記特定の検査装置により製品を検査した結果に基づき、前記複数の検査レシピ候補毎に検出パラメータを算出するステップと、
レシピ選択部が、条件記憶領域に格納された検出条件を読み出し、該検出条件と前記検出パラメータに基づき、及び前記複数の検査レシピ候補毎の前記検出パラメータ同士を比較して、前記複数の検査レシピ候補から検査レシピを選択するステップ
とを含み、欠陥レビューを行わずに検査レシピを作成できることを特徴とする自動検査レシピ作成方法。
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