JPWO2013125387A1 - 基板処理システム、管理装置、及び表示方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、その発生タイミングの装置の状態は記録しているが、その状況に陥った経緯を知るためにはどのユニットで発生した障害かをアラームIDやアラームテキストから保守員の経験によって突き止めなければならなかった。また、発生時刻、発生タイミング、障害の内容といった障害情報を保守員が基板処理装置コントローラ、管理装置、顧客からのヒアリング等により収集し、それらを基に管理装置にグラフ表示して突き止めていた。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理システム1全体構成の概略図を示し、図2は、基板処理システム1全体の機能構成を示す。
複数の基板処理装置10と管理装置12とは、例えばLAN等のネットワーク2を介して接続されており、これら基板処理装置10と管理装置12とは、相互に情報を送受信するようになっている。
なお、「障害を検知する」旨の記載は、障害が発生したことを検知する場合のほか、障害から回復したことを検知する場合も含むものとする。
「処理環境」とは、基板の処理に関する環境であり、例えば温度や圧力、ガスの流量等を含む。処理環境測定部26は、例えば温度や圧力、ガスの流量等を経時的に測定する測定器である。
「障害に関する情報」には、例えば、障害が発生したことを示す障害発生情報又は障害から回復したことを示す障害回復情報、障害を検知した日時、障害を検知した際に基板処理装置10が実行していた処理(レシピ)を特定する処理情報、障害を検知した検知器を特定する識別情報(ID)、その障害のレベル、障害を識別する識別情報、及び障害の概略を示すテキスト(障害概略情報)等が含まれる。
このように格納部34には、障害に関する情報と、その障害の検知日時の近傍で測定された処理環境の測定結果の情報とが格納される。
表示制御部40は、例えば、基板処理装置10内の流量の異常に起因する障害の発生が検知された場合、その障害に関する情報とその障害に至るまでの流量の経時的な測定結果の情報とをグラフ化する等して、障害の検知に至る経緯(処理環境の変化)を容易に把握できるような方法で表示部42に表示する。
図3は、基板処理装置10のハードウエア構成を示す。
なお、以下に示す基板処理装置10は一例であり、基板処理システム1が有する複数の基板処理装置10は、それぞれ異なる種々の構成であってもよい。
図4は、基板処理装置10の概略横断図であり、図5は、基板処理装置10の概略縦断面であり、図6は、基板処理装置10が備えるプラズマ処理装置150の概略図である。
大気搬送ロボット114はツイーザ116を用いて、ロードポート112に載置されたポッド6から例えば5枚ずつウエハ4を抜き出し、θ軸方向に回転してロードロック機構104へウエハ4を搬送するようになっている。
バッファ支持台124の下部にはインデックスアセンブリ126が設けられており、このインデックスアセンブリ126は、バッファ支持台124をθ軸方向へ回転及びZ軸方向へ上下動するようになっている。
トランスファーチャンバ132には、ゲートバルブ134を介してロードロックチャンバ122が取り付けられているとともに、このゲートバルブ134と対向する側に設けられたゲートバルブ136を介してプロセス機構108のプラズマ処理装置150が取り付けられている。
真空アームロボット138は、θ軸方向で回転するとともに、フィンガー140をロードロック機構104及びプロセス機構108へ向けてY軸方向に延伸させる。真空アームロボット138は、ロードロックチャンバ122にストックされた未処理のウエハ4をプラズマ処理装置150に移載するとともに、処理済みのウエハ4をプラズマ処理装置150からロードロックチャンバ122に移載するように構成されている。
高周波コイル164と外側シールド194とにより、螺旋共振器が構成される。
温度計204は、ヒータ202の温度を測定するとともに、障害を検知するようになっている。温度計204は、例えば、温度が所定の範囲から外れた場合に障害が発生したと判断し、障害の発生を検知した後、温度が所定の範囲に収まった場合に障害から回復したと判断する。
バッフルリング222、サセプタ156、及び排気板206により第一の排気室224が形成される。第一の排気室224は、処理室152と仕切られる構成となっているものの、気体等は通気孔によって処理室152に連通する構成となっている。
排気装置232は、マスフローコントローラ(MFC)234と、真空ポンプ236とを備える。
なお、MFC234及びMFC242それぞれに代えて、ガスの流量を制御するガス流量制御部、ガスの流量を経時的に測定するガス流量測定部、及びガスの流量から障害の発生を検知するガス流量障害検知部、これらを個別に設けるようにしてもよい。
また、排気装置232、MFC242、及び開閉弁244によってガスの供給量・排気量を調整することにより、処理室152及びプラズマ発生室154の圧力が調整される。
高周波コイル164は、絶縁性材料にて平板状に形成され且つベースプレート184の上端面に鉛直に立設された複数のサポートによって支持される。
高周波コイル164が可変式グランド部及び可変式給電部を備えている場合には、これらを備えていない場合と比較して、プラズマ発生室154の共振周波数及び負荷インピーダンスの調整を、より一層簡便にすることができる。
ウエハ4をツイーザ116へ載置した後、大気搬送ロボット114がθ軸方向へ回転し、ロードロックチャンバ122のバッファ支持台124にウエハ4を載置する。このとき、バッファ支持台124は、Z軸方向に動作して大気搬送ロボット114から25枚のウエハ4を受け取る。
バッファ支持台124に保持されているウエハ4を、真空アームロボット138のフィンガー140に載置する。そして、θ軸方向に真空アームロボット138を回転させ、Y軸方向にフィンガー140を延伸させて、プラズマ処理装置150の処理室152にこのフィンガー140を進入させる。
高周波コイル164内部に励起される誘導磁界によって自由電子を加速してガス分子と衝突させることで、このガス分子を励起させてプラズマを生成する。このようにしてプラズマ化された処理ガスを用いて、ウエハ4に例えばアッシング等の処理を行う。
次に、第一の実施形態として、基板処理システム1における検出器による検出結果を表示する動作の詳細について説明する。以下、図3〜5に示す構成を有する基板処理装置10において、プロセス機構108が備えるプラズマ処理装置150のMFC242が障害を検知した場合を例に説明する。
図7は、検出結果を表示する動作(S10)のフローチャートを示す。
図8は、障害履歴一覧画面300を例示する。
図9は、障害基板処理装置画面400を例示する。
図10は、障害ユニット画面500を例示する。
図11は、測定値推移画面600を例示する。
図8に示すように、障害履歴一覧画面300は、障害検知の識別302、障害検知日時304、障害識別番号(アラームID)306、障害名称308、及び障害基板処理装置情報310を時系列に並べて表示するものである。
障害履歴一覧画面300から一つの障害履歴を選択することで、その障害履歴の詳細が表示されるようになっている。例えば、いずれか一つの障害履歴を押下げる(クリック)と、その障害履歴が選択される。
障害識別番号306は、障害を一意に識別する情報である。
障害名称308は、例えば「流量異常」や「温度異常」等、障害の状態の概略を示す情報である。
図9に示すように、障害基板処理装置画面400は、障害検知情報402と、ユニット全体情報404と、ユニット情報変更部406とを表示するものである。なお、本例は、図8に示す障害履歴一覧画面300において「番号1」の障害履歴が選択された場合を示している。
ユニット情報変更部406は、障害基板処理装置画面400に表示される障害履歴を変更する押下げ部分(クリック箇所)である。例えば、ユニット情報変更部406の「PREV」部分が押下げられると一つ前の障害履歴(図8において、一つ上の障害履歴)が表示部42に表示されるようになり、「NEXT」部分が押下げられると一つ後の障害履歴(図8において、一つ下の障害履歴)が表示部42に表示されるようになる。
ユニット全体情報404は、表示される基板処理装置10に含まれるユニットの構成を表示する情報である。ユニット全体情報404は、図式化する等してそのユニット構成の概略を視覚的に認識し易く表示するようにしてもよい。
ユニット全体情報404は、障害を検知した検出器を含むユニットを赤枠で点灯する等して、障害の検知されていないユニットと視覚的に区別して表示するようになっている。本例においては、障害を検知したMFC242を備えるプロセス機構108が、他のユニットである第一の搬送機構102、ロードロック機構104、及び第二の搬送機構106これらと区別して表示される。
図10に示すように、障害ユニット画面500は、上述した障害検知情報402と、障害ユニット情報504と、検出器情報506とを表示するものである。なお、本例は、図9に示す障害基板処理装置画面400において「プロセス機構108」が選択された場合を示している。
検出器情報506は、障害を検知した検出器グループを赤枠で点灯する等して、障害を検知していない検出器グループと視覚的に区別して表示するようになっている。本例においては、障害を検知したMFC242が含まれる「MFCグループ」の表示欄が、他の検出器グループと区別して表示される。
図11に示すように、測定値推移画面600は、測定値推移グラフ602、検出器選択部604、及び期間設定部606を表示するものである。なお、本例は、図10に示す障害ユニット画面500において「MFCグループ」が選択された場合を示している。
本例では、測定値推移グラフ602には、障害検知日時30分前からその障害検知日時までの測定結果が表示されている。これより、MFC242の測定結果の挙動に異常のあることが迅速に把握されるとともに、その異常の発生する兆候やその異常の発生した工程が理解され易い。
期間設定部606は、この他、表示終了時間を障害を検知した時刻で固定し、この障害を検知した日時から遡る時間を設定するようにしたり、表示開始時間を障害を検知した時間で固定し、この障害を検知した日時からの経過時間を設定するようにしたり、あるいは、処理工程を基準としてその開始時刻や終了時刻に対してオフセットにより設定したりするようにしてもよい。
この結果から、操作者は、測定結果に異常のある流量制御部の配置された周辺のモジュール(例えば配管やバルブ等)に異常があると予想できることとなる。
特に、装置の構成や配置等の関係から、障害の原因箇所の追究が検知器によっては困難であるような場合、測定器の測定結果から異常を判断することでその障害に起因する原因箇所の追究が容易となる。
次に、第二の実施形態として、基板処理システム1における検出器による検出結果を表示する動作の詳細について説明する。
例えば、発生と回復とを繰り返す特定の障害に関する履歴情報に、他の障害に関する履歴情報が紛れる等して、特定の障害に関する履歴情報の抽出が困難になる場合がある。これに対して、本実施形態においては、特定の障害についての検出値の推移の把握を、本構成を有さない場合と比較して容易にすることができる。
図12は、検出結果を表示する動作(S100)のフローチャートを示す。
図13は、障害履歴一覧画面350を例示する。
図14は、障害履歴一覧画面350において、特定のアラームID「1001」が表示されている状態を例示する。
図15は、障害履歴一覧画面350において、特定のアラームID「1001」から所望する範囲が選択されている状態を例示する。
図16は、障害基板処理装置画面400を例示する。
図17は、障害ユニット画面500を例示する。
図18は、測定値推移画面600を例示する。
図13に示すように、障害履歴一覧画面350は、障害検知日時304、障害識別番号(アラームID)306、障害名称308及び障害ユニット情報352を時系列に並べて表示するものである。
障害履歴一覧画面350においては、障害の発生を示す履歴を「網かけ」とし、障害からの回復を示す履歴を「白色」として、これらが視覚的に区別されて表示されるようになっている。本例においては、圧力異常の発生及び圧力異常からの回復が頻繁に検出されている。このため、「圧力異常」についての履歴が多数表示されている。
決定部356は、障害履歴一覧画面350に表示される障害履歴の一覧を決定する押下げ部分(クリック箇所)である。
特定のアラームIDについて絞り込むことで、利用者が所望する障害に関する履歴情報が抽出されることとなる。
図16に示すように、障害基板処理装置画面400は、障害検知情報452と、ユニット全体情報404とを表示するものである。障害検知情報452は、障害の検知された基板処理装置の名称と、障害名称と、アラームIDとを示す情報である。
図17に示すように、障害ユニット画面500は、上述した障害検知情報452と、障害ユニット情報504と、検出器情報506とを表示するものである。なお、本例は、図16に示す障害基板処理装置画面400において「プロセス機構108」が選択された場合を示している。
検出器情報506について、本例では、障害を検知した圧力計246が含まれる「圧力計グループ」の表示欄が、他の検出器グループと区別して表示されている。
なお、本例は、図17に示す障害ユニット画面500において「圧力計グループ」が選択された場合を示している。
成膜処理には、例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)、PVD(Physical Vapor Deposition)、酸化膜や窒化膜等を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等が含まれる。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置から所定の情報を表示部に表示する管理装置と、を有する基板処理システムであって、前記基板処理装置は、基板の処理環境に関する情報を経時的に測定する処理環境測定部と、該基板処理装置の障害に関する情報を通知する障害情報通知部と、を備え、前記管理装置は、前記処理環境測定部が測定した測定情報と、前記障害情報通知部が通知した通知情報とを格納する格納部、を備え、前記表示部は、前記格納部に格納された前記測定情報と前記通知情報とを対応付けて表示する基板処理システムが提供される。
基板を処理する基板処理装置と、表示装置とを有する基板処理システムであって、前記基板処理装置は、基板の処理環境に関する情報を経時的に測定する処理環境測定部と、該基板処理装置の障害に関する情報を通知する障害情報通知部と、を備え、前記表示部は、障害に関する情報に、経時的に測定した処理環境に関する情報を対応付けて表示する基板処理システムが提供される。
(1)基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置と処理環境の測定結果データの送受信を行う通信部と、前記基板処理装置から前記通信部を介して送信されるデータを格納する格納部とを備えた管理装置で少なくとも構成される基板処理システムであって、前記基板処理装置は、障害が発生(又は回復)したことを検知すると、障害状況を操作画面に表示すると同時に前記管理装置の前記通信部に対して、障害に関する情報である障害情報が付加された障害発生通知(又は障害回復通知)を送信し、前記管理装置は、前記障害発生通知を受信すると、前記格納部に障害が発生した時点の情報(障害時モニタ情報)を付加した状態で前記障害情報を格納する基板処理システムが提供される。
(11)障害に関する情報である障害情報を含む障害発生通知又は障害回復通知と、経時的に測定された処理環境を含む情報とを受信する受信機能と、前記処理環境の測定結果を障害発生日時に至るまで時系列に表示する表示機能と、をコンピュータに実行させる管理装置の障害情報表示プログラム。が提供される。
(12)障害を検知し、処理環境を経時的に測定する測定し、処理環境の測定結果を障害発生日時に至るまで時系列に表示して障害情報を解析する障害情報の解析方法が提供される。
(13)基板を処理する基板処理装置と処理環境の測定結果データの送受信を行う通信部と、前記基板処理装置から前記通信部を介して送信される前記データを格納する格納部と、を備えた管理装置であって、前記基板処理装置により障害が発生(又は回復)したことが検知されると、障害状況を該基板処理装置の操作画面に表示すると同時に前記通信部により、障害に関する情報である障害情報が付加された障害発生通知(又は障害回復通知)を受信し、前記障害発生通知を受信すると、前記格納部に障害が発生した時点の情報(障害時モニタ情報)を付加した状態で前記障害情報を格納する管理装置が提供される。
前記表示制御部は、装置特定情報とデータ時刻時間(グラフ表示時間)がグループ化された検索条件を受付けると、前記格納部を検索し、障害ファイルを所定の形式で表示させ、
前記障害履歴ファイルの一件が選択されると、障害時モニタ情報の表示画面に、障害発生(又は回復)時の装置のモニタ情報を表示し、
前記障害時モニタ情報の表示画面は、アラーム情報を表示する部分と、装置ユニットの構成を表示する部分とに区別され、前記装置ユニットの構成を表示する部分には、さらに、各装置ユニットに対して前記装置ユニットに配置されるセンサ情報又は前記装置ユニットで実行されるレシピ情報を表示する部分(アイコン)で少なくとも構成され、
前記装置ユニットの構成を報じする部分(アイコン)は、各装置ユニット(アイコン)が選択されると、前記装置ユニットの詳細を表示する画面が表示され、
前記装置ユニットの詳細を表示する画面には、各制御パラメータに対して前記制御パラメータの詳細情報(アイコン)が表示され、
障害発生ユニットと一致する前記制御パラメータの詳細情報(アイコン)が明示され、
前記明示された前記制御パラメータ詳細情報(アイコン)が選択されると、前記検索条件に応じて前記制御パラメータを検出するセンサの情報を障害発生時刻まで時系列に表示する。
2 ネットワーク
4 ウエハ
6 ポッド
10 基板処理装置
12 管理装置
14 表示装置
24 障害検知部
26 処理環境測定部
28 制御部
32 通信情報管理部
34 格納部
36 障害情報記憶部
38 処理環境記憶部
40 表示制御部
42 表示部
102 第一の搬送機構
104 ロードロック機構
106 第二の搬送機構
108 プロセス機構
112 ロードポート
150 プラズマ処理装置
152 処理室
180 RFセンサ
202 ヒータ
204 温度計
246 圧力計
250 バッフル板
252 可動タップ
254 固定グランド
300 障害履歴一覧画面
400 障害基板処理装置画面
500 障害ユニット画面
600 測定値推移画面
602 測定値推移グラフ
Claims (10)
- 基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置から所定の情報を表示部に表示する管理装置と、
を有する基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、
基板の処理環境に関する情報を経時的に測定する処理環境測定部と、
該基板処理装置の障害に関する情報を通知する障害情報通知部と、
を備え、
前記管理装置は、
前記処理環境測定部が測定した測定情報と、前記障害情報通知部が通知した通知情報とを格納する格納部、
を備え、
前記表示部は、前記格納部に格納された前記測定情報と前記通知情報とを対応付けて表示する基板処理システム。 - 基板を処理する基板処理装置と処理環境の測定結果データの送受信を行う通信部と、
前記基板処理装置から前記通信部を介して送信される前記データを格納する格納部と、
を備え、
前記基板処理装置により障害が発生したこと又は障害から回復したことが検知されると、障害状況を該基板処理装置の操作画面に表示すると同時に、前記通信部により障害に関する情報である障害情報が付加された障害発生通知又は障害回復通知を受信し、前記障害発生通知又は障害回復通知を受信すると、前記格納部に障害が発生又は障害から回復した時点の情報を付加した状態で前記障害情報を格納する管理装置。 - 前記格納部に格納された前記障害情報を時系列に表示させる表示制御部、
をさらに有し、
前記処理環境の測定結果データを障害発生日時に至るまで時系列に表示する請求項2記載の管理装置の表示方法。 - 前記管理装置は、
前記基板処理装置と処理環境の測定結果データの送受信を行う通信部と、
前記基板処理装置から前記通信部を介して送信される前記データを格納する格納部と、
を備える請求項1記載の基板処理システム。 - 前記基板処理装置は、障害が発生したこと又は障害から回復したことを検知すると障害状況を操作画面に表示すると同時に前記管理装置の前記通信部に対して、障害に関する情報である障害情報が付加された障害発生通知又は障害回復通知を送信し、
前記管理装置は、前記障害発生通知を受信すると、前記格納部に障害は発生した時点の情報を付加した状態で前記障害情報を格納する請求項4記載の基板処理システム。 - 前記基板処理装置は、障害が発生したこと又は障害から回復したことが検知されると、障害状況を該基板処理装置の操作画面に表示すると同時に、前記管理装置の前記通信部に対して、障害に関する情報である障害情報が付加された障害発生通知又は障害回復通知を送信する請求項1記載の基板処理システム。
- 障害に関する情報である障害情報を含む障害発生通知又は障害回復通知と、経時的に測定された処理環境を含む情報とを受信する受信機能と、
前記処理環境の測定結果を障害発生日時に至るまで時系列に表示する表示機能と、
をコンピュータに実行させる管理装置の障害情報表示プログラムを記憶した記憶媒体。 - 障害発生日時に至るまでのグラフ表示時間を設定ファイルに予め登録しておき、障害に関する情報である障害情報を前記グラフ表示時間に従い時系列に表示させる表示方法であって、
装置特定情報と前記グラフ表示時間とを含む検索条件を受け付け、所定の障害履歴ファイルを所定の形式で表示し、前記障害履歴ファイルのうち任意の一件が選択されると、障害時モニタ情報の表示画面に、障害発生時又は障害回復時の装置のモニタ情報を表示する工程を少なくとも有し、
前記障害時モニタ情報の表示画面は、アラーム情報を表示する部分と、装置ユニットの構成を表示する部分とに区別され、前記装置ユニットの構成を表示する部分は、少なくとも各装置ユニットで実行されるレシピ情報を表示する部分で構成される表示方法。 - 前記装置ユニットの構成を表示する部分において各装置ユニットが選択されると、前記装置ユニットの詳細を表示する画面を表示する工程と、
前記装置ユニットの詳細を表示する画面上で、各制御パラメータの詳細部分を表示する工程と、
障害が発生した前記装置ユニットである障害発生ユニットを示す前記制御パラメータ詳細情報が選択されると、前記検索条件に応じて前記パラメータを検出するセンサの情報を障害発生時刻まで時系列に表示する工程と、
を有する請求項8記載の表示方法。 - 前記障害ユニットを示す前記制御パラメータ詳細情報は、他の制御パラメータと比較して明示される請求項9記載の表示方法。
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