KR102047895B1 - 기판 처리 공정 모니터링 장치 및 방법 - Google Patents

기판 처리 공정 모니터링 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

기판 처리 공정 모니터링 장치가 개시된다. 기판 처리 공정 모니터링 장치는, 기판 처리 설비로부터 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집하는 공정 데이터 수집부, 기판 처리 설비의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 저장하는 저장부, 화면 구성 데이터를 불러와 공정 데이터에 따라 공정 모니터링 화면을 조작하는 처리부 및 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 공정 모니터링 화면에 출력하는 제어부를 포함한다.

Description

기판 처리 공정 모니터링 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING SUBSTRATE TREATMENT PROCESS}
본 발명은 기판 처리 공정을 모니터링하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 특정 시점의 공정 데이터를 출력할 수 있는 기판 처리 공정 모니터링 장치 및 방법에 관한 것이다.
실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판에 회로 패턴을 형성하는 등 기판을 처리하는 공정은 그 공정의 요구 사항에 부합하여 제작된 기판 처리 설비에 의해 수행된다. 기판 처리 설비는 기판을 처리하기 위해 필요한 각종 모듈을 구비한다.
예를 들어, 기판에 회로 패턴을 형성하기 위해 리소그래피를 실시하는 경우, 기판 처리 설비는 기판에 감광 물질을 도포하기 위한 도포 모듈, 감광 물질이 도포된 기판을 노광시키는 노광 모듈, 노광된 기판을 현상하는 현상 모듈 등 리소그래피에 필요한 단위 공정을 수행하는 모듈들을 구비한다.
기판 처리 설비에 의한 기판 처리 공정은 다수의 기판들이 정해진 레시피대로 처리되는 일련의 유기적인 과정이며, 설비 내 모듈들은 공정 순서대로 이전 단계에 해당하는 처리를 실시하는 모듈로부터 기판을 전달받아 정해진 처리를 실시하고, 다음 단계에 해당하는 처리를 실시하는 모듈로 기판을 전달한다.
이와 같이 기판 처리 설비 내 모듈들은 상호 유기적으로 결합되어 기판 처리 공정을 실시하며, 관리자는 설비에서 공정이 정상적으로 수행되고 있는지 관리가 필요하다. 만약, 설비 내 어느 한 부분에 문제가 생겨 가동이 중단된 경우, 관리자는 설비에서 수행된 기판 처리 공정에 관한 기록이나 데이터를 기초로 문제의 원인을 파악하여 해결한 뒤, 설비 내 기판의 위치, 모듈의 상태 등을 문제 발생 시점 때와 동일하게 복원하여 가동을 재개한다.
즉, 종래에는 설비에 문제가 발생한 경우, 관리자가 직접 문제의 원인을 파악하므로, 문제의 원인을 찾는데 많은 시간이 필요하였고, 관리자의 설비에 대한 이해도, 숙련도 등에 따라 분석 결과가 상이한 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단하여 사용자가 기판 처리 설비에 발생한 문제를 용이하게 파악할 수 있는 기판 처리 공정 모니터링 장치 및 방법을 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 설비는, 기판 처리 설비로부터 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집하는 공정 데이터 수집부, 상기 기판 처리 설비의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 저장하는 저장부, 상기 화면 구성 데이터를 불러와 상기 공정 데이터에 따라 상기 공정 모니터링 화면을 조작하는 처리부 및 상기 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 상기 공정 모니터링 화면에 출력하는 제어부를 포함한다.
여기서, 상기 제어부는, 상기 공정 데이터를 기저장된 정상 상태 값과 비교하여 상기 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단하고, 상기 기판 처리 설비에 이상이 있는 경우 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 화면을 출력할 수 있다.
여기서, 상기 공정 데이터 수집부는, 상기 기판 처리 공정의 진행에 따라 상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에서 발생하는 이벤트를 나타내는 상기 공정 데이터를 수집할 수 있다.
여기서, 상기 공정 데이터는, 상기 이벤트가 발생한 모듈을 식별하기 위한 모듈 식별 데이터, 상기 이벤트를 식별하기 위한 이벤트 식별 데이터, 상기 이벤트가 발생한 시각에 관한 이벤트 발생 시각 데이터 및 상기 이벤트가 종료한 시각에 관한 이벤트 종료 시각 데이터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 저장부는, 상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에 대응하여 상기 공정 모니터링 화면에 포함되는 적어도 하나의 컴포넌트, 및 상기 공정 모니터링 화면 내 상기 컴포넌트의 배치에 관한 상기 화면 구성 데이터를 저장할 수 있다.
여기서, 상기 화면 구성 데이터는, 상기 컴포넌트가 상기 기판 처리 설비에서 기판의 이송 경로를 따라 거쳐가는 상기 모듈의 순서대로 상기 공정 모니터링 화면 내에 배치되도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 처리부는, 상기 기판 처리 공정이 진행됨에 따라 상기 기판 처리 설비에 의해 처리되는 기판의 상태를 시간의 흐름에 따라 표시한 공정 모니터링 차트를 생성할 수 있다.
여기서, 상기 화면 구성 데이터는, 상기 공정 모니터링 화면의 일측에 상기 컴포넌트가 배치되고, 상기 공정 모니터링 화면의 타측에 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 차트 및 현재 시점의 상기 공정 모니터링 차트가 배치되도록 구성될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법은, 기판 처리 공정 모니터링 장치가 기판 처리 설비에서 진행되는 기판 처리 공정을 모니터링하는 방법에 있어서, 상기 기판 처리 설비로부터 상기 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집하는 단계, 상기 기판 처리 설비의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 불러오는 단계, 상기 화면 구성 데이터를 기초로 상기 공정 데이터에 따라 상기 공정 모니터링 화면을 조작하는 단계 및 상기 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 상기 공정 모니터링 화면에 출력하는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 특정 시점의 공정 데이터 값을 상기 공정 모니터링 화면에 출력하는 단계는, 상기 공정 데이터를 기저장된 정상 상태 값과 비교하여 상기 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단하는 단계 및 상기 기판 처리 설비에 이상이 있는 경우 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 화면을 출력하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 공정 데이터를 수집하는 단계는, 상기 기판 처리 공정의 진행에 따라 상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에서 발생하는 이벤트를 나타내는 상기 공정 데이터를 수집하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 공정 데이터는, 상기 이벤트가 발생한 모듈을 식별하기 위한 모듈 식별 데이터, 상기 이벤트를 식별하기 위한 이벤트 식별 데이터, 상기 이벤트가 발생한 시각에 관한 이벤트 발생 시각 데이터 및 상기 이벤트가 종료한 시각에 관한 이벤트 종료 시각 데이터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 화면 구성 데이터를 불러오는 단계는, 상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에 대응하여 상기 공정 모니터링 화면에 포함되는 적어도 하나의 컴포넌트, 및 상기 공정 모니터링 화면 내 상기 컴포넌트의 배치에 관한 상기 화면 구성 데이터를 불러오는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 화면 구성 데이터는, 상기 컴포넌트가 상기 기판 처리 설비에서 기판의 이송 경로를 따라 거쳐가는 상기 모듈의 순서대로 상기 공정 모니터링 화면 내에 배치되도록 사전에 구성될 수 있다.
여기서, 상기 공정 모니터링 화면을 조작하는 단계는, 상기 화면 구성 데이터를 기초로 상기 컴포넌트가 배치된 상기 공정 모니터링 화면을 구성하는 단계 및 상기 공정 데이터에 포함된 상기 모듈의 이벤트를 나타내는 데이터에 따라 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 기판 처리 공정 모니터링 방법은, 상기 기판 처리 공정이 진행됨에 따라 상기 기판 처리 설비에 의해 처리되는 적어도 하나의 기판 각각의 상태를 시간의 흐름에 따라 표시한 공정 모니터링 차트를 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 화면 구성 데이터는, 상기 공정 모니터링 화면의 일측에 상기 컴포넌트가 배치되고, 상기 공정 모니터링 화면의 타측에 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 차트 및 현재 시점의 상기 공정 모니터링 차트가 배치되도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 공정 모니터링 차트를 생성하는 단계는, 상기 공정 모니터링 차트의 일 축을 따라 상기 기판 처리 공정의 진행에 따른 시간을 표시하고, 상기 공정 모니터링 차트의 다른 축을 따라 각 기판의 상태를 표시하여 상기 공정 모니터링 차트를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기록 매체는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법을 실행하기 위한 프로그램이 저장되는 컴퓨터에서 판독 가능한 기록 매체일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로그램은, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법을 실행하기 위하여 기록 매체에 저장되는 컴퓨터 프로그램일 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 다양한 실시 예에 따르면 기판 처리 공정을 효율적으로 모니터링할 수 있으며, 기판 처리 설비에 문제가 발생한 경우 문제가 발생한 시점 및 위치를 사용자가 용이하게 파악할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템의 개략적인 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비의 구조를 예시적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 장치의 예시적인 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 모니터링 화면의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 모듈의 이벤트를 나타내는 데이터를 기반으로 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경하는 과정을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 일 기판 그룹에 속하는 기판들이 분포하는 컴포넌트를 다른 컴포넌트와 구별하여 표시한 모습을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 컴포넌트 선택 시 그에 대응하는 모듈에 관한 세부 정보를 표시한 모습을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 공정 모니터링 화면의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법을 나타내는 흐름도이다.
이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템(10)의 개략적인 블록도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 기판 처리 시스템(10)은 기판 처리 설비(100), 기판 처리 공정 모니터링 장치(200) 및 표시 장치(310)를 포함할 수 있다.
상기 기판 처리 설비(100)는 기판을 처리하는 설비로서, 기판 처리 공정을 실시하기 위해 요구되는 적어도 하나의 모듈을 포함할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비(100)의 구조를 예시적으로 나타내는 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판 처리 설비(100)는 하나 또는 그 이상의 모듈을 구비하여 기판 처리 공정을 실시하는 설비로서, 예를 들어 리소그래피 공정을 실시하는 경우, 상기 기판 처리 설비(100)는 적어도 하나의 포트 모듈(111, 112, 113, 114), 인덱스 모듈(120), 도포 모듈(130), 노광 모듈(140) 및 현상 모듈(150)을 포함할 수 있다.
상기 포트 모듈(111, 112, 113, 114)은 기판을 기판 처리 설비(100)에 반입하거나 기판 처리 설비(100)로부터 반출 시 기판을 수용하는 모듈로서, 상기 기판 처리 설비(100)의 전단에 적어도 하나가 구비될 수 있다. 상기 도포 모듈(130)은 기판에 감광 물질을 도포하는 모듈로서, 일 예로 기판에 포토레지스트 액을 코팅하는 코팅 장치를 포함할 수 있다. 상기 노광 모듈(140)은 감광 물질이 도포된 기판을 노광시키는 모듈로서, 일 예로 스텝퍼(stepper) 등을 이용하여 상기 감광 물질이 도포된 기판에 소정 패턴으로 자외선과 같은 광을 조사할 수 있다. 상기 현상 모듈(150)은 노광된 기판을 현상하는 모듈로서, 일 예로 상기 노광된 기판 위에 현상액을 도포하여 기판을 현상할 수 있다. 상기 인덱스 모듈(120)은 상기 포트 모듈(111, 112, 113, 114)과 상기 도포 모듈(130) 또는 상기 현상 모듈(150) 간에 기판을 이송하는 모듈로서, 일 예로 기판을 반송하는 로봇을 이용하여 상기 포트 모듈(111, 112, 113, 114)로부터 상기 도포 모듈(130)로 기판을 반송하거나, 상기 현상 모듈(150)로부터 상기 포트 모듈(111, 112, 113, 114)로 기판을 반송할 수 있다.
도 2에 도시된 리소그래피용 기판 처리 설비(100)에서 기판은 포트 모듈(111, 112, 113, 114), 인덱스 모듈(120), 도포 모듈(130), 노광 모듈(140), 현상 모듈(150), 인덱스 모듈(120) 및 포트 모듈(111, 112, 113, 114)의 순서로 이동하면서 각 모듈에서 정해진 처리가 수행된다. 상기 기판 처리 설비(100)에서 기판의 이송 방향은 화살표로 표시되어 있다.
전술한 기판 처리 설비(100)는 리소그래피 공정을 실시하기 위한 설비로서, 본 발명의 실시예에 따라 공정이 모니터링되는 설비는 도 2의 구성으로 제한되지 않는다. 기판에 대하여 실시되는 공정의 종류에 따라 기판 처리 설비(100)에 구비되는 모듈의 종류 및 그 구조는 다양하다.
또한, 상기 기판 처리 설비(100)는 디스플레이 패널, 예컨대 글래스 기판을 처리할 수 있으나, 상기 기판 처리 설비(100)에 의해 처리되는 기판의 종류는 이에 제한되지 않는다. 일 예로, 상기 기판 처리 설비(100)는 반도체 웨이퍼를 처리할 수도 있다.
상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 상기 기판 처리 설비(100)에서 진행되는 기판 처리 공정을 모니터링한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)의 예시적인 블록도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 공정 데이터 수집부(201), 저장부(202), 처리부(203) 및 제어부(204)를 포함할 수 있다.
상기 공정 데이터 수집부(201)는 상기 기판 처리 설비(100)로부터 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집할 수 있다. 상기 저장부(202)는 상기 기판 처리 설비(100)의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 저장할 수 있다. 상기 처리부(203)는 화면 구성 데이터를 불러와 공정 데이터에 따라 공정 모니터링 화면을 조작할 수 있다. 상기 제어부(204)는 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 공정 모니터링 화면에 출력할 수 있다.
상기 공정 데이터 수집부(201)는 상기 기판 처리 설비(100)로부터 공정 데이터를 수신하는 것으로, 일 예로 상기 기판 처리 설비(100)의 각 모듈에 설치된 센서로부터 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수신할 수 있다. 이 경우, 상기 공정 데이터 수집부(201)는 상기 기판 처리 설비(100)와 유선 또는 무선으로 연결되어 공정 데이터를 수신하는 통신 장치를 포함할 수 있다.
상기 저장부(202)는 데이터를 저장하는 저장 장치로서, 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)의 동작, 예컨대 공정 모니터링을 위한 공정 데이터의 처리, 공정 모니터링 화면의 구성 및 공정 모니터링 화면의 조작을 수행하기 위해 필요한 각종 데이터를 저장할 수 있다. 상기 저장부(203)는 HDD, SSD 등과 같이 대용량의 데이터를 저장할 수 있는 저장 장치를 포함하나, 이에 제한되지 않고 메모리, 캐쉬, 레지스터 등과 같이 소용량의 데이터를 저장할 수 있는 저장 장치를 포함할 수도 있다.
상기 처리부(203)는 데이터를 처리하는 프로세서로서, 공정 모니터링을 수행하기 위해 사전에 제작된 프로그램을 실행하여 그에 따라 모니터링 결과 데이터를 생성할 수 있다. 상기 처리부(203)는 CPU, 컨트롤러 등을 포함하여 소정의 알고리즘에 따라 공정 데이터를 처리하고 그에 따라 공정 모니터링 화면을 구성 및 조작함으로써 모니터링 결과 데이터를 생성할 수 있다.
상기 제어부(204)는 데이터를 처리하는 프로세서로서, 상기 처리부(203)에서 생성되는 모니터링 결과 데이터를 이용하여, 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 모니터링 화면에 출력할 수 있다. 상기 제어부(204)는 CPU, 컨트롤러 등을 포함할 수 있으며, 상기 처리부(203)와 하나의 장치로 구현될 수도 있다. 또한, 상기 제어부(204)는 공정 데이터를 기저장된 정상 상태 값과 비교하여 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단할 수 있으며, 기판 처리 설비에 이상이 있는 경우 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 공정 모니터링 화면을 출력할 수 있다. 이에 따라, 사용자는 기판 처리 설비에 이상이 발생한 위치 및 시점에 대하여 쉽게 파악할 수 있게 된다.
상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)에 의해 생성된 모니터링 결과 데이터는 출력 장치, 예컨대 도 1에 도시된 표시 장치(310)로 출력되어 사용자에게 제공될 수 있다. 상기 표시 장치(310)는 LCD, PDP 등과 같은 디스플레이를 포함하며, 상기 모니터링 결과 데이터를 화면에 시각적으로 표시함으로써 사용자에게 제공할 수 있다.
나아가, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 기판 처리 시스템(10)은 입력 장치(320)를 더 포함할 수 있으며, 상기 입력 장치(320)를 통해 사용자로부터 공정 모니터링을 위한 사용자 입력을 입력받을 수 있다. 사용자는 키보드, 마우스, 터치패드, 터치스크린 등과 같은 입력 장치(320)를 통해 명령이나 데이터를 입력함으로써 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 공정 데이터 수집부(201)는 기판 처리 공정의 진행에 따라 상기 기판 처리 설비(100)에 구비된 적어도 하나의 모듈에서 발생하는 이벤트를 나타내는 공정 데이터를 수집할 수 있다. 다시 말해, 상기 공정 데이터 수집부(201)에 의해 수집되는 공정 데이터는 상기 기판 처리 설비(100)에 구비된 모듈에서 발생하는 이벤트에 관한 정보이다.
일 실시예에 따르면, 상기 공정 데이터는 이벤트가 발생한 모듈을 식별하기 위한 모듈 식별 데이터, 및 이벤트를 식별하기 위한 이벤트 식별 데이터를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 모듈 식별 데이터는 기판 처리 공정 진행 중 소정의 이벤트가 발생한 모듈의 ID와 같은 식별자일 수 있다. 그리고 상기 이벤트 식별 데이터는 상기 모듈에서 발생할 수 있는 이벤트들 중에서 해당 모듈에서 현재 발생한 이벤트의 종류를 나타내는 ID와 같은 식별자일 수 있다.
이와 같이, 상기 공정 데이터는 이벤트가 발생한 모듈을 특정하는 모듈 식별 데이터와 그 이벤트를 특정하는 이벤트 식별 데이터를 포함함으로써 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)로 하여금 이벤트 발생 주체 및 그 이벤트의 종류를 파악하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이벤트 식별 데이터는 모듈이 기판과 관련하여 갖는 적어도 하나의 정상 상태에 대응하는 적어도 하나의 정상 상태 데이터를 포함할 수 있다. 다시 말해, 상기 정상 상태 데이터는 모듈이 정상적으로 동작할 경우 기판과 관련하여 갖게 되는 하나 또는 그 이상의 상태를 나타낸다.
예를 들어, 상기 정상 상태 데이터는, 모듈 내에 기판이 미반입되어 있으며 모듈이 비가동 중인 비가동 상태; 모듈 내에 기판이 미반입되어 있으며 모듈이 가동 대기 중인 가동 대기 상태; 모듈 내에 기판이 반입되어 있으며 모듈이 가동 중인 가동 상태; 모듈 내에 기판이 반입되어 있으며 모듈이 가동을 종료한 가동 종료 상태; 및 모듈에 대하여 기판이 반입 또는 반출 중인 기판 반송 상태 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
이와 같이, 상기 정상 상태 데이터는 모듈 내에 기판이 위치하여 있는지 여부와 모듈의 가동 여부 등을 고려하여 하나 또는 그 이상의 상태를 기술할 수 있다.
다른 실시예에 따르면, 상기 이벤트 식별 데이터는 모듈이 기 결정된 비정상 상태임을 알리는 알람 데이터를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 이벤트 식별 데이터는 모듈의 정상적인 가동으로 인한 상태를 기술하는 것이 아니라, 고장 등과 같은 비정상적인 상황의 발생을 알릴 수 있다.
상기 기판 처리 설비(100)가 알람 데이터를 보내는 조건은 사전에 결정되어 설비에 적용되어 있으며, 이 조건에 해당하는 경우 상기 기판 처리 설비(100)는 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)로 알람 데이터를 송신한다.
실시예에 따라, 상기 기판 처리 설비(100)로부터 제공되는 공정 데이터는 모듈 식별 데이터와 이벤트 식별 데이터 외에도, 이벤트가 발생한 시각에 관한 이벤트 발생 시각 및 이벤트가 종료한 시각에 관한 이벤트 종료 시각 데이터를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 이벤트가 발생한 모듈과 그 이벤트의 종류뿐만 아니라 이벤트의 시작 시각과 종료 시각도 알 수 있다.
그러나 이 실시예와 달리, 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 상기 기판 처리 설비(100)로부터 이벤트 발생 시각 데이터 및 이벤트 종료 시각 데이터를 수신하지 않아도, 상기 기판 처리 설비(100)로부터 실시간으로 공정 데이터를 수신하는 경우, 공정 데이터가 수신된 시각을 이벤트 발생 시각으로 결정할 수 있으며, 그 다음으로 공정 데이터가 수신된 시각을 이벤트 종료 시각으로 결정할 수도 있다.
상기 저장부(202)는 상기 기판 처리 설비(100)의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 저장할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 저장부(202)는 상기 기판 처리 설비(100)에 구비된 적어도 하나의 모듈에 대응하여 상기 공정 모니터링 화면에 포함되는 적어도 하나의 컴포넌트, 및 상기 공정 모니터링 화면 내 상기 컴포넌트의 배치에 관한 상기 화면 구성 데이터를 저장할 수 있다. 즉, 상기 화면 구성 데이터는 공정 모니터링 화면에 포함되는 컴포넌트와 그 배치에 관한 내용을 기술한다. 일 예로, 화면 구성 데이터는 공정 모니터링 화면의 일측에 컴포넌트가 배치되고, 공정 모니터링 화면의 타측에 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 공정 모니터링 차트 및 현재 시점의 공정 모니터링 차트가 배치되도록 구성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 모니터링 화면(20)의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 공정 모니터링 화면(20)은 적어도 하나의 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)를 포함하며, 상기 컴포넌트는 상기 기판 처리 설비(100)의 레이아웃에 대응하도록 배치될 수 있다.
도 2에 도시된 기판 처리 설비(100)의 레이아웃과 비교하여 보면, 상기 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)는 상기 기판 처리 설비(100)에 구비된 모듈(111, 112, 113, 114, 120, 130, 140, 150)에 대응한다.
구체적으로, 상기 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트(211, 212, 213, 214)는 상기 기판 처리 설비(100)의 포트 모듈(111, 112, 113, 114)에 대응하며, 컴포넌트(220), 컴포넌트(230), 컴포넌트(240) 및 컴포넌트(250)은 각각 인덱스 모듈(120), 도포 모듈(130), 노광 모듈(140) 및 현상 모듈(150)에 대응한다.
또한, 상기 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)는 상기 기판 처리 설비(100)에서 기판의 이송 경로를 따라 거쳐가는 모듈의 순서대로 상기 공정 모니터링 화면(20) 내에 배치될 수 있다. 도 4에서는 공정 모니터링 화면(20)에서 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)가 도 2에 도시된 기판 처리 설비(100)의 모듈 평면 배치와 동일하게 배치되었다.
그러나, 본 발명에서 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)의 배치는 구조적으로 반드시 기판 처리 설비(100)의 모듈 평면 배치와 동일할 필요는 없으며, 앞서 설명한 바와 같이 기판 처리 설비(100)에서 기판의 이송 경로를 따라 거쳐가는 모듈의 순서대로 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)가 공정 모니터링 화면(20)에 배치됨으로써 기판 처리 설비(100)의 각 모듈과 공정 모니터링 화면(20)의 컴포넌트가 서로 대응하기만 하면 된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 처리부(203)는 화면 구성 데이터를 기초로 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)가 배치된 공정 모니터링 화면(20)을 구성하고, 공정 데이터에 포함된 모듈(111, 112, 113, 114, 120, 130, 140, 150)의 이벤트를 나타내는 데이터에 따라 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경할 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 모듈의 이벤트를 나타내는 데이터를 기반으로 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경하는 과정을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
앞서, 도 4를 참조로 설명한 바와 같이, 상기 처리부(203)는 상기 저장부(202)에 저장된 화면 구성 데이터를 기반으로 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)가 배치된 공정 모니터링 화면(20)을 구성할 수 있다.
그 뒤, 상기 처리부(203)는 공정 데이터에 포함되어 있는 모듈(111, 112, 113, 114, 120, 130, 140, 150)의 이벤트를 나타내는 데이터에 따라 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경할 수 있다.
예를 들어, 도 2 및 도 5를 참조하면, 상기 기판 처리 설비(100)의 제 1 포트 모듈(111)에 기판이 반입되면, 상기 기판 처리 설비(100)는 상기 제 1 포트 모듈(111)에 기판이 반입되어 보관 중임을 알리는 메시지가 포함된 공정 데이터를 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)로 전송하고, 상기 처리부(203)는 상기 공정 데이터에 포함된 메시지에 따라 상기 제 1 포트 모듈(111)에 대응하는 PORT 1 컴포넌트(211)의 시각적 상태를 변경할 수 있다.
도 4의 공정 모니터링 화면(20)과 달리, 도 5의 공정 모니터링 화면(20)에서 상기 PORT 1 컴포넌트(211)는 좌상단 영역이 무색에서 소정의 색상으로 변경되었으며, 이와 같은 PORT 1 컴포넌트(211)의 일부 영역 색상 변경은 그 컴포넌트에 대응하는 제 1 포트 모듈(111)이 해당 색상에 대응하는 상태(즉, 기판 보관 상태)에 있음을 나타낸다.
이와 관련하여, 도 4를 참조하면, 상기 공정 모니터링 화면(20)은 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)에 부여될 수 있는 시각적 상태(예컨대, 컴포넌트 내 일부 영역의 색상) 및 그에 대응하는 모듈(111, 112, 113, 114, 120, 130, 140, 150)의 상태에 관한 상태 목록(261)을 제공할 수 있다.
도 5를 참조로 설명한 바와 같이, 상기 처리부(203)는 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)의 시각적 상태(예컨대, 컴포넌트의 좌상단 영역과 같은 일부 영역의 색상)를 공정 데이터에 포함된 메시지에 따라 상태 목록(261) 중 어느 하나로 변경함으로써, 상기 컴포넌트에 대응하는 기판 처리 설비(100) 내 모듈(111, 112, 113, 114, 120, 130, 140, 150)의 상태를 시각적으로 나타낼 수 있다.
이어서, 도 2 및 도 6을 참조하면, 상기 제 1 포트 모듈(111)에 반입된 기판이 인덱스 모듈(120)을 거쳐 도포 모듈(130)로 반송되는 경우, 상기 기판 처리 설비(100)는 상기 인덱스 모듈(120)이 가동 중이며 상기 도포 모듈(130)에 로봇이 기판을 반송 중임을 알리는 메시지가 포함된 공정 데이터를 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)로 전송하고, 상기 처리부(203)는 상기 공정 데이터에 포함된 메시지에 따라 상기 인덱스 모듈(120)에 대응하는 IDX 컴포넌트(220)와 상기 도포 모듈(130)에 대응하는 PRCOAT 컴포넌트(230)의 시각적 상태를 상기 상태 목록(261) 중 어느 하나로 변경할 수 있다.
이와 같이 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 상기 기판 처리 설비(100)에서 기판 처리 공정이 진행됨에 따라 상기 기판 처리 설비(100)로부터 공정 데이터를 수집하고, 수집된 공정 데이터에 따라 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)의 시각적 상태를 변경함으로써, 그 컴포넌트에 대응하는 상기 기판 처리 설비(100) 내 모듈(111, 112, 113, 114, 120, 130, 140, 150)의 상태를 시각적으로 나타낼 수 있다.
사용자는 상기 표시 장치(310)를 통해 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)가 제공하는 공정 모니터링 화면(20)을 확인함으로써 상기 기판 처리 설비(100)에서 실시되는 기판 처리 공정을 쉽게 모니터링할 수 있으며, 상기 기판 처리 설비(100)에서 기판이 이송되어 처리되는 과정을 한눈에 파악할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 처리부(203)는 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250) 중 동일한 레시피로 처리되는 기판 그룹에 속하는 다수의 기판들이 분포하는 컴포넌트를 다른 컴포넌트와 구별하여 표시하도록 처리할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 일 기판 그룹(Lot 1)에 속하는 기판들이 분포하는 컴포넌트(211, 240)를 다른 컴포넌트(212, 213, 214, 220, 230, 250)와 구별하여 표시한 모습을 예시적으로 나타내는 도면이다.
상기 기판 처리 설비(100)는 어느 하나의 레시피로 다수의 기판들을 처리할 수 있으며, 동일한 레시피로 처리되는 기판들은 하나의 기판 그룹(Lot 1 또는 Lot 2)을 형성한다. 또한, 상기 기판 처리 설비(100)는 포트 모듈(111, 112, 113, 114)에 서로 다른 레시피로 처리되는 다수의 기판 그룹들을 반입하여, 정해진 시퀀스에 따라 상기 다수의 기판 그룹들에 속하는 기판들을 이송하여 처리할 수 있다.
이와 관련하여, 도 4를 참조하면, 상기 공정 모니터링 화면(20)은 상기 기판 처리 설비(100)에 반입되어 기판 처리 공정이 진행 중인 기판 그룹(Lot 1, Lot 2) 및 그에 대응하는 표시자(예컨대, 색상)에 관한 기판 그룹 목록(262)을 더 제공할 수 있다.
이 실시예에서, 상기 처리부(203)는 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250) 중에서 동일한 레시피로 처리되는 기판 그룹에 속하는 다수의 기판들이 분포하는 컴포넌트를 그 외 다른 컴포넌트(예컨대, 다른 그룹에 속하는 기판들이 분포하는 컴포넌트, 기판이 미반입된 모듈의 컴포넌트 등)와 구별하여 표시하도록 처리할 수 있다.
예를 들어, 도 2 및 도 7을 참조하면, 상기 기판 처리 설비(100)의 제 1 포트 모듈(111)에 제 1 기판 그룹(Lot 1)의 기판들이 반입되어 있고, 제 2 포트 모듈(112)에 제 2 기판 그룹(Lot 2)의 기판들이 반입되어 있으며, 도포 모듈(130)에서 제 2 기판 그룹(Lot 2)의 기판에 감광 물질이 도포 중이며, 노광 모듈(140)에서 제 1 기판 그룹(Lot 1)의 기판이 노광 중인 경우, 상기 기판 처리 설비(100)는 상기 제 1 포트 모듈(111)에 제 1 기판 그룹(Lot 1)의 기판들이 보관 중이며, 상기 제 2 포트 모듈(112)에 제 2 기판 그룹(Lot 2)의 기판들이 보관 중이며, 상기 도포 모듈(130)에서 제 2 기판 그룹(Lot 2)의 기판이 처리 중이며, 상기 노광 모듈(140)에서 제 1 기판 그룹(Lot 1)의 기판이 처리 중임을 알리는 메시지가 포함된 공정 데이터를 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)로 전송할 수 있다.
그에 따라, 상기 처리부(203)는 상기 공정 데이터에 포함된 메시지에 따라 상기 제 1 및 제 2 포트 모듈(111, 112)에 각각 대응하는 PORT 1 및 PORT 2 컴포넌트(211, 212)의 시각적 상태(예컨대, 좌상단 영역의 색상)를 변경하고, 상기 도포 모듈(130)에 대응하는 PRCOAT 컴포넌트(230)와 상기 노광 모듈(140)에 대응하는 EXP 컴포넌트(240)의 시각적 상태(예컨대, 좌상단 영역의 색상)를 변경하되, 각 컴포넌트의 또 다른 영역(예컨대, 우측 영역)의 시각적 상태를 기판 그룹(Lot 1 또는 Lot 2)에 따라 구분함으로써, 각 기판 그룹에 속하는 기판들이 분포하는 컴포넌트를 서로 구별하여 표시할 수 있다.
즉, 도 7에서 상기 공정 모니터링 화면(20)은 기판이 배치되어 있는 모듈(111, 112, 130, 140)에 대응하는 컴포넌트(211, 212, 230, 240)의 좌상단 영역의 색상을 상기 상태 목록(261) 중 어느 한 색상으로 표시하는 것뿐만 아니라, 상기 컴포넌트(211, 212, 230, 240)의 우측 영역의 색상을 상기 기판 그룹 목록(262) 중 어느 한 색상으로 표시함으로써, 현재 기판 처리 설비(100) 내 기판이 배치되어 가동 중인 모듈에 대한 정보 외에 해당 모듈에 배치된 기판이 속하는 기판 그룹에 대한 정보도 함께 제공할 수 있다.
그 결과, 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 기판 처리 설비(100)에 서로 다른 레시피로 처리되는 기판 그룹들의 기판들이 반입되어 함께 처리되더라도, 각 모듈에 배치되어 처리되는 기판의 기판 그룹 정보를 시각적으로 표시함으로써 사용자로 하여금 상기 기판 처리 설비(100) 내 각기 다른 기판 그룹(Lot 1, Lot 2)에 속하는 기판의 위치를 한눈에 파악할 수 있도록 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 처리부(203)는 공정 모니터링 화면(20) 내 컴포넌트가 선택되는 경우, 상기 선택된 컴포넌트에 대응하는 모듈의 세부 정보를 상기 공정 모니터링 화면(20)에 표시하도록 처리할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 컴포넌트(240) 선택 시 그에 대응하는 모듈(140)에 관한 세부 정보를 표시한 모습을 예시적으로 나타내는 도면이다.
이 실시예에 따르면, 사용자는 공정 모니터링 화면(20)에 표시된 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250) 중에서 어느 하나를 선택하여 활성화시킬 수 있다.
예를 들어, 도 8을 참조하면, 사용자가 상기 입력 장치(320)를 통해 공정 모니터링 화면(20)에서 EXP 컴포넌트(240)를 선택한 경우, 상기 공정 모니터링 화면(20)에서 상기 EXP 컴포넌트(240)가 활성화되면서 해당 컴포넌트에 대응하는 모듈, 즉 노광 모듈(140)에 관한 세부 정보(263)가 표시될 수 있다.
이 실시예에 따르면, 상기 세부 정보(263)는 선택된 컴포넌트(240)에 대응하는 기판 처리 설비(100) 내 해당 모듈(140)의 상태(도 8에서 STATUS), 해당 모듈(140)에 위치하는 기판이 속하는 기판 그룹의 식별자(도 8에서 LOT ID), 상기 기판 그룹에 적용되는 레시피의 식별자(도 8에서 RCP ID), 해당 모듈(140)이 상기 기판에 대하여 상기 상태를 갖기 시작한 상태 시작 시각(도 8에서 START), 상기 레시피에 따라 상기 기판에 대한 상기 상태가 종료하기로 예정된 상태 종료 예정 시각(도 8에서 END), 및 상기 상태 시작 시각으로부터 경과한 경과 시간(도 8에서 Elapse) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 그러나 상기 세부 정보(263)로 제공되는 모듈에 관한 정보는 이에 제한되지 않는다.
나아가, 상기 처리부(203)는 해당 모듈(140)에 관한 세부 정보(263)로 상기 경과 시간(Elapse)에 따라 시각적 상태가 변화하는 경과 시간 지시자(2631)를 공정 모니터링 화면(20)에 더 표시하도록 처리할 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 경과 시간 지시자(2631)는 상기 경과 시간(Elapse)이 증가함에 따라 검정색 삼각형의 개수가 증가함으로써 경과 시간의 흐름을 시각적으로 나타낼 수 있으나, 상기 경과 시간 지시자(2631)의 구현 방법은 이에 제한되지 않는다.
이와 같이 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 기판 처리 설비(100)에서 실시되는 기판 처리 공정을 설비의 레이아웃에 대응하는 공정 모니터링 화면(20)을 통해 직관적이며 알기 쉬운 GUI(Graphic User Interface)로 사용자에게 제공할 수 있다. 그 결과, 사용자는 기판 처리 설비(100)에서 실시되는 기판 처리 공정을 효율적으로 모니터링할 수 있으며, 설비 내에서 기판이 이송되어 처리되는 과정을 쉽게 파악할 수 있다.
나아가, 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 처리부(203)는 기판 처리 공정이 진행됨에 따라 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)의 시각적 상태가 변경되는 일련의 공정 모니터링 화면(20)을 재생 가능한 공정 모니터링 파일로 생성할 수 있다.
예를 들어, 상기 처리부(203)는 기판 처리 공정이 시작되는 시작 시각부터 종료되는 종료 시각에 걸쳐 기 설정된 간격마다 상기 공정 모니터링 화면(20)을 캡쳐하여 다수의 프레임들을 구성할 수 있으며, 이 프레임들을 시간 순서에 따라 배열하여 하나의 동영상 파일을 생성할 수 있다.
이와 같은 공정 모니터링 파일은 상기 저장부(202)에 저장될 수 있으며, 사용자의 요청에 따라 로딩되어 재생됨으로써 상기 표시 장치(310)에 표시될 수 있다.
예를 들어, 도 4를 참조하면, 상기 공정 모니터링 화면(20)은 하단에 공정 모니터링 파일의 재생과 관련한 영역(264)을 제공할 수 있으며, 상기 영역(264)에는 재생 버튼(2641), 뒤로 감기 버튼(2642), 빨리 감기 버튼(2643), 트랙 바(2644) 및 재생 위치 지시자(2645)가 표시될 수 있다.
사용자가 상기 입력 장치(320)를 통해 상기 영역(264)에서 재생 버튼(2641)을 선택한 경우, 상기 처리부(203)는 상기 공정 모니터링 파일을 재생하여 상기 표시 장치(310)에 출력할 수 있으며, 뒤로 감기 버튼(2642)을 선택한 경우, 상기 처리부(203)는 상기 공정 모니터링 파일의 재생 속도를 감소시키거나(예컨대, 0.5 배속) 역방향으로 재생시킬 수 있으며, 빨리 감기 버튼(2643)을 선택한 경우, 상기 처리부는 상기 공정 모니터링 파일의 재생 속도를 증가시킬 수 있다(예컨대, 2 배속). 또한, 상기 트랙 바(2644)에서 상기 재생 위치 지시자(2645)는 상기 공정 모니터링 파일의 전체 재생 시간 중에서 현재 표시 장치(310)에 출력되고 있는 부분의 재생 시각 또는 위치를 나타낼 수 있다.
이와 같이, 상기 기판 처리 공정 모니터링 장치(200)는 기판 처리 공정의 진행에 따라 컴포넌트(211, 212, 213, 214, 220, 230, 240, 250)의 시각적 상태가 변경되는 일련의 공정 모니터링 화면(20)을 재생 가능한 공정 모니터링 파일로 생성하여 공정 모니터링 결과로 사용자에게 제공함으로써, 사용자는 기판 처리 설비(100)에서 실시되는 기판 처리 공정의 경과를 용이하게 파악할 수 있게 된다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 공정 모니터링 화면(20)은 도 9와 같이 제공될 수 있다. 일 예로, 공정 모니터링 화면(20)은 도 9와 같이, 좌측에 공정이 진행되는 기판 처리 설비의 위치에 대응되도록 컴포넌트(311, 312, 313, 320, 330, 340, 350)가 배치되고, 우측에 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 공정 모니터링 차트(361) 및 현재 시점의 공정 모니터링 차트(363)가 각각 배치되도록 구성될 수 있다. 또한, 공정 모니터링 화면(20)의 우측에는 사용자가 원하는 특정 시점의 공정 모니터링 차트(362)가 배치될 수 있다. 이에 따라, 사용자는 기판 처리 설비에 문제가 발생한 경우, 문제가 발생한 기판 처리 설비의 위치 및 시점을 용이하게 파악할 수 있으며, 설비에 문제가 발생한 시점의 공정 데이터를 다른 시점의 공정 데이터와 효율적으로 비교할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법을 나타내는 흐름도이다.
우선, 기판 처리 설비로부터 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집한다(S1010). 여기서, 공정 데이터는 이벤트가 발생한 모듈을 식별하기 위한 모듈 식별 데이터, 이벤트를 식별하기 위한 이벤트 식별 데이터, 이벤트가 발생한 시각에 관한 이벤트 발생 시각 데이터 및 이벤트가 종료한 시각에 관한 이벤트 종료 시각 데이터를 포함할 수 있다.
이어서, 기판 처리 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 불러온다(S1020). 이 경우, 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에 대응하여 공정 모니터링 화면에 포함되는 적어도 하나의 컴포넌트, 및 고정 모니터링 화면 내 컴포넌트의 배치에 관한 화면 구성 데이터를 불러올 수 있다.
이어서, 화면 구성 데이터를 기초로 공정 데이터에 따라 공정 모니터링 화면을 조작한다(S1030). 구체적으로, 화면 구성 데이터를 기초로 컴포넌트가 배치된 공정 모니터링 화면을 구성하고, 공정 데이터에 포함된 모듈의 이벤트를 나타내는 데이터에 따라 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경할 수 있다.
이어서, 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 공정 모니터링 화면에 출력한다(S1040). 구체적으로, 공정 데이터를 기저장된 정상 상태 값과 비교하여 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단하고, 기판 처리 설비에 이상이 있는 경우 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 공정 모니터링 화면을 출력할 수 있다. 이에 따라, 사용자는 용이하게 문제가 발생한 기판 처리 설비의 위치 및 시점을 파악할 수 있다.
상기 기판 처리 공정 모니터링 방법은 컴퓨터에서 실행되기 위한 프로그램으로 제작되어 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체에 저장될 수 있다. 상기 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 저장장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광 데이터 저장장치 등이 있다. 또한, 상기 기판 처리 공정 모니터링 방법은 컴퓨터와 결합되어 실행시키기 위하여 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램으로 구현될 수 있다.
이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.
10: 기판 처리 시스템
20: 공정 모니터링 화면
30: 공정 모니터링 차트
100: 기판 처리 설비
200: 기판 처리 공정 모니터링 장치
201: 공정 데이터 수집부
202: 저장부
203: 처리부
204: 제어부
310: 표시 장치
320: 입력 장치

Claims (20)

  1. 기판 처리 설비로부터 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집하는 공정 데이터 수집부;
    상기 기판 처리 설비의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 저장하는 저장부;
    상기 화면 구성 데이터를 불러와 상기 공정 데이터에 따라 상기 공정 모니터링 화면을 조작하는 처리부; 및
    상기 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 상기 공정 모니터링 화면에 출력하는 제어부;를 포함하되,
    상기 제어부는,
    상기 공정 데이터를 기저장된 정상 상태 값과 비교하여 상기 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단하고, 상기 기판 처리 설비에 이상이 있는 경우 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 화면을 출력하고,
    상기 공정 데이터는, 상기 기판 처리 공정의 진행에 따라 상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에서 발생하는 이벤트에 관한 데이터이고,
    상기 저장부는,
    상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에 대응하여 상기 공정 모니터링 화면에 포함되는 적어도 하나의 컴포넌트, 및 상기 공정 모니터링 화면 내 상기 컴포넌트의 배치에 관한 상기 화면 구성 데이터를 저장하고,
    상기 처리부는,
    상기 기판 처리 공정이 진행됨에 따라 상기 기판 처리 설비에 의해 처리되는 기판의 상태를 시간의 흐름에 따라 표시한 공정 모니터링 차트를 생성하며,
    상기 화면 구성 데이터는,
    상기 공정 모니터링 화면의 일측에 상기 컴포넌트가 배치되고, 상기 공정 모니터링 화면의 타측에 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 차트 및 현재 시점의 상기 공정 모니터링 차트가 배치되도록 구성되는 기판 처리 공정 모니터링 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 공정 데이터는,
    상기 이벤트가 발생한 모듈을 식별하기 위한 모듈 식별 데이터;
    상기 이벤트를 식별하기 위한 이벤트 식별 데이터;
    상기 이벤트가 발생한 시각에 관한 이벤트 발생 시각 데이터; 및
    상기 이벤트가 종료한 시각에 관한 이벤트 종료 시각 데이터;를 포함하는 기판 처리 공정 모니터링 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 화면 구성 데이터는,
    상기 컴포넌트가 상기 기판 처리 설비에서 기판의 이송 경로를 따라 거쳐가는 상기 모듈의 순서대로 상기 공정 모니터링 화면 내에 배치되도록 구성되는 기판 처리 공정 모니터링 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 기판 처리 공정 모니터링 장치가 기판 처리 설비에서 진행되는 기판 처리 공정을 모니터링하는 방법에 있어서,
    상기 기판 처리 설비로부터 상기 기판 처리 공정에 관한 공정 데이터를 수집하는 단계;
    상기 기판 처리 설비의 레이아웃에 대응하여 구성된 공정 모니터링 화면에 관한 화면 구성 데이터를 불러오는 단계;
    상기 기판 처리 공정이 진행됨에 따라 상기 기판 처리 설비에 의해 처리되는 적어도 하나의 기판 각각의 상태를 시간의 흐름에 따라 표시한 공정 모니터링 차트를 생성하는 단계;
    상기 화면 구성 데이터를 기초로 상기 공정 데이터에 따라 상기 공정 모니터링 화면을 조작하는 단계; 및
    상기 공정 데이터를 시점별로 분류하고, 특정 시점의 공정 데이터 값을 상기 공정 모니터링 화면에 출력하는 단계;를 포함하되,
    상기 특정 시점의 공정 데이터 값을 상기 공정 모니터링 화면에 출력하는 단계는,
    상기 공정 데이터를 기저장된 정상 상태 값과 비교하여 상기 기판 처리 설비의 이상 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 기판 처리 설비에 이상이 있는 경우 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 화면을 출력하는 단계;를 포함하고,
    상기 공정 데이터는, 상기 기판 처리 공정의 진행에 따라 상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에서 발생하는 이벤트에 관한 데이터이고,
    상기 화면 구성 데이터를 불러오는 단계는,
    상기 기판 처리 설비에 구비된 적어도 하나의 모듈에 대응하여 상기 공정 모니터링 화면에 포함되는 적어도 하나의 컴포넌트, 및 상기 공정 모니터링 화면 내 상기 컴포넌트의 배치에 관한 상기 화면 구성 데이터를 불러오는 단계를 포함하고,
    상기 화면 구성 데이터는,
    상기 공정 모니터링 화면의 일측에 상기 컴포넌트가 배치되고, 상기 공정 모니터링 화면의 타측에 상기 기판 처리 설비에 이상이 발생한 시점의 상기 공정 모니터링 차트 및 현재 시점의 상기 공정 모니터링 차트가 배치되도록 구성되는 기판 처리 공정 모니터링 방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제9항에 있어서,
    상기 공정 데이터는,
    상기 이벤트가 발생한 모듈을 식별하기 위한 모듈 식별 데이터;
    상기 이벤트를 식별하기 위한 이벤트 식별 데이터;
    상기 이벤트가 발생한 시각에 관한 이벤트 발생 시각 데이터; 및
    상기 이벤트가 종료한 시각에 관한 이벤트 종료 시각 데이터;를 포함하는 기판 처리 공정 모니터링 방법.
  13. 삭제
  14. 제9항에 있어서,
    상기 화면 구성 데이터는,
    상기 컴포넌트가 상기 기판 처리 설비에서 기판의 이송 경로를 따라 거쳐가는 상기 모듈의 순서대로 상기 공정 모니터링 화면 내에 배치되도록 구성되는 기판 처리 공정 모니터링 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 공정 모니터링 화면을 조작하는 단계는,
    상기 화면 구성 데이터를 기초로 상기 컴포넌트가 배치된 상기 공정 모니터링 화면을 구성하는 단계; 및
    상기 공정 데이터에 포함된 상기 모듈의 이벤트를 나타내는 데이터에 따라 해당 모듈에 대응하는 컴포넌트의 시각적 상태를 변경하는 단계를 포함하는 기판 처리 공정 모니터링 방법.
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 제15항에 있어서,
    상기 공정 모니터링 차트를 생성하는 단계는,
    상기 공정 모니터링 차트의 일 축을 따라 상기 기판 처리 공정의 진행에 따른 시간을 표시하고, 상기 공정 모니터링 차트의 다른 축을 따라 각 기판의 상태를 표시하여 상기 공정 모니터링 차트를 생성하는 단계를 포함하는 기판 처리 공정 모니터링 방법.
  19. 제9항, 제12항, 제14항, 제15항 및 제18항 중 어느 한 항에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법을 실행하기 위한 프로그램이 저장되는 컴퓨터에서 판독 가능한 기록 매체.
  20. 제9항, 제12항, 제14항, 제15항 및 제18항 중 어느 한 항에 따른 기판 처리 공정 모니터링 방법을 실행하기 위하여 기록 매체에 저장되는 컴퓨터 프로그램.

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