JP2006146915A - 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 - Google Patents
遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006146915A JP2006146915A JP2005329162A JP2005329162A JP2006146915A JP 2006146915 A JP2006146915 A JP 2006146915A JP 2005329162 A JP2005329162 A JP 2005329162A JP 2005329162 A JP2005329162 A JP 2005329162A JP 2006146915 A JP2006146915 A JP 2006146915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- industrial equipment
- trouble
- maintenance
- vendor
- industrial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/80—Management or planning
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
【解決手段】 各工場102〜104に、夫々産業用機器109の監視用のホストコンピュータ107を備え、このホストコンピュータ107をベンダ101側の管理用のホストコンピュータ108とインターネット105を介して接続する。工場側のホストコンピュータ107は、産業用機器106のトラブルの発生を検知し、その症状を示すステータス情報をベンダ側に通知し、これに応答してベンダ側のホストコンピュータ108は、その症状に対応した対処を示す応答情報を工場側に通知する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の好適な実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。101は、産業用機器を提供するベンダ(装置供給メーカ)の事業所である。この実施の形態は、産業用機器として、半導体製造工場で使用する半導体製造装置、例えば、前工程用機器(露光装置、塗布現像装置、熱処理装置等)や後工程用機器(組み立て装置、検査装置等)を想定している。
図7は本発明の第2の実施形態の産業用機器保守システムの概念図である。先の実施形態では、それぞれが産業用機器を備えた複数のユーザー工場と、該産業用機器のベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、該通信手段を介して各工場の産業用機器の保守情報を通信するものであったが、本実施形態では、更に加えて複数のベンダーの産業用機器を備えた工場と、該複数の産業用機器のそれぞれのベンダーの管理システムとをインターネットを利用した通信手段で接続して、該通信手段を介して各産業用機器の保守情報を通信するものである。
次に上記説明した遠隔保守システムを利用した設備における半導体デバイスの生産方法の例を説明する。
102〜104 ユーザーの生産工場
105 インターネット
106 産業用機器
107 各工場(ユーザー)のホストコンピュータ
108 ベンダーのホストコンピュータ
109 LAN
110 ベンダーの各部門のコンピュータ
200 インターネット
201 ユーザーの生産工場
202 露光装置
203 塗布現像装置
204 熱処理装置
205 生産管理用ホストコンピュータ
206 LAN
210 露光装置メーカー事業所
211 ホスト管理システム
220 塗布現像装置メーカーの事業所
221 ホスト管理システム
230 熱処理装置メーカーの事業所
231 ホスト管理システム
Claims (13)
- 遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保守システムを構成するために、産業用機器側に設けられる監視装置であって、
1又は複数の産業用機器のトラブルの発生を検知し、そのトラブルの症状を示すステータス情報を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得したステータス情報を、インターネットを介して、産業用機器の保守を集中管理する管理装置に通知すると共に、その通知に応答して前記管理装置からインターネットを介して送られてくる応答情報を受信する通信手段と、
を備えることを特徴とする遠隔保守システムの監視装置。 - 前記通信手段により前記管理装置から受信した応答情報に基づいて、産業用機器を保守する保守手段を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の監視装置。
- 前記産業用機器は半導体製造装置であることを特徴とする請求項1に記載の監視装置。
- 遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保守システムを構成するために、ベンダー側に設けられる管理装置であって、
1又は複数の産業用機器の稼動状態を監視する監視装置が設置された1又は複数の工場の各監視手段とインターネットを介して通信する通信手段と、
前記通信手段により前記監視装置から受信した産業用機器のトラブルの症状に関するステータス情報に基づいて、そのトラブルに対する対処法を決定し、その決定した対処法に基づく応答情報を前記通信手段により該当する監視装置に通知する対応手段と、
を備えることを特徴とする遠隔保守システムの管理装置。 - 産業用機器の保守に関する情報を登録するデータベースを更に備え、該データベースには、産業用機器を識別する情報と、その産業用機器で発生し得るトラブルの症状と、そのトラブルに対する対処法とが関連付けて登録されており、前記対応手段は、該データベースを参照して、該当するトラブルに対する対処法を決定することを特徴とする請求項4に記載の管理装置。
- 前記監視手段との間で産業用機器の保守に関する情報をやり取りする都度、その内容に基づいて前記データベースを更新する自動更新手段を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の管理装置。
- オペレータからの入力情報に基づいて前記データベースを更新する手動更新手段を更に備えることを特徴とする請求項5に記載の管理装置。
- 前記データベースに対してアクセスすることを、産業用機器のユーザに許可するアクセス許可手段を更に有することを特徴とする請求項4に記載の管理装置。
- 産業用機器のユーザ以外の者に対して、前記データベースへのアクセスを禁止する通信セキュリティ手段を更に有することを特徴とする請求項8に記載の管理装置。
- 前記産業用機器は半導体製造装置であることを特徴とする請求項4に記載の管理装置。
- 遠隔地の産業用機器を保守する遠隔保守方法であって、
第1の産業用機器を供給する第1のベンダーと、第2の産業用機器を供給する第2のベンダーと、第1及び第2の産業用機器が設置された第1の工場と、第1及び第2の産業用機器が設置された第2の工場の、それぞれの間でインターネットを介して保守情報を通信し、
第1のベンダーは第1及び第2の工場にそれぞれ設置された第1の産業用機器の保守を集中管理し、
第2のベンダーは第1及び第2の工場にそれぞれ設置された第2の産業用機器の保守を集中管理する
ことを特徴とする遠隔保守方法。 - 第1及び第2の工場は同一ユーザー又は異なるユーザーの工場であることを特徴とする請求項11に記載の遠隔保守方法。
- 前記産業用機器は半導体製造装置であることを特徴とする請求項12に記載の遠隔保守方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005329162A JP2006146915A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005329162A JP2006146915A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16723397A Division JP3919294B2 (ja) | 1996-07-31 | 1997-06-24 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007166353A Division JP4378397B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | 産業用機器の監視装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006146915A true JP2006146915A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=36626452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005329162A Pending JP2006146915A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006146915A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048685A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Toyota Motor East Japan Inc | 自動生産システム |
US11327462B2 (en) | 2018-10-22 | 2022-05-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Maintenance support system, numerical controller, and control method of maintenance support system |
-
2005
- 2005-11-14 JP JP2005329162A patent/JP2006146915A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014048685A (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-17 | Toyota Motor East Japan Inc | 自動生産システム |
US11327462B2 (en) | 2018-10-22 | 2022-05-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Maintenance support system, numerical controller, and control method of maintenance support system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3919294B2 (ja) | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 | |
KR100294714B1 (ko) | 원격보수시스템,이를구성하는감시장치및원격보수방법 | |
US20070112452A1 (en) | Remote maintenance method, industrial device, and semiconductor device | |
JPH1097966A (ja) | 産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法 | |
JP2005339571A (ja) | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法、ならびにデバイス生産方法 | |
JP4378397B2 (ja) | 産業用機器の監視装置 | |
JP2006146915A (ja) | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 | |
KR100439841B1 (ko) | 반도체 제조설비의 공정불량 방지방법 | |
JP2003029819A (ja) | 保守装置、メンテナンスシステムおよびメンテナンス方法 | |
JP2003032764A (ja) | 保守装置、メンテナンスシステムおよびメンテナンス方法 | |
JP4594355B2 (ja) | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 | |
JP2002099323A (ja) | 半導体製造装置のリモート診断システム及びリモート診断方法 | |
JP3880355B2 (ja) | 走査型露光装置 | |
JP4756749B2 (ja) | デバイス製造装置およびデバイス製造方法 | |
JP2001284231A (ja) | 露光装置及びエラー発生時のパターンで処理を振り分ける方法 | |
JP2001307971A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2001291650A (ja) | 半導体製造装置及びその保守方法並びに同装置を用いた半導体デバイス製造方法及び半導体製造工場 | |
JP4497674B2 (ja) | 露光装置およびデバイス製造方法 | |
JP2003068614A (ja) | 露光装置 | |
JP2003100618A (ja) | 露光装置 | |
JP2003109889A (ja) | 露光装置 | |
JPH11307414A (ja) | 半導体露光装置の遠隔操作装置 | |
JP2003007609A (ja) | 原版ホルダ、原版搬送装置、露光方法及び露光装置 | |
JP2003133208A (ja) | 複数ユニットを有する装置、露光装置、半導体製造装置およびデバイス製造方法 | |
JP2003037046A (ja) | 露光装置および露光方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070625 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070829 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20071004 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20071019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091118 |