JP4378397B2 - 産業用機器の監視装置 - Google Patents
産業用機器の監視装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4378397B2 JP4378397B2 JP2007166353A JP2007166353A JP4378397B2 JP 4378397 B2 JP4378397 B2 JP 4378397B2 JP 2007166353 A JP2007166353 A JP 2007166353A JP 2007166353 A JP2007166353 A JP 2007166353A JP 4378397 B2 JP4378397 B2 JP 4378397B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trouble
- industrial
- vendor
- information
- maintenance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
該LANを介して該産業用機器のトラブルの内容を示すステータス情報を取得し、
該ステータス情報を、インターネットを介して該産業用機器の保守を集中管理する管理装置に送信し、
該送信に応答して該管理装置からインターネットを介して送信された応答情報を受信し、
該応答情報に基づき、該産業用機器のソフトウェアを修正し、
該ステータス情報は、該トラブルの内容が予め登録されていない場合、そのことを示す情報を含み、
該トラブルの内容と該ステータス情報との対応関係がインターネットを介して該管理装置から更新されるようにする、
ことを特徴とする監視装置である。
図1は、本発明の好適な実施の形態に係る産業用機器の遠隔保守システムの概要を示す図である。101は、産業用機器を提供するベンダ(装置供給メーカ)の事業所である。この実施の形態は、産業用機器として、半導体製造工場で使用する半導体製造装置、例えば、前工程用機器(露光装置、塗布現像装置、熱処理装置等)や後工程用機器(組み立て装置、検査装置等)を想定している。
図7は本発明の第2の実施形態の産業用機器保守システムの概念図である。先の実施形態では、それぞれが産業用機器を備えた複数のユーザー工場と、該産業用機器のベンダーの管理システムとを通信手段で接続して、該通信手段を介して各工場の産業用機器の保守情報を通信するものであったが、本実施形態では、更に加えて複数のベンダーの産業用機器を備えた工場と、該複数の産業用機器のそれぞれのベンダーの管理システムとをインターネットを利用した通信手段で接続して、該通信手段を介して各産業用機器の保守情報を通信するものである。
次に上記説明した遠隔保守システムを利用した設備における半導体デバイスの生産方法の例を説明する。
102〜104 ユーザーの生産工場
105 インターネット
106 産業用機器
107 各工場(ユーザー)のホストコンピュータ
108 ベンダーのホストコンピュータ
109 LAN
110 ベンダーの各部門のコンピュータ
200 インターネット
201 ユーザーの生産工場
202 露光装置
203 塗布現像装置
204 熱処理装置
205 生産管理用ホストコンピュータ
206 LAN
210 露光装置メーカー事業所
211 ホスト管理システム
220 塗布現像装置メーカーの事業所
221 ホスト管理システム
230 熱処理装置メーカーの事業所
231 ホスト管理システム
Claims (5)
- LANを介して産業用機器に接続された、該産業用機器を監視する監視装置であって、
該LANを介して該産業用機器のトラブルの内容を示すステータス情報を取得し、
該ステータス情報を、インターネットを介して該産業用機器の保守を集中管理する管理装置に送信し、
該送信に応答して該管理装置からインターネットを介して送信された応答情報を受信し、
該応答情報に基づき、該産業用機器のソフトウェアを修正し、
該ステータス情報は、該トラブルの内容が予め登録されていない場合、そのことを示す情報を含み、
該トラブルの内容と該ステータス情報との対応関係がインターネットを介して該管理装置から更新されるようにする、
ことを特徴とする監視装置。 - 該応答情報に基づき、該産業用機器のメモリ内のパラメータを修正する、ことを特徴とする請求項1に記載の監視装置。
- 該応答情報に基づき、該産業用機器のメモリ内のプログラムを修正する、ことを特徴とする請求項1に記載の監視装置。
- 該送信および該受信は、暗号・復号アルゴリズムにしたがって行う、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の監視装置。
- 該産業用機器は、半導体製造装置である、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の監視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007166353A JP4378397B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | 産業用機器の監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007166353A JP4378397B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | 産業用機器の監視装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005329162A Division JP2006146915A (ja) | 2005-11-14 | 2005-11-14 | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007272926A JP2007272926A (ja) | 2007-10-18 |
JP4378397B2 true JP4378397B2 (ja) | 2009-12-02 |
Family
ID=38675599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007166353A Expired - Fee Related JP4378397B2 (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | 産業用機器の監視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4378397B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5794416B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2015-10-14 | 株式会社Ihi | 遠隔保守システム及び遠隔保守方法 |
JP7291874B2 (ja) * | 2019-07-17 | 2023-06-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | リモート操作システム |
-
2007
- 2007-06-25 JP JP2007166353A patent/JP4378397B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007272926A (ja) | 2007-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3919294B2 (ja) | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 | |
KR100294714B1 (ko) | 원격보수시스템,이를구성하는감시장치및원격보수방법 | |
JPH1097966A (ja) | 産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法 | |
US20070112452A1 (en) | Remote maintenance method, industrial device, and semiconductor device | |
JP2005339571A (ja) | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法、ならびにデバイス生産方法 | |
JP4378397B2 (ja) | 産業用機器の監視装置 | |
JPWO2008096792A1 (ja) | サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム | |
JP2006146915A (ja) | 遠隔保守のための監視装置および管理装置、ならびに遠隔保守方法 | |
JP4227324B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2003029819A (ja) | 保守装置、メンテナンスシステムおよびメンテナンス方法 | |
JP4594355B2 (ja) | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 | |
JP2003032764A (ja) | 保守装置、メンテナンスシステムおよびメンテナンス方法 | |
JP5623449B2 (ja) | 報告書作成装置、報告書作成プログラムおよび報告書作成方法 | |
JP2002099323A (ja) | 半導体製造装置のリモート診断システム及びリモート診断方法 | |
JP3880355B2 (ja) | 走査型露光装置 | |
JP2001284231A (ja) | 露光装置及びエラー発生時のパターンで処理を振り分ける方法 | |
JP2001291650A (ja) | 半導体製造装置及びその保守方法並びに同装置を用いた半導体デバイス製造方法及び半導体製造工場 | |
JP2001307971A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2003068614A (ja) | 露光装置 | |
JP2003100618A (ja) | 露光装置 | |
JP2001307998A (ja) | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 | |
KR100744660B1 (ko) | 사진 공정 관리 시스템 및 방법 | |
JP2003133208A (ja) | 複数ユニットを有する装置、露光装置、半導体製造装置およびデバイス製造方法 | |
JPH11307414A (ja) | 半導体露光装置の遠隔操作装置 | |
JP2001267228A (ja) | 半導体製造装置用エラー管理システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090609 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090908 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120918 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120918 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130918 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |