JP2003100577A - 基板処理システム、基板処理装置管理方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良
く提供することができる技術を提供する。 【解決手段】 ユーザの基板処理工場４に配置された基
板処理装置１の装置構成情報が情報蓄積サーバ２に自動
的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポ
ート情報が提供されたときには、サポート情報に記述さ
れた構成要素および上記装置構成情報から基板処理装置
１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サ
ポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理
工場４に送信される。従って、サポートの担当者は、ユ
ーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一
吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識す
ることなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３
に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを
迅速に効率良く提供することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所
定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとをネット
ワーク経由にて結合したネットワーク通信技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイなどの製品
は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エ
ッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処
理を施すことにより製造されている。従来より、これら
の諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニッ
ト等を組み込んだ基板処理装置において行われている。
基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニッ
トに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処
理が行われるのである。

【０００３】このような基板処理装置を製造する装置ベ
ンダーは、適宜サポート情報をユーザに提供している。
サポート情報とは、装置ベンダーがアフターサービスと
してユーザに提供する装置のサポートに関する情報であ
り、装置のトラブル情報、ソフトウェアバージョンアッ
プ、改良設計の案内、サービスパーツの供給中止、代替
品の通知、使用上の注意、装置の生産中止の案内等であ
る。

【０００４】通常、装置ベンダーが製造する装置の種類
は多岐に渡っているため、全体としてのサポート情報も
非常に多数になる。一方、ユーザの工場には特定の数種
類の装置のみが設置されている場合が多い。このため従
来は、装置ベンダーのサービスマンが多数のサポート情
報を吟味し、ユーザごとに使用している装置に必要なサ
ポート情報のみ選別してそれを文書にて渡していた。ユ
ーザはサポート情報を受け取ることによって、必要なサ
ポートを受けることができ、適宜対策を講ずることがで
きる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、装置ベ
ンダー側で発生するサポート情報は膨大な量であり、こ
れを逐一吟味して、ユーザの使用している装置ごとに選
別する作業は非常に手間のかかる作業であった。その結
果、ユーザに適切なサポート情報を提供する上での大き
な障害が生じていた。

【０００６】このような問題を解決するために、ユーザ
ごとに、あるいはユーザの工場ごとに使用している装置
のデータベースを構築し、そのデータベースを使用して
サポート情報のうちから必要なものだけを抽出する方法
が考えられる。しかし、半導体製造装置の分野において
は、ユーザごとに装置が異なるだけでなく、同種の装置
であっても装置構成が異なっていたりするのが一般的で
あるため、装置ごとに装置構成等のデータをインプット
し、さらに適宜それを更新していくこと自体に多大な工
数を要することとなっていた。

【０００７】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く
提供することができる技術を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板処理工場に配置された基板
処理装置と、前記基板処理工場の外部に配置されて前記
基板処理装置を管理するコンピュータとがネットワーク
にて結合された基板処理システムにおいて、前記基板処
理装置の装置構成に関する装置構成情報を蓄積する装置
構成情報蓄積手段と、サポートを要する構成要素を記述
したサポート情報に基づいて前記装置構成情報蓄積手段
に蓄積された前記装置構成情報から前記基板処理装置が
サポート対象であるか否かを判断するサポート判断手段
と、前記サポート判断手段によって前記基板処理装置が
サポート対象であると判断されたときに、前記基板処理
工場にサポート内容を通知する通知手段と、を備えてい
る。

【０００９】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄
積手段を前記基板処理工場に設け、前記サポート判断手
段および前記通知手段を前記コンピュータに設けてい
る。

【００１０】また、請求項３の発明は、請求項１の発明
に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄
積手段を前記基板処理装置に設け、前記サポート判断手
段および前記通知手段を前記コンピュータに設けてい
る。

【００１１】また、請求項４の発明は、請求項１の発明
に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄
積手段、前記サポート判断手段および前記通知手段を前
記コンピュータに設けている。

【００１２】また、請求項５の発明は、請求項１から請
求項４のいずれかの発明に係る基板処理システムにおい
て、前記コンピュータに前記サポート情報が与えられた
ときに、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装
置構成情報を更新する更新手段をさらに備えている。

【００１３】また、請求項６の発明は、基板処理工場に
配置された基板処理装置を管理する基板処理装置管理方
法において、前記基板処理装置の装置構成に関する装置
構成情報を蓄積する装置構成情報蓄積工程と、サポート
を要する構成要素を記述したサポート情報に基づいて前
記装置構成情報から前記基板処理装置がサポート対象で
あるか否かを判断する判断工程と、前記基板処理装置が
サポート対象であると判断されたときに、前記基板処理
工場にサポート内容を通知する通知工程と、を備えてい
る。

【００１４】また、請求項７の発明は、基板に所定の処
理を行う基板処理装置において、前記基板処理装置の装
置構成に関する装置構成情報を装置外部に送出する装置
構成情報送出手段を備えている。

【００１５】また、請求項８の発明は、基板に所定の処
理を行う基板処理装置において、前記基板処理装置の装
置構成に関する装置構成情報を蓄積する装置構成情報蓄
積手段を備えている。

【００１６】また、請求項９の発明は、基板処理装置が
備えるコンピュータによって実行されることにより、前
記基板処理装置が請求項７または請求項８に記載の基板
処理装置として動作するプログラムである。

【００１７】また、請求項１０の発明は、請求項９に記
載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な
記録媒体である。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。

【００１９】＜１．システム全体構成＞まず、本発明に
係る基板処理システム１０全体の概略について説明す
る。図１は、本発明に係る基板処理システム１０の概略
構成を示す図である。図１に示すように基板処理システ
ム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理
装置１および情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１のサ
ポートを行う担当者が配置されるサポートセンター５に
備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク
６を介して接続された構成となっている。サポートコン
ピュータ３は、基板処理工場４に配置された基板処理装
置１を管理するコンピュータである。

【００２０】基板処理システム１０においては、基板処
理装置１の装置構成に関する装置構成情報が情報蓄積サ
ーバ２に蓄積されるようになっており、蓄積された装置
構成情報はネットワーク６を介してサポートコンピュー
タ３が取得することができるようになっている。

【００２１】基板処理工場４において、基板処理装置１
と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４
１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやフ
ァイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介し
てインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続さ
れている。また、サポートセンター５も、サポートコン
ピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡ
Ｎ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する
接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続され
ている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ
２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ
通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４
１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネッ
トワーク６とする。

【００２２】なお、図１において、基板処理工場４には
複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置
１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５に
は複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサ
ポートコンピュータ３は１台であってもよい。

【００２３】＜２．基板処理装置＞次に、基板処理工場
４に配置された基板処理装置１について説明する。図２
は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理
装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそ
れらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置
１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処
理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサ
ＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジ
ストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニッ
トＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に
現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理
ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデ
クサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬
送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニッ
トＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省
略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟ん
で配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加
熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）
および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユ
ニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。
なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現
像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基
板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。

【００２４】図３は、基板処理装置１の制御システムの
構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処
理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステ
ム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に
制御するユニット制御部１１５とにより構成されてい
る。

【００２５】システム制御部１００は装置全体を統括的
に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて
構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ
１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域と
なる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、ソフト
ウェアモジュールなどを記憶しておく固定ディスク等か
らなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ
通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバス
ライン１９０によって接続した構成となっている。

【００２６】通信部１０５は、ネットワーク・インター
フェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続さ
れており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ
２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの
送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワ
ーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、
本実施形態では有線による通信方式が採用されている。

【００２７】バスライン１９０には、システム制御部１
００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情
報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピ
の入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４
０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１
から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども
電気的に接続されている。これにより、システム制御部
１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバ
スライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっ
ている。

【００２８】処理ユニット１１０は、実際に基板に処理
を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に
処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる
基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備
えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１
０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニッ
ト制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基
板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、
上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体
における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は
基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うように
その役割を分担している。ユニット制御部１１５は、シ
ステム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備
えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１
１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読
み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データ
を記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭ
などからなる記憶部１１４とを備えている。

【００２９】システム制御部１００の記憶部１０４に
は、装置全体にかかわるシステム制御用プログラムが記
憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１が
このシステム制御用プログラムに従って演算処理を実行
することにより、基板処理装置１の全体としての動作制
御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニッ
ト制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット
１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット
制御用プログラムが記憶されている。ユニット制御部１
１５のＣＰＵ１１１がこのユニット制御用プログラムに
従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１
６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。

【００３０】なお、これらの制御用プログラムは、読取
装置１５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、
所定のサーバ記憶装置などからネットワーク６を経由し
てのダウンロードによって取得及び更新することが可能
となっている。

【００３１】＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピ
ュータ＞次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サ
ーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポート
コンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２お
よびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての
構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。した
がって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ
３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である
図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポ
ートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各
種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ
２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同
様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）
および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバス
ラインに接続した構成となっている。また、バスライン
には、各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３
４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３
５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６
ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディ
スク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１
から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３
７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信
を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイ
ス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。

【００３２】情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ
３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１か
らプログラムを読出し、固定ディスク（２４，３４）に
記憶することができる。また、他のサーバー等からネッ
トワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク
（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰ
Ｕ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶
されたプログラムに従って演算処理を実行することによ
り各種動作を行うようになっている。すなわち、このプ
ログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情
報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行
い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３
としての動作を行うこととなる。

【００３３】＜４．システムの機能および処理内容＞以
上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処
理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３
のハードウェア構成について説明したが、次に基板処理
システム１０の機能および処理内容について説明する。
図５は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブ
ロック図である。また、図６は、基板処理システム１０
における処理手順を示すフローチャートである。なお、
図５において、装置構成情報送出部１２５はシステム制
御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行する
ことによって実現される処理部であり、装置構成情報登
録部２３１、情報取得部２３２、情報送信部２３３およ
びサポート内容受信部２３４は情報蓄積サーバ２のＣＰ
Ｕ２１が処理プログラムを実行することによってそれぞ
れ実現される処理部であり、問い合わせ部３１１、情報
受信部３１２、判断部３１３およびサポート内容通知部
３１４はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プ
ログラムを実行することによってそれぞれ実現される処
理部である。

【００３４】まず、図６のステップＳ１にて、装置構成
情報の蓄積が行われる。装置構成情報とは、基板処理装
置１の装置構成に関する情報であって、具体的には基板
処理装置１の”装置型式”、”製造年月日”、”製造番
号”、基板処理装置１に含まれる処理ユニットや部品の
種類である”装置構成”、基板処理装置１のシステム制
御部１００にインストールされているソフトウェアの”
ソフトバージョン”等が該当する。これら装置構成情報
は基板処理装置１ごとに存在するものであり、基板処理
工場４に配置されている基板処理装置１ごとにユニット
制御部１１５の記憶部１１４またはシステム制御部１０
０の記憶部１０４に保持されている。そして、各ユニッ
ト制御部１１５およびシステム制御部１００に保持され
ている情報はシステム制御部１００が集約し、装置構成
情報送出部１２５が基板処理装置１全体としての装置構
成情報を通信部１０５からＬＡＮ４１を経由して情報蓄
積サーバ２の装置構成情報登録部２３１に送信する。

【００３５】装置構成情報登録部２３１は、受信した装
置構成情報を基板処理装置１ごとに固定ディスク２４に
格納する。その結果、固定ディスク２４には基板処理装
置１の装置構成に関する装置構成情報が蓄積されること
となる。なお、装置構成情報送出部１２５が装置構成情
報を送出して装置構成情報登録部２３１が固定ディスク
２４に格納するタイミングとしては、一定間隔ごとに定
期的に行うようにしても良いし、後述するサポート情報
が提供された時点で、その旨の通知を基板処理装置１お
よび情報蓄積サーバ２に行い、これをトリガーとしても
良い。

【００３６】図７は、固定ディスク２４に格納された装
置構成情報の一例を示す図である。同図に示すように、
基板処理装置１ごとに装置構成情報が蓄積されてデータ
ベースを構築している。例えば、ある基板処理装置１に
ついては装置型式”Ｘ００１”、製造年月日”２０００
年６月１０日”、製造番号”ＡＡ００００１”、装置構
成”塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳ
Ｄ”、ソフトバージョン”１．０．０．１”という装置
構成情報が登録されている。また、別の基板処理装置１
については装置型式”Ｙ００１”、製造年月日”１９９
９年５月１５日”、製造番号”ＢＢ００００１”、装置
構成”洗浄処理ユニットＳＳ”、ソフトバージョン”
２．０．０．１”という装置構成情報が登録されてい
る。

【００３７】次に、図６のステップＳ２に進み、サポー
ト情報の提供が行われる。サポート情報の提供は、サポ
ートセンター５にいる担当者がサポートコンピュータ３
にサポート情報を入力するという作業によって行われ
る。サポートコンピュータ３に入力されたサポート情報
は、固定ディスク３４に格納される。既述したように、
サポート情報とは、装置ベンダーがアフターサービスと
してユーザに提供する装置のサポートに関する情報であ
り、装置のトラブル情報、ソフトウェアバージョンアッ
プ、改良設計の案内、サービスパーツの供給中止、代替
品の通知、使用上の注意、装置の生産中止の案内等が該
当する。

【００３８】図８は、固定ディスク３４に格納されたサ
ポート情報の一例を示す図である。同図に示すように、
固定ディスク３４には文書番号ごとにサポート情報が蓄
積されてデータベースを構築している。そして、サポー
ト情報にはサポートを要する構成要素についての記述が
含まれている。例えば、「ＳＣユニット改良のご案内」
というサポート情報には該サポートを要する構成要素が
塗布処理ユニットＳＣである旨の記述が含まれている。
なお、図８の構成要素として”ＳＣ”は塗布処理ユニッ
トＳＣ、”ＳＤ”は現像処理ユニットＳＤ、”ＳＳ”は
洗浄処理ユニット、”ＨＰ”は加熱処理ユニット、”Ｃ
Ｐ”は冷却処理ユニット、”ＥＥ”はエッジ露光処理ユ
ニット、”ＩＦ”はインターフェイスユニットをそれぞ
れ意味し、また”一般”とは構成要素にかかわらずサポ
ートを要することを意味している。

【００３９】ここでは、サポートセンター５の担当者が
「ソフトウェアバージョンアップのご案内（文書番号”
Ｄ−０００００８”）」というサポート情報を入力す
る。このときに、該サポート情報が固定ディスク３４に
記録されるとともに、サポート情報の入力を認識した問
い合わせ部３１１がネットワーク６を介して各基板処理
工場４の情報蓄積サーバ２に装置構成情報の引き渡しを
要求する。

【００４０】そして、ステップＳ３に進み、引き渡し要
求を受け取った情報蓄積サーバ２の情報取得部２３２
は、固定ディスク２４に格納されている装置構成情報
（図７参照）を読み出して情報送信部２３３に渡す。情
報送信部２３３は、その装置構成情報をネットワーク６
を介してサポートセンター５のサポートコンピュータ３
に送信する。装置構成情報を受け取ったサポートコンピ
ュータ３の情報受信部３１２は、それを判断部３１３に
渡す。

【００４１】次に、ステップＳ４，Ｓ５に進み、判断部
３１３がサポート情報に基づいて装置構成情報から基板
処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象
であるか否かを判断する。具体的には、判断部３１３
は、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なく
とも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれ
ているかを検索し、含まれている場合には基板処理工場
４に配置された基板処理装置１がサポート対象であると
し、含まれていない場合にはサポート対象でないとす
る。

【００４２】本実施形態の基板処理装置１（図２）で
は、装置構成情報に”ＳＣ”、”ＳＤ”が装置構成とし
て記述されている。つまり、基板処理装置１は、塗布処
理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤを備えてい
る。一方、サポート情報「ソフトウェアバージョンアッ
プのご案内」に記述された構成要素は”ＳＣ”、”Ｓ
Ｄ”、”ＩＦ”である。すなわち、このサポートを要す
る構成要素は、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニッ
トＳＤ、インターフェイスユニットである。従って、装
置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１
つがサポート情報に記述された構成要素に含まれてお
り、判断部３１３は基板処理工場４に配置された基板処
理装置１がサポート対象であると判断する。

【００４３】仮に、サポート情報が「新型ランプのご紹
介（文書番号”Ｄ−０００００７”）」であったとする
と、サポート情報に記述された構成要素が”ＥＥ”であ
り、該サポートを要する構成要素がエッジ露光ユニット
となる。この場合は、装置構成情報に記述された装置構
成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された
構成要素に含まれないため、判断部３１３は基板処理工
場４に配置された基板処理装置１がサポート対象でない
と判断する。

【００４４】判断部３１３によって基板処理装置１がサ
ポート対象であると判断されたときには、ステップＳ５
からステップＳ６に進み、サポート内容通知部３１４が
基板処理工場４にサポート内容（ここでは、ソフトウェ
アバージョンアップのご案内の内容）を通知する。サポ
ート内容を受信した基板処理工場４の情報蓄積サーバ２
のサポート内容受信部２３４は、そのサポート内容を固
定ディスク２４に格納する。これにより基板処理工場４
のユーザは、「ソフトウェアバージョンアップのご案
内」を知ることができる。

【００４５】一方、判断部３１３によって基板処理装置
１がサポート対象でないと判断されたときには、一連の
処理が終了し、基板処理工場４にはサポート内容が通知
されない。

【００４６】このようにすれば、ユーザの基板処理工場
４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置し
ていたとしても、その装置構成情報が情報蓄積サーバ２
に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５に
てサポート情報が提供されたときには、サポート情報に
記述された構成要素および上記装置構成情報に基づいて
基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に
判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内
容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、
サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごと
に異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出
来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単
にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに
必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供すること
ができる。

【００４７】＜５．変形例＞以上、本発明の実施の形態
について説明したが、この発明は上記の例に限定される
ものではない。例えば、上記実施の形態においては、情
報蓄積サーバ２は基板処理工場４内に配置されるように
なっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワ
ーク６に接続されて基板処理装置１およびサポートコン
ピュータ３と通信可能になっていればどこに配置されて
いても良い。

【００４８】また、上記実施の形態においては、情報蓄
積サーバ２に装置構成情報を蓄積するようにしていた
が、基板処理工場４に配置された各基板処理装置１自体
に装置構成情報を蓄積するようにしても良い。図９は、
基板処理装置１に装置構成情報を蓄積するようにした基
板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図であ
る。同図において、図５と同一の機能を有するものに関
しては、同一の符号を付している。また、図９におい
て、装置構成情報登録部１３１、情報取得部１３２、情
報送信部１３３およびサポート内容受信部１３４はシス
テム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実
行することによって実現される処理部であり、その機能
は図５の装置構成情報登録部２３１、情報取得部２３
２、情報送信部２３３およびサポート内容受信部２３４
と同じである。

【００４９】図９のようにした場合は、情報蓄積サーバ
２にて行っていた装置構成情報の取得およびサポートコ
ンピュータ３への引き渡しを、各基板処理装置１のシス
テム制御部１００が行うこととなる。このようにして
も、上記実施形態と同様に、ユーザの基板処理工場４に
おいて如何なる装置構成の基板処理装置１を配置してい
たとしても、その装置構成情報が基板処理装置１の記憶
部１０４に自動的に蓄積されるとともに、サポートセン
ター５にてサポート情報が提供されたときには、サポー
ト情報に記述された構成要素および上記装置構成情報か
ら基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的
に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート
内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従っ
て、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置
ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが
出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を
単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザ
に必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供するこ
とができる。

【００５０】また、サポートセンター５のサポートコン
ピュータ３に基板処理装置１の装置構成情報を蓄積する
ようにしても良い。図１０は、サポートコンピュータ３
に装置構成情報を蓄積するようにした基板処理システム
の機能構成を示す機能ブロック図である。同図におい
て、図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の
符号を付している。また、図９において、サポート内容
受信部１３４はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が
処理プログラムを実行することによって実現される処理
部であり、装置構成情報登録部３３１はサポートコンピ
ュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行すること
によって実現される処理部である。

【００５１】図１０のようにした場合には、サポートコ
ンピュータ３にサポート情報が与えられたときに問い合
わせ部３１１がネットワーク６を介して基板処理工場４
の基板処理装置１に装置構成情報の引き渡しを要求す
る。引き渡し要求を受け取った基板処理装置１の装置構
成情報送出部１２５は、その時点（引き渡し要求がなさ
れた時点）での基板処理装置１の装置構成情報をサポー
トコンピュータ３の装置構成情報登録部３３１に送信す
る。装置構成情報登録部３３１は、受信した装置構成情
報を基板処理装置１ごとに固定ディスク３４に格納す
る。その結果、サポートコンピュータ３にサポート情報
が与えられるごとに、固定ディスク３４に蓄積されてい
る装置構成情報が更新されることとなる。

【００５２】判断部３１３は、その更新された最新の装
置構成情報およびサポート情報に基づいて基板処理工場
４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるか
否かを判断する。残余の点については上記と同じであ
る。

【００５３】このようにしても、上記実施形態と同様
に、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成
の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構
成情報がサポートコンピュータ３に自動的に蓄積される
とともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供
されたときには、サポート情報に記述された構成要素お
よび上記装置構成情報から基板処理装置１がサポート対
象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象であ
る場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信さ
れることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザ
ごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味
する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識するこ
となくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入
力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速
に効率良く提供することができる。さらに、基板処理装
置１の改造やソフトバージョンアップ等が行われていた
としても、常に最新の装置構成情報に基づいて、ユーザ
に必要なサポート内容を提供することができる。

【００５４】なお、このような装置構成情報の更新機能
を図５または図９の基板処理システムにおいて実現する
ようにしても良い。具体的には、サポートコンピュータ
３にサポート情報が与えられて問い合わせ部３１１から
装置構成情報の引き渡しを要求されたときに、その時点
での基板処理装置１の装置構成情報を装置構成情報登録
部２３１または装置構成情報登録部１３１が固定ディス
ク２４または記憶部１０４にそれぞれ格納するようにす
れば良い。そして、情報取得部２３２または情報取得部
１３２はその更新された最新の装置構成情報を読み出す
こととなる。このようにすれば、常に最新の装置構成情
報に基づいて、ユーザに必要なサポート内容を提供する
ことができる。

【００５５】すなわち、本発明に係る技術内容を集約す
ると、ユーザが使用している基板処理装置１の装置構成
と装置ベンダーが提供すべきサポート情報とを照合し
て、ユーザに必要なサポート情報のみを自動的に選別
し、そのサポート内容のみを当該ユーザに提供するよう
にしているのである。

【００５６】さらに、上記実施形態の基板処理装置１
は、基板にレジストの塗布処理および現像処理を行うも
のであったが、これに限定されるものではなく、例えば
光照射によって基板を加熱するランプアニール装置や、
基板を回転させつつパーティクルを除去する洗浄処理を
行う洗浄処理装置や、フッ酸等の処理液中に基板を浸漬
して表面処理を行う浸漬処理装置など、基板に所定の処
理を行う基板処理装置であればどのようなものであって
も本発明に係る技術を適用することが可能である。

【００５７】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、基板処理装置の装置構成に関する装置構成情
報を蓄積する装置構成情報蓄積手段と、サポートを要す
る構成要素を記述したサポート情報に基づいて装置構成
情報蓄積手段に蓄積された装置構成情報から基板処理装
置がサポート対象であるか否かを判断するサポート判断
手段と、サポート判断手段によって基板処理装置がサポ
ート対象であると判断されたときに、基板処理工場にサ
ポート内容を通知する通知手段と、を備えるため、ユー
ザに必要なサポート情報であるか否かが自動的に選別さ
れることとなり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に
効率良く提供することができる。

【００５８】また、請求項２の発明によれば、装置構成
情報蓄積手段を基板処理工場に設け、サポート判断手段
および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１
の発明と同様の効果を確実に得ることができる。

【００５９】また、請求項３の発明によれば、装置構成
情報蓄積手段を基板処理装置に設け、サポート判断手段
および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１
の発明と同様の効果を確実に得ることができる。

【００６０】また、請求項４の発明によれば、装置構成
情報蓄積手段、サポート判断手段および通知手段をコン
ピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を
確実に得ることができる。

【００６１】また、請求項５の発明によれば、コンピュ
ータにサポート情報が与えられたときに、装置構成情報
蓄積手段に蓄積されている装置構成情報を更新するた
め、最新の装置構成情報に基づいてユーザに必要なサポ
ート内容を提供することができる。

【００６２】また、請求項６の発明によれば、基板処理
装置の装置構成に関する装置構成情報を蓄積し、サポー
トを要する構成要素を記述したサポート情報に基づいて
当該装置構成情報から基板処理装置がサポート対象であ
るか否かを判断し、基板処理装置がサポート対象である
と判断されたときに、基板処理工場にサポート内容を通
知するため、ユーザに必要なサポート情報であるか否か
が選別され、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率
良く提供することができる。

【００６３】また、請求項７の発明によれば、基板処理
装置の装置構成に関する装置構成情報を装置外部に送出
する装置構成情報送出手段を備えるため、その装置構成
情報とサポート情報とから基板処理装置がサポート対象
であるか否かを判断するようにすれば、ユーザに必要な
サポート情報であるか否かが自動的に選別されることと
なり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提
供することができる。

【００６４】また、請求項８の発明によれば、基板処理
装置の装置構成に関する装置構成情報を蓄積する装置構
成情報蓄積手段を備えるため、その装置構成情報とサポ
ート情報とから基板処理装置がサポート対象であるか否
かを判断するようにすれば、ユーザに必要なサポート情
報であるか否かが自動的に選別されることとなり、ユー
ザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供すること
ができる。

【００６５】また、請求項９の発明によれば、基板処理
装置が備えるコンピュータにプログラムを実行させるだ
けで、その基板処理装置を請求項７または請求項８に記
載の基板処理装置として動作させることができる。

【００６６】また、請求項１０の発明によれば、基板処
理装置が備えるコンピュータに記録媒体を読み取らせて
プログラムを実行させるだけで、その基板処理装置を請
求項７または請求項８に記載の基板処理装置として動作
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成を示
す図である。

【図２】図１の基板処理システムの基板処理装置の概略
平面図である。

【図３】図２の基板処理装置の制御システムの構成を示
すブロック図である。

【図４】情報蓄積サーバおよびサポートコンピュータの
基本構成を示す図である。

【図５】図１の基板処理システムの機能構成を示す機能
ブロック図である。

【図６】図１の基板処理システムにおける処理手順を示
すフローチャートである。

【図７】装置構成情報の一例を示す図である。

【図８】サポート情報の一例を示す図である。

【図９】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機
能ブロック図である。

【図１０】基板処理システムの機能構成の他の例を示す
機能ブロック図である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 ２ 情報蓄積サーバ ３ サポートコンピュータ ４ 基板処理工場 ５ サポートセンター ６ ネットワーク １０ 基板処理システム ２４，３４ 固定ディスク ９１ 記録媒体 １００ システム制御部 １０４，１１４ 記憶部 １２５ 装置構成情報送出部 １３１，２３１，３３１ 装置構成情報登録部 １３２，２３２ 情報取得部 １３３，２３３ 情報送信部 １３４，２３４ サポート内容受信部 ３１１ 問い合わせ部 ３１２ 情報受信部 ３１３ 判断部 ３１４ サポート内容通知部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北本 徹 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 濱田 哲也 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 井上 秀和 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理工場に配置された基板処理装置
   と、前記基板処理工場の外部に配置されて前記基板処理
   装置を管理するコンピュータとがネットワークにて結合
   された基板処理システムであって、 前記基板処理装置の装置構成に関する装置構成情報を蓄
   積する装置構成情報蓄積手段と、 サポートを要する構成要素を記述したサポート情報に基
   づいて前記装置構成情報蓄積手段に蓄積された前記装置
   構成情報から前記基板処理装置がサポート対象であるか
   否かを判断するサポート判断手段と、 前記サポート判断手段によって前記基板処理装置がサポ
   ート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場
   にサポート内容を通知する通知手段と、を備えることを
   特徴とする基板処理システム。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板処理システムにおい
   て、 前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理工場に設け、 前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピ
   ュータに設けることを特徴とする基板処理システム。
3. 【請求項３】 請求項１記載の基板処理システムにおい
   て、 前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理装置に設け、 前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピ
   ュータに設けることを特徴とする基板処理システム。
4. 【請求項４】 請求項１記載の基板処理システムにおい
   て、 前記装置構成情報蓄積手段、前記サポート判断手段およ
   び前記通知手段を前記コンピュータに設けることを特徴
   とする基板処理システム。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれかに記載
   の基板処理システムにおいて、 前記コンピュータに前記サポート情報が与えられたとき
   に、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装置構
   成情報を更新する更新手段をさらに備えることを特徴と
   する基板処理システム。
6. 【請求項６】 基板処理工場に配置された基板処理装置
   を管理する基板処理装置管理方法であって、 前記基板処理装置の装置構成に関する装置構成情報を蓄
   積する装置構成情報蓄積工程と、 サポートを要する構成要素を記述したサポート情報に基
   づいて前記装置構成情報から前記基板処理装置がサポー
   ト対象であるか否かを判断する判断工程と、 前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたと
   きに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知
   工程と、を備えることを特徴とする基板処理装置管理方
   法。
7. 【請求項７】 基板に所定の処理を行う基板処理装置で
   あって、 前記基板処理装置の装置構成に関する装置構成情報を装
   置外部に送出する装置構成情報送出手段を備えることを
   特徴とする基板処理装置。
8. 【請求項８】 基板に所定の処理を行う基板処理装置で
   あって、 前記基板処理装置の装置構成に関する装置構成情報を蓄
   積する装置構成情報蓄積手段を備えることを特徴とする
   基板処理装置。
9. 【請求項９】 基板処理装置が備えるコンピュータによ
   って実行されることにより、前記基板処理装置が請求項
   ７または請求項８に記載の基板処理装置として動作する
   ことを特徴とするプログラム。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載のプログラムを記録し
    てあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記
    録媒体。