JP2009272357A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置情報記憶部300は、基板処理装置10の装置情報が記述されたデータファイルを記憶する。比較部306は、装置情報記憶部300に記憶されている装置情報と、形式変換部304から入力された装置情報とを比較し、比較結果を管理部308に対して出力する。管理部308は、比較部306による比較結果を受け付け、比較対象の2つの情報が異なる場合、更新部310を介して、装置情報記憶部300に記憶されている装置情報を形式変換部304から入力された装置情報に更新し、通知部312を介して、装置情報が変更された旨を端末装置2に対して通知する。
【選択図】図8
Description
図1に示すように、基板処理システム1は、基板処理装置10と、この基板処理装置10にネットワーク12を介して接続された装置データサーバ3とを有する。この装置データサーバ3には、ネットワーク14を介して、端末装置2−1〜2−nが接続される。したがって、データは、基板処理装置10と装置データサーバ3との間でネットワーク12を介して送受信され、装置データサーバ3と端末装置2−1〜2−nとの間でネットワーク14を介して送受信される。なお、端末装置2−1〜2−nなど、複数ある構成部分のいずれかを特定せずに示すときには、単に端末装置2などと略記することがある。
図2は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の斜視図を示す。また、図3は、図2に示す基板処理装置10の側面透視図を示す。
図2及び図3に示されているように、シリコン等からなるウエハ(基板)200を収納したウエハキャリアとしてフープ(基板収容器。以下ポッドという。)110が使用されている本発明の実施形態に係る基板処理装置10は、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が開設され、この正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104、104がそれぞれ建て付けられている。
図4は、PMC14を中心とした基板処理装置10の機能構成を示す。
図4に示すように、PMC14は、CPU140、ROM142、RAM144、外部の表示装置(不図示)等との間でのデータの入出力を行う入出力インタフェース(IF)146、ネットワーク12を介して装置データサーバ3との間でのデータの通信を制御する通信制御部156、温度制御部150、ガス制御部152、圧力制御部154、温度制御部150及び図示しない搬送制御部等とのI/O制御を行うI/O制御部148を有する。これらの構成要素はバス160を介して相互に接続されており、データは構成要素の間でバス160を介して入出力される。
図5に示すように、装置データサーバ3は、CPU18及びメモリ20などを含む制御装置16と、ネットワーク12,14を介してそれぞれ基板処理装置10、端末装置2とデータの送信及び受信を行う通信インタフェース(IF)22,24と、ハードディスク駆動装置などの記憶装置26と、液晶ディスプレイなどの表示装置並びにキーボード及びマウス等のポインティングデバイスを含む表示・入力装置28とを有する。
図6に例示するように、装置モデルは、階層構造で表される。したがって、ユーザは、階層構造における各要素を編集することにより、基板処理装置10の部品の変更・追加を装置モデルに反映する。
図7に例示するように、編集された装置情報は、所定の形式に変換されてファイルとして保存される。本例では、装置情報は、XML(Extensible Markup Language)形式に変換されて保存される。
図8に示すように、装置データサーバ3は、装置情報記憶部300、装置情報取得部302、形式変換部304、比較部306、管理部308、更新部310及び通知部312を有する。
図9に示すように、ステップ100(S100)において、比較部306は、装置情報取得部302により取得された装置情報(新)をメモリ20に格納する。
ステップ102(S102)において、比較部306は、装置情報記憶部300に記憶されている装置情報(旧)をメモリ20に格納する。
図10に示すように、ステップ200(S200)において、装置情報取得部302は、編集されてデータファイルとして存在する新たな装置情報を、所定のタイミングで取得する。
ステップ202(S202)において、形式変換部304は、取得された装置情報の形式を変換する。その後、装置情報の比較処理(S10)が実行される。
図11に示すように、変更検知処理(S20)が実行されて装置情報が更新された場合、ステップ300(S300)において、装置データサーバ3は、端末装置2−1〜2−nに対して、装置情報が変更された旨を通知する。端末装置2−1〜2−nは、基板処理装置10の装置情報が変更された旨の通知を受け付ける。
ステップ304(S304)において、装置データサーバ3は、端末装置2−1〜2−nに対して、新しい装置モデルデータを送信する。端末装置2−1〜2−nは、新しい装置モデルデータを受け付ける。
図12に示すように、本実施例では、ステップ400(S400)において、装置データサーバ3の装置情報取得部302は、基板処理装置10から送信される装置情報の更新通知により装置情報を取得する。装置データサーバ3は、装置情報の全てを一度に取得してもよいし、ノードを単位として分割された装置情報を複数回にわたって取得してもよい。
2 端末装置
3 装置データサーバ
10 基板処理装置
12,14 ネットワーク
16 制御装置
18 CPU
20 メモリ
22,24 通信IF
26 記憶装置
28 表示・入力装置
300 装置情報記憶部
302 装置情報取得部
304 形式変換部
306 比較部
308 管理部
310 更新部
312 通知部
Claims (1)
- 基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置の構成情報を記憶する記憶装置と、
前記基板処理装置の構成情報を取得する取得手段と、
前記記憶装置に記憶されている構成情報と、前記取得手段により取得された構成情報とが異なる場合、当該取得された構成情報が前記記憶装置に格納され、構成情報が変更された旨が通知されるように制御する制御手段と
を有する基板処理システム。
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