CN1402879A - 制造设备、制造设备的控制方法、制造设备的控制系统、其中记录有制造设备的控制程序的计算机可读记录介质及制造设备的控制程序 - Google Patents

Abstract

公开了一种制造设备的控制系统，该控制系统控制一个半导体制造设备(2)，并且包括：一个接口(31)，连接到一个专用电路(1)上，并且把信息传送到专用电路(1)和从其接收信息；一个处理器(32)，把用来控制制造设备(2)的方法信息和软件的至少一个从接口(31)经专用电路(1)传送到具有接口(24)的制造设备(2)；及一个数据库(33)，连接到处理器(32)上，并且存储方法信息和软件的至少一个。

Description

制造设备、制造设备的控制方法、制造设备的控制系统、 其中记录有制造设备的控制程序的计算机 可读记录介质及制造设备的控制程序

技术领域

本发明涉及一种使用网络控制诸如半导体制造设备之类的制造设备的控制方法、一种制造设备的控制系统、一种其中记录有制造设备的控制程序的计算机可读记录介质、及由这些控制的制造设备。

背景技术

诸如半导体制造设备之类的制造设备的制造商至今在生产制造设备之后，把制造的设备交付给购买人。对于这种制造设备，在最近几年，硬件配置一直由计算机控制，并且计算机的操作在当今情况下一直由软件、而不是由硬件控制。

当启动制造设备的生产线的设备、修理故障设备、及在硬件改进之后软件错误地操作时，设备制造商呼叫工程师，并且采取对策。这是因为一般具有关于制造设备的最多知识的制造商的工程师，适于对制造设备进行保养。

总之，当在软件中找到原因时，通过电话检查制造设备的故障。然而，在当前制造设备的软件和方法都很复杂时，仅通过电话处理故障是非常困难的。况且，当呼叫制造商的工程师时，需要大量时间和金钱。因此，为了完成故障的拯救过程需要大量时间。结果，制造设备的设备生产效率下降。

因此，例如，当启动制造设备的生产线时，制造商把大量工程师送到生产线，并且进行设备启动操作。由此，几乎不会缩短用来启动设备的时间。然而，工程师人数较少，并且在许多情况下为了启动不会聚集足够数量的工程师。另外，为了启动大量制造设备，需要大量时间，并且更进一步，在许多情况下引起手动启动错误。这主要是因为制造设备的硬件配置、和用来控制硬件配置的软件和方法在最近几年已经变得较复杂。

此外，例如，当在多个工厂中同时启动制造设备时，即，当作为启动对象的制造设备不集中在一个地方时，这样一种人为错误更容易发生。

另外，例如，当在多个工厂中使用相同的制造设备时，制造设备的硬件配置、软件及方法往往应当统一。然而，在实际中，这样一种统一操作在当今情形下是困难的。在各工厂间方法和软件的不统一会引起各种麻烦。结果，使用该制造设备的器件的生产效率降低。

本发明的公开

本发明的一个目的在于提供：一种制造设备，便于制造设备的硬件、软件及方法(recipe)的控制，并且作为结果，提高使用该制造设备的器件的生产效率；一种制造设备的控制系统；及一种其中记录制造设备的控制程序的计算机可读记录介质。

根据本发明的第一方面，提供有一种经通信网络控制制造设备的制造设备控制系统，该控制系统包括：一个接口，连接到通信网络上，并且向通信网络传送信息和从其接收信息；一个处理器，连接到接口上，并且把控制制造设备的方法信息和软件的至少一个从接口经通信网络传送到制造设备；及存储装置，连接到处理器上，并且存储方法信息和软件的至少一个。

根据本发明的另一个方面，提供有一种制造设备，包括：一个制造单元；一个接口，连接到通信网络上，并且向通信网络传送信息和从其接收信息；一个处理器，连接到接口上，并且从接口经通信网络得到控制制造单元的软件和方法信息的至少一个；及存储装置，连接到处理器上，用来存储方法信息和软件的至少一个。

根据上述配置，制造设备的控制系统能把软件和方法信息集体地传送到制造设备，并且启动设备。因此，不必依次和分离地把软件和方法信息安装在相应制造设备中。结果，缩短用来启动制造设备的时间，并且能迅速启动制造设备。况且，由于能以统一方式启动制造设备，所以显著减少在分别启动相应制造设备时容易产生的人为错误。

况且，涉及设备的本发明也作为使用设备的方法发明而建立。

此外，涉及设备或方法的本发明也作为用来允许计算机执行根据本发明的过程(或用来允许计算机作为根据本发明的装置运作、或用来允许计算机实现根据本发明的功能)的程序、或者作为通过计算机可读、其中记录程序的记录介质而建立。

附图的简要描述

图1是示意图，表示根据本发明第一实施例的制造设备的控制系统的总体配置。

图2A和2B表示根据该实施例的一种半导体制造设备和制造商终端的详细配置的一个例子。

图3表示根据该实施例的半导体制造设备的第一启动操作的计时图。

图4表示根据该实施例的半导体制造设备的第二启动操作的计时图。

图5表示当在根据该实施例的任何半导体制造设备中产生故障时、用来解决故障的操作的计时图。

图6是示意图，表示根据本发明第二实施例的制造设备的控制系统的总体配置。

图7是示意图，表示根据本发明一个修改例子的制造设备的控制系统的总体配置。

用来实现本发明的最好模式

下文参照附图将描述本发明的相应实施例。

(第一实施例)

图1是示意图，表示根据本发明第一实施例的制造设备的控制系统的总体配置。本实施例具有一种其中在控制半导体制造设备时应用本系统的模式。

如图1中所示，作为制造设备的控制系统的受控对象的多个半导体制造设备2连接到一个制造商终端3上，其中销售作为制造设备的控制系统的受控对象的半导体制造设备，并且经专用电路1维护。况且，相应半导体制造设备2布置在相同的工厂6中。

图2A和2B表示每个半导体制造设备2和制造商终端3的详细配置的一个例子。图2A表示半导体制造设备2的配置，而图2B表示制造商终端3的配置。

如图2A中所示，半导体制造设备2包括一个制造单元21、一个连接到制造单元21上的处理器22、一个数据库23、一个接口24、一个显示器25及一个连接到处理器22上的输入单元26。

制造单元21是一个带有用来实际制造器件的机构的部分，并且主要由硬件组成。一个例子包括一个膜形成机构、蚀刻机构、磨光机构、化学机械抛光机构(CMP)、保护层涂敷机构、显影机构、加热/冷却机构等。

处理器22使用一个内装程序以根据存储在数据库23中的软件和方法信息、或根据经输入单元26输入的方法信息控制制造单元21。况且，处理器22还具有用来在控制接口24与制造商终端3间经专用电路1传送/接收信息期间控制传送/接收的功能。方法信息是例如指示构成例如制造单元21的相应元件的处理过程、或处理条件的信息。

况且，输入单元26把由制造设备的操作者输入的信息等发送到处理器22，并且能根据输入信息控制制造设备2的操作。输入单元26的例子包括键盘、鼠标等。

在显示器25中，显示制造设备2的操作、故障情形等。当制造设备等的操作者看到显示器25时，检查制造设备2的操作情形等。

处理器22包括一个证实处理器221，用来在试图控制制造设备2时进行证实；一个设备控制处理器222，用来根据预定软件和方法信息控制制造设备；及一个故障判断处理器223，用来根据制造设备的操作内容确定在制造设备中产生的故障的原因。

况且，在数据库23中，存储用来控制制造单元21的软件、和对于每种制造条件给出的、并且给出用来控制关于预定条件的制造单元21的参数的方法信息。

如图2B中所示，制造商终端3包括一个接口31、一个连接到接口31上的处理器32、一个数据库33、一个显示器34及一个连接到处理器32上的输入单元35。接口31具有用来经专用电路1向半导体制造设备2传送信息以及从其接收信息的功能。

当启动半导体制造设备2时，处理器32从数据库33抽取用来控制半导体制造设备2的软件和方法信息，并且能把这种信息传送到半导体制造设备2，及远程操作半导体制造设备2。处理器32包括一个证实程序321、设备控制程序322、及故障判断程序323。

况且，输入单元35是一个经其输入用来允许制造设备通过处理器32执行各种类型处理的信息的部分，并且把经输入单元35输入的信息发送到处理器32。输入单元35的例子包括键盘、鼠标等。

在显示器34中，显示使用制造商终端3执行的各种类型的处理的内容。负责的制造商人员观看显示器34，并且由此能检查在制造商终端3中的处理内容。

其次将描述表示在图1中的制造设备的控制系统的操作。另外，除非在如下实施例中专门描述，每种操作通过经专用电路1的信息的传送/接收进行。

首先，参照表示在图3中的计时图将描述第一设备启动操作。另外，有借助于制造商终端3传送/接收信息的多个半导体制造设备2。在如下例子中同样也适用。

如图3中所示，首先制造商终端3进行访问多个半导体制造设备2的请求(s1)。每个半导体制造设备2要求制造商终端3的一个ID号码和口令(s2)。制造商终端3使用输入单元35以输入ID号码和口令。当然，对于要求访问的每个半导体制造设备2，ID号码和口令可以预先存储在数据库33中，并且可以读出存储在数据库33中的信息。

输入的ID号码和口令发送到处理器32。处理器32把ID号码和口令经接口31传送到每个半导体制造设备2(s3)。接收ID号码和口令的每个半导体制造设备2的证实处理器221，读出预先存储在数据库23中的制造商终端3的ID号码和口令，并且把读的ID号码和口令与接收的ID号码和口令相对比(s4)。通过对比，当ID号码和口令相互一致时，判断为启用证实。此外，对于不一致，判断为禁用证实。把指示启用/禁用证实的信息从每个半导体制造设备2传送到制造商终端3(s5)。

当制造商终端3接收到指示启用证实的信息时，把用于每个半导体制造设备2的软件和方法信息传送到每个半导体制造设备2(s6)。半导体制造设备2接收软件和方法信息，并且把接收的软件和方法信息存储在数据库23中(s7)。当制造商终端3接收到指示禁用证实的信息时，通过制造商终端3的连接结束。

完成软件和方法信息的传送的制造商终端3完成对于专用电路1的连接。另一方面，在每个半导体制造设备2侧，制造设备2的操作者使用例如输入单元26，并且检查显示器25以读出存储在数据库23中的软件和方法信息，并且根据软件和方法信息发出一个操作命令。例如，通过使用输入单元26压下显示在显示器25中的操作板发出操作命令。在接收到操作命令时，在处理器22中的设备控制处理器222根据读出的软件和接收信息操作制造单元21(s8)。由此，完成设备启动。

另外，对于表示在图3中的设备启动，当半导体制造设备2不具有软件和方法信息，或者要提供公共软件和方法信息时，这些都从制造商终端3传送。然而，当软件已经安装在半导体制造设备2中时，即当包括制造单元21以便可控制时，只可以传送方法信息。此外，当制造设备的操作者产生方法信息，并且根据方法信息控制或手动操作制造单元21时，只可以传送软件。

况且，当在半导体制造设备2侧的处理器22的设备控制处理器222接收软件和方法信息时，最好安装软件以便能够自动启动。

以这种方式，当把软件或方法信息经专用电路1集体传送到多个半导体制造设备，并且同时启动制造设备时，能以统一方式启动相应半导体制造设备。因此，不必依次把软件和方法信息安装在相应半导体制造设备2中。况且，由于操作者能把启动设备必需的软件和方法信息集体地传送到相应半导体制造设备2，所以减小用于在每个半导体制造设备2中的安装的时间，并且能迅速启动设备。

况且，由于以统一方式启动设备，所以显著减少在逐个启动设备时所犯的操作者的人为错误。况且，能容易地在整个工厂中统一制造设备的方法、软件、和硬件。结果，在相同工厂中能容易地制造相同产品。

其次参照表示在图4中的计时图将描述一种第二设备启动操作。

制造商终端3把访问请求发送到半导体制造设备2，进一步提供ID号码和口令，并且判断为启用证实，及把软件和方法信息传送到半导体制造设备2。这种过程与第一设备启动的过程(s1)至(s6)类似。

在制造商终端3把软件和方法信息提供给每个半导体制造设备2以便把每个制造单元21带入一种可控制状态之后，终端3把用于软件安装的请求发出到每个半导体制造设备2(s11)。在接收到这种请求时，在每个半导体制造设备2中的设备控制处理器222安装软件(s12)。以后，在制造商终端3侧，操作者使用输入单元35控制制造单元21。在这种情况下，由操作者输入的信息与在半导体制造设备2侧在操作制造单元21时使用输入单元226输入的信息相一致。即，在一个远离半导体制造设备2的位置中，制造商终端3用来根据以前传送的软件和方法信息控制制造单元21(s6)。

由此，制造单元21的操作与在半导体制造设备2侧使用输入单元26的操作类似。由此，完成设备启动。

以这种方式，在第二设备启动的例子中，进一步产生与第一设备启动的例子类似的效果、和在第一实施例中不能得到的效果。即，由于在制造商终端3侧操作半导体制造设备2，所以启动设备的值班操作者能从远程区域启动设备，而不用走到半导体制造设备2所在的工厂6。因此减少至工厂6的往来时间等，并且能迅速启动设备。

其次参照图5中的计时图描述用来排除故障的操作。当半导体制造设备2用来根据第一或第二设备启动操作制造半导体器件时，在半导体制造设备的任一个中产生故障。

首先，操作半导体制造设备2和发现任何故障的操作者使用对应半导体制造设备2的输入单元26把指示故障产生的信息传送到制造终端3(s51)。

当然，半导体制造设备2的设备控制处理器222可以检测故障，并且根据检测的故障检测信号可以把指示故障产生的信息自动传送到制造商终端3。况且，可以使用其它装置，如电话、传真、和电子邮件而不使用专用电路1，将故障的发生通知在制造商终端3侧的任何人员。

在这种情况下，制造商终端3需要ID号码和口令以便判断客户的半导体制造设备2是否是预登记的制造设备(s52)。在接收到这种请求时，制造设备的操作者使用输入单元26输入ID号码和口令。输入的ID号码和口令经接口24传送到制造商终端3侧(s53)。ID号码和口令由制造商终端3的接口31接收。由接口31接收的ID号码和口令发送到处理器32，并且由证实程序321判断启用/禁用证实(s54)。具体地，在处理器32中的证实程序321读出预存储在数据库33中的半导体制造设备2的ID号码和口令，并且把这些与接收的ID号码和口令相对比。通过对比，当ID号码和口令与接收的都一致时，判断为启用证实。此外，在不一致时，判断为禁用证实。指示启用/禁用证实的信息从制造商终端3传送到半导体制造设备2(s55)。

当指示启用证实的信息由半导体制造设备2接收时，把指示故障内容的信息传送到制造商终端3(s56)。指示故障内容的信息可以实际包括在其中故障实际出现的方法信息和使用的软件。对于指示故障内容的信息的传送，例如，当处理器22在设备操作期间接收预定警报消息时，可以响应该消息自动产生信息，或者操作制造设备2的操作者可以经输入单元26输入由操作者掌握的故障内容。

当指示故障内容的信息由制造商终端3接收时，故障内容显示在显示器34中。在制造商侧的人员确认显示在显示器34中的故障内容，按照故障内容计算故障排除费用，及进行故障排除费用请求(s57)。当制造商终端3进行故障排除费用请求时，故障排除费用显示在半导体制造设备2的显示器25中，并且提示选择是否支付费用。具体地，例如，当按下显示在显示器25中的“确定”按钮时，把费用支付核对信号传送到制造商终端3(s58)。当按下“取消”按钮时，把一个费用不支付核对信号传送到制造商终端3。

制造商终端3对于每个半导体制造设备2或每个工厂6把在制造设备侧的银行帐户号码等预先存储在数据库33中，并且根据银行帐户号码连接到收费服务器(未表示)上，从而在制造设备侧经银行帐户可以自动支付费用。

另一方面，当制造商终端3接收费用不支付核对信号时，半导体制造设备2的连接结束。

结束收费的、在制造商终端3侧的操作者判断是由硬件、软件、还是方法的设置产生故障。此外，当能确定故障的内容时，例如，按照确定的故障把故障排除信息输入到输入单元35，并且由此产生故障排除信息。另外，接口31用来把故障排除信息传送到半导体制造设备2(s59)。故障排除信息可以是例如其中确定故障的消息、或者在半导体制造设备2侧使用的软件或方法信息。

更具体地说，例如，判断对于制造设备的硬件而言，难以根据方法制造，则传送用来执行困难方法的新软件。况且，当判断硬件和方法没有故障时，判断软件有故障，并且传送新软件。另外，这里描述的判断例子仅是一个例子，并且任何故障内容都是相关的。

接收故障排除信息的半导体制造设备2的处理器32传送一个故障排除信息接收信号，用于把故障排除信息的接收传送到制造商终端3(s60)，并且把在制造商终端3侧的半导体制造设备2设置在一种可操作状态(s61)。这种设置最好由确认已经传送故障排除信息接收信号的处理器22自动地进行。当然，当在制造商终端3侧操作半导体制造设备2时，如图3的(s2)至(s5)所示可靠地进行证实处理。仅在判断为启用证实的情况下，才可能进行设置。

在已经判断为启用证实的制造商终端3侧，操作者在远离半导体制造设备2的位置中远程操作半导体制造设备2(s62)。半导体制造设备2的操作信息显示在半导体制造设备2的显示器34中，并且类似地显示在制造商终端3的显示器25中。

进行远程操作的操作者使用显示器25核对半导体制造设备2是否正常地操作。如果判断设备正常地操作，则然后判断已经排除故障，并且把指示设备正常操作的信息作为故障判断结果传送。当然，不仅考虑排除故障的情况，而且还考虑能确定故障而没有排除故障的情况。在这种情况下，传送已确定故障的故障判断结果(s63)。故障判断结果可以手动产生，但最好由用来按照远程操作的操作状态的自动判断故障的故障判断程序323判断。

况且，与在制造商终端3侧的故障判断程序323相类似的故障判断处理器223也布置在半导体制造设备2侧的处理器22中，并且通过判断故障得到的判断结果可以传送到制造商终端3。另外，故障判断程序可以布置在半导体制造设备2侧或制造商终端3侧。

进行这样一种故障排除操作，从而能容易和迅速地排除故障而不用把熟悉设备的操作者从制造商侧送到工厂6。

另外，当半导体制造设备2连接到制造商终端3侧上时，制造商终端3要求ID号码和口令，并且进行证实处理，但终端可以连接到设备2侧而不进行证实处理。

(第二实施例)

本发明涉及第一实施例的修改例子。本实施例涉及其中多个半导体制造设备2不是在相同的工厂中的实施例。

图6是示意图，表示根据本实施例的制造设备的控制系统的总体配置。如图6中所示，其中经专用电路1连接制造商终端3和多个半导体制造设备2的配置与图1的配置相类似，但半导体制造设备2布置在不同的工厂6和7中。在对应例子的一个中，工厂6在国内，而一个工厂7在另一个国家内。

在这种情况下，设备启动或故障排除与第一实施类似地进行，并且由此产生与第一实施例的效果类似的效果。此外，在图6中表示的例子中，当在工厂6和7中同时产生故障时，在制造商侧熟悉设备的操作者通常需要访问相应工厂6和7。另一方面，根据本实施例，在制造商3侧能排除故障。因此，能容易和迅速地排除故障。况且，即使对于设备的启动，熟悉设备的操作者也能在制造商侧使用制造商终端3容易和迅速地启动设备。因此，操作者不必为了启动设备而到国外。当然，这甚至能适于在三个或多个工厂中制造设备2的启动、维护、及故障处理。

本发明不限于上述实施例。

例如，如图7中所示，控制系统可以具有其中半导体制造设备2和制造商终端3、及服务器4连接到网络5上的配置。在这种情况下，半导体制造设备2和制造商终端3经网络5传送/接收信息，并且设备2和终端3能访问服务器4以便经服务器4传送/接收信息。网络5的例子包括因特网等，并且制造商终端3使用浏览器连接到因特网上。

况且，已经描述其中本发明适用于半导体制造设备的控制的例子，但这不受限制。例如，能够在任何设备制造领域，如石油工厂设备、食品制造设备、服装制造设备、及医药制造设备，提供设备的方法、提供软件、排除故障、及进行设备的维护而没有任何错误。

另外，在故障发生期间的收费处理中，通知制造商终端侧故障已经发生，并且随后按照故障内容计算故障排除费用。然而，例如，当通过年度合同等进行收费处理时，能省去对于每个产生的故障的收费处理。

此外，在上述实施例中，以上已经描述其中制造商终端3用来控制多个相同类型的半导体制造设备2的例子，但可以控制多个不同的半导体制造设备。在这种情况下，对于相应不同的制造设备传送不同的方法信息和软件。

工业适用性

如上所述，本发明在制造设备、用来控制制造设备的制造设备控制系统、及使用制造设备控制系统的制造设备的控制方法的领域中是有效的，且进一步在通过计算机可读的、其中记录用来控制制造设备的控制程序的记录介质的领域中是有效的。

Claims (20)

1.一种经通信网络控制制造设备的制造设备控制系统，所述控制系统包括：

一个接口，连接到通信网络上，并且向通信网络传送信息和从其接收信息；

一个处理器，连接到所述接口上，并且把控制制造设备的方法信息和软件的至少一个从接口经通信网络传送到制造设备；及

存储装置，连接到所述处理器上，并且存储所述方法信息和软件的至少一个。

2.根据权利要求1所述的制造设备控制系统，其中所述处理器包括设备控制装置，用来经所述通信网络控制所述制造设备。

3.根据权利要求1所述的制造设备控制系统，其中所述处理器包括判断装置，用来根据从所述制造设备经所述接口接收的故障信息判断故障的原因。

4.根据权利要求1所述的制造设备控制系统，其中所述制造设备的控制系统经所述通信网络连接到多个所述制造设备上。

5.一种制造设备，包括：

一个制造单元；

一个接口，连接到通信网络上，并且向通信网络传送信息和从其接收信息；

一个处理器，连接到所述接口上，并且从接口经通信网络得到控制所述制造单元的软件和方法信息的至少一个；及

存储装置，连接到所述处理器上，用来存储所述方法信息和软件的至少一个。

6.根据权利要求5所述的制造设备，其中所述处理器包括设备控制装置，用来根据来自所述通信网络的信号把所述制造单元设置成可控制的。

7.根据权利要求5所述的制造设备，其中所述处理器包括判断装置，用来根据通过控制所述制造单元得到的所述制造单元的操作内容，判断所述制造设备的故障原因。

8.一种制造设备的控制方法，包括：

经通信网络进行对于制造设备的连接请求；

响应对于来自所述制造设备的对识别信息的请求传送识别信息；及

传送用于控制所述制造设备的方法信息和软件的至少一个。

9.根据权利要求8所述的制造设备的控制方法，进一步包括：

在传送所述方法信息和软件的至少一个之后，经通信网络把一个控制信号传送到所述制造设备以控制所述制造设备。

10.根据权利要求8所述的制造设备的控制方法，进一步包括：

根据确定在所述制造设备中产生的故障内容的信息产生确定故障原因的故障判断结果，并且把故障判断结果传送到所述制造设备。

11.根据权利要求8所述的制造设备的控制方法，进一步包括：

根据确定在所述制造设备中产生的故障的内容的信息，经通信网络把一个控制信号传送到所述制造设备以控制所述制造设备。

12.根据权利要求8所述的制造设备的控制方法，进一步包括：

根据确定在所述制造设备中产生的故障的内容的信息，传送用来排除故障的方法信息和软件的至少一个。

13.根据权利要求8所述的制造设备的控制方法，进一步包括：

根据确定在所述制造设备中产生的故障的内容的信息，传送用来排除故障的方法信息和软件的至少一个，

其中当用来排除故障的费用信息被呈现给所述制造设备，并且从所述制造设备接收到指示确定要支付排除所述故障的费用信息时，向所述制造设备传送用来排除所述故障的方法信息和软件的至少一个。

14.根据权利要求8所述的制造设备的控制方法，其中布置多个所述制造设备，并且

相对于所述多个制造设备，进行所述连接请求、和所述识别信息的传送及所述方法信息和软件的至少一个的传送。

15.一种制造设备的控制方法，该制造设备包括一个制造单元、一个控制制造单元的处理器、和一个连接到处理器上并且向通信网络传送信息和从其接收信息的接口，所述方法包括：

经所述接口从所述通信网络接收控制制造设备的软件和方法信息的至少一个；和

根据所述接收的软件和方法信息的至少一个控制所述制造设备。

16.根据权利要求15所述的制造设备的控制方法，进一步包括：

根据经所述接口从所述通信网络得到的控制信号控制所述制造单元。

17.根据权利要求15所述的制造设备的控制方法，其中所述处理器包括：

根据基于所述接收的软件和方法信息的至少一个控制的所述制造单元的操作内容，检测所述制造设备的故障；

经通信网络传送所述检测到的故障的内容，并且提示用来排除故障的方法信息和软件的至少一个；及

根据所述提出的方法信息和软件的至少一个，操作所述制造单元。

18.根据权利要求15所述的制造设备的控制方法，其中所述处理器包括：

根据基于所述接收的软件和方法信息的至少一个控制的所述制造单元的操作内容，检测所述制造设备的故障；

经通信网络传送所述检测到的故障的内容，并且提示用来排除故障的方法信息和软件的至少一个；

根据所述提出的方法信息和软件的至少一个，操作所述制造单元；及

根据所述制造单元的操作内容判断所述故障的原因。

19.一种计算机可读记录介质，其中记录制造设备的控制程序以实现：

一个使包括接收单元的制造设备请求经通信网络的连接的功能；

一个引起按照对识别信息的请求从接收单元传送识别信息的功能；及

一个引起传送控制制造设备的方法信息和软件的至少一个的功能。

20.一种计算机可读记录介质，其中记录用来控制制造设备的程序，该制造设备包括一个制造单元、一个控制制造单元的处理器、和一个连接到处理器上以借助于通信网络传送/接收信息的接口，用以实现：

一个引起从所述通信网络经所述接口接收控制制造设备的软件和方法信息的至少一个的功能；和

一个引起根据所述软件和方法信息的至少一个控制所述制造设备的功能。

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