JPH11274022A

JPH11274022A - 生産装置管理システム

Info

Publication number: JPH11274022A
Application number: JP16834398A
Authority: JP
Inventors: Shinei Ko; 振栄黄
Original assignee: NODAICHI DENSHI KK
Current assignee: NODAICHI DENSHI KK
Priority date: 1998-01-26
Filing date: 1998-06-16
Publication date: 1999-10-08

Abstract

(57)【要約】【課題】多種多様の生産装置の稼働状況や生産数量等を
リアルタイムに一括して収集することができる生産装置
管理システムを提供する。【解決手段】少なくとも、各種の生産装置から出力され
る種々の信号を入力するインターフェースユニットと、
インターフェースから出力される信号に基づいて管理情
報を求めるデータ収集ユニットと、その管理情報を解析
する解析装置とから構成されるシステムを構成し、イン
ターフェースユニットにおいて、生産装置から出力され
る信号をデータ収集ユニットが認識できる一定の形式に
変換して出力するようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の生産装置に
接続して使用され、各生産装置の稼働率や生産数量等を
リアルタイムに解析して把握し、その状況を表示及び／
またはデータとして蓄積することができる生産装置管理
システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】生産工場等において、コストの削減、工
期の短縮を行うためには、多種多様で高価な生産装置の
個々の稼働率を高めていくことが必要不可欠であり、そ
のためには生産装置の稼働状況や生産数量等の情報を的
確に集計して把握する必要がある。

【０００３】このような稼働率集計システムとしては、
例えば、特開平６−３２５９９３号公報に開示された発
明が従来例として公知になっている。この従来例は、制
御装置に対して複数の半導体製造装置が並列に接続され
ると共に、各半導体製造装置毎に稼働状態検知部、稼働
内容検知部及び操作盤が設けられており、その操作盤に
稼働状態及び稼働内容が表示されるシステムである。

【０００４】そして、制御部には操作盤と稼働率管理部
とが設けられており、半導体製造装置からの稼働内容及
びその遷移等の信号を受けて稼働率を計算し、予め設定
された稼働率よりも低い値となったときに、前記操作盤
に警報表示をさせると共に、各半導体製造装置毎に設け
てある操作盤に稼働状態と稼働内容とが表示されるとい
うものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来例の発明
においては、各半導体製造装置毎に操作盤が設けられて
いて、個別に稼働状態と稼働内容とが表示されるため、
作業者は適宜巡回しながら各半導体製造装置の操作盤を
順次チェックしなければならず、チェックのための時間
的な制約を受けて作業性が悪くなるばかりでなく、制御
装置側にも操作盤が接続されていることから、余分な操
作盤が必要であって、システムとして高価になるという
問題点を有している。

【０００６】また、制御装置側においては、各半導体製
造装置からの信号によって稼働状態及び稼働内容を集計
して演算し、稼働率を算出して稼働率が所定値を下回っ
た場合に警報信号を発し、操作盤にそれを表示するもの
であるが、各半導体製造装置毎におけるリアルタイムの
稼働状況や生産数量等は表示しないものであるので、各
半導体製造装置におけるリアルタイムの表示等は、前記
した各半導体製造装置に設けられている操作盤に頼る以
外になく、一箇所での集中管理ができないという問題点
を有している。

【０００７】更に、個々の生産装置の稼働状況や生産数
量等をリアルタイムに一箇所で収集して解析できるよう
な市販のシステムは一般にホストコンピュータが使用さ
れていて配線等も複雑で高価であるため、実際にはこの
種の半導体製造装置のような生産装置の稼働状況等を把
握することは行われておらず、コストの増大を伴わずに
生産管理を行うことは困難であった。

【０００８】従って、従来技術においては、同種または
異種の多数の生産装置における稼働状況や生産数量等を
リアルタイムに一箇所で集中管理し、且つその状態をリ
アルタイムで表示すると共に、安価で提供できるシステ
ムの開発に解決しなければならない課題を有している。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの具体的手段として本発明は、少なくとも、各種の生
産装置に接続されて該生産装置から出力される種々の信
号を入力するインターフェースユニットと、該インター
フェースユニットに接続されて該インターフェースユニ
ットから出力される信号に基づいて管理情報を求めるデ
ータ収集ユニットと、該データ収集ユニットと接続され
て該データ収集ユニットから出力される管理情報を解析
するデータ解析装置とを含み、インターフェースユニッ
トは、生産装置から出力される信号をデータ収集ユニッ
トが認識できる一定の形式の信号に変換して出力するよ
うにした生産装置管理システムを提供する。

【００１０】そして、インターフェースユニットは、生
産装置の内部に収容するようにしたこと、解析装置には
解析結果を表示するようにしたこと、解析装置は、ネッ
トワークを介してデータ収集ユニットに接続したこと、
複数の解析装置をネットワークを介して接続したことを
付加的要件とするものである。

【００１１】このような生産装置管理システムによれ
ば、同種または異種の生産装置からランダムに出力され
る種々の情報をひとつの解析装置によって扱うことがで
き、リアルタイムに数百台以上の装置の稼働状況や生産
数量等を把握し、一括して管理することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、半導
体製造装置における半導体デバイスの生産状況を管理す
るシステムを例に挙げて説明する。図１に示すシステム
は、本発明に係る生産装置管理システム１０を各種の半
導体製造装置に接続することにより半導体デバイスの生
産状況を管理できるようにしたシステムの構成の一例を
示したものである。ここで接続される半導体製造装置と
しては、例えば、ウェーハをチップごとに切断（ダイシ
ング）するダイシング装置、ダイシングしてできたチッ
プをリードフレームに位置決めして装着するダイボン
ダ、装着したチップとリードフレームの電極とをワイヤ
ボンディングするワイヤボンダ等の様々な装置があり、
これらはメーカーによってそれぞれ機能が異なるもので
ある。

【００１３】まず、生産装置管理システム１０の概要に
ついて説明する。生産装置管理システム１０は、多数の
半導体製造装置２０、２１、２２、２３、２４……Ｎに
対して、各一台毎に取り付けられるインターフェースユ
ニット１１と、インターフェースユニット１１から出力
される信号を収集するデータ収集ユニット１２と、デー
タ収集ユニット１２から出力される信号を解析する解析
装置１３とから概ね構成されている。

【００１４】インターフェースユニット１１は、最大で
５点の入力チャンネルを有しており、各半導体製造装置
から出力される種々の信号を一定の形式の信号に変換し
て出力するものである。データ収集ユニット１２は、イ
ンターフェースユニット１１から出力された信号に基づ
いて各半導体製造装置の稼働状況を判断してその結果を
出力するものである。

【００１５】各種の半導体製造装置からは、通常は装置
毎にそれぞれ異なる形式の種々の信号が出力されてお
り、インターフェースユニット１１においては、これら
同種または異種の半導体製造装置から出力される稼働状
況や故障を知らせるあらゆる信号をデータ収集ユニット
１２が認識できる形式の信号に変換して出力することが
できる。なお、インターフェースユニット１１は半導体
製造装置の内部に収容してもよいし、外部に取り付ける
ようにしてもよい。

【００１６】そして、データ収集ユニット１２は、イン
ターフェースユニット１１から出力された信号に基づい
て半導体製造装置の稼働状況や生産数量等からなる管理
情報を求めて解析装置１３へと出力する。例えば、故障
を示す信号が出力された場合には、その旨を解析装置１
３に伝える。

【００１７】データ収集ユニット１２は、二つのネット
ワーク接続端子１４ａ、１４ｂを有しており、これによ
っていわゆるリング型のネットワーク接続が可能となっ
ている。また、データ収集ユニット１２には、少なくと
も４個の手動スイッチ１５、１６、１７、１８が設けら
れており、これらの手動スイッチは、例えば、各半導体
製造装置毎の製品切れ、人員不足、調整中（故障等）の
信号を出力させるべく設定させるものであり、そのうち
の一つがこれらの設定をキャンセルするためのスイッチ
であって、作業者により選択的に切り替えることができ
る。手動スイッチ１５〜１８の操作によって発生する信
号に基づき、インターフェースユニット１１からの信号
と同様に管理情報を求めて解析装置１３に送ることがで
きる。

【００１８】また、これら手動スイッチは、前記の機能
の他に、例えば、作業の段取りまたは生産予定数等の設
定にも使用することができる。即ち、個別の半導体製造
装置において、管理者が予定している生産数量の設定を
しておけば、作業者が個別にそのスイッチを押すことで
その生産予定数を知ることができ、生産すべき製品が少
なくなったときに、すぐに補給して各装置を停止させる
ことなく、スムーズに生産を続けて生産の効率アップを
図ることができる。

【００１９】解析装置１３は、例えばパーソナルコンピ
ュータであり、データ収集ユニット１２から送られてく
る管理情報を蓄積したり、図２に示したように、各半導
体製造装置の稼働率等をユーザー（管理者、作業者等）
に分かり易い形で表示したり、ネットワークを介して他
のコンピュータへその情報を転送したりすることができ
る。

【００２０】図１に示したシステムにおいては、各デー
タ収集ユニット１２から出力された種々の情報またはデ
ータは、適宜のネットワークを経由して解析装置１３に
集められ、解析装置１３において一括して管理される。
なお、ネットワークは数百メートルまで延長することが
でき、データ収集ユニットは数百個まで接続可能で、ト
ラフィックの予測も可能である。

【００２１】また、システムを図３に示したような異な
るトポロジが混在する構成とすることもできる（フリー
トポロジ）。図３に示した例においては、リング型とバ
ス型とスター型のネットワークが三台の解析装置１３、
ＬＡＮ１９ａを介してサーバー１９と接続された構成と
なっている。この構成によれば、サーバー１９におい
て、各半導体製造装置の稼働状況を一括して管理するこ
とができる。また、各解析装置に蓄積された情報は、ネ
ットワークを介して他の解析装置からも利用することが
できる。

【００２２】次に、上記のように構成される生産装置管
理システム１０の構成及び動作の詳細について説明す
る。

【００２３】インターフェースユニット１１は、例え
ば、図４に示すような変換回路３０を入力信号ごとに有
し、この変換回路３０は、比較部３１と、表示部３２
と、伝達部３３と、タイマー部３４とから構成される。

【００２４】比較部３１は、変換の対象となる入力信号
の電圧と、所要範囲の任意の値に調整可能な電圧との比
較を行い、比較結果に基づいて一定の信号を出力するも
ので、具体的には、演算増幅器３５からなるコンパレー
タからなる。なお、図４の変換回路３０においては、入
力信号としてＤＣ５Ｖ以下を想定している。

【００２５】演算増幅器３５の非反転入力端子（＋端
子）３６には、半導体製造装置から出力される入力信号
が入力され、反転入力端子（−端子）３７には、可変抵
抗器３８の可動端子３９が接続されている。そして可変
抵抗器３８の固定端子のうち、一方の端子は５Ｖの電源
へ、他方の端子はアースへと接続されている。

【００２６】可動端子３９は、可変抵抗器３８上を所定
範囲移動可能であり、移動により抵抗値が変化する。可
変抵抗器３８としては、例えば最大で５ｋΩ程度の抵抗
値を有するものを使用する。可動端子３９の移動は、例
えば図５に示すトリマ４６のような適宜の調整スイッチ
の調整により行われる。

【００２７】演算増幅器３５の出力端子４１は、伝達部
３３を構成するフォトカプラ４２における発光ダイオー
ド（ＬＥＤ）４３のカソードに接続されている。また、
ＬＥＤ４３のアノードは、表示部３２を構成するＬＥＤ
４４のカソードに接続される。更に、ＬＥＤ４４のアノ
ードは、抵抗Ｒ１を介して５Ｖの電源に接続される。

【００２８】フォトカプラ４２を構成するフォトトラン
ジスタ４５のエミッタ端子はアースへ、コレクタ端子は
抵抗Ｒ２を介して５Ｖの電源に接続されると共に、コン
デンサＣ１を介してアースへと接続されている。また、
コレクタ端子は、抵抗Ｒ３を介してタイマー部３４へと
接続されている。タイマー部３４においては、伝達部３
３から出力される信号を、データ収集ユニット１２が認
識できるようタイミングの調整をする。

【００２９】データ収集ユニット１２の内部は、図６に
示すように、インターフェースユニット１１及びネット
ワークとの間でデータの送受信を行うトランシーバ５１
と、データ収集ユニット１２全体の制御を行うプロセッ
サ５２と、ファームウェア等を記憶したＲＯＭ５３と、
ファームウェアが主としてワークエリアとして使用する
ＲＡＭ５４と、ネットワークにおけるアドレスを設定可
能なＤＩＰスイッチ５５と、これらをアクセスするため
の信号を発生するアドレスデコーダ５６とから構成され
る。

【００３０】トランシーバ５１としては、フリートポロ
ジーに対応した製品を用いる。また、これに伴い、プロ
セッサ５２としては、フリートポロジーに対応したトラ
ンシーバ５１との接続が可能な製品を使用する。そし
て、トランシーバ５１とプロセッサ５２とはシリアル信
号線によって接続されている。

【００３１】ＲＯＭ５３には、プロセッサ５２のメーカ
ーが提供するファームウェア及びユーザーが作成するプ
ログラムが格納されており、ＲＯＭ５３からプログラム
が読み出され、プロセッサ５２において実行されて各種
の処理が行われる。

【００３２】アドレスデコーダ５６においては、プロセ
ッサ５２から出力されるアドレス信号に基づいて、ＲＯ
Ｍ５３、ＲＡＭ５４、ＤＩＰスイッチ５５をアクセスす
るための選択信号が出力される。また、ネットワークア
ドレスをＤＩＰスイッチ５５に設定しておくことによ
り、随時その値を読み出すことができる。

【００３３】手動スイッチ１５〜１８は、プロセッサ５
２に接続されており、各スイッチのオン／オフに関する
情報は、プロセッサ５２へと伝えられ、インターフェー
スユニット１１からの信号と同様に解析装置１３に送る
ことができる。

【００３４】解析装置１３においては、図２に示したよ
うに、各半導体製造装置の稼働率等をユーザー（作業者
または経営者）に分かり易い形で表示したり、ＬＡＮを
介して他のコンピュータへその情報を転送したりするこ
とができる。

【００３５】各種の半導体製造装置からは、通常は装置
毎にそれぞれ異なる形式で、稼働状況や故障の発生等を
知らせるための種々の信号が出力されており、これらの
信号は、図４における演算増幅器３５の＋端子３６に入
力される。演算増幅器３５においては、＋端子３６に入
力される入力信号の電圧と可変抵抗器３８の可動端子３
９に接続されている−端子３７における電圧とが比較さ
れ、入力信号の電圧の方が高いときは、演算増幅器３５
の仕様に基づき、出力端子４１から一定の電圧を有する
ハイレベルの信号が出力される。一方、−端子３７にか
かる電圧の方が高いときは、ロウレベルの信号が出力さ
れる。

【００３６】演算増幅器３５の出力端子４１からハイレ
ベルの信号が出力されたときは、ＬＥＤ４４には電流が
流れないため、ＬＥＤ４４は消灯状態である。一方、出
力端子４１からロウレベルの信号が出力されたときは、
ＬＥＤ４４に電流が流れてＬＥＤ４４が点灯する。

【００３７】電圧の不明な入力信号を演算増幅器３５の
出力端子４１から出力される一定の電圧の信号に変換し
ようする場合は、入力信号がオンかオフかを判断するた
めの電圧の境界値である閾値を決定する必要があり、こ
の閾値は、可変抵抗器３８の抵抗値の調整による−端子
３７の電位によって決定される。

【００３８】可変抵抗器３８の抵抗値を設定しようとす
るときは、まず最初に、入力信号が常にオンとなるよう
に、信号の発生源となる半導体装置側を設定しておく。
具体的には、例えば、その入力信号が、装置の故障を意
味する信号である場合は、その装置に何らかの故障を発
生させることによって入力信号を常時オンにしておく。

【００３９】また、トリマ４６の回転部４７の回転によ
り可動端子３９をアース側よりに位置させて、即ち、抵
抗値を高めに設定して−端子３７の電位を予め低い値に
設定し、出力端子４１からの出力をハイレベルとし、Ｌ
ＥＤ４４を消灯状態としておく。例えば、−端子の電位
が０．２Ｖ程度となるようにしておく。但し、トリマ４
６の調整をする者は、−端子３７の電位が何ボルトであ
るかを意識する必要はない。

【００４０】この状態からトリマ４６の回転部４７をゆ
っくりと回転させ、可動端子３９を電源側に向けて移動
させることにより、抵抗値を徐々に上げて−端子３７の
電位を高くしていく。このとき操作者は、回転部４７を
回転させる作業を行うと同時に、ＬＥＤ４４が点灯する
か否かを監視する。

【００４１】−端子３７の電位が高くなっていき、やが
て−端子３７の電位が＋端子３６の電位よりも高くなる
と、出力端子４１から出力される信号はロウレベルとな
り、これによりＬＥＤ４４が点灯する。トリマ４６の調
整を行う者は、ＬＥＤ４４の点灯によって、−端子３７
の電位が＋端子３６の電位より高くなったことを知るこ
とができる。即ち、ＬＥＤ４４が消灯状態から点灯状態
へと切り替わった時の−端子３７の電位は、＋端子３６
の電位、即ち入力信号の電圧と等しい。なお、ＬＥＤ４
４が消灯状態から点灯状態へと切り替わる時の電圧には
３〜１０％程の幅があることが実験により確認された。

【００４２】上記のようにして入力信号の電圧を判断で
きるため、ＬＥＤ４４が消灯状態から点灯状態へと切り
替わったときよりも−端子３７の電位が若干低くなるよ
うにトリマ４６の回転部４７を設定しておき、そのとき
の−端子３７の電位を閾値とすれば、その閾値と入力信
号の電圧との大小関係に基づいて出力端子４１からの出
力が決定される。即ち、入力信号の発生源である半導体
製造装置の仕様上、入力信号がオンのときには出力端子
４１からの出力信号がロウレベルとなり、逆に入力信号
がオフのときには出力信号がハイレベルとなり、入力信
号は、当該入力信号の発生源におけるオン／オフに対応
した一定の電圧の信号に変換される。

【００４３】こうして変換された信号は、伝達部３３を
構成するフォトカプラ４２を介してタイマー部３４へと
伝達される。

【００４４】なお、上記の例では、入力信号としてＤＣ
５Ｖ以下を想定した回路構成としたが、ＤＣ５Ｖ以上で
あっても、例えば図７のように入力信号と＋端子３６と
の間に適宜の抵抗Ｒ４、Ｒ５を介在させて電圧が降下す
るようにしておけば、５Ｖ以上の電圧の信号にも対応す
ることができると共に、５Ｖ以下の信号にも対応でき
る。

【００４５】また、入力信号にノイズが混入しているこ
とが予想される場合には、図８のように、Ｒ５と並列に
ノイズ除去用のコンデンサＣ２を接続することにより対
応することができる。

【００４６】更に、入力信号が交流信号の場合は、電圧
に応じて個別に図９のように回路を構成し、その電圧に
対応してそれぞれ固有の抵抗値を持つＲ６、Ｒ７を用い
ることにより、一定の電圧の信号に変換することができ
る。この場合は、演算増幅器や可変抵抗器は用いない。

【００４７】なお、半導体製造装置から稼働状況を示す
信号が出力されない場合であっても、故障時に作動する
パトライトなどの表示装置から信号を取り出したり、装
置内部における特定の部位の動作を監視するセンサを設
けてセンサから一定の信号が出力されるようにしたりす
ることにより、上記と同様に一定レベルの電圧に変換す
ることができる。

【００４８】また、トリマ４６には抵抗値や電圧を示す
目盛りが付いている必要はない。即ち、トリマ４６の調
整を行う者は、抵抗値や電圧等の値を意識することな
く、単に表示部３２の表示内容、つまりＬＥＤ４４が点
灯したかどうかについての情報のみに基づいて閾値を設
定することができる。従って、トリマ４６の調整は、電
気的知識がない者であっても容易に行うことができ、閾
値が結果的に何ボルトとなったのかを知る必要もない。

【００４９】変換された信号のタイミングは半導体製造
装置によりそれぞれ異なり、場合によってはそのままの
タイミングではデータ収集ユニット１２が認識すること
ができないこともあり得るため、タイマー部３４におい
て信号のタイミングの調整を行い、タイミング調整後の
信号をデータ収集ユニット１２に出力する。

【００５０】以上のようにしてインターフェースユニッ
ト１１から出力された信号に基づき、データ収集ユニッ
ト１２においては、半導体製造装置の稼働状況や生産数
量等からなる管理情報を求めて出力する。例えば、半導
体製造装置において、ひとつの生産が行われる毎にその
旨を示す信号が出力される場合には、プロセッサ５２に
おいてその信号の数をカウントアップすることによって
生産数を求めて解析装置１３に送信すると共に、ＲＡＭ
５４にも記憶させておく。そして、生産数の情報を受信
した解析装置１３においては、その生産数を画面表示す
ることにより、管理者、使用者は生産状況を的確に把握
することができる。

【００５１】また、手動スイッチ１５〜１８のいずれか
が押された場合、例えば、製品切れや故障を示すスイッ
チが押された場合は、直ちにその旨を知らせる信号を解
析装置１３に出力し、解析装置１３においてはその旨を
表示する。このようにすることにより、管理者、作業者
等は、製品切れや故障が発生したことをいち早く知るこ
とができる。

【００５２】また、トランシーバ５１、プロセッサ５２
として、フリートポロジーに対応した製品を用いたた
め、システムを図３に示したような異なるトポロジが混
在する構成とすることもできる。従って、ネットワーク
の自由度が増し、工場における生産計画の変更に伴う装
置のレイアウト変更等があった場合においても、システ
ム稼働中の接続変更などのメンテナンスが可能となる。

【００５３】なお、本発明に係る生産装置管理システム
は、本実施の形態で示した半導体製造装置の管理だけで
なく、様々な分野における生産装置の管理に適用するこ
とができる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る生産
装置管理システムは、同種または異種の生産装置から出
力される種々の情報をひとつの解析装置によって扱うこ
とができ、リアルタイムに数百台以上の装置の稼働状況
や生産数量等を把握し、一括して管理することができる
ため、生産装置の能力の比較、機械部品の交換時期の予
測、人員と装置の最適な配置の決定等により工程を低コ
ストで容易に改善することができ、工期を短縮できるよ
うになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る生産装置管理システムの実施の形
態の一例の構成を示す説明図である。

【図２】同システムの解析装置の画面表示例を示す説明
図である。

【図３】同システムの第二の実施の形態の構成を示す説
明図である。

【図４】インターフェースユニットにおける変換回路を
示す回路図である。

【図５】インターフェースユニットに配設されるトリマ
の一例を示す正面図である。

【図６】データ収集ユニットの構成を示すブロック図で
ある。

【図７】インターフェースユニットにおける変換回路の
変形例を示す回路図である。

【図８】インターフェースユニットにおける変換回路の
変形例を示す回路図である。

【図９】インターフェースユニットにおける変換回路の
変形例を示す回路図である。

【符号の説明】

１０……生産装置管理システム、１１……インターフ
ェースユニット１２……データ収集ユニット、１３…
…解析装置、１４ａ、１４ｂ……ネットワーク接続端
子、１５、１６、１７、１８……手動スイッチ、１９…
…サーバー、１９ａ…… ＬＡＮ、２０、２１、２
２、２３、２４……半導体製造装置、３０……変換回
路、３１……比較部、３２……表示部、３３……
伝達部、３４……タイマー部、３５……演算増幅器、
３６……＋端子、３７……−端子、３８……可変抵
抗器、３９……可動端子、４１……出力端子、４２
……フォトカプラ、４３、４４……ＬＥＤ、４５……
フォトトランジスタ、４６……トリマ、４７……回転
部、５１……トランシーバ、５２……プロセッサ、
５３……ＲＯＭ、５４……ＲＡＭ、５５……ディップ
スイッチ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも、各種の生産装置に接続され
て該生産装置から出力される種々の信号を入力するイン
ターフェースユニットと、該インターフェースユニット
に接続されて該インターフェースユニットから出力され
る信号に基づいて管理情報を求めるデータ収集ユニット
と、該データ収集ユニットと接続されて該データ収集ユ
ニットから出力される管理情報を解析する解析装置とを
含み、該インターフェースユニットは、前記生産装置か
ら出力される信号をデータ収集ユニットが認識できる一
定の形式の信号に変換して出力するようにした生産装置
管理システム。
【請求項２】インターフェースユニットは、生産装置の
内部に収容するようにした請求項１に記載の生産装置管
理システム。
【請求項３】解析装置には解析結果を表示するようにし
た請求項１または２に記載の生産装置管理システム。
【請求項４】解析装置は、ネットワークを介してデータ
収集ユニットに接続した請求項１乃至３に記載の生産装
置管理システム。
【請求項５】複数の解析装置をネットワークを介して接
続した請求項１乃至４に記載の生産装置管理システム。