JP6097594B2 - 製造装置およびパラメータ変更方法 - Google Patents

Description

この発明は、製造装置の動作を規定するパラメータを変更する技術に関する。

製造装置は、一般に、その製造者であるベンダから、使用者であるユーザに提供され、ユーザの下で（例えば、ユーザが保有する工場等に設置されて）使用される。ベンダから提供される製造装置には、ベンダの機密情報等が含まれていることが多い。したがって、ベンダから提供された製造装置が、ユーザの下で使用される際に、当該製造装置に含まれるベンダの機密情報がユーザに知得されないようにする必要がある。

例えば、製造装置は、多くの種類のパラメータによってその動作が規定されている（例えば、特許文献１参照）ところ、一部のパラメータ（例えば、設定値によっては、製造装置の安全性が損なわれる危険があるパラメータ、製造装置の仕様に関するパラメータ等）は、ユーザに対して非公開とするべきベンダの機密情報として管理される。

製造装置に保持される機密情報の機密性を保つための技術は、各種提案されている（例えば、特許文献２〜５参照）。

特開２００３−１００６１８号公報 特開平８−１０７０９６号公報 特開２０１１−９０６３０号公報 特開２００３−３１４５２号公報 特開２００７−３２９２８４号公報

ところで、ユーザの下で使用されている製造装置において、ユーザに対して非公開とされているパラメータの設定値を変更しなければならない状況が生じることがある。例えば、ユーザからの仕様変更の要求があった場合、また、製造装置にトラブルが発生しており、当該トラブルを解消するために非公開のパラメータの設定値を変更する必要がある場合等において、非公開のパラメータ値の設定値を変更する必要が生じる。

従来、このような状況が生じた場合、ベンダのエンジニアがユーザの工場まで出向いていって、ベンダの権限で製造装置にアクセスして（具体的には、例えば、ベンダ専用のパスコードで製造装置にアクセスして）、非公開パラメータの設定値を変更する作業を行っていた（例えば、特許文献２参照）。ところが、このやり方では、非公開のパラメータの設定値を変更するのに要する時間、手間、および、コストが非常に大きい。

例えば、限定されたユーザだけに、非公開のパラメータの設定値を変更できる権限を与えておき、そのユーザの識別情報が入力された場合に限って、非公開のパラメータの設定値を変更するための画面が製造装置に表示される構成とすることも一案である（例えば、特許文献５参照）。このやり方は、ベンダがわざわざユーザの工場まで出向く必要がないため、時間、手間、および、コストの全てが抑えられるという利点がある一方で、非公開のパラメータの設定値の機密性が損なわれやすいという欠点がある。

この発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、パラメータの機密性を損なわずに、パラメータの設定値の変更を簡易に行えるような技術を提供することを目的とする。

第１の態様は、自装置の動作を規定するパラメータの設定値を記憶する記憶装置を有する製造装置であって、前記パラメータが、前記製造装置のユーザに対して非公開とされており、前記製造装置は、前記パラメータの設定値の変更指示が暗号化された暗号化記号列の入力を受け付ける暗号化記号列受付部と、前記暗号化記号列受付部が受け付けた前記暗号化記号列を復号して、前記変更指示を取得する復号部と、を備え、前記変更指示は、当該変更指示が対象とするパラメータの種類を特定するための第１情報、前記パラメータの変更値を規定する第２情報、当該変更指示の適用可能期間を規定する第３情報および当該変更指示が対象とする装置を特定するための第４情報を含み、前記製造装置は、前記復号部が取得した前記変更指示の前記第３情報および前記第４情報に基づいて、当該変更指示が有効か否かを判断する評価部と、前記記憶装置に記憶されている前記パラメータの設定値を、前記評価部が有効であると判断した前記変更指示の前記第１情報および前記第２情報に基づいて変更する変更部と、前記評価部が有効であると判断した前記変更指示に対応する情報を表示し、前記第１情報および前記第２情報の表示を禁止する表示部と、を更に備える。

第２の態様は、第１の態様に係る製造装置であって、前記暗号化記号列受付部が、前記暗号化記号列が記述されたファイルを読み込むことによって、前記暗号化記号列の入力を受け付ける。

第３の態様は、第１の態様に係る製造装置であって、前記暗号化記号列受付部が、前記暗号化記号列の直接入力を受け付ける。

第４の態様は、第１から第３のいずれかの態様に係る製造装置であって、前記製造装置が、基板に対して定められた処理を行う基板処理装置である。

第５の態様は、記憶装置に記憶されたパラメータの設定値によって動作が規定される製造装置において、前記パラメータの設定値を変更する方法であって、前記パラメータが、前記製造装置のユーザに対して非公開とされており、前記方法は、ａ）前記パラメータの設定値の変更指示が暗号化された暗号化記号列の入力を受け付ける工程と、ｂ）前記ａ）工程で受け付けられた前記暗号化記号列を復号して、前記変更指示を取得する工程と、を備え、前記変更指示は、当該変更指示が対象とするパラメータの種類を特定するための第１情報、前記パラメータの変更値を規定する第２情報、当該変更指示の適用可能期間を規定する第３情報および当該変更指示が対象とする装置を特定するための第４情報を含み、前記方法は、ｂ１）前記ｂ）工程で取得された前記変更指示の前記第３情報および第４情報に基づいて、当該変更指示が有効か否かを判断する工程と、ｃ）前記記憶装置に記憶されている前記パラメータの設定値を、前記ｂ１）工程で有効であると判断された前記変更指示の前記第１情報および前記第２情報に基づいて変更する工程と、ｄ）前記ｂ１）工程で有効であると判断された前記変更指示に対応する情報を表示し、前記第１情報および前記第２情報の表示を禁止する工程と、を更に備える。

第６の態様は、第５の態様に係るパラメータ変更方法であって、前記ａ）工程において、前記暗号化記号列が記述されたファイルを読み込むことによって、前記暗号化記号列の入力が受け付けられる。

第７の態様は、第５の態様に係るパラメータ変更方法であって、前記ａ）工程において、前記暗号化記号列の直接入力が受け付けられる。

第８の態様は、第５から第７のいずれかの態様に係るパラメータ変更方法であって、前記製造装置が、基板に対して定められた処理を行う基板処理装置である。

第１、第５の態様によると、製造装置は、暗号化記号列の入力を受け付け、当該入力された暗号化記号列に基づいて、自装置のパラメータの設定値を変更する。この構成によると、パラメータの設定値の変更指示が暗号化記号列とされているので、これを製造装置に入力する者（例えば、製造装置のユーザ）に、当該変更指示の内容が知得されることがない。したがって、パラメータの機密性を損なわずに、パラメータの設定値の変更を簡易に行うことができる。

しかも、製造装置のユーザに対して非公開とされているパラメータの設定値を、その機密性を十分に保持しつつ、簡易に変更することができる。

しかも、変更指示に、パラメータの種類を特定するための情報が含まれる。この構成によると、特定のパラメータの設定値を、その機密性を損なわずに変更することができる。

しかも、変更指示に、パラメータの変更値を規定する情報が含まれる。この構成によると、パラメータの機密性を損なわずに、その設定値を任意の値に変更することができる。

しかも、変更指示に、その適用可能期間を規定する情報が含まれる。この構成によると、変更指示に基づいてパラメータの設定値が変更される期間を限定することができる。これによって、製造装置のパラメータを適切に管理することが可能となる。

しかも、変更指示に、これが対象とする装置を特定するための情報が含まれる。この構成によると、変更指示に基づいてパラメータの設定値が変更される装置を限定することができる。これによって、製造装置のパラメータを適切に管理することが可能となる。

第２、第６の態様によると、暗号化記号列が記述されたファイルを読み込むことによって、当該暗号化記号列の入力が受け付けられる。この構成によると、製造装置のユーザが暗号化記号列を入力する手間が省かれるとともに、暗号化記号列が正確に受け付けられる。

第３、第７の態様によると、暗号化記号列の直接入力が受け付けられる。この構成によると、製造装置のユーザが暗号化記号列を直接入力することによって、暗号化記号列が簡易に受け付けられる。

第４、第８の態様によると、基板処理装置の動作を規定するパラメータの機密性を損なわずに、パラメータの設定値の変更を簡易に行うことができる。

製造システムの全体構成を示すブロック図である。 基板処理装置の全体構成を示すブロック図である。 制御部等のハードウェア構成を示すブロック図である。 パラメータ管理ファイルの構成例を示す図である。 パラメータの設定値を変更する処理の全体の流れを示す図である。 ベンダ管理装置が備える機能構成を示すブロック図である。 変更指示受付画面の構成例を示す図である。 ベンダ管理装置にて行われる処理の流れを示す図である。 基板処理装置が備える機能構成を示すブロック図である。 暗号化記号列受付画面の構成例を示す図である。 基板処理装置にて行われる処理の流れを示す図である。 変形例に係るパラメータ管理ファイルの構成例を示す図である。 変形例に係る変更指示受付画面の構成例を示す図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、図面においては、理解容易のため、各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。

＜１．製造システム１００＞
実施の形態に係る製造システム１００について、図１を参照しながら説明する。図１は、製造システム１００の全体構成を示すブロック図である。

製造システム１００は、１以上の製造装置（ここでは、半導体装置や液晶ディスプレイ等の製品の製造に供される基板Ｗに対して定められた処理を行う基板処理装置１）と、基板処理装置１のユーザＵが管理するユーザ管理装置２と、基板処理装置１のベンダＶが管理するベンダ管理装置３とを含む。ユーザ管理装置２とベンダ管理装置３とは、例えば、インターネットなどの外部ネットワークＮ等を介して互いに接続されている。もっとも、製造システム１００には必ずしもユーザ管理装置２が含まれている必要はない。また、製造システム１００に含まれる基板処理装置１は必ずしも複数である必要はなく、１個であってもよい。

＜i．基板処理装置１＞
基板処理装置１は、例えば、ユーザＵの工場１０１内に配置される。ただし、基板処理装置１は、外部ネットワークＮとは接続されていないことが好ましい。この構成によると、基板処理装置１内に保持されている機密情報が、外部ネットワークＮを介して工場１０１の外に漏洩することを防止できる。もっとも、基板処理装置１は、工場内ＬＡＮ等の内部ネットワークとは接続されていてもよく、当該内部ネットワークを介して、工場１０１内のコンピュータ（ただし、外部ネットワークＮとは接続されていないコンピュータ）等と接続されていてもよい。

基板処理装置１は、具体的には、例えば、感光材料が形成された基板Ｗに、パターン（例えば、回路パターン）を露光（描画）する装置（所謂、描画装置）である。ここで、基板処理装置１の構成について、図２、図３を参照しながら具体的に説明する。図２は、基板処理装置１の全体構成を示すブロック図である。図２は、制御部１４０のハードウェア構成を示すブロック図である。

基板処理装置１は、ステージ１１０と、ステージ駆動機構１２０と、描画ヘッド１３０とを備える。また、基板処理装置１は、基板処理装置１が備える各部の動作を制御する制御部１４０を備える。

ステージ１１０は、平板状の外形を有し、その上面に基板Ｗ（感光材料が形成された基板Ｗ）を水平姿勢に載置して保持する。ステージ１１０の上面には、例えば、複数の吸引孔（図示省略）が形成されており、この吸引孔に負圧（吸引圧）を形成することによって、ステージ１１０上に載置された基板Ｗをステージ１１０の上面に固定保持することができるようになっている。

ステージ駆動機構１２０は、ステージ１１０を基板処理装置１の基台に対して移動させることによって、ステージ１１０を描画ヘッド１３０に対して相対的に移動させる機構である。ステージ駆動機構１２０は、具体的には、例えば、ステージ１１０を、主走査方向、主走査方向と直交する副走査方向、および、回転方向（鉛直軸周りの回転方向）の各方向にそれぞれ移動させる。

描画ヘッド１３０は、光源１３１と変調部１３２とを含んで構成され、パターンデータに応じて光に変調を施して描画光Ｌを生成する。そして、描画ヘッド１３０は、ステージ１１０に保持された基板Ｗに向けて描画光Ｌを照射しながら、当該基板Ｗ上を走査して（すなわち、基板Ｗに対して相対的に移動して）、当該基板Ｗにパターンを描画する。ただし、「パターンデータ」とは、光を照射するべき基板Ｗ上の位置情報が画素単位で記録されたデータである。パターンデータは、具体的には、例えば、ＣＡＤ（Computer Aided Design）を用いて生成されたパターンの設計データを、ラスタライズすることにより生成される。

光源１３１は、例えばレーザ光を出射する。光源１３１から出射された光は、照明光学系（図示省略）を介して強度分布が均一な線状の光（光束断面が線状の光であるラインビーム）とされた上で、変調部１３２に入射する。

変調部１３２は、光源１３１から出射された光に、パターンデータに応じた空間変調を施す。ただし、光を空間変調させるとは、具体的には、光の空間分布（振幅、位相、および偏光等）を変化させることを意味する。変調部１３２は、例えば、固定リボンと可動リボンとが一次元に配設された回折格子型の空間光変調器であるＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ)（「ＧＬＶ」は登録商標）を含む構成としてもよいし、ＤＭＤ（Digital Micromirror Device：デジタルマイクロミラーデバイス）のような、変調単位であるマイクロミラーが二次元的に配列された空間光変調器を含む構成としてもよい。

例えば、変調部１３２として回折格子型の空間光変調器を用いた場合、この空間光変調器は、複数の変調単位を一次元に並べた構成となる。各変調単位は、その動作が電圧のオン／オフで制御されるものであり、電圧状態の切り換えによって、パターンの描画に寄与する必要光（例えば、０次回折光）を出射する状態と、パターンの描画に寄与しない不要光（例えば、０次以外の次数の回折光）を出射する状態とで切り換えられる。空間光変調器は、複数の変調単位のそれぞれに対して独立に電圧を印加可能なドライバ回路ユニットを含んで構成され、各変調単位の電圧が、独立して切り換え可能とされる。

描画ヘッド１３０においては、光源１３１から出射されたラインビームが、その線状の光束断面の長幅方向を変調単位の配列方向に沿わせるようにして、一列に配列された複数の変調単位に入射し、制御部１４０が、パターンデータに応じて各変調単位の状態を切り換える。これによって、各変調単位にて個々に空間変調された光を含む、断面が帯状の描画光Ｌが形成され、基板Ｗに向けて出射されることになる。つまり、描画ヘッド１３０から出射される描画光Ｌは、パターンデータに記述されたパターンを表現したものとなっている。上述したとおり、描画ヘッド１３０は、ステージ１１０に載置された基板Ｗに向けてこの描画光Ｌを照射しながら、当該基板Ｗ上を走査する。これによって、当該基板Ｗにパターンが描画される。

制御部１４０は、図３に示されるように、例えば、ＣＰＵ１４１、ＲＯＭ１４２、ＲＡＭ１４３、記憶装置１４４等がバスライン１４５を介して相互接続された一般的なコンピュータを含んで構成される。ＲＯＭ１４２は基本プログラム等を格納しており、ＲＡＭ１４３はＣＰＵ１４１が所定の処理を行う際の作業領域として供される。記憶装置１４４は、フラッシュメモリ、あるいは、ハードディスク装置等の不揮発性の記憶装置によって構成されている。記憶装置１４４にはプログラムＰ１が格納されており、このプログラムＰ１に記述された手順に従って、主制御部としてのＣＰＵ１４１が演算処理を行うことにより、各種機能が実現されるように構成されている。プログラムＰ１は、通常、予め記憶装置１４４等のメモリに格納されて使用されるものであるが、ＣＤ−ＲＯＭあるいはＤＶＤ−ＲＯＭ、外部のフラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態（プログラムプロダクト）で提供され（あるいは、ネットワークを介した外部サーバからのダウンロードなどにより提供され）、追加的または交換的に記憶装置１４４等のメモリに格納されるものであってもよい。なお、制御部１４０において実現される一部あるいは全部の機能は、専用の論理回路等でハードウェア的に実現されてもよい。

また、バスライン１４５には、さらに、入力部１４６、表示部１４７、通信部１４８が接続されている。入力部１４６は、例えば、キーボードおよびマウスによって構成される入力デバイスであり、オペレータからの各種の操作（コマンドや各種データの入力といった操作）を受け付ける。なお、入力部１４６は、各種スイッチ、タッチパネル等により構成されてもよい。表示部１４７は、液晶表示装置、ランプ等により構成される表示装置であり、ＣＰＵ１４１による制御の下、各種の情報を表示する。通信部１４８は、ネットワーク（例えば、工場内ＬＡＮ等の内部ネットワーク）を介して外部装置との間でコマンドやデータなどの送受信を行うデータ通信機能を有する。

制御部１４０の記憶装置１４４には、図２に示されるように、基板処理装置１の動作を規定する各種のパラメータＱの設定値が記憶されている。パラメータＱについては、後に説明する。

＜ii．ユーザ管理装置２＞
再び図１を参照する。ユーザ管理装置２は、具体的には、例えば、一般的なコンピュータを含んで構成される。すなわち、ユーザ管理装置２は、図３に示されるように、例えば、ＣＰＵ２０１、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３、記憶装置２０４等がバスライン２０５を介して相互接続された構成を備える。また、記憶装置２０４にはプログラムＰ２が格納されており、このプログラムＰ２に記述された手順に従って、主制御部としてのＣＰＵ２０１が演算処理を行うことにより、各種機能が実現されるように構成されている。また、バスライン２０５には、さらに、入力部２０６、表示部２０７、通信部２０８が接続されている。入力部２０６は、例えば、キーボードおよびマウスによって構成される入力デバイスであり、オペレータからの各種の操作を受け付ける。表示部２０７は、例えば、液晶表示装置、ランプ等により構成される表示装置であり、ＣＰＵ２０１による制御の下、各種の情報を表示する。通信部２０８は、外部ネットワークＮ等を介して外部装置との間でコマンドやデータなどの送受信を行うデータ通信機能を有する。

＜iii．ベンダ管理装置３＞
ベンダ管理装置３も、具体的には、例えば、一般的なコンピュータを含んで構成される。すなわち、ベンダ管理装置３は、図３に示されるように、例えば、ＣＰＵ３０１、ＲＯＭ３０２、ＲＡＭ３０３、記憶装置３０４等がバスライン３０５を介して相互接続された構成を備える。また、記憶装置３０４にはプログラムＰ３が格納されており、このプログラムＰ３に記述された手順に従って、主制御部としてのＣＰＵ３０１が演算処理を行うことにより、各種機能が実現されるように構成されている。また、バスライン３０５には、さらに、入力部３０６、表示部３０７、通信部３０８が接続されている。入力部３０６は、例えば、キーボードおよびマウスによって構成される入力デバイスであり、オペレータからの各種の操作を受け付ける。表示部３０７は、例えば、液晶表示装置、ランプ等により構成される表示装置であり、ＣＰＵ３０１による制御の下、各種の情報を表示する。通信部３０８は、外部ネットワークＮ等を介して外部装置との間でコマンドやデータなどの送受信を行うデータ通信機能を有する。

＜２．パラメータＱ＞
上述した通り、基板処理装置１の記憶装置１４４には、当該基板処理装置１の動作を規定する各種のパラメータＱの設定値が記憶されている（図２参照）。具体的には、例えば、光源１３１の光量、ステージ駆動機構１２０がステージ１１０を移動させる際の移動速度、描画光Ｌの照射を開始する際のステージ１１０と描画ヘッド１３０との相対位置等がパラメータＱの設定値として記憶されている。記憶装置１４４に記憶される各パラメータＱの初期の設定値（例えば、基板処理装置１の出荷時の設定値）は、ベンダＶによって登録された値となっており、事後的に書き換えできるようになっている。

記憶装置１４４に格納される一群のパラメータＱは、例えば、複数のカテゴリに分類され、さらに各カテゴリ内で固有の識別記号（例えば、識別番号）を付与された状態で管理される。図４には、基板処理装置１に必要な一群のパラメータＱを管理する管理ファイル（パラメータ管理ファイル）Ｆの構成例が示されている。パラメータ管理ファイルＦにおいては、１個のレコードに１個のパラメータＱが対応付けられている。また、パラメータ管理ファイルＦには、パラメータＱのカテゴリ番号、カテゴリ内でのパラメータＱの識別番号、パラメータＱの設定値（初期の設定値（初期値）と現在の設定値（現在値））等を登録する項目が含まれる。パラメータ管理ファイルＦには、さらに、パラメータＱのカテゴリの名称、パラメータＱの名称、等を登録する項目が含まれてもよい。また、パラメータ管理ファイルＦはバージョンアップにより更新されることもあるので、パラメータ管理ファイルＦには、そのバージョンを特定するための情報（例えば、バージョン番号）が付与されている。

基板処理装置１においては、例えば、記憶装置１４４にパラメータ管理ファイルＦが記憶されており、これを用いて一群のパラメータＱの設定値が管理されている。また、ベンダ管理装置３においても、記憶装置３０４にこれと同様のパラメータ管理ファイルＦが記憶されており、これを用いて基板処理装置１の一群のパラメータＱの設定値が管理されている。

ここで、基板処理装置１の動作を規定する一群のパラメータＱは、その設定値がユーザＵに対して公開されているもの（公開パラメータ）と、その設定値がユーザＵに対して非公開とされているもの（非公開パラメータ）とに分類されている。

公開パラメータは、その設定値をユーザＵが自由に変更できるパラメータＱである。すなわち、公開されているパラメータＱについては、その設定値の変更を受け付ける受付画面等を、ユーザＵが表示部１４７に表示させることができるようになっている。そして、ユーザＵが、当該受付画面等を介して、パラメータＱの変更値（新たな設定値）を入力すると、制御部１４０は、記憶装置１４４に記憶されている当該パラメータＱの設定値を、当該変更値に書き換える。これによって、当該パラメータＱの設定値が変更されることになる。

例えば、どのような設定値が選択されても、基板処理装置１の安全性、処理性能等を損なう虞がないパラメータＱが、公開パラメータとされる。例えば、表示部１４７における自動消灯の時間（スクリーンタイムアウト）を規定するパラメータＱ等が、公開パラメータとされてもよい。一部のパラメータＱがユーザＵに対して公開されることによって、基板処理装置１に、様々なユーザＵの使用態様に応じた動作を実行させることが可能となり、基板処理装置１の汎用性が高まる。

一方、非公開パラメータは、その設定値をユーザＵが自由に変更できないパラメータＱである。すなわち、非公開のパラメータＱについては、その設定値の変更を受け付ける受付画面等を、ユーザＵが表示部１４７に表示させることができないようになっている。したがって、ユーザＵからは、非公開のパラメータＱの設定値は、固定値となっているように見える。

例えば、設定値によっては、基板処理装置１の安全性、処理性能等を損なう虞があるパラメータＱは、非公開とされる。例えば、処理が適切に完了しなかった場合に、再試行を行う回数を規定するパラメータＱ等が、非公開パラメータとされてもよい。このようなパラメータＱがユーザＵに対して非公開とされることによって、基板処理装置１の安全性、処理性能等が担保される。もっとも、たとえ非公開のパラメータＱといえども、記憶装置１４４において設定値の書き換えが禁止されているわけではない。

＜３．パラメータ変更機能＞
製造システム１００は、基板処理装置１のパラメータＱの設定値を、その機密性を損なわずに（すなわち、基板処理装置１のユーザＵに知得されることなく）、変更するための機能（以下単に「パラメータ変更機能」ともいう）を備えている。この機能は、例えば、非公開のパラメータＱの設定値を変更する必要性が生じた場合に有効である。また例えば、公開されているパラメータＱについて、ユーザＵが選択できる設定値の範囲に制限がつけられている場合において、当該パラメータＱの設定値を当該範囲外の値に変更する必要が生じた場合等にも有効である。

＜３−１．全体の流れ＞
パラメータ変更機能を用いてパラメータＱの設定値を変更する処理の全体の流れについて、図５を参照しながら説明する。図５は、当該処理の流れを示す図である。

ベンダＶは、パラメータ変更機能を用いてパラメータＱの設定値を変更する必要があると判断した場合（具体的には、例えば、ベンダＶが、ユーザＵから、基板処理装置１の仕様変更の要請、基板処理装置１のトラブル発生に対する対処の要請等を受け、当該要請に応じるために、非公開のパラメータＱの設定値を変更する必要があると判断した場合）、ベンダ管理装置３に、パラメータＱの設定値の変更指示Ｄを入力する。

ベンダ管理装置３は、変更指示Ｄを受け付けると（ステップＳ１でＹＥＳ）、当該変更指示Ｄを暗号化して、暗号化記号列Ｃを生成する（ステップＳ２）。

ベンダ管理装置３にて生成された暗号化記号列Ｃは、ユーザＵに伝達される。ユーザＵは、暗号化記号列Ｃを取得すると、当該取得した暗号化記号列Ｃを、自らが管理する全て（あるいは、１部）の基板処理装置１の各々に入力する。ここでは、変更指示Ｄが暗号化記号列Ｃとされているので、これを基板処理装置１に入力するユーザＵに、当該変更指示Ｄの内容が知得されることがない。

基板処理装置１は、暗号化記号列Ｃの入力を受け付けると（ステップＳ３でＹＥＳ）、当該暗号化記号列Ｃを復号して変更指示Ｄを取得する（ステップＳ４）。変更指示Ｄが取得されると、基板処理装置１は、当該得られた変更指示Ｄに基づいて、パラメータＱの設定値を変更する（ステップＳ５）。これによって、パラメータＱの機密性が損なわれることなく、パラメータＱの設定値が変更されることになる。以下において、パラメータ変更機能についてより具体的に説明する。

＜３−２．ベンダ管理装置３＞
＜i．機能構成＞
製造システム１００が備えるベンダ管理装置３は、パラメータ変更機能に関する構成として、図６に示されるように、画面表示制御部３０と、変更指示受付部３１と、暗号化部３２と、ファイル生成部３３とを備える。これら各部３０〜３３は、例えば、ベンダ管理装置３において、プログラムＰ３に記述された手順に従ってＣＰＵ３０１が演算処理を行うことにより実現される。

＜画面表示制御部３０＞
画面表示制御部３０は、ベンダＶから変更指示Ｄの入力を所望する旨の指示を受けた場合に、表示部３０７に、変更指示受付画面５を表示させる。変更指示受付画面５には、図７に例示されるように、変更指示リスト５１と、表示リスト５２とが表示される。また、暗号化の指示入力を受け付ける暗号化アイコン５３、ファイル生成の指示入力を受け付けるファイル生成アイコン５４、および、ファイル名等の入力を受け付ける入力ボックス５５等が表示される。

＜変更指示受付部３１＞
変更指示受付部３１は、パラメータＱの設定値の変更指示Ｄの入力を受け付ける。この変更指示Ｄには、具体的には、パラメータ特定情報Ｄ１と、変更値情報Ｄ２と、適用可能期間情報Ｄ３と、対象装置情報Ｄ４とが含まれる。ここで、パラメータ特定情報Ｄ１は、当該変更指示Ｄが対象とするパラメータＱの種類を特定するための情報である。また、変更値情報Ｄ２は、パラメータＱの変更値（新たな設定値）を規定する情報である。また、適用可能期間情報Ｄ３は、当該変更指示Ｄの適用可能期間（すなわち、当該変更指示Ｄに基づくパラメータＱの設定値の変更が許可される期間）を規定する情報である。また、対象装置情報Ｄ４は、当該変更指示Ｄが対象とする装置（すなわち、当該変更指示Ｄに基づくパラメータＱの変更が許可される装置）を特定する情報である。

変更指示受付部３１は、具体的には、例えば、変更指示リスト５１を介して、ベンダＶから変更指示Ｄを受け付ける。すなわち、変更指示リスト５１には、変更指示Ｄに含めるべき各種の情報Ｄ１〜Ｄ４に対応する項目欄５１１〜５１７が含まれており、変更指示受付部３１は、ベンダＶが、変更指示リスト５１の１個のレコードの項目欄５１１〜５１７に入力した一組の情報を、１個の変更指示Ｄとして受け付ける。つまり、変更指示リスト５１では、１個のレコードに１個の変更指示Ｄが対応付けられる。

変更指示リスト５１には、より具体的には、変更指示Ｄにて対象とされるパラメータＱのカテゴリ番号の入力を受け付ける項目欄５１１と、当該パラメータＱのカテゴリ内での識別番号の入力を受け付ける項目欄５１２と、当該パラメータＱが規定されているパラメータ管理ファイルＦのバージョン番号の入力を受け付ける項目欄５１３とが含まれている。変更指示受付部３１は、ベンダＶが、変更指示リスト５１の各項目欄５１１，５１２，５１３に入力した一組の情報を、変更指示Ｄに含めるべきパラメータ特定情報Ｄ１として受け付ける。カテゴリ番号は、例えば、英数字１桁のフォーマットで変更指示Ｄに含められ、識別番号は、例えば、整数４桁のフォーマットで変更指示Ｄに含められ、バージョン番号は、例えば、整数のフォーマットで変更指示Ｄに含められる。

また、変更指示リスト５１には、例えば、変更指示Ｄにて対象とされるパラメータＱの変更値の入力を受け付ける項目欄５１４が含まれている。変更指示受付部３１は、ベンダＶが、変更指示リスト５１の項目欄５１４に入力した情報を、変更指示Ｄに含めるべき変更値情報Ｄ２として受け付ける。変更値は、例えば、整数４バイトのフォーマットで変更指示Ｄに含められる。

また、変更指示リスト５１には、例えば、変更指示Ｄの適用可能期間の開始年月日の入力を受け付ける項目欄５１５と、当該適用可能期間の終了月日の入力を受け付ける項目欄５１６とが含まれている。パラメータＱの管理上の観点から見て、適用可能期間は１年以下とされるであることが好ましいため、ここでは、適用可能期間の終了期日は、月日だけで規定される。つまり、開始年月日として指定された年月日から、その次に終了月日として指定された月日が訪れるまでが、適用可能期間とされる。もっとも、１年より長い適用可能期間が許容され得る場合、適用可能期間の終了期日は、年月日で規定されてもよい。変更指示受付部３１は、ベンダＶが変更指示リスト５１の各項目欄５１５，５１６に入力した一組の情報を、変更指示Ｄに含めるべき適用可能期間情報Ｄ３として受け付ける。適用期間の開始年月日は、例えば、「yy/mm/dd」のフォーマットで変更指示Ｄに含められ、終了月日は、例えば、「mm/dd」のフォーマットで変更指示Ｄに含められる。適用可能期間の終了期日が月日だけで規定される構成を採用した場合、終了年を規定する情報が変更指示Ｄに含まれないので、変更指示Ｄに含ませる情報量を全体として小さくすることができる。

なお、変更指示受付部３１は、例えば基板処理装置１の出荷年を基準年として、開始年として入力された値を、基準年から何年後であるかを規定するゼロ以上の数に変換して変更指示Ｄに含めることが好ましい。この構成によると、開始年を規定する数値が小さくなり（ひいては、当該数値を保持するために必要なバイト数が小さくなり）、変更指示Ｄに含ませる情報量を全体として小さくすることができる。

もっとも、適用可能期間情報Ｄ３を変更指示Ｄに含める態様は上記に例示したものに限らない。例えば、変更指示受付部３１は、ベンダＶから適用可能期間の開始年月日と終了年月日との入力を受け付けて、適用可能期間の日数を算出し、この日数を、適用可能期間の終了月日に代えて、変更指示Ｄに含める構成としてもよい。

また、変更指示リスト５１には、例えば、変更指示Ｄが対象とする装置の製品番号（あるいは、全ての装置を対象とする場合は、例えば「０（ゼロ）」）の入力を受け付ける項目欄５１７が含まれている。変更指示受付部３１は、ベンダＶが変更指示リスト５１の項目欄５１７に入力した情報を、変更指示Ｄに含めるべき対象装置情報Ｄ４として受け付ける。製品番号は、例えば、整数のフォーマットで変更指示Ｄに含められる。

以上の通り、ベンダＶが、変更指示リスト５１の１個のレコードの項目欄５１１〜５１７の各々に情報を入力すると、変更指示受付部３１は、当該一組の情報を、１個の変更指示Ｄとして受け付ける。ベンダＶは、変更指示リスト５１の複数のレコードの各々について、各項目欄５１１〜５１７に情報を入力することによって、複数の変更指示Ｄを入力することができる。このとき、変更指示リスト５１は、変更指示受付部３１によって受け付けられた１以上の変更指示Ｄを一覧表示するリストとしても機能することになる。

＜暗号化部３２＞
暗号化部３２は、変更指示受付部３１が受け付けた変更指示Ｄを暗号化して、複数桁（例えば、１７桁）の記号列に変換する。ただし、ここでいう「記号」には、数字、大文字アルファベット、小文字アルファベット、および、「♯」や「＊」等の各種記号が含まれる。以下において、変更指示Ｄが暗号化されることによって得られた記号列を「暗号化記号列Ｃ」ともいう。つまり、暗号化部３２は、パラメータ特定情報Ｄ１、変更値情報Ｄ２、適用可能期間情報Ｄ３、および、対象装置情報Ｄ４を含む１個の変更指示Ｄを、１個の暗号化記号列Ｃに変換する。暗号化の様式はどのようなものであってもよい。

暗号化部３２は、生成した暗号化記号列Ｃを、表示リスト５２に表示させる。ただし、表示リスト５２の各レコードは、変更指示リスト５１の各レコードと１対１で対応付けられており、その対応関係がわかるように表示される（具体的には、例えば同じ段に表示される）。そして、表示リスト５２のレコードには、当該レコードと対応する変更指示リスト５１のレコードに表示されている変更指示Ｄから生成された暗号化記号列Ｃが、表示される。つまり、表示リスト５２および変更指示リスト５１の対応するレコードには、変更指示Ｄとこれから生成された暗号化記号列Ｃとがそれぞれ表示される。したがって、ベンダＶは、各暗号化記号列Ｃが、どの変更指示Ｄから生成されたものであるかを、一目で把握できるようになっている。

＜ファイル生成部３３＞
ファイル生成部３３は、暗号化部３２により生成された１以上の暗号化記号列Ｃ（すなわち、表示リスト５２に表示された１以上の暗号化記号列Ｃ）を記述したファイルを生成する。

＜ii．処理の流れ＞
ベンダ管理装置３にて行われる処理の流れを、図８を参照しながら説明する。図８は、当該処理の流れを示す図である。

ベンダＶから変更指示Ｄの入力を所望する旨の指示を受けると、画面表示制御部３０が、表示部３０７に変更指示受付画面５を表示させる（ステップＳ１０１）。

続いて、ベンダＶが、変更指示リスト５１の１個のレコードの項目欄５１１〜５１７の各々に情報を入力すると、変更指示受付部３１が、当該入力された一組の情報を、１個の変更指示Ｄとして受け付ける（ステップＳ１０２）。上述した通り、ベンダＶは、変更指示リスト５１の複数のレコードの各々について、各項目欄５１１〜５１７に情報を入力することによって、複数の変更指示Ｄを入力することができる。

続いて、暗号化アイコン５３が操作されると（ステップＳ１０３でＹＥＳ）、暗号化部３２が、ステップＳ１０２で受け付けられた１以上の変更指示Ｄの各々を暗号化して、暗号化記号列Ｃとする（ステップＳ１０４）。さらに、暗号化部３２は、得られた１以上の暗号化記号列Ｃを、表示リスト５２に一覧表示させる（ステップＳ１０５）。

続いて、入力ボックス５５にファイル名および当該ファイルの作成場所を指定するパスが入力されるとともに、ファイル生成アイコン５４が操作されると（ステップＳ１０６でＹＥＳ）、ファイル生成部３３が、表示リスト５２に表示されている１以上の暗号化記号列Ｃを記述したファイルを生成するとともに、当該ファイルに、指定された名前を付与する（ステップＳ１０７）。ただし、表示リスト５２に複数の暗号化記号列Ｃが表示されている場合、ファイル生成部３３が、当該複数の暗号化記号列Ｃの全てを、まとめて１つのファイルに記述する構成してもよいし、当該複数の暗号化記号列ＣのうちベンダＶに指定されたものだけを、まとめて１つのファイルに記述する構成としてもよい。

なお、ステップＳ１０７の処理は必ずしも必須ではなく、ファイル生成アイコン５４が操作されない場合は（ステップＳ１０６でＮＯ）、ステップＳ１０７の処理は行われない。

ステップＳ１０５で表示リスト５２に表示された暗号化記号列Ｃ、あるいは、ステップＳ１０７で生成されたファイル（暗号化記号列Ｃを記述したファイル）は、上述した通り、ベンダＶからユーザＵに伝達される（図５参照）。この伝達の態様はどのようなものであってもよい。例えば、ベンダＶは、暗号化記号列Ｃを記述したメール（あるいは、暗号化記号列Ｃを記述したファイルを添付したメール）を作成し、当該メールを、外部ネットワークＮを介して、ベンダ管理装置３からユーザ管理装置２に送信してもよい。また例えば、ベンダＶは、暗号化記号列Ｃを記述したファイルを、持ち運び可能な記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、フラッシュメモリを内蔵したＵＳＢメモリ等）に記憶させ、当該記録媒体をユーザＵに送付してもよい。また例えば、ベンダＶは、変更指示受付画面５に表示されている表示リスト５２を見ながら、電話などでユーザＵに口頭で暗号化記号列Ｃを通知してもよい。なお、ベンダＶは、ユーザＵに暗号化記号列Ｃを伝達する際に、当該暗号化記号列Ｃの適用可能期間、および、当該暗号化記号列Ｃが対象とする装置の製品番号を併せて通知することが好ましい。

＜３−３．基板処理装置１＞
＜i．機能構成＞
製造システム１００が備える基板処理装置１は、パラメータ変更機能に関する構成として、図９に示されるように、画面表示制御部１０と、暗号化記号列受付部１１と、復号部１２と、評価部１３と、変更部１４とを備える。これら各部１０〜１４は、例えば、基板処理装置１の制御部１４０において、プログラムＰ１に記述された手順に従ってＣＰＵ１４１が演算処理を行うことにより実現される。

＜画面表示制御部１０＞
画面表示制御部１０は、ユーザＵから暗号化記号列Ｃの入力を所望する旨の指示を受けた場合に、表示部１４７に、暗号化記号列受付画面６を表示させる。暗号化記号列受付画面６には、図１０に例示されるように、暗号化記号列Ｃの入力に関する操作を受け付ける受付領域（第１受付領域６１、および、第２受付領域６２）と、有効リスト６３とが表示される。また、パラメータＱの変更指示の入力を受け付ける反映アイコン６４が表示される。

＜暗号化記号列受付部１１＞
暗号化記号列受付部１１は、暗号化記号列Ｃの入力を受け付ける。すなわち、ユーザＵが、第１受付領域６１に表示される入力ボックス６１１に、暗号化記号列Ｃを直接入力した上で、設定アイコン６１２を操作すると、暗号化記号列受付部１１は、入力ボックス６１１に入力された暗号化記号列Ｃを受け付ける。また、ユーザＵが、例えば、記録媒体（暗号化記号列Ｃを記述したファイルを記録した記録媒体）を基板処理装置１に接続するとともに、第２受付領域６２に表示される入力ボックス６２１に当該ファイルのパスを入力した上で（あるいは、ファイル選択アイコン６２２を操作して当該ファイルを選択した上で）、読込みアイコン６２３を操作すると、暗号化記号列受付部１１は、指定されたファイルを記録媒体から読み込んで、当該ファイルに記述されている１以上の暗号化記号列Ｃを受け付ける。

つまり、ユーザＵは、ベンダＶから伝達された暗号化記号列Ｃを入力部１４６を介して直接入力することによって、あるいは、ベンダＶから伝達されたファイル（暗号化記号列Ｃを記述したファイル）を基板処理装置１に読み込ませることによって、暗号化記号列Ｃを入力することができる。

＜復号部１２＞
復号部１２は、暗号化記号列受付部１１が受け付けた暗号化記号列Ｃを復号して、変更指示Ｄを取得する。つまり、復号部１２が暗号化記号列Ｃを復号することによって、パラメータ特定情報Ｄ１、変更値情報Ｄ２、適用可能期間情報Ｄ３、および、対象装置情報Ｄ４が取得されることになる。

＜評価部１３＞
評価部１３は、復号部１２が取得した変更指示Ｄに含まれる情報に基づいて、当該変更指示Ｄが有効か否かを判断する。具体的には、評価部１３は、変更指示Ｄに含まれる適用可能期間情報Ｄ３を参照して、現在の日付が変更指示Ｄの適用可能期間内に含まれているか否かを判断する。また、評価部１３は、変更指示Ｄに含まれる対象装置情報Ｄ４を参照して、自装置が当該変更指示Ｄが対象とする装置であるか否かを判断する。そして、評価部１３は、現在の日付が変更指示Ｄの適用可能期間内に含まれており、かつ、自装置が当該変更指示Ｄが対象とする装置である場合に、当該変更指示Ｄが有効であると判断する。

評価部１３は、変更指示Ｄが有効であると判断した場合に、当該有効な変更指示Ｄを与えた暗号化記号列Ｃを、有効リスト６３に表示させる。なお、有効リスト６３においては、暗号化記号列Ｃと対応付けて、当該暗号化記号列Ｃが与えた変更指示Ｄに含まれる情報の一部が表示されるものとしてもよい。例えば、図示されるように、当該変更指示Ｄに含まれる適用可能期間情報Ｄ３が表示されるものとしてもよい。また、当該変更指示Ｄに含まれる対象装置情報Ｄ４が表示されてもよい。ただし、当該変更指示Ｄに含まれるパラメータ特定情報Ｄ１と、変更値情報Ｄ２とは、ユーザＵの目にふれないようにする必要があるため、これらの情報Ｄ１，Ｄ２については、有効リスト６３に表示されることは禁止される。

＜変更部１４＞
変更部１４は、有効な変更指示Ｄ（すなわち、評価部１３が有効であると判断した変更指示Ｄ）に基づいて、記憶装置１４４に記憶されているパラメータＱの設定値を変更する。具体的には、変更部１４は、変更指示Ｄに含まれるパラメータ特定情報Ｄ１を参照するとともに、パラメータ管理ファイルＦを参照して、当該変更指示Ｄが対象とするパラメータＱの種類を特定する。その上で、変更部１４は、当該特定されたパラメータＱの設定値を、当該変更指示Ｄに含まれる変更値情報Ｄ２にて規定される変更値に書き換える。

ただし、変更部１４が、無効な変更指示Ｄ（すなわち、評価部１３が有効でないと判断した変更指示Ｄ）に基づいて、記憶装置１４４に格納されているパラメータＱの設定値を変更することは、禁止される。つまり、変更部１４が、変更指示Ｄの適用可能期間外のタイミングで、当該変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値を変更することは禁止される。また、自装置が変更指示Ｄの対象となっていない場合（すなわち、変更指示Ｄが対象としている装置に自装置が含まれない場合）に、変更部１４が、当該変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値を変更することは禁止される。

＜ii．処理の流れ＞
基板処理装置１にて行われる処理の流れを、図１１を参照しながら説明する。図１１は、当該処理の流れを示す図である。

ユーザＵから暗号化記号列Ｃの入力を所望する旨の指示を受けると、画面表示制御部１０が、表示部１４７に暗号化記号列受付画面６を表示させる（ステップＳ２０１）。

続いて、暗号化記号列受付部１１が、暗号化記号列Ｃを受け付ける（ステップＳ２０２）。具体的には、例えば、入力ボックス６１１に、暗号化記号列Ｃが直接入力された上で、設定アイコン６１２が操作されると、暗号化記号列受付部１１は、入力ボックス６１１に入力された暗号化記号列Ｃを受け付ける。また、例えば、暗号化記号列Ｃを記述したファイルを記録した記録媒体が基板処理装置１に接続されるとともに、入力ボックス６２１に当該ファイルのパスが入力され、さらに、読込みアイコン６２３が操作されると、暗号化記号列受付部１１は、指定されたファイルを記録媒体から読み込んで、当該ファイルに記述されている１以上の暗号化記号列Ｃを受け付ける。

暗号化記号列受付部１１が暗号化記号列Ｃを受け付けると、復号部１２は、当該受け付けられた暗号化記号列Ｃを復号して、変更指示Ｄを取得する（ステップＳ２０３）。

復号部１２が変更指示Ｄを取得すると、評価部１３が、当該取得された変更指示Ｄが有効か否かを判断する（ステップＳ２０４）。具体的には、評価部１３は、変更指示Ｄに含まれる適用可能期間情報Ｄ３を参照して、現在の日付が変更指示Ｄの適用可能期間内に含まれているか否かを判断する。さらに、評価部１３は、変更指示Ｄに含まれる対象装置情報Ｄ４を参照して、自装置が当該変更指示Ｄが対象とする装置であるか否かを判断する。そして、評価部１３は、現在の日付が変更指示Ｄの適用可能期間内に含まれており、かつ、自装置が当該変更指示Ｄが対象とする装置である場合に、当該変更指示Ｄが有効であると判断する。変更指示Ｄが有効であると判断した場合（ステップＳ２０４でＹＥＳ）、評価部１３は、当該変更指示Ｄを与えた暗号化記号列Ｃを、有効リスト６３に表示させる（ステップＳ２０５）。

ステップＳ２０２〜ステップＳ２０５の処理は、反映アイコン６４が操作されるまで繰り返される。例えば、ユーザＵが、複数の暗号化記号列Ｃを次々と直接入力していくと、当該複数の暗号化記号列Ｃのうち、有効な変更指示Ｄを与えるものだけが、有効リスト６３にリストアップされることになる。また例えば、ステップＳ２０２で、複数の暗号化記号列Ｃを記述したファイルが読み込まれた場合、当該複数の暗号化記号列Ｃのうち、有効な変更指示Ｄを与えるものだけが、有効リスト６３にリストアップされることになる。

有効リスト６３に１以上の暗号化記号列Ｃが表示された状態で、反映アイコン６４が操作されると（ステップＳ２０６でＹＥＳ）、変更部１４が、ステップＳ２０４で有効と判断された変更指示Ｄ（すなわち、有効リスト６３にリストアップされた１以上の暗号化記号列Ｃを与えた変更指示Ｄの各々）に基づいて、記憶装置１４４のパラメータＱを変更する（ステップＳ２０７）。具体的には、変更部１４は、変更指示Ｄに含まれるパラメータ特定情報Ｄ１およびパラメータ管理ファイルＦを参照して、当該変更指示Ｄが対象とするパラメータＱの種類を特定し、当該特定されたパラメータＱの設定値を、当該変更指示Ｄに含まれる変更値情報Ｄ２にて規定される変更値に書き換える。

なお、ステップＳ２０７においては、ステップＳ２０５で有効でないと判断された変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値が変更されることはない。つまり、変更指示Ｄの適用可能期間外のタイミングで、当該変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値が変更されることはない。また、変更指示Ｄが対象としている装置に自装置が含まれない場合に、当該変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値が変更されることもない。

パラメータＱの設定値が適切に変更されると、その旨がユーザＵに報知されることが好ましい。この場合の報知の態様はどのようなものであってもよい。例えば、「パラメータＱの変更が完了しました。」とのメッセージが表示部１４７に表示されるとしてもよい。また、パラメータＱは、例えばその種類によって、変更後の設定値が直ちに実効されてもよいし、基板処理装置１の再起動後に実効されてもよい。後者の場合、ユーザＵに再起動を促すメッセージが表示部１４７に表示されてもよい。

＜４．効果＞
上記の実施の形態によると、基板処理装置１は、暗号化記号列Ｃ入力を受け付け、当該入力された暗号化記号列Ｃに基づいて、自装置のパラメータＱの設定値を変更する。この構成によると、パラメータＱの設定値の変更指示Ｄが暗号化記号列Ｃとされているので、これを基板処理装置１に入力する者（例えば、基板処理装置１のユーザＵ）に、当該変更指示Ｄの内容が知得されることがない。したがって、パラメータＱの機密性を損なわずに、パラメータＱの設定値の変更を簡易に（具体的には、例えば、パラメータＱの設定値の変更に要する時間、手間、および、コストを抑えつつ）、行うことができる。

また、上記の実施の形態によると、基板処理装置１のユーザＵに対して非公開とされているパラメータＱの設定値を、その機密性を十分に保持しつつ、簡易に変更することができる。

また、上記の実施の形態によると、変更指示Ｄに、パラメータＱの種類を特定するための情報（パラメータ特定情報Ｄ１）が含まれる。この構成によると、特定のパラメータＱの設定値を、その機密性を損なわずに変更することができる。

また、上記の実施の形態によると、変更指示Ｄに、パラメータＱの変更値を規定する情報（変更値情報Ｄ２）が含まれる。この構成によると、パラメータＱの機密性を損なわずに、その設定値を任意の値に変更することができる。

また、上記の実施の形態によると、変更指示Ｄに、その適用可能期間を規定する情報（適用可能期間情報Ｄ３）が含まれる。この構成によると、変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値が変更される期間を限定することができる。これによって、例えばベンダ管理装置３において、基板処理装置１のパラメータＱを適切に管理することが可能となる。

また、上記の実施の形態によると、変更指示Ｄに、これが対象とする装置を特定するための情報（対象装置情報Ｄ４）が含まれる。この構成によると、変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値が変更される装置を限定することができる。これによって、例えばベンダ管理装置３において、基板処理装置１のパラメータＱを適切に管理することができる。

また、変更指示Ｄが暗号化記号列Ｃとされた状態でユーザＵに伝達されるため、変更指示Ｄに含まれる情報が不正に改ざんされてしまう虞もない。したがって、ベンダＶが意図しない種類のパラメータＱが変更される虞がない。また、ベンダＶが意図しない値にパラメータＱの設定値が変更されてしまう虞がない。また、ベンダＶが意図しない期間にパラメータＱの設定値が変更されてしまう虞がない。また、ベンダＶが意図しない装置のパラメータＱの設定値が変更されてしまう虞がない。

また、上記の実施の形態によると、暗号化記号列Ｃが記述されたファイルを読み込むことによって、当該暗号化記号列Ｃの入力が受け付けられる。この構成によると、基板処理装置１のユーザＵが暗号化記号列Ｃを入力する手間が省かれるとともに、暗号化記号列Ｃが正確に受け付けられる。

また、上記の実施の形態によると、暗号化記号列Ｃの直接入力が受け付けられる。この構成によると、基板処理装置１のユーザＵが暗号化記号列Ｃを直接入力することによって、暗号化記号列Ｃが簡易に受け付けられる。

＜５．変形例＞
上記の実施の形態においては、非公開のパラメータＱと公開されているパラメータＱとの両方を、変更指示Ｄの対象とできるものとしたが、変更指示Ｄにおいて対象とできるパラメータＱの種類を、ユーザＵに非公開のパラメータＱに限ってもよい。

また、上記の実施の形態において、変更指示Ｄには、必ずしもパラメータ特定情報Ｄ１、変更値情報Ｄ２、適用可能期間情報Ｄ３、および、対象装置情報Ｄ４の全てが含まれる必要はない。また、変更指示Ｄには、上記に例示した情報Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４に加え（あるいは、これらの情報Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４の少なくとも１個と換えて）、新たな情報が含まれてもよい。例えば、あるパラメータＱを、ある限られた期間の間だけ特定の変更値に変更させたい場合、変更指示Ｄに、パラメータＱの設定値を、変更値情報Ｄ２にて規定される変更値から元の値に戻すタイミングを指定する情報（終了タイミング情報）を含めてもよい。この場合、変更部１４は、終了タイミング情報にて規定される時刻が到達した時点で、当該変更指示Ｄに応じて変更したパラメータＱの設定値を、元の値に変更する。例えば、基板処理装置１が備えるオプション機能の１つをユーザＵに期間限定で試用させたい場合において、当該オプション機能を能動化させるために必要なパラメータＱの変更を指示する変更指示Ｄに、終了タイミング情報を含めればよい。

また、上記の実施の形態において、基板処理装置１に暗号化記号列Ｃを入力できるユーザＵを限定してもよい。具体的には、例えば、特定の権限をもつユーザＵに与えられたパスコードが入力された場合に限って、表示部１４７に暗号化記号列受付画面６が表示される構成としてもよい。

また、上記の実施の形態において、暗号化記号列受付画面６に、過去に変更指示Ｄに基づいて変更されたパラメータＱの変更履歴が表示される構成としてもよい。具体的には、例えば、過去に入力された暗号化記号列Ｃと、当該暗号化記号列Ｃを入力したユーザＵの識別情報と、当該暗号化記号列Ｃから取得された変更指示Ｄに基づいてパラメータＱの設定値を変更した日時とを一覧表示してもよい。この構成によると、あるユーザＵが既に入力している暗号化記号列Ｃが、別のユーザＵによって重複して入力されたために、無駄な書き換え処理が行われてしまう、といった事態の発生を未然に回避できる。

また、上記の実施の形態において、基板処理装置１に対する暗号化記号列Ｃの入力は、工場１０１内ＬＡＮ等の内部ネットワークを介して接続されたコンピュータ（ただし、好ましくは、外部ネットワークＮとは接続されていないコンピュータ）を介して行われてもよい。

また、上記の実施の形態において、変更指示Ｄを受け付ける態様は上記に例示したものに限らない。例えば、変更指示リスト５１の項目欄５１１〜５１３に換えて、パラメータＱの名称を入力する項目欄を設けておき、ベンダＶが当該項目欄にパラメータＱの名称を入力すれば、変更指示受付部３１が、パラメータ管理ファイルＦを参照して、当該パラメータＱのカテゴリ番号、識別番号、および、バージョン番号を取得して、当該一組の情報を、変更指示Ｄに含めるべきパラメータ特定情報Ｄ１として受け付けてもよい。

また例えば、変更指示Ｄの入力は、ベンダ管理装置３にて保持されるパラメータ管理ファイルＦを利用して行われてもよい。具体的には、例えば、図１２に示されるように、ベンダ管理装置３にて管理されるパラメータ管理ファイルＦａの各レコードに、パラメータＱの変更値の入力を受け付ける項目欄７１を設けておく。また、図１３に示されるように、変更指示受付画面５ａに読込アイコン５６を表示させる。ベンダＶは、パラメータ管理ファイルＦａにおいて、設定値を変更したいパラメータＱの項目欄７１に、任意の変更値を予め入力しておき、その上で、変更指示受付画面５ａの読込アイコン５６を操作する。すると、変更指示受付部３１が、パラメータ管理ファイルＦａの項目欄７１に変更値が入力されているパラメータＱを抽出する。そして、変更指示受付部３１は、抽出された各パラメータＱのカテゴリ番号、識別番号、および、パラメータ管理ファイルＦａのバージョン番号を取得して、変更指示Ｄに含めるべきパラメータ特定情報Ｄ１として受け付けるとともに、当該取得した情報を変更指示リスト５１の各項目５１１〜５１３に表示する。また、変更指示受付部３１は、抽出された各パラメータＱについて、項目欄７１に入力されている変更値を取得して、変更指示Ｄに含めるべき変更値情報Ｄ２として受け付けるとともに、当該取得した情報を変更指示リスト５１の項目欄５１４に表示する。この場合、ベンダＶは、変更指示リスト５１に対してパラメータ特定情報Ｄ１および変更値情報Ｄ２を直接入力しなくてすむため、効率的に変更指示Ｄを入力することができる。

また、基板処理装置１が処理対象とする基板は、半導体基板、プリント基板、液晶表示装置等に具備されるカラーフィルタ用基板、液晶表示装置やプラズマ表示装置等に具備されるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、磁気ディスク用基板、光ディスク用基板、太陽電池用パネルなどの各種基板等であってもよい。

また、本発明は、描画装置以外の各種の基板処理装置（例えば、基板を洗浄する洗浄装置、基板にレジスト塗布処理を行ってその基板を露光ユニットに渡すとともに、該露光ユニットから露光後の基板を受け取って現像処理を行う装置がいわゆるコータ＆デベロッパ、基板Ｗに対して各種の検査を行う検査装置、等）を含む製造システム、あるいは、基板処理装置以外の各種の製造装置を含む製造システム等に適用することができる。

１００ 製造システム
１ 基板処理装置
２ ユーザ管理装置
３ ベンダ管理装置
５ 変更指示受付画面
６ 暗号化記号列受付画面
１０ 画面表示制御部
１１ 暗号化記号列受付部
１２ 復号部
１３ 評価部
１４ 変更部
３０ 画面表示制御部
３１ 変更指示受付部
３２ 暗号化部
３３ ファイル生成部
Ｄ 変更指示
Ｄ１ パラメータ特定情報
Ｄ２ 変更値情報
Ｄ３ 適用可能期間情報
Ｄ４ 対象装置情報
Ｃ 暗号化記号列
Ｗ 基板

Claims (8)

1. 自装置の動作を規定するパラメータの設定値を記憶する記憶装置を有する製造装置であって、
   前記パラメータが、前記製造装置のユーザに対して非公開とされており、
   前記製造装置は、
   前記パラメータの設定値の変更指示が暗号化された暗号化記号列の入力を受け付ける暗号化記号列受付部と、
   前記暗号化記号列受付部が受け付けた前記暗号化記号列を復号して、前記変更指示を取得する復号部と、
   を備え、
   前記変更指示は、
   当該変更指示が対象とするパラメータの種類を特定するための第１情報、前記パラメータの変更値を規定する第２情報、当該変更指示の適用可能期間を規定する第３情報および当該変更指示が対象とする装置を特定するための第４情報を含み、
   前記製造装置は、
   前記復号部が取得した前記変更指示の前記第３情報および前記第４情報に基づいて、当該変更指示が有効か否かを判断する評価部と、
   前記記憶装置に記憶されている前記パラメータの設定値を、前記評価部が有効であると判断した前記変更指示の前記第１情報および前記第２情報に基づいて変更する変更部と、
   前記評価部が有効であると判断した前記変更指示に対応する情報を表示し、前記第１情報および前記第２情報の表示を禁止する表示部と、
   を更に備える、製造装置。
2. 請求項１に記載の製造装置であって、
   前記暗号化記号列受付部が、前記暗号化記号列が記述されたファイルを読み込むことによって、前記暗号化記号列の入力を受け付ける、
   製造装置。
3. 請求項１に記載の製造装置であって、
   前記暗号化記号列受付部が、前記暗号化記号列の直接入力を受け付ける、
   製造装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の製造装置であって、
   前記製造装置が、基板に対して定められた処理を行う基板処理装置である、
   製造装置。
5. 記憶装置に記憶されたパラメータの設定値によって動作が規定される製造装置において、前記パラメータの設定値を変更する方法であって、
   前記パラメータが、前記製造装置のユーザに対して非公開とされており、
   前記方法は、
   ａ）前記パラメータの設定値の変更指示が暗号化された暗号化記号列の入力を受け付ける工程と、
   ｂ）前記ａ）工程で受け付けられた前記暗号化記号列を復号して、前記変更指示を取得する工程と、
   を備え、
   前記変更指示は、
   当該変更指示が対象とするパラメータの種類を特定するための第１情報、前記パラメータの変更値を規定する第２情報、当該変更指示の適用可能期間を規定する第３情報および当該変更指示が対象とする装置を特定するための第４情報を含み、
   前記方法は、
   ｂ１）前記ｂ）工程で取得された前記変更指示の前記第３情報および第４情報に基づいて、当該変更指示が有効か否かを判断する工程と、
   ｃ）前記記憶装置に記憶されている前記パラメータの設定値を、前記ｂ１）工程で有効であると判断された前記変更指示の前記第１情報および前記第２情報に基づいて変更する工程と、
   ｄ）前記ｂ１）工程で有効であると判断された前記変更指示に対応する情報を表示し、前記第１情報および前記第２情報の表示を禁止する工程と、
   を更に備える、パラメータ変更方法。
6. 請求項５に記載のパラメータ変更方法であって、
   前記ａ）工程において、前記暗号化記号列が記述されたファイルを読み込むことによって、前記暗号化記号列の入力が受け付けられる、
   パラメータ変更方法。
7. 請求項５に記載のパラメータ変更方法であって、
   前記ａ）工程において、前記暗号化記号列の直接入力が受け付けられる、
   パラメータ変更方法。
8. 請求項５から７のいずれかに記載のパラメータ変更方法であって、
   前記製造装置が、基板に対して定められた処理を行う基板処理装置である、
   パラメータ変更方法。

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