DE60219104T2

DE60219104T2 - Fernwartungsverfahren, industrielle Vorrichtung und Halbleitervorrichtung

Info

Publication number: DE60219104T2
Application number: DE60219104T
Authority: DE
Inventors: Juntaro Hitachinaka-shi Arima; Masaaki Yokohama-shi Inaba; Takeiki Kawasaki-shi Aizono; Takashi Hitachinaka-shi Iizumi
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2001-05-31
Filing date: 2002-02-25
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2022-02-26
Also published as: EP1262848A3; US6862485B2; CN1389766A; US20050038546A1; US20020183875A1; US7551976B2; US20020183880A1; JP4280003B2; US20020183876A1; US6708072B2; US6792325B2; EP1262848A2; EP1591853A2; CN100432880C; US6954677B2; US20070112452A1; DE60219104D1; US7047096B2; US20050038545A1; US20050033465A1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Abrechnungsverfahren und eine Vorrichtung eines Fernwartungssystems für eine industrielle Vorrichtung und insbesondere auf ein Fernwartungsverfahren und ein Fernwartungssystem und eine Vorrichtung zur Ermöglichung der Steuerung und durchgängiger Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Inhalt der Wartung.
Stand der Technik
Üblicherweise wird vorgeschlagen, eine industrielle Vorrichtung eines Herstellers über eine öffentliche Telefonleitung oder das Internet mit einem Wartungszentrum eines Vorrichtungsherstellers zu verbinden und die industrielle Vorrichtung von dem Wartungszentrum aus ferngesteuert zu warten. JP-A-11-15520 (entsprechend EP-A-0 822 473) sieht ein Fernwartungssystem mit einem Netzwerk vor, und durch Verwendung dieses Systems kann die industrielle Vorrichtung, unabhängig von deren Aufstellungsort, gewartet werden. Das Dokument bezieht sich nicht auf eine Technik für die Abrechnung der Wartung.
In den vergangenen Jahren hat insbesondere in der Halbleiterindustrie die Anzahl der installierten industriellen Vorrichtungen aufgrund eines starken Anstiegs der Investitionsausgaben rasch zugenommen. In dieser Situation werden die Wartungskosten für industrielle Vorrichtungen vermutlich steigen, und es ist ein Problem, wie die Wartungskosten gesenkt werden können. Das frühere allgemeine Wartungsabrechnungsverfahren ist jedoch ein Verfahren, bei dem einem Hersteller eine feste Gebühr auf der Grundlage der Kosten einer industriellen Vorrichtung und der Lohnkosten für Servicepersonal in Rechnung gestellt wird, und selbst wenn keine Vorrichtung tatsächlich gewartet wird, muss der Hersteller die feste Gebühr zahlen.
EP-A-0 554 826 bezieht sich auf ein Abrechnungsverfahren, bei dem der in Rechnung gestellte Betrag nicht festgelegt ist, für Wartungsarbeiten in einem anderen technischen Gebiet. Es beschreibt ein Telefaxgerät, das Gegenstand der Wartung durch einen externen Service ist. Die Wartungsgebühr richtet sich nach der Anzahl der mit dem Gerät gedruckten Seiten. Daher stellt eine Fernsteuerungsvorrichtung über das öffentliche Telefonnetz eine Verbindung mit dem Telefaxgerät her und liest die Anzahl der gedruckten Seiten aus. Daraufhin wird die Rechnung berechnet und an das Telefaxgerät übermittelt.
Ein Verfahren für die Fernwartung eines Automatisierungssystems ist in WO-00/23894 beschrieben. Eine Bedienungsvorrichtung übermittelt an das Automatisierungssystem einen Befehl zur Anforderung eines Statusberichts. Als Antwort darauf übermittelt das Automatisierungssystem Informationen über den Status einer bestimmten Anwendung des Automatisierungssystems an die Bedienungsvorrichtung. Eine Besonderheit dieses bekannten Verfahrens besteht darin, dass die Kommunikation bzw. Verbindung zwischen dem Automatisierungssystem und der Bedienungsvorrichtung per E-Mail über das Internet erfolgt. Die übermittelten Informationen werden für die Wartungsarbeiten verwendet. Das Dokument beschreibt jedoch keine Technik für die Abrechnung der Wartungsarbeiten.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Fernwartungsverfahrens und -systems, die die angemessene Abrechnung für die Wartung vereinfachen. Dieses Ziel wird durch das Verfahren nach Anspruch 1 für die Wartung einer Halbleiterfertigungsvorrichtung und durch die Halbleiterfertigungsvorrichtung nach Anspruch 14 erreicht. Die abhängigen Ansprüche beziehen sich auf bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung stellen ein Fernwartungsverfahren, ein Fernwartungssystem und eine industrielle Vorrichtung zur Ermöglichung der Steuerung und durchgängiger Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Inhalt des Fernwartungsvorgangs und dem Anforderungsziel für die Wartung sowie zur Ermöglichung einer Zugriffsbeschränkung entsprechend dem Attribut eines Servicetechnikers, einer Zugriffsbeschränkung entsprechend dem Status der Vorrichtung und einer Ausgabebeschränkung entsprechend dem Ausgabemodus bereit.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Fernwartungssystem, bei dem eine industrielle Vorrichtung zur Ausführung eines bestimmten Prozesses und eine Bedienungsvorrichtung zur Wartung der industriellen Vorrichtung über ein Netzwerk miteinander verbunden sind, wodurch ein Fernwartungsverfahren bereitgestellt wird, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Bedienungsvorrichtung Befehlsinformationen zur Angabe eines Wartungsbefehls an die industrielle Vorrichtung übermittelt und die industrielle Vorrichtung den Prozess entsprechend den empfangenen Befehlsinformationen ausführt, Gebühreninformationen erzeugt, die den Wert für die Wartung entsprechend dem Inhalt des ausge führten Prozesses angeben, und alle oder einen Teil der erzeugten Gebühreninformationen ausgibt. Durch Verwendung dieses Verfahrens können die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Inhalt des von der industriellen Vorrichtung durchgeführten War tungsvorgangs ausgeführt werden. Halbleiterbauelemente, die dadurch gekennzeichnet sind, dass die Bauelemente mit einer nach diesem Abrechnungsverfahren verwalteten industriellen Vorrichtung hergestellt werden, sind ebenfalls in der Kategorie der vorliegenden Erfindung enthalten.
Eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Fernwartungssystem, bei dem eine oder mehr industrielle Vorrichtungen zur Ausführung eines bestimmten Prozesses und eine oder mehr Bedienungsvorrichtungen zur Wartung der industriellen Vorrichtungen über ein Netzwerk miteinander verbunden sind, wodurch ein Fernwartungsverfahren bereitgestellt wird, das dadurch gekennzeichnet ist, dass jede industrielle Vorrichtung das Auftreten einer Störung in der jeweiligen industriellen Vorrichtung überwacht, Statusinformationen zur Angabe des Zustands der Störung erzeugt, wenn die jeweilige industrielle Vorrichtung das Auftreten einer Störung feststellt, die Bedienungsvorrichtung festlegt, an die die erzeugten Statusinformationen zu übermitteln sind, und die erzeugten Statusinformationen an die festgelegte Bedienungsvorrichtung übermittelt, und die Bedienungsvorrichtung das Fehlersuchverfahren für die Störung der industriellen Vorrichtung auf der Grundlage der übermittelten Statusinformationen festlegt und Befehlsinformationen zur Angabe eines Wartungsbefehls auf der Grundlage des Fehlersuchverfahrens an die industrielle Vorrichtung übermittelt, und die industrielle Vorrichtung den Prozess entsprechend den empfangenen Befehlsinformationen ausführt, Gebühreninformationen erzeugt, die den Wert für die Wartung entsprechend der Kennung der Bedienungsvorrichtung angeben, an die die Statusinformationen übermittelt werden, und alle oder einen Teil der erzeugten Gebühreninformationen ausgibt. Durch Verwendung dieses Verfahrens können die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Anforderungsziel für die Wartung ausgeführt werden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau des Systems nach der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau der in 1 gezeigten Halbleiterfertigungsvorrichtung.
3 zeigt den Aufbau einer von der Halbleiterfertiqungsvorrichtung in 1 verwalteten Servicetechniker-Attributverwaltungstabelle.
4 zeigt den Aufbau einer von der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 verwalteten Vorrichtungsstatus-Verwaltungstabelle.
5 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Programmverwaltungstabelle.
6 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Ausführungsberechtigungs-Verwaltungstabelle.
7 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Programmausführungs-Verlaufsverwaltungstabelle.
8 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Sensorstatus-Verlaufsverwaltungstabelle.
9 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Prozessergebnis-Verwaltungstabelle.
10 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Ausgabesteuerungs-Verwaltungstabelle.
11 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle.
12 zeigt den Aufbau einer in der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 gespeicherten Wartungsgebühren-Verwaltungstabelle.
13 zeigt den Aufbau einer zwischen der Halbleiterfertigungsvorrichtung und der Bedienungsvorrichtung in 1 übermittelten und empfangenen Nachricht.
14 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1.
15 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Bedienungsvorrichtung in 1.
16 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1.
17 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Steuerungseinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1.
18 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der E/A-Einheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1.
19 zeigt den Wartungsvorgangsbildschirm, der auf der Bedienungsvorrichtung in 1 angezeigt wird.
20 zeigt den Ausführungsstatus-Ausgabebildschirm, der auf der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 angezeigt wird.
21 zeigt den Wartungsgebühren-Informationsbildschirm, der auf der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1 angezeigt wird.
22 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Bedienungsvorrichtung in 1.
23 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1.
24 zeigt den Wartungsgebührenlisten-Einstellbildschirm, der auf der Bedienungsvorrichtung in 1 angezeigt wird.
25 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Bedienungsvorrichtung in 1.
26 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 1.
27 zeigt den Ausgabesteuerungs-Einstellbildschirm, der auf der Bedienungsvorrichtung in 1 angezeigt wird.
28 zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau des Systems nach der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
29 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 28.
30 zeigt den Wartungsanfrageübertragungsziel-Einstellbildschirm, der auf der Halbleiterfertigungsvorrichtung in 28 angezeigt wird.
BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend ausführlich beschrieben. Diese Ausführungsform ist ein Fernwartungssystem für eine Halbleiterfertigungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. Dieses System ermöglicht die durchgängige Abrechnung entsprechend dem Inhalt der Wartung. Es gelten keine Einschränkungen bezüglich der industriellen Vorrichtungen, die mit der vorliegenden Erfindung gehandhabt werden können, mit Ausnahme eines eingebauten Computers. Für die Beschreibung dieser Ausführungsform werden jedoch verschiedene Vorrichtungen und Systeme als industrielle Vorrichtungen angenommen, die für die Herstellung von Halbleitern in einem Halbleiterfertigungsbetrieb verwendet werden, zum Beispiel eine Belichtungsvorrichtung, eine Emulsionsentwicklungsvorrichtung, eine Wärmebehandlungsvorrichtung, eine Montagevorrichtung und eine Prüfvorrichtung. Hier werden diese Vorrichtungen und Systeme allgemein als Halbleiterfertigungsvorrichtung bezeichnet.
1 zeigt ein Blockdiagramm mit einem Beispiel für den Aufbau eines Fernwartungssystems für eine Halbleiterfertigungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. Das Bezugszeichen 110 bezeichnet ein Wartungszentrum eines Unternehmens, das eine Halbleiterfertigungsvorrichtung liefert (nachstehend als Vorrichtungshersteller bezeichnet). Das Bezugszeichen 120 bezeichnet ein Werk eines Unterneh mens zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Verwendung der Halbleiterfertigungsvorrichtung (nachstehend als Halbleiterhersteller bezeichnet). Bei dem in 1 gezeigten System sind zwei Werke 120 angegeben. In der Praxis können es jedoch auch drei oder mehr Werke 120 sein. Darüber hinaus können die Werke 120 unterschiedlichen Halbleiterherstellern oder demselben Halbleiterhersteller gehören.
In dem Wartungszentrum 110 sind eine oder mehr Bedienungsvorrichtungen 113 zur Wartung der Halbleiterfertigungsvorrichtung und eine Verwaltungsvorrichtung 112 zur Verwaltung der Verbindung zu dem Wartungszentrum 110 installiert. Die Bedienungsvorrichtung 113 und die Verwaltungsvorrichtung 112 sind jeweils über ein Intranet 111 miteinander verbunden. In jedem Werk 120 sind eine oder mehr Halbleiterfertigungsvorrichtungen 123 zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und eine Verwaltungsvorrichtung 122 zur Verwaltung der Verbindung zu den Werken 120 installiert. Die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 und die Verwaltungsvorrichtung 122 sind jeweils über ein Intranet 121 miteinander verbunden. Die in dem Wartungszentrum 110 installierte Verwaltungsvorrichtung 112 ist über das Internet 100 mit der Verwaltungsvorrichtung 122 in jedem Werk 120 verbunden. Jede der in 1 gezeigten Vorrichtungen ist eine Vorrichtung mit einem einzelnen Computer. In der Praxis jedoch kann eine einzelne Vorrichtung mehrere Computer benutzen oder mehrere Vorrichtungen können einen einzelnen Computer benutzen.
Jede in dem Wartungszentrum 110 installierte Bedienungsvorrichtung 113 ist eine Vorrichtung, die zur ferngesteuerten Wartung der jeweiligen Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 durch einen Servicetechniker des Wartungszentrums 110 verwendet wird. Jede Bedienungsvorrichtung 112 weist eine Funktion zum Anzeigen der in der Wartungsanfrage enthaltenen Informationen zum Beispiel auf einer Anzeigeeinheit auf, wenn sie von der Verwaltungsvorrichtung 112 eine Nachricht empfängt, die eine Wartungsanfrage angibt (nachstehend als Wartungsanfrage bezeichnet). Die in der Wartungsanfrage enthaltenen Informationen umfassen Daten zur Identifizierung des Zustands einer Störung (nachstehend als Status bezeichnet) und Daten zur Identifizierung des Status für das Ausgeben des Status des Wartungsvorgangs an die jeweilige Halbleiterfertigungsvorrichtung (nachstehend als Ausgabemodus bezeichnet). Die Wartungsanfrage enthält zum Beispiel das Datum und die Uhrzeit der Störungsfeststellung, die Kennung des Halbleiterwerks, die Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Art der Halbleiterfertigungsvorrichtung.
Der Servicetechniker liest die angezeigten Informationen und entscheidet dann, ob eine Online-Fehlersuche nötig ist oder nicht. Wenn der Servicetechniker entscheidet, dass eine Online-Fehlersuche nötig ist, gibt er seine Kennung und sein Passwort über die Tastatur ein, um den Start des Wartungsvorgangs anzuzeigen, und drückt die Startbenachrichtigungs-Übertragungstaste mit der Maus. Jede Bedienungsvorrichtung 113 verfügt über eine Funktion zur Übermittlung einer Nachricht bestehend aus der Kennung und dem Passwort des Servicetechnikers, die dieser eingegeben hat, und dem aus der Wartungsanfrage entnommenen Ausgabemodus (nachstehend als Startbenachrichtigung bezeichnet) an jede Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 online über die Verwaltungsvorrichtung 112 und die Verwaltungsvorrichtung 122. Bei Empfang der Startbenachrichtigung bestätigt die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 jeweils den Servicetechniker. Durch diese Bestätigung wird der Servicetechniker durch eine eindeutige Kennung wie zum Beispiel D1, D2 usw. unterschieden.
Um einen Befehl an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 zu übermitteln, gibt der bestätigte Servicetechniker den Befehl bestehend aus der Kennung des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 auszuführenden Programms und dem an das Programm zu übergebenden Parameter und die Kennung der Datei zum Speichern der Ausführungsergebnisse des Programms über die Tastatur ein und drückt die Wartungsvorgangs-Übertragungstaste mit der Maus. Der Servicetechniker kann mehrere Befehle und Dateikennungen eingeben. Die Bedienungsvorrichtung 113 verfügt über eine Funktion zur Übermittlung einer Nachricht bestehend aus einem oder mehr vom Servicetechniker eingegebenen Befehlen (nachstehend als Wartungsvorgang bezeichnet) online an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 über die Verwaltungsvorrichtung 112 und die Verwaltungsvorrichtung 122.
Bei Empfang des Wartungsvorgangs von der Bedienungsvorrichtung 113 entnimmt die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 alle Befehle aus dem Wartungsvorgang, führt das durch den jeweiligen Befehl angegebene Programm mit dem Parameter aus, der dem jeweiligen Programm entspricht, erzeugt eine Befehlsantwort bestehend aus den Ausführungsergebnissen des Programms für jeden Befehl nach Ausführung der durch alle Befehle angegebenen Programme und überträgt Nachrichten bestehend aus diesen Befehlsantworten (nachstehend als Wartungsvorgangsantworten) an die Bedienungsvorrichtung 113 in. einem Stapel.
Die Bedienungsvorrichtung 113 verfügt über eine Funktion zum Entnehmen aller in der Wartungsvorgangsantwort gespeicherten Befehlsantworten, zum Speichern der Ausführungsergebnisse des in jeder Befehlsantwort gespeicherten Programms in der dem jeweiligen Befehl entsprechenden Datei und zum Anzeigen der Wirkung des Empfangs der Wartungsvorgangsantwort auf der Anzeigeeinheit, wenn die Vorrichtung 113 die Wartungsvorgangsantwort von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 empfängt.
Zur Bestätigung der Programmausführungsergebnisse wählt der Servicetechniker, der die angezeigten Informationen liest, die Kennung der Datei, in der die Programmausführungsergebnisse gespeichert sind, mit der Maus aus. Die Bedienungsvorrichtung 113 verfügt über eine Funktion zum Anzeigen des Inhalts der ausgewählten Datei auf der Anzeigeeinheit. Der Servicetechniker, der die angezeigten Inhalte liest, prüft die Notwendigkeit einer weiteren Fehlersuche und drückt gegebenenfalls die Fortsetzungstaste mit der Maus, gibt einen neuen Befehl und eine Dateikennung über die Tastatur ein und drückt die Wartungsvorgangs-Übertragungstaste mit der Maus. Der Servicetechniker wiederholt die Übermittlung des Wartungsvorgangs, bis die Fehlersuche beendet ist.
Wenn die Fehlersuche beendet ist, drückt der Servicetechniker die Beendigungsbenachrichtigungs-Übertragungstaste mit der Maus. Die Bedienungsvorrichtung 113 verfügt über eine Funktion zur Übermittlung einer Nachricht, die die Beendigung des Wartungsvorgangs angibt (nachstehend als Beendigungsbenachrichtigung bezeichnet) online an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 über die Verwaltungsvorrichtung 112 und die Verwaltungsvorrichtung 122. Bei Empfang der Beendigungsbenachrichtigung berechnet die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 die Gebühr für die betreffende Wartung entsprechend dem Prozessinhalt des zwischen dem Empfang der Startbenachrichtigung und dem Empfang der Beendigungsbenachrichtigung ausgeführten Programms und zeigt die berechnete Wartungsgebühr zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit an. Die Berechnung der Wartungsgebühr kann durch die Verwaltungsvorrichtung 122 oder durch eine anstelle der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 extern installierte Berechnungsvorrichtung (nicht gezeigt) erfolgen. Bei dieser Ausführungsform ist der Ablauf vom Senden der Startbenachrichtigung bis zum Senden der Beendigungsbenachrichtigung ein Wartungsvorgang.
Die in dem Wartungszentrum 110 installierte Verwaltungsvorrichtung 112 ist eine Vorrichtung zur Verwaltung der Verbindung zu dem Wartungszentrum 110. Die Verwaltungsvorrichtung 112 verfügt über eine Funktion zum regelmäßigen Überwachen, ob eine Wartungsanfrage von der in jedem Werk 120 installierten Verwaltungsvorrichtung 122 erhalten worden ist oder nicht, und zum Senden der Wartungsanfrage an die von einem bestimmten Servicetechniker verwendete Bedie nungsvorrichtung 113 nach einer bestimmten Regel, wenn eine Wartungsanfrage erhalten wurde. Weiter verfügt die Verwaltungsvorrichtung 112 über eine Funktion zur Übermittlung der jeweiligen Nachrichten für die Startbenachrichtigung, den Wartungsvorgang und die Beendigungsbenachrichtigung, die von der Bedienungsvorrichtung 113 als Antwort auf die Wartungsanfrage an die Verwaltungsvorrichtung 122 des Werks 120 übermittelt wurden, das die Wartungsanfrage gesendet hat.
Die in dem Werk 120 installierte Verwaltungsvorrichtung 122 ist eine Vorrichtung zur Verwaltung der Verbindung zu dem Werk 120. Die Verwaltungsvorrichtung 122 verfügt über eine Funktion zum regelmäßigen Überwachen, ob eine Wartungsanfrage von der jeweiligen Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 erhalten worden ist oder nicht, und zum Senden der Wartungsanfrage an die Verwaltungsvorrichtung 122 des Wartungszentrums 110, wenn eine Wartungsanfrage erhalten wurde. Weiter verfügt die Verwaltungsvorrichtung 122 über eine Funktion zur Übermittlung der jeweiligen Nachrichten für die Startbenachrichtigung, den Wartungsvorgang und die Beendigungsbenachrichtigung, die von der Verwaltungsvorrichtung 112 des Wartungszentrums 110 als Antwort auf die Wartungsanfrage an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 übermittelt wurden, die die Wartungsanfrage gesendet hat.
Die in jedem Werk 120 installierte Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 ist eine Vorrichtung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen durch einen Techniker in dem Werk 120. 2 zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 besteht aus einer E/A-Einheit 130 zum Eingeben der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen (nachstehend als Fertigungsvorgang bezeichnet) nötigen Daten durch den Techniker, einer Verbindungseinheit 131 zum Senden und Empfangen der jeweiligen Nachrichten für die Wartungsanfrage, die Startbenachrichtigung, den Wartungsvorgang und die Beendigungsbenachrichtigung zwischen der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 und der Verwaltungsvorrichtung 122, einer Steuerungseinheit 132 zum Ausführen der Programme entsprechend dem Wartungsvorgang und dem Fertigungsvorgang und durch die Steuerungseinheit 132 gesteuerten Teilen 133.
Die E/A-Einheit 130 verfügt über eine Funktion zum Bestätigen eines Technikers, wenn dieser beginnt, die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 zu benutzen. Durch diese Bestätigung wird der Techniker durch eine eindeutige Kennung wie zum Beispiel U1, U2 usw, unterschieden. Wenn der Techniker die Bestätigung beendet, gibt er den Fertigungsvorgang in die E/A-Einheit 130 ein, um Halbleiterbauelemente herzustellen.
Die E/A-Einheit 130 verfügt auch über eine Funktion zur Übermittlung von Daten bestehend aus der Programmkennung und Parametern (nachstehend als Ausführungsanforderung bezeichnet) an die Steuerungseinheit 132 entsprechend dem eingegebenen Fertigungsvorgang und zum Speichern der Programmausführungsergebnisse (nachstehend als Ausführungsanforderungsantwort) aus der Steuerungseinheit 132 nach Empfang der Daten, zum Entnehmen der Programmausführungsergebnisse aus der Ausführungsanforderungsantwort und zum Anzeigen der Programmausführungsergebnisse auf der Anzeigeeinheit.
Die E/A-Einheit 130 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die die nötigen Ausgabemodusbedingungen zum Ausgeben des Status des Wartungsvorgangs angeben (nachstehend als Statusausgabeberechtigung bezeichnet), in der Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle. Die Statusausgabeberechtigung wird im Werk des Vorrichtungsherstellers bei der Lieferung eingegeben. Die Statusausgabeberechtigung enthält Daten, die angeben, ob die Anzeige der jeweiligen Elemente von Ausführungsdatum und -zeit, Kennung und Parameter des von der Steuerungseinheit 132 ausgeführten Programms entsprechend dem Ausgabemodus erlaubt ist oder nicht, um den Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangs status an die Halbleiterfertigungsvorrichtung zu identifizieren.
Die E/A-Einheit 130 verfügt auch über eine Funktion zum Lesen der Statusausgabeberechtigung aus der Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle, wenn die Einheit 131 die Daten bestehend aus dem Datum und der Uhrzeit der Programmausführung, Programmkennung und Parameter (nachstehend als Ausführungsstatus bezeichnet) und dem Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 von der Steuerungseinheit 132 empfängt, zur Bestätigung, ob die Ausgabeberechtigung für jedes Element des Ausführungsstatus auf der Grundlage des empfangenen Ausgabemodus gegeben ist oder nicht, und zum Anzeigen des Elements des Ausführungsstatus, für das die Ausgabeberechtigung gegeben ist, zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum regelmäßigen Überwachen des Betriebszustands der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, zum Erzeugen einer Wartungsanfrage bestehend aus dem Status und Ausgabemodus, wenn die Einheit 131 das Auftreten einer Störung feststellt, und zum Übermitteln der erzeugten Wartungsanfrage an die Verwaltungsvorrichtung 122 des Wartungszentrums 110 über die Verwaltungsvorrichtung 122. Die Zuordnung des Inhalts jeder Störung zum dem Status wird im Voraus festgelegt. Außerdem wird der Wert des Ausgabemodus zuvor von dem Techniker eingegeben. Die Wartungsanfrage kann zusätzlich zu dem bereits erwähnten Status und Ausgabemodus zum Beispiel das Datum und die Uhrzeit der Störungsfeststellung, die Kennung des Halbleiterwerks, die Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Art der Halbleiterfertigungsvorrichtung enthalten.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die die Attribute eines Servicetechnikers angeben (nachstehend als Servicetechnikerattribut bezeichnet), in der Servicetechniker-Attribut verwaltungstabelle. Die Servicetechniker-Attributdaten werden zuvor von dem Techniker eingegeben. In den Servicetechniker-Attributdaten sind das Passwort und die fachliche Qualifikation des Servicetechnikers gespeichert.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die die Programmausführungsberechtigung angeben (nachstehend als Programmausführungsberechtigung bezeichnet), in der Ausführungsberechtigungs-Verwaltungstabelle. Die Ausführungsberechtigungsdaten werden zuvor von dem Techniker eingegeben. Die Ausführungsberechtigungsdaten enthalten die Daten, die angeben, ob die Programmausführung entsprechend dem Servicetechnikerattribut, das die Attribute des Servicetechnikers angibt, erlaubt ist oder nicht, und die Daten, die den Zustand der Vorrichtung zu dem betreffenden Zeitpunkt angeben (nachstehend als Vorrichtungsstatus bezeichnet). Für den Vorrichtungsstatus sind zum Beispiel Werte für Produktion, Standby, Technik, planmäßige Stillstandszeit, außerplanmäßige Stillstandszeit, ungeplante Zeit und unendlich gespeichert.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zur Unterscheidung des von einem Servicetechniker ausgeführten Wartungsvorgangs durch eine eindeutige Kennung wie zum Beispiel 01, 02 usw. und zum Zuordnen der Daten, die den Inhalt dieser Nachrichten angeben (nachstehend als Wartungsergebnisse bezeichnet), zu einer bestimmten Kennung, wenn die Einheit 131 die jeweilige Nachricht für die Startbenachrichtigung, den Wartungsvorgang und die Beendigungsbenachrichtigung von der Verwaltungsvorrichtung 122 erhält, und zu ihrer Aufzeichnung in der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle. Für die Wartungsergebnisse werden die Informationen darüber aufgezeichnet, wann welcher Servicetechniker mit welcher fachlichen Qualifikation welche Inhalte einer Nachricht in welchem Ausgabemodus in welchem Status der Vorrichtung übermittelt.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Wert für die War tung angeben (nachstehend als Wartungsgebührenliste bezeichnet), in der Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle. Die Wartungsgebührenliste wird im Werk des Vorrichtungsherstellers bei der Lieferung eingegeben. In der Wartungsgebührenliste sind entsprechend der fachlichen Qualifikation des Servicetechnikers, des Vorrichtungsstatus bei der Ausführung des Programms, der Art der gelesenen Verwendungsverlaufsinformationen und des Ausgabemodus die Informationen darüber gespeichert, welcher Wert dem Halbleiterhersteller von dem Vorrichtungshersteller in Rechnung gestellt wird. Der Wert für die Wartung ist höher, wenn die fachliche Qualifikation eines Servicetechnikers höher ist; er ist höher, wenn die Möglichkeit einer Beeinträchtigung des Fertigungsverfahrens eines Halbleiterherstellers höher ist; er ist niedriger, wenn das Programm mehr geheime Informationen des Halbleiterherstellers ausliest, und er ist höher, wenn der Zustand des Wartungsvorgangs in größerem Detail angezeigt wird.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Vergleichen des aus der Startbenachrichtigung entnommenen Passworts mit dem aus der Servicetechniker-Attributverwaltungstabelle gelesenen Servicetechnikerattribut, wenn die Einheit 131 eine Startbenachrichtigung von der Verwaltungsvorrichtung 122 erhält, und zum Bestätigen des Servicetechnikers. Wie vorstehend beschrieben, wird der Servicetechniker durch diese Bestätigung durch eine eindeutige Kennung wie zum Beispiel D1, D2 usw. unterschieden.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Speichern des aus der Startbenachrichtigung entnommenen Ausgabemodus bis zum Erhalt einer Beendigungsbenachrichtigung, wenn die Einheit 131 die Startbenachrichtigung von der Verwaltungsvorrichtung 122 empfängt.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Entnehmen aller Befehle aus dem Wartungsvorgang, zum Ausführen des durch den jeweiligen Befehl angegebenen Programms, zum Erzeugen von Befehlsantworten bestehend aus den Programmausführungsergebnissen für den jeweiligen Befehl, wenn die Ausführung des jeweiligen Programms beendet ist, und zum Übermitteln der Wartungsvorgangsantworten bestehend aus diesen Befehlsantworten an die Bedienungsvorrichtung 113, wenn die Einheit 131 den Wartungsvorgang von der Verwaltungsvorrichtung 122 empfängt.
Zum Ausführen des durch den jeweiligen Befehl angegebenen Programms verfügt die Verbindungseinheit 131 auch über eine Funktion zum Lesen des Servicetechnikerattributs eines Servicetechnikers aus der Servicetechniker-Attributverwaltungstabelle, zum Lesen des Vorrichtungsstatus zu dem betreffenden Zeitpunkt aus der Steuerungseinheit 132, zum Lesen der Programmausführungsberechtigung für das durch den jeweiligen Befehl angegebene Programm, zur Bestätigung, ob der Servicetechniker über die durch den jeweiligen Befehl angegebene Programmausführungsberechtigung verfügt oder nicht, auf der Grundlage des Servicetechnikerattributs und des Vorrichtungsstatus, zur Übermittlung einer Ausführungsanforderung bestehend aus der Programmkennung und dem Parameter und dem gespeicherten Ausgabemodus an die Steuerungseinheit 132 nur dann, wenn die Programmausführungsberechtigung gegeben ist, und zum Empfangen einer Ausführungsanforderungsantwort zum Speichern der Programmausführungsergebnisse von der Steuerungseinheit 132.
Die Verbindungseinheit 131 verfügt auch über eine Funktion zum Lesen der Wartungsergebnisse bzw. der Wartungsgebührenliste aus der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle und der Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle, wenn die Einheit 131 die Beendigungsbenachrichtigung von der Verwaltungsvorrichtung 122 empfängt, zum Berechnen der Wartungsgebühr für die betreffende Wartung unter Verwendung der Wartungsgebührenlistendaten und der Wartungsergebnisdaten und zum Anfordern der Anzeige von Informationen bezüglich der Wartungsgebühr zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit bei der E/A-Einheit 130 über die Steuerungseinheit 132.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zum Speichern eines Programms, das die Bedingungen und den Ablauf des von der Steuerungseinheit 132 auszuführenden Prozesses angibt, in der Programmverwaltungstabelle. In jedem Programm sind die Informationen über die Bedingungen und Abläufe zur Ausführung des Prozesses gespeichert.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zur Ausführung des durch die Ausführungsanforderung mit dem entsprechenden Parameter angegebenen Programms, wenn die Steuerungseinheit 132 eine Ausführungsanforderung von der E/A-Einheit 130 empfängt.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zur Ausführung des durch die Ausführungsanforderung mit dem entsprechenden Parameter angegebenen Programms, wenn die Steuerungseinheit 132 eines Ausführungsanforderung von der Verbindungseinheit 131 empfängt, zur Übermittlung des Ausführungsstatus bestehend aus dem Datum und der Uhrzeit der Programmausführung, Programmkennung und Parameter und dem durch die Ausführungsanforderung angegebenen Ausgabemodus an die E/A-Einheit 130 und zur Übermittlung einer Ausführungsanforderungsantwort zum Speichern der Programmausführungsergebnisse an die Verbindungseinheit 131.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Verlauf des entsprechend der von der E/A-Einheit 130 empfangenen Ausführungsanforderung ausgeführten Programms angeben (nachstehend als Programmausführungsverlauf bezeichnet), in der Programmausführungs-Verlaufsverwaltungstabelle. In dem Programmausführungsverlauf sind die Informationen darüber gespeichert, welcher Techniker welches Programm mit welchen Parametern ausgeführt hat.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Status jedes einzelnen von der Steuerungseinheit 132 gesteuerten Teils 134 angeben (nachstehend als Sensorstatusverlauf bezeichnet), in der Sensorstatus-Verlaufsverwaltungstabelle. In dem Sen sorstatusverlauf sind die Informationen darüber gespeichert, welches Teil wann in welchen Status übergeben wird.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Zustand eines mit dem jeweiligen Teil 134 bearbeiteten Wafers angeben (nachstehend als Prozessergebnisse bezeichnet), in der Prozessergebnis-Verwaltungstabelle. In den Prozessergebnissen sind die Informationen darüber gespeichert, welcher Wafer in welchen Status gebracht wird.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zum Aufzeichnen der Daten, die den Verlauf des Vorrichtungsstatus angeben (nachstehend als Vorrichtungsstatusverlauf bezeichnet), in der Vorrichtungsstatus-Verlaufsverwaltungstabelle. In dem Vorrichtungsstatusverlauf sind die Informationen darüber gespeichert, wann die Vorrichtung in welchen Zustand übergeht. Der Vorrichtungsstatus umfasst zum Beispiel Produktion, Standby, Technik, planmäßige Stillstandszeit, außerplanmäßige Stillstandszeit, ungeplante Zeit und unendlich.
Die Steuerungseinheit 132 verfügt auch über eine Funktion zum Lesen des Vorrichtungsstatus, der den Status der Vorrichtung zu dem betreffenden Zeitpunkt angibt, aus der Vorrichtungsstatus-Verlaufsverwaltungstabelle, wenn die Steuerungseinheit 132 eine Anforderung von der Verbindungseinheit 131 empfängt, und zu dessen Weiterleitung an die Verbindungseinheit 131.
Nachstehend wird der Aufbau der von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwalteten Tabelle beschrieben. 3 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Servicetechniker-Attributverwaltungstabelle. Jede Zeile in der Servicetechniker-Attributverwaltungstabelle 140 enthält das Servicetechnikerattribut, das die Attribute für den Servicetechniker angibt, der durch die Kennung des Servicetechnikers am Anfang unterschieden ist. Das Servicetechni kerattribut besteht aus den Elementen „Servicetechnikerkennung", „Passwort" und „Fachliche Qualifikation".
Das Element „Servicetechnikerkennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des Servicetechnikers. Das Element „Passwort" enthält die Daten zur Angabe des Passworts des Servicetechnikers. Das Element „Fachliche Qualifikation" enthält die Daten zur Angabe der fachlichen Qualifikation des Servicetechnikers. Bei diesem Beispiel hat der Servicetechniker D1 das Passwort 1234 und seine fachliche Qualifikation ist auf „höhere Qualifikation" eingestellt, während der Servicetechniker D2 das Passwort 5678 hat und die fachliche Qualifikation auf „mittlere Qualifikation" eingestellt ist.
4 zeigt ein Beispiel für die von der Steuerungseinheit 132 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Vorrichtungsstatus-Verwaltungstabelle. Jede Zeile in der Vorrichtungsstatus-Verwaltungstabelle 141 enthält den Vorrichtungsstatusverlauf, der den Verlauf des Vorrichtungsstatus angibt. Der Vorrichtungsstatusverlauf besteht aus den Elementen „Übergangsdatum und -uhrzeit" und „Vorrichtungsstatus". Das Element „Übergangsdatum und -uhrzeit" enthält die Daten zur Angabe das Datums und der Uhrzeit, an dem bzw. zu der der Vorrichtungsstatus wechselt. Das Element „Vorrichtungsstatus" enthält die Daten zur Angabe des Status der betreffenden Vorrichtung. Dieses Beispiel zeigt, dass die Vorrichtung am 2. Januar 2001 um 10:10:10 Uhr in den Produktionsstatus und am 2. Januar 2001 um 10:15:10 Uhr in den Standby-Status gewechselt hat. In dem Element „Vorrichtungsstatus" können Werte für Produktion, Standby, Technik, planmäßige Stillstandszeit, außerplanmäßige Stillstandszeit, ungeplante Zeit und unendlich festgelegt werden.
5 zeigt ein Beispiel für die von der Steuerungseinheit 132 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Programmverwaltungstabelle. Jede Zeile in der Programmverwaltungstabelle 142 enthält ein Programm, das die Bedingungen und den Ablauf des von der Steuerungseinheit 132 auszuführenden Prozesses angibt. Jedes Programm besteht aus den Elementen „Programmkennung", „Programmart", „Name", „Verarbeitungsbedingung" und „Verarbeitungsablauf".
Das Element „Programmkennung" enthält Daten zur Angabe einer eindeutigen Kennung, die jedem Programm zugewiesen ist. Das Element „Programmart" enthält Daten zur Angabe der Art des Programms. Das Element „Name" enthält Daten, die den Namen des Programms angeben. Das Element „Verarbeitungsbedingung" enthält Daten, die die Bedingungen für den von der Steuerungseinheit 132 auszuführenden Prozess angeben. Das Element „Verarbeitungsablauf" enthält Daten, die den Ablauf des von der Steuerungseinheit 132 auszuführenden Prozesses angeben. Es kann Programme geben, die keine Einstellung der Verarbeitungsbedingungen erfordern.
Bei diesem Beispiel ist das Programm P1 ein Programm zum Lesen eines Programms, das angibt, dass das Programm von der Art „Verwendungsverlauf lesen" ist und den Ablauf namens „Programm lesen" ausführt.
Das Programm P2 ist ein Programm zum Lesen des Programmausführungsverlaufs, das angibt, dass das Programm von der Art „Verwendungsverlauf lesen" ist und den Ablauf namens „Programmausführungsverlauf lesen" ausführt.
Das Programm P3 ist ein Programm zum Lesen des Sensorstatusverlaufs, das angibt, dass das Programm von der Art „Verwendungsverlauf lesen" ist und den Ablauf namens „Sensorstatusverlauf lesen" ausführt.
Das Programm P4 ist ein Programm zum Lesen der Verarbeitungsergebnisse, das angibt, dass das Programm von der Art „Verwendungsverlauf lesen" ist und den Ablauf namens „Verarbeitungsergebnisse lesen" ausführt.
Das Programm P5 ist ein Programm zum Erzeugen eines Programms, das angibt, dass das Programm von der Art „Programmbetrieb" ist und den Ablauf namens „Programm erzeugen" ausführt.
Das Programm P6 ist ein Programm zum Bearbeiten eines Programms, das angibt, dass das Programm von der Art „Programmbetrieb" ist und den Ablauf namens „Programm bearbeiten" ausführt.
Das Programm P7 ist ein Programm zum Löschen eines Programms, das angibt, dass das Programm von der Art „Programmbetrieb" ist und den Ablauf namens „Programm löschen" ausführt.
Das Programm P8 ist ein Programm zur Verarbeitung eines Wafers im automatischen Modus, das angibt, dass das Programm nacheinander die Abläufe „Wafer einlegen", „Wafer ausrichten", „Adressieren", „Messen" und „Wafer entnehmen" unter der Bedingung ausführt, dass das Programm von der Art „Wafer-Bearbeitung" ist, die Wafer automatisch verarbeitet, den Schacht 1 benutzt, den Ablauf in Wafer-Einheiten ausführt und die gemessenen Wafer-Bilder in Bild 1 speichert.
Das Programm P9 ist ein Programm zur Verarbeitung eines Wafers im manuellen Modus, das angibt, dass das Programm dieselben Abläufe wie Programm P8 ausführt, jedoch unter der Bedingung, dass das Programm die Wafer manuell verarbeitet, von der Art „Wafer-Bearbeitung" ist, den Schacht 2 benutzt, den Ablauf in Wafer-Einheiten ausführt und die gemessenen Wafer-Bilder in Bild 2 speichert.
6 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Ausführungsberechtigungs-Verwaltungstabelle. Jede Zeile der Ausführungsberechtigungs-Verwaltungstabelle 143 enthält die Programmausführungsberechtigung, die die Ausführungsberechtigung für das Programm angibt, das durch die Kennung des Programms am Anfang unterschieden ist. Die Programmausführungsberechtigung besteht aus den Elementen „Programmkennung" und „Ausführungsberechtigung".
Das Element „Programmkennung" enthält die Daten zur Angabe der Programmkennung. Das Element „Ausführungsberechtigung" enthält die Daten zur Angabe dessen, ob die Programmausführung für einen Servicetechniker entsprechend dem Ser vicetechnikerattribut des Servicetechnikers, der die Programmausführung anfordert, und dem Status der Vorrichtung zu dem betreffenden Zeitpunkt erlaubt ist oder nicht.
Bei diesem Beispiel ist die Ausführungsberechtigung durch eine Zeichenfolge von vier Zeichen angegeben. Die ersten beiden Zeichen geben die Ausführungsberechtigung für einen Servicetechniker an, dessen Wert für das Element „Fachliche Qualifikation" im Servicetechnikerattribut „höhere Qualifikation" lautet. Lauten die ersten beiden Zeichen „XX", bedeutet dies die Erlaubnis zur Ausführung, unabhängig von dem Wert des Vorrichtungsstatus, „X-" bedeutet die Erlaubnis zur Ausführung, wenn der Wert des Vorrichtungsstatus „Produktion" lautet, und die Ablehnung der Ausführung bei einem anderen Wert, „-X" bedeutet die Ablehnung der Ausführung, wenn der Wert des Vorrichtungsstatus „Produktion" lautet, und die Erlaubnis zur Ausführung bei einem anderen Wert und „--" bedeutet die Ablehnung der Ausführung unabhängig vom Wert des Vorrichtungsstatus.
Die nächsten beiden Zeichen geben die Ausführungsberechtigung für einen Servicetechniker an, dessen Wert für das Element „Fachliche Qualifikation" im Servicetechnikerattribut „mittlere Qualifikation" lautet, wobei die Bedeutung dieselbe wie für die ersten beiden Zeichen ist.
Die Programme P1 und P2 geben die Erlaubnis zur Ausführung für einen Servicetechniker an, dessen Wert für das Element „Fachliche Qualifikation" im Servicetechnikerattribut „höhere Qualifikation" lautet, unabhängig vom Wert des Vorrichtungsstatus, und die Ablehnung der Ausführung für einen Servicetechniker, dessen Wert für das Element „Fachliche Qualifikation" im Servicetechnikerattribut „mittlere Qualifikation" lautet.
Weiter geben die Programme P2, P3, P5, P6 und P7 die Ablehnung der Ausführung für einen Servicetechniker an, dessen Wert für das Element „Fachliche Qualifikation" im Servicetechnikerattribut „höhere Qualifikation" lautet, wenn der Wert des Vorrichtungsstatus „Produktion" lautet, und die Erlaubnis zur Ausführung, wenn der Wert des Vorrichtungsstatus „Sonstige" lautet, und die Ablehnung der Ausführung für einen Servicetechniker, dessen Wert für das Element „Fachliche Qualifikation" im Servicetechnikerattribut „mittlere Qualifikation" lautet, unabhängig vom Wert des Vorrichtungsstatus.
Weiter geben die Programme P8 und P9 die Ablehnung der Ausführung für jeden Servicetechniker an.
7 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 132 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Programmausführungs-Verlaufsverwaltungstabelle. Jede Zeile der Programmausführungs-Verlaufsverwaltungstabelle 144 enthält den Programmausführungsverlauf, der den Verlauf des ausgeführten Programms angibt. Der Programmausführungsverlauf besteht aus den Elementen „Ausführungsdatum und -uhrzeit", „Technikerkennung", „Programmkennung" und „Parameter".
Das Element „Ausführungsdatum und -uhrzeit" enthält die Daten zur Angabe des Datums und der Uhrzeit, an dem bzw. zu der das Programm ausgeführt wird. Das Element „Technikerkennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des Technikers, der das Programm ausführt. Das Element „Programmkennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des ausgeführten Programms. Das Element „Parameter" enthält die Daten zur Angabe des an das ausgeführte Programm gegebenen Parameters. Dieses Beispiel besagt, dass ein Techniker U1 das Programm P8 am 2. Januar 2001 um 10:10:10 Uhr ausgeführt hat, und dass der Techniker U1 das Programm P9 am 2. Januar 2001 um 10:15:10 Uhr ausgeführt hat.
8 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 132 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Sensorstatus-Verwaltungstabelle. Jede Zeile der Sensorstatus-Verlaufsverwaltungstabelle 145 enthält den Sensorstatusverlauf, der den Statusverlauf für jedes Teil 133 angibt. Der Sensorstatusverlauf besteht aus den Elementen „Erfassungsdatum und -uhrzeit", „Sensor S1", „Sensor S2" usw. Das Element „Erfassungsdatum und -uhrzeit" enthält die Daten zur Angabe des Datums und der Uhrzeit, an dem bzw. zu der der Statuswert jedes Teils 127 erfasst worden ist.
Jedes Element „Sensor S1", „Sensor S2" usw. enthält die Daten zur Angabe des Zustands aller mit dem jeweiligen Sensor gemessenen Teile 133. Dieses Beispiel besagt, dass die Zustandswerte für die Teile 133 am 2. Januar 2001 um 10:10:10 Uhr 0,01, 0,10 und --- lauten bzw. dass die Zustandswerte für die Teile 133 am 2. Januar 2001 um 10:10:11 Uhr 0,02, 0,20 und --- lauten.
9 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 132 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Verarbeitungsergebnis-Verwaltungstabelle. Jede Zeile der Verarbeitungsergebnis-Verwaltungstabelle 146 enthält die Verarbeitungsergebnisse, die die Verarbeitungsergebnisse für den Wafer angeben, der durch die Wafer-Kennung am Anfang unterschieden ist. Die Verarbeitungsergebnisse bestehen aus den Elementen „Wafer-Kennung" und „Wafer-Bild".
Das Element „Wafer-Kennung" enthält die Daten zur Angabe einer eindeutigen Kennung, die jedem Wafer zugewiesen ist. Das Element „Wafer-Bild" enthält die Bilddaten zur Angabe des Zustands der Wafer-Oberfläche. Dieses Beispiel besagt, dass der Oberflächenzustand des Wafers W1 ein normales Muster ist, während der Oberflächenzustand des Wafers W2 ein anomales Muster ist.
10 zeigt ein Beispiel für die von der E/A-Einheit 130 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle. Jede Zeile der Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle 147 enthält die Statusausgabebeschränkung, die die Statusausgabeberechtigung für den Wartungsvorgang angibt. Die Ausgabebeschränkung besteht aus den Elementen „Element" und „Ausgabeberechtigung".
Das Element „Element" enthält Daten zur Angabe des jeweiligen Elements des Ausführungsstatus. Das Element „Ausgabeberechtigung" enthält die Daten zur Angabe dessen, ob die Anzeige des jeweiligen Elements des Ausführungsstatus entsprechend dem Ausgabemodus erlaubt ist oder nicht. In diesem Beispiel ist die Ausgabebeschränkung durch eine Zeichenfolge von zwei Zeichen angegeben. Die Zeichenfolge „XX" bedeutet die Erlaubnis zur Ausgabe unabhängig von dem Ausgabemodus, „X-" bedeutet die Erlaubnis zur Ausgabe, wenn der Wert des Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet, und die Ablehnung der Ausgabe, wenn er „Teilanzeige" lautet, „-X" bedeutet die Ablehnung der Ausgabe, wenn der Wert des Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet, und die Erlaubnis zur Ausgabe, wenn er „Teilanzeige" lautet, und „--" bedeutet die Ablehnung der Ausgabe unabhängig vom Ausgabemodus.
Die Elemente „Ausführungsdatum und -uhrzeit" und „Programmart" geben die Erlaubnis zur Ausgabe unabhängig vom Wert des Ausgabemodus an, und die Elemente „Programmkennung" und „Parameter" geben die Erlaubnis zur Ausgabe an, wenn der Wert des Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet, und die Ablehnung der Ausgabe, wenn er „Teilanzeige" lautet.
11 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle. Jede Zeile der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle 148 enthält die Wartungsergebnisse, die den Inhalt der von der Verwaltungsvorrichtung 122 empfangenen Nachricht angeben. Die Wartungsergebnisse bestehen aus den Elementen „Vorgangskennung", „Erfassungsdatum und -uhrzeit", „Fachliche Qualifikation", „Servicetechnikerkennung", "Vorgangsstatus", „Programmkennung", „Parameter", „Vorrichtungsstatus" und „Ausgabemodus".
Das Element „Vorgangskennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des Wartungsvorgangs. Das Element „Erfassungsdatum und -uhrzeit" enthält die Daten zur Angabe des Datums und der Uhrzeit, an dem bzw. zu der die Wartungsergebnisse erfasst werden. Das Element „Fachliche Qualifikation" enthält die Daten zur Angabe der fachlichen Qualifikation eines Servicetechnikers, der den Wartungsvorgang übermittelt. Das Element „Servicetechnikerkennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung eines Servicetechnikers, der eine Nachricht übermittelt. Das Element „Vorgangsstatus" enthält die Daten zur Angabe des Fortschritts des Wartungsvorgangs. Das Element „Programmkennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des von dem Wartungsvorgang ausgeführten Programms. Das Element „Parameter" enthält die Daten zur Angabe des Parameters, der an das Programm gegeben werden soll. Das Element „Vorrichtungsstatus" enthält den Vorrichtungsstatus bei der Ausführung des Programms. Das Element „Ausgabemodus" enthält den Ausgabemodus des Wartungsvorgangs.
Dieses Beispiel zeigt, dass der Servicetechniker ein Servicetechniker D1 ist, die fachliche Qualifikation „höhere Qualifikation" lautet und der Ausgabemodus auf „Teilanzeige" eingestellt ist. Weiter zeigt das Beispiel, dass die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 am 3. Januar 2001 um 11:10:10 Uhr eine Startbenachrichtigung, am 3. Januar 2001 um 11:15:10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung des Lesens (P2) des Programmausführungsverlaufs, am 3. Januar 2001 um 11:20.10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung des Lesens (P3) des Sensorstatusverlaufs, am 3. Januar 2001 um 11.25.10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung des Lesens (P4) der Verarbeitungsergebnisse, am 3. Januar 2001 um 11.30.10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung des Lesens (P1) des Programms P8, am 3. Januar 2001 um 11.35:10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung der Bearbeitung (P6) des Programms P8, am 3. Januar 2001 um 11:40.10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung der Ausführung (P8) des Programms P8, am 3. Januar 2001 um 11:45.10 Uhr einen Wartungsvorgang zur Anforderung des Lesens (P4) der Verarbeitungsergebnisse und am 3. Januar 2001 um 11:50:10 Uhr eine Beendigungsbenachrichtigung empfängt. Weiter zeigt das Beispiel, dass die Werte des Vorrichtungsstatus „Produktion" lauten, wenn die Einheit 131 die Startbenachrichtigung und den ersten Wartungsvorgang empfängt, und dass die Werte des Vorrichtungsstatus „Standby" lauten, wenn die Einheit 131 die übrigen Wartungsvorgänge empfängt.
12 zeigt ein Beispiel für die von der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verwaltete Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle. Jede Tabelle, die eine Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149 bildet, enthält die Wartungsgebührenliste, die den Wert angibt, der einem Halbleiterhersteller von dem Vorrichtungshersteller als Bezahlung für den Wartungsvorgang in Rechnung gestellt wird. Die Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149 besteht aus einer Festgebührenverwaltungstabelle 150, einer Abschlagsgebührenverwaltungstabelle 151 und einer Aufschlagsgebührenverwaltungstabelle 152.
Die Festgebührenverwaltungstabelle 150 enthält die Daten zur Angabe der Wartungsvorgangs-Festgebühr für jeden Wartungsvorgang, wenn der Wartungsvorgang vom jeweiligen Wartungszentrum angefordert wird. Die Abschlagsgebührenverwaltungstabelle 151 enthält die Daten zur Angabe des Gebührenabschlags für eine Programmausführung, wenn das jeweilige Programm in dem Wartungsvorgang ausgeführt wird. Die Aufschlagsgebührenverwaltungstabelle 152 enthält die Daten zur Angabe des Gebührenaufschlags für einen Wartungsvorgang, wenn der Ausgabemodus auf den jeweiligen Wert eingestellt ist. In diesem Beispiel kann ein Servicetechniker mit höherer Qualifikation die Wartung in einer kürzeren Zeit ausführen als ein Servicetechniker mit mittlerer Qualifikation, so dass die Tabelle 150 angibt, dass einem Halbleiterhersteller eine höhere Festgebühr in Rechnung gestellt wird, wenn ein Servicetechniker mit höherer fachlichen Qualifikation die Wartung ausführt, als die für einen Servicetechniker mit mittlerer fachlichen Qualifikation.
Weiter enthalten die Programme und Verarbeitungsergebnisse mehr geheime Informationen eines Halbleiterherstellers als die Daten zum Programmausführungs- und Sensorstatusverlauf, so dass die Tabelle 151 angibt, dass bei Ausführung der Programme P1, P4 und P6 ein höherer Abschlag als bei Ausführung der Programme P2 und P3 auf die Gebühr angerechnet wird.
Befindet sich die Vorrichtung im Produktionsstatus, ist außerdem die Wartung schwieriger als wenn die Vorrichtung in einem anderen Status ist. Daher gibt die Tabelle 151 an, dass ein Abschlag zu einem niedrigeren Satz auf die Gebühr angerechnet wird, wenn die Wartung ausgeführt werden muss, wenn der Wert des Vorrichtungsstatus „Produktion" lautet, als wenn die Wartung in einem anderen Status ausgeführt wird.
Außerdem wird, wenn der Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet, mehr Know-how bezüglich der Wartung an den Halbleiterhersteller gegeben als wenn die „Teilanzeige" gewählt ist. Daher gibt die Tabelle 152 an, dass ein Aufschlag zu einem höheren Satz in Rechnung gestellt wird, wenn der Ausgabemodus „Vollanzeige" lautet und die Wartung ausgeführt werden muss, als wenn der Ausgabemodus „Teilanzeige" lautet und die Wartung ausgeführt werden muss.
Als Nächstes wird der Aufbau einer zwischen der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 und der Bedienungsvorrichtung 113 gesendeten und empfangenen Nachricht beschrieben. 13 zeigt Beispiele der Nachrichten für die Wartungsanfrage, die Startbenachrichtigung, den Wartungsvorgang, die Wartungsvorgangsantwort und die Beendigungsbenachrichtigung, die zwischen der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 und der Bedienungsvorrichtung 113 gesendet und empfangen werden. Eine Wartungsanfrage 160 ist eine Nachricht, die zum Anfordern der Wartung von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 an die Bedienungsvorrichtung 113 übermittelt wird und aus den Elementen „Datum und Uhrzeit der Störungsfeststellung", „Kennung des Halbleiterwerks", „Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung", „Art der Halbleiterfertigungsvorrichtung", „Status" und „Ausgabemodus" besteht.
Das Element „Datum und Uhrzeit der Störungsfeststellung" enthält die Daten zur Angabe des Datum und der Uhrzeit, an dem bzw. zu der das Auftreten einer Störung fest gestellt wird. Das Element „Kennung des Halbleiterwerks" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des Werks, in dem die Halbleiterfertigungsvorrichtung installiert ist, an der das Auftreten einer Störung festgestellt wird. Das Element „Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung, an der das Auftreten einer Störung festgestellt worden ist. Das Element „Art der Halbleiterfertigungsvorrichtung" enthält die Daten zur Angabe der Art der Halbleiterfertigungsvorrichtung, an der das Auftreten einer Störung festgestellt worden ist. Das Element „Status" enthält den Status zur Identifizierung des Störungszustands. Das Element „Ausgabemodus" enthält den Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung.
Eine Startbenachrichtigung 161 ist eine Nachricht, die zur Benachrichtigung über den Start des Wartungsvorgangs von der Bedienungsvorrichtung 113 an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 übermittelt werden muss, und besteht aus den Elementen „Servicetechnikerkennung", „Passwort" und „Ausgabemodus".
Das Element „Servicetechnikerkennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung eines Servicetechnikers, der den Wartungsvorgang ausführt. Das Element „Passwort" enthält die Daten zur Angabe des Passworts eines Servicetechnikers, der den Wartungsvorgang ausführt. Das Element „Ausgabemodus" enthält den durch eine Wartungsanfrage angegebenen Ausgabemodus.
Ein Wartungsvorgang 162 ist eine Nachricht, die zur Benachrichtigung über einen Befehl von der Bedienungsvorrichtung 113 an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 übermittelt werden muss, und besteht aus den Elementen „Anzahl der Befehle", „Programmkennung", „Parameter", „Programmkennung", „Parameter" usw. Das Element „Anzahl der Befehle" enthält die Daten zur Angabe der Anzahl der in dem Wartungsvorgang gespeicherten Befehle. Das Element „Programm kennung" enthält die Daten zur Angabe der Kennung des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung auszuführenden Programms. Das Element „Parameter" ist der Parameter, der an das von der Halbleiterfertigungsvorrichtung auszuführende Programm übergeben werden muss.
Eine Wartungsvorgangsantwort 163 ist eine Nachricht, die zur Benachrichtigung über die Ergebnisse eines Befehls von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 an die Bedienungsvorrichtung 113 übermittelt werden muss, und besteht aus den Elementen „Anzahl der Ergebnisse", „Ergebnis", „Ergebnis" usw. Das Element „Anzahl der Ergebnisse" enthält die Daten zur Angabe der Anzahl der in der Wartungsvorgangsantwort gespeicherten Befehlsantworten. Das Element „Ergebnis" enthält die Daten zur Angabe der Ausführungsergebnisse eines Programms.
Eine Beendigungsbenachrichtigung 164 ist eine Nachricht, die zur Benachrichtigung über den Abschluss des Wartungsvorgangs von der Bedienungsvorrichtung 113 an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 übermittelt werden muss, und besteht aus dem Element „Gesamtzahl der Befehle". Das Element „Gesamtzahl der Befehle" enthält die Daten zur Angabe der Anzahl der Befehle, die zwischen dem Senden der Startbenachrichtigung und dem Senden der Beendigungsbenachrichtigung übermittelt worden sind.
Nachstehend wird der Verfahrensablauf in der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 und der Bedienungsvorrichtung 113 in 1 beschrieben. 14 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Verbindungseinheit 131 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und überwacht dadurch periodisch den Betriebszustand der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123.
Zuerst prüft die Verbindungseinheit 131, ob die Einheit 131 das Auftreten einer Störung in der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 feststellt oder nicht (Schritt 201). Stellt die Verbindungseinheit 131 das Auftreten einer Stö rung fest, erzeugt die Einheit 131 die Wartungsanfrage 160 bestehend aus dem Status zur Identifizierung des Störungszustands und dem Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung (Schritt 203); stellt die Einheit 131 kein Auftreten einer Störung fest, beendet sie den Prozess (Schritt 205). Als Nächstes übermittelt die Verbindungseinheit 131 die Wartungsanfrage 160 an die Verwaltungsvorrichtung 112 des Wartungszentrums 110 (Schritt 204) und beendet den Prozess (Schritt 205).
15 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Bedienungsvorrichtung 113. Die Bedienungsvorrichtung 113 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und sendet und empfängt dadurch die jeweiligen Nachrichten für die Wartungsanfrage 160, die Startbenachrichtigung 161, den Wartungsvorgang 162, die Wartungsvorgangsantwort 163 und die Beendigungsbenachrichtigung 164 zwischen der Bedienungsvorrichtung 113 und der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, in der eine Störung festgestellt worden ist.
Zuerst prüft die Bedienungsvorrichtung 113, ob die Bedienungsvorrichtung 113 die Wartungsanfrage 160 von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 empfängt oder nicht (Schritt 211). Empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 die Wartungsanfrage 160, zeigt die Bedienungsvorrichtung 113 die in der Wartungsanfrage 160 enthaltenen Informationen zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit an (Schritt 213); empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 keine Wartungsanfrage 160, beendet die Bedienungsvorrichtung 113 den Prozess (Schritt 224). Danach empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 die Kennung und das Passwort eines Servicetechnikers, die von dem Servicetechniker, der entscheidet, dass eine Online-Fehlersuche nötig ist, über die Tastatur eingegeben werden (Schritt 214). Wenn der Servicetechniker die Startbenachrichtigungs-Übertragungstaste mit der Maus drückt, übermittelt die Bedienungsvorrichtung 113 die Startbenach richtigung 161 bestehend aus der Kennung und dem Passwort des Servicetechnikers, die der Servicetechniker eingegeben hat, und dem aus der Wartungsanfrage entnommenen Ausgabemodus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die die Wartungsanfrage 160 übermittelt hat (Schritt 215). Danach empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 den von dem Servicetechniker über die Tastatur eingegebenen Befehl, um den Befehl an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 zu senden, und die Kennung der Datei zum Speichern der Programmausführungsergebnisse (Schritt 216). In Schritt 216 kann die Bedienungsvorrichtung 113 mehrere Befehle und Dateikennungen von dem Servicetechniker empfangen.
Drückt der Servicetechniker dann die Wartungsvorgangs-Übertragungstaste mit der Maus, übermittelt die Bedienungsvorrichtung 113 den Wartungsvorgang 162 bestehend aus den von dem Servicetechniker eingegebenen Befehlen an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die die Wartungsanfrage 160 übermittelt hat (Schritt 217). Danach empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 die von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 als Antwort auf den übermittelten Wartungsvorgang 162 übermittelte Wartungsvorgangsantwort 163 (Schritt 218). Als Nächstes entnimmt die Bedienungsvorrichtung 113 alle in der Wartungsvorgangsantwort 163 gespeicherten Befehlsantworten und speichert die Programmausführungsergebnisse in den jeweiligen Befehlsantworten in den diesen entsprechenden Dateien (Schritt 219). Danach zeigt die Bedienungsvorrichtung 113 die Wirkung des Empfangs der Wartungsvorgangsantwort 163 auf der Anzeigeeinheit an (Schritt 220). Als Nächstes empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 ein Eingabesignal von dem Servicetechniker (Schritt 221).
Drückt der Servicetechniker die Fortsetzungstaste mit der Maus, geht die Bedienungsvorrichtung 113 zu Schritt 216 zurück und setzt den Prozess fort; drückt der Servicetechniker die Beendigungsbenachrichtigungs-Übertragungstaste, übermittelt die Bedienungsvorrichtung 113 die Beendigungs benachrichtigung 164 an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die die Wartungsanfrage 160 übermittelt hat (Schritt 223), und beendet den Prozess (Schritt 224).
16 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Verbindungseinheit 131 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und führt dadurch die den jeweiligen Nachrichten für die Startbenachrichtigung 161, den Wartungsvorgang 162 und die Beendigungsbenachrichtigung 164 entsprechenden Prozesse aus.
Zuerst prüft die Verbindungseinheit 131, ob eine Nachricht von der Bedienungsvorrichtung 113 empfangen wird oder nicht (Schritt 231). Wird eine Nachricht empfangen, bestätigt, die Verbindungseinheit 131, um welche Nachricht es sich handelt – Startbenachrichtigung 161, Wartungsvorgang 162 oder Beendigungsbenachrichtigung 164 (Schritt 233); wird keine Nachricht empfangen, beendet die Verbindungseinheit 131 den Prozess (Schritt 250).
Ist die in Schritt 233 bestätigte Nachricht die Startbenachrichtigung 161, liest die Verbindungseinheit 131 das Servicetechnikerattribut aus der Servicetechniker-Attributverwaltungstabelle 140 (Schritt 235), bestätigt den Servicetechniker anhand des gelesenen Servicetechnikerattributs (Schritt 236), speichert den aus der Startbenachrichtigung entnommenen Ausgabemodus (Schritt 237), speichert den Inhalt der Startbenachrichtigung in der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle 147 (Schritt 249) und beendet den Prozess (Schritt 250). Ist die in Schritt 233 bestätigte Nachricht der Wartungsvorgang 162, entnimmt die Verbindungseinheit 131 alle Befehle aus dem Wartungsvorgang 162 (Schritt 238). Die Verbindungseinheit 131 wiederholt die Schritte 239 bis 245 für die jeweils entnommenen Befehle (Schritte 246 und 247). Zuerst liest die Verbindungseinheit 131 den Vorrichtungsstatus, der den Status der Vorrichtung zu dem betreffenden Zeitpunkt angibt, aus der Steuerungseinheit 132 (Schritt 239). Danach liest die Verbindungseinheit 131 die durch den Befehl angegebene Programmausführungsberechtigung aus der Ausführungsberechtigungs-Verwaltungstabelle 143 (Schritt 240). Als Nächstes bestätigt die Verbindungseinheit 131 auf der Grundlage des Servicetechnikerattributs und des Vorrichtungsstatus, ob der Servicetechniker über die durch den Befehl angegebene Programmausführungsberechtigung verfügt oder nicht (Schritt 241).
Ist die Ausführungsberechtigung gegeben, übermittelt die Verbindungseinheit 131 eine Ausführungsanforderung bestehend aus dem durch den Befehl angegebenen Programm und Parameter und dem gespeicherten Ausgabemodus an die Steuerungseinheit 132 (Schritt 243), empfängt eine Ausführungsanforderungsantwort von der Steuerungseinheit 132 (Schritt 244) und speichert die aus der Ausführungsanforderungsantwort entnommenen Programmausführungsergebnisse in der Wartungsvorgangsantwort 163 (Schritt 245); ist die Ausführungsberechtigung nicht gegeben, speichert die Verbindungseinheit 131 die Wirkung in der Wartungsvorgangsantwort 163 (Schritt 245). Die Verbindungseinheit 131 wiederholt die Schritte 239 bis 245 für die jeweils entnommenen Befehle, übermittelt dann die Wartungsvorgangsantwort 163 an die Bedienungsvorrichtung 113 (Schritt 248), speichert den Inhalt des Wartungsvorgangs 162 in der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle 147 (Schritt 249) und beendet den Prozess (Schritt 250). Ist die in Schritt 233 bestätigte Nachricht die Beendigungsbenachrichtigung 164, liest die Verbindungseinheit 131 die Wartungsergebnisse aus der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle 147 (Schritt 251), liest die Wartungsgebührenliste aus der Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 148 (Schritt 252), berechnet die Wartungsgebühr für die betreffende Wartung unter Verwendung der Wartungsgebührenliste und der Wartungsergebnisse (Schritt 253), fordert die E/A-Einheit 130 über die Steuerungseinheit 132 auf, die Informationen bezüglich der Wartungsgebühr zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit anzuzeigen (Schritt 254), speichert den Inhalt der Beendigungsbenach richtigung 164 in der Wartungsergebnis-Verwaltungstabelle 147 (Schritt 249) und beendet den Prozess (Schritt 250). Die Verarbeitungsreihenfolge der Schritte 239 und 240 kann getauscht werden.
17 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Steuerungseinheit 132 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Steuerungseinheit 132 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und führt dadurch das Programm entsprechend der von der Verbindungseinheit 131 empfangenen Ausführungsanforderung aus.
Zuerst prüft die Steuerungseinheit 132, ob die Ausführungsanforderung und der Ausgabemodus von der Verbindungseinheit 131 empfangen werden oder nicht (Schritt 261). Werden die Ausführungsanforderung und der Ausgabemodus empfangen, führt die Steuerungseinheit 132 das durch die Ausführungsanforderung angegebene Programm mit dem entsprechenden Parameter aus (Schritt 263); wird keine Programmausführungsanforderung empfangen, beendet die Steuerungseinheit 132 den Prozess (Schritt 266). Danach übermittelt die Steuerungseinheit 132 den Ausführungsstatus bestehend aus dem Datum und der Uhrzeit der Programmausführung, Programmkennung und Parameter und dem von der Steuerungseinheit 132 empfangenen Ausgabemodus an die E/A-Einheit 130 (Schritt 264). Als Nächstes übermittelt die Steuerungseinheit 132 eine Ausführungsanforderungsantwort bestehend aus den Programmausführungsergebnissen an die Verbindungseinheit (Schritt 265) und beendet den Prozess (Schritt 266).
18 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der E/A-Einheit 130 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die E/A-Einheit 130 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und gibt dadurch den Ausführungsstatus zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit aus.
Zuerst prüft die E/A-Einheit 130, ob sie den Ausführungsstatus und den Ausgabemodus von der Steuerungseinheit 132 empfängt oder nicht (Schritt 271). Werden der Ausführungsstatus und der Ausgabemodus empfangen, liest die E/A- Einheit 130 die Statusausgabeberechtigung aus der Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle (Schritt 273); werden der Ausführungsstatus und der Ausgabemodus nicht empfangen, beendet die E/A-Einheit 130 den Prozess (Schritt 276). Als Nächstes prüft die E/A-Einheit 130 auf der Grundlage des empfangenen Ausgabemodus, ob die Ausgabeberechtigung für das jeweilige Element des Ausführungsstatus vorliegt oder nicht (Schritt 274). Danach zeigt die E/A-Einheit 130 das Element des Ausführungsstatus, für das die Ausgabeberechtigung vorliegt, zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit an (Schritt 275) und beendet den Prozess (Schritt 276).
Nachstehend wird die Bildschirmanzeige auf der Anzeigeeinheit beschrieben, auf der die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 und die Bedienungsvorrichtung 113 in 1 angezeigt werden. 19 zeigt ein Beispiel für den Wartungsvorgangbildschirm, der in Schritt 213 des Ablaufdiagramms in 15 auf der Anzeigeeinheit der Bedienungsvorrichtung 113 angezeigt wird.
Ein Wartungsvorgangbildschirm 280 ist eine Bildschirmanzeige zur Anzeige des Inhalts der Wartungsanfrage 160 einschließlich des Status und des Ausgabemodus für einen Servicetechniker und zum Empfangen einer Anweisung zur Übermittlung der Startbenachrichtigung 161, Übermittlung des Wartungsvorgangs 162, Fortsetzung der Übermittlung des Wartungsvorgangs 162 oder Übermittlung der Beendigungsbenachrichtigung 164 von dem Servicetechniker und besteht aus einem Wartungsanfragefenster 281, einem Aktionsfenster 282, einem Startbenachrichtigungsfenster 287 und einem Wartungsvorgangsfenster 290.
Das Wartungsanfragefenster 281 ist ein Fenster zur Anzeige des Inhalts der von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 erhaltenen Wartungsanfrage 160 für einen Servicetechniker. In diesem Beispiel lauten das Datum und die Uhrzeit der Störungsfeststellung 2001:01:02 bzw. 10:15:10, die Kennung des Halbleiterwerks lautet F1, die Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung lautet E1, die Art der Halbleiterfertigungsvorrichtung lautet „Prüfvorrichtung", der Status lautet 01234 und der Ausgabemodus lautet „Teilanzeige".
Das Aktionsfenster 282 ist ein Fenster zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung der Startbenachrichtigung 161, Übermittlung des Wartungsvorgangs 162, Fortsetzung der Übermittlung des Wartungsvorgangs 162 oder Übermittlung der Beendigungsbenachrichtigung 164 durch einen Servicetechniker und besteht aus einer Startbenachrichtigungs-Übertragungstaste 283, einer Wartungsvorgangs-Übertragungstaste 284, einer Wartungsvorgangs-Fortsetzungstaste 285 und einer Beendigungsbenachrichtigungstaste 286. Die Startbenachrichtigungs-Übertragungstaste 283 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung der Startbenachrichtigung 152 durch einen Servicetechniker, und wenn der Servicetechniker die Taste mit der Maus drückt, übermittelt die Taste 283 die Startbenachrichtigung 161 bestehend aus der von dem Servicetechniker über ein Startbenachrichtigungsfenster 287 eingegebenen Servicetechnikerkennung und dem Passwort sowie dem aus der Wartungsanfrage 160 entnommenen Ausgabemodus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die die Wartungsanfrage 160 übermittelt hat. Die Wartungsvorgangs-Übertragungstaste 284 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung des Wartungsvorgangs 162 durch einen Servicetechniker, und wenn der Servicetechniker die Taste mit der Maus drückt, übermittelt die Taste 284 den Wartungsvorgang 162 bestehend aus ein oder mehr von dem Servicetechniker über das Wartungsvorgangsfenster 290 eingegebenen Befehlen an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die die Wartungsanfrage 160 übermittelt hat. Die Wartungsvorgangs-Fortsetzungstaste 285 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Fortsetzung der Übermittlung des Wartungsvorgangs 162 durch einen Servicetechniker, und wenn der Servicetechniker die Taste mit der Maus drückt, löscht die Taste 285 die von dem Servicetechniker über das Wartungsvorgangsfenster 290 eingegebenen Befehlsdaten. Der Servicetechniker kann über das gelöschte Wartungsvorgangsfenster 290 einen neuen Befehl eingeben. Die Beendigungsbenachrichtigungstaste 286 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung der Beendigungsbenachrichtigung 164 durch einen Servicetechniker, und wenn der Servicetechniker die Taste mit der Maus drückt, übermittelt die Taste 286 die Beendigungsbenachrichtigung 164 bestehend aus den Daten zur Angabe der Anzahl der zwischen dem Senden der Startbenachrichtigung 161 und dem Senden der Beendigungsbenachrichtigung 164 übermittelten Befehle an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die die Wartungsanfrage 160 übermittelt hat.
Das Startbenachrichtigungsfenster 287 ist ein Fenster zur Eingabe der Kennung und des Passworts eines Servicetechnikers, die in der Startbenachrichtigung 161 gespeichert werden, durch den Servicetechniker und besteht aus einem Feld 288 für die Servicetechnikerkennung und einem Passwortfeld 289.
Das Feld 288 für die Servicetechnikerkennung ist ein Feld zur Eingabe der eigenen Servicetechnikerkennung durch den Servicetechniker über die Tastatur, und das Passwortfeld 289 ist ein Feld zur Eingabe des eigenen Passworts durch den Servicetechniker über die Tastatur.
Das Wartungsvorgangsfenster 290 ist ein Fenster zur Eingabe von ein oder mehr Befehlen, die in dem Wartungsvorgang 162 gespeichert werden, und der Kennung der Datei zum Speichern der Programmausführungsergebnisse durch einen Servicetechniker und zum Anzeigen der entsprechenden Wirkung bei Empfang der Wartungsvorgangsantwort 163 und besteht aus einer Befehlsliste 291 und einem Statusfenster 296. Die Befehlsliste 291 ist eine Liste zur Eingabe von ein oder mehr Befehlen, die in dem Wartungsvorgang 153 gespeichert werden, durch einen Servicetechniker und besteht aus einem Nummernfeld 292, einem Programmkennungsfeld 293, einem Parameterfeld 294 und einem Ergebnisdatei-Kennungsfeld 295. Das Nummernfeld 292 ist ein Feld zur Eingabe der Reihenfolge der Befehlsausführung durch einen Servicetechniker über die Tastatur, das Programmkennungsfeld 293 ist ein Feld zur Eingabe der Kennung des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 auszuführenden Programms durch den Servicetechniker über die Tastatur, das Parameterfeld 294 ist ein Feld zur Eingabe des Parameters, der an das von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 auszuführende Programm übergeben werden muss, durch den Servicetechniker über die Tastatur und das Ergebnisdatei-Kennungsfeld 295 ist ein Feld zur Eingabe der Kennung der Datei zum Speichern der Programmausführungsergebnisse durch den Servicetechniker über die Tastatur.
Das Statusfenster 296 ist ein Fenster zum Anzeigen der entsprechenden Wirkung bei Empfang der Wartungsvorgangsantwort 163, und wenn der Servicetechniker die Wartungsvorgangs-Übertragungstaste drückt, zeigt das Statusfenster 296 eine Zeichenfolge wie zum Beispiel „Wartungsvorgang übermittelt" an; wenn die Wartungsvorgangsantwort 163 von der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 empfangen wird, zeigt das Statusfenster 296 eine Zeichenfolge wie zum Beispiel „Wartungsvorgangsantwort empfangen" an.
20 zeigt ein Beispiel für den Ausführungsstatus-Ausgabebildschirm, der in Schritt 275 des Ablaufdiagramms in 18 auf der Anzeigeeinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 angezeigt wird. Ein Ausführungsstatus-Ausgabebildschirm 300 ist eine Bildschirmanzeige zur Anzeige des Status des Wartungsvorgangs für einen Techniker und besteht aus einem Ausführungsstatusfenster 301. Das Ausführungsstatusfenster 301 ist ein Fenster zur Anzeige des Status des Wartungsvorgangs für den Techniker und besteht aus einer Ausführungsstatusliste 302.
Die Ausführungsstatusliste 302 ist eine Liste zur Anzeige des Status des Wartungsvorgangs für einen Techniker und besteht aus einem Feld 303 für das Datum und die Uhrzeit der Ausführung, einem Programmartfeld 304, einem Programmkennungsfeld 305 und einem Parameterfeld 306. Das Feld 303 für das Datum und die Uhrzeit der Ausführung enthält die Daten zur Angabe des Datums und der Zeit, an dem bzw. zu der das Programm ausgeführt wird. Das Programmartfeld 304 enthält die Daten zur Angabe der Programmart. Das Programmkennungsfeld 305 enthält die Daten zur Angabe der Kennung des von dem Wartungsvorgang auszuführenden Programms. Das Parameterfeld 306 enthält die Daten zur Angabe des an das Programm zu übergebenden Parameters. Dieses Beispiel zeigt die Anzeige, wenn für den Ausgabemodus „Teilanzeige" gewählt ist. Tatsächlich wird das Lesen (P2) des Programmausführungsverlaufs am 3. Januar 2001 um 11:15:10 Uhr ausgeführt, das Lesen (P3) des Sensorstatusverlaufs wird am 3. Januar 2001 um 11:20:10 Uhr ausgeführt, das Lesen (P4) der Verarbeitungsergebnisse wird am 3. Januar 2001 um 11:25:10 Uhr ausgeführt, das Lesen (P1) des Programms P8 wird am 3. Januar 2001 um 11:30:10 Uhr ausgeführt, das Bearbeiten (P6) des Programms P8 wird am 3. Januar 2001 um 11:35:10 Uhr ausgeführt, die Ausführung (P8) des Programms P8 wird am 3. Januar 2001 um 11:40:10 Uhr ausgeführt und das Lesen (P4) der Verarbeitungsergebnisse wird am 3. Januar 2001 um 11:45:10 Uhr ausgeführt, auch wenn nur das Datum und die Uhrzeit der Ausführung und die Programmart angezeigt werden.
21 zeigt ein Beispiel für den Wartungsgebühren-Informationsbildschirm, der in Schritt 254 des Ablaufdiagramms in 16 auf der Anzeigeeinheit der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 angezeigt wird. Ein Wartungsgebühren-Informationsbildschirm 310 ist eine Bildschirmanzeige zur Anzeige der Informationen bezüglich der Wartungsgebühr für einen Techniker und besteht aus einem Wartungsgebühren-Informationsfenster 311.
Das Wartungsgebühren-Informationsfenster 311 ist ein Fenster zur Anzeige des Werts, der einem Halbleiterhersteller von dem Vorrichtungshersteller in Rechnung gestellt wird, für den Techniker. Dieses Beispiel zeigt, dass die Wartungsgebühr 6.000 Yen beträgt, die festgelegte Gebühr 30.000 Yen beträgt, der Gebührenabschlag 25.000 Yen beträgt und der Gebührenaufschlag 1.000 Yen beträgt. Das Beispiel zeigt weiter, dass die festgelegte Gebühr 30.000 Yen beträgt, weil die fachliche Qualifikation eines Servicetechniker höher ist, dass ein Abschlag von 2.000 Yen angerechnet wird, weil der Programmausführungsverlauf im Produktionsstatus gelesen wird, ein Abschlag von 2.000 Yen angerechnet wird, weil der Sensorstatusverlauf im Produktionsstatus gelesen wird, außerdem ein Abschlag von 7.000 Yen angerechnet wird, weil die Verarbeitungsergebnisse im Standby-Status gelesen werden, ein Abschlag von 7.000 Yen angerechnet wird, weil das Programm im Standby-Status gelesen wird, ein Abschlag von 7.000 Yen angerechnet wird, weil das Programm im Standby-Status bearbeitet wird und ein Aufschlag von 1.000 Yen berechnet wird, weil für den Ausgabemodus „Teilanzeige" gewählt ist.
Wie bereits erwähnt, sind in dem System nach dieser Ausführungsform die Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Bedienungsvorrichtung über das Internet miteinander verbunden, und die Bedienungsvorrichtung übermittelt den Wartungsvorgang an die Halbleiterfertigungsvorrichtung; die Halbleiterfertigungsvorrichtung führt den Prozess entsprechend dem empfangenen Wartungsvorgang aus, erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend dem Inhalt des ausgeführten Prozesses und gibt die erzeugten Gebühreninformationen auf dem Bildschirm der Halbleiterfertigungsvorrichtung aus, so dass es möglich ist, die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Inhalt des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung durchgeführten Wartungsvorgangs auszuführen.
Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung die Daten zur Angabe der fachlichen Qualifikation eines Servicetechnikers in dem Servicetechnikerattribut bereit und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend den Wartungsattributdaten eines Servicetechnikers, der den Wartungsvorgang übermittelt, so dass die Steuerung und durch gängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend der fachlichen Qualifikation eines Servicetechnikers ausgeführt werden können.
Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung die Daten zur Angabe des Verarbeitungsstatus der Halbleiterfertigungsvorrichtung in den Vorrichtungsstatusdaten bereit und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend den Vorrichtungsstatusdaten zum Zeitpunkt der Ausführung des Prozesses, so dass die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend der Möglichkeit einer Beeinträchtigung des Fertigungsverfahrens eines Halbleiterherstellers ausgeführt werden können.
Weiter speichert die Halbleiterfertigungsvorrichtung die Verwendungsverlaufsinformationen zur Angabe des Verwendungsverlaufs der Halbleiterfertigungsvorrichtung und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend der Art der je nach Wartungsvorgang gelesenen Verwendungsverlaufsinformationen, so dass die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend den von einem Halbleiterhersteller erhaltenen geheimen Informationen ausgeführt werden können.
Weiter gibt die Halbleiterfertigungsvorrichtung den ausgeführten Verarbeitungsstatus entsprechend dem Wartungsvorgang an einen Techniker aus und erzeugt Wartungsgebühreninformationen entsprechend dem Inhalt des Ausgabestatus, so dass die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Know-how bezüglich der durch den Vorrichtungshersteller erbrachten Wartung ausgeführt werden können.
Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung das Servicetechnikerattribut zur Angabe des Attributs für einen Servicetechniker und die Programmausführungsberechtigung zur Angabe der nötigen Attributbedingungen für die Prozessausführung bereit und liest das Servicetechnikerattribut und die Programmausführungsberechtigung, wenn der Wartungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung empfangen wird, und nur wenn das Attribut des Servicetechnikerattributs die Bedingung für den Programmausführungsstatus nicht erfüllt, kann der Zugriff entsprechend dem Attribut des Servicetechnikers beschränkt werden.
Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung den Vorrichtungsstatus zur Angabe des Status der Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Programmausführungsberechtigung zur Angabe des für die Prozessausführung nötigen Status bereit und liest den Vorrichtungsstatus zu dem betreffenden Zeitpunkt und die Programmausführungsberechtigung, wenn der Wartungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung empfangen wird, und nur wenn der Status in dem Vorrichtungsstatus die Bedingung in dem Programmausführungsstatus erfüllt, wird der Prozess entsprechend dem Wartungsvorgang ausgeführt, so dass es möglich ist, den Zugriff entsprechend dem Vorrichtungsstatus zu beschränken.
Weiter hält die Halbleiterfertigungsvorrichtung den Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung und die Statusausgabeberechtigung zur Angabe des für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus nötigen Ausgabemodusstatus bereit und liest den Ausgabemodus und die Statusausgabeberechtigung, wenn der Wartungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung empfangen wird, und nur wenn der Status in dem Ausgabemodus die Bedingung in der Statusausgabeberechtigung erfüllt, wird der Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung ausgegeben, so dass es möglich ist, die Ausgabe entsprechend dem Ausgabemodus zu beschränken.
Die Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung ist vorstehend beschrieben. Die vorliegende Erfindung kann jedoch darüber hinaus in verschiedener Weise abgeändert werden. Die zweite Ausführungsform ist eine Modifikation der ersten Ausführungsform. Bei der ersten Ausführungsform berechnet die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 eine Wartungsgebühr unter Verwendung der zum Zeitpunkt der Liefe rung im Werk des Vorrichtungsherstellers eingegebenen Wartungsgebührenliste. Bei dieser Ausführungsform wird die Wartungsgebühr jedoch unter Verwendung der nach Lieferung aus dem Werk von der Bedienungsvorrichtung 113 des Wartungszentrums 110 gelieferten Wartungsgebührenliste berechnet.
In dem System nach der vorliegenden Erfindung sind die Bedienungsvorrichtung 113 und die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 um eine nachstehend beschriebene neue Funktion erweitert. Der übrige Aufbau ist jedoch derselbe wie bei dem beschriebenen System nach der ersten Ausführungsform.
Wenn der Servicetechniker entscheidet, dass eine Online-Lieferung der Wartungsgebührenliste nötig ist, gibt er die Wartungsgebührenliste über die Tastatur ein und drückt die Gebührenlistenvorgangstaste mit der Maus. Die Bedienungsvorrichtung 113 verfügt auch über eine Funktion zur Übermittlung einer Nachricht bestehend aus der vom Servicetechniker eingegebenen Wartungsgebührenliste (nachstehend als Gebührenlistenvorgang bezeichnet) an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 online über die Verwaltungsvorrichtung 112 und die Verwaltungsvorrichtung 122.
Die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verfügt auch über eine Funktion zum Entnehmen der Wartungsgebührenliste aus dem empfangenen Gebührenlistenvorgang, wenn die Einheit 131 den Gebührenlistenvorgang von der Verwaltungsvorrichtung 122 empfängt, und zu ihrer Speicherung in der Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149.
Nachstehend wird der Verfahrensablauf in der Bedienungsvorrichtung 113 und der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 in 1 beschrieben. 22 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Bedienungsvorrichtung 113. Die Bedienungsvorrichtung 113 führt den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und übermittelt dadurch den Gebüh renlistenvorgang an die betreffende Halbleiterfertigungsvorrichtung 123.
Zuerst empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 die Wartungsgebührenliste, die von einem Servicetechniker über die Tastatur eingegeben wird, der entscheidet, dass eine Online-Lieferung der Wartungsgebührenliste nötig ist (Schritt 321). Danach erhält die Bedienungsvorrichtung 113 das Übermittlungsziel für den Gebührenlistenvorgang, das von dem Servicetechniker, der die Wartungsgebührenliste eingibt, über die Tastatur eingegeben wird (Schritt 322). Wenn der Servicetechniker die Gebührenlistenvorgang-Übertragungstaste mit der Maus drückt, übermittelt die Bedienungsvorrichtung 113 daraufhin den Gebührenlistenvorgang bestehend aus der von dem Servicetechniker eingegebenen Wartungsgebührenliste an die von dem Servicetechniker angegebene Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 (Schritt 323) und beendet den Prozess (Schritt 324). Die Verarbeitungsreihenfolge der Schritte 321 und 322 kann getauscht werden.
23 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Verbindungseinheit 131 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und führt dadurch den Prozess entsprechend dem von der Bedienungsvorrichtung 113 empfangenen Gebührenlistenvorgang aus.
Zuerst prüft die Verbindungseinheit 131, ob die Einheit 131 den Gebührenlistenvorgang von der Bedienungsvorrichtung 113 empfängt oder nicht (Schritt 331). Wenn die Einheit 131 den Gebührenlistenvorgang empfängt, entnimmt die Einheit 131 die Wartungsgebührenliste aus dem Gebührenlistenvorgang und speichert sie in der Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149 (Schritt 333) und beendet den Prozess (Schritt 334). Auch wenn der Gebührenlistenvorgang nicht empfangen wird, beendet die Verbindungseinheit 131 den Prozess (Schritt 334).
Nachstehend wird die Bildschirmanzeige auf der Anzeigeeinheit der Bedienungsvorrichtung 113 in 1 beschrie ben. 24 zeigt ein Beispiel für den Wartungsgebühren-Einstellbildschirm, der in Schritt 321 des Ablaufdiagramms in 22 auf der Anzeigeeinheit der Bedienungsvorrichtung 113 angezeigt wird.
Ein Wartungsgebühren-Einstellbildschirm 340 ist eine Bildschirmanzeige zum Empfangen einer Anweisung zur Übermittlung der Wartungsgebührenliste und des Gebührenlistenvorgangs von einem Servicetechniker und besteht aus einem Wartungsgebührenlistenfenster 341, einem Übermittlungszielfenster 347 und einem Aktionsfenster 345. Das Wartungsgebührenlistenfenster 341 ist ein Fenster zum Empfangen der Wartungsgebührenliste von dem Servicetechniker und besteht aus einer festgelegten Gebührenliste 342, einer Gebührenabschlagsliste 343 und einer Gebührenaufschlagsliste 344. Die festgelegte Gebührenliste 342 ist eine Liste zum Eingeben der Daten bezüglich der festen Gebühr, die in dem Gebührenlistenvorgang gespeichert werden muss, durch den Servicetechniker. Die in der Liste zu speichernden Datenelemente sind dieselben wie in der festgelegten Gebührenverwaltungstabelle 150, die die in 12 erläuterte Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149 bildet, so dass hier auf die Beschreibung verzichtet wird. Die Gebührenabschlagsliste 343 ist eine Liste zum Eingeben der Daten bezüglich des Gebührenabschlags, der in dem Gebührenlistenvorgang gespeichert werden muss, durch den Servicetechniker. Die in der Liste zu speichernden Datenelemente sind dieselben wie in der Abschlagsgebührenverwaltungstabelle 151, die die in 12 erläuterte Wartungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149 bildet, so dass hier auf die Beschreibung verzichtet wird. Die Gebührenaufschlagsliste 344 ist eine Liste zum Eingeben der Daten bezüglich des Gebührenaufschlags, der in dem Gebührenlistenvorgang gespeichert werden muss, durch den Servicetechniker. Die in der Liste zu speichernden Datenelemente sind dieselben wie in der Aufschlagsgebührenverwaltungstabelle 152, die die in 12 erläuterte War tungsgebührenlisten-Verwaltungstabelle 149 bildet, so dass hier auf die Beschreibung verzichtet wird.
Das Übermittlungszielfenster 347 ist ein Fenster zum Empfangen des Übermittlungsziels für den Gebührenlistenvorgang von einem Servicetechniker und besteht aus einer Halbleiterwerkliste 348, einem Übermittlungszielfenster 351, einer Halbleiterfertigungsvorrichtungsliste 352 und einem Übermittlungszielfenster 355. Die Halbleiterwerkliste 348 ist eine Liste zur Angabe der Kennung des Halbleiterwerks 120, das den Gebührenlistenvorgang an den Servicetechniker übermitteln kann, und besteht aus einem Nummernfeld 349 und einem Halbleiterwerkfeld 350. Das Nummernfeld 349 ist ein Feld zur Angabe der laufenden Nummern aus der Liste, und das Halbleiterwerkfeld 350 ist ein Feld zur Angabe der Kennung des Halbleiterwerks 120, das den Gebührenlistenvorgang übermitteln kann. Das Übermittlungszielfenster 351 ist ein Fenster zur Angabe der Kennung des von dem Servicetechniker angegebenen Halbleiterwerks 120, und wenn der Servicetechniker die Kennung eines bestimmten Kandidaten aus der Halbleiterwerkliste 348 mit der Maus auswählt, wird die zugehörige Kennung des ausgewählten Halbleiterwerks 120 angezeigt.
Die Halbleiterfertigungsvorrichtungsliste 352 ist eine Liste zur Angabe der Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die den Gebührenlistenvorgang an den Servicetechniker übermitteln kann, und besteht aus einem Nummernfeld 353 und einem Halbleiterfertigungsvorrichtungsfeld 354. Das Nummernfeld 353 ist ein Feld zur Angabe der laufenden Nummern aus der Liste, und das Halbleiterfertigungsvorrichtungsfeld 354 ist ein Feld zur Angabe der Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die den Gebührenlistenvorgang übermitteln kann, und wenn der Servicetechniker die Kennung eines bestimmten Kandidaten aus der Halbleiterwerkliste 348 mit der Maus auswählt, wird die zugehörige Kennung der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, die den Gebührenlistenvorgang übermitteln kann, in dem ausgewählten Halbleiterwerk angezeigt.
Das Übermittlungszielfenster 355 ist ein Fenster zur Angabe der Kennung der von dem Servicetechniker angegebenen Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, und wenn der Servicetechniker die Kennung eines bestimmten Kandidaten aus der Halbleiterfertigungsvorrichtungsliste 353 mit der Maus auswählt, wird die zugehörige Kennung der ausgewählten Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 angezeigt.
Das Aktionsfenster 345 ist eine Bildschirmanzeige zum Empfangen einer Anweisung zur Übermittlung des Gebührenlistenvorgangs von einem Servicetechniker und besteht aus einer Gebührenlistenvorgang-Übertragungstaste 346. Die Gebührenlistenvorgang-Übertragungstaste 346 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung des Gebührenlistenvorgangs durch den Servicetechniker, und wenn der Servicetechniker die Taste mit der Maus drückt, übermittelt die Taste 346 den Gebührenlistenvorgang bestehend aus der Wartungsgebührenliste, die von dem Servicetechniker über das Wartungsgebührenlistenfenster 241 eingegeben worden ist, an die von dem Servicetechniker über das Übermittlungszielfenster 346 angegebene Halbleiterfertigungsvorrichtung 123.
Wie bereits erwähnt, ist bei dem System nach dieser Ausführungsform das System nach der ersten Ausführungsform so modifiziert, dass die Bedienungsvorrichtung 113 die Wartungsgebührenliste an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 übermittelt und die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 die Gebühreninformationen unter Verwendung der empfangenen Wartungsgebührenliste erzeugt, so dass die Wartungsgebührenliste ohne weiteres geändert werden kann.
Die dritte Ausführungsform ist eine Modifikation der ersten Ausführungsform. Bei der dritten Ausführungsform beschränkt die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 die Ausgabe an die E/A-Einheit unter Verwendung der zum Zeitpunkt der Lieferung im Werk des Vorrichtungsherstellers eingege benen Statusausgabeberechtigung. Bei dieser Ausführungsform wird jedoch die Ausgabe an die E/A-Einheit 130 unter Verwendung der nach Lieferung aus dem Werk von der Bedienungsvorrichtung 113 des Wartungszentrums 110 gelieferten Statusausgabeberechtigung beschränkt.
In dem System nach der vorliegenden Erfindung sind die Bedienungsvorrichtung 113 und die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 um eine nachstehend beschriebene neue Funktion erweitert. Der übrige Aufbau ist jedoch derselbe wie bei dem beschriebenen System nach der ersten Ausführungsform.
Wenn der Servicetechniker entscheidet, dass eine Online-Lieferung der Statusausgabeberechtigung nötig ist, gibt er die Statusausgabeberechtigung über die Tastatur ein und drückt die Statusausgabevorgang-Übertragungstaste mit der Maus. Die Bedienungsvorrichtung 113 verfügt auch über eine Funktion zur Übermittlung einer Nachricht bestehend aus der vom Servicetechniker eingegebenen Statusausgabeberechtigung (nachstehend als Ausgabeberechtigungsvorgang bezeichnet) an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 online über die Verwaltungsvorrichtung 112 und die Verwaltungsvorrichtung 122.
Die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verfügt auch über eine Funktion zum Entnehmen der Statusausgabeberechtigung aus dem empfangenen Ausgabeberechtigungsvorgang, wenn die Einheit 131 den Ausgabeberechtigungsvorgang von der Verwaltungsvorrichtung 122 empfängt, und zum Übermitteln der entnommenen Statusausgabeberechtigung an die E/A-Einheit 130 über die Steuerungseinheit 132. Die E/A-Einheit 130 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verfügt auch über eine Funktion zum Speichern der empfangenen Statusausgabeberechtigung in der Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle 146, wenn die Einheit 130 die Statusausgabeberechtigung von der Verbindungseinheit 131 empfängt.
Nachstehend wird der Verfahrensablauf in der Bedienungsvorrichtung 113 und der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 in 1 beschrieben. 25 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Bedienungsvorrichtung 113. Die Bedienungsvorrichtung 113 führt den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und übermittelt dadurch den Ausgabeberechtigungsvorgang an die betreffende Halbleiterfertigungsvorrichtung 123.
Zuerst empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 die Statusausgabeberechtigung, die von einem Servicetechniker über die Tastatur eingegeben wird, der entscheidet, dass eine Online-Lieferung der Statusausgabeberechtigung nötig ist (Schritt 361). Danach empfängt die Bedienungsvorrichtung 113 des Übermittlungsziel für den Ausgabeberechtigungsvorgang, das von dem Servicetechniker, der die Statusausgabeberechtigung eingegeben hat, über die Tastatur eingegeben wird (Schritt 362). Wenn der Servicetechniker die Ausgabeberechtigungsvorgang-Übertragungstaste mit der Maus drückt, übermittelt die Bedienungsvorrichtung 113 daraufhin den Ausgabeberechtigungsvorgang bestehend aus der von dem Servicetechniker eingegebenen Statusausgabeberechtigung an die von dem Servicetechniker angegebene Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 (Schritt 363) und beendet den Prozess (Schritt 364). Die Verarbeitungsreihenfolge der Schritte 361 und 362 kann getauscht werden.
26 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Verbindungseinheit 131 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und führt dadurch den Prozess entsprechend dem von der Bedienungsvorrichtung 113 empfangenen Ausgabeberechtigungsvorgang aus.
Zuerst prüft die Verbindungseinheit 131, ob die Einheit 131 den Ausgabeberechtigungsvorgang von der Bedienungsvorrichtung 113 empfängt oder nicht (Schritt 371). Wenn die Verbindungseinheit 131 den Ausgabeberechtigungsvorgang empfängt, entnimmt die Einheit 131 die Statusausgabeberechti gung aus dem Ausgabeberechtigungsvorgang, übermittelt die entnommene Statusausgabeberechtigung an die E/A-Einheit 130 über die Steuerungseinheit 132 (Schritt 373) und beendet den Prozess (Schritt 374). Auch wenn die Verbindungseinheit 131 den Ausgabeberechtigungsvorgang nicht empfängt, beendet die Einheit 131 den Prozess (Schritt 374).
Nachstehend wird die Bildschirmanzeige auf der Anzeigeeinheit der Bedienungsvorrichtung 113 in 1 beschrieben. 27 zeigt ein Beispiel für den Statusausgabeberechtigungs-Einstellbildschirm, der in Schritt 361 des in 25 gezeigten Ablaufdiagramms auf der Anzeigeeinheit der Bedienungsvorrichtung 113 angezeigt wird. Ein Statusausgabeberechtigungs-Einstellbildschirm 380 ist eine Bildschirmanzeige zum Empfangen einer Anweisung zur Übermittlung der Statusausgabeberechtigung und des Ausgabeberechtigungsvorgangs von einem Servicetechniker und besteht aus einem Statusausgabeberechtigungsfenster 381, einem Übermittlungszielfenster 385 und einem Aktionsfenster 383.
Das Statusausgabeberechtigungsfenster 381 ist ein Fenster zum Empfangen der Statusausgabeberechtigung von dem Servicetechniker und besteht aus einer Statusausgabeberechtigungsliste 382. Die Statusausgabeberechtigungsliste 382 ist eine Liste zum Eingeben der Statusausgabeberechtigung, die in dem Ausgabeberechtigungsvorgang gespeichert werden soll, durch den Servicetechniker. Die in der Liste zu speichernden Datenelemente sind dieselben wie bei der Statusausgabeberechtigung, die die in 10 erläuterte Ausgabeberechtigungs-Verwaltungstabelle 147 bildet, so dass hier auf die Beschreibung verzichtet wird. Das Übermittlungszielfenster 385 ist ein Fenster zum Empfangen des Übermittlungsziels für eine Wartungsanfrage von dem Servicetechniker. Das Fenster ist dasselbe wie das in 24 erläuterte Übermittlungszielfenster 347, so dass hier auf die Beschreibung verzichtet wird.
Das Aktionsfenster 383 ist eine Bildschirmanzeige zum Empfangen einer Anweisung zur Übermittlung des Ausgabebe rechtigungsvorgangs von dem Servicetechniker und besteht aus einer Ausgabeberechtigungsvorgangs-Übertragungstaste 384. Die Ausgabeberechtigungsvorgangs-Übertragungstaste 384 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung des Ausgabeberechtigungsvorgangs durch den Servicetechniker, und wenn der Servicetechniker die Taste mit der Maus drückt, übermittelt die Taste 384 den Ausgabeberechtigungsvorgang bestehend aus der von dem Servicetechniker über das Statusausgabeberechtigungsfenster 381 eingegebenen Statusausgabeberechtigung an die von dem Servicetechniker über das Übermittlungszielfenster 385 angegebene Halbleiterfertigungsvorrichtung 123.
Wie bereits erwähnt, ist bei dem System nach dieser Ausführungsform das System nach der ersten Ausführungsform so modifiziert, dass die Bedienungsvorrichtung die Statusausgabeberechtigung an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 übermittelt und die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus unter Verwendung der empfangenen Ausgabeberechtigungsdaten beschränkt, so dass die Statusausgabeberechtigung ohne weiteres geändert werden kann.
Die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend ausführlich beschrieben. 28 zeigt ein Blockdiagramm mit dem Aufbau eines Fernwartungssystems für eine Halbleiterfertigungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung. Bei der ersten Ausführungsform sind das Wartungszentrum 110 und ein oder mehr Halbleiterwerke 120 über das Internet 100 miteinander verbunden, und eine Wartungsanfrage wird an dasselbe Wartungszentrum übermittelt. Bei dieser Ausführungsform sind jedoch ein oder mehr Wartungszentren 110 und ein oder mehr Halbleiterwerke 120 über das Internet 100 miteinander verbunden, und eine durchgängige Abrechnung wird entsprechend dem Übermittlungsziel einer Wartungsanfrage ermöglicht.
Bei dem in 28 gezeigten System sind zwei Wartungszentren 110 und zwei Werke 120 angegeben. In der Praxis können jedoch mehr als zwei Wartungszentren 110 bzw. Werke 120 installiert sein. Außerdem können die Wartungszentren 110 jeweils unterschiedlichen Wartungsanbietern oder demselben Wartungsanbieter gehören, und die Werke 120 können jeweils unterschiedlichen Halbleiterherstellern oder demselben Halbleiterhersteller gehören.
In dem System nach der vorliegenden Erfindung ist die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 um eine nachstehend beschriebene neue Funktion erweitert. Der übrige Aufbau der einzelnen Vorrichtungen ist jedoch derselbe wie bei dem beschriebenen System nach der ersten Ausführungsform.
Die Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 verfügt auch über eine Funktion zum regelmäßigen Überwachen des Betriebszustands der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, wenn die Einheit 131 das Auftreten einer Störung feststellt, zum Erzeugen einer Wartungsanfrage bestehend aus dem Status zur Identifizierung des Zustands der Störung und dem Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123, zum Auswählen von ein oder mehr Wartungszentren 110, die über die erzeugte Wartungsanfrage benachrichtigt werden sollen, oder von Kandidaten der Bedienungsvorrichtung 113, zum Anzeigen der ausgewählten Kandidaten zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit der E/A-Einheit 130 und zum Übermitteln der Wartungsanfrage 160 an die Verwaltungsvorrichtung 112 des von einem Techniker aus den angezeigten Kandidaten ausgewählten Wartungszentrums 110.
Nachstehend wird der Verfahrensablauf in der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 in 28 beschrieben. 29 zeigt ein Ablaufdiagramm für den Betrieb der Verbindungseinheit 131 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Verbindungseinheit 131 führt regelmäßig den in dem Ablaufdiagramm angegebenen Prozess aus und überwacht dadurch periodisch den Betriebszustand der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123.
Zuerst prüft die Verbindungseinheit 131, ob die Einheit 131 das Auftreten einer Störung in der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 feststellt oder nicht (Schritt 401). Stellt die Verbindungseinheit 131 das Auftreten einer Störung fest, erzeugt die Einheit 131 die Wartungsanfrage 160 bestehend aus dem Status zur Identifizierung des Störungszustands und dem Ausgabemodus zur Identifizierung des Status für die Ausgabe des Wartungsvorgangsstatus an die Halbleiterfertigungsvorrichtung (Schritt 403); stellt die Einheit 131 kein Auftreten einer Störung fest, beendet die Einheit 131 den Prozess (Schritt 408).
Als Nächstes wählt die Verbindungseinheit 131 ein oder mehr Kandidaten von Wartungszentren 110 aus, die entsprechend einer vorbestimmten Regel über die erzeugte Wartungsanfrage 160 benachrichtigt werden sollen (Schritt 404). Danach zeigt die Verbindungseinheit 131 die ausgewählten Kandidaten zum Beispiel auf der Anzeigeeinheit der E/A-Einheit 130 an (Schritt 405). Daraufhin empfängt die Verbindungseinheit 131 ein von einem Techniker aus den angezeigten Kandidaten ausgewähltes tatsächliches Übermittlungsziel (Schritt 406). Als Nächstes übermittelt die Verbindungseinheit 131 die Wartungsanfrage 160 an die Verwaltungsvorrichtung 112 des von dem Techniker angegebenen Wartungszentrums 110 (Schritt 407) und beendet den Prozess (Schritt 408).
Nachstehend wird die Bildschirmanzeige auf der Anzeigeeinheit der E/A-Einheit 130 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 in 28 beschrieben. 30 zeigt ein Beispiel für den Wartungsanfrageübertragungsziel-Einstellbildschirm, der in Schritt 405 des Ablaufdiagramms in 29 auf der E/A-Einheit 130 der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 angezeigt wird.
Ein Wartungsanfrageübertragungsziel-Einstellbildschirm 410 ist ein Bildschirm zur Angabe der ausgewählten Kandidaten der Wartungszentren 110 für einen Techniker und zum Empfangen einer Anweisung zur Übermittlung des Übermittlungsziels für die Wartungsanfrage 160 und die Wartungsanfrage 160 von dem Techniker und besteht aus einem Wartungsanfragefenster 411, einem Aktionsfenster 412 und einem Übermittlungszielfenster 414.
Das Wartungsanfragefenster 411 ist ein Fenster zum Anzeigen des Inhalts der Wartungsanfrage 160, die an den Techniker übermittelt werden soll. In diesem Beispiel ist der Inhalt derselbe wie in dem in 19 gezeigten Wartungsanfragefenster 281. Das Aktionsfenster 412 ist ein Fenster zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung der Wartungsanfrage 160 durch den Techniker und besteht aus einer Wartungsanfrage-Übertragungstaste 413. Die Wartungsanfrage-Übertragungstaste 413 ist eine Taste zum Erteilen einer Anweisung zur Übermittlung der Wartungsanfrage 160 durch: den Techniker, und wenn der Techniker die Taste mit der Maus drückt, übermittelt die Taste 413 die Wartungsanfrage 160 an das von dem Techniker über das Übermittlungszielfenster 414 aus den Kandidaten ausgewählte Übermittlungsziel.
Das Übermittlungszielfenster 414 ist ein Fenster zur Angabe der durch die Verbindungseinheit 131 ausgewählten Kandidaten der Wartungszentren 110 an den Techniker und zum Empfangen des Übermittlungsziels für die Wartungsanfrage 160 von dem Techniker und besteht aus einer Wartungszentrum-Kandidatenliste 415 und einem Übermittlungszielfenster 418. Die Wartungszentrum-Kandidatenliste 415 ist eine Liste zum Angeben der durch die Verbindungseinheit 131 ausgewählten Kandidaten der Wartungszentren 110 an den Techniker und besteht aus einem Nummernfeld 416 und einem Wartungszentrum-Kandidatenfeld 417. Das Nummernfeld 416 ist ein Feld zur Angabe der laufenden Nummern der Kandidaten, und das Wartungszentrum-Kandidatenfeld 417 ist ein Feld zum Anzeigen der Kennungen der Wartungszentrum-Kandidaten 110.
Das Übermittlungszielfenster 418 ist ein Fenster zum Anzeigen des von dem Techniker angegebenen Übermittlungs ziels, und wenn der Techniker den Kandidaten aus der Wartungszentrum-Kandidatenliste 415 mit der Maus auswählt, wird die zugehörige Kennung des ausgewählten Wartungszentrums 110 angezeigt.
Außerdem kann der Servicetechniker direkt die Kennung eines anderen Wartungszentrums 110 aus den angezeigten Kandidaten in das Übermittlungszielfenster 418 eingeben.
Wie vorstehend beschrieben, sind in dem System nach dieser Ausführungsform ein oder mehr Halbleiterfertigungsvorrichtungen 123 und ein oder mehr Bedienungsvorrichtungen 113 über das Internet 100 miteinander verbunden, und die Halbleiterfertigungsvorrichtungen 123 überwachen das Auftreten einer Störung in den Halbleiterfertigungsvorrichtungen 123. Wenn eine Vorrichtung 123 das Auftreten einer Störung feststellt, erzeugt die Vorrichtung 123 einen Status zur Angabe des Zustands der Störung, bestimmt die über den Status zu informierende Bedienungsvorrichtung 113 und informiert die festgelegte Bedienungsvorrichtung 113 über den Status. Die Bedienungsvorrichtung 113 entscheidet dann über die Fehlersuche für die Störung in der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 auf der Grundlage des mitgeteilten Status und übermittelt den Wartungsvorgang basierend auf der Fehlersuche an die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123. Die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 führt dann den Prozess entsprechend dem empfangenen Wartungsvorgang aus, erzeugt Gebühreninformationen bezüglich der Wartung entsprechend der Kennung der Bedienungsvorrichtung, der die Statusinformationen mitgeteilt werden, und gibt die erzeugten Gebühreninformationen auf dem Bildschirm der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 aus, so dass eine durchgängige Abrechnung entsprechend dem Ziel der Wartungsanfrage ausgeführt werden kann. Wenn die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 das Auftreten einer Störung feststellt, erzeugt die Vorrichtung 123 außerdem Kandidateninformationen zur Angabe von ein oder mehr Kandidaten von Bedienungsvorrichtungen 113, denen der Status mitgeteilt werden soll, gibt die er zeugten Kandidateninformationen aus und teilt der vom Nutzer der Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 aus den Ausgabekandidaten ausgewählten Bedienungsvorrichtung 113 den Status mit, so dass das Ziel für die Wartungsanfrage ohne weiteres angegeben werden kann. Weiter benachrichtigt die Halbleiterfertigungsvorrichtung 123 auch ein anderes von dem Techniker unter den angezeigten Kandidaten ausgewähltes Wartungszentrum 110 über den Status, so dass das Ziel für die Wartungsanfrage flexibel festgelegt werden kann.
Wie vorstehend beschrieben, können nach der vorliegenden Erfindung die Steuerung und durchgängige Serviceleistungen und Abrechnung entsprechend dem Inhalt des von der Halbleiterfertigungsvorrichtung durchgeführten Wartungsvorgangs und dem Anforderungsziel für die Wartung ausgeführt werden.
Weiter können eine Zugriffsbeschränkung entsprechend dem Attribut eines Servicetechnikers, eine Zugriffsbeschränkung entsprechend dem Status der Vorrichtung und eine Ausgabebeschränkung entsprechend dem Ausgabemodus ausgeführt werden.

Claims

Fernwartungsverfahren für eine Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) zur Ausführung eines bestimmten Prozesses und eine Bedienungsvorrichtung (113) zur Wartung der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123), die über ein Netzwerk (100) miteinander verbunden sind, wobei die Bedienungsvorrichtung (113) einen Wartungsbefehl an die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) übermittelt, die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) entsprechend dem empfangenen Befehl einen Prozeß ausführt und Statusinformationen bereithält, die ihren Prozeßstatus angeben, und eine Verbindungseinheit (131) der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) entsprechend den Statusinformationen Gebühreninformationen, die einen für die Wartung entsprechend dem Inhalt des ausgeführten Prozesses in Rechnung zu stellenden Wert angeben, erzeugt, wenn der Prozeß entsprechend dem Befehl ausgeführt wird, und alle oder einen Teil der erzeugten Gebühreninformationen an eine Ausgabevorrichtung (130) der Halbleiterfertigungsvorrichtung ausgibt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Verbindungseinheit (131) Informationen über einen Nutzer der Bedienungsvorrichtung (113) sowie Attributinformationen, die ein Maß für das Können des Nutzers angeben, in Verbindung miteinander bereithält und die Gebühreninformationen entsprechend den Attributinformationen für den den Befehl übermittelnden Nutzer erzeugt.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei der Wert für die Wartung entsprechend dem Maß für das Können, das in den Attributinformationen angegeben wird, mit einem Aufschlag versehen wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Wert für die Wartung mit einem Abschlag versehen wird, wenn die Statusinfor mationen angeben, daß sich die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) im Produktionszustand befindet.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) Verwendungsverlaufsinformationen speichert, die den Verlauf ihrer Verwendung angeben, und die Verbindungseinheit (131) die Gebühreninformationen entsprechend der Art der Verwendungsverlaufsinformationen berechnet, die entsprechend dem Befehl gelesen werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) Statusinformationen ausgibt, die den Status eines Wartungsvorgangs angeben, und die Verbindungseinheit (131) die Gebühreninformationen entsprechend dem Inhalt der ausgegebenen Statusinformationen erzeugt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Verbindungseinheit (131) den Wert für die Wartung mit einem Abschlag versieht, wenn geheime Informationen über die Verwendung der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) offengelegt werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Verbindungseinheit (131) den Wert für die Wartung mit einem Aufschlag versieht, wenn geheime Informationen über die Wartung der Halbleiterfertigungsvorrichtung offengelegt werden.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Verbindungseinheit (131) Attributinformationen, die ein Attribut eines Nutzers der Bedienungsvorrichtung (113) angeben, und Bedingungsinformationen, die eine zur Ausführung des Prozesses entsprechend dem Befehl notwendige Bedingung des Attributs angeben, bereithält und die Attributinformationen und die Bedingungsinformationen ausliest, wenn sie den Befehl von der Bedienungsvorrichtung erhält, und wobei die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) den Prozeß entsprechend dem Befehl lediglich dann ausführt, wenn das Attribut in den Attributinformationen die Bedingung in den Bedingungsinformationen erfüllt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) Statusinformationen, die einen Status des Prozesses der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) angeben, bereithält und die Verbindungseinheit (131) Bedingungsinformationen, die eine zur Ausführung des Prozesses entsprechend dem Befehl notwendige Bedingung für die Statusinformationen angeben, bereithält und die Statusinformationen und die Bedingungsinformationen ausliest, wenn sie den Befehl von der Bedienungsvorrichtung erhält, und wobei die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) den Prozeß entsprechend dem Befehl lediglich dann ausführt, wenn der Status in den Statusinformationen die Bedingung in den Bedingungsinformationen erfüllt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Verbindungseinheit (131) Modusinformationen zur Identifizierung eines Status und Bedingungsinformationen zur Angabe einer Bedingung für den Status bereithält, die Modusinformationen und die Bedingungsinformationen ausliest, wenn sie den Befehl von der Bedienungsvorrichtung erhält und den Status des Wartungsvorgangs an eine Ausgabevorrichtung (130) der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) lediglich dann ausgibt, wenn der Status in den Modusinformationen die Bedingung in den Bedingungsinformationen erfüllt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Bedienungsvorrichtung (113) Gebührenlisteninformationen an die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) übermittelt, um einen Wert für die Wartung zu bezeichnen.
Verfahren nach Anspruch 11, wobei die Bedienungsvorrichtung (113) die von der Verbindungseinheit (131) bereitzuhaltenden Bedingungsinformationen übermittelt.
Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) zur Annahme einer Bedienung für eine Wartung durch Fernsteuerung von einer mit ihr über ein Netzwerk (100) verbundenen Bedienungsvorrichtung (113) her, mit einer Verbindungseinrichtung (131) zum Empfang eines Wartungsbefehls von der Bedienungsvorrichtung, einer Verarbeitungseinrichtung (132) zur Ausführung eines Prozesses entsprechend dem empfangenen Befehl, einer Berechnungseinrichtung (131) zur Erzeugung von Gebühreninformationen, die einen Wert für die Wartung entsprechend dem Inhalt des von der Verarbeitungseinrichtung ausgeführten Prozesses angeben, und einer Ausgabeeinrichtung (131) zur Ausgabe aller oder eines Teils der von der Berechnungseinrichtung erzeugten Gebühreninformationen an eine Ausgabevorrichtung (130).
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Verbindungseinrichtung (131) Informationen über einen Nutzer der Bedienungsvorrichtung (113) und Attributinformationen, die ein Maß für das Können des Nutzers angeben, in Verbindung miteinander bereithält und die Berechnungseinrichtung (131) von der Verbindungseinrichtung die Attributinformationen gewinnt, die den Nutzer der den Befehl übermittelnden Bedienungsvorrichtung betreffen, und die Gebühreninformationen entsprechend den gewonnenen Attributinformationen erzeugt.
Vorrichtung nach Anspruch 15, wobei die Berechnungseinrichtung (131) den Wert für die Wartung entsprechend dem Maß für das Können, das in den Attributinformationen angegeben ist, mit einem Aufschlag versieht.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Verarbeitungseinrichtung (132) Statusinformationen bereithält, die einen Prozeßstatus der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) angeben, und die Berechnungseinrichtung (131) die Statusinformationen zu einem Zeitpunkt gewinnt, zu dem der Prozeß entsprechend dem Befehl von der Verarbeitungseinrichtung ausgeführt wird, und die Gebühreninformationen entsprechend den gewonnenen Statusinformationen erzeugt.
Vorrichtung nach Anspruch 17, wobei die Berechnungseinrichtung (131) den Wert für die Wartung mit einem Abschlag versieht, wenn die von der Verarbeitungseinrichtung (132) bereitgehaltenen Statusinformationen angeben, daß sich die Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) im Produktionszustand befindet.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Verarbeitungseinrichtung (132) Verwendungsverlaufsinformationen speichert, die die Verwendung der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) angeben, und die Berechnungseinrichtung (131) die Gebühreninformationen entsprechend der Art der von der Verarbeitungseinrichtung entsprechend dem Befehl gelesenen Verwendungsverlaufsinformationen erzeugt.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Ausgabeeinrichtung (131) Statusinformationen ausgibt, die den Status des Wartungsvorgangs angeben, und die Berechnungseinrichtung (131) die Gebühreninformationen entsprechend dem Inhalt der von der Ausgabeeinrichtung (131) zur Ausgabevorrichtung (130) ausgegebenen Statusinformationen erzeugt.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Berechnungseinrichtung (131) den Wert für die Wartung mit einem Abschlag versieht, wenn geheime Informationen über die Verwendung der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) offengelegt werden.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Berechnungseinrichtung (131) den Wert für die Wartung mit einem Aufschlag versieht, wenn geheime Informationen über die Wartung der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) offengelegt werden.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Verbindungseinrichtung (131) Attributinformationen, die ein Attribut eines Nutzers der Bedienungsvorrichtung (113) angeben, und Bedingungsinformationen, die eine zur Ausführung des Prozesses entsprechend dem Befehl notwendige Bedingung für das Attribut angeben, bereithält, die Attributinformationen und die Bedingungsinformationen ausliest, wenn sie den Befehl von der Bedienungsvorrichtung empfängt, und die Ausführung des Prozesses entsprechend dem Befehl lediglich dann erlaubt, wenn das Attribut in den Attributinformationen die Bedingung in den Bedingungsinformationen erfüllt.
Vorrichtung nach Anspruch 16, wobei die Verarbeitungseinrichtung (132) Statusinformationen, die einen Prozeßstatus der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) angeben, bereithält und die Verbindungseinrichtung (131) Bedingungsinformationen, die eine zur Ausführung des Prozesses entsprechend dem Befehl notwendige Bedingung für den Status angeben, bereithält, die Statusinformationen von der Verarbeitungseinrichtung (132) gewinnt, wenn sie den Befehl von der Bedienungsvorrichtung (113) empfängt, die Bedingungsinformationen ausliest und die Ausführung des Prozesses entsprechend dem Befehl lediglich dann erlaubt, wenn der Status der Statusinformationen die Bedingung der Bedingungsinformationen erfüllt.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Ausgabeeinrichtung (131) zur Bereithaltung von Modusinformationen zur Identifizierung eines Status und von Bedingungsinformationen zur Angabe einer Bedingung für den Status, zum Auslesen der Modusinformationen und der Bedingungsinformationen, wenn die Verarbeitungseinrichtung (132) den Prozeß ausführt und zur Ausgabe des Status des Wartungsvorgangs an eine Ausgabevorrichtung (130) der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) lediglich dann, wenn der Status der Modusinformationen die Bedingung der Bedingungsinformationen erfüllt, eingerichtet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Verbindungseinrichtung (131) zur Bezeichnung des Werts der Wartung von der Bedienungsvorrichtung (113) Gebührenlisteninformationen empfängt und die Berechnungseinrichtung (131) die Gebühren informationen unter Verwendung der von der Verbindungseinrichtung empfangenen Gebührenlisteninformationen erzeugt.
Vorrichtung nach Anspruch 25, wobei die Verbindungseinrichtung (131) die Bedingungsinformationen von der Bedienungsvorrichtung (113) empfängt und die Ausgabeeinrichtung (131) die von der Verbindungseinrichtung empfangenen Bedingungsinformationen bereithält, die Modusinformationen und die empfangenen Bedingungsinformationen ausliest, wenn die Verarbeitungseinrichtung (132) den Prozeß ausführt, und den Status des Wartungsvorgangs lediglich dann an eine Ausgabevorrichtung (130) der Halbleiterfertigungsvorrichtung (123) ausgibt, wenn der Status in den Modusiformationen die Bedingung in den Bedigungsinformationen erfüllt.