JP2008112968A - 基板処理装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 72
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 28
- 238000013500 data storage Methods 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 51
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 37
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 17
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013475 authorization Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/048—Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI]
- G06F3/0484—Interaction techniques based on graphical user interfaces [GUI] for the control of specific functions or operations, e.g. selecting or manipulating an object, an image or a displayed text element, setting a parameter value or selecting a range
- G06F3/04847—Interaction techniques to control parameter settings, e.g. interaction with sliders or dials
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
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- General Factory Administration (AREA)
Abstract
【解決手段】基板処理装置10上で動作する制御プログラム40において、レシピ記憶部408及びパラメータ記憶部410は、制御に関するデータを記憶するデータ記憶手段を構成する。権限のあるユーザが認証処理により認証されると、該ユーザは編集画面を介してデータの編集操作を行う。設定部406は、前記データ記憶手段により記憶されているデータを編集するための操作をUI装置20を介して受け付ける。計時部416は、設定部406により受け付けられる操作の間の時間を計測して操作制御部414に対して出力する。操作制御部414は、計時部416により計測された時間が所定時間を超えた場合、データを編集するための操作の受付を禁止する。
【選択図】図6
Description
好適には、前記制御手段は、前記編集画面から認証画面に切り替える。
図1は、本発明に係る基板処理装置に対して所定の処理を行う際に表示されるメニュー画面及び認証画面を示す図であって、図1(A)はメニュー画面を示し、図1(B)は認証画面を示す。図2は、本発明に係る基板処理装置に記憶されている運転レシピや装置パラメータを編集するための画面を例示する図であって、図2(A)はレシピ編集画面を例示し、図2(B)はパラメータデータ(装置パラメータ)を設定することにより、装置の状態や使用可能な機能等を容易に変更するためのパラメータ編集画面パラメータ編集画面を例示する。
ユーザが図1(A)に示される権限変更ボタンを押下すると、画面は図1(B)の認証画面に切り替えられ、ユーザはログイン(ユーザID及びパスワード入力)を行う。ログイン処理が実行されると、画面は、図1(A)のメニュー画面に再度切り替えられる。ログイン前の初期画面(メニュー画面)と当該メニュー画面との違いは、当該メニュー画面では、ログインを行ったユーザが使用できる機能が色分け表示されていることである。ユーザがこの画面上でレシピ編集ボタンを押下すると、画面はレシピ編集画面に切り替えられる。ユーザは、レシピ編集画面で編集作業を行い、編集を終了したら保存終了ボタンを押下する。保存終了ボタンが押下されると、画面はメニュー画面に戻る。そして、ユーザは、図示しないレシピ実行ボタンを押下してレシピを実行させる画面を表示し、レシピを選択して実行する。
図3は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10の構成を、制御装置12を中心に示す図である。
図3に示すように、基板処理装置10は、CPU14及びメモリ16などを含む制御装置12と、ネットワークを介して外部のコンピュータなどとデータの送信及び受信を行う通信装置18と、ハードディスクドライブなどの記憶装置22と、液晶ディスプレイなどの表示装置並びにキーボード及びマウス等のポインティングデバイスを含むユーザインタフェース(UI)装置20と、プロセス装置100とを有する。
図5は、図4に示されるプロセス装置100の側面透視図である。
図4及び図5に示すように、プロセス装置100は、筐体111を備えている。この筐体111の正面壁111aの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が開設され、この正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104、104がそれぞれ建て付けられている。また、プロセス装置100は、シリコン等からなるウエハ(基板)を収納したウエハキャリアとしてフープ(基板収容器。以下ポッドという。)110を備える。
図6に示すように、制御プログラム40は、ユーザインタフェース(UI)部400、認証部402、ユーザDB404、設定部406、レシピ記憶部408、パラメータ記憶部410、装置制御部412、操作制御部414及び計時部416を有する。制御プログラム40は、例えば、FD、CD又はDVDなどの記録媒体24(図3)に格納されて基板処理装置10に供給され、メモリ16にロードされて、制御装置12上で動作する図示しないOS上で、ハードウェアを具体的に利用して実行される。なお、制御プログラム40は、図示しないネットワークに接続された外部のコンピュータから通信装置18を介して制御装置12に供給されてもよい。
図7は、本発明の実施形態に係る基板処理装置10による編集画面においての制御処理(S10)を示すフローチャートである。
図7に示すように、ステップ100(S100)において、制御プログラム40の操作制御部414は、UI装置20にメニュー画面(図1(A))を表示する。操作制御部414は、権限変更ボタンが押下されたか否か、ユーザによりいずれかのメニューが選択されたか否かを判定し、権限変更ボタンが選択された場合にはS102の処理に進み、そうでない場合にはS100の処理に戻る。
ステップ106(S106)において、ユーザがメニュー画面上で使用可能な機能を選択すると(押下すると)、設定部406は、操作制御部414に制御されて、編集画面(図2(A)、図2(B)等)をUI装置20に表示する。ユーザは、表示された画面を介して所定の処理を行う。図2(A)では、所望の制御パラメータの設定、図2(B)では、所望の装置パラメータの設定を行う。
12 制御装置
14 CPU
16 メモリ
18 通信装置
20 UI装置
22 記憶装置
40 制御プログラム
100 プロセス装置
400 UI部
402 認証部
404 ユーザDB
406 設定部
408 レシピ記憶部
410 パラメータ記憶部
412 装置制御部
414 操作制御部
416 計時部
Claims (5)
- 作成又は編集されたレシピを実行して基板を処理する基板処理装置であって、
レシピを作成又は編集するための編集画面を表示する表示手段と、
前記表示手段により表示された編集画面上で操作が行われないまま予め設定された時間が経過した場合、ログアウト処理及び前記編集画面から当該編集画面とは異なる所定の画面への画面切り替え処理を行うとともに前記レシピに関するデータのうち前記ログアウト処理までに編集されたデータの削除処理を行うように制御する制御手段と
を有する基板処理装置。 - 前記制御手段は、前記編集画面から初期画面に切り替える
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御手段は、前記編集画面から認証画面に切り替える
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記初期画面には、操作権限の変更及びログイン処理を行うための指定手段が含まれ、
前記制御手段は、前記指定手段を介して操作権限の変更及びログイン処理が行われた場合、レシピの編集操作を受け入れる
請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記制御手段は、前記認証画面を介して入力された使用者の識別子及びパスワードと、予め記憶されている使用者の識別子及びパスワードとが一致した場合、レシピの編集操作を受け入れる
請求項3に記載の基板処理装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007205108A JP5224744B2 (ja) | 2006-10-04 | 2007-08-07 | 基板処理装置 |
KR1020070098631A KR101192674B1 (ko) | 2006-10-04 | 2007-10-01 | 기판 처리 장치 |
US11/905,582 US8806370B2 (en) | 2006-10-04 | 2007-10-02 | Substrate processing apparatus |
KR1020110026870A KR101046260B1 (ko) | 2006-10-04 | 2011-03-25 | 기판 처리 장치 |
KR1020120041363A KR101297131B1 (ko) | 2006-10-04 | 2012-04-20 | 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006272746 | 2006-10-04 | ||
JP2006272746 | 2006-10-04 | ||
JP2007205108A JP5224744B2 (ja) | 2006-10-04 | 2007-08-07 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008112968A true JP2008112968A (ja) | 2008-05-15 |
JP5224744B2 JP5224744B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=39445303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007205108A Active JP5224744B2 (ja) | 2006-10-04 | 2007-08-07 | 基板処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8806370B2 (ja) |
JP (1) | JP5224744B2 (ja) |
KR (3) | KR101192674B1 (ja) |
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2007
- 2007-08-07 JP JP2007205108A patent/JP5224744B2/ja active Active
- 2007-10-01 KR KR1020070098631A patent/KR101192674B1/ko active IP Right Grant
- 2007-10-02 US US11/905,582 patent/US8806370B2/en active Active
-
2011
- 2011-03-25 KR KR1020110026870A patent/KR101046260B1/ko active IP Right Grant
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---|---|
KR20080031624A (ko) | 2008-04-10 |
KR101192674B1 (ko) | 2012-10-19 |
KR20110036725A (ko) | 2011-04-08 |
KR101046260B1 (ko) | 2011-07-04 |
KR20120087865A (ko) | 2012-08-07 |
US20080178119A1 (en) | 2008-07-24 |
KR101297131B1 (ko) | 2013-08-14 |
US8806370B2 (en) | 2014-08-12 |
JP5224744B2 (ja) | 2013-07-03 |
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