JP4324207B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
(1)レシピ及びレシピの各構成要素はPDE(Process Definition Element)と呼ばれる単位で構成されること。
(2)レシピが複数の構成要素からなる場合にはPDEの階層構造により表現されること。
(3)各PDEはuidと呼ばれる一意の識別子を持つこと。
(4)各PDEは構成管理のためのバージョン番号を持つこと。
本発明の第2の側面は、複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、露光装置は、複数の構成要素を保持する第1保持部と、複数の構成要素のそれぞれの変更履歴を保持する第2保持部と、第1保持部に保持された構成要素の内容と、第2保持部に保持された該構成要素の変更履歴とを変更する第1変更部と、第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容と、該参照する構成要素の変更履歴とを当該変更に応じて変更する第2変更部と、ある特定の構成要素の変更履歴を、前記特定の構成要素と参照関係にある他の構成要素との参照関係及び前記他の構成要素の変更履歴とともにツリー表示し得る表示部をさらに備えることを特徴とする。
本発明の第3の側面は、複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、露光装置は、複数の構成要素を保持する第1保持部と、第1保持部に保持された構成要素の内容を変更する第1変更部と、第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容を当該変更に応じて変更する第2変更部と、第1保持部に保持された複数の構成要素のそれぞれについてその変更履歴を保持する第2保持部とを備え、変更履歴は、各変更の要因となった構成要素を識別するための情報を含むことを特徴とする。
本発明の第4の側面は、複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、露光装置は、複数の構成要素を保持する第1保持部と、第1保持部に保持された構成要素の内容を変更するとともに、該構成要素に含まれるバージョン番号を増加させる第1変更部と、第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容を当該変更に応じて変更するとともに該参照する構成要素に含まれるバージョン番号を増加させる第2変更部と、を備えることを特徴とする。
図1は、複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光処理を実行する露光装置の第1の実施形態におけるレシピ管理の構成を示している。
図7は、第2の実施形態におけるレシピ管理の構成図である。本実施形態における露光装置は、第1の実施形態の構成に加え、表示部5と表示切替部6とをさらに有する。表示部5は、ある特定の構成要素の変更履歴を、前記特定の構成要素と参照関係にある他の構成要素との参照関係及び前記他の構成要素の変更履歴とともにツリー表示し得る。参照関係は第1保持部1が保持し、変更履歴は第2保持部2が保持している。表示部5は、第1変更部3によって構成要素の内容及び変更履歴を変更するための変更処理画面を表示し得る。表示切替部6は、変更処理画面とツリー表示の変更履歴画面とを切替える。
以下、本発明のレシピ管理装置が適用される例示的な露光装置を説明する。露光装置は図11に示すように、照明装置11、レチクルを搭載したレチクルステージ12、投影光学系13、基板を搭載した基板ステージ14とを有する。露光装置は、レチクルに形成された回路パターンを基板に投影露光するものであり、ステップアンドリピート投影露光方式またはステップアンドスキャン投影露光方式であってもよい。
次に、図12及び図13を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。図12は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
Claims (8)
- 複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、
前記露光装置は、
前記複数の構成要素を保持する第1保持部と、
前記複数の構成要素のそれぞれの変更履歴を保持する第2保持部と、
前記第1保持部に保持された構成要素の内容と、前記第2保持部に保持された該構成要素の変更履歴とを変更する第1変更部と、
前記第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容と、該参照する構成要素の変更履歴とを当該変更に応じて変更する第2変更部と、
前記第2保持部により保持された変更履歴を表示する表示部とを備え、
前記表示部は、ある特定の構成要素の変更履歴を、前記特定の構成要素の内容そのものの変更と、前記特定の構成要素と参照関係にある他の構成要素の内容の変更に起因する変更とに区別して表示することを特徴とする露光装置。 - 前記第2変更部による変更処理は、前記第1変更部によって変更される構成要素を直接に参照する構成要素に対して最初になされ、次いで前記参照する構成要素をさらに参照する構成要素に対してなされることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、
前記露光装置は、
前記複数の構成要素を保持する第1保持部と、
前記複数の構成要素のそれぞれの変更履歴を保持する第2保持部と、
前記第1保持部に保持された構成要素の内容と、前記第2保持部に保持された該構成要素の変更履歴とを変更する第1変更部と、
前記第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容と、該参照する構成要素の変更履歴とを当該変更に応じて変更する第2変更部と、
ある特定の構成要素の変更履歴を、前記特定の構成要素と参照関係にある他の構成要素との参照関係及び前記他の構成要素の変更履歴とともにツリー表示し得る表示部をさらに備えることを特徴とする露光装置。 - 前記表示部は、前記特定の構成要素の内容の変更を、前記特定の構成要素の内容そのものの変更と、前記他の構成要素の内容の変更に起因する変更とに区別して表示することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
- 前記表示部は、前記構成要素の内容及び変更履歴を変更するための変更処理画面を備え、
前記露光装置は、前記表示部の前記ツリー表示の画面と前記変更処理画面とを切替る表示切替部をさらに備えることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の露光装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を備えることを特徴とするデバイス製造方法。 - 複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、
前記露光装置は、
前記複数の構成要素を保持する第1保持部と、
前記第1保持部に保持された構成要素の内容を変更する第1変更部と、
前記第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容を当該変更に応じて変更する第2変更部と、
前記第1保持部に保持された前記複数の構成要素のそれぞれについてその変更履歴を保持する第2保持部とを備え、
前記変更履歴は、各変更の要因となった構成要素を識別するための情報を含むことを特徴とする露光装置。 - 複数の構成要素を含んで構成されるレシピに従って露光処理を実行する露光装置であって、
前記露光装置は、
前記複数の構成要素を保持する第1保持部と、
前記第1保持部に保持された構成要素の内容を変更するとともに、該構成要素に含まれるバージョン番号を増加させる第1変更部と、
前記第1変更部によって変更された構成要素を参照する構成要素の内容を当該変更に応じて変更するとともに該参照する構成要素に含まれるバージョン番号を増加させる第2変更部と、
を備えることを特徴とする露光装置。
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