JP2013045949A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成図である。図1に示すように、基板処理システム1において、基板処理装置100−1〜100−nがネットワーク102−1を介して群管理装置2に接続されるとともに、群管理装置2がネットワーク102−2を介して端末装置3−1〜3−nに接続される。
以下の各図において、実質的に同じ構成部分には、同じ符号が付される。
以下、「基板処理装置100−1〜100−n」など、複数存在しうる構成部分のいずれかが、特定されずに示される場合には、単に「基板処理装置」などと略記されることがある。
群管理装置2は、例えば、データベース管理システムが稼働するデータベースサーバである。群管理装置2は、基板処理装置100の各部から、基板処理装置100の各部の状態を示す情報(例えば、処理炉内の温度、ガス流量及び圧力。以下、単に「基板処理情報」と記載)を取得し、自身のデータベースに格納する。群管理装置2内のデータベースには、基板処理情報のほか、端末装置3の操作者に関する情報(以下、単に「操作者情報」と記載。詳細は図4を参照して後述)及び端末装置3の表示に関する情報(以下、単に「表示情報」と記載。詳細は図4を参照して後述)が格納される。群管理装置2は、端末装置3からの指示に基づいて、端末装置3に対して、基板処理情報及び表示情報を送信する。
端末装置3は、例えば、ディスプレイを備えた一般的なコンピュータである。端末装置3は、群管理装置2に対して、操作者から受け付けた指示を送信する。端末装置3の操作者は、ディスプレイを介して、基板処理情報をディスプレイに表示する指示を入力する。
このような構成により、端末装置3の操作者は、群管理装置2を介して、いずれの端末装置3にも、基板処理装置100から取得した情報を表示させることができる。
次に、図1に示した基板処理装置100の具体的な実施形態について説明する。以下、基板処理装置100は、酸化、拡散処理やCVD処理などの処理を基板に施し、半導体装置(IC)を製造する半導体製造装置であるものとして説明する。
図2は、基板処理装置100の平面透視図であり、図3は、基板処理装置100の側面透視図である。
図4は、図1の群管理装置2内のデータベースに格納される、操作者情報及び表示情報の一例である。
図4に示すように、操作者情報は、操作者名、操作者のパスワード、操作者の権限、及び、対応付けられる表示情報の種別により構成され、操作者ごとに生成される。ここでは、Yamadaの操作者情報及びSuzukiの操作情報が生成されている。
表示情報には、初期設定された表示情報(デフォルトの表示情報)と、操作者ごとに生成された表示情報との2種類があり、いずれの表示情報も、少なくとも1つのフォーマットを含む。なお、表示情報は、操作者が操作しなくなってからログアウトするまでの時間をさらに含んでもよい。
デフォルトの表示情報は、すべての操作者情報に対応付けられる。つまり、デフォルトの表示情報は、すべての操作者によって利用可能である。これに対し、操作者ごとの表示情報は、操作者が同じである操作者情報にのみ対応付けられる。つまり、操作者ごとの表示情報は、別途表示情報を生成した操作者によってのみ利用可能である。操作者(特に、新たに追加された操作者)は、別途表示情報を生成するまで、デフォルトの表示情報を利用することになる。
フォーマットは、表示内容、表示色及び表示位置などをパラメータ等により規定したファイルであり、基板処理装置100の種別ごとに生成される。例えば、フォーマット1をタイプAの基板処理装置100に対応付けることにより、タイプAの基板処理装置100の各部に関する情報をフォーマット1で表示する。
後述するように、操作者は、あるフォーマットから別のフォーマットに切り替えることができ、パラメータを書き換えることによりフォーマットを編集することができる。
図5は、操作者がログインした後に表示される、基板処理装置100の種別(タイプ)
を一覧表示する画面の一例である。
図5に示すように、この画面は、ヘッダ300及びボディ302により構成される。ヘッダ300には画面名(ここでは、基板処理装置タイプ一覧)が表示され、ボディ302には、基板処理装置100の種別がラベリングされたボタン304(ここでは、タイプAの基板処理装置のボタン304−1、タイプBの基板処理装置のボタン304−2、及び、タイプCの基板処理装置のボタン304−3)が表示される。
操作者がいずれかのボタンを押下することにより、押下されたボタンに対応する種別の基板処理装置100を一覧表示する画面に遷移する。
なお、ログイン画面から基板処理装置100を一覧表示する画面に遷移するのではなく、基板処理装置100を一覧表示する画面がログイン画面とは別の画面として表示されてもよい(以下、他の画面についても同様)。
図6に示すように、この画面は、ヘッダ300及びボディ302により構成される。ヘッダ300には、画面名(ここでは、基板処理装置一覧)が表示され、ボディ302には、基板処理装置一覧テーブル306、表示切替ボタン308及び表示編集ボタン310が表示される。基板処理装置一覧テーブル306は、通し番号(No.)312、基板処理装置名(Equipment)314、装置警告数(Alarm)316、装置状態(Status)318、オンライン接続状態(FA Mode)320、プロセス状態(PMC Mode)322及び傾向監視警告数(EE Alarm)324というデータ項目により構成される。
例えば、図中の矢印Aによって示される'E75'をクリックすることにより、基板処理装置E75の詳細を表示する画面に遷移し、図中の矢印Bによって示される'9'をクリックすることにより、9つの各警告の詳細を表示する画面に遷移する。
ここでは、タイプAの基板処理装置100が一覧表示されているので、フォーマットが切り替えられた場合には、タイプAの基板処理装置100すべてについて、詳細を表示するにあたり、切替え後のフォーマットが適用されることになる。
タイプBの基板処理装置100が一覧表示された基板処理装置一覧画面において、フォーマットが切り替えられた場合には、タイプBの基板処理装置100すべてについて、詳細を表示するにあたり、切替え後のフォーマットが適用されることになる。
ここでは、タイプAの基板処理装置100が一覧表示されているので、フォーマットが編集された場合には、タイプAの基板処理装置100すべてについて、詳細を表示するにあたり、編集された後のフォーマットが適用されることになる。
タイプBの基板処理装置100が一覧表示された基板処理装置一覧画面において、フォーマットが編集された場合には、タイプBの基板処理装置100すべてについて、詳細を表示するにあたり、編集された後のフォーマットが適用されることになる。
図7は、図6の基板処理装置一覧画面において、操作者が表示切替ボタン308を押下することにより表示される、基板処理装置100の詳細を表示するためのフォーマットを切り替える画面の一例である。
図7に示すように、この画面は、ヘッダ300及びボディ302により構成される。ヘッダ300には、画面名(ここでは、フォーマット切替)が表示され、ボディ302には、フォーマット一覧テーブル326が表示される。フォーマット一覧テーブル326は、フォーマット名(Name)328、コメント(Comment)330及び選択状態(Current)332というデータ項目により構成される。
選択状態332には、チェックボックスが表示される。選択状態332にチェックが入っているフォーマットは、基板処理装置100の詳細を表示するにあたり、現在適用されていることを示す。ここでは、'TopContentsMin'の選択状態332にチェックが入り、'TopContentsMin'が現在適用されているが、'TopContentsMin'の選択状態332に入っているチェックを外し、別のフォーマットの選択状態332にチェックを入れ直すことにより、'TopContentsMin'から別のフォーマットに切り替えることができる。このようにフォーマットが切り替えられた場合には、切替え後のフォーマットの種別が群管理装置2に送信され、群管理装置2内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。
図8は、図6の基板処理装置一覧画面において、操作者が表示編集ボタン310を押下することにより表示される、基板処理装置100の詳細を表示するためのフォーマットを編集する画面の一例である。
図8に示すように、この画面は、ヘッダ300及びボディ302により構成される。ヘッダ300には、画面名(ここでは、フォーマット編集)が表示され、ボディ302には、列名入力部(Column Name)334、説明入力部(Caption)336、表示プロパティ設定部(Display Property)338、表示アイテム設定部(Display Item)340、色設定部(Color Setting)342、セーブボタン(Save)344及びキャンセルボタン(Cancel)346が表示される。
列名入力部334及び説明入力部336への入力、並びに、表示プロパティ設定部338、表示アイテム設定部340及び色設定部342における設定を行うことにより、フォーマットを編集することができる。このようにフォーマットが編集された場合には、編集後のフォーマットが群管理装置2に送信され、群管理装置2内のデータベースに格納されている表示情報に反映される。
表示プロパティ設定部338には、テキスト揃え選択部(Text Align)348、データ形式選択部(Data Format)350、データ長選択部(Data Length)352及び表示タイプ選択部(Display Type)354がプルダウンメニューとして表示され、テキスト揃え、データ形式、データ長及び表示タイプの選択が受け付けられる。表示タイプは、標準(Normal)、バー表示(Bar)及びコンビネーション表示(Combination)から選択可能である。
操作者が追加ボタン356又は削除ボタン358を押下することにより、追加又は削除したいアイテムを選択する画面に遷移する。ここで、アイテムとは、図1の端末装置3に表示されるデータ項目(列)である。選択されたアイテムは、アイテム表示部360に表示される。アイテム表示部360には、通し番号(No.)362、ロケータ(Locator)364、エレメント(Element)366及び属性名(Attribute Name)368というデータ項目が表示される。ここで、ロケータとは、装置内の箇所(部品など)であり、エレメントとは、設定値などのデータ要素である。
後述するように、表示タイプ選択部354において選択された表示タイプなどに応じて、アイテム表示部360に表示されるデータ項目が異なる。
色タイプは、初期表示(Default)、固定色表示(Fixed)、文字列毎色表示(Enum)、パターン別色表示(Pattern Match)及び上下限色表示(Upper Value)から選択可能である。
図9に示すように、この画面は、ヘッダ300及びボディ302により構成される。ヘッダ300には、画面名(ここでは、アイテム選択)が表示され、ボディ302には、装置選択部(Equipment)372、ロケータ表示部(Locator)374及び属性表示部(Attribute)376が表示される。
装置選択部372は、追加又は削除したいアイテムに関連する基板処理装置100の選択を受け付け、ロケータ表示部374は、装置選択部372によって受け付けられた基板処理装置100のロケータ及びロケータツリーを表示する。ロケータツリーの各ノードは操作者により選択可能であり、いずれかのノードが選択されることにより、属性表示部376には、選択されたノードが採りうる属性が表示される。属性表示部376の属性もまた、操作者により選択可能であり、いずれかの属性が選択されることにより、アイテムが選択される。
図10(B)は、図10(A)のアイテムがフォーマットに追加され、このフォーマットが適用された場合に表示される、基板処理装置100の詳細を表示する画面(一部)の一例である。
図11(B)は、図11(A)のアイテムがフォーマットに追加され、このフォーマットが適用された場合に表示される、基板処理装置100の詳細を表示する画面(一部)の一例である。
なお、以下の各手順は、再度ログインした端末装置3において、CPUがメモリ等に格納されたプログラムを実行することによって実現される(CPU、メモリ及びプログラムは不図示)。
W1,H1,X1,Y1は、図17(A)に示すとおりであり、W2,H2,X2,Y2は、図17(B)に示すとおりである。
ステップ102(S102)において、X1を補正する必要があるか否かを判定する。具体的には、X1がW2に0.9を乗じた値よりも大きいか否かを判定する。X1がW2×0.9よりも大きい場合には、ステップ104に進み、そうでない場合には、ステップ106に進む。
ステップ104(S104)において、W2×0.9をX2に設定し、ステップ108に進む。
ステップ106(S106)において、X1をX2に設定し、ステップ108に進む。
ステップ110(S110)において、Y1を補正する必要があるか否かを判定する。具体的には、Y1がH2に0.9を乗じた値よりも大きいか否かを判定する。Y1がH2×0.9よりも大きい場合には、ステップ112に進み、そうでない場合には、ステップ114に進む。
ステップ112(S112)において、H2×0.9をY2に設定し、終了する。
ステップ114(S114)において、Y1をY2に設定し、終了する。
なお、ステップ102,104,110,112において、0.9を乗じるものとして説明したが、乗じる値は0.9に限定されず、端末装置3−1,3−2のディスプレイに表示されるよう補正可能な値であればよい。
例えば、基板処理装置100及び群管理装置2は、同じフロア(クリーンルーム)に配置する必要はなく、LAN等に接続され、事務所に配置されてもよい。また、群管理装置2において、データベースは、サーバ本体と一体にする必要はなく、それぞれを別体にしてもよい。
基板処理を実行する基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置であって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報が変更された場合、変更内容を保存する保存手段と
を有する群管理装置。
基板処理を実行する基板処理装置と、
前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、
前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置と
からなる基板処理システムであって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報と、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段と
を有する基板処理システム。
前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報は、
前記端末装置に表示されていた画面の名前、該画面の位置、該画面のサイズ、及び、該画面が表示されていた前記端末装置のディスプレイのサイズ
である基板処理システム。
ログアウトした前記端末装置の操作者が再度ログインした場合、前記制御手段は、前記端末装置の操作者がログアウトした時点の前記端末装置における表示に関する情報を前記記憶手段から読み出し、読み出した情報に基づいて、前記端末装置における表示を制御する。
100 基板処理装置
102 ネットワーク
2 群管理装置
3 端末装置
Claims (1)
- 基板処理を実行する基板処理装置と、
前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、
前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置と
からなる基板処理システムであって、
前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段と
を有する基板処理システム。
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