KR20020065275A - 반도체 제조 장비의 설정 상태를 전산으로 관리하는 방법 - Google Patents

Abstract

여기에 개시된 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법은: 상기 반도체 제조 장비의 상태를 변경 모드로 설정하는 단계와, 상기 반도체 제조 장비의 변경될 유닛에 대응하는 체크 쉬트를 선택하는 단계와, 단말기를 통해 변경하고자하는 데이터를 입력하는 단계와, 상기 입력된 데이터를 저장 장치에 저장하는 단계와, 상기 입력된 데이터에 따라 상기 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 단계, 그리고 상기 반도체 제조 장비의 상태를 정상 모드로 설정하는 단계를 포함한다. 이와 같은 방법에 의하면, 반도체 제조 공정 관리가 체계화되고, 작업자의 이용 편리성이 증대된다.

Description

반도체 제조 장비의 설정 상태를 전산으로 관리하는 방법{MANAGING METHOD FOR SET POINT OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS USING COMPUTER INFORMATION SYSTEM}

본 발명은 반도체 제조 관리 방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조 장비의 설정 상태를 전산으로 관리하는 방법에 관한 것이다.

반도체 기술이 더욱 소형화 정밀화됨에 따라 반도체 제조 장비는 매우 섬세하게 동작하도록 설계되었다. 이러한 반도체 제조 장비의 동작 상태 설정은 매우 조심스럽게 다루어져야만 한다. 대부분의 반도체 제조 장비들은 오류를 최소화하기 위하여 중단없이 24시간 연속적으로 동작한다. 그러나, 작업자는 3 교대 또는 그 이상으로 자주 변경되므로, 반도체 제조 장비의 설정 상태에 대한 정보는 작업자들간에 공유되어야 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 장비 체크 쉬트를 예시적으로 보여주는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같은 체크 쉬트는 작업자가 직접 손으로 기입하도록 종이로 인쇄되어 있다. 작업자는 반도체 제조 장비의 상태를 변경한 경우, 반드시 체크 쉬트에 이를 기입하여 다른 작업자로 하여금 반도체 설비의 상태를 용이하게 파악할 수 있도록 한다.

그러나, 종이에 작성된 체크 쉬트는 작업자가 의도적으로 펼쳐보아야 하므로 매우 불편할 뿐만 아니라, 지금까지의 변경 히스토리를 일목 요연하게 알 수 없다는 단점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 반도체 제조 장비의 설정 상태를 전산으로 관리하는 방법을 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 장비의 체크 쉬트를 예시적으로 보여주는 도면;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장비와 이를 관리하는 전산 시스템을 보여주는 도면;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 설비 변경점 관리 방법의 수순을 보여주는 플로우차트; 그리고

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전산화 체크 쉬트를 예시적으로 보여주는 도면이다.

상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법은: 상기 반도체 제조 장비의 상태를 변경 모드로 설정하는 단계와, 상기 반도체 제조 장비의 변경될 유닛에 대응하는 체크 쉬트를 선택하는 단계와, 단말기를 통해 변경하고자하는 데이터를 입력하는 단계와, 상기 입력된 데이터를 저장 장치에 저장하는 단계와, 상기 입력된 데이터에 따라 상기 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 단계, 그리고 상기 반도체 제조 장비의 상태를 정상 모드로 설정하는 단계를 포함한다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 단말기는 PDA(personal digital assistants)이다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경한 후 소정 로트동안 상기 단말기에 상태 변경을 알리는 메시지를 상기 단말기에 디스플레이하는 단계를 더 포함한다.

(작용)

이와 같은 방법에 의해서, 반도체 제조 공정이 체계화되고, 작업자의 이용 편리성이 증대된다.

(실시예)

이하 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장비와 이를 관리하는 전산 시스템을 보여주는 도면이다.

도 2를 참조하면, 단말기(30) 및 PDA(personal digital assistants)와 연계되는 호스트 시스템(10)은 반도체 제조 장비(20)를 제어할 뿐만 아니라 그의 설정 상태에 대한 데이터를 저장한다. 구체적으로, 상기 호스트 시스템(10)은 반도체제조 장비(20)를 구성하는 각 유닛에 대응하는 체크 쉬트 포맷을 저장하는 장치(12)와, 상기 유닛들의 설정 상태에 대응하는 데이터들을 저장하는 장치(14), 그리고 단말기(30) 또는 PDA 장치(40)로부터 입력되는 데이터를 인증하고, 상기 반도체 제조 장비를 제어하는 장치(16)를 포함한다. 상기 단말기(30)는 도시되지는 않았으나 데이터 입력 장치와 화상 정보 및 문자 정보 표시를 위한 디스플레이 장치로 구성된다.

계속해서, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법이 설명된다. 도 3은 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 수순을 보여주는 플로우차트이다.

도 2 및 도 3을 참조하여, 단말기(30)로부터 상기 반도체 제조 장비의 설정 상태 변경을 위한 제어 신호가 입력되면, 호스트 시스템(10)은 우선 반도체 제조 장비(20)의 상태를 변경 모드로 설정한다(단계 S100). 예컨대, 반도체 제조 장비(20)가 유휴(idle) 모드이거나 동작(run) 모드인 경우 다운(down) 모드로 설정한다. 작업자는 단말기(30)를 통하여 자신의 ID와 패스워드를 입력해서 호스트 시스템에 로그인(login) 한 후, 장비 ID를 선택하고, 유닛 명칭을 입력한 후 체크 쉬트를 선택한다(단계 S110). 호스트 시스템(10)은 선택된 체크 쉬트와 기존에 설정된 데이터를 단말기(30)에 디스플레이한다. 작업자는 단말기를 통해 변경하고자하는 데이터를 입력한다(단계 S120). 호스트 시스템(10)은 단말기(30)를 통하여 입력된 데이터를 인증한 후 데이터 저장 장치(14)에 저장한다(단계S130). 다음, 상기 호스트 시스템(10)은 상기 입력된 데이터에 따라 상기 반도체 제조 장비(20)의설정 상태를 변경한 후(단계 S140), 상기 반도체 제조 장비(20)의 상태를 정상 모드로 설정한다(단계 S140). 그러므로, 반도체 제조 장비(20)는 변경된 설정 상태에 따라 반도체 생산 공정을 수행하게 된다.

상기 호스트 시스템(10)은 상기 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경한 후 소정 로트(예를 들면, 5 로트)동안 상기 단말기에 상태 변경을 알리는 메시지를 단말기에 표시함으로써 작업자가 반도체 제조 장비의 설정 상태 변경 여부를 용이하게 식별할 수 있도록 한다.

PDA(40)는 개인 휴대 통신 시스템으로, 화상 정보 및 문자 정보를 호스트 시스템(10)과 송수신할 수 있는 장치이다. 작업자는 온라인(on-line)으로 연결된 단말기(30) 뿐만 아니라 무선으로 연결된 PDA(40)를 통하여 반도체 제조 장비(20)의 설정 상태를 용이하게 변경할 수 있다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전산화 체크 쉬트를 예시적으로 보여주는 도면이다.

예시적인 바람직한 실시예를 이용하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명의 범위는 개시된 실시예에 한정되지 않는다는 것이 잘 이해될 것이다. 오히려, 본 발명의 범위에는 다양한 변형 예들 및 그 유사한 구성들이 모두 포함될 수 있도록 하려는 것이다. 따라서, 청구 범위는 그러한 변형 예들 및 그 유사한 구성들 모두를 포함하는 것으로 가능한 폭넓게 해석되어야 한다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 반도체 제조 장비의 설정 상태를 전산으로관리함으로써 반도체 제조 공정이 체계화되고, 작업자의 이용 편리성이 증대된다.

Claims (3)

1. 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법에 있어서:

   상기 반도체 제조 장비의 상태를 변경 모드로 설정하는 단계와;

   상기 반도체 제조 장비의 변경될 유닛에 대응하는 체크 쉬트를 선택하는 단계와;

   단말기를 통해 변경하고자하는 데이터를 입력하는 단계와;

   상기 입력된 데이터를 저장 장치에 저장하는 단계와;

   상기 입력된 데이터에 따라 상기 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 단계; 그리고

   상기 반도체 제조 장비의 상태를 정상 모드로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 단말기는 PDA(personal digital assistants)인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경한 후 소정 로트동안 상기 단말기에 상태 변경을 알리는 메시지를 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 설정 상태를 변경하는 방법.