WO2016098887A1 - 処理装置 - Google Patents

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WO2016098887A1
WO2016098887A1 PCT/JP2015/085514 JP2015085514W WO2016098887A1 WO 2016098887 A1 WO2016098887 A1 WO 2016098887A1 JP 2015085514 W JP2015085514 W JP 2015085514W WO 2016098887 A1 WO2016098887 A1 WO 2016098887A1
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WO
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communication
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control unit
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Application number
PCT/JP2015/085514
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English (en)
French (fr)
Inventor
秀元 林原
信之 宮川
滋基 野上
Original Assignee
株式会社日立国際電気
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
    • G06F21/30—Authentication, i.e. establishing the identity or authorisation of security principals
    • G06F21/31—User authentication
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04—Manufacturing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

Definitions

  • the present invention relates to data processing with an external host computer in a processing apparatus for processing an object to be processed.
  • FA operation of a semiconductor manufacturing apparatus which is a kind of substrate processing apparatus, is performed after establishing communication between a host computer and a semiconductor manufacturing apparatus based on a standard (SEMI).
  • SEMI standard
  • the semiconductor manufacturer sells (resells) it to a third-party manufacturer such as a used sales manufacturer.
  • a third-party manufacturer such as a used sales manufacturer.
  • after-sale services such as replacement and maintenance (maintenance) of equipment parts that have been resold and modification of the equipment.
  • An object of the present invention is to prevent a loss of opportunity to perform after-sales service of a semiconductor manufacturing apparatus.
  • the unique information of the host computer is acquired and the previously acquired unique information is acquired.
  • a screen requesting input of a password is displayed on the operation screen, and when the regular password is input,
  • a communication control unit configured to establish the communication.
  • the substrate processing apparatus according to the present invention can prevent loss of after-sales service opportunities.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a substrate processing system according to an embodiment of the present invention. It is a perspective view of the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. It is side surface perspective drawing of the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. It is a longitudinal cross-sectional view of the processing furnace of the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. It is a block block diagram of the substrate processing controller with which the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is provided. It is an example which shows the flow of communication establishment of the communication establishment program performed with the substrate processing apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a substrate processing system according to an embodiment of the present invention.
  • the substrate processing system includes at least one substrate processing apparatus 100 and a group management apparatus 500 connected to the substrate processing apparatus 100 so that data can be exchanged. ing.
  • the substrate processing apparatus 100 is configured to execute a processing process based on a recipe in which processing procedures and processing conditions are defined.
  • the substrate processing apparatus 100 and the group management apparatus 500 are connected by a network 400 such as a local line (LAN) or a wide area line (WAN).
  • LAN local line
  • WAN wide area line
  • FIG. 2 is a perspective view of the substrate processing apparatus according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a side perspective view of the substrate processing apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • the substrate processing apparatus 100 according to the present embodiment is configured as a vertical apparatus that performs oxidation, diffusion processing, CVD processing, and the like on a substrate such as a wafer.
  • the substrate processing apparatus 100 includes a casing 111 configured as a pressure vessel.
  • a front maintenance port 103 serving as an opening provided for maintenance is provided in the front front portion of the front wall 111a of the casing 111.
  • the front maintenance port 103 is provided with a pair of front maintenance doors 104 as an access mechanism for opening and closing the front maintenance port 103.
  • a pod (substrate container) 110 containing a wafer (substrate) 200 such as silicon is used as a carrier for transporting the wafer 200 into and out of the housing 111.
  • a pod loading / unloading port (substrate container loading / unloading port) 112 is opened on the front wall 111 a of the housing 111 so as to communicate between the inside and the outside of the housing 111.
  • the pod loading / unloading port 112 is opened and closed by a front shutter (substrate container loading / unloading port opening / closing mechanism) 113.
  • a load port (substrate container delivery table) 114 is installed as a mounting portion.
  • the pod 110 is placed and aligned.
  • the pod 110 is configured to be transferred onto the load port 114 by an in-process transfer device (not shown) such as an OHT (Overhead Hoist Transport).
  • a rotary pod shelf (substrate container mounting shelf) 105 is installed at an upper portion of the housing 111 at a substantially central portion in the front-rear direction.
  • a plurality of pods 110 are stored on the rotary pod shelf 105.
  • the rotary pod shelf 105 includes a support column 116 that is erected vertically and is intermittently rotated in a horizontal plane, and a plurality of shelf plates (substrate containers) that are radially supported by the support column 116 at the upper, middle, and lower positions.
  • Mounting stage) 117 The plurality of shelf plates 117 are configured to hold a plurality of pods 110 in a state where they are mounted.
  • a pod transfer device (substrate container transfer device) 118 is installed between the load port 114 and the rotary pod shelf 105 in the housing 111.
  • the pod transfer device 118 includes a pod elevator (substrate container lifting mechanism) 118a that can be moved up and down while holding the pod 110, and a pod transfer mechanism (substrate container transfer mechanism) 118b as a transfer mechanism.
  • the pod transfer device 118 moves the pod 110 between the load port 114, the rotary pod shelf 105, and the pod opener (substrate container lid opening / closing mechanism) 121 by the continuous operation of the pod elevator 118a and the pod transfer mechanism 118b. It is comprised so that it may convey mutually.
  • a sub-housing 119 is provided at a lower part in the housing 111 from a substantially central portion in the front-rear direction in the housing 111 to a rear end.
  • a pair of wafer loading / unloading ports (substrate loading / unloading ports) 120 that transfer the wafer 200 into and out of the sub-casing 119 are provided on the front wall 119a of the sub-casing 119 so as to be arranged vertically in two stages. Yes.
  • Pod openers 121 are respectively installed at the upper and lower wafer loading / unloading ports 120.
  • Each pod opener 121 includes a pair of mounting tables 122 on which the pod 110 is mounted, and a cap attaching / detaching mechanism (lid attaching / detaching mechanism) 123 that attaches / detaches the cap (cover) of the pod 110.
  • the pod opener 121 is configured to open and close the wafer loading / unloading port of the pod 110 by attaching / detaching the cap of the pod 110 placed on the placing table 122 by the cap attaching / detaching mechanism 123.
  • a transfer chamber 124 that is fluidly isolated from a space in which the pod transfer device 118, the rotary pod shelf 105, and the like are installed is configured.
  • a wafer transfer mechanism (substrate transfer mechanism) 125 is installed in the front region of the transfer chamber 124.
  • the wafer transfer mechanism 125 includes a wafer transfer device (substrate transfer device) 125a that can rotate or linearly move the wafer 200 in the horizontal direction, and a wafer transfer device elevator (substrate transfer device) that moves the wafer transfer device 125a up and down. (Elevating mechanism) 125b. As shown in FIG.
  • the wafer transfer device elevator 125 b is installed between the right end of the front area of the transfer chamber 124 of the sub-housing 119 and the right end of the housing 111.
  • the wafer transfer device 125 a includes a tweezer (substrate holding body) 125 c as a mounting portion for the wafer 200.
  • the wafer 200 can be loaded (charged) and unloaded (discharged) with respect to the boat (substrate holder) 217 by the continuous operation of the wafer transfer device elevator 125b and the wafer transfer device 125a. ing.
  • a standby unit 126 that houses and waits for the boat 217 is configured.
  • a processing furnace 202 is provided above the standby unit 126.
  • the lower end portion of the processing furnace 202 is configured to be opened and closed by a furnace port shutter (furnace port opening / closing mechanism) 147.
  • a boat elevator (substrate holder lifting mechanism) 115 that lifts and lowers the boat 217 is installed between the right end of the standby section 126 and the right end of the casing 111 of the sub casing 119.
  • An arm 128 as a connecting tool is connected to the elevator platform of the boat elevator 115.
  • a seal cap 219 serving as a lid is horizontally installed on the arm 128. The seal cap 219 is configured to support the boat 217 vertically and to close the lower end portion of the processing furnace 202.
  • This embodiment is mainly composed of a rotary pod shelf 105, a boat elevator 115, a pod transfer device (substrate container transfer device) 118, a wafer transfer mechanism (substrate transfer mechanism) 125, a boat 217, and a rotation mechanism 254 described later.
  • the substrate transfer system according to the above is configured.
  • the rotary pod shelf 105, the boat elevator 115, the pod transfer device (substrate container transfer device) 118, the wafer transfer mechanism (substrate transfer mechanism) 125, the boat 217, and the rotation mechanism 254 are transferred as a sub-controller described later.
  • the controller 11 is electrically connected.
  • the boat 217 includes a plurality of holding members.
  • the boat 217 is configured to hold a plurality of (for example, about 50 to 125) wafers 200 in a horizontal state with their centers aligned and vertically aligned.
  • a clean unit 134 is installed at the left end of the transfer chamber 124 opposite to the wafer transfer device elevator 125b side and the boat elevator 115 side.
  • the clean unit 134 includes a supply fan and a dustproof filter so as to supply a clean atmosphere or clean air 133 that is an inert gas.
  • a notch alignment device (not shown) is installed as a substrate alignment device for aligning the circumferential position of the wafer.
  • the clean air 133 blown out from the clean unit 134 flows around the boat 217 in the notch alignment device, wafer transfer device 125a, and standby unit 126 (not shown), and is then sucked in by a duct (not shown) to the outside of the casing 111. Or is circulated to the primary side (supply side) that is the suction side of the clean unit 134 and is blown out again into the transfer chamber 124 by the clean unit 134.
  • a plurality of device covers are attached to the outer periphery of the case 111 and the sub case 119 as a mechanism for entering the substrate processing apparatus 100. These apparatus covers are removed during maintenance work, and maintenance personnel can enter the substrate processing apparatus 100.
  • a door switch 130 is provided as an entrance sensor at the ends of the casing 111 and the sub casing 119 facing the device cover. Also, a door switch 130 is provided as an entrance sensor at the end of the casing 111 facing the front maintenance door 104.
  • a substrate detection sensor 140 that detects the placement of the pod 110 is provided on the load port 114. The switches 15 such as the door switch 130 and the substrate detection sensor 140 and the sensors 15 are electrically connected to a substrate processing apparatus controller 240 described later.
  • the pod 110 when the pod 110 is supplied to the load port 114 by an in-process transfer device (not shown), the pod 110 is detected by the substrate detection sensor 140, and the pod loading / unloading port 112 is at the front. It is opened by the shutter 113. Then, the pod 110 on the load port 114 is carried into the housing 111 from the pod carry-in / out port 112 by the pod carrying device 118.
  • the pod 110 carried into the housing 111 is automatically transferred onto the shelf 117 of the rotary pod shelf 105 by the pod transfer device 118 and temporarily stored. Thereafter, the pod 110 is transferred from the shelf 117 onto the mounting table 122 of one pod opener 121. Note that the pod 110 carried into the housing 111 may be directly transferred onto the mounting table 122 of the pod opener 121 by the pod transfer device 118. At this time, the wafer loading / unloading port 120 of the pod opener 121 is closed by the cap attaching / detaching mechanism 123, and clean air 133 is circulated and filled in the transfer chamber 124.
  • the oxygen concentration in the transfer chamber 124 becomes, for example, 20 ppm or less, which is much lower than the oxygen concentration in the casing 111 that is an atmospheric atmosphere. It is set to be.
  • the pod 110 mounted on the mounting table 122 is pressed against the opening edge of the wafer loading / unloading port 120 in the front wall 119a of the sub-housing 119, and the cap is removed by the cap attaching / detaching mechanism 123. Then, the wafer loading / unloading port is opened. Thereafter, the wafer 200 is picked up from the pod 110 through the wafer loading / unloading port by the tweezer 125c of the wafer transfer device 125a, aligned in the notch alignment device, and then in the standby unit 126 at the rear of the transfer chamber 124. Are loaded into the boat 217 (charging). The wafer transfer device 125 a loaded with the wafer 200 in the boat 217 returns to the pod 110 and loads the next wafer 200 into the boat 217.
  • the other (lower or upper) pod opener 121 is placed on the mounting table 122.
  • the pod 110 is transferred from the rotary pod shelf 105 by the pod transfer device 118 and transferred, and the opening operation of the pod 110 by the pod opener 121 is simultaneously performed.
  • the lower end portion of the processing furnace 202 closed by the furnace port shutter 147 is opened by the furnace port shutter 147. Subsequently, the boat 217 holding the wafer 200 group is loaded into the processing furnace 202 when the seal cap 219 is lifted by the boat elevator 115.
  • the boat 217 storing the processed wafers 200 is unloaded from the processing chamber 201 in a procedure almost opposite to the above procedure except for the wafer alignment process in the notch aligner 135, and the processed wafers are processed.
  • the pod 110 storing 200 is carried out of the casing 111.
  • FIG. 4 is a longitudinal sectional view of the processing furnace 202 of the substrate processing apparatus 100 according to one embodiment of the present invention.
  • the processing furnace 202 includes a process tube 203 as a reaction tube.
  • the process tube 203 includes an inner tube 204 as an internal reaction tube and an outer tube 205 as an external reaction tube provided on the outside thereof.
  • the inner tube 204 is made of a heat resistant material such as quartz (SiO 2) or silicon carbide (SiC).
  • the inner tube 204 is formed in a cylindrical shape with an upper end and a lower end opened.
  • a processing chamber 201 for processing a wafer 200 as a substrate is formed in a hollow cylindrical portion in the inner tube 204.
  • the processing chamber 201 is configured to accommodate a boat 217 described later.
  • the outer tube 205 is provided concentrically with the inner tube 204.
  • the outer tube 205 has an inner diameter larger than the outer diameter of the inner tube 204, is formed in a cylindrical shape with the upper end closed and the lower end opened.
  • the outer tube 205 is made of a heat resistant material such as quartz or silicon carbide.
  • a heater 206 as a heating mechanism is provided outside the process tube 203 so as to surround the side wall surface of the process tube 203.
  • the heater 206 has a cylindrical shape.
  • the heater 206 is vertically installed by being supported by a heater base 251 as a holding plate.
  • a manifold 209 is disposed below the outer tube 205 so as to be concentric with the outer tube 205.
  • the manifold 209 is made of, for example, stainless steel.
  • the manifold 209 is formed in a cylindrical shape with an upper end and a lower end opened.
  • the manifold 209 is engaged with the lower end portion of the inner tube 204 and the lower end portion of the outer tube 205, respectively.
  • the manifold 209 is provided to support the lower end portion of the inner tube 204 and the lower end portion of the outer tube 205.
  • An O-ring 220a as a seal member is provided between the manifold 209 and the outer tube 205.
  • a processing gas nozzle 230a and a purge gas nozzle 230b as gas introduction portions are connected to a seal cap 219, which will be described later, so as to communicate with the inside of the processing chamber 201.
  • a processing gas supply pipe 232a is connected to the processing gas nozzle 230a.
  • a processing gas supply source (not shown) or the like is connected to the upstream side of the processing gas supply pipe 232 (the side opposite to the connection side with the processing gas nozzle 230a) via an MFC (mass flow controller) 241a as a gas flow rate controller.
  • MFC mass flow controller
  • a purge gas supply pipe 232b is connected to the purge gas nozzle 230b.
  • a purge gas supply source (not shown) or the like is connected to the upstream side of the purge gas supply pipe 232b (the side opposite to the connection side with the purge gas nozzle 230b) via an MFC (mass flow controller) 241b as a gas flow rate controller.
  • MFC mass flow controller
  • the processing gas supply system according to this embodiment is mainly configured by the processing gas supply source (not shown), the MFC 241a, the processing gas supply pipe 232a, and the processing gas nozzle 230a.
  • a purge gas supply system according to this embodiment is mainly configured by a purge gas supply source (not shown), the MFC 241b, the purge gas supply pipe 232b, and the purge gas nozzle 230b.
  • the gas supply system according to this embodiment is mainly constituted by the processing gas supply system and the purge gas supply system.
  • a gas supply controller 14 as a sub-controller described later is electrically connected to the MFCs 241a and 241b.
  • the manifold 209 is provided with an exhaust pipe 231 for exhausting the atmosphere in the processing chamber 201.
  • the exhaust pipe 231 is disposed at the lower end portion of the cylindrical space 250 formed by the gap between the inner tube 204 and the outer tube 205.
  • the exhaust pipe 231 communicates with the cylindrical space 250.
  • a pressure sensor 245 as a pressure detector, for example, a pressure regulator 242 configured as an APC (Auto Pressure Controller), a vacuum such as a vacuum pump, etc.
  • the exhaust device 246 is connected in order from the upstream side.
  • the gas exhaust mechanism according to the present embodiment is mainly configured by the exhaust pipe 231, the pressure sensor 245, the pressure adjusting device 242, and the vacuum exhaust device 246.
  • a pressure controller 13 as a sub-controller described later is electrically connected to the pressure adjusting device 242 and the pressure sensor 245.
  • a seal cap 219 is provided as a furnace opening lid capable of airtightly closing the lower end opening of the manifold 209.
  • the seal cap 219 is brought into contact with the lower end of the manifold 209 from the lower side in the vertical direction.
  • the seal cap 219 is made of a metal such as stainless steel.
  • the seal cap 219 is formed in a disc shape.
  • an O-ring 220b is provided as a seal member that comes into contact with the lower end of the manifold 209.
  • a rotation mechanism 254 for rotating the boat is installed near the center of the seal cap 219 and on the side opposite to the processing chamber 201.
  • the rotation shaft 255 of the rotation mechanism 254 passes through the seal cap 219 and supports the boat 217 from below.
  • the rotation mechanism 254 is configured to be able to rotate the wafer 200 by rotating the boat 217.
  • the seal cap 219 is configured to be vertically moved by a boat elevator 115 as a substrate holder lifting mechanism vertically installed outside the process tube 203. By moving the seal cap 219 up and down, the boat 217 can be transferred into and out of the processing chamber 201.
  • a conveyance controller 11 as a sub-controller described later is electrically connected to the rotation mechanism 254 and the boat elevator 115.
  • the boat 217 as a substrate holder is configured to hold a plurality of wafers 200 in a multi-stage by aligning the wafers 200 in a horizontal posture and in a state where their centers are aligned with each other.
  • the boat 217 is made of a heat resistant material such as quartz or silicon carbide.
  • a plurality of heat insulating plates 216 as heat insulating members are arranged in multiple stages in a horizontal posture.
  • the heat insulating plate 216 is formed in a disc shape.
  • the heat insulating plate 216 is made of a heat resistant material such as quartz or silicon carbide.
  • the heat insulating plate 216 is configured to make it difficult to transfer heat from the heater 206 to the manifold 209 side.
  • a temperature sensor 263 is installed as a temperature detector.
  • the heater 206 and the temperature sensor 263 mainly constitute the heating mechanism according to this embodiment.
  • a temperature controller 12 as a sub-controller described later is electrically connected to the heater 206 and the temperature sensor 263.
  • the substrate processing system according to this embodiment is mainly configured by a gas exhaust mechanism, a gas supply system, and a heating mechanism.
  • the inside of the processing chamber 201 is evacuated by the evacuation device 246 such that a desired pressure (degree of vacuum) is obtained.
  • the pressure adjusting device 242 (the opening degree of the valve) is feedback-controlled.
  • the heater 206 is heated so that the inside of the processing chamber 201 has a desired temperature.
  • the energization amount to the heater 206 is feedback controlled based on the temperature value detected by the temperature sensor 263. Subsequently, the boat 217 and the wafers 200 are rotated by the rotation mechanism 254.
  • the processing gas supplied from the processing gas supply source and controlled to have a desired flow rate by the MFC 241a flows through the gas supply pipe 232a and is introduced into the processing chamber 201 from the nozzle 230a.
  • the introduced processing gas rises in the processing chamber 201, flows out from the upper end opening of the inner tube 204 into the cylindrical space 250, and is exhausted from the exhaust pipe 231.
  • the gas comes into contact with the surface of the wafer 200 when passing through the processing chamber 201, and at this time, a thin film is deposited on the surface of the wafer 200 by a thermal CVD reaction.
  • purge gas supplied from a purge gas supply source and controlled to have a desired flow rate by the MFC 241b is supplied into the processing chamber 201, and the processing chamber 201 is replaced with an inert gas. At the same time, the pressure in the processing chamber 201 is returned to normal pressure.
  • the seal cap 219 is lowered by the boat elevator 115 to open the lower end of the manifold 209, and the boat 217 holding the processed wafer 200 is carried out from the lower end of the manifold 209 to the outside of the process tube 203 (boat unloading). Loading). Thereafter, the processed wafer 200 is taken out from the boat 217 and stored in the pod 110 (wafer discharge).
  • the main control unit 240 mainly includes a calculation control unit 25 such as a CPU, a processing control unit 20 as a processing controller, a transport control unit 27 as a transport controller 11, a memory such as a RAM and a ROM, a memory such as an HDD, and the like.
  • the unit 28 includes an input unit 29 such as a mouse and a keyboard, and a display unit 31 such as a monitor.
  • the calculation control unit 25, the storage unit 28, the input unit 29, and the display unit 31 constitute an operation unit capable of setting each data.
  • a CPU (Central Processing25Unit) 25 constitutes the center of the main control unit 240, executes a control program stored in a ROM (not shown), and in accordance with an instruction from the display unit 31, a storage unit 28 that also constitutes a recipe storage unit A stored recipe (for example, a process recipe as a substrate processing recipe) is executed.
  • the ROM is a recording medium that includes an EEPROM, a flash memory, a hard disk, and the like, and stores an operation program of the CPU 25 and the like.
  • the memory (RAM) functions as a work area (temporary storage unit) for the CPU 25.
  • the substrate processing recipe is a recipe in which processing conditions and processing procedures for processing the wafer 200 are defined.
  • set values (control values) to be transmitted to the transfer controller 11, the temperature controller 12, the pressure controller 13, the gas supply controller 14, the transmission timing, and the like are set for each step of the substrate processing.
  • the main control unit 240 can be realized by using a normal computer system without depending on a dedicated system. For example, by installing these various programs on a general-purpose computer from an external recording medium (flexible disk, CD-ROM, USB, external HDD, etc.) storing various programs including a control program for executing the above-described processing.
  • an external recording medium flexible disk, CD-ROM, USB, external HDD, etc.
  • the main control part 240 which performs the above-mentioned process can be comprised.
  • a means for supplying these various programs is arbitrary.
  • it may be supplied via a communication line, a communication network, a communication system, or the like.
  • the program may be posted on a bulletin board of a communication network and provided by being superimposed on a carrier wave via the network. Then, the above-described processing can be executed by starting the program thus provided and executing it in the same manner as other application programs under the control of the OS.
  • the processing control unit 20 is configured so that the wafer 200 loaded in the processing furnace 201 is subjected to temperature and pressure in the processing furnace 201 and a processing gas introduced into the processing furnace 201 so that predetermined processing is performed. Has a function of controlling the flow rate of the gas.
  • the transfer control unit 27 has a function of controlling driving of transfer mechanisms such as the pod transfer device 105, the wafer transfer mechanism 125, and the boat elevator 115 via a drive motor (not shown).
  • the storage unit 28 includes a data storage area (hereinafter also referred to as a second storage area) 32 for storing various data and the like, and a program storage area (hereinafter also referred to as a first storage area) 33 for storing various programs. Is formed.
  • a data storage area hereinafter also referred to as a second storage area
  • a program storage area hereinafter also referred to as a first storage area
  • the data storage area 32 stores various parameters related to the recipe file.
  • information on a delivery position on the mounting table 114 as an I / O stage, and delivery Information such as an operation order when moving the pod transfer device 118 as a carrier loader to a position and an operation order when moving the carrier loader 118 from the delivery position is stored.
  • the carrier information including at least the carrier ID that is information for identifying each pod 110 and the type information of the wafer 200 in the pod 110 is stored in the data storage area 32.
  • the host storage information described later is stored in the data storage area 32.
  • program storage area 33 in addition to the above-described substrate processing recipes, various programs necessary for carrying in and out the cassette 3, recipes for cleaning the inside of the furnace without the substrate, and the like are stored. Yes.
  • a communication establishment program 34 to be described later is stored.
  • the display unit 31 of the main control unit 240 is provided with a touch panel.
  • the touch panel is configured to display an operation screen that receives an input of an operation command to the above-described substrate transport system and substrate processing system.
  • the operation screen includes various display fields and operation buttons for confirming the state of the substrate transfer system and the substrate processing system and inputting operation instructions to the substrate transfer system and the substrate processing system.
  • the operation part should just be the structure containing the display part 31 and the input part 29 at least like operation terminals (terminal device), such as a personal computer and a mobile.
  • the transfer controller 11 includes a rotary pod shelf 105, a boat elevator 115, a pod transfer device (substrate container transfer device) 118, a wafer transfer mechanism (substrate transfer mechanism) 125, a boat 217, and a rotation mechanism that constitute a substrate transfer system. It is configured to control each of the 254 transport operations. Although not shown, a rotary pod shelf 105, a boat elevator 115, a pod transfer device (substrate container transfer device) 118, a wafer transfer mechanism (substrate transfer mechanism) 125, a boat 217, and a rotation mechanism constituting a substrate transfer system. Each sensor 254 has a built-in sensor. The transport controller 11 is configured to notify the main control unit 240 when these sensors indicate predetermined values, abnormal values, or the like.
  • the temperature controller 12 controls the temperature of the heater 206 of the processing furnace 202 to adjust the temperature in the processing furnace 202, and when the temperature sensor 263 indicates a predetermined value or an abnormal value, the main controller A notification to that effect is sent to 240.
  • the pressure controller 13 controls the pressure adjustment device 242 based on the pressure value detected by the pressure sensor 245 so that the pressure in the processing chamber 201 becomes a desired pressure at a desired timing, and the pressure sensor 245. Is configured to notify the main control unit 240 when a predetermined value or an abnormal value is indicated.
  • the gas supply controller 14 is configured to control the supply and stop of gas from the processing gas supply pipe 232a and the purge gas supply pipe 232b by opening and closing a gas valve (not shown). Further, the gas supply controller 14 is configured to control the MFCs 241a and 241b so that the flow rate of the gas supplied into the processing chamber 201 becomes a desired flow rate at a desired timing. The gas supply controller 14 notifies the main control unit 240 when a gas valve (not shown) or a sensor (not shown) included in the MFCs 241a and 241b shows a predetermined value or an abnormal value. It is configured as follows.
  • the main control unit 240 is configured to execute the communication establishment program 34 when connected to a host computer (hereinafter also referred to as host controller).
  • host controller a host computer
  • a communication control unit is configured in the storage unit 28 as shown in FIG. 8A.
  • the communication control unit is different from the acquisition unit that acquires the unique information of the host controller, the verification unit that collates the unique information and the unique information in the second storage unit that has been acquired in advance, and the unique information is different.
  • it is configured to have a determination unit that determines that there is a mismatch.
  • the determination unit displays a screen for requesting input of a password on the operation screen, waits until a regular password is input, and a registration unit that registers unique information acquired from the host controller in the storage unit If the unique information does not match, a notification is sent to the connected higher level controller to disallow communication establishment with the higher level controller, and if the unique information matches, the connected higher level controller is notified. And a notification unit for performing notification for permitting establishment of communication with the host controller.
  • the communication control unit when establishing communication with the host controller via the network, acquires the host controller unique information, and the previously acquired unique information and the host controller unique information are acquired. If the unique information is different as a result of collating the information, a screen requesting the password input is displayed on the operation screen, and communication with the host controller is established when a valid password is input .
  • the step (S100) of acquiring the unique information of the host controller is executed by the acquisition unit. Then, when data indicating the unique information is stored in the storage unit 28, the communication control unit collates the unique information of the host controller with the unique information in the storage unit by the collation unit (S102). If they match as a result of the collation, a notification for permitting establishment of communication with the host controller is output to the notification unit (S107).
  • a notification for disabling communication establishment with the host controller is output to the notification unit (S103), and for example, a password input screen is displayed on the display unit 31. And wait for the password to be input (S104).
  • the communication control unit causes the notification unit to output a notification that disallows establishment of communication with the host controller (S103), for example, password input
  • the screen is displayed on the display unit 31 and waits for the password to be input (S104).
  • the input waiting step (S104) when a password is input, it is determined whether the password matches a previously acquired password (S105). If the passwords match, the registration information is registered in the registration unit (S106), and a notification for permitting establishment of communication with the host controller is output to the notification unit (S107). On the other hand, if the passwords do not match, a notification for disabling communication establishment with the host controller is output to the notification unit (S103), and the input waiting step (S104) is executed.
  • the communication establishment program 34 may be configured to be forcibly terminated when a password input count is counted and a password different from a regular password is input a predetermined number of times.
  • the substrate processing apparatus 100 that has been delivered to the factory and has been set up is operated online, communication is not established without verification if there is no data. Since the use can be suppressed, safety is greatly improved. For example, if there is no data unless it is a newly delivered device, it is considered that the data has been altered. On the other hand, since the password can be easily obtained by the maintenance personnel of the company, when using the substrate processing apparatus 100 properly, it takes a long time to operate the substrate processing apparatus 100 online. is not.
  • FIG. 9A is a functional configuration diagram of the communication control unit of the communication initialization program 35.
  • the main control unit 240 is configured to execute the communication initialization program 35 when connected to the host controller.
  • a communication control unit is configured in the storage unit 28 as shown in FIG. 9A.
  • the communication control unit registers the acquisition unit that acquires the unique information of the host controller and the unique information acquired by the acquisition unit in the second storage unit, matches the unique information, and permits establishment of communication with the host controller.
  • the determination unit is configured to output the notification to the notification unit.
  • the step (S200) of acquiring unique information of the host controller is executed by the acquisition unit.
  • This acquisition step (S200) is the same as the acquisition step (S100) of the communication establishment program 35.
  • the communication control unit confirms that there is no data indicating the unique information in the second storage unit (S201), registers the unique information acquired in the acquisition step (S200) in the storage unit 28 (S202), A notification for permitting establishment of communication with the host controller is output to the notification unit while matching with the unique information of the host controller (S203).
  • the communication control unit Even if there is data indicating unique information in the second storage unit (S201), the communication control unit overwrites and registers the unique information acquired in the acquisition step (S200) in the storage unit 28 (S202). ), And the notification unit allows the notification unit to output a notification for permitting establishment of communication with the host controller (S203).
  • the newly shipped substrate processing apparatus 100 has no data indicating unique information, and even if there is unique information, it is not necessary to collate the unique information, and it is unique in the second storage unit. It is preferable to prioritize registering information and establishing communication with the host controller.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a sequence of authentication and communication establishment at the time of host connection. The process of checking the specific information of the host in this flowchart is realized by the main control unit 240 executing the communication establishment program 34.
  • the host controller is a device that is connected to a plurality of substrate processing apparatuses 100 and manages the operating state of each substrate processing apparatus 100 (hereinafter also referred to as a management apparatus).
  • the main control unit 240 collects host-specific information (for example, MAC address, IP address, etc.). And it collates with the host specific information connected in the past previously held. Here, in the connection with the already connected host, since the collation results match, a permission response is returned in response to the communication establishment request (S1F13).
  • host-specific information for example, MAC address, IP address, etc.
  • the main control unit 240 responds to a communication establishment request (S1F13) received from the host without collation when there is no host specific information in the data storage area 32. It is preferable that a rejection response is sent back. Similarly, there is a possibility that data has been falsified. For example, it is conceivable that host-specific information acquired in the past is deleted and there is no host-specific information in the data storage area 32.
  • the main control unit 240 displays an authentication key input screen on the display unit 31 and waits for key input.
  • a predetermined cancel button is pressed on this input screen
  • the authentication key input screen may be closed and the communication establishment program 34 may be terminated.
  • a rejection response is returned in response to the communication establishment request (S1F13) received from the host.
  • the main control unit 240 is configured not to establish an online connection until a correct authentication key is input.
  • the authentication key input screen may be closed and the communication establishment program 34 may be terminated. Further, when a different authentication key is input a predetermined number of times, the main control unit 240 may close the authentication key input screen and terminate the communication establishment program 34.
  • the main control unit 240 registers the host unique information in the data storage area 32 and receives a communication establishment request (from the host). A permission response is returned to S1F13). Online connection is established by transmission / reception between the substrate processing apparatus 100 and the host.
  • this communication establishment program 34 may be started by an operator's login process. Even in this case, the authentication key input screen is displayed by the execution of the communication establishment program 34 by the main control unit 240, and the communication connection with the host cannot be performed without the input of the authentication key.
  • a regular password is configured such that it cannot be acquired unless a predetermined website is accessed, for example. More preferably, it is a website of a semiconductor manufacturing equipment manufacturer, so that only authorized workers (for example, employees of the semiconductor manufacturing equipment manufacturer) can obtain an official authentication key. It is. As a result, it is necessary to intervene with a semiconductor manufacturing equipment manufacturer () in order to access the website and obtain an official authentication key. Further, it is preferable that this authentication key is not used once it has been acquired, such as a second password, a divided password, a time password, and a daily password. A weekly password may be used as an authentication key.
  • a formal authentication key issued by the semiconductor manufacturing apparatus manufacturer is required, and the acquisition of this authentication key is performed by accessing the website of the semiconductor manufacturing apparatus manufacturer. If you do not get it.
  • a regular password (authentication key) that can be obtained through an employee of a semiconductor manufacturing equipment manufacturer is always input.
  • a resold manufacturer cannot obtain a password (authentication key) without any technical contract with a semiconductor manufacturing equipment manufacturer. Therefore, as a result of the conclusion of this contract, it becomes possible to conduct after-sales business such as maintenance and replacement of parts for resold semiconductor manufacturing equipment to the reseller.
  • the authorized password can be obtained only from the intranet (predetermined website) of the semiconductor manufacturing equipment manufacturer.
  • Key cannot be used illegally.
  • an official authentication key cannot be obtained because an employee of a semiconductor manufacturing equipment manufacturer leaves the company and cannot access a predetermined website even if he / she tries to divert a password obtained in advance. Thereby, data leakage of this communication establishment program is suppressed.
  • the authentication key is preferably a daily password. This is effective in preventing the diversion of a regular password (authentication key) once acquired.
  • the communication establishment program 34 (including the communication initialization program 35) that holds the host authentication function in the present invention is incorporated into the main control unit 240 at the timing of software update of the main control unit 240.
  • the communication establishment program in the present invention is configured to be incorporated into the main control unit 240 by the same method as the control program for executing a process recipe or the like.
  • this communication establishment program is installed in the substrate processing apparatus controller 240 from a recording medium (flexible disk, CD-ROM, USB key, etc.) storing various programs including this communication establishment program.
  • a recording medium flexible disk, CD-ROM, USB key, etc.
  • means for supplying the communication establishment program 34 and the like are arbitrary. In addition to being able to be supplied via a predetermined recording medium as described above, for example, it may be supplied via a communication line, a communication network, a communication system, or the like. In this case, for example, the program may be posted on a bulletin board of a communication network and provided by being superimposed on a carrier wave via the network. Then, the communication establishment program is installed in the main control unit 240 by starting the program thus provided and executing it in the same manner as other application programs under the control of the OS.
  • the execution flow of the communication establishment program (communication initialization program 35) in the second embodiment will be described with reference to FIG.
  • the communication initialization program 35 is executed by the main controller 240 when the host and the substrate processing apparatus 100 are first connected.
  • the main control unit 240 collects host-specific information (for example, a MAC address or an IP address). Then, the host unique information is stored in the data storage area 32, and a permission response is returned in response to the communication establishment request (S1F13) received from the host. Online connection is established by transmission / reception between the substrate processing apparatus 100 and the host.
  • the main controller 240 is configured to search the data storage area 32 by the communication initialization program 35, but determines that it is a process for establishing a new (first) online communication, and performs a verification process. Do not implement. Accordingly, the matching process is omitted in FIG.
  • the main control unit 240 does not collate because there is no host-specific information in the data storage area 32.
  • the host unique information is registered in the data storage area 32, and a permission response is returned in response to a communication establishment request (S1F13) received from the host. Further, even when host specific information exists in the data storage area 32, the host specific information is overwritten and registered in the data storage area 32, and a permission response is returned to the communication establishment request (S1F13) received from the host. It is configured.
  • the communication initialization program 35 does not have the host-specific information acquired in the past after the connection of TCP / IP communication and HSMS communication, and instead of performing the verification process, the communication initialization program 35 displays the authentication key on the display unit 31 of the main control unit 240. A screen for prompting input may be displayed.
  • the authentication key is acquired from a predetermined part on the web of the semiconductor manufacturing apparatus manufacturer. Then, by inputting the acquired password, host-specific information is saved in the data storage area 32, and a permission response is returned to the communication establishment request (S1F13) received from the host.
  • a communication establishment program 34 showing a sequence of authentication and communication establishment at the time of host connection is executed by the main control unit 240. Since it has already been described, detailed description of the flowchart shown in FIG. 6 is omitted.
  • the communication establishment program 34 and the communication initialization program 35 in the present embodiment are installed in the main control unit 240, the first time between the semiconductor manufacturing apparatus and the host At the time of connection, the communication initialization program 35 is always executed, and after that (after the second time), the communication establishment program 34 is always executed. Even if this device is resold without the knowledge of the semiconductor manufacturing equipment maker, it has a function of comparing the host's unique information, so it cannot be obtained unless the semiconductor manufacturing equipment maker first intervenes when the resale destination is online. Since a regular password is required, there is no risk of losing the opportunity for after-sale service of the semiconductor manufacturing equipment manufacturer.
  • the communication establishment program 34 is executed when communication with the host is first established at the resale destination factory.
  • a regular password that cannot be obtained without an employee) is required.
  • the manufacturer of the resale destination cannot connect the used semiconductor manufacturing apparatus online, and thus has to make some contact such as inquiring to the semiconductor manufacturing apparatus manufacturer.
  • the communication initialization program 35 is executed so that a normal password is input even when the substrate processing apparatus 100 and the host are newly authenticated. can do. This prevents the loss of opportunities for after-sales service of semiconductor manufacturing equipment at the reseller because the online connection is not possible unless the semiconductor manufacturing equipment manufacturer intervenes when the equipment is resold improperly. Can do.
  • the communication initialization program 35 is executed, and a new password is input even when the substrate processing apparatus 100 and the host are newly authenticated. can do.
  • a new password is input even when the substrate processing apparatus 100 and the host are newly authenticated. can do.
  • the substrate processing apparatus 100 purchased by the third party manufacturer and the host in the third party factory must be connected online. Since the semiconductor manufacturing apparatus manufacturer is interposed, for example, the after-service business can be continued even after the substrate processing apparatus 100 is resold.
  • the substrate processing apparatus controller 240 of the substrate processing apparatus has been described in detail with respect to the case where the communication establishment program is provided.
  • the present invention is not limited to this. The present invention can be applied even when the controller of the management apparatus that manages the substrate processing apparatus includes a communication establishment program.
  • a vertical semiconductor manufacturing apparatus is shown as an example of a substrate processing apparatus.
  • the present invention is not limited to a vertical semiconductor manufacturing apparatus, but is a cluster type or inline type semiconductor manufacturing apparatus, or a horizontal semiconductor manufacturing apparatus. It may be. Further, the specific content of the substrate processing is not questioned, and it may be processing such as annealing processing, oxidation processing, nitriding processing, and diffusion processing as well as film forming processing.
  • the film formation process may be, for example, a process for forming a CVD, PVD, oxide film, or nitride film, or a process for forming a film containing a metal.
  • the present invention can be applied to various substrate processing apparatuses such as an apparatus used in a subsequent process in addition to an exposure apparatus, a lithography apparatus, and a coating apparatus.
  • the present invention can be applied to any device provided in a production line that connects to a host and mass-produces semiconductor devices in a semiconductor manufacturing factory.
  • a display unit displayed on a predetermined operation screen and a host computer (host) via a network unique information of the host computer is acquired. If the unique information is different from the unique information acquired in advance and the unique information of the host computer, a screen requesting input of a password is displayed on the operation screen. And a communication control unit configured to establish communication with the host computer when input.
  • the said communication control part is collation which collates the acquisition part which acquires the specific information specific to the said high-order computer, and the said specific information and the specific information acquired previously And a determination unit that displays a screen for requesting input of a password on the operation screen when the specific information is different as a result of collation and waits until the regular password is input.
  • the communication control unit is connected to the host computer when the specific information does not match as a result of collation by the collation unit Notification of disabling communication establishment with the host computer, and if the specific information matches, a notification of permitting communication establishment with the host computer is sent to the connected host computer. And a notification unit.
  • a first storage area for storing a predetermined program and a second storage area for storing predetermined data are provided.
  • At least a storage unit, and the communication control unit registers, in the storage unit, unique information acquired from the host computer when the verification result by the verification unit matches the specific information. And a registration unit.
  • the communication control unit does not perform collation of the unique information when there is no unique information unique to the upper computer in the second storage area.
  • the acquired unique information of the host computer is stored in the storage unit, and communication with the host computer is established.
  • the communication control unit is configured not to establish communication with the host computer until the regular password is input.
  • the predetermined website is an intranet of a substrate processing apparatus maker.
  • the valid period of the regular password is configured to allow selection of at least one period from one minute, one hour, one day, and one week.
  • a storage unit having at least a first storage area for storing a predetermined program, a second storage area for storing predetermined data, and the first storage area
  • a control unit that executes the predetermined program and performs predetermined control using the predetermined data in the second storage area, wherein the control unit
  • the control unit When the unique information is acquired, and the data of the unique information is present in the second storage area, the previously acquired unique information is compared with the acquired unique information. If communication with the host computer is established and the unique information is different, a screen requesting input of a password is displayed on the operation screen, and when the regular password is input, communication with the host computer is performed. Establishing a processing device configured to execute the communication establishing program is provided.
  • control unit stores the specific information acquired from the connected higher-level computer in the second storage area. It is configured to store.
  • requires the input of a password, without performing collation of the said specific information, when there is no data of specific information in the said 2nd storage area.
  • a screen is displayed on the operation screen, and when the regular password is input, communication with the host computer is established.
  • a storage unit having at least a first storage area for storing a predetermined program, a second storage area for storing predetermined data, and the first storage area
  • a control unit that executes the predetermined program and performs predetermined control using the predetermined data in the second storage area, wherein the control unit includes the second If there is no unique information data in the storage area, the unique information of the host computer is acquired and stored in the second storage area without performing verification of the unique information, and communication with the host computer is established.
  • a processing device is provided that is configured to execute a communication establishment program.
  • control unit requests input of a password without performing verification of the specific information when there is no specific information data in the second storage area.
  • a screen is displayed on the operation screen, and when the regular password is input, communication with the host computer is established.
  • the control unit stores the specific information acquired from the connected upper computer in the second storage area. It is configured to store.
  • a procedure for causing the controller to acquire the unique information of the host computer and a procedure for collating the unique information of the host computer with the unique information acquired in advance If the result of collating the unique information is different, a procedure for displaying a screen for requesting the password on the operation screen and waiting until the regular password is entered, and the regular password is entered. Then, there is provided a computer-readable recording medium in which a communication establishment program for executing the procedure for establishing communication with the host computer is recorded.
  • a display unit displayed on a predetermined operation screen, a file including a communication establishment program for establishing communication with a host computer (host) via a network, A storage unit having at least data including unique information unique to a host computer; and a control unit (controller for substrate processing apparatus) that executes the file and performs predetermined control using the data, the control unit Is obtained by executing the communication establishment program, and when the specific information is different (for an unknown host) as a result of comparison with the specific information acquired in advance, the password (unknown host)
  • a screen requesting entry of an (authentication key) is displayed on the operation screen, and when a valid password (authentication key) is entered, the connected higher-level computer is connected.
  • a processor configured to establish communication with the host computer after recording the unique information of the data (host) in the storage unit.
  • the communication control unit is configured not to establish online communication until the regular password (authentication key) is input.
  • the authentication key is configured to be obtained only by accessing a predetermined website.
  • the predetermined website is an intranet of a substrate processing apparatus maker.
  • the host computer Is configured to establish communication with.
  • control unit is configured to wait for input of the password when the specific information is not present in the data storage area.
  • the password has a validity period of one day.
  • a processing device communication control method comprising: a storage unit including at least data including unique information; and a control unit that executes the file and performs predetermined control using the data, the control unit Displays a screen for requesting input of a password when the specific information is different as a result of acquiring predetermined specific information by executing the communication establishment program and collating with the specific information acquired in advance. Displayed on the operation screen, and when the regular password was entered, the unique information of the connected host computer was recorded in the storage unit The communication control method of the processing apparatus to establish communication with the host computer is provided.
  • a recording medium storing a communication establishment program for establishing communication with a higher-level computer via a network, wherein unique information unique to the higher-level computer is stored in a controller. If the unique information is different from the procedure for obtaining, the procedure for collating the unique information with the previously obtained unique information, and the result of the collation, a screen for requesting input of a password is displayed on the operation screen. A procedure, a procedure of waiting until the regular password is input, a procedure of recording unique information of the connected higher-level computer in the storage unit, and a procedure of establishing communication with the higher-level computer There is provided a recording medium in which a communication establishment program to be recorded is readable.
  • a communication establishment program for establishing communication with a host computer via a network, and a procedure for causing a controller to acquire unique information unique to the host computer; A procedure for collating unique information with previously acquired unique information, a procedure for displaying a screen for requesting input of a password on the operation screen when the unique information is different as a result of collation, There is provided a communication establishment program for executing a procedure for waiting until a password is input, a procedure for recording unique information of the connected higher-level computer, and a procedure for establishing communication with the higher-level computer.
  • a communication control method for establishing communication with a host computer via a network a process for acquiring unique information unique to the host computer, and the unique information And a process for displaying a screen requesting input of a password on the operation screen when the specific information is different as a result of the verification, and
  • a communication control method including a process of waiting for input, a process of recording unique information of the connected higher-level computer in the storage unit, and a process of establishing communication with the higher-level computer.
  • the method includes an establishing step for establishing communication with a host computer via a network, and a substrate processing step for processing a substrate according to an instruction from the host computer.
  • the establishing step includes a step of acquiring unique information unique to the host computer, a step of collating the unique information with the unique information acquired in advance, and the result of collation, If the unique information is different, record the screen for requesting the password input on the operation screen, wait for the regular password to be entered, and record the unique information of the connected host computer
  • a process for establishing communication with the host computer a method for manufacturing a semiconductor device is provided.
  • a storage unit including at least a first storage area for storing a file including a predetermined program and a second storage area for storing predetermined data;
  • a control unit that executes a program in the first storage area and performs predetermined control using data in the second storage area, wherein the control unit includes the first storage area
  • a communication establishment program for establishing communication with a host computer via a network is stored, and by executing the stored communication establishment program, unique information of the host computer is obtained, and the second storage area If there is no unique information unique to the upper computer, the acquired unique information of the upper computer is stored without collating the unique information, and the upper computer is stored.
  • Processing apparatus is provided to establish communication with Yuta.
  • the control unit acquires the inherent information acquired in advance and the inherent information acquired. If the unique information is different as a result of collation with information, a screen requesting input of a password is displayed on the operation screen, and when the regular password is input, the unique information of the connected upper computer is After being stored in the second storage area, it is configured to establish communication with the host computer.
  • control unit is connected if the specific information matches the acquired specific information and the acquired specific information matches. After the unique information of the upper computer is stored in the second storage area, communication with the upper computer is established.
  • control unit is configured not to establish online communication until the regular password (authentication key) is input.
  • the authentication key is configured to be obtained only when a predetermined website is accessed.
  • the predetermined website is an intranet of a substrate processing apparatus maker.
  • the regular password (authentication key) preferably has a validity period of one day.
  • the storage unit having at least a first storage area for storing a file including a predetermined program and a second storage area for storing predetermined data;
  • a control unit that executes a program in a first storage area and performs predetermined control using data in the second storage area, wherein the control unit includes: Storing a communication establishment program for establishing communication with a host computer via a network in the first storage area, and executing the stored communication establishment program to obtain unique information of the host computer, If there is no unique information unique to the upper computer in the second storage area, the acquired unique information of the upper computer is stored in the second case without collating the unique information.
  • the communication control method of the processing apparatus to establish communication with the host computer is provided.
  • a recording medium storing a communication establishment program for establishing communication with a host computer via a network, and the controller stores unique information unique to the host computer.
  • a recording medium in which a communication establishment program for executing a procedure for recording information in the storage unit and a procedure for establishing communication with the host computer is recorded in a readable manner.
  • a communication control method for establishing communication with a host computer via a network the step of acquiring unique information unique to the host computer, A step of acquiring the unique information acquired in advance by searching, and a step of recording the specific information of the host computer in the storage unit when the specific information acquired in advance is not in the storage unit as a result of the search And a step of establishing communication with the host computer.
  • the method includes an establishing step for establishing communication with a host computer via a network, and a substrate processing step for processing a substrate according to an instruction from the host computer.
  • the establishing step includes a step of acquiring unique information unique to the host computer, a step of acquiring unique information acquired in advance by searching the storage unit, and a result of the search, If the pre-acquired unique information is not in the storage unit, manufacturing a semiconductor device having a step of recording the unique information of the host computer in the storage unit and a step of establishing communication with the host computer A method is provided.
  • the present invention relates to a processing apparatus for processing a substrate, and is generally applied to a processing apparatus that operates online in a factory.
  • substrate processing apparatus 100 substrate processing apparatus 200 wafer (substrate) 240 substrate processing apparatus controller (main control unit) 500 management apparatus

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Abstract

基板処理装置の転売によるアフターサービスの機会の損失を防止するために、所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置が提供される。

Description

処理装置
　本発明は、被処理体を処理する処理装置における外部上位コンピュータとのデータ処理に関する。
基板処理装置の一種である半導体製造装置のＦＡ運用は標準規格(ＳＥＭＩ)に基づいてホストコンピュータと半導体製造装置間で通信を確立したのち実施されている。従来、半導体製造メーカが、他社に半導体製造装置を転売した場合であっても、標準規格(ＳＥＭＩ)に基づいた手順により転売先の工場でＦＡ運用が可能であった。このように、転売先のメーカの工場でオンライン接続が可能であった。
例えば、半導体製造メーカは、過去に購入した半導体製造装置が古くなると、中古販売メーカ等の第三者メーカに売却(転売)していた。これにより、半導体製造装置メーカ側では、転売された装置の部品の交換及び保守(メンテナンス)、また、装置の改造等のアフターサービスを行う機会の損失が懸念される。
本発明は、半導体製造装置のアフターサービスを行う機会の損失を防止することを目的とする。
　本発明の一態様によれば、所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置が提供される。
　本発明に係る基板処理装置によれば、アフターサービスの機会の損失を防止することができる。
本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置の処理炉の縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置が備える基板処理用コントローラのブロック構成図である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置で実行される通信確立プログラムの通信確立の流れを示す例である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される通信確立プログラムの通信確立の流れを示す例である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される通信確立プログラムの機能構成を示す例である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される通信確立プログラムのフローを示す例である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される初期化通信プログラムの機能構成を示す例である。 本発明の一実施形態に係る基板処理装置で使用される初期化通信プログラムのフローを示す例である。
＜本発明の一実施形態＞　以下に、本発明の一実施形態について説明する。
（１）基板処理システムの構成　まず、図１を用いて、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの構成について説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理システムの概要構成図である。
　図１に示すように、本実施形態に係る基板処理システムは、少なくとも一台の基板処理装置１００と、この基板処理装置１００とデータ交換可能なように接続される群管理装置５００と、を備えている。基板処理装置１００は、処理手順及び処理条件が定義されたレシピに基づく処理プロセスを実行するように構成されている。基板処理装置１００と群管理装置５００との間は、例えば構内回線（ＬＡＮ）や広域回線（ＷＡＮ）等のネットワーク４００により接続されている。
（２）基板処理装置の構成　続いて、本実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図２，図３を参照しながら説明する。図２は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。図３は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。なお、本実施形態にかかる基板処理装置１００は、例えばウエハ等の基板に酸化、拡散処理、ＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置として構成されている。
　図２、図３に示すように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設されている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する立ち入り機構として一対の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。シリコン等のウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収容器）１１０が、筐体１１１内外へウエハ２００を搬送するキャリアとして使用される。
　筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、載置部としてロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ロードポート１１４上には、ポッド１１０を載置されると共に位置合わせされるように構成されている。ポッド１１０は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）等の工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４上に搬送されるように構成されている。
　筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。回転式ポッド棚１０５上には、複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠的に回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
　筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。
　筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設置されている。
　各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
　サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に示すように、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４の前方領域右端部と筐体１１１右側の端部との間に設置されている。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）することが可能に構成されている。
　移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
　図２に示すように、サブ筐体１１９の待機部１２６右端部と筐体１１１右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
　主に、回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び後述の回転機構２５４により、本実施形態に係る基板搬送系が構成されている。これら回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び回転機構２５４は、後述のサブコントローラとしての搬送コントローラ１１に電気的に接続されている。
　ボート２１７は複数本の保持部材を備えている。ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚～１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。
　図２に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、クリーンユニット１３４が設置されている。クリーンユニット１３４は、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（図示せず）が設置されている。
　クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、図示しないノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、図示しないダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。
　なお、筐体１１１，サブ筐体１１９の外周には基板処理装置１００内への立ち入り機構として図示しない複数の装置カバーが取り付けられている。これら装置カバーは、メンテナンス作業時に取り外して保守員が基板処理装置１００内に立ち入り可能となっている。これら装置カバーと相対する筐体１１１，サブ筐体１１９の端部には、立ち入りセンサとしてのドアスイッチ１３０が設けられている。また、正面メンテナンス扉１０４と相対する筐体１１１の端部にも立ち入りセンサとしてドアスイッチ１３０が設けられている。また、ロードポート１１４上には、ポッド１１０の載置を検知する基板検知センサ１４０が設けられている。これらドアスイッチ１３０及び基板検知センサ１４０等のスイッチ，センサ類１５は、後述の基板処理装置用コントローラ２４０に電気的に接続されている。
（３）基板処理装置の動作　次に、本実施形態にかかる基板処理装置１００の動作について、図２，図３を参照しながら説明する。
　図２、図３に示すように、ポッド１１０が工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート１１４に供給されると、基板検知センサ１４０によりポッド１１０が検知され、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４の上のポッド１１０が、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。
　筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管される。その後、ポッド１１０は、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４内にクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。
　載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて方位が整合された後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。
　この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハ２００のボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
　予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７は、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
　ローディング後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を格納したボート２１７が処理室２０１内より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。
（４）処理炉の構成　続いて、本実施形態にかかる処理炉２０２の構成について、図４を用いて説明する。図４は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１００の処理炉２０２の縦断面図である。
　図４に示すように、処理炉２０２は、反応管としてのプロセスチューブ２０３を備えている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５と、を備えている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料により構成されている。インナーチューブ２０４は、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４内の筒中空部には、基板としてのウエハ２００を処理する処理室２０１が形成されている。処理室２０１内は、後述するボート２１７を収容可能なように構成されている。アウターチューブ２０５は、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。アウターチューブ２０５は、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料により構成されている。
　プロセスチューブ２０３の外側には、プロセスチューブ２０３の側壁面を囲うように、加熱機構としてのヒータ２０６が設けられている。ヒータ２０６は円筒形状に構成されている。ヒータ２０６は、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
　アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状になるように、マニホールド２０９が配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等により構成されている。マニホールド２０９は、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とにそれぞれ係合している。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９とにより反応容器が形成される。
　後述するシールキャップ２１９には、ガス導入部としての処理ガスノズル２３０ａ及びパージガスノズル２３０ｂが処理室２０１内に連通するように接続されている。処理ガスノズル２３０ａには、処理ガス供給管２３２ａが接続されている。処理ガス供給管２３２の上流側（処理ガスノズル２３０ａとの接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１ａを介して、図示しない処理ガス供給源等が接続されている。また、パージガスノズル２３０ｂには、パージガス供給管２３２ｂが接続されている。パージガス供給管２３２ｂの上流側（パージガスノズル２３０ｂとの接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１ｂを介して、図示しないパージガス供給源等が接続されている。
　主に、処理ガス供給源（図示しない）、ＭＦＣ２４１ａ、処理ガス供給管２３２ａ及び処理ガスノズル２３０ａにより、本実施形態に係る処理ガス供給系が構成されている。主に、パージガス供給源（図示しない）、ＭＦＣ２４１ｂ、パージガス供給管２３２ｂ及びパージガスノズル２３０ｂにより、本実施形態に係るパージガス供給系が構成されている。主に、処理ガス供給系及びパージガス供給系により、本実施形態に係るガス供給系が構成されている。ＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂには、後述のサブコントローラとしてのガス供給コントローラ１４が電気的に接続されている。
　マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されている。排気管２３１は、筒状空間２５０に連通している。排気管２３１の下流側（マニホールド２０９との接続側と反対側）には、圧力検知器としての圧力センサ２４５、例えばＡＰＣ（Ａｕｔｏ　Ｐｒｅｓｓｕｒｅ　Ｃｏｎｔｏｒｏｌｌｅｒ）として構成された圧力調整装置２４２、真空ポンプ等の真空排気装置２４６が上流側から順に接続されている。主に、排気管２３１、圧力センサ２４５、圧力調整装置２４２及び真空排気装置２４６により、本実施形態に係るガス排気機構が構成されている。圧力調整装置２４２及び圧力センサ２４５には、後述のサブコントローラとしての圧力コントローラ１３が電気的に接続されている。
　マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、マニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属により構成されている。シールキャップ２１９は、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、マニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられている。
　シールキャップ２１９の中心部付近であって処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７を下方から支持している。回転機構２５４は、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させることが可能に構成されている。
　シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された基板保持具昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ２１９を昇降させることにより、ボート２１７を処理室２０１内外へ搬送することが可能に構成されている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、後述のサブコントローラとしての搬送コントローラ１１が電気的に接続されている。
　上述したように、基板保持具としてのボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料により構成されている。ボート２１７の下部には、断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されている。断熱板２１６は、円板形状に形成されている。断熱板２１６は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料により構成されている。断熱板２１６は、ヒータ２０６からの熱をマニホールド２０９側に伝えにくくするように構成されている。
　プロセスチューブ２０３内には、温度検知器としての温度センサ２６３が設置されている。主に、ヒータ２０６及び温度センサ２６３により、本実施形態に係る加熱機構が構成されている。これらヒータ２０６と温度センサ２６３とには、後述のサブコントローラとしての温度コントローラ１２が電気的に接続されている。
　主に、ガス排気機構、ガス供給系、加熱機構により、本実施形態に係る基板処理系が構成されている。
（５）処理炉の動作　続いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、上記構成に係る処理炉２０２を用いてＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する方法について、図４を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ２４０により制御される。
　複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図４に示すように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１内に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はＯリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。
　処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように、真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、圧力センサ２４５が測定した圧力値に基づき、圧力調整装置２４２（の弁の開度）がフィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるように、ヒータ２０６によって加熱される。この際、温度センサ２６３が検知した温度値に基づき、ヒータ２０６への通電量がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７及びウエハ２００が回転させられる。
　次いで、処理ガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１ａにて所望の流量となるように制御された処理ガスは、ガス供給管２３２ａ内を流通してノズル２３０ａから処理室２０１内に導入される。導入された処理ガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０内に流出して排気管２３１から排気される。ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。
　予め設定された処理時間が経過すると、パージガス供給源から供給されてＭＦＣ２４１ｂにて所望の流量となるように制御されたパージガスが処理室２０１内に供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。
　その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されてマニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ２００を保持するボート２１７がマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部へと搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済のウエハ２００はボート２１７より取り出され、ポッド１１０内へ格納される（ウエハディスチャージ）。
（６）基板処理装置用コントローラの構成（基板処理装置用コントローラ）　以下、図５を参照して、基板処理装置用コントローラとしての制御装置(以後、主制御部ともいう)２４０について説明する。
　主制御部２４０は、主にＣＰＵ等の演算制御部２５と、処理コントローラとしての処理制御部２０と、搬送コントローラ１１としての搬送制御部２７と、ＲＡＭやＲＯＭなどのメモリやＨＤＤ等からなる記憶部２８と、マウスやキーボード等の入力部２９及びモニタ等の表示部３１とから構成されている。尚、前記演算制御部２５と、前記記憶部２８と、前記入力部２９と、前記表示部３１とで各データを設定可能な操作部が構成される。
　ＣＰＵ（Central Processing Unit)２５は、主制御部２４０の中枢を構成し、図示しないＲＯＭに記憶された制御プログラムを実行し、表示部３１からの指示に従って、レシピ記憶部も構成する記憶部２８に記憶されているレシピ（例えば、基板処理レシピとしてのプロセス用レシピ等）を実行する。ＲＯＭは、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリ、ハードディスクなどから構成され、ＣＰＵ２５の動作プログラム等を記憶する記録媒体である。メモリ(ＲＡＭ)は、ＣＰＵ２５のワークエリア(一時記憶部)などとして機能する。
　ここで、基板処理レシピは、ウエハ２００を処理する処理条件や処理手順等が定義されたレシピである。また、レシピファイルには、搬送コントローラ１１、温度コントローラ１２、圧力コントローラ１３、ガス供給コントローラ１４等に送信する設定値（制御値）や送信タイミング等が、基板処理のステップ毎に設定されている。
　また、本発明の実施の形態にかかる主制御部２４０は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するための制御プログラムを含む各種プログラムを格納した外部記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＵＳＢ、外付けＨＤＤ等）からこれら各種プログラムをインストールすることにより、例えば、上述の処理を実行する主制御部２４０を構成することができる。
そして、これらの各種プログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
　前記処理制御部２０は、前記処理炉２０１内にローディングされたウエハ２００に対し、所定の処理がなされる様、前記処理炉２０１内の温度や圧力、該処理炉２０１内に導入される処理ガスの流量等を制御する機能を有している。
　前記搬送制御部２７は、図示しない駆動モータを介して前記ポッド搬送装置１０５、前記ウエハ移載機構１２５、前記ボートエレベータ１１５等の搬送機構の駆動を制御する機能を有している。
　前記記憶部２８には、各種データ等が格納されるデータ格納領域(以後、第２格納領域ともいう)３２と、各種プログラムが格納されるプログラム格納領域(以後、第１格納領域ともいう)３３が形成されている。
データ格納領域３２は、前記レシピファイルに関連する各種パラメータが格納される。また、前記ポッド１１０を前記筐体１１１内に搬入する際、又前記ポッド１１０を前記筐体１１１外に搬出する際の、Ｉ／Ｏステージとしての載置台１１４上の受渡し位置の情報や、受渡し位置にキャリアローダとしての前記ポッド搬送装置１１８を移動させる際の動作順序、受渡し位置からキャリアローダ１１８を移動させる際の動作順序等の情報が格納されている。また、ポッド１１０毎に識別する情報であるキャリアＩＤやポッド１１０内のウエハ２００の種別情報を少なくとも含むキャリア情報が前記データ格納領域３２に格納される様になっている。また、本実施の形態において、データ格納領域３２には、後述するホスト固有情報が格納されるようになっている。
プログラム格納領域３３には、上述の基板処理レシピ等の他、前記カセット３の搬入、搬出を行う為に必要な各種プログラムや基板が無い状態の炉内を洗浄するためのレシピ等が格納されている。また、本実施の形態において、後述する通信確立プログラム３４が格納されるようになっている。
　主制御部２４０の表示部３１には、タッチパネルが設けられている。タッチパネルは、上述の基板搬送系、基板処理系への操作コマンドの入力を受け付ける操作画面を表示するように構成されている。かかる操作画面は、基板搬送系や基板処理系の状態を確認したり、基板搬送系や基板処理系への動作指示を入力したりするための各種表示欄及び操作ボタンを備えている。なお、操作部は、パソコンやモバイル等の操作端末(端末装置)のように、少なくとも表示部３１と入力部２９を含む構成であればよい。
　搬送コントローラ１１は、基板搬送系を構成する回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８、ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５、ボート２１７及び回転機構２５４の搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。また、図示しないが基板搬送系を構成する回転式ポッド棚１０５，ボートエレベータ１１５，ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８，ウエハ移載機構（基板移載機構）１２５，ボート２１７及び回転機構２５４には、それぞれセンサが内蔵されている。搬送コントローラ１１は、これらのセンサがそれぞれ所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
　温度コントローラ１２は、処理炉２０２のヒータ２０６の温度を制御することで処理炉２０２内の温度を調節すると共に、温度センサ２６３が所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
　圧力コントローラ１３は、圧力センサ２４５により検知された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、圧力調整装置２４２を制御すると共に、圧力センサ２４５が所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
　ガス供給コントローラ１４は、処理ガス供給管２３２ａ，パージガス供給管２３２ｂからのガスの供給や停止を、ガスバルブ（図示せず）を開閉させることにより制御するように構成されている。また、ガス供給コントローラ１４は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂを制御するように構成されている。ガス供給コントローラ１４は、ガスバルブ（図示せず）やＭＦＣ２４１ａ，２４１ｂの備えるセンサ（図示せず）が所定の値や異常な値等を示した際に、主制御部２４０にその旨の通知を行うように構成されている。
（通信確立プログラム）　主制御部２４０は、上位コンピュータ(以後、上位コントともいう)と接続時に通信確立プログラム３４を実行する様構成されている。そして、通信確立プログラム３４が実行されると、図８Ａに示すように記憶部２８内に通信制御部が実現される様構成されている。通信制御部は、上位コントの固有情報を取得する取得部と、固有情報と予め取得していた第２格納部内の固有情報とを照合する照合部と、照合した結果、固有情報同士が異なっていた場合に、不一致と判定する判定部を有するよう構成されている。
更に、この判定部は、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力されるまで待つ待機部と、上位コントから取得された固有情報を記憶部に登録する登録部と、固有情報が一致していない場合、接続している上位コントに、該上位コントとの通信確立を不許可にする通知を行い、固有情報が一致している場合、接続している上位コントに、該上位コントとの通信確立を許可にする通知を行う通知部と、を有するように構成されている。
このような構成で、本実施形態における通信制御部は、ネットワークを介して上位コントとの通信を確立させる際、上位コントの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と上位コントの固有情報を照合した結果、固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に上位コントとの通信を確立するよう構成されている。
具体的には、図８Ｂに示す通信確立プログラム３４を実行する主制御部２４０(記憶部２８)内に実現される通信制御部のフローについて説明する。
先ず、取得部により上位コントの固有情報を取得する工程(Ｓ１００)が実行される。そして、通信制御部は、固有情報を示すデータが記憶部２８内に格納されている場合、照合部により上位コントの固有情報と記憶部内の固有情報とを照合する(Ｓ１０２)。照合した結果、一致していたら、上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ１０７)。
一方、固有情報同士を照合させた結果、一致していない場合、上位コントとの通信確立を不許可にする通知を通知部に出力させ(Ｓ１０３)、例えば、パスワード入力画面を表示部３１に表示させて、パスワードが入力されるのを待つ(Ｓ１０４)。
また、通信制御部は、固有情報を示すデータが記憶部２８内に格納されていない場合、上位コントとの通信確立を不許可にする通知を通知部に出力させ(Ｓ１０３)、例えば、パスワード入力画面を表示部３１に表示させて、パスワードが入力されるのを待つ(Ｓ１０４)。
　入力待ち工程(Ｓ１０４)において、パスワードが入力された場合に、パスワードが予め取得していたパスワードと一致するか判定する(Ｓ１０５)。パスワードが一致していたら、この上位コントの固有情報を登録部に登録させる(Ｓ１０６)と共に上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ１０７)。一方、パスワードが一致しない場合、また、上位コントとの通信確立を不許可にする通知を通知部に出力させ(Ｓ１０３)、入力待ち工程(Ｓ１０４)が実行される。パスワード入力回数をカウントしておき、正規のパスワードと異なるパスワードが所定回数入力されると、通信確立プログラム３４を強制終了可能に構成してもよい。
　ここで、工場に納入してセットアップを終了した基板処理装置１００をオンラインで稼働させる場合、データが無い場合に照合しないで通信を確立させないように構成されているので、基板処理装置１００の不当な使用を抑制できるので安全性が格段に向上する。例えば、新規納入した装置でない限りデータが無いということはデータ改ざん等があったと考えられるためである。一方、自社の保守員であれば、パスワードの取得は容易に行えるようにしているので、正当に基板処理装置１００を使用する場合、基板処理装置１００をオンラインで運用するのにさほど時間がかかるものではない。
　尚、新規の基板処理装置１００をオンラインで稼働させる場合、図９に示す通信初期化プログラム３５を有してもよい。但し、この通信初期化プログラム３５は、初めにオンラインされるときに１回だけ実行される様構成される。その他は、図８に示す通信確立プログラムが実行される様構成される。図９Ａは、この通信初期化プログラム３５の通信制御部の機能構成図である。
　主制御部２４０は、上位コントと接続時に通信初期化プログラム３５を実行する様構成されている。そして、通信初期化プログラム３５が実行されると、図９Ａに示すように記憶部２８内に通信制御部が実現される様構成されている。通信制御部は、上位コントの固有情報を取得する取得部と、取得部による取得した固有情報を第２格納部内に登録させ、固有情報同士を一致させると共に上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる判定部を有するよう構成されている。
具体的には、図９Ｂに示す通信初期化プログラム３５を実行する主制御部２４０(記憶部２８)内に実現される通信制御部のフローについて説明する。
先ず、取得部により上位コントの固有情報を取得する工程(Ｓ２００)が実行される。尚、この取得工程(Ｓ２００)は、通信確立プログラム３５の取得工程(Ｓ１００)と同じである。そして、通信制御部は、第２格納部内に固有情報を示すデータが無いのを確認して(Ｓ２０１)、取得工程(Ｓ２００)で取得した固有情報を記憶部２８内に登録し(Ｓ２０２)、上位コントの固有情報と一致させると共に、上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ２０３)。
万が一、通信制御部は、第２格納部内に固有情報を示すデータが有ったとしても(Ｓ２０１)、取得工程(Ｓ２００)で取得した固有情報を記憶部２８内に上書きして登録し(Ｓ２０２)、上位コントの固有情報と一致させると共に、上位コントとの通信確立を許可にする通知を通知部に出力させる(Ｓ２０３)。
このように、新規出荷された基板処理装置１００には、固有情報を示すデータはないのが当たり前で、固有情報があったとしても固有情報の照合をするまでもなく、第２格納部内に固有情報を登録して、上位コントとの通信を確立させることを優先するのが好ましい。
（本発明の好ましい実施形態）次に、第１の実施形態について、図６を用いて基板処理装置１００と上位コンピュータ(上位コント)の一つであるホストコンピュータ(以後、ホストと称する)とのオンライン接続について説明する。図６は、ホスト接続時の認証及び通信確立のシーケンスを示すフロー図である。このフロー図におけるホストの固有情報をチェックする処理は、通信確立プログラム３４を主制御部２４０が実行することにより実現される。ここで上位コントとは、複数の基板処理装置１００に接続され、各基板処理装置１００の稼働状態を管理する装置(以後、管理装置と称する場合もある)。
ＴＣＰ/ＩＰ通信およびＨＳＭＳ通信の接続後、主制御部２４０は、ホスト固有情報(例えばＭＡＣアドレスやＩＰアドレスなど)を収集する。そして、予め保持していた過去に接続したホスト固有情報と照合する。ここで、既に接続したホストとの接続においては、照合結果が一致するため、通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。
但し、照合結果が不一致の場合、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して、拒否応答を返信する。既に接続したホストとの接続では照合結果が一致するはずであるがデータの改ざん等が成された可能性が大きいからである。
　一方、基板処理装置１００とホストとの接続では、主制御部２４０は、データ格納領域３２内にホスト固有情報が無い場合、照合せずにホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して、拒否応答を返信するように構成するのが好ましい。同様に、データの改ざん等が成された可能性があるためである。例えば、過去に取得したホスト固有情報が削除され、データ格納領域３２内にホスト固有情報が無い場合が考えられる。
次に、主制御部２４０は、表示部３１に認証キー入力画面を表示し、キー入力を待つ。この入力画面上で所定のキャンセルボタンが押下されると、認証キー入力画面を閉じ、本通信確立プログラム３４を終了させるようにしてもよい。例えば、再度、ホストとの接続を確立させるには、この通信確立プログラム３４を再起動させて認証キー入力画面を表示させる必要がある。また、異なる認証キーが入力されると、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して、拒否応答を返信する。このとき、この入力画面に認証ＮＧを示す表示がされて再び前記認証キー入力画面を表示させるよう構成してもよい。このように、本実施の形態において、主制御部２４０は、正しい認証キーが入力されるまではオンライン接続を確立しないように構成されている。
尚、この入力待ち画面で、所定の時間、何の操作も行われないと、認証キー入力画面が閉じ、本通信確立プログラム３４は終了させるように構成してもよい。更に、異なる認証キーが所定回数入力されると、主制御部２４０は、認証キー入力画面を閉じ、本通信確立プログラム３４を終了させるように構成してもよい。
　そして、基板処理装置メーカが発行する正規のパスワード(正式な認証キー)が入力されると、主制御部２４０は、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に登録し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。この基板処理装置１００とホスト間の送受信により、オンライン接続が確立する。
尚、作業者のログイン処理により、本通信確立プログラム３４が起動するように構成しても良い。この場合でも、主制御部２４０による本通信確立プログラム３４の実行により認証キー入力画面が表示され、認証キーの入力が無いとホストとの通信接続を行えないようにすることができる。
また、正規のパスワード(認証キー)は、例えば、所定のウェブサイトにアクセスしないと取得できないように構成されているのが好ましい。それは、半導体製造装置メーカのウェブサイトであるのが更に好ましく、このウェブサイトにアクセスする権限を有する作業者(例えば、半導体製造装置メーカの従業員)しか正式な認証キーを取得できないようにするためである。結果として、ウェブサイトにアクセスして正式な認証キーを取得するには、半導体製造装置メーカ()を介在させる必要がなる。また、この認証キーは、秒替りパスワード、分替りパスワード、時間替りパスワード、日替りパスワードのように、一度パスワードを取得しても使いまわせないようにするのが好ましい。また、週替りパスワードを認証キーとしてもよい。
　本実施の形態(第１の実施形態)によれば、以下の(ａ)～(ｄ)に記載の効果のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
　(ａ) 本実施の形態(第１の実施形態)によれば、ホスト固有情報を取得し、予め過去に取得していたホスト固有情報と照合することにより、未知のホストと判明した場合(照合した結果、一致しない場合)は、通信確立を拒否し、半導体製造装置メーカが発行する正規のパスワード(認証キー)の入力を待つようにし、正式な認証キーが入力された場合のみ接続しているホスト固有情報を記録した後通信確立を許可し、ＦＡ運用を可能にしている。このような仕組みを構築することで、装置が転売されても、正規のパスワード(認証キー)による認証処理でＯＫでなければ、転売先の工場でオンライン接続ができない。従い、転売された半導体製造装置を工場内で(ホストと接続して)量産ラインに使用するために、半導体製造装置メーカが発行する正規のパスワード(認証キー)が必要となるため、半導体製造装置メーカの従業員を介在させることができる。これにより、転売先でのアフターサービスの機会の損失を抑止できる。
(ｂ)本実施の形態(第１の実施形態)によれば、半導体製造装置メーカが発行する正式な認証キーが必要であり、この認証キーの入手は、半導体製造装置メーカのウェブサイトにアクセスしないと取得できない。このように、必ず半導体製造装置メーカの従業員を介して入手可能な正規のパスワード(認証キー)を入力するように構成している。例えば、転売先のメーカは半導体製造装置メーカと何等かの技術契約がないとパスワード(認証キー)が取得できないようになっている。従い、この契約締結の結果、転売先のメーカに対し、転売された半導体製造装置に関する保守や部品交換などのアフターサービスビジネスを行うことが可能になる。
(ｃ)本実施の形態(第１の実施形態)によれば、正規のパスワードは、半導体製造装置メーカのイントラネット(所定のウェブサイト)からしか入手できないようにしているので、正規のパスワード(認証キー)を不正に使用することができないようにしている。例えば、半導体製造装置メーカの従業員が退社し、予め入手していたパスワードを流用しようとしても所定のウェブサイトにアクセスできないため、正式な認証キーを入手することができない。これにより、本通信確立プログラムのデータ流出が抑えられる。
(ｄ)また、本実施の形態(第１の実施形態)によれば、認証キーは、日替りパスワードが好ましい。一度取得した正規のパスワード(認証キー)の流用を防止するに効果的である。
（第２の実施形態）予め本発明におけるホスト認証機能を有さない基板処理装置１００を半導体製造メーカの工場に納入している場合について説明する。この場合、主制御部２４０のソフトウェアの更新のタイミングで、本発明におけるホスト認証機能を保持する通信確立プログラム３４(通信初期化プログラム３５を含む)を主制御部２４０に組み込む。ここで、本発明における通信確立プログラムは、プロセスレシピ等を実行する制御プログラムと同様の手法で主制御部２４０に組み込むことができるように構成されている。
　例えば、本通信確立プログラムを含む各種プログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＵＳＢキー等）から、この通信確立プログラムを基板処理装置用コントローラ２４０にインストールする。
また、この通信確立プログラム３４等を供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板に当該プログラムを掲示し、ネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、通信確立プログラムが、主制御部２４０にインストールされる。
　図７を用いて、第２の実施形態における通信確立プログラム(通信初期化プログラム３５)の実行フローについて説明する。尚、通信初期化プログラム３５は、最初にホストと基板処理装置１００を接続するときに主制御部２４０により実行される。
ＴＣＰ/ＩＰ通信およびＨＳＭＳ通信の接続後、主制御部２４０はホスト固有情報(例えば、ＭＡＣアドレスやＩＰアドレス)を収集する。そして、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に保存し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。この基板処理装置１００とホスト間の送受信により、オンライン接続が確立する。ここで、通信初期化プログラム３５により、主制御部２４０は、前記データ格納領域３２を検索するように構成されているが、新規の(最初の)オンライン通信の確立処理と判断し、照合処理を実施することはしない。従い、図７では、照合処理を省略している。
　このように、通信初期化プログラム３５により、新規の基板処理装置１００を納品直後のホストとの接続では、主制御部２４０は、データ格納領域３２内にホスト固有情報が無いので照合はせず、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に登録し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する様構成されている。更に、データ格納領域３２内にホスト固有情報が有る場合でも、データ格納領域３２にホスト固有情報を上書きして登録し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する様構成されている。
　また、通信初期化プログラム３５は、ＴＣＰ/ＩＰ通信およびＨＳＭＳ通信の接続後、過去に取得したホスト固有情報が無く、照合処理を実施しない代わりに、主制御部２４０の表示部３１に認証キーの入力を促す画面が表示されるように構成してもよい。これにより、基板処理装置１００を新規にホスト認証させる際、認証キーを半導体製造装置メーカのウェブ上の所定の部分から取得させる。そして、この取得したパスワードを入力することにより、ホスト固有情報をデータ格納領域３２に保存し、ホストから受信する通信確立要求(Ｓ１Ｆ１３)に対して許可応答を返信する。
顧客への新規の基板処理装置１００の納入時、半導体製造装置メーカの従業員が基板処理装置１００とホストとの接続を確立させる操作を行うはずなので、パスワード入力させるのは、手間がかかるだけかもしれない。但し、本通信確立プログラムを含む各種プログラムを格納した記録媒体(フレキシブルディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＵＳＢキー等)が第三者に流出したとしても、基板処理装置１００を新規にホスト認証させる際に半導体製造装置メーカが発行する正規の認証キー(パスワード)が必要であるため、不当なオンライン接続を防止することができる。
　そして、オンライン通信が一旦中断されてオフライン通信に移行し、またオンライン通信を行った時、データ格納領域３２には、ホスト固有情報が保存されているので、図６に示す第１の実施形態におけるホスト接続時の認証及び通信確立のシーケンスを示す通信確立プログラム３４が、主制御部２４０により実行される。尚、既に説明済なので、図６に示す上記フロー図の詳細説明は省略する。
　本実施の形態(第２の実施形態)によれば、第１の実施形態における効果、及び、以下の(ｅ)～(ｇ)に記載のうち少なくとも一つ以上の効果を奏する。
(ｅ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、本実施の形態における通信確立プログラム３４及び通信初期化プログラム３５を主制御部２４０にインストールすると、初めて半導体製造装置とホストとの接続の際には、必ずこの通信初期化プログラム３５が実行され、その後(２回目以降)は、必ず通信確立プログラム３４が実行される。仮に、半導体製造装置メーカが知らないうちに、この装置が転売されたとしても、ホストの固有情報の比較機能を有することで、最初に転売先のオンライン時に半導体製造装置メーカが介在しないと入手できない正規のパスワードが必要となるため、半導体製造装置メーカのアフターサービスの機会を失う恐れが無い。
(ｆ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、最初に転売先の工場でホストと通信を確立させる際、本通信確立プログラム３４が実行されるため、半導体製造装置メーカ(の従業員)が介在しないと入手できない正規のパスワードが必要となる。よって、転売先のメーカは、中古で購入した半導体製造装置をオンライン接続できないので、半導体製造装置メーカに問合せする等、何らかの接触をせざるを得ない。このとき、例えば、転売先のメーカと何等かの契約等を締結し、転売先の工場における半導体製造装置に関するアフターサービスを継続することができる。
　(ｇ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、通信初期化プログラム３５を実行して基板処理装置１００とホストとを新規に認証する際にも正規のパスワードを入力させるよう構成することができる。これにより、装置が不当に転売された場合に、半導体製造装置メーカが介在しないとオンライン接続ができないようになっているので、転売先での半導体製造装置のアフターサービスの機会の損失を防止することができる。
　(ｈ)本実施の形態(第２の実施形態)によれば、通信初期化プログラム３５を実行して基板処理装置１００とホストとを新規に認証する際にも正規のパスワードを入力させるよう構成することができる。これにより、データ格納領域３２内に一度登録されたホストの固有情報を削除された後、第三者メーカに転売された場合であっても、半導体製造装置メーカが介在しないとオンライン接続ができないようになっているので、転売先(第三者メーカ)での半導体製造装置のアフターサービスの機会の損失を防止することができる。
このように、本発明(第１の実施形態乃至第２の実施形態)によれば、第三者メーカが購入した基板処理装置１００と第三者工場内のホストをオンライン接続させるには、必ず半導体製造装置メーカを介在する構成であるので、例えば、基板処理装置１００が転売された後であっても、アフターサービスビジネスが継続できる。
＜本発明の他の実施形態＞本実施の形態では、基板処理装置の基板処理装置用コントローラ２４０に通信確立プログラムを備えた場合に関して詳述したが、これに限定されることは無く、例えば、基板処理装置を管理する管理装置のコントローラに通信確立プログラムを備える場合でも、本発明は適用できる。
　なお、本実施形態では、基板処理装置の一例として縦型の半導体製造装置を示しているが、縦型の半導体製造装置に限らず、クラスタ型及びインライン型の半導体製造装置、横型の半導体製造装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。更に、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置の他、後工程で用いられる装置等の各種基板処理装置にも適用可能であるのは言う迄もない。要するに、半導体製造工場において、ホストとの接続を行い、半導体装置を量産する製造ラインに設けられる装置で有れば適用可能である。
　以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
＜本発明の好ましい態様＞　以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
（付記１）　本発明の一態様によれば、　所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータ(ホスト)との通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置が提供される。
（付記２）付記１の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得する取得部と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合する照合部と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ判定部と、を有するよう構成される。
（付記３）付記１または付記２に記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記照合部による照合した結果、前記固有情報が一致していない場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を不許可にする通知を行い、前記固有情報が一致している場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を許可にする通知を行う、通知部を更に有するよう構成されている。
（付記４）付記１乃至付記３のいずれか一つに記載の処理装置において、好ましくは、所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域と、を少なくとも有する記憶部と、を更に有し、前記通信制御部は、前記照合部による照合結果が、前記固有情報が一致している場合、　前記上位コンピュータから取得された固有情報を前記記憶部に登録する登録部と、　を更に有するよう構成されている。
（付記５）付記４に記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記第２の格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、取得した前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成されている。
（付記６）付記１または付記２に記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記正規のパスワードが入力されるまで、前記上位コンピュータとの通信を確立しないよう構成されている。
（付記７）付記１または付記２または付記６に記載の処理装置において、好ましくは、前記正規のパスワードは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
（付記８）付記７に記載の処理装置において、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
（付記９）付記７に記載の処理装置において、好ましくは、前記正規のパスワードの有効期間は、１分、１時間、１日、１週間から少なくとも一つの期間を選択可能に構成されている。
（付記１０）本発明の他の態様によれば、所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、前記第２格納領域内に前記固有情報のデータが有る場合、該予め取得していた固有情報と取得した固有情報とを照合し、前記固有情報が一致していたら、前記上位コンピュータとの通信を確立し、前記固有情報が異なっていたら、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時に、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置が提供される。
（付記１１）付記１０の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている。
（付記１２）付記１１の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成されている。
（付記１３）本発明の更に他の態様によれば、所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、上位コンピュータの固有情報を取得して前記第２格納領域に格納し、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置が提供されている。
（付記１４）付記１３の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成されている。
（付記１５）付記１４の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている。
（付記１６）本発明の更に他の態様によれば、コントローラに、前記上位コンピュータの固有情報を取得させる手順と、前記上位コンピュータの固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる手順と、前記固有情報同士を照合した結果、異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ手順と、前記正規のパスワードが入力されると、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムが記録されたコンピュータ読取可能な記録媒体が提供される。
（付記１７）　本発明の更に他の態様によれば、　所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータ(ホスト)との通信を確立させる通信確立プログラムを含むファイルと、前記上位コンピュータ固有の固有情報を含むデータを少なくとも有する記憶部と、前記ファイルを実行し、前記データを用いて、所定の制御を行う制御部(基板処理装置用コントローラ)と、を備え、前記制御部は、前記通信確立プログラムを実行することにより、所定の固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と照合した結果、前記固有情報が異なっていた(未知のホストの)場合に、パスワード(認証キー)の入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワード(認証キー)が入力された時には、接続している前記上位コンピュータ(ホスト)の固有情報を前記記憶部に記録した後、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される処理装置が提供される。
（付記１８）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記通信制御部は、前記正規のパスワード(認証キー)が入力されるまではオンライン通信を確立しないように構成されている。
（付記１９）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記認証キーは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
（付記２０）付記１９記載の処理装置において、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
（付記２１）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記照合した結果、前記固有情報が一致した場合、または、前記データ格納領域に前記固有情報が無い場合、前記上位コンピュータとの通信を確立させるよう構成されている。
（付記２２）付記１７記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記データ格納領域に前記固有情報が無い場合、前記パスワードの入力を待機するように構成されている。
（付記２３）付記１７または付記１８または付記２２記載の処理装置において、好ましくは、前記パスワードは、有効期間が１日である。
（付記２４）本発明の更に他の態様によれば、所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムを含むファイルと、前記上位コンピュータ固有の固有情報を含むデータを少なくとも有する記憶部と、前記ファイルを実行し、前記データを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置の通信制御方法であって、前記制御部は、前記通信確立プログラムを実行することにより、所定の固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録した後、前記上位コンピュータとの通信を確立する処理装置の通信制御方法が提供される。
（付記２５）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムが格納された記録媒体であって、コントローラに前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる手順と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる手順と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる手順と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ手順と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する手順と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムを読取可能に記録した記録媒体が提供される。
（付記２６）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムであって、コントローラに前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる手順と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる手順と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる手順と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ手順と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を記録する手順と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムが提供される。
（付記２７）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信制御方法であって、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる処理と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる処理と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる処理と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ処理と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する処理と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる処理と、を有する通信制御方法が提供される。
（付記２８）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる確立工程と、前記上位コンピュータからの指示により、基板を処理する基板処理工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、前記確立工程は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる工程と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合させる工程と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させる工程と、正規の前記パスワードが入力されるまで待つ工程と、接続している前記上位コンピュータの固有情報を記録する工程と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる工程と、　を有する半導体装置の製造方法が提供される。
（付記２９）　本発明の更に他の態様によれば、所定のプログラムを含むファイルを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域とを少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内のプログラムを実行し、前記第２の格納領域内のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記第１格納領域に、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムを格納し、格納した前記通信確立プログラムを実行することにより、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、　前記第２格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、取得した前記上位コンピュータの固有情報を格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立する処理装置が提供される。
（付記３０）付記２９記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記第２格納領域内に予め取得していた固有情報が有る場合、前記予め取得していた固有情報と取得した固有情報と照合した結果、前記固有情報が異なっていたら、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記第２の格納領域に格納した後、前記上位コンピュータとの通信を確立するように構成される。
（付記３１）付記２９記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記予め取得していた固有情報と取得した固有情報と照合した結果、前記固有情報が一致していたら、接続している前記上位コンピュータの固有情報を前記第２の格納領域に格納した後、前記上位コンピュータとの通信を確立するように構成されている。
（付記３２）付記３０記載の処理装置において、好ましくは、前記制御部は、前記正規のパスワード(認証キー)が入力されるまではオンライン通信を確立しないように構成されている。
（付記３３）付記３２記載の処理装置において、好ましくは、前記認証キーは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている。
（付記３４）付記３３記載の処理装置において、好ましくは、前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである。
（付記３５）付記２８、付記３０、付記３２記載の処理装置において、好ましくは、前記正規のパスワード（認証キー）は、有効期間が１日である。
（付記３６）本発明の更に他の態様によれば、所定のプログラムを含むファイルを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域とを少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内のプログラムを実行し、前記第２の格納領域内のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置の通信制御方法であって、前記制御部は、前記第１格納領域に、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムを格納し、格納した前記通信確立プログラムを実行することにより、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、　前記第２格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、取得した前記上位コンピュータの固有情報を前記第２格納領域内に格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立する処理装置の通信制御方法が提供される。
（付記３７）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信確立プログラムが格納された記録媒体であって、コントローラに前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる手順と、記憶部内を検索して予め取得していた固有情報を取得させる手順と、検索した結果、前記予め取得していた固有情報が前記記憶部内にない場合、前記上位コンピュータ固有の固有情報を前記記憶部に記録する手順と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる手順と、を実行させる通信確立プログラムを読取可能に記録した記録媒体が提供される。
（付記３８）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる通信制御方法であって、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる工程と、記憶部内を検索して予め取得していた固有情報を取得させる工程と、検索した結果、前記予め取得していた固有情報が前記記憶部内にない場合、前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する工程と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる工程と、を有する通信制御方法が提供される。
（付記３９）本発明の更に他の態様によれば、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる確立工程と、前記上位コンピュータからの指示により、基板を処理する基板処理工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、前記確立工程は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得させる工程と、記憶部内を検索して予め取得していた固有情報を取得させる工程と、検索した結果、前記予め取得していた固有情報が前記記憶部内にない場合、前記上位コンピュータの固有情報を前記記憶部に記録する工程と、前記上位コンピュータとの通信を確立させる工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
この出願は、２０１４年１２月１９日に出願された日本出願特願２０１４－２５７３６９を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
基板を処理する処理装置に係り、一般的に工場内でオンライン稼働する処理装置に適用される。 
　１００　基板処理装置２００　ウエハ（基板）　２４０　基板処理装置用コントローラ（主制御部）　５００　管理装置 

Claims (15)

  1. 所定の操作画面に表示する表示部と、ネットワークを介して上位コンピュータとの通信を確立させる際、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、予め取得していた固有情報と前記上位コンピュータの固有情報を照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を前記操作画面に表示させ、正規のパスワードが入力された時に前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される通信制御部と、を備えた処理装置。
  2. 前記通信制御部は、前記上位コンピュータ固有の固有情報を取得する取得部と、前記固有情報と予め取得していた固有情報とを照合する照合部と、照合した結果、前記固有情報が異なっていた場合に、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、前記正規のパスワードが入力されるまで待つ判定部と、を有するよう構成される請求項１記載の処理装置。
  3. 前記通信制御部は、前記照合部による照合した結果、前記固有情報が一致していない場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を不許可にする通知を行い、前記固有情報が一致している場合、接続している前記上位コンピュータに、該上位コンピュータとの通信確立を許可にする通知を行う、通知部を更に有するよう構成されている請求項２記載の処理装置。
  4. 所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２の格納領域と、を少なくとも有する記憶部と、を更に有し、前記通信制御部は、前記照合部による照合結果が、前記固有情報が一致している場合、　前記上位コンピュータから取得された固有情報を前記記憶部に登録する登録部と、　を更に有するよう構成されている請求項３記載の処理装置。
  5. 前記通信制御部は、前記第２の格納領域内に前記上位コンピュータ固有の固有情報が無い場合、前記固有情報の照合を行わずに取得した前記上位コンピュータの固有情報を格納して、前記上位コンピュータとの通信を確立する請求項４記載の処理装置。
  6. 前記通信制御部は、前記正規のパスワードが入力されるまで、前記上位コンピュータとの通信を確立しないよう構成されている請求項１または請求項２記載の処理装置。
  7. 前記正規のパスワードは、所定のウェブサイトにアクセスしないと入手できないよう構成されている請求項６記載の処理装置。
  8. 前記所定のウェブサイトは、基板処理装置メーカのイントラネットである請求項７記載の処理装置。
  9. 前記正規のパスワードの有効期間は、１分、１時間、１日、１週間から少なくとも一つの期間が選択されるよう構成されている請求項１、請求項６、及び請求項７記載の処理装置。
  10. 所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記上位コンピュータの固有情報を取得し、前記第２格納領域内に前記固有情報のデータが有る場合、該予め取得していた固有情報と取得した固有情報とを照合し、前記固有情報が一致していたら、前記上位コンピュータとの通信を確立し、前記固有情報が異なっていたら、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時に、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置。
  11. 前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている請求項１０記載の処理装置。
  12. 前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される請求項１１記載の処理装置。
  13. 所定のプログラムを格納する第１格納領域と、所定のデータを格納する第２格納領域を少なくとも有する記憶部と、前記第１格納領域内の前記所定のプログラムを実行し、前記第２格納領域内の前記所定のデータを用いて、所定の制御を行う制御部と、を備えた処理装置であって、前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、上位コンピュータの固有情報を取得して前記第２格納領域に格納し、前記上位コンピュータとの通信を確立する、通信確立プログラムを実行するよう構成されている処理装置。
  14. 前記制御部は、前記第２格納領域内に固有情報のデータが無い場合、前記固有情報の照合を行わずに、パスワードの入力を要求する画面を操作画面に表示させ、正規の前記パスワードが入力された時には、前記上位コンピュータとの通信を確立するよう構成される請求項１３記載の処理装置。
  15. 前記制御部は、前記正規のパスワードが入力されると、接続している前記上位コンピュータから取得した前記固有情報を前記第２の格納領域に格納するよう構成されている請求項１４記載の処理装置。 
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021100017A (ja) * 2019-12-20 2021-07-01 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、基板処理システム、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体
KR20230144466A (ko) 2022-04-07 2023-10-16 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 장치 기동 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6702584B1 (ja) * 2019-05-24 2020-06-03 東芝エレベータ株式会社 エレベータ基板の不正利用防止方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004259088A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置のソフトウエア提供システム
JP2006004194A (ja) * 2004-06-17 2006-01-05 Sony Corp ライセンス管理サーバ，コンピュータプログラム，およびライセンス情報管理方法
JP2007193579A (ja) * 2006-01-19 2007-08-02 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体
WO2009028537A1 (ja) * 2007-08-29 2009-03-05 Tokyo Electron Limited 製造装置、情報処理方法、及びプログラム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009252224A (ja) * 2008-04-08 2009-10-29 Noboru Higashiguchi 予約システムおよびその方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004259088A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置のソフトウエア提供システム
JP2006004194A (ja) * 2004-06-17 2006-01-05 Sony Corp ライセンス管理サーバ，コンピュータプログラム，およびライセンス情報管理方法
JP2007193579A (ja) * 2006-01-19 2007-08-02 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体
WO2009028537A1 (ja) * 2007-08-29 2009-03-05 Tokyo Electron Limited 製造装置、情報処理方法、及びプログラム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021100017A (ja) * 2019-12-20 2021-07-01 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置、基板処理システム、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体
KR20230144466A (ko) 2022-04-07 2023-10-16 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 기판 처리 장치, 장치 기동 방법, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램
JP7498217B2 (ja) 2022-04-07 2024-06-11 株式会社Kokusai Electric 基板処理装置、装置起動方法、半導体装置の製造方法およびプログラム

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