JP2007193579A - 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 273
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 196
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 130
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 99
- 230000006870 function Effects 0.000 claims abstract description 47
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 73
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 50
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 28
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 15
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 230000003203 everyday effect Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000001152 differential interference contrast microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/10—Protecting distributed programs or content, e.g. vending or licensing of copyrighted material ; Digital rights management [DRM]
- G06F21/12—Protecting executable software
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F21/00—Security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F21/10—Protecting distributed programs or content, e.g. vending or licensing of copyrighted material ; Digital rights management [DRM]
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2221/00—Indexing scheme relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F2221/21—Indexing scheme relating to G06F21/00 and subgroups addressing additional information or applications relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F2221/2135—Metering
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2221/00—Indexing scheme relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
- G06F2221/21—Indexing scheme relating to G06F21/00 and subgroups addressing additional information or applications relating to security arrangements for protecting computers, components thereof, programs or data against unauthorised activity
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Abstract
【解決手段】ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することにより上記課題を解決する。
【選択図】図4
Description
図15は、第2のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
5 処理システム
6 搬送システム
8 移載室
12A〜12F 処理チャンバ
14A〜14F サセプタ
16 移載アーム部
20 搬送アーム部
22 搬送ステージ
24 容器載置台
26A〜26D カセット容器
28 リニアガイドレール
36 オリエンタ(方向位置決め装置)
38A,38B ロードロック室
40A,40B 被搬送体載置台
46 搬送アーム本体
48 フォーク
60 ライセンスキーサーバ
61 初期設定部
62 キー転送部
63 ライセンス管理部
64 更新要求受信部
65 更新判定部
66 ネットワーク接続判定部
67 更新キー生成部
81 キー受信部
82 キー解析部
83 ライセンス判定部
84 期限管理部
85 キー更新部
89 EC
90、91 MC
80、93 HUB
95 GHOSTネットワーク
96 DISTボード
97、98 I/Oモジュール
100 I/O部
170 ネットワーク
171 PC
211 第1のプロセスシップ
212 第2のプロセスシップ
213 ローダーユニット
215 フープ載置台
214 フープ
216 オリエンタ
217、218 IMS
219 搬送アーム機構
220 ロードポート
221、223 載置台
222,224 光学センサ
225 第1のプロセスユニット
226 第1の搬送アーム
227 第1のロード・ロックユニット
228 ESC
229 真空ゲートバルブ
230 大気ゲートバルブ
231 第1のバッファ
232 第2のバッファ
233 支持部
234 第2のプロセスユニット
236 第3のプロセスユニット
237 第2の搬送アーム
238 チャンバ
239 ESC
240 シャワーヘッド
241 TMP
242 APCバルブ
243 下層部
244 上層部
245 第1のバッファ室
246 第2のバッファ室
247 ガス通気孔
248 ガス通気孔
250 チャンバ
251 ステージヒータ
252 バッファアーム
253 支持部
254 真空ゲートバルブ
255 大気ドアバルブ
256 プッシャーピン
257 アンモニアガス供給管
258 弗化水素ガス供給管
259 圧力ゲージ
260 チラーユニット
261 第2のプロセスユニット排気系
262 排気ダクト
263、264 排気管
265 窒素ガス供給管
266 圧力ゲージ
267 第3のプロセスユニット排気系
268 本排気管
268a 副排気管
269 APCバルブ
270 搬送室
271 窒素ガス供給管
272 圧力ゲージ
273 第2のロード・ロックユニット排気系
274 大気連通管
275 排気バルブ
276 リリーフバルブ
277 ユニット駆動用ドライエア供給系
278 本ドライエア供給管
279 副ドライエア供給管
280 第1のソレノイドバルブ
281 第2のソレノイドバルブ
282,283,284,285 ドライエア供給管
286 ドライエア供給管
287 窒素ガス供給系
288 オペレーションコントローラ
290,291,292 MC
297、298、299 I/Oモジュール
600 ドライブ装置
601 記録媒体
602 補助記憶装置
603 メモリ装置
604 CPU
605 インタフェース装置
606 表示装置
607 入力装置
891 CPU
892 RAM
893 HDD
894 CD−ROM
B バス
W 半導体ウエハ(被搬送体)
Claims (25)
- ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする基板処理装置。 - 前記ライセンス情報解析手段は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記ライセンス情報解析手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項1又は2いずれか一項記載の基板処理装置。 - 前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項記載の基板処理装置。
- 前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手段と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手段とを有することを特徴とする請求項1乃至4いずれか一項記載の基板処理装置。 - 前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
- ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置に、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手順と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手順と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手順とを実行させ、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させるためのライセンス管理プログラム。 - 前記ライセンス情報解析手順は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項7記載のライセンス管理プログラム。 - 前記ライセンス情報解析手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項7又は8いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。 - 前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項7乃至9いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
- 前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手順と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手順とを有することを特徴とする請求項7乃至10いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。 - 前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項11記載のライセンス管理プログラム。
- 請求項7乃至12いずれか一項記載のライセンス管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 請求項1乃至6いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置であって、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手段と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手段とを有することを特徴とするライセンス情報提供装置。 - 前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ライセンス管理手段に管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項14記載のライセンス情報提供装置。 - 前記ライセンス管理手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項15記載のライセンス情報生成装置。 - 前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手段と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手段に管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手段とを有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記更新判定手段によって前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項15又は16記載のライセンス情報提供装置。 - 当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項14乃至17いずれか一項記載のライセンス情報提供装置。 - 請求項1乃至6いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置に、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手順と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手順とを実行させるためのライセンス情報提供プログラム。 - 前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ライセンス管理手順において管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項19記載のライセンス情報提供プログラム。 - 前記ライセンス管理手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項20記載のライセンス情報提供プログラム。 - 前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手順と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手順において管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手順とを有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記更新判定手順において前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項20又は21記載のライセンス情報提供プログラム。 - 当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項19乃至22いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラム。 - 請求項19乃至24いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に対して前記ソフトウェアに関するライセンス情報を提供するライセンス情報提供装置とを有するライセンス管理システムであって、
前記基板処理装置は、
前記ライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とするライセンス管理システム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006011219A JP2007193579A (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 |
KR1020077030140A KR100946810B1 (ko) | 2006-01-19 | 2006-12-26 | 기판 처리 장치, 라이센스 정보 제공 장치, 라이센스 관리 시스템 및 기록 매체 |
KR1020097022372A KR20100015928A (ko) | 2006-01-19 | 2006-12-26 | 기판 처리 장치, 라이센스 정보 제공 장치, 라이센스 관리 시스템 및 기록 매체 |
CNA2006800030104A CN101107613A (zh) | 2006-01-19 | 2006-12-26 | 基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质 |
PCT/JP2006/325940 WO2007083499A1 (ja) | 2006-01-19 | 2006-12-26 | 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 |
US12/175,968 US20080281625A1 (en) | 2006-01-19 | 2008-07-18 | Substrate processing apparatus, license management program, license information serving apparatus, license information providing program, license management system, and recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006011219A JP2007193579A (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007193579A true JP2007193579A (ja) | 2007-08-02 |
JP2007193579A5 JP2007193579A5 (ja) | 2009-02-05 |
Family
ID=38287455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006011219A Pending JP2007193579A (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080281625A1 (ja) |
JP (1) | JP2007193579A (ja) |
KR (2) | KR100946810B1 (ja) |
CN (1) | CN101107613A (ja) |
WO (1) | WO2007083499A1 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009028537A1 (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Tokyo Electron Limited | 製造装置、情報処理方法、及びプログラム |
WO2016098887A1 (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | 株式会社日立国際電気 | 処理装置 |
JP2019045896A (ja) * | 2017-08-29 | 2019-03-22 | 沖電気工業株式会社 | ソフトウェア管理装置、ソフトウェア管理方法およびソフトウェア管理方法のプログラム |
KR20200138009A (ko) | 2019-05-31 | 2020-12-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법 |
KR20220125165A (ko) | 2021-03-04 | 2022-09-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 라이센스 인증 장치, 라이센스 인증 방법 |
US11928189B2 (en) | 2018-02-13 | 2024-03-12 | Sony Corporation | Information processing apparatus, information processing method, and electronic device |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5374039B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2013-12-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 |
JP4488080B2 (ja) * | 2008-03-13 | 2010-06-23 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 画像形成装置およびライセンス管理システム |
US20090326964A1 (en) * | 2008-06-25 | 2009-12-31 | Microsoft Corporation | Extensible agent-based license structure |
WO2010046966A1 (ja) * | 2008-10-21 | 2010-04-29 | 富士通株式会社 | 情報処理システムおよび使用権一元管理方法 |
KR101765917B1 (ko) * | 2011-01-06 | 2017-08-24 | 삼성전자주식회사 | 개인망 엔티티 인증을 위한 방법 |
CN105590042B (zh) * | 2014-11-07 | 2019-02-05 | 株式会社东芝 | 半导体装置模块、许可设定方法 |
US11148059B2 (en) * | 2017-09-28 | 2021-10-19 | Ags Llc | Methods for generating and validating gaming machine subscription keys and securing subscription parameter data and jurisdiction files |
JP6702584B1 (ja) * | 2019-05-24 | 2020-06-03 | 東芝エレベータ株式会社 | エレベータ基板の不正利用防止方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09319570A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-12 | Sanyo Electric Co Ltd | ソフトウエアのライセンス管理システム |
JP2003076435A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び実行制御方法 |
JP2003108252A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Fujitsu Fip Corp | ライセンス管理方法,ライセンス管理サーバ,ライセンス管理プログラム及び記録媒体 |
JP2004046756A (ja) * | 2002-05-20 | 2004-02-12 | Fujitsu Fip Corp | ライセンス管理方法、ライセンス管理システム、ライセンス管理プログラム |
JP2005235093A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Kyocera Mita Corp | ライセンスコード作成方法、電気機器およびプログラム |
JP2005275449A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-10-06 | Canon Inc | ライセンス管理システム、クライアント装置、承認装置、ライセンス管理方法、及びプログラム |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4030072A (en) * | 1974-12-18 | 1977-06-14 | Xerox Corporation | Computer system operation and control |
US5892900A (en) * | 1996-08-30 | 1999-04-06 | Intertrust Technologies Corp. | Systems and methods for secure transaction management and electronic rights protection |
US5671412A (en) * | 1995-07-28 | 1997-09-23 | Globetrotter Software, Incorporated | License management system for software applications |
EP1650757A1 (en) * | 1997-05-13 | 2006-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information ciphering method and apparatus, information reproducing method and apparatus |
US7171662B1 (en) * | 1998-03-18 | 2007-01-30 | Microsoft Corporation | System and method for software licensing |
JP2002042413A (ja) * | 2000-05-18 | 2002-02-08 | Sony Corp | データ記録媒体、データ記録方法及び装置、データ再生方法及び装置、データ記録再生方法及び装置、データ送信方法及び装置、データ受信方法及び装置、コンテンツデータ |
JP2002006702A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-11 | Konica Corp | 画像形成装置、画像形成装置の制御方法、画像形成装置の管理方法 |
US7343297B2 (en) * | 2001-06-15 | 2008-03-11 | Microsoft Corporation | System and related methods for managing and enforcing software licenses |
JP4012771B2 (ja) * | 2002-06-28 | 2007-11-21 | 富士通エフ・アイ・ピー株式会社 | ライセンス管理方法、ライセンス管理システム、ライセンス管理プログラム |
JP3890285B2 (ja) * | 2002-10-23 | 2007-03-07 | キヤノン株式会社 | ファイル記録システム及びファイル転送方法 |
EP1574964A1 (en) * | 2002-12-20 | 2005-09-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Information management system |
JP2004287721A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Canon Inc | 情報処理装置 |
JP2005135002A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-26 | Canon Inc | アプリケーション配付システム及びサーバ装置 |
JP2005301525A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Olympus Corp | ライセンスチェック機能付きソフトウェア、およびソフトウェアのライセンス管理方法 |
CA2538257A1 (en) * | 2004-07-21 | 2006-01-26 | Sony Corporation | Communication system, contents processing device, communication method, and computer program |
JP4827467B2 (ja) * | 2004-09-10 | 2011-11-30 | キヤノン株式会社 | ライセンス転送システム及びライセンス情報発行サーバ |
US20060179058A1 (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-10 | Charles Bram | Methods and systems for licensing computer software |
US7505464B2 (en) * | 2005-08-30 | 2009-03-17 | Cisco Technology, Inc. | Method of identifying a home gateway using network traffic sniffing and apparatus employing the same |
-
2006
- 2006-01-19 JP JP2006011219A patent/JP2007193579A/ja active Pending
- 2006-12-26 KR KR1020077030140A patent/KR100946810B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-26 CN CNA2006800030104A patent/CN101107613A/zh active Pending
- 2006-12-26 KR KR1020097022372A patent/KR20100015928A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-12-26 WO PCT/JP2006/325940 patent/WO2007083499A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-07-18 US US12/175,968 patent/US20080281625A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09319570A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-12 | Sanyo Electric Co Ltd | ソフトウエアのライセンス管理システム |
JP2003076435A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び実行制御方法 |
JP2003108252A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-11 | Fujitsu Fip Corp | ライセンス管理方法,ライセンス管理サーバ,ライセンス管理プログラム及び記録媒体 |
JP2004046756A (ja) * | 2002-05-20 | 2004-02-12 | Fujitsu Fip Corp | ライセンス管理方法、ライセンス管理システム、ライセンス管理プログラム |
JP2005235093A (ja) * | 2004-02-23 | 2005-09-02 | Kyocera Mita Corp | ライセンスコード作成方法、電気機器およびプログラム |
JP2005275449A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-10-06 | Canon Inc | ライセンス管理システム、クライアント装置、承認装置、ライセンス管理方法、及びプログラム |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009028537A1 (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Tokyo Electron Limited | 製造装置、情報処理方法、及びプログラム |
WO2016098887A1 (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | 株式会社日立国際電気 | 処理装置 |
JPWO2016098887A1 (ja) * | 2014-12-19 | 2017-10-19 | 株式会社日立国際電気 | 処理装置 |
JP2019045896A (ja) * | 2017-08-29 | 2019-03-22 | 沖電気工業株式会社 | ソフトウェア管理装置、ソフトウェア管理方法およびソフトウェア管理方法のプログラム |
US11928189B2 (en) | 2018-02-13 | 2024-03-12 | Sony Corporation | Information processing apparatus, information processing method, and electronic device |
KR20200138009A (ko) | 2019-05-31 | 2020-12-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 라이센스 인증 장치 및 라이센스 인증 방법 |
US11568027B2 (en) | 2019-05-31 | 2023-01-31 | Tokyo Electron Limited | License authentication device and license authentication method |
KR20220125165A (ko) | 2021-03-04 | 2022-09-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 라이센스 인증 장치, 라이센스 인증 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080014885A (ko) | 2008-02-14 |
CN101107613A (zh) | 2008-01-16 |
KR100946810B1 (ko) | 2010-03-09 |
US20080281625A1 (en) | 2008-11-13 |
WO2007083499A1 (ja) | 2007-07-26 |
KR20100015928A (ko) | 2010-02-12 |
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