JP2003076435A

JP2003076435A - 処理システム及び実行制御方法

Info

Publication number: JP2003076435A
Application number: JP2001265549A
Authority: JP
Inventors: Naohide Ito; 尚秀伊藤; Yuichi Takenaga; 裕一竹永
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2001-09-03
Filing date: 2001-09-03
Publication date: 2003-03-14

Abstract

(57)【要約】【課題】処理装置のプログラムの不正使用を防止す
る。【解決手段】処理装置は、通信ボード４１５と、複数
のプログラムＰＡ〜ＰＣとＭＡＣアドレスから生成され
た判別キーＫiとを記憶する記憶部４１２ｃと、を備え
る。判別キーＫiは、ＭＡＣアドレスを契約の内容に対
応する回数だけ暗号化して作成されている。プログラム
の実行が指定されると、通信ボード４１５のＭＡＣアド
レスを読み込み、これを繰り返して暗号化し、何回目の
暗号化の結果が判別キーＫiに一致するかを判別し、そ
のプログラムの実行が認められているか否かを判別す
る。実行が認められている場合には、そのプログラムを
起動し、認められていないプログラムの場合には起動を
禁止する。ある装置のプログラムを他の装置にコピーし
ても、ＭＡＣアドレスが異なるため、他の装置では、プ
ログラムは実行できず、不正コピーによる不正使用を防
止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、制御プログラムの
動作を管理するシステムと方法に関し、特に、正規ユー
ザのみにプログラムが実現する機能を提供することを可
能とするシステムと方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハの表面に、成膜したり、ド
ーパントの拡散を行う等の様々な処理を行うために、多
数の半導体処理装置が使用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このようなシステムの
場合、一部の処理装置のみに、特殊な機能、例えば、評
価用に提供される新規機能や個別のライセンスに基づい
て提供される上位機能を付加機能として付与する場合が
ある。しかし、従来のシステムにおいては、この付加機
能を実現するソフトウエアがコピーされ、他の処理装置
にインストールされると、他の装置でも同様の機能が実
現できてしまい、機能提供者の利益が守られないおそれ
があった。

【０００４】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
であり、処理装置を制御するためのソフトウエアを保護
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の第１の観点に係る処理システムは、被処
理体を処理する処理部と、固有のアドレスが予め割り付
けられた通信装置と、所定の機能を実現するためのプロ
グラムと前記固有のアドレスから生成されたキーとを予
め記憶する記憶装置と、前記記憶装置に記憶されたキー
と前記通信装置に割り付けられている固有のアドレスと
が実質的に一致するか否かを判別し、実質的に一致する
と判別した場合に、前記プログラムに基づいて前記処理
部を制御して被処理体を処理し、実質的に一致しないと
判別した場合に、前記プログラムに基づいた制御を停止
する処理制御部と、を備えることを特徴とする。

【０００６】この構成において、あるシステムに格納さ
れているプログラムとキーが他のシステムにコピーされ
たとしても、コピー先のシステムの固有アドレスとキー
とが実質的に一致しない。このため、そのプログラムを
実行できず、プログラムは保護される。なお、プログラ
ムだけがコピーされた場合には、コピー先の装置に該当
するキーが存在しないため、そのプログラムが実行でき
ない。

【０００７】例えば、前記記憶装置は複数のプログラム
を記憶し、前記処理制御部は前記キーの内容に従って、
前記複数のプログラムのうちのいずれかを選択的に起動
して、前記処理部を制御するようにしてもよい。

【０００８】前記キーは、例えば、前記固有のアドレス
を所定の暗号化プロセスにより暗号化して生成され、前
記処理制御部は、前記通信装置にアクセスして、割り付
けられている固有のアドレスを読み出し、これを前記所
定の暗号化プロセスにより暗号化して暗号処理済データ
を生成し、該暗号処理済データと前記記憶装置に記憶さ
れているキーとが実質的に一致するか否かを判別するよ
うにしてもよい。さらに、前記記憶装置が複数のプログ
ラムを記憶し、前記処理制御部が、前記キーに実質的に
一致する暗号処理済データの暗号化の回数を判別し、前
記複数のプログラムのうちのいずれかを選択的に起動し
て、前記処理部を制御するようにしてもよい。

【０００９】例えば、プログラムＡとＢとＣとを記憶装
置に格納しておき、一般の顧客には、プログラムＡを使
用できるようにしておき、所定のライセンス契約を結ん
だ顧客にはプログラムＢを使用できるように、固有のア
ドレスを３回繰り返して暗号化して生成したキーを使用
し、さらに、特定のライセンス契約を結んだ顧客にプロ
グラムＣを使用できるように、固有のアドレスを５回繰
り返して暗号化して生成したキーを割り当てる等の使用
も可能である。この場合、判別手段は、固有のアドレス
を３回暗号化した結果がキーに一致すれば、プログラム
Ｂの使用を可能とし、固有のアドレスを５回暗号化した
結果がキーに一致すれば、プログラムＣの使用を可能と
し、いずれも一致しない場合には、プログラムＡの使用
のみを可能とする。

【００１０】前記固有のアドレスは、例えば、通信装置
に割り当てられているＭＡＣ（Media Access Control）
アドレスから構成される。ＭＡＣアドレスは、いわゆる
ネットワークカードに固有の物理アドレスであり、各通
信装置にユニークなアドレスとなる。前記キーは、保護
対象のプログラムと一体に記録されることが望ましい。

【００１１】以上の構成によれば、例えば、前記記憶装
置に、他の処理システムのプログラムとキーとが複製さ
れた場合に、前記処理制御部が、前記記憶装置に複製さ
れたキーとこの処理システムの前記通信装置に割り付け
られている固有のアドレスとが実質的に一致していない
と判定し、複製されたプログラムに基づいた制御を停止
する。

【００１２】また、この発明の第２の観点に係る実行制
御方法は、予め割り付けられている固有の通信アドレス
と該固有の通信アドレスを用いて生成された識別符号と
を記憶する工程と、処理装置の動作を制御するための制
御プログラムを解釈実行する実行工程と、予め割り付け
られている固有の通信アドレスと記憶されている識別符
号とを読み出し、対応するか否かを判別する判別工程
と、判別工程において、実質的に対応すると判別された
場合に、前記実行工程での前記制御プログラムの実行を
可能とし、実質的に対応しないと判別された場合に、前
記実行工程での前記制御プログラムの実行を禁止する制
御工程と、を備えることを特徴とする。

【００１３】この構成においても、あるシステムに格納
されているプログラムとキーとを他のシステムにコピー
されたとしても、コピー先の固有アドレスとキーとが実
質的に一致しない。このため、そのプログラムを実行で
きず、プログラムは保護される。なお、プログラムだけ
がコピーされた場合には、コピー先の装置に該当するキ
ーが存在しないため、そのプログラムが実行できない。

【００１４】さらに、コンピュータに、通信装置に予め
割り付けられているユニークな物理アドレスを読み込
み、これを所定のプロセスで暗号化する暗号化工程と、
前記暗号化工程で生成された暗号処理済データのいずれ
かと、予め記憶されている暗号キーとが、実質的に一致
するか否かを判別する工程と、一致すると判別された暗
号化データに応じて、前記複数のプログラムのうちのい
ずれかを選択的に実行可能する工程と、を実行させるた
めのプログラムを、ハードディスク装置、フラッシュメ
モリなどの記録媒体に格納してシステムに組み込んだ
り、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＭＯ（光磁気ディス
ク）、ディジタル多機能ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなどに
格納して配布したり、ネットワークを介して配布・配信
するようにしてもよい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態に係
る処理システム１について説明する。図１に示すよう
に、この実施の形態の処理システム１は、半導体処理シ
ステムであり、複数台の処理装置３と、制御コンピュー
タ５と、これらを相互に接続するネットワーク（ＬＡ
Ｎ）７とから構成される。

【００１６】処理装置３は、例えば、ｎ台のＣＶＤ（Ch
emical Vapor Deposition)装置３１（３１_１〜３１_ｎ）
を含む。

【００１７】ｎ台のＣＶＤ装置３１（３１_１〜３１_ｎ）
は、互いに実質的に同一の構成を有し、それぞれ、半導
体ウエハなどの被処理体を収容し、被処理体上にＣＶＤ
による成膜処理を行う。

【００１８】ＣＶＤ装置３１の構成例を図２を参照して
説明する。ＣＶＤ装置３１は、バッチ式のものであり、
図示するように、二重管構造の反応管３０２を備え、反
応管３０２の下側には金属性の筒状のマニホールド３２
１が設けられている。

【００１９】反応管３０２内には、多数枚のウエハＷが
水平な状態で、上下に間隔をおいてウエハボート３２３
に棚状に配置されている。ウエハボート３２３は保温筒
３２５上に保持されている。

【００２０】反応管３０２の周囲には、５段構成のヒー
タ３３１〜３３５が配置されている。ヒータ３３１〜３
３５には、電力コントローラ３３６〜３４０より、それ
ぞれ独立して電力が供給され、独立に制御可能である。
ヒータ３３１〜３３５により、反応管内は、図３に示す
ように５つのゾーンに分けられている。

【００２１】また、図２に示すマニホールド３２１に
は、内管３０２ａ内にガスを供給する３本のガス供給管
３４１，３４２，３４３が配置されている。各ガス供給
管３４１，３４２，３４３には、マスフローコントロー
ラ（ＭＦＣ）３４４，３４５，３４６を介してジクロル
シラン、アンモニア、窒素等の成膜用の原料ガス及びキ
ャリアガスがそれぞれ供給される。さらに、マニホール
ド３２１には、排気管３２７が接続されている。排気管
３２７は、圧力調整部３２８等を介して真空ポンプに接
続されている。

【００２２】反応管３０２内には、垂直方向に一列に５
つの温度センサ（熱電対）Ｓin1〜Ｓin5が配置されてい
る。温度センサＳin1〜Ｓin5は、ウエハＷの金属汚染を
防止するため、石英のパイプ等によりカバーされてお
り、図３に示す５つのゾーンにそれぞれ配置されてい
る。

【００２３】反応管３０２の外面にも、垂直方向に一列
に５つの温度センサＳout1〜Ｓout5が配置されている。
温度センサＳout1〜Ｓout5も、図３に示す５つのゾーン
にそれぞれ配置されている。

【００２４】ＣＶＤ装置３１は、反応管３０２内の処理
雰囲気の温度、ガス流量、圧力といった処理パラメータ
を制御するためのコントローラ４００を備えている。コ
ントローラ４００は、温度センサＳin1〜Ｓin5とＳout1
〜Ｓout5の出力信号を取り込み、ヒータ３３１〜３３５
の電力コントローラ３３６〜３４０、圧力調整部３２
８、マスフローコントローラ３４４〜３４６に制御信号
を出力する。

【００２５】コントローラ４００の構成の詳細を図４を
参照して説明する。図示するように、コントローラ４０
０は、制御部４１１と、記憶部４１２と、Ｉ／Ｏ装置４
１３と、操作パネル４１４と、通信ボード４１５と、か
ら構成される。

【００２６】記憶部４１２は、ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッ
シュメモリ、ディスク記憶装置などから構成され、モデ
ル記憶部４１２ａと、レシピ記憶部４１２ｂと、プログ
ラム記憶部４１２ｃと、ワークエリア４１２ｄと、を備
える。モデル記憶部４１２ａは、温度センサＳin1〜Ｓi
n5及びＳout1〜Ｓout5の出力信号（測定温度）及び電力
コントローラ３３６〜３４０への指示（電力コントロー
ラ３３６〜３４０がヒータ３３１〜３３５に供給する電
力）から、各ゾーンに載置されているウエハＷの温度を
推定（計算）し、さらに、推定した温度を目標値に設定
するためにヒータ３３１〜３３５に供給すべき電力を求
めるモデル（数学モデル；高次・多次元関数）を記憶し
ている。このモデルとしては、例えば、米国特許第５，
５１７，５９４号公報に開示されたようなものを利用で
きる。

【００２７】レシピ記憶部４１２ｂは、ＣＶＤ装置３１
で実行される成膜処理の種類に応じて、制御手順を定め
るレシピを記憶する。通常のバッチ式処理装置の場合、
全ウエハＷについて１つの温度レシピが用意される。こ
れに対し、この実施の形態においては、ウエハＷの面間
及び面内で処理結果が均一になるように、図３に示すゾ
ーン毎に予め調整された温度レシピが用意されている。

【００２８】なお、レシピは、図５（ａ）に示すよう
な、ウエハＷの温度を一定に維持しながら、成膜処理を
実行するためのレシピ、又は、図５（ｂ−１）又は（ｂ
−２）に示すように、ウエハＷの温度を変化させなが
ら、成膜処理を実行するためのレシピのいずれかであ
る。図５（ａ）に示すようなレシピは、全ユーザの利用
が可能であり、図５（ｂ−１）又は図５（ｂ−２）に示
すようなレシピは、所定のライセンス契約を締結したユ
ーザのみが使用可能である。

【００２９】なお、図５（ａ）に示すレシピに従って成
膜処理を行うことにより、ウエハＷの全面をほぼ一定の
温度に維持した状態で成膜処理を行うことができる。ま
た、図５（ｂ−１）に示すレシピに従って成膜処理を行
うことにより、ウエハＷの周縁部より中心部の温度が高
い状態で成膜処理を行うことができる。一方、図５（ｂ
−２）に示すレシピに従って成膜処理を実行することに
より、周縁部より中心部の温度が低い状態で成膜処理を
行うことができる。

【００３０】プログラム記憶部４１２ｃは、制御部４１
１の動作・制御プログラム等を記憶する。特に、プログ
ラム記憶部４１２ｃは、制御プログラムとして、図６に
示すように、制御プログラムＰＡ〜ＰＣと、初期設定プ
ログラムＰＩと、暗号化プログラムＰＥと、判別キーＫ
iとを記憶する。制御プログラムＰＡは、図５（ａ）に
示したレシピに従って、一定温度で成膜処理を行うため
の制御プログラムであり、全ユーザが使用可能である。
制御プログラムＰＢは、図５（ｂ−１）と（ｂ−２）に
示したレシピに従って、温度を変化させながら成膜処理
を行うための制御プログラムであり、所定のライセンス
契約を締結したユーザのみが使用可能である。

【００３１】制御プログラムＰＣは、実際の成膜結果を
入力することにより、レシピを最適化するための制御プ
ログラムであり、制御プログラムＰＢを使用するライセ
ンス契約を締結したユーザのうちの、さらに追加の契約
をした一部のユーザのみに使用が認められる。暗号化プ
ログラムＰＥは、通信ボード４１５に設定されているＭ
ＡＣアドレスを、所定の暗号鍵を用いて暗号化するプロ
グラムである。初期設定プログラムＰＩは、暗号化プロ
グラムＰＥによって暗号化されたＭＡＣアドレスと判別
キーＫiとを比較し、一致するか否かを判別するプログ
ラムである。

【００３２】判別キーＫiは、ＭＡＣアドレスと契約内
容に基づいて生成され、ユーザがどのプログラムを使用
できるかを示すキーである。

【００３３】なお、図４のワークエリア４１２ｄは、制
御部４１１のワークエリアなどとして機能する。

【００３４】Ｉ／Ｏ装置４１３は、温度センサＳin1〜
Ｓin5及びＳout1〜Ｓout5の測定信号を制御部４１１に
供給すると共に、制御部４１１が出力する制御信号を電
力コントローラ３３６〜３４０，マスフローコントロー
ラ３４４〜３４６、圧力調整部３２８等へ出力する。ま
た、Ｉ／Ｏ装置４１３には、操作パネル４１４が接続さ
れている。操作パネル４１４は、表示部と操作部とを備
え、Ｉ／Ｏ装置４１３を介して、制御部４１１の提供す
る画像を表示し、ユーザの指示を制御部４１１に供給す
る。

【００３５】通信ボード４１５は、ＣＶＤ装置３１と制
御コンピュータ５との間のＬＡＮ７を介した通信を行う
ものであり、通信ボード４１５自体を特定するためのＭ
ＡＣ（Media Access Control）アドレスが格納されてい
る。ＭＡＣアドレスは、ネットワークカードに固有の物
理アドレスであり、例えば、６バイトで構成され、上位
3バイトはベンダのコードであり、IEEEが割り当てを行
なっている。下位3バイトは各ベンダが独自に重複しな
いように管理しているコードである。

【００３６】制御部４１１は、プロセッサを備え、プロ
グラム記憶部４１２ｃに記憶された動作・制御制御プロ
グラム等に従って動作する。具体的には、制御部４１１
は、温度センサＳin1〜Ｓin5、Ｓout1〜Ｓout5の出力値
及び電力コントローラ３３６〜３４０への指示値（ヒー
タ３３１〜３３５への供給電力を示す値）を取り込ん
で、モデル記憶部４１２ａに記憶されたモデルに適用し
て、各ゾーンのウエハＷの温度を刻一刻と推定する。さ
らに、制御部４１１は、推定した温度がレシピ記憶部４
１２ｂに記憶された温度レシピが指示する値に一致する
ように、電力コントローラ３３６〜３４０に供給電力を
指示する。

【００３７】また、制御部４１１は、マスフローコント
ローラ３４４〜３４６への指示、圧力調整部３２８への
指示なども行い、原料ガスの供給の開始と停止、流量、
反応管３０２内の圧力などをレシピに従って制御する。

【００３８】なお、制御部４１１は、上述の処理を行う
ため、一般ユーザについては、図６における制御プログ
ラムＰＡを起動して、図５（ａ）に示すように、温度を
一定に保って成膜処理を行う。また、一部の契約ユーザ
については、制御プログラムＰＡとＰＢとを起動し、図
５（ａ）だけでなく、図５（ｂ−１）、（ｂ−２）に示
すように、温度を変化させながら、成膜処理を行う制御
も実行可能とする。また、さらに一部のユーザについて
は、成膜結果を取り込んで、レシピを最適化する処理を
行う。

【００３９】制御コンピュータ５は、ＣＶＤ装置３１全
体を管理する装置であり、各ＣＶＤ装置３１のＭＡＣア
ドレスを指定して通信を行い、ラン回数の管理、レシピ
の最適化などの制御処理を実行する。

【００４０】次に、上記構成の処理システム１の動作を
説明する。まず、ＣＶＤ装置３１には、１）図５（ａ）
に示すような一定の温度で成膜処理を行うための機能を
実現するための制御プログラムＰＡと、２）図５（ｂ−
１）及び（ｂ−２）に示すような温度を変化させながら
成膜処理を行うための機能を実現するための制御プログ
ラムＰＢと、３）レシピを最適化するための制御プログ
ラムＰＣと、４）初期設定プログラムＰＩと、４）暗号
化プログラムＰＥとが全て予め製造時等で格納される。

【００４１】次に、ＣＶＤ装置３１の設置時等に、契約
内容に基づいて、このＣＶＤ装置３１の機能をどの範囲
で使用するかを認めるかを示す判別キーＫiが設定され
る。例えば、一般ユーザについて、判別キーには何も設
定されない（又は、特定のコード、例えば、ＮＵＬＬが
設定される）。一方、所定の契約を結んだユーザについ
て、図７に例示するように、暗号化プログラムＰＥによ
り、そのＣＶＤ装置３１の通信ボードのＭＡＣアドレス
を３回繰り返して暗号化した結果が格納される。さら
に、追加の契約を結んだユーザについては、図７に例示
するように、暗号化プログラムＰＥにより、ＭＡＣアド
レスを５回繰り返して暗号化した結果が格納される。

【００４２】また、試用期間が認められたユーザについ
ては、図７に例示するように、暗号化プログラムＰＥに
より、ＭＡＣアドレスを９回繰り返して暗号化した結果
と、有効期限が格納される。

【００４３】次に、ユーザは、目的とする処理結果（目
的とする膜厚、膜質等）を得るために各処理装置３が実
行すべき処理過程（プロセス）を定義するレシピを設計
して、レシピ記憶部４１２ｂに格納する。

【００４４】このとき、特定の契約を行っていない一般
ユーザは、図５（ａ）に示すような、一定温度で成膜を
行うレシピを設計する。一方、特定の契約を行っている
ユーザは、図５（ａ）、（ｂ−１）、（ｂ−２）のいず
れか任意の形式でのレシピを設計する。試用期間中のユ
ーザも、図５（ａ）、（ｂ−１）、（ｂ−２）のいずれ
か任意の形式でのレシピを設計する。なお、ＣＶＤ装置
３１の提供側が推奨レシピを提供することも考えられる
が、この場合、一般ユーザには、一定温度での成膜用の
レシピを用意し、特定の契約を行っているユーザには、
図５（ａ）、（ｂ−１）、（ｂ−２）のいずれか任意の
形式で最適な形態のレシピを用意する。

【００４５】次に、実際の成膜処理時の動作を説明す
る。ＣＶＤ装置３１の電源を投入すると、制御部４１１
は、起動時の初期設定処理の一部として、図８のフロー
チャートに示す処理を実行する。すなわち、制御部４１
１は、プログラム記憶部４１２ｃに判別キーＫi（暗号
データ）が設定されているか否かを判別する（ステップ
Ｓ１１）。

【００４６】判別キーＫiが設定されていると判別され
た場合には、通信ボード４１５より、ＭＡＣアドレスを
読み出し（ステップＳ１２）、図７に示すように、ＭＡ
Ｃアドレスを暗号化プログラムＰＥ繰り返して暗号化
し、０回目（ＭＡＣアドレスそのもの）、３回目、５回
目、９回目の値（暗号処理済データ）をワークエリア４
１２ｄにセーブする（ステップＳ１３）。

【００４７】次に、セーブした値と判別キーＫiとを比
較し、一致するものを判別する（ステップＳ１４）。

【００４８】まず、判別キーＫiがＭＡＣアドレスに一
致すると判別された際には、このユーザは、一般の契約
を行っているので、制御プログラムＰＡのみを起動する
（ステップＳ１５）。

【００４９】また、判別キーＫiが一致する値が無いと
判別された場合には、何らかの異常が発生していると考
えられ、最低限の制御プログラムである制御プログラム
ＰＡのみを起動する（ステップＳ１５）。なお、この
際、操作パネル４１４を介してユーザに異常を警告して
もよい。

【００５０】また、３回又は５回暗号化した値と判別キ
ーＫiが一致すると判別された際には、このユーザは、
制御プログラムＰＢを使用する契約を行っているので、
制御プログラムＰＡとＰＢとを起動する（ステップＳ１
６）。

【００５１】次に、９回暗号化した値と判別キーＫiが
一致すると判別された際には、このユーザは、試用契約
を行ったユーザである。そこで、判別キーＫiと共に記
録されている契約の有効期限と現在日時とを比較し、試
用期間中であるか否かを判別する（ステップＳ１７）。

【００５２】試用期間外（有効期限経過）であると判別
されると、今現在、制御プログラムＰＢを使用する権利
を有していないので、制御プログラムＰＡのみを起動す
る（ステップＳ１５）。

【００５３】一方、ステップＳ１７で、試用期間中（有
効期限内）であると判別されると、このユーザは、今現
在、制御プログラムＰＢを使用する権利を有するので、
制御プログラムＰＡとＰＢとを起動する（ステップＳ１
６）。

【００５４】このようにして、初期動作時に、契約内容
に合致したプログラムのみを起動することにより、契約
内容に合致したプロセスが実行可能となる。

【００５５】以後は、ユーザは、契約の内容に応じて起
動したプログラムにより、処理を実行する。すなわち、
一般のユーザであれば、図５（ａ）に示すような、一定
の温度で成膜処理を行うレシピを用いて、温度センサＳ
in1〜Ｓin5及びＳout1〜Ｓout5の出力信号（測定温度）
及び電力コントローラ３３６〜３４０への指示（電力コ
ントローラ３３６〜３４０がヒータ３３１〜３３５に供
給する電力）を、モデル記憶部４１２ａに格納されてい
るモデルに適用することにより、各ゾーンに載置されて
いるウエハＷの温度を推定（計算）し、さらに、推定し
た温度がレシピが規定する目標温度に一致するようにヒ
ータ３３１〜３３５に供給すべき電力を制御し、さら
に、ガスの供給タイミングなどを制御し、ウエハＷ上に
ＣＶＤによる成膜処理を行う。

【００５６】また、所定の契約を締結しているユーザ
は、図５に示す任意のパターンのレシピを用いて、温度
センサＳin1〜Ｓin5及びＳout1〜Ｓout5の出力信号（測
定温度）及び電力コントローラ３３６〜３４０への指示
（電力コントローラ３３６〜３４０がヒータ３３１〜３
３５に供給する電力）を、モデル記憶部４１２ａに格納
されているモデルに適用することにより、各ゾーンに載
置されているウエハＷの温度を推定（計算）し、さら
に、推定した温度がレシピが規定する目標温度に一致す
るようにヒータ３３１〜３３５に供給すべき電力を制御
し、さらに、ガスの供給タイミングなどを制御し、ウエ
ハＷ上にＣＶＤによる成膜処理を行う。

【００５７】繰り返してプロセスを実行するうちに、ウ
エハＷ上に成膜される膜の厚さなどが目的値とずれてく
ることがある。この場合、適切な成膜が行われるよう
に、ユーザはレシピを調整する必要がある。

【００５８】ＣＶＤ装置３１は、このような場合のため
に、レシピを自動的に校正（調整）する機能を制御プロ
グラムＰＣにより提供する。ただし、この自動校正機能
を使用できるのは、制御プログラムＰＣの使用契約を行
ったユーザ、又は、試用が認められたユーザである。こ
れらのユーザのＣＶＤ装置３１のプログラム記憶部４１
２ｃには、前述のように、ＭＡＣアドレスを５回又は９
回繰り返して暗号化して生成された判別キーＫiが格納
されている。

【００５９】以下、レシピを自動校正する処理について
図９のフローチャートを参照して説明する。まず、ユー
ザは、操作パネル４１４又は制御コンピュータ５より、
校正対象のＣＶＤ装置３１に、レシピの自動校正処理を
指示すると共に５つのゾーンそれぞれから抽出されたウ
エハＷ上に実際に成膜された膜の厚さの実測データを入
力する。

【００６０】制御部４１１は、操作パネル４１４又は制
御コンピュータ５からの指示に応答して、図９に示す処
理を開始する。まず、制御部４１１は、ユーザが自動校
正機能を使用する正当権限が有しているか否かを判別す
るため、プログラム記憶部４１２ｃに判別キーＫi（暗
号化データ）が設定されているか否かを判別する（ステ
ップＳ３１）。

【００６１】判別キーＫiが設定されていると判別され
た場合には、通信ボード４１５より、ＭＡＣアドレスを
読み出し（ステップＳ３２）、図７に示すように、ＭＡ
Ｃアドレスを暗号化プログラムＰＥにより繰り返して暗
号化し、５回目、９回目の値（暗号処理済データ）をワ
ークエリア４１２ｄにセーブする（ステップＳ３３）。

【００６２】次に、セーブした値と判別キーＫiとを比
較し、一致するものを判別する（ステップＳ３４）。

【００６３】５回暗号化した値と判別キーＫiが一致す
ると判別された際には、このユーザは、レシピを自動校
正する制御プログラムＰＣを使用する契約を行っている
ので、制御プログラムＰＣを起動する（ステップＳ３
６）。

【００６４】次に、９回暗号化した値と判別キーＫiが
一致すると判別された際には、このユーザは、試用契約
を行ったユーザであるので、試用期間中であるか否かを
判別する（ステップＳ３７）。一方、ステップＳ３７
で、試用期間中であると判別されると、このユーザは、
今現在、制御プログラムＰＣを使用する権利を有するの
で、制御プログラムＰＣを起動する（ステップＳ３
６）。

【００６５】試用期間外であると判別されると、このユ
ーザは、今現在、プログラムＰＢを使用する権利を有し
ていない。従って、制御プログラムＰＣの起動を禁止
し、使用期間が経過しており、「自動校正プログラムを
使用するためには別途契約が必要である」旨を操作パネ
ル４１４などに表示する（ステップＳ３５）。

【００６６】また、判別キーＫiが一致する値が無いと
判別された場合には、制御プログラムＰＣを使用する権
限がない。従って、プログラムＰＣの起動を禁止し、
「自動校正プログラムを使用するためには別途契約が必
要である」旨を操作パネル４１４などに表示する（ステ
ップＳ３５）。

【００６７】ステップＳ３６で、制御プログラムＰＣが
起動されると、制御部４１１は、制御プログラムＰＣに
従って、レシピ記憶部４１２ｂに格納されたレシピを、
以下のようにして校正する。

【００６８】まず、５つのゾーンから抽出したウエハＷ
に形成された膜の平均膜厚を求め、平均膜厚が目的とす
る膜厚とが一致するように、全ゾーンのレシピが規定す
る温度を調整する。例えば、平均膜厚が目的とする膜厚
よりも小さい場合には、全ゾーンのレシピが規定する処
理温度を高め（オフセットを大きくする）、平均膜厚が
目的とする膜厚よりも大きい場合には、全ゾーンのレシ
ピが規定する処理温度を低める（オフセットを小さくす
る）。

【００６９】次に、ゾーン別に平均膜厚を求め、平均膜
厚と目的とする膜厚とが一致するように、各ゾーンのレ
シピが規定する温度を調整する。例えば、あるゾーンの
ウエハＷに形成された膜の平均膜厚が目的とする膜厚よ
りも小さい場合には、レシピが規定する処理温度を高
め、平均膜厚が目的とする膜厚よりも大きい場合には、
そのゾーン用のレシピが規定する処理温度を低める。

【００７０】次に、制御部は、各ゾーンのウエハＷ上に
成膜された膜の膜厚のばらつきを調整する。前述のよう
に、図５に示す装置構成では、ウエハＷを昇温している
間は、中心部の温度よりも周縁部の温度が高い。一方、
ウエハＷを降温している間は、中心部の温度よりも周縁
部の温度が低い。成膜処理の場合には、通常、他の条件
が同一ならば、ウエハＷの温度が高い方が膜が成膜され
やすく、厚い膜が形成される。

【００７１】そこで、あるゾーンから抽出したウエハＷ
上に成膜された膜が周辺部で厚く、中心部で薄い凹（カ
ップ）型の場合には、今回の処理時よりも、ウエハＷの
周縁部の温度を相対的に低くして成膜処理を行えば、厚
さの均一な成膜が可能である。このようなウエハ温度を
得るためには、レシピの成膜中の温度勾配（時間に対す
る温度の変化の傾きα）を小さくするように（傾きαか
ら正の値Δαを減算するように）、そのゾーン用のレシ
ピを調整すればよい。例えば、図５（ａ）のレシピの場
合には、ガス供給中の温度勾配を０から負の値に調整
し、図５（ｂ−１）のレシピの場合には、ガス供給中の
温度勾配を負の方向に大きくし、図５（ｂ−２）のレシ
ピの場合には、ガス供給中の温度勾配を緩やかにするよ
うに、そのゾーン用のレシピを調整すればよい。

【００７２】逆に、あるゾーンから抽出したウエハＷ上
の膜厚が周辺部で薄く、中心部で厚い凸（キャップ）型
の場合には、今回の処理時よりも、ウエハＷの周縁部の
温度を相対的に高く維持しながら成膜処理を行えば、よ
り均一な厚さの成膜が可能である。このようなウエハ温
度を得るためには、成膜中の温度勾配αを大きくするよ
うに（傾きαに正の値Δαを加算するように）、そのゾ
ーン用のレシピを調整する。

【００７３】このようにして、制御部４１１は、レシピ
を校正して、次の成膜処理に備える。

【００７４】以上のようにして、プログラムの提供者
（貸与者）との契約内容に応じた、制御プログラムＰＣ
の使用契約（試用を含む）を行ったユーザのみが、レシ
ピを自動的に校正することが可能となる。

【００７５】なお、一般ユーザや試用期間中のユーザ
が、制御プログラムＰＢ或いはＰＣの機能を気に入り、
それらの使用を希望する場合には、専用の書き込みプロ
グラムにより、ＣＶＤ装置３１の通信ボード４１５のＭ
ＡＣアドレスを読み出し、これを暗号化プログラムＰＥ
により５回繰り返して暗号化して、判別キーＫiとして
書き込めば良い。

【００７６】同様に、一般ユーザや試用期間中のユーザ
が、制御プログラムＰＢの機能のみを気に入り、それら
の使用を希望する場合には、専用の書き込みプログラム
により、ＭＡＣアドレスを３回繰り返して暗号化して、
判別キーＫiとして書き込めば良い。さらに、一般ユー
ザ等がプログラムＰＢやＰＣを試用したい場合には、専
用の書き込みプログラムにより、ＭＡＣアドレスを９回
繰り返して暗号化して、判別キーＫiとして書き込めば
良い。

【００７７】これらの書き込み操作は、制御コンピュー
タ５で集中管理で行っても良く、また、各ＣＶＤ装置３
１でローカルにおこなってもよい。

【００７８】ここで、ユーザが、オプション使用契約追
加契約を行っているＣＶＤ装置３１ _１の記憶部４１２に
記憶されたプログラムを、一般契約しか行っていないＣ
ＶＤ装置３１_２の記憶部４１２に不正にコピーしたとす
る。この場合、ＣＶＤ装置３１_１とＣＶＤ装置３１_２と
では、ＭＡＣアドレスが異なっているため、図８のステ
ップＳ１４と３４とで、一致するものが無いと判別され
る。従って、仮にプログラムをコピーしたとしても、オ
プション機能を一般の契約者が使用することはできな
い。

【００７９】以上説明したように、この実施の形態のＣ
ＶＤ装置３１は、ユニークな値を有するＭＡＣアドレス
を利用して、契約の内容を識別する。このため、契約済
の装置のプログラムを他のプログラムに単純にコピーし
たり、インストールしたりしても、使用することはでき
ず、プログラムの権利を保護することができる。

【００８０】なお、この発明は上記実施の形態に限定さ
れず、種々の変形及び応用が可能である。例えば、上記
実施の形態においては、予め、全てのプログラムを全処
理装置に格納しておき、起動する（アクティブとなる）
ソフトの範囲を、契約に基づいて制御した。しかし、契
約に応じたプログラムのみを装置に格納するようにして
もよい。

【００８１】例えば、ＣＶＤ装置３１_１のプログラム記
憶部４１２ｃには、制御プログラムＰＡ〜ＰＣを格納し
ておき、ＣＶＤ装置３１_２のプログラム記憶部４１２ｃ
に、制御プログラムＰＡのみを格納しておくようにして
もよい。この場合も、仮に、ＣＶＤ装置３１_１のプログ
ラム記憶部４１２ｃの内容をＣＶＤ装置３１_２のプログ
ラム記憶部４１２ｃにコピーしたとしても、ＭＡＣアド
レスの相違により、ＣＶＤ装置３１_２でプログラムＰＢ
やＰＣを動作させることは困難である。

【００８２】ただし、制御プログラムのコピー後に、判
別キーＫiをＣＶＤ装置３１_２のＭＡＣアドレスに合致
するように書き換えれば、制御プログラムＰＢ、ＰＣの
使用も可能である。しかし、この問題は、制御プログラ
ム（ソースコード）を機密事項とすること、判別キーＫ
iを制御プログラムＰＡ〜ＰＣ（オブジェクトコード）
等の他の情報と一体的に記録する等して、判別キーＫi
のアドレスを部外者が判別不能とすること等により、ほ
ぼ解決することができる。

【００８３】また、図９の校正処理で、ＭＡＣアドレス
を読み出し、暗号化し、判別キーと比較した（ステップ
Ｓ３１〜Ｓ３４、Ｓ３７）。しかし、装置の電源投入時
等に、図８の初期設定処理のステップＳ１３での暗号化
の結果やステップＳ１４，Ｓ１７での判別の結果をセー
ブしておき、これを利用するようにすれば、暗号化や判
別の処理を重ねて行う必要はない。

【００８４】また、この発明は、レシピ選択したり校正
する実施例に限定されず、構造が実質的に同一で、プロ
グラム或いはソフトウエアで実現される機能が異なる処
理装置に広く適用可能である。

【００８５】上記実施の形態では、各ＣＶＤ装置３１に
ユニークな識別情報として、ＭＡＣアドレスを使用した
が、ユニークな値が得られるならば、任意の値やデータ
を使用することができる。

【００８６】なお、上記実施の形態においては、被処理
体としてウエハＷを例示したが、被処理体は液晶表示素
子やＰＤＰのガラス基板等でもよい。また、装置も、Ｃ
ＶＤ装置に限定されず、酸化装置、拡散装置、測定装置
等、任意である。

【００８７】さらに、コンピュータに、上述の図８、図
９に示す処理の全部又は一部の処理を実行させるための
プログラムを、ハードディスク装置、フラッシュメモリ
などの記録媒体に格納してシステムに組みむために用意
したり、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＭＯ（光磁気デ
ィスク）、ディジタル多機能ディスク、ＣＤ−ＲＯＭな
どに格納して配布したり、ネットワークを介して配布・
配信するようにしてもよい。

【００８８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ソフトウエアの不正使用を効率的を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態に係る処理システムの構
成を示す図である。

【図２】図１に示すＣＶＤ装置の構成例を示す図であ
る。

【図３】反応管内のゾーン構成を示す図である。

【図４】図２に示す制御部の構成例を示す回路図であ
る。

【図５】レシピの例を示す図である。

【図６】図４に示すプログラム記憶部に格納されるプロ
グラムの構成例を示す図である。

【図７】ＭＡＣアドレスを繰り返して暗号化する様子を
示す図である。

【図８】電源投入時の、初期設定処理の一部を説明する
ためのフローチャートである。

【図９】レシピ校正処理を説明するための図である。

【符号の説明】

１処理システム３処理装置５制御コンピュータ７ＬＡＮ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5B017 AA03 BA05 BA07 CA15 5B076 FB01 FB02 FB06 FB11 FB17 5J104 AA07 AA13 KA07 NA02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理体を処理する処理部と、固有のアドレスが予め割り付けられた通信装置と、所定の機能を実現するためのプログラムと前記固有のア
ドレスから生成されたキーとを予め記憶する記憶装置
と、前記記憶装置に記憶されたキーと前記通信装置に割り付
けられている固有のアドレスとが実質的に一致するか否
かを判別し、実質的に一致すると判別した場合に、前記
プログラムに基づいて前記処理部を制御して被処理体を
処理し、実質的に一致しないと判別した場合に、前記プ
ログラムに基づいた制御を停止する処理制御部と、を備えることを特徴とする処理システム。
【請求項２】前記記憶装置は、複数のプログラムを記憶
し、前記処理制御部は、前記キーの内容に従って、前記複数
のプログラムのうちのいずれかを選択的に起動して、前
記処理部を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の処理システム。
【請求項３】前記キーは、前記固有のアドレスを所定の
暗号化プロセスにより暗号化して生成され、前記処理制御部は、前記通信装置にアクセスして、割り
付けられてる固有のアドレスを読み出し、これを前記所
定の暗号化プロセスにより暗号化して暗号処理済データ
を作成し、該暗号処理済データと前記記憶装置に記憶さ
れているキーとが実質的に一致するか否かを判別する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の処理システ
ム。
【請求項４】前記記憶装置は、複数のプログラムを記憶
し、前記処理制御部は、前記キーに実質的に一致する暗号処
理済データの暗号化の回数を判別し、判別した暗号化の
回数に応じて、前記複数のプログラムのうちのいずれか
を選択的に起動して、前記処理部を制御する、ことを特徴とする請求項３に記載の処理システム。
【請求項５】前記固有のアドレスは、通信装置のＭＡＣ
（Media Access Control）アドレスから構成される、こ
とを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
処理システム。
【請求項６】前記キーは、保護対象のプログラムと一体
に記録されている、ことを特徴とする請求項１乃至５の
いずれか１項に記載の処理システム。
【請求項７】前記記憶装置に、他の処理システムのプロ
グラムとキーとが複製された場合に、前記処理制御部
が、前記記憶装置に複製されたキーとこの処理システム
の前記通信装置に割り付けられている固有のアドレスと
が実質的に一致していないと判定し、複製されたプログ
ラムに基づいた制御を停止する、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載
の処理システム。
【請求項８】予め割り付けられている通信アドレスと該
通信アドレスを用いて生成された識別符号とを記憶する
工程と、処理装置の動作を制御するための制御プログラムを実行
する実行工程と、予め割り付けられている固有の通信アドレスと記憶され
ている識別符号とを読み出し、対応するか否かを判別す
る判別工程と、判別工程において、実質的に対応すると判別された場合
に、前記実行工程での前記制御プログラムの実行を可能
とし、実質的に対応しないと判別された場合に、前記実
行工程での前記制御プログラムの実行を禁止する制御工
程と、を備えることを特徴とする実行対象プログラムの実行制
御方法。
【請求項９】通信機能を有する装置の動作機能を制御す
るためのプログラムであって、コンピュータに、通信装置に予め割り付けられているユニークな物理アド
レスを読み込み、これを所定のプロセスで暗号化する暗
号化工程と、前記暗号化工程で生成された暗号処理済データのいずれ
かと、予め記憶されている暗号キーとが、実質的に一致
するか否かを判別する工程と、一致すると判別された暗号化データに応じて、前記複数
のプログラムのうちのいずれかを選択的に実行可能する
工程と、を実行させるためのプログラム。