JP2019087735A - 太陽電池製造機器のプロセス編集、取得、保護方法及び装置 - Google Patents

太陽電池製造機器のプロセス編集、取得、保護方法及び装置 Download PDF

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Abstract

【課題】太陽電池製造機器のプロセス編集、取得、保護方法及び装置を提供する。【解決手段】太陽電池製造機器のプロセス編集及び取得方法、プロセスデータ保護方法、並びにその装置である。プロセス取得方法は、プロセス編集端末において太陽電池製造ライン上の製造機器のハードウェア情報を保存する工程Ｓ０１と、プロセス編集端末においてプロセス編集器によって少なくとも１つの製造機器の第１プロセスデータを編集する工程Ｓ０２と、プロセス編集端末に保存された製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ前記第１プロセスデータを暗号化して、製造機器の第１プロセスファイルを取得する工程Ｓ０３を有する。【選択図】図１

Description

＜関連出願と優先権主張の相互参照＞
本出願は、２０１７年１１月７日に中国庁に出願された中国特許出願第２０１７１１０８４８６４．６号「太陽電池製造機器のプロセス編集、取得、保護方法及び装置」の優先権を主張し、同出願の開示内容は参照によって本出願に組み込まれる。
本開示は太陽電池製造機器の分野に関し、特に太陽電池製造機器のプロセス編集、取得、保護方法及び装置に関する。
太陽電池製造機器の第１プロセスデータは複雑であり、特にプラズマ強化化学気相成長（Ｐｌａｓｍａ Ｅｎｈａｎｃｅｄ ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，ＰＥＣＶＤ）装置のようなコア製造装置の場合、データのセキュリティは非常に重要である。
従来では、太陽電池製造機器のプロセスデータは、主として特定の権限を有するプロセス作業者者により現場で製造機器のソフトウェアに書かれている。現場作業者の構成が混雑なので、データの漏洩は容易に発生する恐れがある。さらに、作業者の過失により、入力プロセスデータにエラーが発生し易い。
従来の技術では、太陽電池製造機器のプロセスデータは、主としてソフトウェア内部データとしての保存方式と、プロセスファイルとしての保存方式との２つの保存方式がある。前者の保存方式では、プロセスデータの安全性は高く、不正にコピーされることはできないが、別の機器に移行できないため、プロセスデータの入力ミスが発生し易い。これに対して、後者の保存方式では、データが移行しやすい長所があるが、不正にコピーされ易く、第１プロセスデータの漏洩の原因になる恐れがある。
本開示のいくつかの実施形態では、太陽電池製造機器のプロセス編集方法を提供する。前記プロセス編集方法は、
プロセス編集端末において、太陽電池製造ラインのハードウェア情報を保存する工程と、
プロセス編集端末において、プロセス編集器によって少なくとも１つの前記製造機器の第１プロセスデータを編集する工程と、
プロセス編集端末に保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じて、前記第１プロセスデータを暗号化して前記製造機器の第１プロセスファイルを取得する工程とを有する。
いくつかの実施形態では、前記第１プロセスファイルは、さらに編集パスワードを含む。前記編集パスワードは、パスワードの認証に成功した場合、第１プロセスファイルに対して前記第１プロセスデータを編集するように設定される。
いくつかの実施形態では、前記製造機器は、１台又は複数台の同一型番製造機器である。前記プロセス編集器は、１台又は複数台の同一型番製造機器の前記第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。
いくつかの実施形態では、前記プロセス編集方法は、可搬性メモリ又はネットワーク通信を介して前記第１プロセスファイルを製造機器に転送する工程を更に有する。
いくつかの実施形態では、前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣ（メディアアクセス制御）アドレス、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）のＣＰＵ番号のうちの１つ又は複数種を含む。
前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、スクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置、又は溶接装置を含む。
前記第１プロセスデータは、プロセス時間及び／又はガス流量を含む。
いくつかの実施形態では、前記製造機器はプラズマＣＶＤ装置であり、前記第１プロセスデータはプロセス時間及びガス流量を含む。
対応的に、いくつかの実施形態は、太陽電池製造機器のプロセス取得方法を更に提供する。前記プロセス取得方法は、
実行装置内の、太陽電池製造ライン上の製造機器の第１プロセスデータに対する制御部と、前記第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータに対する制御部をそれぞれ第１制御部と第２制御部として個別に配置する工程と、
前記第１制御部と前記第２制御部に対するＰＬＣを、それぞれ第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣとして個別に配置する工程であって、前記第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、
前記第１制御部用ＰＬＣは、前記第１プロセスデータを受信し、前記第１制御部の作動を制御するように構成される、工程と、
前記製造機器に、それぞれ前記製造機器のハードウェア情報が保存されるプロセス復号器を配置する工程と、
前記プロセス復号器は、前記製造機器が第１プロセスファイルを受信した後、前記第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証する工程と、
ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の前記第１プロセスファイル内の前記第１プロセスデータを前記第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する工程と、を有する。
いくつかの実施形態では、前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣ（メディアアクセス制御）アドレス、及びＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）のＣＰＵ番号の何れか１つ又は複数を含む。
前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、スクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含む。及び
前記第１プロセスデータは、プロセス時間及び／又はガス流量を含む。
相応的に、本開示のいくつかの実施形態は、更に、プロセス編集方法に用いられる太陽電池製造機器のプロセス編集装置を提供する。
前記プロセス編集装置は、太陽電池製造ライン上の前記製造機器のハードウェア情報を保存するためのハードウェア情報保存モジュールと、
前記製造機器の前記第１プロセスデータを編集し、ハードウェア情報保存モジュールに保存された前記ハードウェア情報及び暗号化方式に応じて前記第１プロセスデータを暗号化して、前記製造機器の前記第１プロセスファイルを取得するためのプロセス編集器を有する。
いくつかの実施形態では、前記プロセス編集器は、第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
前記第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットとを有する。
又は、前記プロセス編集器は、
第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
前記編集パスワード及び／又は前記第１プロセスファイルの暗号化パスワードを設定するためのパスワード設定ユニットと、
前記第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットと、
前記編集パスワードを認証するためのパスワード認証ユニットと、
前記編集パスワードが認証に成功した場合、前記第１プロセスファイルを復号化するための復号ユニットとを有する。
いくつかの実施形態では、前記プロセス編集器は、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、この１台又は複数台の同一型番の前記製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。
相応的に、いくつかの実施形態は、プロセス取得方法に用いられる太陽電池製造機器を提供する。前記太陽電池製造機器は、制御ホストと実行装置とを備える。
前記実行装置は、第１制御部、第１制御部用ＰＬＣ、第２制御部、及び第２制御部用ＰＬＣを有し、前記第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、前記第１制御部用ＰＬＣは、前記第１プロセスデータを受信し、前記第１制御部の作動を制御する。
前記制御ホストには、プロセス復号器と実行装置制御ソフトウェアが配置され、該プロセス復号器には、前記製造機器のハードウェア情報が保存されるプロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアが配置され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアとは、その間で前記第１プロセスデータの直接転送が禁止されるように構成されている。
前記制御ホストは、前記第１プロセスファイルを受信した後、前記プロセス復号器によって前記第１プロセスファイル内のハードウェア情報が前記プロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の前記第１プロセスデータを前記第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じて、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。
いくつかの実施形態では、前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）のＣＰＵ番号の何れか１つ又は複数を含む。
前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、スクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含む。
前記第１プロセスデータは、プロセス時間及び／又はガス流量を含む。
相応的に、本開示のいくつかの実施形態は、更に、太陽電池製造機器用のプロセスデータ保護方法を提供する。前記プロセスデータ保護方法は、
実行装置内の、太陽電池製造ライン上の製造機器の第１プロセスデータに対する制御部と、前記第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータに対する制御部とを、それぞれ第１制御部と第２制御部として個別に配置し、且つ前記第１制御部と前記第２制御部に対するＰＬＣを、それぞれ第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣとして個別に配置する工程であって、
前記第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、前記第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し前記第１制御部の作動を制御するように構成される、工程と、
製造機器の制御ホストにおいて、プロセス編集器、プロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアを配置する工程であって、前記制御ホストには太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器には前記製造機器のハードウェア情報が保存され、かつ、前記プロセス復号器は前記プロセス編集器に集積され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアとは、その間で前記第１プロセスデータの直接転送が禁止されるように構成される、工程と、
前記プロセス編集器によって、前記製造機器の第１プロセスデータを編集する工程と、
前記製造機器が現在製造機器でない場合、保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ前記第１プロセスデータを暗号化して、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得するし、前記第１プロセスファイルを前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器に転送し、前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器は、第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造装置の第１制御部用ＰＬＣに転送し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、且つ、前記製造装置の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じ、第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する工程と、
前記製造機器が現在製造機器である場合、編集済みの前記第１プロセスデータを現在製造機器の第１制御部用ＰＬＣに転送し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、且つ、現在製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じ、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する工程とを有する。
いくつかの実施形態では、前記第１プロセスファイルは、編集パスワードをさらに含む。前記編集パスワードは、パスワード認証が成功した場合、第１プロセスファイルに対して第１プロセスデータを編集できるように設定される。
いくつかの実施形態では、前記プロセスデータ保護方法は、更に、
前記製造機器が別の製造機器から転送された第１プロセスファイルを受信し、且つプロセス復号器が第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致すると認証した場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造機器上のプロセス編集器に転送し、
編集パスワードが認証に成功した場合、他の製造機器から転送された第１プロセスファイルを編集して前記他の製造機器の第１プロセスファイルを取得する工程を有する。
いくつかの実施形態では、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、前記プロセス編集器は、この１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。
相応的に、本開示のいくつかの実施形態は、更に、プロセスデータ保護方法に用いられる太陽電池製造機器のプロセスデータ保護装置を提供する。
前記プロセスデータ保護装置は、制御ホスト、及び実行装置を備え、前記制御ホストにはプロセス編集器、プロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアが配置される。前記制御ホストには、太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器には前記製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器は前記プロセス編集器に集積され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアは、その間で第１プロセスデータの直接転送は禁止されるように設置される。
実行装置内には、太陽電池製造ライン上の製造機器の第１プロセスデータと、前記第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータとに対する制御部はそれぞれ個別に配置される。実行装置内には、更に、前記第１制御部と前記第２制御部とにそれぞれ対する第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは、それぞれ個別に配置される。
第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し、第１制御部の作動を制御するように構成される。
プロセス編集器は、前記製造機器の第１プロセスデータを編集する。前記プロセス編集器は、以下のように構成される：前記製造機器が現在製造機器でない場合、保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、第１プロセスデータを暗号化して前記製造機器の第１プロセスファイルを取得し、そして前記第１プロセスファイルを製造機器の制御ホストのプロセス編集器に転送し、前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器は第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、かつ、前記製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じて、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御するし、これに対して、前記製造機器が現在製造機器である場合は、プロセス編集器が編集済みの前記第１プロセスデータを現在製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、且つ、現在製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された第２プロセスデータに応じ、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。
いくつかの実施形態では、前記プロセス編集器は、
前記第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットとを有するか、
又は、第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
編集パスワード及び／又は前記第１プロセスファイルの暗号化パスワードを設定するためのパスワード設定ユニットと、
第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットと、
編集パスワードを認証するためのパスワード認証ユニットと、
編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルを復号化するための復号ユニットとを有する。
いくつかの実施形態では、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器であり、前記プロセス編集器は、１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。
以下、実施形態に用いられる図面を参照して、本開示の実施形態又は関連技術に係わる発明を更に詳しく説明する。言うまでもなく、後述の図面は本開示の実施形態であり、これらの図面に基づいて当業者が別の図面を得ることもできる。
本開示の実施形態に係わる太陽電池製造機器のプロセス編集方法を示すフローチャートである。 本開示の実施形態に係わる太陽電池製造機器のプロセス取得方法を示すフローチャートである。 本開示の実施形態に係わる太陽電池製造機器のプロセス編集装置の構造を示す図である。 本開示の実施形態に係わる太陽電池製造機器の構造を示す図である。 本開示の実施形態に係わる太陽電池製造機器のプロセスデータ保護方法を示すフローチャートである。 本開示の実施形態に係わる太陽電池製造機器のプロセスデータ保護装置の構造を示す図である。
以下、図面を参照しながら本開示の例示的な実施形態を詳細的に説明する。同一又は類似のパラメータ、若しくは同一又は類似の機能を有する要素は、終始同一又は類似の参照符号が付される。図面を参照して説明される実施形態は例示的であり、本開示を説明するためのみに使用され、本開示を限定するものと意図しない。
本開示に関わる太陽電池製造機器のプロセス編集、取得、保護方法及び装置は、従来技術に存する第１プロセスデータが漏洩しやすいという課題を解決することを目的とする。
本開示の発明及び技術的効果をより良く理解するため、以下、フローチャートを参照しながら本開示の実施形態を詳細的に説明する。図１は、本開示の実施形態に関わる太陽電池製造機器のプロセス編集方法を示す第１フローチャートである。該方法は下記の工程を有する。
工程Ｓ０１：プロセス編集端末において、太陽電池製造ライン上の製造機器のハードウェア情報を保存する。
本実施形態では、前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置（ＰＥＣＶＤ）、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、スクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置、又は溶接装置を含むことができる。各製造機器は１台又は複数台であってもよいが、１台毎に独自のハードウェア情報を有する。
前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、メディアアクセス制御（Ｍｅｄｉａ Ａｃｃｅｓｓ Ｃｏｎｔｒｏｌ）アドレス（以下ＭＡＣアドレス、又は物理アドレスという）、プログラマブルロジックコントローラ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ、以下ＰＬＣという）のＣＰＵ番号などいくつかのハードウェア特性を含むが、これらに限定されない。
工程Ｓ０２：プロセス編集端末において、プロセス編集器によって少なくとも１つの前記製造機器の第１プロセスデータを編集する。
本実施形態では、前記製造機器は、前記第１プロセスデータを取得するための製造機器であり、前記製造機器は１台又は複数台の同一型番製造機器であり、前記プロセス編集器はこの１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。即ち前記製造機器は、製造ライン上のある１台の製造機器であっても、同一型番の複数台の製造機器であってもよく、ここでは限定しない。これにより、プロセス編集のバッチ処理が可能となり、プロセス編集の効率が大幅に向上され、現場で製造装置毎にプロセス編集を実行するときに発生するデータ入力ミスを回避することができる。
同一型番でない製造機器の第１プロセスデータは互いに異なる。例えば、前記製造機器がＰＥＣＶＤ（プラズマＣＶＤ装置）である場合、プロセスパラメータは、チャンバ圧力、チャンバ温度、プロセスガス、電源電力、プロセス時間などを含む。そのうち、第１プロセスデータはプロセス時間又はガス流量を含む。なお、言うまでもなく、本開示は、全部のプロセスデータをプロセス編集器によって編集するわけでなく、第１プロセスデータのみをプロセス編集器によって編集し、これに対して、チャンバ圧力、チャンバ温度、プロセスガス、電源電力、プリベーク温度などのような非第１プロセスデータは、現場の製造機器本体において編集してもよい。また、例えば、ドライエッチング装置の第１プロセスデータは、プロセス時間、ガス流量及びＲＦ電力であり、スパッタリング装置の第１プロセスデータは、プロセス時間、プロセス温度及び昇温速度であり、研磨装置の第１プロセスデータは、プロセス時間、圧力、研磨速度等であり、ここでは一々列挙しない。なお、異なる第１プロセスデータは、その制御部が異なってもよいと理解されたい。例えば、プロセス時間とガス流量はガスフローバルブによって制御され、ＲＦ電力はＲＦジェネレータによって制御され、プロセス温度は温度制御部によって制御され、研磨速度はモータによって制御されてもよい。また、同一型番の各機器の間には、一定の個体差がある、例えば、この機器での１００℃は他の機器での１０３℃に相当するので、統一に編集されたプロセスパラメータが各機器で高精度に実行され、良好なプロセスの一貫性を達成するように、校正補正値を機器毎に設定することも考えられる。
工程Ｓ０３：プロセス編集端末に保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、第１プロセスデータを暗号化し、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得する。
本実施形態では、暗号化方式としては、当業者であれば、必要に応じて適宜な暗号化方式を利用すればよく、例えば、ＤＥＳ、３ＤＥＳ、ＩＤＥＡ、ＲＳＡ、ＡＥＳ、ＢＬＯＷＦＩＳＨなどの何れか１つの暗号化アルゴリズムを利用してもよい。いくつかの実施形態では、暗号鍵を生成する過程に、暗号化回数の変更も利用される、例えば、一重暗号化の代わりに多重暗号化を実行したり、及び、多重暗号化で各重毎に非同一の暗号方法の組み合わせを使用する。ここでは詳しく列挙しない。具体的には、プロセス編集器には製造ライン上のＰＥＣＶＤ機器のハードウェア情報が保存され、第１プロセスデータを生成する場合、対応する機器を選択してそのハードウェア情報に応じて第１プロセスファイルを生成する必要がある。また、プロセス編集器は、同一型番の複数台の製造機器の前記プロセスファイルを編集可能であり、この場合、製造機器のハードウェア情報が暗号鍵に含まれていなく、そして製造機器のハードウェア情報を利用して前記プロセスファイルを暗号化する、例えば、第１プロセスファイルの暗号化パスワードを生成する。
いくつかの実施形態では、前記第１プロセスファイルは編集パスワードをさらに含む。プロセスファイルの生成後、プロセスファイルを編集しようとする場合、編集パスワードが認証に成功した前提下で、第１プロセスファイルに対して第１プロセスデータの編集を実行する必要がある。言い換えれば、第１プロセスファイルを生成する場合、専用パスワードの設定が必要となり、プロセス編集器によって該第１プロセスファイルを再度開く際に、パスワード認証が成功して、初めて編集は可能となる。第１プロセスデータは、多重に暗号化されるので、情報の安全性が効果的に確保される。
は、プロセス編集の途中で一時的に離れる場合、機器のソフトウェアを正常通りに作動させるまま、プロセス編集器をロックすることができるので、編集過程中の第１プロセスデータの漏洩を回避できる。
いくつかの実施形態では、前記プロセス編集方法は、可搬性メモリ又はネットワーク通信を介して、第１プロセスファイルを前記製造機器に転送する工程を更に有する。
１つの実施形態では、ＰＥＣＶＤを例として本開示を説明する。プロセス編集器は、暗号化された第１プロセスファイルの作成、開封、編集及び生成を担当する。第１プロセスファイルの内容は、該ファイル自体のパスワード、ＰＥＣＶＤ機器に対応する種々のハードウエア情報（機器のコンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号などを含む種々の機器ハードディスク特徴）、及び第１プロセスデータ自体を含む。
本開示に係る太陽電池製造機器のプロセス編集方法は、プロセス編集端末において太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報を保存する工程と、プロセス編集端末においてプロセス編集器によって、前記製造機器の第１プロセスデータを編集する工程と、プロセス編集器に保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、第１プロセスデータを暗号化して、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得する工程とを有する。プロセス編集用の端末を製造機器と分離させ、例えば、現場の製造機器のコンピュータによってプロセスを編集するではなく、安全性のより高いコンピュータによってオフラインプロセス編集を実行するので、製造機器周辺の人員が第１プロセスデータを取得する可能性を効果的に低減すると共に、第１プロセスデータの編集後に、前記製造機器のハードウェア情報に応じて第１プロセスデータを暗号化することができる。アルゴリズムのみによって暗号化する従来の方法に比べ、本開示は、コンピュータのハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵの番号など機器のハードウェア情報の一部の独特な特性を配慮したため、たとえ暗号化ルールがクラッキングされていても、ハードウェア情報が独特な特性を有するため、最終のプロセスパラメータがクラッキングされにくくなり、データの安全性は大幅に向上される。
図２は、本開示の実施形態に係る太陽電池製造機器のプロセス取得方法を示すフローチャートである。
本実施形態では、該プロセス取得方法は下記の工程を含む。
工程Ｓ２１：製造機器の第１プロセスデータの制御部に、第１制御部用ＰＬＣとしてそれぞれＰＬＣを個別に配置して、第１プロセスデータの制御部を実行装置から独立させる。第１制御部用ＰＬＣは、第２制御部用ＰＬＣと通信接続される。第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し、第１制御部の作動を制御する。第１プロセスデータの制御部は第１制御部と呼ばれる。制御部の他の部材は第２制御部と呼ばれる。前記第２制御部は、第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータを実行する。
これにより、第２制御部用ＰＬＣも第１プロセスデータを取得することができないので、プロセスデータの安全性はさらに向上される。
本実施形態では、製造機器は、制御ホスト及び実行装置を備える。制御ホストは、プロセス復号器、実行装置制御ソフトウェアを有する。実行装置は、独立した第１プロセスデータの制御部及びそのＰＬＣ（即ち、第１制御部用ＰＬＣ）、第２制御部及び第２制御部ＰＬＣを有する。プロセス復号器と実行装置制御ソフトウェアとの間では、第１プロセスデータの直接的な転送が禁止される。言い換えれば、第１プロセスデータは、プロセス復号器から取得されてから、実行装置制御ソフトウェアを経由することがなく、第１制御部用ＰＬＣへ直接転送されるので、機器の作業者は第１プロセスデータを見ることができない。実行装置制御ソフトウェアは、第２制御部用ＰＬＣと直接通信し、非第１プロセスデータは、ローカル実行装置制御ソフトウェアにおいて入力され、そして、第２制御部用ＰＬＣによって第２制御部の作動を制御する。
工程Ｓ２２；各製造機器において、１種のみの製造機器のハードウェア情報が保存されるプロセス復号器をそれぞれ配置する。こうして、１台の製造機器は、自体に対応する第１プロセスファイルのみを実行することとなり、第１プロセスデータを間違って使用することを回避すると共に、他の製造機器によって第１プロセスファイルを復号化することに起因する第１プロセスデータの漏洩を防止することができる。
本実施形態では、製造機器毎に１つのプロセス復号器が配置され、且つ該製造機器とバインドされている。例えば、各プロセス復号器内に保存された１種のみの製造機器のハードウェア情報は、プロセス復号器の取り付け時に作業者によって入力されたものであってもよいが、プロセス復号器の取り付け時に所在の製造機器のハードウェア情報を自動的に読み取り、そしてプロセス復号器に固定化されたものであってもよい。該ハードウェア情報は、機器のコンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号などを含む種々のハードディスク特徴を含むが、これに限定されるものではない。又は、プロセス復号器が第１プロセスファイルを受信した後、第１プロセスファイルを復号化するため、初期に所在製造機器から読み取ったハードウェア情報であっても良い。
これにより、プロセス編集器とプロセス復号器とを実質的に非同一の端末に個別に配置し、プロセスのオフライン編集が可能となり、且つプロセス編集を安全性の高い環境で実行し、暗号化して第１プロセスファイルを取得する。製造機器のは、暗号化された第１プロセスファイルのみを見ることができ、第１プロセスデータを見ることができず、データ漏洩を効果的に防止することができる。
本実施形態では、以上のように、製造機器が第１プロセスデータを間違えて利用することを回避することができる。
具体的には、前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、シルクスクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含む。
工程Ｓ２３：製造機器は、第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証する。
本実施形態では、プロセス復号器の復号処理及び認証処理は、従来の技術と同一であってもよく、例えば、プロセス復号器の復号処理及び認証処理は、まずプロセスファイルを認識し、次に復号化し、更にプロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証する工程を有してもよい。前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号のいずれか１つ又は複数を含む。
工程Ｓ２４：ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１プロセスデータを制御するし、実行装置制御ソフトウェアは入力されたプロセスデータに応じてプロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。
具体的には、ＰＥＣＶＤを例として説明すれば、プロセス復号器は第１プロセスファイルを復号化させた後、ＰＥＣＶＤ機器のハードウェア情報が第１プロセスファイルと一致しているか否かを認証し、一致する場合、第１プロセスデータをＰＥＣＶＤ機器のソフトウェア又はＰＥＣＶＤ機器のＰＬＣに導入する。ＰＥＣＶＤ機器を例にする場合、前記第１プロセスデータは、プロセス時間及びガス流量を含む。
本開示に係る太陽電池製造機器のプロセス取得方法では、製造機器にはプロセス編集器が配置されず、プロセス復号器のみが配置され、製造機器に受信された第１プロセスファイルは暗号化されたファイルであり、機器の作業者は第１プロセスデータを見ることができなく、データの安全性は大幅に向上される。
図３は、本開示の実施形態に係る太陽電池製造機器のプロセス編集装置の構造を示す図である。
本実施形態では、該太陽電池製造機器のプロセス編集装置は、太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報を保存するためのハードウェア情報保存モジュールを有する。前記プロセス編集装置は、更に、前記製造機器の第１プロセスデータを編集すると共に、ハードウェア情報保存モジュールに保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じて、第１プロセスデータを暗号化し前記製造機器の第１プロセスファイルを取得するプロセス編集器を有する。
いくつかの実施形態では、前記プロセス編集器は、第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットとを有する。又は、前記プロセス編集器は、第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、編集パスワード及び／又は前記第１プロセスファイルの暗号化パスワードを設定するためのパスワード設定ユニットと、第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットと、編集パスワードを認証するためのパスワード認証ユニットと、編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルを復号化するための復号ユニットとを有する。
製造ライン上の同一型番の機器が通常として複数台を有し、その第１プロセスデータは同一である。手動によるコピーミスを避けるため、前記プロセス編集器は、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、この１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。
いくつかの実施形態では、第１プロセスファイルを便利に転送させるため、前記プロセス編集装置は、更に、第１プロセスファイルを前記製造機器に転送するための可搬性メモリ、及び／又は各製造機器のホストに接続してネットワーク通信を介して第１プロセスファイルを前記製造機器に転送するネットワークを有する。
図４は、本開示の実施形態に係る太陽電池製造機器の構造を示す図である。
本実施形態では、該太陽電池生産設備は、制御ホストと実行装置を備え、前記実行装置は、第１制御部と、第１制御部用ＰＬＣと、第２制御部と、第２制御部用ＰＬＣとを有し、第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し、第１制御部の作動を制御する。
前記制御ホストには、前記製造機器のハードウェア情報が保存されるプロセス復号器と、実行装置制御ソフトウェアが配置されている。プロセス復号器と実行装置制御ソフトウェアとの間では、第１プロセスデータの直接転送が禁止される。
前記制御ホストは、第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器に保存されたハードウェア情報と一致するか否かを認証し、一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを第１制御部用ＰＬＣに導入し、第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、実行装置制御ソフトウェアは、入力されたプロセスデータに応じてプロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。ここでは、前記ハードウェア情報は、機器のコンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号など種々のハードウェア特徴を含むが、これに限定されない。
具体的には、前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、シルクスクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含む。前記製造機器はプラズマＣＶＤ装置である場合、前記第１プロセスデータは、プロセス時間及びガス流量を含む。
他の実施形態において、本開示は太陽電池製造機器のプロセスデータ保護方法を提供する。本実施形態では、プロセス編集器とプロセス復号器を同一製造機器内に配置することにより、オンラインプロセス編集機能を実現する。図５は、本開示の一実施形態に係る太陽電池製造機器のプロセスデータ保護方法のフローチャートである。
本実施形態において、太陽電池製造機器のプロセスデータ保護方法は、当該方法は下記の工程含む。
工程Ｓ５１：製造機器の第１プロセスデータの制御部のために、第１制御部用ＰＬＣとしてのＰＬＣをそれぞれ個別に配置して、第１プロセスデータの制御部を実行装置から独立させる。第１制御部用ＰＬＣは、第２制御部用ＰＬＣと通信接続される。第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し、第１制御部の作動を制御する。
工程Ｓ５２：製造機器の制御ホストにおいて、プロセス編集器、プロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアを配置する。制御ホストには、太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報が保存され、プロセス復号器には1種のみの製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器は前記プロセス編集器に集積され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアとは、その間で前記第１プロセスデータの直接転送が禁止される。
工程Ｓ５３：プロセス編集器によって、前記製造機器の第１プロセスデータを編集する。
工程Ｓ５４：前記製造機器が現在製造機器でない場合、保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ前記第１プロセスデータを暗号化して、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得し、そして前記第１プロセスファイルを前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器に転送し、前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器は、第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造装置の第１制御部用ＰＬＣに転送し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、前記製造装置の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じ、第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。
本実施形態では、可搬性メモリ又はネットワーク通信を介してファイルを転送する。
工程Ｓ５５：前記製造機器が現在製造機器である場合、編集済みの第１プロセスデータを現在製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、現在製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された第２プロセスデータに応じ、第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。
いくつかの実施形態では、前記第１プロセスファイルは、編集パスワードをさらに含む。プロセスファイルの生成後にプロセスファイルを編集しようとする場合、編集パスワードが認証に成功した後に、第１プロセスファイルに対して第１プロセスデータ編集を実行する必要がある。作業者がプロセスを編集する途中、一時的に現場を離れる場合、機器のソフトウェアを正常通りに作動させるまま、プロセス編集器をロックすることができるので、第１プロセスデータの編集過程での漏洩を回避することができる。
いくつかの実施形態では、前記プロセスデータ保護方法は、更に、以下の工程を有する。
前記製造機器が別の製造機器から転送された第１プロセスファイルを受信し、且つプロセス復号器が第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致すると認証した場合、第１プロセスファイル又は復号化後の第１プロセスデータを同一製造機器上のプロセス編集器に転送する。これにより、製造機器のプロセス編集器に外部から転送された第１プロセスファイルを取得可能にして、ローカル編集に有利である。さらに、ローカル編集された第１プロセスファイルは、他の製造機器に転送されることも可能であり、プロセス編集及びファイル転送の柔軟性と便利性を大幅に向上させた。
編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルに対するプロセス編集を実行し、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得する。前記製造機器は、現在製造機器であってもよく、他の製造機器であってもよい。
いくつかの実施形態では、本開示のプロセスデータ保護方法は、第１プロセスファイルは認証に成功し他の機器への移行が必要な場合、プロセス編集器によって第１プロセスファイルを開き、そして他の機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成することができる。
第１プロセスファイルは、可搬性メモリ又はネットワーク通信を介して前記製造機器に転送される。
具体的には、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、前記プロセス編集器は、この１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、スクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置の何れか１つ又は複数を含む。
図６は、本開示の一実施形態に係る太陽電池製造機器のプロセスデータ保護装置の構造を示す図である。
該太陽電池製造機器のプロセスデータ保護装置は、制御ホストと実行装置とを備える。制御ホストには、プロセス編集器、プロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアが配置される。また、制御ホストには、太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報が保存され、プロセス復号器には１種のみの製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器は前記プロセス編集器に集積され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアはその間で第１プロセスデータの直接転送は禁止されるように設置される。
製造機器の第１プロセスデータの制御部のために、第１制御部用ＰＬＣとしてのＰＬＣはそれぞれ個別に配置され、第１プロセスデータの制御部を実行装置から独立させる。第１制御部用ＰＬＣは、第２制御部用ＰＬＣと通信接続される。第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し、第１制御部の作動を制御する。
プロセス編集器は、前記製造機器の第１プロセスデータを編集し、前記製造機器が現在製造機器でない場合、保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、第１プロセスデータを暗号化して前記製造機器の第１プロセスファイルを取得し、そして前記第１プロセスファイルを前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器に転送し、前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器は、第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、前記製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じて、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する。
具体的には、前記プロセス編集器は、前記第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットとを有する。又は、前記プロセス編集器は、第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、編集パスワード及び／又は前記第１プロセスファイルの暗号化パスワードを設定するためのパスワード設定ユニットと、第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットと、編集パスワードを認証するためのパスワード認証ユニットと、編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルを復号化するための復号ユニットとを有する。
前記プロセス編集器は他の製造機器から転送された第１プロセスファイルを受信し、且つ、前記プロセス復号器は第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証する。前記プロセス編集器は、ハードウェア情報が一致し、編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルに対するプロセス編集を実行し、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得し、そして可搬性メモリ可搬性メモリ又はネットワーク通信方法を介して、第１プロセスファイルを前記製造機器に転送する。
例えば、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、前記プロセス編集器は１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する。前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、シルクスクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置の何れか１つ又は複数を含む。前記製造機器がプラズマＣＶＤ装置である場合、前記第１プロセスデータは、プロセス時間及びガス流量を含む。
この明細書の説明では、多くの内容は細部まで説明されたが、本開示の実施形態は、これらの具体的な細部がないままで実施し得ると理解されるべきである。幾つかの実施形態において、この明細書に対する理解がより明確にするため、公知の方法、構造及び技術を詳細に示していない。
同様に、本開示の記載を簡素化し、各態様の１つ又は複数に対する理解を容易にするため、上述した例示的な実施形態中の記載では、本開示の各特徴は、単一の実施形態、図又はその記載に組み合わされることがある。しかしながら、開示された方法は、「保護しようとする本開示は、各請求項に明確に記載された特徴よりも多くの特徴を主張する」と意図しないと解されるべきである。
当業者であれば、実施形態の装置におけるモジュールを適宜変更し、それらを上述実施形態と異なった１つ又は複数の装置に配置することができると理解されるでしょう。又は、実施形態のモジュール、ユニット又は素子は、１つのモジュール、ユニット又は素子に組み合わされてもよく、さらに、それらは、複数のサブモジュール、サブユニット又はサブ素子に分割されてもよい。このような特徴及び／又は過程又はユニット中の少なくとも幾つかが互いに排他的であることを除き、本明細書（特許請求の範囲、要約書及び図面を含む）に開示される全ての特徴、全ての方法若しくは装置の全ての過程又はユニットは、適宜組み合わされてもよい。本明細書（特許請求の範囲、要約書、及び図面を含む）に開示された各特徴は、明確に記載されていない限り、同一、同等又は類似目的を果たす代替特徴によって置き換え可能である。
さらに、当業者であれば、ここで言及される実施形態は、他の実施形態の特徴の一部を含み、異なった実施形態の組み合わせは、本開示の範囲内で異なった実施形態を形成しうることを意図する。例えば、特許請求の範囲には、保護しようとする実施形態のいずれか一つは、適宜に組合わせ可能である。
本開示の各部材に関する実施形態は、ハードウェアによって実現されるか、又は１つ又は複数のプロセッサで実行されるソフトウェアモジュールによって実現されるか、又はそれらの組み合わせによって実現される。当業者であれば、実務上ではマイクロプロセッサ又はデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）により、本開示の実施形態に係る、マルチ操作端末による単一操作対象の遠隔操作に用いるシステムにおける機能の一部又は全部を実現すると理解されるべきものである。本開示は、本明細書に記載された方法の一部又は全部を実行するための機器又はシステムプログラム（コンピュータプログラム及びコンピュータプログラム製品など）として実施されてもよい。このような本開示を実施するプログラムは、コンピュータ可読媒体に保存されてもよく、又は１つ又は複数の信号を有する形であってもよい。このような信号は、インターネットのウェブサイトからダウンロードされるか、又はキャリア信号から提供されるか、又は他の如何なる形態で提供される。
上述実施形態は、本開示を限定するものでなく、本開示を例示するものであり、当業者は、特許請求の範囲から逸脱しない範囲内で実施形態の代替案を提出することができることに注意されたい。特許請求の範囲においては、括弧内に位置付けられた如何なる参照符号が特許請求の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。「有する」という単語は、特許請求の範囲に記載されていない素子又は工程などを排除するわけではない。素子に先行する単語「１つ」又は「１台」は、このような素子が複数存在することを排除するものではない。本開示は、いくつかの異なる素子を有するハードウェア、及び適切にプログラムされたコンピュータによって実施可能である。いくつかのシステムが挙げられたユニット請求項において、これらのシステムの複数は、同一のハードウェアによって具現可能である。単語「第１」、「第２」、「第３」などの言葉は、順番を示すものではなく、これらの単語は名称として解されるべきである。

Claims (15)

  1. プロセス編集端末において、太陽電池生産ラインの製造機器のハードウェア情報を保存する工程と、
    プロセス編集端末において、プロセス編集器によって少なくとも１つの前記製造機器の第１プロセスデータを編集する工程と、
    プロセス編集端末に保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、前記第１プロセスデータを暗号化して、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得する工程とを有する、太陽電池製造機器のプロセス編集方法において、
    好ましくは、前記製造機器は、１台又は複数台の同一型番製造機器であり、前記プロセス編集器は、１台又は複数台の同一型番製造機器の前記製造機器のための前記第１プロセスファイルをバッチ的に生成し、
    好ましくは、前記プロセス編集方法は、可搬性メモリ又はネットワーク通信を介して前記第１プロセスファイルを前記製造機器に転送する工程をさらに有する
    ことを特徴とする太陽電池製造機器のプロセス編集方法。
  2. 前記第１プロセスファイルは編集パスワードを更に含み、
    前記編集パスワードは、編集パスワードが認証に成功した場合、前記第１プロセスファイルに対して第１プロセスデータの編集を実行する、ことを特徴とする請求項１に記載のプロセス編集方法。
  3. 前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号のいずれか１つ又は複数を含み、
    前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、シルクスクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含み、
    前記第１プロセスデータは、プロセス時間及び／又はガス流量を含む、
    ことを特徴とする請求項１に記載のプロセス編集方法。
  4. 前記製造機器はプラズマＣＶＤ装置であり、前記第１プロセスデータはプロセス時間及びガス流量を含む、ことを特徴とする請求項３に記載のプロセス編集方法。
  5. 実行装置内の、太陽電池製造ライン上の製造機器の第１プロセスデータに対する制御部と、前記第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータに対する制御部をそれぞれ第１制御部と第２制御部として個別に配置する工程と、
    前記第１制御部と前記第２制御部に対するＰＬＣを、それぞれ第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣとして個別に配置する工程であって、前記第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、
    前記第１制御部用ＰＬＣは、前記第１プロセスデータを受信し、前記第１制御部の作動を制御する、工程と、
    前記製造機器において、前記製造機器のハードウェア情報が保存されるプロセス復号器をそれぞれ配置する工程と、
    前記プロセス復号器は、前記製造機器が第１プロセスファイルを受信した後、前記第１プロセスファイル内のハードウェア情報が前記プロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証する工程と、
    ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の前記第１プロセスファイル内の前記第１プロセスデータを前記第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する工程とを有する、
    ことを特徴とする太陽電池製造機器のプロセス取得方法。
  6. 前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号のいずれか１つ又は複数を含み、
    前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、シルクスクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含み、
    前記第１プロセスデータは、プロセス時間及び／又はガス流量を含む、
    ことを特徴とする請求項５に記載のプロセス取得方法。
  7. 太陽電池製造ライン上の前記製造機器のハードウェア情報を保存するためのハードウェア情報保存モジュールと、
    前記製造機器の前記第１プロセスデータを編集し、ハードウェア情報保存モジュールに保存された前記ハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、前記第１プロセスデータを暗号化して前記製造機器の前記第１プロセスファイルを取得するためのプロセス編集器とを備え、
    好ましくは、前記プロセス編集器は、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する、
    ことを特徴とする請求項１に記載のプロセス編集方法に用いられる太陽電池製造機器のプロセス編集装置。
  8. 第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
    前記第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットとを有するか、又は、
    第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
    前記編集パスワード及び／又は前記第１プロセスファイルの暗号化パスワードを設定するためのパスワード設定ユニットと、
    前記第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットと、
    前記編集パスワードを認証するためのパスワード認証ユニットと、
    前記編集パスワードが認証に成功し場合、前記第１プロセスファイルを復号化するための復号ユニットとを有する、請求項７に記載のプロセス編集装置。
  9. 制御ホストと実行装置とを備え、
    前記実行装置は、第１制御部と、第１制御部用ＰＬＣと、第２制御部と、第２制御部用ＰＬＣとを有し、前記第１制御部用ＰＬＣと前記第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、前記第１制御部用ＰＬＣは第１プロセスデータを受信し、前記第１制御部の作動を制御し、
    前記制御ホストには、プロセス復号器と実行装置制御ソフトウェアが配置され、前記プロセス復号器には前記製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアとは、その間で第１プロセスデータの直接転送が禁止されるように構成され、
    前記制御ホストは、第１プロセスファイルを受信した後、前記プロセス復号器によって前記第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御するし、前記実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じ、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御するように構成される、
    ことを特徴とする請求項５に記載のプロセス取得方法に用いられる太陽電池製造機器。
  10. 前記ハードウェア情報は、コンピュータハードディスク番号、ＭＡＣアドレス、ＰＬＣのＣＰＵ番号などの何れも１つ又は複数を含み、
    前記製造機器は、プラズマＣＶＤ装置、ＰＶＤコーティング装置、ドライエッチング装置、スクリーン印刷装置、スパッタリング装置、研磨装置、ウェットエッチング装置、ラミネート装置又は溶接装置を含み、
    前記第１プロセスデータは、プロセス時間及び／又はガス流量を含む
    ことを特徴とする請求項９に記載の太陽電池製造機器。
  11. 実行装置内の、太陽電池製造ライン上の製造機器の第１プロセスデータに対する制御部と、前記第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータに対する制御部をそれぞれ第１制御部と第２制御部として個別に配置し、そして、前記第１制御部と前記第２制御部に対するＰＬＣを、第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣとしてそれぞれ個別に配置する工程であって、
    前記第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、前記第１制御部用ＰＬＣは、前記第１プロセスデータを受信し、前記第１制御部の作動を制御する、工程と、
    前記製造機器の制御ホストにおいて、プロセス編集器、プロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアを配置する工程であって、制御ホストには太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報が保存され、プロセス復号器には前記製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器は前記プロセス編集器に集積され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアとは、その間で前記第１プロセスデータの直接転送が禁止されるように構成される、工程と、
    プロセス編集器によって、前記製造機器の第１プロセスデータを編集する工程と、
    前記製造機器が現在製造機器でない場合、保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ前記第１プロセスデータを暗号化して、前記製造機器の第１プロセスファイルを取得し、そして前記第１プロセスファイルを前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器に転送し、前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器は、第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造装置の第１制御部用ＰＬＣに転送し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、且つ、前記製造装置の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じ、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する工程と、
    前記製造機器が現在製造機器である場合、編集済みの前記第１プロセスデータを現在製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、且つ、現在製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された第２プロセスデータに応じ、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する工程と、を有する
    ことを特徴とする太陽電池製造機器のプロセスデータ保護方法。
  12. 第１プロセスファイルは編集パスワードをさらに含み、前記編集パスワードは、編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルに対して第１プロセスデータの編集を実行可能に設定される、ことを特徴とする請求項１１に記載のプロセスデータ保護方法。
  13. 前記製造機器が別の製造機器から転送された第１プロセスファイルを受信し、且つプロセス復号器が第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致すると認証した場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造機器上のプロセス編集器に転送し、
    編集パスワードが認証に成功した場合、他の製造機器から転送された第１プロセスファイルを編集して前記他の製造機器の第１プロセスファイルを取得する工程を、更に有し、
    好ましくは、前記プロセス編集器は、前記製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、この１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する、ことを特徴とする請求項１２に記載のプロセスデータ保護方法。
  14. 制御ホストと実行装置とを備え、
    制御ホストには、プロセス編集器、プロセス復号器及び実行装置制御ソフトウェアが配置され、且つ制御ホストには、太陽電池製造ライン上の各製造機器のハードウェア情報が保存され、プロセス復号器には前記製造機器のハードウェア情報が保存され、前記プロセス復号器は前記プロセス編集器に集積され、前記プロセス復号器と前記実行装置制御ソフトウェアはその間で第１プロセスデータの直接転送は禁止されるように構成され、
    実行装置内には、太陽電池製造ライン上の製造機器の第１プロセスデータと、前記第１プロセスデータと異なる第２プロセスデータとに対する制御部はそれぞれ個別に配置され、更に、前記第１制御部と前記第２制御部とにそれぞれ対する第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは、個別に配置され、
    第１制御部用ＰＬＣと第２制御部用ＰＬＣは通信接続され、第１制御部用ＰＬＣは、第１プロセスデータを受信し第１制御部の作動を制御し、
    プロセス編集器は、前記製造機器の第１プロセスデータを編集し、且つ、前記プロセス編集器は以下のように構成される：
    前記製造機器が現在製造機器でない場合は、プロセス編集器が保存された前記製造機器のハードウェア情報及び暗号化方式に応じ、第１プロセスデータを暗号化して前記製造機器の第１プロセスファイルを取得し、そして前記第１プロセスファイルを前記製造機器の制御ホストのプロセス編集器に転送し、前記製造機器のプロセス編集器が第１プロセスファイルを受信した後、プロセス復号器によって第１プロセスファイル内のハードウェア情報がプロセス復号器内のハードウェア情報と一致するか否かを認証し、ハードウェア情報が一致する場合、復号化後の第１プロセスデータを前記製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入して、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、また、前記製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された前記第２プロセスデータに応じて、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御し、これに対して、前記製造機器が現在製造機器である場合は、プロセス編集器が編集済みの前記第１プロセスデータを現在製造機器の第１制御部用ＰＬＣに導入し、復号化後の第１プロセスデータを実行するように第１制御部を制御し、且つ、現在製造機器の実行装置制御ソフトウェアは、入力された第２プロセスデータに応じ、前記第２プロセスデータを実行するように第２制御部を制御する、ことを特徴とする請求項１１に記載のプロセスデータ保護方法に用いられる太陽電池製造機器のプロセスデータ保護装置。
  15. 前記プロセス編集器は、
    第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
    第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットとを有するか、又は、
    第１プロセスのパラメータデータを編集するための第１プロセスデータ編集ユニットと、
    編集パスワード及び／又は第１プロセスファイルの暗号化パスワードを設定するためのパスワード設定ユニットと、
    第１プロセスファイルを生成するための第１プロセスファイル生成ユニットと、
    編集パスワードを認証するためのパスワード認証ユニットと、
    編集パスワードが認証に成功した場合、第１プロセスファイルを復号化するための復号ユニットとを有し、
    好ましくは、前記プロセス編集器は、製造機器が１台又は複数台の同一型番製造機器である場合、この１台又は複数台の同一型番製造機器のための第１プロセスファイルをバッチ的に生成する、ことを特徴とする請求項１４に記載のプロセスデータ保護装置。
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