CN102542143B - 工艺数据的获取、存储方法和装置以及工艺数据处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工艺数据的获取、存储方法和装置以及工艺数据处理系统，其中，所述工艺数据的获取方法包括：依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，以获得工艺参数值明文。本发明可以保证工艺数据，特别是关键的工艺数据的安全性。

Description

工艺数据的获取、存储方法和装置以及工艺数据处理系统

技术领域

本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种工艺数据的获取方法及装置、一种工艺数据的存储方法及装置以及一种工艺数据处理系统。

背景技术

随着单个工艺技术的发展，以及工艺过程的日趋复杂、系统化程度越来越高，工艺过程自动化控制技术也应用得更加广泛。目前较为通用的一种工艺过程自动化控制技术为Recipe技术。

Recipe即工业自动化制造中的秘方，其内容包含工艺过程中的多个步骤，以及各个步骤中的各种工艺参数值和本步骤持续时间。在自动化生产过程中，生产线设备可以依据Recipe的内容完成对物料的加工，产品的质量可通过调整Recipe来改进，所以一个先进的Recipe对提升产品价值有着非常重要的作用，尤其是在半导体生产业。

生产线设备的控制架构涉及上位机程序与下位机程序的交互，对Recipe的管理就实现在下位机程序中，Recipe的工艺数据保存为XML文件，统一存放在下位机上。用户通过上位机程序的操作界面可以进行查看Recipe、编辑Recipe、保存Recipe、导出Recipe等操作。在已有的Recipe操作技术中，如果用户都是通过上位机程序进行Recipe的操作，那么对于工厂的生产线而言是一种安全的可控的行为，因为用户都是经过权限验证，并且相关的操作都会形成日志记录，一旦发生重要Recipe工艺参数泄露问题可以依据日志追查，进而保证工厂的核心生产加工数据的安全。

但是，如果有用户不通过上位机程序而是直接登录到下位机，通过磁盘拷贝、网络拷贝等方式即可轻松地获取所有Recipe的XML文件。由于目前已有的工艺数据XML文件中的数据是以明文形式存在的，一旦XML文件被拷贝，一些关键的工艺数据，如工艺配方数据无需经过处理很容易就被获得。对于现有的Recipe管理方式来说，无法避免这类问题的发生，从而造成很大的安全隐患。

因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：如何能够创新地提出一种工艺数据的获取机制，用以保证工艺数据，特别是关键的工艺数据的安全性。

发明内容

本发明提供一种工艺数据的存取方法、装置以及一种工艺数据处理系统，用以保证工艺数据，特别是关键的工艺数据的安全性。

为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种工艺数据的获取方法，包括：

依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，以获得工艺参数值明文。

优选的，所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，由下位机执行所述查找工艺数据文件和解析工艺数据文件的操作；所述的方法还包括：

上位机依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求。

优选的，所述按照预置解密规则对工艺参数值密文进行解密的步骤包括：

下位机获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

优选的，所述解密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；

或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

优选的，所述利用解密密钥对工艺参数值密文进行解密的步骤进一步包括：

针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

优选的，所述的方法，还包括：

所述下位机保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据，并在所述上位机展示所述工艺数据。

优选的，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的工艺数据获取请求中包括Recipe的ID；

所述下位机依据所述请求查找对应的工艺数据文件的步骤进一步包括：

所述下位机依据工艺数据获取请求中Recipe的ID，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径。

优选的，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值；所述工艺数据文件为XML文件。

优选的，所述下位机保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据，并在所述上位机展示所述工艺数据的步骤包括：

根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象；

所述下位机将所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据回传给上位机；

所述上位机显示所述工艺数据。

本发明实施例还公开了一种工艺数据的存储方法，包括：

依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中。

优选的，所述将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密的步骤在下位机中执行，该步骤包括：

所述下位机获得加密密钥，所述加密密钥依据所述上位机信息和下位机信息生成；

利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文。

优选的，所述加密密钥为，将上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

优选的，所述利用加密密钥对工艺参数值明文进行加密的步骤进一步包括：

将工艺参数值明文转换成数字字符串；

采用特定加解密算法，用所述加密密钥对所述数字字符串进行加密，生成工艺参数值密文。

优选的，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述工艺数据存储请求为，上位机依据用户更新Recipe工艺数据的操作，向下位机发送的更新Recipe工艺数据的存储请求，所述请求中包括更新的Recipe工艺数据；所述的方法还包括：

下位机依据该请求，更新所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据。

优选的，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值，所述工艺数据文件为XML文件，

所述将工艺参数值密文保存至工艺数据文件中的步骤由下位机执行，该步骤包括：

将RecipeBody对象中的参数值密文保存回相应的XML文件；

更新Recipe名字空间中管理态Recipe的信息。

本发明实施例还公开了一种工艺数据的获取装置，包括：

文件查找模块，用于依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

文件解析模块，用于解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则调用解密处理模块；

解密处理模块，用于按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

优选的，所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，所述文件查找模块、文件解析模块和解密处理模块位于下位机中，所述的装置还包括：

位于上位机的用户鉴权模块，用于依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

位于上位机的请求发起模块，用于在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求。

优选的，所述解密处理模块包括：

解密密钥获取子模块，用于获得解密密钥，所述解密密钥依据所述上位机信息和下位机信息生成；

密钥解密子模块，用于利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

优选的，所述解密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

优选的，所述密钥解密子模块进一步包括：

字符串计算单元，用于针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

转换单元，用于将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

优选的，所述的装置，还包括：

位于下位机的保存模块，用于保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据；

位于上位机的展示模块，用于展示所述工艺数据。

优选的，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的工艺数据获取请求中包括Recipe的ID；所述下位机的文件定位子模块进一步包括：

管理态Recip查找单元，用于依据指定ID的Recipe工艺数据获取请求，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

定位单元，用于根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径。

优选的，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值；所述工艺数据文件为XML文件。

优选的，所述保存模块进一步包括：

对象创建单元，用于根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

对象添加单元，用于将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象；

数据回传单元，用于将所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据回传给上位机。

本发明实施例还公开了一种工艺数据的存储装置，包括：

加密处理模块，用于依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

文件保存模块，用于将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中。

优选的，所述加密处理模块位于下位机，包括：

密钥获取子模块，用于获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥加密子模块，用于利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文。

优选的，所述加密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；

或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

优选的，所述密钥加密子模块进一步包括：

字符串转换单元，用于将工艺参数值明文转换成数字字符串；

密文生成单元，用于采用特定加解密算法，用所述加密密钥对所述数字字符串进行加密，生成工艺参数值密文。

优选的，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述工艺数据存储请求为，上位机依据用户更新Recipe工艺数据的操作，向下位机发送的更新Recipe工艺数据的存储请求，所述请求中包括更新的Recipe工艺数据；所述的装置还包括：

位于下位机的对象更新模块，用于依据该请求，更新所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据。

优选的，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值，所述工艺数据文件为XML文件，

所述文件保存模块位于下位机，包括：

密文存储子模块，用于将RecipeBody对象中的参数值密文保存回相应的XML文件；

更新子模块，用于更新Recipe名字空间中管理态Recipe的信息。

本发明实施例还公开了一种工艺数据处理系统，包括进行通信的上位机与下位机，其特征在于，所述下位机包括工艺数据的获取装置和存储装置；

其中，所述工艺数据的获取装置包括：

文件查找模块，用于依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

文件解析模块，用于解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则调用解密处理模块；

解密处理模块，用于按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据的存储装置包括：

加密处理模块，用于依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

文件保存模块，用于将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中；

所述上位机包括：

用户鉴权模块，用于依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

请求发起模块，用于在对用户鉴权通过后，向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求；

展示模块，用于展示所述工艺数据。

优选的，所述工艺数据的获取装置中的解密处理模块包括：

解密密钥获取子模块，用于获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥解密子模块，用于利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据的存储装置中的加密处理模块包括：

密钥获取子模块，用于获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥加密子模块，用于利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明通过在工艺数据文件的存取过程中，对文件中的关键数据——工艺参数值进行加解密处理，使得存储工艺数据的文件只能用下位机程序打开并在上位机程序正常显示，若用其他程序例如记事本等程序打开皆为乱码，从而增强工艺数据的保密性，提高关键工艺数据的安全性。

在工艺数据处理系统中应用本发明，需要对Recipe文件的存取过程做加解密处理，从而使得存储Recipe数据的XML文件只能存储在固定的下位机，并在固定的上位机上打开才能正常显示，若更换电脑或使用其他程序例如记事本等程序打开皆为乱码。即使使用Debugger调试工具从下位机直接查看Recipe，显示出的工艺数据，特别是关键的工艺数据也都是加密后的密文形式(工艺参数值密文)，从而增强了工艺配方数据的保密性和安全性。

采用本发明后的Recipe管理方式，读取和保存操作就只有唯一的方法，并且都会有日志记录操作的信息，这样就确保Recipe文件通过其他方式都无法正常查看，增强了Recipe数据的保密性。

附图说明

图1是本发明的一种工艺数据的获取方法实施例1的步骤流程图；

图2是一种典型的设备控制软件架构示意图；

图3是一个实际的RecipeBody的XML文件的内容；

图4是本发明的一种工艺数据的获取方法实施例2的步骤流程图；

图5是本发明的一种工艺数据的存储方法实施例1的流程图；

图6是本发明的一种工艺数据的存储方法实施例2的流程图；

图7是应用本发明的一个实际RecipeBody的XML文件的内容；

图8是本发明的一种工艺数据的获取装置实施例的结构框图；

图9是本发明的一种工艺数据的存储装置实施例的结构框图；

图10是本发明的一种工艺数据处理系统的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

本发明可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如：多处理器系统、服务器、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。

本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。

本发明实施例的核心构思之一在于，通过在工艺数据文件的存取过程中，对文件中的关键数据——工艺参数值进行加解密处理，使得存储工艺数据的文件只能用下位机程序打开并在上位机程序正常显示，若用其他程序例如记事本等程序打开皆为乱码，从而增强工艺数据的保密性，提高关键工艺数据的安全性。

参考图1，示出了本发明的一种工艺数据的获取方法实施例1的流程图，具体可以包括以下步骤：

步骤101、依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

步骤102、解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，以获得工艺参数值明文。

在本发明的一种优选实施例中，所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，在这种情况下，所述步骤101和步骤102由下位机执行；在实际中，在下位机查找工艺数据文件之前，本实施例还可以包括以下步骤：

步骤S11、上位机依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

步骤S12、在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求。

当下位机接收到该请求后，即执行依据该请求查找对应工艺数据文件的操作。

在本发明的一种优选实施例中，所述步骤102可以包括以下子步骤：

子步骤S21、下位机获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

子步骤S22、利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

在具体实现中，所述解密密钥可以为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

需要说明的是，为实现工艺数据文件查看的唯一性，本发明中的解密密钥需要依据当前进行通信的上位机信息和下位机信息生成，如检测别的电脑硬件独有信息(如CPU或者硬盘序列号等)用来计算产生密钥字符串，或者根据上位机和下位机随机附带的加密狗中读取到的字符串序列，计算得到字符串等。

对于所述密钥的具体计算方法可以由本领域技术人员根据实际情况采用任一种加解密算法，既可以对称的加解密算法，也可以是不对称的加解密算法(在这种情况下，加密密钥和解密密钥不同)，如采用DES、3DES、IDEA、RSA、AES、BLOWFISH等算法都是可行的。更进一步而言，在密钥的产生过程中，还可以改变加解密次数，例如以多层加密代替单层加密，以及在多层加密中，各层加密方法不同组合，例如RSA→DES，DES→AES→RSA等。或者，在多层加密中，改变密钥的产生方法。

作为本发明的一种优选实施例，所述利用解密密钥对工艺参数值密文进行解密的步骤可以进一步包括以下子步骤：

子步骤S31、针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

其中，所述数字字符串即为工艺参数值的数字字符串。在本发明的一种优选实施例中，工艺参数值密文是通过对工艺参数值的数字字符串加密形成的，故在解密过程中，首先解出工艺参数值的数字字符串。

子步骤S32、将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

在具体应用中，工艺数据文件存储在下位机，只有用上位机成功连接该下位机之后才能正常查看该工艺数据文件。由此确保文件被拷贝后也无法正常查看，从而增强了工艺数据的保密性。

在本发明实施例中，还可以包括以下步骤：

下位机保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据，并在上位机展示所述工艺数据。

为使本领域技术人员更好地理解本发明，在本说明书中以半导体行业的Recipe管理为例对本发明实施例进行说明。

半导体行业的SEMI E42标准(以下简称E42)是Recipe管理标准(Recipe Management Standard)，它在整个半导体工厂范围内对Recipe的概念(concepts)、操作(operations)和服务(services)做出了标准化的定义，其目的是规范应用软件的开发，使得应用软件具备标准的Recipe管理能力。参考图2所示的典型的设备控制软件架构：上位机11向上通过工厂接口12与工厂主机13通信，接收和执行工厂主机13下发的生产指令，同时负责将设备的运行时信息反馈给工厂主机13；向下与下位机14连接，通过特有的调度算法来指挥和协调下位机控制程序的工作；此外，它还向用户提供友好的图形操作界面。下位机14实现对设备的物料传输控制和工艺控制，对Recipe的管理就实现在下位机中14，包括：Recipe的建立、保存、编辑、删除等操作，Recipe的工艺数据保存为XML文件，统一存放在下位机上。

根据E42的定义，设备控制程序实现对Recipe的管理主要涉及以下概念：

(一)Recipe名字空间

Recipe名字空间是负责存储Recipe的逻辑域，是由设备控制程序建立在其运行的物理设备(内存)上。Recipe名字空间采用“树型结构”进行存储，其中“枝干节点”对应着RecipeClass对象，“叶子节点”对应ManagedRecipe对象(“管理态”Recipe对象)。对于Recipe名字空间中的每个RecipeClass对象，都会存在唯一的RecipeExecutor对象作为执行器，它定义了该类别Recipe的RecipeBody须遵循的模板，同时负责Recipe的校验与自动执行。Recipe名字空间是“被动”的，它与外部世界的交互都是通过Recipe名字空间管理器——RecipeNamespaceManager来进行的。

(二)“管理态”Recipe与“执行态”Recipe

在E42标准中将Recipe的存在形态定义为两种——“管理态”和“执行态”。“管理态”指的是Recipe在Recipe名字空间中的形态，具体表现为ManagedRecipe对象；“执行态”则是指Recipe从Recipe名字空间取出后的形态，具体表现为ExecutionRecipe对象。ManagedRecipe对象与ExecutionRecipe对象在物理上是内存中的两个不同的对象，但是在逻辑上它们表示的是同一个Recipe的两种状态，因此它们拥有同一个RecipeID。Recipe ID是用来唯一标识Recipe的一个字符串，它由“Recipe类别全名”、“Recipe的名称”以及“Recipe的版本号”组成，“Recipe类别全名”与“Recipe的名称”之间用‘/’分隔，“Recipe的名称”与“Recipe的版本号”之间用‘；’分隔，具体的形式为——/类别名称/子类别名称/.../Recipe名称；版本号。

RecipeBody是工艺数据的存储实体，RecipeBody是由相应的RecipeExecutor创建的，它存在着两种形式：XML文件和RecipeBody对象。RecipeBody对象是通过解析XML文件创建的，而对它的保存则是将数据信息存储回相应的XML文件。对于ManagedRecipe对象，RecipeBody是以XML文件的形式存在，ManagedRecipe对象保存的是该XML文件的绝对存储路径；对于ExecutionRecipe对象，RecipeBody是以对象的形式存在，ExecutionRecipe对象保存着该RecipeBody对象的指针。

(三)RecipeNamespaceManager

RecipeNamespaceManager是Recipe名字空间的管理者，同时也是整个Recipe名字空间与外界联系的唯一中介，用户对Recipe的各种管理操作都要直接或间接通过它来进行，它保证了多用户(多线程)环境下，Recipe名字空间数据的一致性与完整性。

(四)RecipeBody与XML文件

RecipeBody对象是运行时工艺数据的持有者。当Recipe由管理态转换为执行态时工艺数据从相关的XML文件解析出来并加载到RecipeBody对象中；反之，要将执行态Recipe保存为管理态，则是将RecipeBody对象中的工艺数据保存到XML文件中。在Recipe名字空间中删除一个Recipe时，它对应的RecipeBody的XML文件并不被删除。这样做的目的是为了防止由于用户的误操作造成的重要“工艺数据”的永久性丢失。

RecipeBody的XML文件中保存的是“工艺参数列表”的信息和所有step的数据信息，文件名称是基于Recipe ID来命名的，一个Recipe对应着一个RecipeBody的XML文件。在文件格式上，RecipeBody的XML文件除了要遵循XML格式规范外，还要遵守一些特殊要求，

下面通过一个实际的例子对文件的内容和格式要求进行详细的说明，参考图3所示的一个实际的RecipeBody的XML文件的内容，文件名称是Process_rcp1_2.xml。它保存了“工艺参数列表”的信息和4个step的数据信息。详细说明如下：

第3行与第39行：定义了名称为“RecipeBody”的节点。

第4～10行：保存的是“工艺参数列表”的信息，这与“Process”类的执行器中所定义的完全一致，此处只是一个映射，目的是为了方便用户阅读和理解XML文件。

第11行与第17行：定义了一个名为“Step”的节点，表示ProcessRecipe中的一个step，它的属性“index”标明了该step的索引，“name”是该step的名称。

第12～16行：定义了step1下的5个名为“Value”的节点，它们表示“工艺参数列表”中各个工艺参数在step1中对应的具体数值。“Value”节点的“param”属性记录了对应的“工艺参数”的名称，“value”属性保存着“工艺参数”的具体数值。

第18～38行：依次定义了step2、step3和step4的相关内容。

参考图4，示出了本发明的一种工艺数据的获取方法实施例2的流程图，具体可以包括以下步骤：

步骤401、用户请求查看指定Recipe的工艺数据；

步骤402、上位机验证用户权限，合法则执行步骤403；非法则拒绝请求；

步骤403、上位机向下位机发起请求，获取指定ID的Recipe工艺数据，并同时发送上位机解密因子；

步骤404、下位机程序接收请求后在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

步骤405、下位机程序将管理态Recipe转换为执行态Recipe，具体过程如下：

子步骤4051、根据管理态Recipe保存的绝对存储路径解析XML文件；

子步骤4052、将上位机的解密因子和下位机的解密因子按顺序组合成字符串作为解密密钥；

子步骤4053、对于子步骤4051中解析出的每个step相应的参数值密文，采用RSA算法，用子步骤4052中得到的字符串密钥进行解密，并将解密后得到的数字字符串解析成值；

子步骤4054、根据解析出的step和每个step中的工艺数据值创建RecipeBody对象；

子步骤4055、创建执行态Recipe对象；

子步骤4056、将RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象；

步骤406、下位机将执行态Recipe的RecipeBody对象中的工艺数据回传给上位机；

步骤407、上位机显示工艺数据。

在本发明实施例中，对Recipe文件的存取过程作了加解密处理，使得存储Recipe数据的XML文件只能存储在固定的下位机，并在固定的上位机上打开才能正常显示，若更换电脑或使用其他程序例如记事本等程序打开皆为乱码，即使使用Debugger调试工具查看Recipe，显示出的参数也都是加密后的密文，增强了工艺配方数据的保密性。采用本发明后的Recipe管理方式，读取和保存操作就只有唯一的方法，并且都会有日志记录操作的信息，这样就确保Recipe文件通过其他方式都无法正常查看，增强了Recipe数据的保密性。

参考图5，示出了本发明的一种工艺数据的存储方法实施例1的流程图，具体可以包括以下步骤：

步骤501、依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

步骤502、将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中。

在本发明的一种优选实施例中，所述步骤501和步骤502可以在下位机中执行，其中，所述步骤501具体可以包括以下子步骤：

子步骤S41、下位机获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

子步骤S42、利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文。

在具体实现中，所述加密密钥可以为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

需要说明的是，为实现工艺数据文件查看的唯一性，本发明中的加密密钥需要依据当前进行通信的上位机信息和下位机信息生成，如检测别的电脑硬件独有信息(如CPU或者硬盘序列号等)用来计算产生密钥字符串，或者根据上位机和下位机随机附带的加密狗中读取到的字符串序列，计算得到字符串等。

对于所述密钥的具体计算方法可以由本领域技术人员根据实际情况采用任一种加解密算法，既可以对称的加解密算法，也可以是不对称的加解密算法(在这种情况下，加密密钥和解密密钥不同)，如采用DES、3DES、IDEA、RSA、AES、BLOWFISH等算法都是可行的。更进一步而言，在密钥的产生过程中，还可以改变加解密次数，例如以多层加密代替单层加密，以及在多层加密中，各层加密方法不同组合，例如RSA→DES，DES→AES→RSA等。或者，在多层加密中，改变密钥的产生方法。

作为本发明的一种优选实施例，所述利用加密密钥对工艺参数值明文进行加密的步骤进一步包括以下子步骤：

子步骤S51、将工艺参数值明文转换成数字字符串；

子步骤S52、采用特定加解密算法，用所述加密密钥对所述数字字符串进行加密，生成工艺参数值密文。

参考图6，示出了本发明的一种工艺数据的存储方法实施例2的流程图，具体可以包括以下步骤：

步骤601、用户对Recipe进行编辑(增减step，更改工艺数值等)；

步骤602、用户请求保存编辑后的Recipe；

步骤603、上位机将更改后的工艺数据传送给下位机，请求保存；

步骤604、下位机程序更新RecipeBody对象中的工艺数据；

步骤605、下位机程序将执行态Recipe保存回Recipe名字空间，具体过程如下：

子步骤6051、将上位机的加密因子和下位机的加密因子按顺序组合成字符串作为加密密钥；

子步骤6052、XMLProcess处理执行态RecipeBody中的相关参数，将每个step中的参数值转换成字符串，然后采用RSA算法，用子步骤6051中得到的字符串密钥对要写入的字符串进行加密；

子步骤6053、将RecipeBody中加密后的参数值密文保存回相应的XML文件；

子步骤6054、更新原有管理态Recipe的信息(如：修改时间等)；

步骤606、下位机程序反馈保存成功。

在实际中，用户可以申请导出Recipe，在这种情况下，上位机程序在记录日志后，将Recipe内容解密后按照指定格式导出成文件。

应用本实施例，Recipe文件存储在固定的电脑上，并且此电脑安装了下位机程序，在固定的电脑上用上位机程序成功连接下位机程序之后才能正常查看。由此确保Recipe文件被拷贝后也无法正常查看，增强了Recipe数据的保密性。采用本发明中的管理方式后，得到的Recipe文件如图7所示，框中的value值将变成密文(即非明文)，其他文本不变。

需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。

参考图8，示出了本发明的一种工艺数据的获取装置实施例的结构框图，具体可以包括：

文件查找模块801，用于依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

文件解析模块802，用于解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则调用解密处理模块803；

解密处理模块803，用于按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

在本发明的一种优选实施例中，所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，所述文件查找模块、文件解析模块和解密处理模块位于下位机中，在这种情况下，本发明的装置还可以包括以下模块：

位于上位机的用户鉴权模块，用于依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

位于上位机的请求发起模块，用于在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求；

位于下位机的文件定位子模块，用于依据所述请求查找对应的工艺数据文件。

在本发明的一种优选实施例中，所述解密处理模块位于下位机，包括：

解密密钥获取子模块，用于获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥解密子模块，用于利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

在具体实现中，所述解密密钥可以为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

作为一种具体应用的示例，所述密钥解密子模块可以进一步包括：

字符串计算单元，用于针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

转换单元，用于将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

在本发明实施例中，还可以包括：

位于下位机的保存模块，用于保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据；

位于上位机的展示模块，用于展示所述工艺数据。

在工艺数据处理系统中，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的工艺数据获取请求中包括Recipe的ID；所述下位机的文件定位子模块可以进一步包括：

管理态Recip查找单元，用于依据指定ID的Recipe工艺数据获取请求，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

定位单元，用于根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径。

在本实施例中，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值；所述工艺数据文件为XML文件。

更为优选的是，在工艺数据处理系统中，所述下位机的保存模块可以进一步包括：

对象创建单元，用于根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

对象添加单元，用于将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象；

数据回传单元，用于将所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据回传给上位机。

由于本实施例基本相应于前述图1、图4所示的方法实施例，故本实施例的描述中未详尽之处，可以参见前述实施例中的相关说明，在此就不赘述了。

参考图9，示出了本发明的一种工艺数据的存储装置实施例的结构框图，具体可以包括：

加密处理模块901，用于依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

文件保存模块902，用于将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中。

在本发明的一种优选实施例中，所述加密处理模块、文件保存模块均位于下位机，其中，所述加密处理模块具体可以包括以下子模块：

密钥获取子模块，用于获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥加密子模块，用于利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文。

在具体实现中，所述加密密钥可以为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

作为一种具体应用的示例，所述密钥加密子模块可以进一步包括：

字符串转换单元，用于将工艺参数值明文转换成数字字符串；

密文生成单元，用于采用特定加解密算法，用所述加密密钥对所述数字字符串进行加密，生成工艺参数值密文。

在工艺数据处理系统中，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述工艺数据存储请求为，上位机依据用户更新Recipe工艺数据的操作，向下位机发送的更新Recipe工艺数据的存储请求，所述请求中包括更新的Recipe工艺数据；所述的装置还包括：

位于下位机的对象更新模块，用于依据该请求，更新所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据。

在本实施例中，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值，所述工艺数据文件为XML文件，所述文件保存模块可以包括：

密文存储子模块，用于将RecipeBody对象中的参数值密文保存回相应的XML文件；

更新子模块，用于更新Recipe名字空间中管理态Recipe的信息。

由于本实施例基本相应于前述图5、图6所示的方法实施例，故本实施例的描述中未详尽之处，可以参见前述实施例中的相关说明，在此就不赘述了。

本说明书中的各个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

参考图10，示出了本发明的一种工艺数据处理系统实施例的结构框图，包括进行通信的上位机1与下位机2，所述下位机2具体可以包括工艺数据的获取装置21和工艺数据的存储装置22；其中，所述工艺数据的获取装置21可以包括以下模块：

文件查找模块211，用于依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

文件解析模块212，用于解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则调用解密处理模块；

解密处理模块213，用于按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据的存储装置22可以包括以下模块：

加密处理模块221，用于依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

文件保存模块222，用于将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中。

所述上位机1具体可以包括：

用户鉴权模块111，用于依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

请求发起模块112，用于在对用户鉴权通过后，向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求；

展示模块113，用于展示所述工艺数据。

在本发明的一种优选实施例中，所述工艺数据的获取装置中的解密处理模块可以包括：

解密密钥获取子模块，用于获得解密密钥，所述解密密钥依据所述上位机信息和下位机信息生成；

密钥解密子模块，用于利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据的存储装置中的加密处理模块可以包括：

密钥获取子模块，用于获得加密密钥，所述加密密钥依据所述上位机信息和下位机信息生成；

密钥加密子模块，用于利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文。

对于上述系统实施例而言，由于其与所示的方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上对本发明所提供的一一种工艺数据的获取方法及装置、一种工艺数据的存储方法及装置以及一种工艺数据处理系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (19)

1.一种工艺数据的获取方法，其特征在于，包括：

依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，以获得工艺参数值明文；

其中，所述按照预置解密规则对工艺参数值密文进行解密的步骤包括：

下位机获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，由下位机执行所述查找工艺数据文件和解析工艺数据文件的操作；

所述的方法还包括：

上位机依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求；

所述的方法还包括：

所述下位机保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据，并在所述上位机展示所述工艺数据；

所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求中包括Recipe的ID；

所述下位机依据所述请求查找对应的工艺数据文件的步骤进一步包括：

所述下位机依据工艺数据获取请求中Recipe的ID，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述解密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；

或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用解密密钥对工艺参数值密文进行解密的步骤进一步包括：

针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值；所述工艺数据文件为XML文件。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述下位机保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据，并在所述上位机展示所述工艺数据的步骤包括：

根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象；

所述下位机将所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据回传给上位机；

所述上位机显示所述工艺数据。

6.一种工艺数据的存储方法，其特征在于，包括：

依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中；

其中，所述将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密的步骤在下位机中执行，该步骤包括：

所述下位机获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文；

所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述工艺数据存储请求为，上位机依据用户更新Recipe工艺数据的操作，向下位机发送的更新Recipe工艺数据的存储请求，所述请求中包括更新的Recipe工艺数据；

所述的方法还包括：

下位机依据该请求，更新执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据；

所述RecipeBody对象和所述执行态Recipe对象的创建过程如下：

根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述加密密钥为，将上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密的步骤进一步包括：

将工艺参数值明文转换成数字字符串；

采用特定加解密算法，用所述加密密钥对所述数字字符串进行加密，生成工艺参数值密文。

9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值，所述工艺数据文件为XML文件，

所述将工艺参数值密文保存至工艺数据文件中的步骤由下位机执行，该步骤包括：

将RecipeBody对象中的参数值密文保存回相应的XML文件；

更新Recipe名字空间中管理态Recipe的信息。

10.一种工艺数据的获取装置，其特征在于，包括：

文件查找模块，用于依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

文件解析模块，用于解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则调用解密处理模块；

解密处理模块，用于按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

其中，所述解密处理模块包括：

解密密钥获取子模块，用于获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥解密子模块，用于利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，所述文件查找模块、文件解析模块和解密处理模块位于下位机中，所述的装置还包括：

位于上位机的用户鉴权模块，用于依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

位于上位机的请求发起模块，用于在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求；

所述的装置还包括:

位于下位机的保存模块，用于保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据；

位于上位机的展示模块，用于展示所述工艺数据；

所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求中包括Recipe的ID；所述下位机的文件定位子模块进一步包括：

管理态Recip查找单元，用于依据指定ID的Recipe工艺数据获取请求，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

定位单元，用于根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径。

11.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述解密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

12.如权利要求11所述的装置，其特征在于，所述密钥解密子模块进一步包括：

字符串计算单元，用于针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

转换单元，用于将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

13.如权利要求10所述的装置，其特征在于，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值；所述工艺数据文件为XML文件。

14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，所述保存模块进一步包括：

对象创建单元，用于根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

对象添加单元，用于将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象；

数据回传单元，用于将所述执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据回传给上位机。

15.一种工艺数据的存储装置，其特征在于，包括：

加密处理模块，用于依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

文件保存模块，用于将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中；

其中，所述加密处理模块位于下位机，包括：

密钥获取子模块，用于获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥加密子模块，用于利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文；

所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述工艺数据存储请求为，上位机依据用户更新Recipe工艺数据的操作，向下位机发送的更新Recipe工艺数据的存储请求，所述请求中包括更新的Recipe工艺数据；

所述的装置还包括：

位于下位机的对象更新模块，用于依据该请求，更新执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据；

所述RecipeBody对象和所述执行态Recipe对象的创建过程如下：

根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象。

16.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述加密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；

或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

17.如权利要求16所述的装置，其特征在于，所述密钥加密子模块进一步包括：

字符串转换单元，用于将工艺参数值明文转换成数字字符串；

密文生成单元，用于采用特定加解密算法，用所述加密密钥对所述数字字符串进行加密，生成工艺参数值密文。

18.如权利要求15所述的装置，其特征在于，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值，所述工艺数据文件为XML文件，

所述文件保存模块位于下位机，包括：

密文存储子模块，用于将RecipeBody对象中的参数值密文保存回相应的XML文件；

更新子模块，用于更新Recipe名字空间中管理态Recipe的信息。

19.一种工艺数据处理系统，包括进行通信的上位机与下位机，其特征在于，所述下位机包括工艺数据的获取装置和工艺数据的存储装置；

其中，所述工艺数据的获取装置包括：

文件查找模块，用于依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

文件解析模块，用于解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则调用解密处理模块；

解密处理模块，用于按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据的存储装置包括：

加密处理模块，用于依据工艺数据存储请求，将工艺数据中的工艺参数值明文按照预置的加密规则进行加密，以获得工艺参数值密文；

文件保存模块，用于将所述工艺参数值密文保存至工艺数据文件中；

所述上位机包括：

用户鉴权模块，用于依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

请求发起模块，用于在对用户鉴权通过后，向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求；

展示模块，用于展示所述工艺数据；

其中，所述工艺数据的获取装置中的解密处理模块包括：

解密密钥获取子模块，用于获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥解密子模块，用于利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文；

所述工艺数据的存储装置中的加密处理模块包括：

密钥获取子模块，用于获得加密密钥，所述加密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

密钥加密子模块，用于利用所述加密密钥对工艺参数值明文进行加密，获得工艺参数值密文；

所述的工艺数据的获取装置还包括:

位于下位机的保存模块，用于保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据；

位于上位机的展示模块，用于展示所述工艺数据；

所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的工艺数据获取请求中包括Recipe的ID；所述下位机的文件定位子模块进一步包括：

管理态Recip查找单元，用于依据指定ID的Recipe工艺数据获取请求，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

定位单元，用于根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径所述工艺数据为Recipe的工艺数据；

所述工艺数据存储请求为，上位机依据用户更新Recipe工艺数据的操作，向下位机发送的更新Recipe工艺数据的存储请求，所述请求中包括更新的Recipe工艺数据；

所述的工艺数据的存储装置还包括：

位于下位机的对象更新模块，用于依据该请求，更新执行态Recipe对象中的RecipeBody对象中的工艺数据；

所述RecipeBody对象和所述执行态Recipe对象的创建过程如下：

根据从所述工艺数据文件中解析出的步骤step和每个步骤step中的工艺参数值创建RecipeBody对象；以及，创建执行态Recipe对象；

将所述RecipeBody对象添加到执行态Recipe对象。